KR20060118196A - Apparatus for dispensing chemical equipped with canister and method for cotrolling pressure of canister - Google Patents

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KR20060118196A
KR20060118196A KR1020050040728A KR20050040728A KR20060118196A KR 20060118196 A KR20060118196 A KR 20060118196A KR 1020050040728 A KR1020050040728 A KR 1020050040728A KR 20050040728 A KR20050040728 A KR 20050040728A KR 20060118196 A KR20060118196 A KR 20060118196A
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문윤정
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삼성전자주식회사
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Abstract

An apparatus for dispensing a chemical having a canister and a method for controlling a pressure of the canister are provided to reduce an operation standby time by automatically ventilating the canister before bottles are replaced. An apparatus for dispensing a chemical includes a bottle(112), a canister(110), and a valve(150). The bottle is filled with chemicals. The bottom is mounted on the canister. The valve maintains the canister at a pressurized state, when the chemicals are dispensed from the bottle. The valve automatically vents the pressure inside the canister, when more chemicals are required, and automatically changes the canister back to the pressurized state, when the chemicals are supplemented. The valve includes a 3-way valve. The valve injects nitrogen or inertial gas into the canister, such that the canister is maintained at the pressurized state.

Description

캐니스터를 구비한 케미컬 분사 장치 및 캐니스터의 압력 조절 방법{APPARATUS FOR DISPENSING CHEMICAL EQUIPPED WITH CANISTER AND METHOD FOR COTROLLING PRESSURE OF CANISTER}Chemical spraying device with canister and pressure control method of canister {APPARATUS FOR DISPENSING CHEMICAL EQUIPPED WITH CANISTER AND METHOD FOR COTROLLING PRESSURE OF CANISTER}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 장치를 도시한 구성도이다.1 is a block diagram showing a chemical injection device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 장치에 있어서 3-웨이 밸브를 확대한 구성도이다.Figure 2 is an enlarged configuration diagram of the three-way valve in the chemical injection device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 장치에 있어서 캐니스터의 압력 조절 방법을 보여주는 흐름도이다.3 is a flow chart showing a pressure control method of the canister in the chemical injection device according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110; 캐니스터(canister) 112; 보틀(bottle)110; Canister 112; Bottle

120; 3-웨이 밸브(3-way valve) 140; 센서(sensor)120; 3-way valve 140; Sensor

150; 수동 밸브(manual valve) 160; 펌프(pump)150; Manual valve 160; Pump

본 발명은 케미컬 분사 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 캐니스터 압력을 자동으로 조절할 수 있는 케미컬 분사 장치 및 캐니스터의 압력 조절 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical injection device, and more particularly, to a chemical injection device and a pressure control method of the canister that can automatically adjust the canister pressure.

주지된 바와 같이 반도체 산업에서는 여러 다양한 케미컬을 사용하며, 케미컬은 보틀에 담겨져 질소를 이용한 가압으로써 분사된다. 그런데, 종래 케미컬을 사용하는 반도체 설비에서는 캐니스터 내부의 보틀을 교환하기 위해선 주로 작업자가 직접 수동 3-웨이 밸브를 조작하여 캐니스터 내부의 압력을 직접 벤트시키는 것이 통상적이다. 즉, 캐니스터 내부의 케미컬 보틀을 교환하기 위해서는 작업자가 직접 캐니스터 내부의 압력을 벤트시킨다. 압력 벤트가 완료되면 케미컬 보틀을 교환하고 보틀 교환 완료후에는 상시 가압 상태로 밸브를 조작한 후 설비를 사용하게 된다.As is well known, the semiconductor industry uses several different chemicals, which are contained in bottles and sprayed by pressurization with nitrogen. However, in the semiconductor equipment using conventional chemicals, in order to replace the bottle inside the canister, it is common for the operator to directly vent the pressure inside the canister by directly operating a manual three-way valve. That is, in order to replace the chemical bottle inside the canister, the operator directly vents the pressure inside the canister. When the pressure vent is completed, the chemical bottle is replaced. After the bottle is replaced, the valve is operated under normal pressure and the equipment is used.

그런데, 캐니스터 내부 압력 벤트시 작업자의 조작 실수에 의해 캐니스터의 내부 압력을 벤트시키지 않은 상태에서 그 다음 순서를 진행하는 경우가 있다. 이렇게 작업자의 조작 실수에 의해 인적 및 물적으로 피해가 발생하는 경우가 있었다.By the way, the following procedure may be progressed in the state which does not vent the internal pressure of a canister by the operator's mistake in operating a canister internal pressure. Thus, human and physical damage may occur due to the operator's mistake of operation.

본 발명은 상술한 종래 기술상의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 캐니스터 압력 제어를 자동화함으로써 작업자의 조작 실수에 따른 위험을 없앨 수 있는 케미컬 분사 장치 및 캐니스터 압력 조절 방법을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the prior art, an object of the present invention to provide a chemical injection device and canister pressure control method that can eliminate the risk of operator error by automating canister pressure control. have.

본 발명의 다른 목적은 작업자가 직접 압력을 벤트시키지 않게 함으로써 작업 준비 교체 시간을 단축시킬 수 있는 케미컬 분사 장치 및 캐니스터의 압력 조절 방법을 제공함에 있다.It is another object of the present invention to provide a chemical injection device and a canister pressure control method that can shorten the work preparation replacement time by not allowing the operator to directly vent the pressure.

상기 목적을 달성할 수 있는 본 발명에 따른 케미컬 분사 장치는 보틀 엠프티 알람이나 리트라이 알람과 동시에 3-웨이 밸브가 동작되도록 하는 것을 특징으로 한다.The chemical injection device according to the present invention can achieve the above object is characterized in that the three-way valve is operated at the same time as the bottle empty alarm or retry alarm.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 장치는, 케미컬이 채워지는 보틀과; 상기 보틀이 안치되는 캐니스터와, 상기 케미컬이 분사되는 경우에는 상기 캐니스터를 가압 상태로 유지하고, 상기 케미컬의 보충이 필요한 경우에는 상기 캐니스터의 압력을 자동으로 벤트시키고, 상기 케미컬이 보충되면 상기 캐니스터를 가압 상태로 자동으로 전환시키는 밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다.Chemical injection device according to an embodiment of the present invention that can implement the above features, the bottle is filled with the chemical; When the bottle is placed and the chemical is injected, the canister is kept in a pressurized state, and when the chemical needs to be replenished, the canister is automatically vented, and when the chemical is replenished, the canister is opened. And a valve for automatically switching to a pressurized state.

본 실시예의 케미컬 분사 장치에 있어서, 상기 밸브는 3-웨이 밸브를 포함한다. 상기 3-웨이 밸브는 상기 캐니스터에 질소 또는 불활성 가스를 주입하여 상기 캐니스터를 가압 상태로 유지한다.In the chemical injection device of the present embodiment, the valve includes a three-way valve. The three-way valve injects nitrogen or inert gas into the canister to maintain the canister under pressure.

본 실시예의 케미컬 장치에 있어서, 상기 케미컬로부터 기포를 제거하는 밸브와, 상기 보틀 내에서의 상기 케미컬의 수위를 감지하는 센서와, 상기 케미컬을 분사하는데 필요한 힘을 발생시키는 펌프를 더 포함한다.The chemical apparatus of the present embodiment further includes a valve for removing bubbles from the chemical, a sensor for sensing the level of the chemical in the bottle, and a pump for generating a force required to inject the chemical.

본 실시예의 케미컬 장치에 있어서, 상기 케미컬을 분사하는 공정시 이상 고장이 발생하는 경우 상기 캐니스터의 압력을 자동으로 벤트시키는 부재를 더 포함한다.The chemical apparatus of the present embodiment, further comprising a member for automatically venting the pressure of the canister when an abnormal failure occurs in the process of injecting the chemical.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 캐니스터 압력 조절 방법은, 캐니스터를 가압 상태로 유지하여 케미컬을 분사하는 단계와; 상기 케미컬의 보충이 필요하여 발생하는 신호와 동시에 상기 캐니스터의 압력을 자동으로 벤트시키는 단계와; 상기 케미컬의 보충이 완료되어 발생하는 신호와 동시에 상기 캐니스터를 상기 가압 상태로 자동으로 전환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a method for adjusting canister pressure, the method including: spraying chemicals by maintaining the canister in a pressurized state; Automatically venting the pressure of the canister at the same time as a signal generated due to the need for replenishment of the chemical; And simultaneously converting the canister into the pressurized state simultaneously with the signal generated by completing the replenishment of the chemical.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변형 실시예에 따른 캐니스터 압력 조절 방법은, 캐니스터를 가압 상태로 유지하여 상기 캐니스터 내에 안치된 보틀로부터 케미컬을 분사하는 단계와; 상기 케미컬이 소모되는 경우 엠프티 알람이 발생되고, 이와 동시에 3-웨이 밸브가 자동으로 작동하여 상기 캐니스터 내부의 압력을 벤트시키는 단계와; 상기 보틀을 교체하는 단계와; 상기 보틀의 교체가 완료된 경우 알람 리트라이 신호가 발생되고, 이와 동시에 상기 3-웨이 밸브가 자동으로 작동하여 상기 캐니스터를 가압 상태로 전환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a modified embodiment of the present invention, the canister pressure adjusting method may include the steps of: spraying chemical from a bottle placed in the canister by maintaining the canister in a pressurized state; An empty alarm is generated when the chemical is exhausted, and at the same time a three-way valve automatically operates to vent the pressure inside the canister; Replacing the bottle; An alarm retry signal is generated when the bottle is replaced, and at the same time, the three-way valve is automatically operated to switch the canister to a pressurized state.

본 변형 실시예에 따른 캐니스터 압력 조절 방법에 있어서, 상기 캐니스터를 가압 상태로 전환시키는 단계는 상기 캐니스터 내부에 질소 또는 불활성 가스를 주입하는 단계를 포함한다In the canister pressure adjusting method according to the present modified embodiment, the step of converting the canister to a pressurized state includes injecting nitrogen or an inert gas into the canister.

본 발명에 의하면, 엠프티 알람(Empty alarm) 발생과 동시에 3-웨이 밸브(3-Way valve)가 동작하여 캐니스터의 압력이 벤트(vent)된다. 그리고, 압력이 벤트된 이후 설비에서 알람 클리어(Alarm clear)와 동시에 상시 질소 가압 상태로 전환된 다.According to the present invention, the pressure of the canister is vented by operating a 3-way valve simultaneously with the occurrence of an empty alarm. Then, after the pressure is vented, the equipment is switched to the nitrogen pressurization state at the same time as the alarm clear (Alarm clear).

이하, 본 발명에 따른 케미컬 분사 장치 및 캐니스터 압력 조절 방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the chemical injection device and the canister pressure control method according to the present invention will be described in detail.

종래 기술과 비교한 본 발명의 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.Advantages of the present invention over prior art will become apparent from the detailed description and claims with reference to the accompanying drawings. In particular, the present invention is well pointed out and claimed in the claims. However, the present invention may be best understood by reference to the following detailed description in conjunction with the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements throughout the various drawings.

(실시예)(Example)

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 장치를 도시한 구성도이다. 도 1을 참조하면, 본 실시예의 장치는 케미컬(chemical)이 채워지는 보틀(112; bottle)이 안치되는 캐니스터(110; canister)를 갖는다. 캐니스터(110)를 가압된 상태로 유지하게 하면 보틀(112) 내에 채워진 케미컬이 분사되는데, 캐니스터(110)와 보틀(112) 내부의 상태를 감지하고 제어하는 구성은 다음과 같다.1 is a block diagram showing a chemical injection device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the device of this embodiment has a canister 110 in which a bottle 112 filled with chemical is placed. When the canister 110 is maintained in a pressurized state, the chemical filled in the bottle 112 is injected, and the configuration for detecting and controlling the state of the canister 110 and the bottle 112 is as follows.

보틀(112) 내부의 상태를 감지하고 제어하는 것은 보틀(112)에 채워지는 케미컬의 수위 상태를 감지하는 센서(140; sensor)와 케미컬의 분사를 조절하는 펌프(160; pump)와 케미컬의 기포를 제거하는 밸브(150; valve)로 이루어진 구성에 의해 구현된다. 여기서의 밸브(150)는 작업자가 직접 수동으로 케미컬의 기포를 제거하기 위해 조작할 수 있는 수동 밸브(150; manual valve)이다.Sensing and controlling the condition inside the bottle 112 includes a sensor 140 for detecting the level of the chemical level of the bottle 112 and a pump 160 for controlling the injection of the chemical and a bubble of the chemical. It is implemented by the configuration consisting of a valve (150; valve) for removing. The valve 150 here is a manual valve 150 which can be operated by the operator to manually remove bubbles of the chemical.

캐니스터(110) 내부의 상태를 감지하고 제어하는 것은 내부 압력을 제어하는 밸브(120)와 이상 고장시 케미컬의 분사를 중지시킬 수 있도록 캐니스터(110) 압력을 자동으로 벤트시키는 부재(130)로 이루어진 구성에 의해 구현된다. 여기서의 밸브(120)는 보틀(112) 내의 케미컬이 소모되어 엠프티 알람(empty alarm)이 발생됨고 동시에 작동하여 캐니스터(110)의 압력을 자동으로 벤트(vent)시키는 자동 밸브(120; automatic valve)이다. 이러한 자동 밸브(120)는 캐니스터(110)에 질소(N2)와 같은 화학적으로 안정한 가스를 주입하여 가압 상태로 만들어주고 엠프티 알람과 동시에 압력을 벤트시킬 수 있기에 적합한 3-웨이 밸브(120; 3-way valve)이다. 여기서의 화학적으로 안정한 가스는 질소 이외에 헬륨이나 아르곤과 같은 영족 기체를 포함한다.Sensing and controlling the state inside the canister 110 consists of a valve 120 that controls the internal pressure and a member 130 that automatically vents the canister 110 pressure to stop the injection of the chemical in the event of an abnormal failure. Implemented by the configuration. Here, the valve 120 is an automatic valve 120 which automatically vents the pressure of the canister 110 by operating simultaneously with emptying of the chemical in the bottle 112 and generating an empty alarm. )to be. The automatic valve 120 is a three-way valve 120 suitable for injecting a chemically stable gas such as nitrogen (N 2 ) into the canister 110 to make it pressurized and vent pressure at the same time as the empty alarm; 3-way valve). Chemically stable gases here include noble gases such as helium and argon in addition to nitrogen.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 장치에 있어서 자동 3-웨이 밸브를 확대한 구성도이다. 도 2를 참조하면, 본 실시예의 자동 3-웨이 밸브(120)는 본 시스템의 작동을 관할하는 제어부와 커뮤니케이션(도 2의 COM 표시)하고 있다. 이러한 자동 3-웨이 밸브(120)는 보틀(112)로부터 케미컬이 분사될 수 있도록 질소(N2)를 이용하여 캐니스터(110)를 가압하는 상시 질소(N2) 가압 상태, 즉 질소 가압 상태 방향으로는 밸브(120)가 열려 있고(도 2의 NO 표시) 압력 벤트 방향으로는 밸브(120)가 닫혀 있는 상태(도 2의 NC 표시)를 유지하고 있다.Figure 2 is an enlarged configuration diagram of the automatic three-way valve in the chemical injection device according to the embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the automatic three-way valve 120 of this embodiment is in communication with a control unit (COM indication of FIG. 2) that governs the operation of the system. The automatic three-way valve 120 is always in nitrogen (N 2 ) pressurized state, that is, nitrogen pressurized direction to pressurize the canister 110 using nitrogen (N 2 ) so that the chemical can be injected from the bottle 112 In this case, the valve 120 is opened (NO display in FIG. 2) and the valve 120 is closed in the pressure vent direction (NC display in FIG. 2).

그런데, 센서(140)가 보틀(112) 내 케미컬이 소모되었음을 감지하여 엠프티 알람이 발생되는 경우 자동 3-웨이 밸브(120)를 제어부에서 신호(signal)를 상시 질소 가압 상태에서 압력 벤트 상태로 동작한다. 캐니스터(120)의 압력이 벤트되면 작업자 또는 소정의 로봇이 보틀(112)을 교체한다. 보틀(112)이 교체되면 제어부에서 알람 리트라이(alarm retry)와 동시에 밸브(120)가 동작하여 상시 질소(N2) 가압 상태로 전환된다.However, when the sensor 140 detects that the chemical in the bottle 112 has been exhausted and an empty alarm is generated, the automatic three-way valve 120 controls the signal from the nitrogen pressure to the pressure vent state at all times. It works. When the pressure in the canister 120 is vented, an operator or a predetermined robot replaces the bottle 112. Bottle 112 is switched to the alarm of retries (retry alarm) and at the same time valve 120 is operated in constant nitrogen (N 2) pressure conditions in the control unit when the replacement.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 케미컬 분사 장치에 있어서 캐니스터의 압력 조절 방법을 보여주는 흐름도이다. 도 3을 참조하면, 캐니스터(110)를 상시 질소 가압 상태로 유지하여 케미컬을 분사하는 경우 보틀(112) 내에 케미컬이 소모되면 엠프티 알람이 발생한다. 이 경우, 자동 3-웨이 밸브(120)는 설비에서 엠프티 알람 발생과 동시에 동작하여 상시 질소(N2) 가압 상태에서 압력 벤트 상태로 전환되어 캐니스터(130)의 내부 압력을 낮추는 기능을 가진다. 그리고, 보틀(112)의 교체가 완료되어 알람 리트라이(alarm retry)와 동시에 자동 3-웨이 밸브(120)가 기존 상시 질소(N2) 가압 상태로 전환되게 하는 기능을 아울러 갖춤으로써 작업자의 조작 실수로 인한 작업 안전 사고가 예방된다.3 is a flow chart showing a pressure control method of the canister in the chemical injection device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, when chemical is injected into the bottle 112 while maintaining the canister 110 at a constant nitrogen pressurization, an empty alarm occurs. In this case, the automatic three-way valve 120 operates at the same time as the occurrence of an empty alarm in the facility is switched to the pressure vent state in the nitrogen (N 2 ) pressurized state has a function to lower the internal pressure of the canister 130. Then, the replacement of the bottle 112 is completed, and at the same time as the alarm retry (alarm retry) and the automatic three-way valve 120 has a function to switch to the existing normal nitrogen (N 2 ) pressure state as well as the operator's operation Accidental work safety accidents are prevented.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는 데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The foregoing detailed description illustrates the present invention. In addition, the foregoing description merely shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. And, it is possible to change or modify within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, the scope equivalent to the written description, and / or the skill or knowledge in the art. The above-described embodiments are intended to illustrate the best state in carrying out the present invention, the practice in other states known in the art for using other inventions such as the present invention, and the specific fields of application and uses of the invention. Various changes are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 엠프티 알람(Empty alarm) 발생과 동시에 3-웨이 밸브(3-Way valve)가 동작하여 캐니스터의 압력이 벤트(vent)되고, 압력이 벤트된 이후 상시 질소 가압 상태로 변경되기 위해선 설비에서 알람 클리어(Alarm clear)와 동시에 상시 질소 가압 상태로 전환된다. 이에 따라, 캐니스터 내부의 보틀 교환을 위해 작업자가 직접 압력을 벤트시키는데 따르는 실수로 인한 작업 사고(human error)가 원천적으로 방지되는 효과가 있다. 또한, 작업자가 직접 압력을 벤트시키지 않고 자동으로 벤트가 되므로 작업 준비 교체 시간이 단축되는 효과도 있다.As described in detail above, according to the present invention, after the occurrence of the empty alarm (Empty alarm), the 3-way valve (3 way valve) is operated to vent the pressure of the canister (vent), after the pressure is vented In order to be changed to the nitrogen pressurization state, the equipment is changed to the nitrogen pressurization state at the same time as the alarm clear. Accordingly, there is an effect that the human error due to a mistake caused by the operator to directly vent the pressure for bottle replacement inside the canister is prevented at the source. In addition, since the operator is automatically vented without venting the pressure directly, there is also an effect that the work preparation replacement time is shortened.

Claims (8)

케미컬이 채워지는 보틀과;A bottle filled with chemicals; 상기 보틀이 안치되는 캐니스터와;A canister in which the bottle is placed; 상기 케미컬이 분사되는 경우에는 상기 캐니스터를 가압 상태로 유지하고, 상기 케미컬의 보충이 필요한 경우에는 상기 캐니스터의 압력을 자동으로 벤트시키고, 상기 케미컬이 보충되면 상기 캐니스터를 가압 상태로 자동으로 전환시키는 밸브;When the chemical is injected, the canister is kept in a pressurized state, and when the chemical needs to be refilled, the valve automatically vents the pressure, and when the chemical is refilled, the valve automatically switches the pressurized state. ; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.Chemical injection device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 밸브는 3-웨이 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.Wherein said valve comprises a three-way valve. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 밸브는 상기 캐니스터에 질소 또는 불활성 가스를 주입하여 상기 캐니스터를 가압 상태로 유지하는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.The valve injects nitrogen or an inert gas into the canister to maintain the canister in a pressurized state. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 케미컬로부터 기포를 제거하는 밸브와, 상기 보틀 내에서의 상기 케미컬의 수위를 감지하는 센서와, 상기 케미컬을 분사하는데 필요한 힘을 발생시키는 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.And a pump for generating a force necessary for injecting the chemical, a valve for removing bubbles from the chemical, a sensor for sensing the level of the chemical in the bottle, and a pump for generating the force required to inject the chemical. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 케미컬을 분사하는 공정시 이상 고장이 발생하는 경우 상기 캐니스터의 압력을 자동으로 벤트시키는 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미컬 분사 장치.And a member which automatically vents the pressure of the canister when an abnormal failure occurs in the process of injecting the chemical. 캐니스터를 가압 상태로 유지하여 케미컬을 분사하는 단계와;Maintaining the canister under pressure to inject chemicals; 상기 케미컬의 보충이 필요하여 발생하는 신호와 동시에 상기 캐니스터의 압력을 자동으로 벤트시키는 단계와;Automatically venting the pressure of the canister at the same time as a signal generated due to the need for replenishment of the chemical; 상기 케미컬의 보충이 완료되어 발생하는 신호와 동시에 상기 캐니스터를 상기 가압 상태로 자동으로 전환시키는 단계;Automatically switching the canister to the pressurized state simultaneously with a signal generated by completion of the replenishment of the chemical; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터의 압력 조절 방법.Pressure control method of the canister comprising a. 캐니스터를 가압 상태로 유지하여 상기 캐니스터 내에 안치된 보틀로부터 케미컬을 분사하는 단계와;Maintaining the canister in a pressurized state to eject chemical from the bottle settled in the canister; 상기 케미컬이 소모되는 경우 엠프티 알람이 발생되고, 이와 동시에 3-웨이 밸브가 자동으로 작동하여 상기 캐니스터 내부의 압력을 벤트시키는 단계와;An empty alarm is generated when the chemical is exhausted, and at the same time a three-way valve automatically operates to vent the pressure inside the canister; 상기 보틀을 교체하는 단계와;Replacing the bottle; 상기 보틀의 교체가 완료된 경우 알람 리트라이 신호가 발생되고, 이와 동시 에 상기 3-웨이 밸브가 자동으로 작동하여 상기 캐니스터를 가압 상태로 전환시키는 단계;An alarm retry signal is generated when the bottle is replaced, and at the same time, the three-way valve is automatically operated to switch the canister to a pressurized state; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터의 압력 조절 방법.Pressure control method of the canister comprising a. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 캐니스터를 가압 상태로 전환시키는 단계는, 상기 캐니스터 내부에 질소 또는 불활성 가스를 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐니스터의 압력 조절 방법.The step of converting the canister to a pressurized state, the pressure control method of the canister, characterized in that it comprises the step of injecting nitrogen or inert gas into the canister.
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KR100768326B1 (en) * 2007-04-13 2007-10-17 주식회사 케이씨텍 Chemical supplying apparatus
KR101335094B1 (en) * 2007-08-31 2013-12-03 주식회사 케이씨텍 Apparatus for reduction of Residual Chemical

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