KR20060115537A - Apparatus and method for fabricating flat display divice - Google Patents

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KR20060115537A
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Abstract

An apparatus and a method for fabricating a flat display device are provided to spraying hot water to a substrate and recover a warping state of the substrate by using a hot water spring cooler. An apparatus for fabricating a flat display device includes a substrate(51), a scribing table(70), and a hot water supply unit(78). A plurality of display elements(65) are formed on the substrate. The substrate is loaded on the scribing table. The scribing table is used for performing a separation process of the display elements. The hot water supply unit is installed apart from the scribing table above the scribing table in order to supply heat to the substrate which is loaded on the scribing table.

Description

평판 표시소자의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING FLAT DISPLAY DIVICE}Manufacturing apparatus and method of manufacturing a flat panel display device {APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING FLAT DISPLAY DIVICE}

도 1은 종래의 유기 전계발광 표시소자를 개략적으로 나타내는 도면.1 is a view schematically showing a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 종래의 유기 전계발광 어레이가 형성된 기판과 캡과의 합착을 개략적으로 나타내는 도면.FIG. 2 is a schematic view illustrating bonding of a cap and a substrate on which a conventional organic electroluminescent array is formed. FIG.

도 3은 종래의 휘어진 유기 전계발광 표시소자의 기판이 안착된 스크라이빙 테이블을 개략적으로 나타내는 도면.3 is a view schematically showing a scribing table on which a substrate of a conventional curved organic electroluminescent display device is mounted.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광 표시소자의 제조장치를 개략적으로 나타내는 단면도.4 is a cross-sectional view schematically illustrating an apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 스크라이빙 테이블에 안착된 휘어진 기판을 펴는 원리를 설명하기 위한 단면도.Figure 5 is a cross-sectional view for explaining the principle of spreading the curved substrate seated on the scribing table of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 ><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

1, 51 : 기판 2 : 애노드전극1, 51: substrate 2: anode electrode

3 : 절연막 4 : 정공관련층3: insulating film 4: hole related layer

5 : 발광층 6 : 전자관련층5: light emitting layer 6: electron related layer

7 : 캐소드전극 8 : 게터7 cathode electrode 8 getter

9, 59 : 캡 10, 60 : 실런트9, 59: cap 10, 60: sealant

11 : 반투성막 15, 65 : 유기 전계발광 어레이11: semi-permeable membrane 15, 65: organic electroluminescent array

18 : 캡트레이 19 : 푸싱장치18: Cap tray 19: Pushing device

20 : 스크라이빙 테이블 22 : 쉴드20: scribing table 22: shield

24 : 큐어링 마스크 26 : 마스크 홀더24: Curing Mask 26: Mask Holder

78 : 온수 공급 스프링 쿨러78: hot water supply sprinkler

본 발명은 평판 표시소자에 관한 것으로 특히, 수율을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display device, and more particularly, to an apparatus and a manufacturing method of a flat panel display device capable of improving yield.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 유기 전계발광(Electro-luminescence:이하 "EL "이라 함) 표시소자 등이 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such flat panel displays include liquid crystal displays (hereinafter referred to as "LCDs"), field emission displays (FEDs), plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs), and organic electric fields. Electro-luminescence (hereinafter, referred to as "EL") display element.

이들 중 PDP는 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박 단소하면서도 대화 면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 적용된 액티브 매트릭스 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있고, 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 특성이 있다. Among them, PDP is attracting attention as a display device which is light and simple because of its simple structure and manufacturing process, but is most advantageous for large screens. However, PDP has low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. On the other hand, an active matrix LCD having a thin film transistor (hereinafter referred to as a TFT) as a switching element has a disadvantage in that it is difficult to large screen due to the semiconductor process and consumes a lot of power due to the backlight unit. , Optical prism sheet, diffusion plate, etc. are characterized by high optical loss and narrow viewing angle.

이에 비하여, EL 표시소자는 발광층의 재료에 따라 무기 EL 표시소자와 유기 EL 표시소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기 EL 표시소자는 유기 EL 표시소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R(Red), G(Green), B(Blue)의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기 EL 표시소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다.In contrast, the EL display device is classified into an inorganic EL display device and an organic EL display device according to the material of the light emitting layer. The EL display device is a self-luminous device that emits light by itself. In comparison with the organic EL display device, the inorganic EL display device has higher power consumption and cannot obtain high luminance, and cannot emit various colors of R (Red), G (Green), and B (Blue). On the other hand, the organic EL display device is driven at a low DC voltage of several tens of volts, has a fast response speed, obtains high luminance, and emits various colors of R, G, and B, which is suitable for next-generation flat panel display devices. .

도 1은 종래 유기 EL 표시소자를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a view schematically showing a conventional organic EL display element.

도 1을 참조하면, 종래 유기 EL 표시소자는 기판(1) 상에 형성된 애노드전극(2), 애노드전극(2)이 형성된 기판(1) 상에 형성된 절연막(3), 정공관련층(4), 발광층(Emitting Layer : EMI, 5), 전자관련층(6)이 적층된다. 전자관련층(6) 상에는 금속전극으로 캐소드전극(7)이 형성된다.Referring to FIG. 1, a conventional organic EL display device includes an anode electrode 2 formed on a substrate 1, an insulating film 3 formed on a substrate 1 on which an anode electrode 2 is formed, and a hole related layer 4. An emission layer (EMI) 5 and an electron related layer 6 are stacked. On the electron-related layer 6, a cathode electrode 7 is formed as a metal electrode.

애노드전극(2) 및 절연막(3)은 기판(1) 상에 투명전극물질 및 절연물질을 도포한 후 사진식각법(Photolithgraphy) 등에 의해 차례로 형성된다. 정공관련층(4) 에는 애노드전극(2) 상에 정공주입층(Hole Injection Layer : HIL), 정공수송층(Hole Transport Layer : HTL)이 순차적으로 형성된다.The anode electrode 2 and the insulating film 3 are sequentially formed by applying a transparent electrode material and an insulating material on the substrate 1 and then by photolithgraphy. In the hole related layer 4, a hole injection layer (HIL) and a hole transport layer (HTL) are sequentially formed on the anode electrode 2.

발광층(5)은 빛을 내는 기능을 하지만 주로 전자 혹은 정공을 운반하는 기능도 함께 하는 것이 대부분이다.The light emitting layer 5 functions to emit light, but mostly also serves to transport electrons or holes.

전자관련층(6)에는 전자수송층(Electron Transport Layer : ETL), 전자주입층(Electron Injection Layer : EIL)이 발광층(5) 상에 순차적으로 적층된다. 정공관련층(4), 발광층(5) 및 전자관련층(6)은 저분자 화합물인 경우에는 진공증착에 의해 형성되며, 고분자 화합물의 경우에는 스핀 코팅(Spin Coating) 또는 잉크젯 프린팅 방식 등에 의해 형성된다. In the electron related layer 6, an electron transport layer (ETL) and an electron injection layer (EIL) are sequentially stacked on the light emitting layer 5. The hole related layer 4, the light emitting layer 5, and the electron related layer 6 are formed by vacuum deposition in the case of a low molecular weight compound, and are formed by spin coating or inkjet printing in the case of a polymer compound. .

전자관련층(6) 상에 캐소드전극(7)이 형성된다. 캐소드전극(7)은 반사율이 높은 Al, Ag 등이 쓰일 수 있으나 많은 경우 알루미늄(Al)과 같은 금속이 이용된다.The cathode electrode 7 is formed on the electron related layer 6. The cathode 7 may be made of Al, Ag, etc. having high reflectance, but in many cases, a metal such as aluminum (Al) is used.

이러한 유기 EL 표시소자는 애노드전극(2) 및 캐소드전극(7)에 구동전압 및 전류가 인가되면 정공주입층 내의 정공과 전자주입층 내의 전자는 각각 발광층(5) 쪽으로 진행하여 발광층(5) 내의 형광물질을 여기시키게 된다. 이렇게 발광층(5)으로부터 발생되는 가시광은 투명한 애노드전극(2)을 통해 밖으로 빠져 나오는 원리로 화상 또는 영상을 표시하게 된다.In the organic EL display device, when a driving voltage and a current are applied to the anode electrode 2 and the cathode electrode 7, the holes in the hole injection layer and the electrons in the electron injection layer proceed toward the light emitting layer 5, respectively. The fluorescent material is excited. In this way, the visible light generated from the light emitting layer 5 displays an image or an image on the principle that the light exits through the transparent anode electrode 2.

한편, 유기 EL 표시소자(15)는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. On the other hand, the organic EL display element 15 has a property of being easily deteriorated by moisture and oxygen.

이러한 문제를 해결하기 위하여 봉지공정 또는 인캡슐레이션(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 애노드전극(2) 등의 유기 EL 표시소자(15)가 형성된 기판(1)과 캡(9)이 에폭시 수지와 같은 실런트(10)를 통해 합착된다. 캡(9)에는 그 배면 중앙부에 수분 및 산소를 흡수하기 위한 게터(Getter : 8)가 충진되어 있고, 게터(8)를 고정시킴과 아울러 수분 및 산소 등이 드나들도록 반투성막(11)이 부착된다.In order to solve this problem, the encapsulation process or the encapsulation process is carried out, so that the substrate 1 and the cap 9 on which the organic EL display elements 15 such as the anode electrode 2 are formed are sealed with an epoxy resin. Is cemented through (10). The cap 9 is filled with a getter (Getter 8) for absorbing moisture and oxygen in the central portion of the back thereof, and the semipermeable membrane 11 is attached to fix the getter 8 and to enter the moisture and oxygen. do.

도 2는 종래의 유기 EL 어레이가 형성된 기판과 캡과의 합착을 개략적으로 나타내는 도면이다.Fig. 2 is a view schematically showing the bonding between a cap and a substrate on which a conventional organic EL array is formed.

도 2를 참조하면, 다수의 유기 EL 어레이(15)가 형성된 기판(1) 하부에는 기판(1)과의 합착영역에 실런트(10)가 도포된 캡(9)이 안착되어 있는 캡트레이(18)가 위치하게 되고, 캡트레이(18) 하부에는 캡(9)이 기판(1)과 밀착될 수 있도록 캡(9)을 밀어주는 푸싱장치(19)가 위치하게 된다.Referring to FIG. 2, a cap tray 18 on which a cap 9 having a sealant 10 coated thereon is seated under a substrate 1 on which a plurality of organic EL arrays 15 are formed. ) Is positioned, and a pushing device 19 for pushing the cap 9 is positioned below the cap tray 18 so that the cap 9 may be in close contact with the substrate 1.

기판(1)의 상부에는 기판(1) 상에 형성된 유기 EL 어레이(15)와 대응되도록 형성된 쉴드(Shield : 22)를 가지는 큐어링(Curing) 마스크(24)가 마스크 홀더(26)에 의해 고정되어 위치하게 된다. 마스크(24)의 쉴드(22)는 기판(1)과 캡(9)의 합착시 기판(1)에 조사되는 자외선(UV)에 유기 EL 어레이(15)가 노출되지 않게 함으로써 유기 EL 어레이(15)의 유기물질 등의 손상을 방지하는 역할을 한다. A curing mask 24 having a shield 22 formed on the substrate 1 to correspond to the organic EL array 15 formed on the substrate 1 is fixed by the mask holder 26. To be located. The shield 22 of the mask 24 prevents the organic EL array 15 from being exposed to ultraviolet rays (UV) irradiated to the substrate 1 when the substrate 1 and the cap 9 are bonded together, thereby preventing the organic EL array 15 from being exposed. ) To prevent damage to organic materials.

이렇게 마스크(24) 및 캡트레이(18)가 기판(1)의 상하에 위치한 후 마스크(24)와 기판(1)을 얼라인 함과 아울러 밀착시키고 푸싱장치(19)로 캡(9)을 가압함으로써 캡(9)이 실런트(10)를 통해 기판(1)과 합착된다. 이 때, 마스크(24)의 소정영역을 투과한 자외선(UV)에 의해 실런트(10)가 경화됨으로써 캡(9)과 기판(1)은 합착되게 된다.After the mask 24 and the cap tray 18 are positioned above and below the substrate 1, the mask 24 and the substrate 1 are aligned and adhered to each other, and the cap 9 is pressed by the pushing device 19. As a result, the cap 9 is bonded to the substrate 1 through the sealant 10. At this time, the sealant 10 is cured by ultraviolet (UV) light transmitted through a predetermined region of the mask 24, so that the cap 9 and the substrate 1 are bonded to each other.

이 후, 스크라이빙 공정을 통하여 캡(9)과 합착된 기판(1) 상에 형성된 다수의 유기 EL 어레이(15)들을 스크라이빙함으로써 유기 EL 표시소자는 완성된다.Thereafter, the organic EL display device is completed by scribing a plurality of organic EL arrays 15 formed on the substrate 1 bonded to the cap 9 through a scribing process.

유기 EL 표시소자의 스크라이빙은 인캡슐레이션 공정이 실시된 다수의 유기 EL 표시소자(16)들이 형성된 기판(1)이 스크라이빙 테이블(20)에 안착되고 스크라이빙 휠(미도시)이 기판(1) 상에 소정 깊이의 크랙을 형성함으로써 유기 EL 표시소자(16)가 분리되도록 스크라이빙함으로써 수행된다.In the scribing of the organic EL display element, a substrate 1 on which a plurality of organic EL display elements 16 having been encapsulated is formed is seated on the scribing table 20 and a scribing wheel (not shown). This is performed by scribing the organic EL display element 16 to be separated by forming cracks of a predetermined depth on the substrate 1.

그러나, 이러한 기판(1)에는 인캡슐레이션을 공정에서 실런트(10)의 경화시 조사되는 자외선으로부터의 열에 의해 그 외곽부가 휘어지는 현상이 나타난다. 이에 따라, 스크라이빙 테이블(20)에 안착되는 기판(1)은 도 3에 도시된 바와 같이 그 외곽부가 휘어진 체 스크라이빙 테이블(20)에 안착된다.However, such a substrate 1 exhibits a phenomenon in which its outer portion is bent by heat from ultraviolet rays which is irradiated during curing of the sealant 10 in the encapsulation process. Accordingly, the substrate 1 seated on the scribing table 20 is seated on the sieve scribing table 20 whose outer portion is bent as shown in FIG.

다수의 유기 EL 표시소자(16)가 형성된 기판(1)은 그 외곽부가 휘어진 상태로 스크라이빙 테이블(20)에 안착됨에 의하여 스크라이빙 테이블(20)에 바르게 안착되지 못하며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 스크라이빙은 기판(2)의 외곽부가 정확하게 얼라인 되지 않은 체 수행되게 된다.The substrate 1 on which the plurality of organic EL display elements 16 are formed is not properly seated on the scribing table 20 because the substrate 1 is seated on the scribing table 20 with its outer portion bent. The scribing of the display device is performed without the outer portion of the substrate 2 aligned correctly.

외곽부가 정확하게 얼라인 되지 않은 기판(2)에 스크라이빙을 실시하게 되면 기판(2)의 외곽부에 형성된 유기 EL 표시소자(16)들은 정확한 스크라이빙이 이루어지지 않게 되며 따라서, 부정확한 스크라이빙에 의하여 유기 EL 표시소자(16)는 불량으로 판별된다. If the outer portion is scribed to the substrate 2 which is not aligned correctly, the organic EL display elements 16 formed at the outer portion of the substrate 2 are not scribed correctly, and thus an incorrect scribing is performed. By scribing, the organic EL display element 16 is determined to be defective.

이와 같이, 부정확한 스크라이빙에 의하여 유기 EL 표시소자(16)가 불량으로 판별될 경우 유기 EL 표시소자의 제조는 수율이 떨어지게 되는 문제를 가진다.As described above, when the organic EL display element 16 is judged to be defective due to incorrect scribing, the manufacturing of the organic EL display element has a problem that the yield is reduced.

따라서, 본 발명의 목적은 정확한 스크라이빙을 통하여 수율을 향상시킬 수 있는 평판 표시소자의 제조장치 및 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an apparatus and method for manufacturing a flat panel display device which can improve yield through accurate scribing.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시소자의 제조장치는 다수의 표시소자들이 형성된 기판과; 상기 기판이 안착되어 상기 다수의 표시소자의 분리공정이 실시될 스크라이빙 테이블과; 상기 스크라이빙 테이블 상에 상기 스크라이빙 테이블과 일정 간격 이격된 위치에 설치되어 상기 스크라이빙 테이블 상에 안착된 상기 기판에 소정의 열을 공급하기 위하여 소정 시간동안 온수를 분사하는 온수 공급부를 구비한다.In order to achieve the above object, an apparatus for manufacturing a flat panel display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate formed with a plurality of display elements; A scribing table on which the substrate is mounted so that the plurality of display elements may be separated; A hot water supply unit installed at a position spaced apart from the scribing table at a predetermined interval on the scribing table to spray hot water for a predetermined time to supply predetermined heat to the substrate seated on the scribing table Equipped.

상기 평판 표시소자의 제조장치는 상기 기판의 온도를 감지하는 센서를 더 구비하며, 상기 기판의 온도가 소정 온도 이상이 되면 상기 온수의 분사를 중단한다.The apparatus for manufacturing a flat panel display device may further include a sensor for sensing a temperature of the substrate, and stops spraying the hot water when the temperature of the substrate becomes higher than a predetermined temperature.

상기 온수의 온도는 30℃ 이상 50℃ 이하이다.The temperature of the said hot water is 30 degreeC or more and 50 degrees C or less.

상기 기판의 소정 온도는 30℃ 이상 40℃ 이하이다.The predetermined temperature of the said board | substrate is 30 degreeC or more and 40 degrees C or less.

상기 온수 공급부는 스프링 쿨러를 포함한다.The hot water supply unit includes a sprinkler.

상기 센서는 적외선 센서를 포함한다.The sensor includes an infrared sensor.

본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시소자의 제조방법은 다수의 표시소자들이 형성된 기판을 스크라이빙 테이블 상에 안착시키는 단계와; 상기 스크라이빙 테이블과 일정 간격 이격된 위치에서 상기 스크라이빙 테이블 상에 안착된 상기 기판에 소정의 열을 공급하기 위하여 소정 시간동안 상기 기판에 온수를 분사하는 단계와; 상기 기판 상에 형성된 상기 다수의 표시소자들을 분리하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a flat panel display device according to an embodiment of the present invention includes the steps of mounting a substrate on which a plurality of display devices are formed on a scribing table; Spraying hot water on the substrate for a predetermined time to supply predetermined heat to the substrate seated on the scribing table at a position spaced apart from the scribing table; Separating the plurality of display elements formed on the substrate.

상기 평판 표시소자의 제조방법은 상기 기판의 온도를 감지하는 단계를 더 포함하며, 상기 기판의 온도가 소정 온도 이상이 되면 상기 온수의 분사를 중단한다.The method of manufacturing the flat panel display device may further include sensing a temperature of the substrate, and stops spraying the hot water when the temperature of the substrate becomes higher than a predetermined temperature.

이하, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically showing an apparatus for manufacturing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치는 캡과 합착된 다수의 유기 EL 표시소자(65)들이 형성된 기판(51)과, 기판(51)이 안착되어 다수의 유기 EL 표시소자(65)들의 분리공정이 실시될 스크라이빙 테이블(70)과, 스크라이빙 테이블(70) 상에 안착된 기판(51)에 소정의 열을 공급하기 위하여 소정 시간동안 온수를 분사하는 온수 공급 스프링 쿨러(78)를 구비한다.Referring to FIG. 4, an apparatus for manufacturing an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes a substrate 51 having a plurality of organic EL display elements 65 bonded to a cap, and a plurality of substrates 51 mounted thereon. Hot water for a predetermined time in order to supply a predetermined heat to the scribing table 70 to be separated from the organic EL display elements 65 and the substrate 51 seated on the scribing table 70. It is provided with a hot water supply sprinkler 78 for spraying.

본 발명의 온수 공급 스프링 쿨러(78)는 통상적인 스프링 쿨러로부터 냉수가 분사되는 것과는 달리, 약 30℃ ~ 50℃의 온수가 분사된다.In the hot water supply sprinkler 78 of the present invention, unlike cold water is injected from a conventional sprinkler, hot water of about 30 ° C to 50 ° C is injected.

다수의 유기 EL 표시소자(65)들이 형성된 기판(51)은 인캡슐레이션 공정에서 실런트의 경화를 위해 조사되는 자외선에 의해 휘어진 상태로 스크라이빙 테이블 (70) 상에 안착된다. 이로 인해, 기판(51)의 외곽부는 스크라이빙 테이블(70)에 접촉되지 않는다.The substrate 51 on which the plurality of organic EL display elements 65 are formed is mounted on the scribing table 70 in a state of being bent by ultraviolet rays irradiated for curing the sealant in the encapsulation process. As a result, the outer portion of the substrate 51 does not contact the scribing table 70.

온수 공급 스프링 쿨러(78)는 통상적으로 사용되는 스프링 쿨러와 동일한 형태로 스크라이빙 테이블(70) 상에 스크라이빙 테이블(70)과 일정 간격 이격된 위치에 설치되어 스크라이빙 테이블(70) 상에 안착된 휘어진 기판(51)에 온수를 분사함으로써 휘어진 기판(51)의 온도를 상승시키게 된다.The hot water supply sprinkler 78 is installed at a position spaced apart from the scribing table 70 on the scribing table 70 in the same form as a commonly used sprinkler by the scribing table 70. The temperature of the curved substrate 51 is raised by spraying hot water on the curved substrate 51 seated thereon.

이 때, 온수 공급 스프링 쿨러(78)로부터 분사되는 온수는 약 30℃ ~ 50℃의 온도를 가진다.At this time, the hot water injected from the hot water supply sprinkler 78 has a temperature of about 30 ° C ~ 50 ° C.

온수 공급 스프링 쿨러(78)로부터 분사되는 온수는 휘어진 기판(51)이 스크라이빙 테이블(70) 상에서 자연스럽게 펴질 수 있는 온도인 약 30℃ ~ 40℃로 휘어진 기판(51)의 온도를 상승시키도록 한다.The hot water sprayed from the hot water supply sprinkler 78 raises the temperature of the curved substrate 51 to about 30 ° C. to 40 ° C., which is a temperature at which the curved substrate 51 may naturally spread on the scribing table 70. do.

여기서, 온수 공급 스프링 쿨러(78)로부터 분사되는 온수가 너무 짧은 시간동안 기판(51)에 분사되게 되면 휘어진 기판(51)의 온도가 휘어진 기판(51)을 펴지게 하는 소정 온도 범위까지 상승되지 않을 수 있으며 또한, 오랜 시간동안 기판(51)에 온수가 분사되는 경우 휘어진 기판(51)의 온도를 크게 상승시켜 더욱 휘게 하거나 기판(51)에 손상을 줄 수 있다. 이에 따라, 온수 공급 스프링 쿨러(78)로부터 분사되는 온수는 기판(51)의 크기 및 휘어진 정도에 따라 소정의 시간동안 분사되도록 그 분사시간이 조정된다.Here, when the hot water sprayed from the hot water supply sprinkler 78 is sprayed onto the substrate 51 for too short a time, the temperature of the curved substrate 51 may not rise to a predetermined temperature range to spread the curved substrate 51. In addition, when hot water is sprayed onto the substrate 51 for a long time, the temperature of the bent substrate 51 may be greatly increased to further deflect or damage the substrate 51. Accordingly, the hot water sprayed from the hot water supply sprinkler 78 is adjusted so that the hot water is sprayed for a predetermined time according to the size and the degree of bending of the substrate 51.

또는, 본 발명의 유기 EL 표시소자의 제조장치는 외부에 적외선 센서(도시되지 않음)를 더 구비할 수 있으며 적외선 센서를 통하여 기판(51)의 온도를 감지하 고 감지된 온도가 30℃ ~ 40℃인 경우에 자동으로 온수 공급 스프링 쿨러(78)로부터 분사되는 온수를 차단하도록 할 수도 있다.Alternatively, the apparatus for manufacturing an organic EL display device of the present invention may further include an infrared sensor (not shown) on the outside, and detects the temperature of the substrate 51 through the infrared sensor, and the detected temperature is 30 ° C. to 40 °. In the case of ℃, it may be to automatically block the hot water injected from the hot water supply sprinkler 78.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명의 유기 EL 표시소자의 제조장치에 의하여 도 5에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 테이블(70) 상에 그 외곽부가 휘어진 기판(51)이 안착되는 경우 온수 공급 스프링 쿨러(78)로부터 약 30℃ ~ 50℃의 온수가 분사되며 이에 따라, 휘어진 기판(51)의 온도는 약 30℃ ~ 40℃로 상승하게 되어 휘어진 기판(51)은 스크라이빙 테이블(70) 상에서 자연스럽게 펴지게 된다.As shown in FIG. 5 by the manufacturing apparatus of the organic EL display element of the present invention having such a configuration, the hot water supply sprinkler when the substrate 51 is bent on the scribing table 70 is seated Hot water of about 30 ° C. to 50 ° C. is injected from the 78 so that the temperature of the bent substrate 51 rises to about 30 ° C. to 40 ° C. so that the bent substrate 51 is on the scribing table 70. It will spread naturally.

따라서, 종래 외곽부가 휘어진 기판(51)을 그대로 스크라이빙함에 따라 정확한 얼라인이 이루어지지 않아 발생하던 불량을 줄임으로써 유기 EL 표시소자의 수율은 향상된다. Therefore, the yield of the organic EL display device is improved by reducing defects caused by not aligning the substrate 51 as it is.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조장치는 인캡슐레이션 공정에서 자외선에 의하여 휘어진 기판에 온수 공급 스프링 쿨러를 통하여 온수를 분사함으로써 휘어진 기판의 온도를 기판이 자연스럽게 스크라이빙 테이블 상에서 펴질 수 있는 온도까지 상승시켜 휘어진 기판을 펴게 된다. 따라서, 종래 외곽부가 휘어진 기판을 그대로 스크라이빙함에 따라 정확한 얼라인이 이루어지지 않아 발생하던 불량을 줄일 수 있으며 이에 따라, 유기 EL 표시소자의 수율은 향상된다. As described above, in the manufacturing apparatus of the organic EL display device according to the embodiment of the present invention, the substrate naturally changes the temperature of the bent substrate by spraying hot water to the substrate bent by ultraviolet rays in the encapsulation process through a hot water supply sprinkler. The flexed substrate is unrolled by raising it to a temperature that can unfold on the scribe table. Therefore, as a result of scribing a substrate having a curved outer portion as it is, accurate defects are not achieved, thereby reducing defects. Accordingly, the yield of the organic EL display device is improved.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하 는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (10)

다수의 표시소자들이 형성된 기판과;A substrate on which a plurality of display elements are formed; 상기 기판이 안착되어 상기 다수의 표시소자의 분리공정이 실시될 스크라이빙 테이블과;A scribing table on which the substrate is mounted so that the plurality of display elements may be separated; 상기 스크라이빙 테이블 상에 상기 스크라이빙 테이블과 일정 간격 이격된 위치에 설치되어 상기 스크라이빙 테이블 상에 안착된 상기 기판에 소정의 열을 공급하기 위하여 소정 시간동안 온수를 분사하는 온수 공급부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조장치. A hot water supply unit installed at a position spaced apart from the scribing table at a predetermined interval on the scribing table to spray hot water for a predetermined time to supply a predetermined heat to the substrate seated on the scribing table; Apparatus for manufacturing a flat panel display element, characterized in that provided. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판의 온도를 감지하는 센서를 더 구비하며,Further comprising a sensor for sensing the temperature of the substrate, 상기 기판의 온도가 소정 온도 이상이 되면 상기 온수의 분사를 중단하는 것을 특징으로 하는 평판 표시조사의 제조장치.And dispensing the hot water when the temperature of the substrate is greater than or equal to a predetermined temperature. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 온수의 온도는 30℃ 이상 50℃ 이하인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조장치.The temperature of the hot water is 30 to 50 ℃ ℃ manufacturing apparatus of the flat panel display element. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 기판의 소정 온도는 30℃ 이상 40℃ 이하인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조장치.The predetermined temperature of the said board | substrate is a manufacturing apparatus of the flat panel display element characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 온수 공급부는 스프링 쿨러를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조장치.The hot water supply unit is a flat panel display device manufacturing apparatus characterized in that it comprises a sprinkler. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 센서는 적외선 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시조사의 제조장치.And said sensor comprises an infrared sensor. 다수의 표시소자들이 형성된 기판을 스크라이빙 테이블 상에 안착시키는 단계와;Mounting a substrate on which a plurality of display elements are formed, on a scribing table; 상기 스크라이빙 테이블과 일정 간격 이격된 위치에서 상기 스크라이빙 테이블 상에 안착된 상기 기판에 소정의 열을 공급하기 위하여 소정 시간동안 상기 기판에 온수를 분사하는 단계와;Spraying hot water on the substrate for a predetermined time to supply predetermined heat to the substrate seated on the scribing table at a position spaced apart from the scribing table; 상기 기판 상에 형성된 상기 다수의 표시소자들을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.And separating the plurality of display elements formed on the substrate. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 기판의 온도를 감지하는 단계를 더 포함하며,Sensing the temperature of the substrate, 상기 기판의 온도가 소정 온도 이상이 되면 상기 온수의 분사를 중단하는 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.And dispensing the hot water when the temperature of the substrate is greater than or equal to a predetermined temperature. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 온수의 온도는 30℃ 이상 50℃ 이상인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.The temperature of the hot water is 30 to 50 ℃ ℃ manufacturing method of the flat panel display element. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 기판의 소정 온도는 30℃ 이상 40℃ 이상인 것을 특징으로 하는 평판 표시소자의 제조방법.The predetermined temperature of the said board | substrate is a manufacturing method of the flat panel display element characterized by the above-mentioned.
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