KR20060111385A

KR20060111385A - 전기 도금 시험기

Info

Publication number: KR20060111385A
Application number: KR1020060035497A
Authority: KR
Inventors: 와타루 야마모토; 가츠노리 아키야마; 도키코 가츠모토
Original assignee: 가부시키가이샤 야마모토메키시켄키
Priority date: 2005-04-22
Filing date: 2006-04-19
Publication date: 2006-10-27
Also published as: US20060237304A1; EP1717352A3; TW200637935A; CN1865519A; JP2006299367A; CN1865519B; EP1717352A2

Abstract

도금막의 막두께를 피도금면의 전면에 걸쳐 균일하게 형성할 수 있고, 도금막의 품질을 향상할 수 있음과 동시에, 장치의 소형화, 간소화를 도모할 수 있도록 한다.

수조 내에는 음극을 아래쪽, 양극을 위쪽으로 하여 이들 양극 및 음극을 서로 평행하고 또한 수평으로 배치한다. 또한 수조의 측판에는 양극 및 음극을 수조 내에 삽입하기 위한 개구를 마련함과 동시에, 개구를 폐색하는 폐색판을 설치한다. 또한, 수조의 측판에는 양극을 수평 상태로 유지하기 위한 홈부를 마련한다. 또한 음극은 폐색판에 대해 캔틸레버(cantilever) 지지 상태로 장착한다.

Description

전기 도금 시험기{Electroplating apparatus}

도 1은 실시예로 관련된 전기 도금 시험기를 나타내는 분해 사시도이다.

도 2는 도 1 중 음극을 폐색판에 장착한 상태로 전기 도금 시험기를 나타내는 분해 사시도이다.

도 3은 실시예에 사용되는 수조를 나타내는 정면도이다.

도 4는 실시예에 사용되는 수조를 나타내는 좌측면도이다.

도 5는 실시예에 관련된 전기 도금 시험기를 나타내는 좌측면도이다.

도 6은 실시예에 관련된 전기 도금 시험기를 나타내는 정면도이다.

도 7은 폐색판을 제거한 상태에서 전기 도금 시험기를 나타내는 정면도이다.

도 8은 실시예에 사용되는 양극을 나타내는 분해 사시도이다.

<부호의 설명>

1 전기 도금 시험기

10 수조

10A 바닥판

10B 제1 측판

10C 제2 측판

10D 제3 측판

10E 제4 측판

20 양극

22 양극판

26 양극 쪽의 전도봉(전도 부재)

30 음극

31 웨이퍼(음극판)

32 음극 전도체(전도 부재)

32B 음극 쪽의 전도봉

40 폐색판

본 발명은, 예컨대 웨이퍼, 유리 기판 및 세라믹 기판 등의 표면에 도금 및 양극 산화를 실시하기 위한 전기 도금 시험기에 관한 것이다.

근년, 도금 기술은 각 방면의 기술 분야에서 응용되어 있고, 반도체의 배선 기술에서 사용되고 있다. 반도체 분야에서는 반도체의 고집적화 및 고성능화를 실현하기 위해 반도체의 배선 피치를 축소하는 것이 요구되고 있고, 최근 채용되고 있는 배선 기술의 하나로서 층간 절연막을 성막한 후에 건식 식각 프로세스를 행함으로써 배선 홈을 확보하며, 그 배선 홈에 도금에 의해 배선 재료를 충전하는 방법이 있다.

이와 같은 도금 기술을 실현하기 위해서는 피도금물에 형성된 홈에 도금을 균일하게 석출시킬 필요가 있다. 그래서 본 출원인에 의해 피도금물의 피도금면에 균일한 도금막을 형성할 수 있는 전기 도금 시험기가 제안되어 있다(일본 특허공개 2003-301299호 공보).

이 전기 도금 시험기는 도금액이 주입된 수조 내에 피도금물이 되는 음극판과 양극판을 서로 대향시켜 배치하고, 이들 음극판 및 양극판에 각각 전원을 접속함으로써 음극판과 양극판 사이에 전계를 발생시켜 음극판의 표면에 도금을 실시하는 것이다.

그런데 상기 일본 특허공개 2003-301299호 공보에 기재된 전기 도금 시험기에 있어서는, 음극판의 도금 시에 음극판의 피도금면에서 수소를 주성분으로 한 기포가 발생한다. 그리고 이 음극판은 양극판과 함께 수조 내에 수직으로 배치되기 때문에, 상기 기포는 음극판의 피도금면을 차례로 스치도록 상승한다. 이와 같이 기포가 음극판의 피도금면을 스치도록 따라감으로써 음극판의 피도금면에 형성되는 도금막의 막두께에 불균일성이 발생하여 도금막의 품질을 꼭 높일 수 없다는 문제가 있다.

그래서 이와 같은 문제를 극복하기 위해 음극판 및 양극판을 수직으로 설치한 후에 전기 도금 시험기를 90° 회전시키고, 음극판을 아래로 하며 양극판을 위로 하여 이들 판을 수평으로 유지함으로써 기포가 직접 음극판의 표면을 따라가는 것을 회피하는 방법이 알려져 있다. 그러나 이와 같은 방법을 사용하면, 전기 도금 시험기를 회전시키기 위한 장치가 별도로 필요하게 되고, 전기 도금 시험기 전체가 대형화하여 복잡화된다는 문제가 있다.

이와 같은 배경을 감안하여 본 발명이 이루어지고, 본 발명은 도금막의 막두께를 피도금면의 전면에 걸쳐 균일하게 형성할 수 있고, 도금막의 품질을 향상할 수 있음과 동시에, 장치의 소형화, 간소화를 도모할 수 있도록 한 전기 도금 시험기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 청구항 1에 기재된 본 발명의 전기 도금 시험기는 적어도 바닥판 및 측판을 갖고 내부에 도금액이 주입되는 수조와, 상기 수조의 도금액 내에서 서로 대향하여 수평으로 배치되는 음극판 및 양극판을 구비한 전기 시험기로서, 상기 음극판 및 상기 양극판 중 피도금물이 되는 한쪽 판을 다른 쪽 판의 아래쪽에 배치하고, 상기 수조의 측판에는 상기 음극판 및 상기 양극판을 각각 상기 수조 내에 삽입하기 위한 개구를 마련함과 동시에, 상기 수조에는 상기 개구를 폐색하기 위한 폐색판을 착탈 가능하게 마련한 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 구성에 의해, 음극판 및 양극판의 설치 시에는 음극판 및 양극판을 수조의 측판에 마련된 개구를 통해 수조 내에 삽입함으로써 이들 음극판 및 양극판을 수조 내에서 서로 수평으로 한 상태에서 용이하게 장착할 수 있다. 그리고 음극판 및 양극판 중 피도금물이 되는 한쪽 판을 다른 쪽 판의 아래쪽에 배치하는 구성으로 했기 때문에, 도금 시에 한쪽 판의 피도금면에서 발생하는 수소를 주성분으로 한 기포를 한쪽 판의 피도금면으로부터 해당 피도금면을 따라서 가는 일 없이 직접 위쪽으로 상승시켜 외부에 방출할 수 있다. 또한 상술한 바와 같이, 음극판 및 양극판을 수평 상태에서 수조 내에 용이하게 장착할 수 있기 때문에, 종래 기술에서 말한 바와 같이 수조 전체를 90° 회전시키는 것과 같은 대규모 장착을 불필요하게 할 수 있다. 그리고 본 발명에서는 피도금물을 전원의 음극에 접속하여 피도금물의 표면에 도금을 실시하도록 해도 되고, 피도금물을 전원의 양극으로 접속하여 이 피도금물의 표면에 산화물의 피막인 양극 피막을 형성하도록 해도 된다.

청구항 2에 기재된 본 발명의 전기 도금 시험기는 수조의 측판에는 음극판 및 양극판 중 적어도 어느쪽 판을 수평 상태로 유지하기 위한 홈부를 마련한 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 구성에 의해 음극판 및 양극판 중 적어도 어느 한쪽 판을 수조의 측판에 마련된 홈부에게 결합시키기만 하면 이 한쪽 판을 수조 내에서 수평 상태로 용이하게 유지할 수 있어 상기 한쪽 판의 설치를 용이하게 할 수 있다.

청구항 3에 기재된 본 발명의 전기 도금 시험기는 홈부는 음극판 및 양극판 중 적어도 어느 한쪽 판의 높이를 조정하기 위해 수조의 측판에 대해 상하 방향으로 복수 개 배치한 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 구성에 의해 음극판 및 양극판 중 적어도 어느 한쪽 판의 홈부에 대한 설치 위치를 상하 방향에서 변경함으로써 음극판과 양극판 사이의 이간 치수를 변경할 수 있고, 이에 의해 피도금물이 되는 음극판(또는 양극판)의 피도금면에 형성되는 도금막의 막두께 등을 적절하게 조정할 수 있다.

청구항 4에 기재된 본 발명의 전기 도금 시험기는 홈부는 음극판 및 양극판 중 위쪽에 위치하는 판의 높이 조정을 하기 위한 홈으로서, 상기 위쪽에 위치하는 판에는 해당 판에 통전을 행하는 전도 부재를 수조 내를 향하여 위쪽에서 아래쪽으로 삽입하여 전기적으로 접속시키고, 상기 전도 부재는 상기 위쪽에 위치하는 판의 높이에 따라 높이 조정 가능하게 상기 수조에 대해 지지시키는 구성으로 한 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 구성에 의해 전도 부재를 수조 내를 향하여 위쪽에서 하향으로 삽입함으로써 전도 부재의 선단을 상기 위쪽에 위치하는 판에 전기적으로 접속시킬 수 있다. 또한 이 위쪽에 위치하는 판의 높이를 변경할 때는, 이 판의 높이에 따라 전도 부재의 높이를 조정함으로써 전도 부재를 상기 판에 용이하게 계합시켜 전기적으로 접속시킬 수 있다.

청구항 5에 기재된 본 발명의 전기 도금 시험기는 음극판 및 양극판 중 아래쪽에 위치하는 판을 폐색판에 캔틸레버 지지 상태에서 장착하는 구성으로 한 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 구성에 의해 상기 아래쪽에 위치하는 판의 설치 시에는, 이 판을 미리 폐색판에 설치해 놓고 이 상태에서 폐색판을 수조에 장착함으로써 상기 판을 폐색판에 캔틸레버 지지 상태에서 용이하게 장착할 수 있다. 따라서 작업자가 상기 판을 수조의 개구 내에 일부러 손을 뻗쳐 장착하는 수고를 생략할 수 있다. 그리고 상기 아래쪽의 판은 폐색판을 수조에 장착할 때에, 상기 아래쪽 판의 일단 쪽이 캔틸레버 지지되어 있으면 되고, 장착한 후에는 상기 아래쪽 판의 타단 쪽 등을, 예컨대 폐색판과 대향하는 수조의 부위에 걸거나 수조에 형성한 홈에 감합시킴으로써 상기 아래쪽 판을 양쪽 지지의 상태로 수조 내에서 안정적으로 유지할 수 있다. 또한 상기 아래쪽 판의 타단 쪽에 하면 쪽으로부터 머리부를 가지는 볼트를 장착하며, 이 볼트의 머리부를 수조 바닥부에 당접시킴으로써 상기 아래쪽 판의 타단 쪽을 지지하도록 해도 된다.

청구항 6에 기재된 본 발명의 전기 도금 시험기는 음극판 및 양극판 중 아래쪽에 위치하는 판에는 해당 판에 통전을 행하는 전도 부재를 수조 내를 향하여 수평 방향으로부터 폐색판을 관통시켜 전기적으로 접속시키는 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 구성에 의해 전도 부재를 수조 내를 향하여 수평 방향으로부터 폐색판을 관통시킴으로써 이 전도 부재를 아래쪽에 위치하는 판에 대해 전기적으로 용이하게 접속할 수 있다.

다음에, 본 발명의 실시예에 대해 적절하게 도면을 참조하면서 상세로 설명한다.

도 1은 본 실시예에 관련된 전기 도금 시험기를 도시한 분해 사시도이고, 도 2는 도 1 중 음극을 폐색판에 장착한 상태에서 전기 도금 시험기를 도시한 분해 사시도이다. 도 3은 본 실시예에 사용되는 수조를 도시한 정면도이고, 도 4는 본 실시예에 사용되는 수조를 도시한 좌측면도이다. 도 5는 본 실시예에 관련된 전기 도금 시험기를 도시한 좌측면도이고, 도 6은 본 실시예에 관련된 전기 도금 시험기를 도시한 정면도이다. 도 7은 폐색판을 제거한 상태에서 전기 도금 시험기를 도시한 정면도이다.

도 1 내지 도 4에 도시되는 바와 같이, 전기 도금 시험기(1)는 수조(10), 양극(20), 음극(30) 및 폐색판(40)에 의해 대체적으로 구성되고, 수조(10) 내에는 도금액이 주입되어 있다.

수조(10)는 도 1 내지 도 4에 도시되는 바와 같이, 바닥판(10A)과, 정면판인 제1 측판(1OB)(이하, 측판(1OB)이라고 함)과, 배면판인 제2 측판(10C)(이하, 측판(10C)이라고 함)과, 좌측판인 제3 측판(10D)(이하, 측판(10D)이라고 함)과, 우측판인 제4 측판(10E)(이하, 측판(10E)이라고 함)과, 측판(10B, 10C)의 상단에 설치된 브래킷(10B1, 10C1)에 볼트(11, 11, …)(도 2 참조)에 의해 체결된 상판(10F)을 가지고 있다. 또한 도 3에 도시되는 바와 같이, 수조(10) 내에는 바닥판(10A)에 입설(立設)된 우측의 입판(立板)(14)(이하, 입판(14)이라고 함)과, 입판(14)의 하부 쪽에서 수평 방향으로 연장된 횡판(13)과, 횡판(13)의 좌단부에 입설된 좌측 입판(12)(이하, 입판(12)이라고 함)이 형성되어 있다.

또한 입판(14)에는 복수 개의 유통공(14A, 14A, …)(도 1 참조)이 천설(穿設)됨과 동시에, 횡판(13)에 대해서도 복수 개의 유통공(13A, 13A, …)이 천설되어 있다. 또한, 바닥판(10A)에는 배출공(10A1)이 천설되어 있다. 그리고 도 3 및 도 5에 도시되는 바와 같이 수조(10)의 측판(10C)에는 측판(10E)과 입판(14) 사이에 위치하며 펌프(미도시)가 장착되는 펌프 장착구(15)가 마련되어 있다. 또한 입판(12)의 상단과 입판(14)의 상단 사이에는 도 5에 도시하는 커버 판(16)이 마련되어 있다.

이 때문에, 상기 펌프를 작동시키면 이 펌프로부터 토출된 도금액은 도 3에 도시되는 바와 같이, 화살표 A방향으로 토출된다. 그리고 이 토출된 도금액은 각 유통공(14A)을 통해 화살표 B방향으로 유통하거나 입판(14)의 상단을 화살표 B'방향으로 넘어가서 유통함으로써 입판(12, 14) 및 횡판(13)으로 둘러싸이는 공간부 내로 인도된다. 또한 이 공간부 내에 인도된 도금액은 각 유통공(13A)을 통해 화살표 C방향으로 유통하거나 화살표 D방향으로 입판(12)의 상단을 넘어가서 유통함으로써 횡판(13)의 아래쪽에 인도되며, 거기에서 화살표 F방향으로 배출공(10A1)을 통해 외부에 배출된다. 이와 같이, 펌프는 수조(10) 내에서 도금액을 일정 방향에 유통시키고, 도금액이 체류하는 것을 방지함으로써 후기하는 웨이퍼(31)의 도금 시에 생성되는 "찌꺼기"가 웨이퍼(31)에 부착하는 것을 방지하는 것이다.

여기서, 수조(10)의 측판(10B)에는 도 1 내지 도 3에 도시되는 바와 같이, 거의 凸 형상을 이룬 개구(17)가 형성되어 있다. 또한 이 개구(17)는 수평 방향으로 협폭(狹幅)이 된 협폭부(17A)와, 협폭부(17A) 아래쪽에 연속적으로 형성되어 수평 방향에 광폭(廣幅)이 된 광폭부(17B)에 의해 구성되어 있다. 그리고 개구(17)의 협폭부(17A) 주연에는 ㄷ자 형상을 이루는 복수 개의 홈부(18A, 18A, …)가 좌우 방향에서 대행하여 상하 방향을 따라 형성되어 있다. 또한 수조(10)의 측판(10C)에는 측판(10B)의 각 홈부(18A)와 각각 대응한 높이 위치에 수평 방향을 따라 갸름하게 연장하는 복수 개의 다른 홈부(18B, 18B, …)가 형성되어 있다. 또한, 수조(10)의 측판(1OB)에는 개구(17)의 주위를 둘러싸듯이 대략 사각형의 테두리 형상으로 이루어지는 실링(sealing) 부재(19)가 설치되어 있다. 또한 측판(10B)과 측판(10D)의 코너부 및 측판(10B)과 측판(10E)의 코너부에는 잠금 기구(50, 50)의 일부를 구 성하는 홀딩 부재(51, 51)가 고정되어 설치되어 있다.

양극(20)은 도 8에 도시되는 바와 같이, 아크릴 등의 절연 재료를 사용하여 사각형 형상으로 형성됨과 동시에, 사각형 형상의 凹홈(21A)을 가지는 양극 카트리지 팬(pan)(21)과, 양극 카트리지 팬(21)의 凹홈(21A) 내에 감합하여 설치된 구리나 니켈 등의 금속 재료로 이루어지는 직사각형 형상의 양극판(22)과, 양극 카트리지 팬(21) 사이에서 양극판(22)을 협지하는 아크릴 등의 절연 재료로 이루어지는 양극 카트리지 홀더(23)와, 양극 카트리지 홀더(23)의 표면(도 8 중 하면)에 부설(敷設)된 천 등의 섬유 재료로 이루어지는 애노드 백(24)과, 애노드 백(24)을 양극 카트리지 홀더(23) 사이에서 협지하는 아크릴 등의 절연 재료로 이루어지는 애노드 백 홀더(25)에 의해 구성되어 있다. 그리고 애노드 백 홀더(25)에 형성한 공(25A)의 형상, 크기 등은 웨이퍼(31)의 피도금면(31A)의 형상에 맞추어서 적절하게 변경이 가능하다.

여기서, 양극 카트리지 홀더(23)에는 그 전단부 양쪽에 위치하여 대략 직사각형 형상을 이루는 제1 감합 돌기부(23A, 23A)가 돌설(突設)되어 있다. 또한 양극 카트리지 홀더(23)는 그 후단부가 양극 카트리지 팬(21)과 애노드 백 홀더(25) 사이에서 후방으로 돌출된 제2 감합 돌기부(23B)가 되어 있다. 그리고 양극(20)은 도 5 내지 도 7에 도시되는 바와 같이, 제1 감합 돌기부(23A)가 홈부(18A, 18A)에 감합하여 설치됨(도 5 참조)과 동시에, 제2 감합 돌기부(23B)(도 8 참조)가 홈부(18B)에 감합하여 설치된다. 이에 의해 양극(20)은 수조(10)의 도금액 내에서 수평 방향으로 3점 지지로 안정적으로 유지된다. 그리고 애노드 백(24)은 웨이퍼(31) 의 도금 시에 생성되는 "찌꺼기"가 양극판(22)에 부착하는 것을 방지하는 것이다.

또 양극 카트리지 팬(21)에는 원형 공(21B)이 천설되고, 이 원형 공(21B)에 양극 쪽의 전도봉(26)이 위쪽에서 삽입됨으로써 양극 쪽의 전도봉(26)의 선단(하단)이 양극판(22)에 전기적으로 접촉하게 되어 있다. 그리고 이 양극 쪽의 전도봉(26)은 상기 커버 판(16)에 천설된 나사 공(미도시)에 나합(螺合)되고, 작업자가 양극 쪽의 전도봉(26)을 회동함으로써 양극(20)의 높이에 따라 양극 쪽의 전도봉(26) 선단의 높이 위치를 조정할 수 있도록 되어 있다.

음극(30)은 상기 일본 특허공개 2003-301299호 공보에 기재된 음극 카트리지와 거의 마찬가지로 구성되고, 양극(20) 아래쪽에 위치하여 양극(20)과 평행하고 또한 수평으로 배치되어 있다. 그리고 음극(30)은 피도금물이 되는 음극판인 웨이퍼(31)와, 웨이퍼(31)의 피도금면(31A)에 전기를 전도시키는 전도 부재인 음극 전도체(32)와, 웨이퍼(31)의 표면 쪽(피도금면(31A)쪽)을 덮고, 음극 전도체(32)를 유지하는 아크릴 등의 절연 재료로 이루어지는 제1 절연체(33)와, 웨이퍼(31)의 이면(裏面) 쪽(피도금면(31A)의 반대쪽)을 덮으며, 웨이퍼(31)를 유지하는 아크릴 등의 절연 재료로 이루어지는 제2 절연체(34)로 구성된다. 또한 음극 전도체(32)는 환상의 전도판(32A)과, 전도판(32A)에 전기적으로 접속된 음극 쪽의 전도봉(32B)에 의해 구성되어 있다.

그리고 도 2에 도시되는 바와 같이, 음극(30)은 제1 절연체(33)의 전단부가 후기하는 폐색판(40)에 캔틸레버 지지의 상태로 체결되어 있다. 또한 음극 전도체(32)의 전도봉(32B)은 수조(10) 내를 향하여 수평 방향으로부터 폐색판(40)을 관 통하고 전도판(32A)을 통해 웨이퍼(31)로 전기적으로 접속되어 있다. 여기서, 도 1 및 도 2에 도시되는 바와 같이, 제1 절연체(33) 및 폐색판(40)에는 각각 전도봉(32B)을 삽통시키기 위한 삽통공(33A, 40A)이 마련되고, 이들 삽통공(33A, 40A)을 통해 전도봉(32B)은 폐색판(40)으로부터 외부에 돌출되어 있다. 또한 전도봉(32B)과 삽통공(33A) 사이 및 전도봉(32B)과 삽통공(40A) 사이는 각각 한 개의 원통 형상을 이루는 실링 부재(70)(도 5 참조)에 의해 액밀(液密) 상태로 실링되고, 이에 의해 삽통공(33A, 40A)으로부터의 도금액의 누설을 방지하고 있다. 또한 웨이퍼(31)와 제1 절연체(33) 사이 및 제1 절연체(33)와 제2 절연체(34) 사이는 환상의 실링 부재(미도시)를 사용하여 액밀 상태로 실링되어 있다.

폐색판(40)은 대략 사각형 형상의 판재로서 형성되고, 실링 부재(19)의 외연부에 체결됨으로써 개구(17)를 폐색하고 있다. 또한 폐색판(40)의 좌우 양쪽에는 잠금 기구(50)의 일부를 구성하는 레버 부재(52)가 회동 가능하게 설치되어 있다. 그리고 이 레버 부재(52)의 선단을 홀딩 부재(51)에 걺으로써 폐색판(40)은 실링 부재(19) 쪽으로 강하게 압착(壓着)되고, 이에 의해 폐색판(40)과 개구(17) 사이는 액밀 상태로 실링되어 개구(17)로부터의 도금액의 누설이 방지된다.

그리고 도 5에 나타내는 부호 "60"은 수조(10)의 상단 쪽에 전후 방향으로 이동 가능하게 된 교반 기구로서, 이 교반 기구(60)는 도 5 내지 도 7에 도시되는 바와 같이, 전후 양쪽에 롤러(61, 61)가 회동 가능하게 설치된 지지판(62)과, 지지판(62)으로부터 수하하여 마련된 수직판(63, 63)과, 각 수직판(63)의 하단 쪽을 연결한 연결봉(64)에 의해 대체로 구성되어 있다. 그리고 지지판(62)에는 교반 기 구(60)를 외부로부터 조작하여 이 교반 기구(60)를 전후 방향에 이동시키기 위한 조작판(65)이 설치되어 있다. 그리고 이 교반 기구(60)는 조작판(65)을 액튜에이터(미도시)를 사용하여 전후 방향에 움직임으로써 각 수직판(63) 및 연결봉(64)으로 도금액을 교반하여 도금액이 수조(10) 내에서 체류하는 것을 방지하는 것이다.

이와 같이 구성되는 본 실시예에서는 펌프의 전원을 넣은 후, 양극 쪽의 전도봉(26)을 전원의 양극에 접속하고, 음극 쪽의 전도봉(32B)을 전원의 음극에 접속함으로써 음극(30)의 웨이퍼(31)의 피도금면에 도금막을 형성한다.

여기서, 본 실시예에서는 음극(30)을 아래쪽, 양극(20)을 위쪽으로 하여 이들 양극(20) 및 음극(30)을 서로 평행하고 또한 수평으로 배치했기 때문에, 도금 시에 음극(30)의 웨이퍼(31)의 피도금면에서 발생하는 수소를 주성분으로 한 기포를 웨이퍼(31)의 피도금면에서 위쪽으로 상승시켜 외부로 방출할 수 있다. 따라서 도금 시에는 웨이퍼(31)의 피도금면을 따라 기포가 따라가는 일이 없어지고, 피도금면에 형성되는 도금막의 막두께를 전면에 걸쳐 균일하게 할 수 있어서 도금막의 품질을 향상할 수 있다.

또한 양극(20) 및 음극(30)을 수조(10) 내에 삽입하기 위한 개구(17)를 수조(10)의 측판(10B)에 형성했으므로, 양극(20) 및 음극(30)을 각각 개구(17)를 통해 수조(10) 내에 수평 상태로 용이하게 삽입할 수 있으며, 양극(20) 및 음극(30)의 수조(10) 내로의 설치를 용이하게 행할 수 있고, 이들 양극(20) 및 음극(30)의 설치 시의 작업 효율을 높일 수 있다. 따라서 종래 기술에서 말한 바와 같이, 수조 전체를 90° 회전시키는 듯한 대규모 장착을 불필요하게 할 수 있어서 장치를 소형 화, 간소화할 수 있다.

또한 수조(10)의 측판(10B)에는 홈부(18A)를 마련하고, 측판(10C)에는 홈부(18A)와 대응하는 높이 위치에 홈부(18B)를 설치하는 구성으로 했기 때문에, 양극(20)을 이들 홈부(18A, 18B)에 감합시키기만 하면 양극(20)을 수조(10) 내에서 수평 상태로 유지할 수 있어서 양극(20)의 장착을 용이하게 행할 수 있다.

또한 수조(10)의 측판(10B)에는 홈부(18A)를 상하 방향에 복수 개 배치하고, 측판(10C)에 대해서도 홈부(18B)를 상하 방향에 복수 개 배치하는 구성으로 했기 때문에, 홈부(18A, 18B)에 대한 양극(20)의 설치 위치를 상하 방향에서 변경함으로써 양극(20)과 음극(30) 사이의 간격을 변경할 수 있고, 이에 의해 음극(30)의 웨이퍼(31)의 피도금면(31A)에 형성되는 도금막의 막두께 등을 적절하게 조정할 수 있다.

또한, 양극(20) 및 음극(30) 중 위쪽에 위치하는 양극(20)에는 전도봉(26)을 수조(10) 내를 향하여 위쪽에서 아래쪽으로 삽입하여 전기적으로 접속시킴과 동시에, 전도봉(26)을 양극(20)의 높이에 따라 높이 조정 가능하게 수조(10)에 대해 지지시키는 구성으로 했기 때문에, 양극(20)의 높이에 따라 전도봉(26)의 높이를 조정함으로써 전도봉(26)을 양극판(22)에 용이하게 계합시킬 수 있다.

또한, 음극(30)을 폐색판(40)에 캔틸레버 지지 상태로 장착하는 구성으로 했기 때문에, 음극(30)의 설치 시에는 이 음극(30)을 미리 폐색판(40)에 장착해 놓고, 이 상태에서 폐색판(40)을 수조(10)에 장착함으로써 작업자가 음극(30)을 수조(10)의 개구(17) 내에 일부러 손을 뻗쳐 장착하는 수고를 생략할 수 있어서 음 극(30)의 설치를 용이하게 행할 수 있다.

또한 양극(20) 및 음극(30) 중 아래쪽에 위치하는 음극(30)에는 음극 전도체(32)의 전도봉(32B)을 수조(10) 내를 향하여 수평 방향으로부터 폐색판(40)을 관통시켜 전기적으로 접속시키는 구성으로 했기 때문에, 전도봉(32B)을 전도판(32A)을 통해 음극(30)의 웨이퍼(31)에 전기적으로 용이하게 접속시킬 수 있다.

그리고 실시예에서는 양극(20)을 그 높이 위치를 변경 가능하게 수조(10)에 장착함과 동시에, 음극(30)을 폐색판(40)에 장착하는 구성으로 한 경우를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 예컨대, 양극(20)을 폐색판(40)에 장착함과 동시에, 음극(30)을 그 높이 위치를 변경 가능하게 수조(10)에 설치하도록 해도 된다.

또한 실시예에서는 웨이퍼(31)와 제1 절연체(33) 사이 및 제1 절연체(33)와 제2 절연체(34) 사이를 환상의 실링 부재(미도시)만을 사용하여 액밀 상태로 실링하는 구성으로 한 경우를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 예컨대, 웨이퍼(31)의 이면 쪽을 펌프(미도시) 등을 사용하여 부압 상태로 유지함으로써 웨이퍼(31) 전체를 균등한 압착력을 갖고 상기 실링 부재에 면 접촉시키며, 이에 의해 실링 부재의 실링 성능을 더욱 높이도록 해도 된다. 이 경우, 실링 부재(70)는 상기 환상의 실링 부재와 함께 웨이퍼(31) 내에 피도금면(31A) 이외의 부위에 도금액이 침입하는 부적합을 방지하기 위한 기능도 겸할 수 있다.

또한, 실시예에서는 도 5에 도시되는 바와 같이, 교반 기구(60)의 연결봉(64)을 둥근 막대기 모양으로 형성한 경우를 예로 들어 설명했지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 예컨대 단면 사각형 형상, 단면 삼각형 형상으로 형성해도 되고, 또한 기타의 형상으로 형성해도 되는 일이다.

본 발명에 의하면, 피도금물의 피도금면에 형성되는 도금막의 막두께를 전면에 걸쳐 균일하게 할 수 있어서 도금막의 품질을 향상할 수 있다. 또한 음극판 및 양극판을 수조의 측면에 설치된 개구를 통해 수조 내에 수평 상태로 용이하게 장착시킬 수 있어서 상기 판의 설치 시의 작업 효율을 높일 수 있다. 또한, 수조를 90° 회전시키는 듯한 대규모 장착을 불필요하게 할 수 있어서 장착의 소형화, 간소화를 도모할 수 있다.

Claims

적어도 바닥판 및 측판을 갖고 내부에 도금액이 주입되는 수조와, 상기 수조의 도금액 내에서 서로 대향하여 수평으로 배치되는 음극판 및 양극판을 구비한 전기 도금 시험기로서,

상기 음극판 및 상기 양극판 중 피도금물이 되는 한쪽 판을 다른 쪽 판의 아래쪽에 배치하고, 상기 수조의 측판에는 상기 음극판 및 상기 양극판을 각각 상기 수조 내에 삽입하기 위한 개구를 마련함과 동시에, 상기 수조에는 상기 개구를 폐색하기 위한 폐색판을 착탈 가능하게 마련한 것을 특징으로 하는 전기 도금 시험기
제1항에 있어서,

상기 수조의 측판에는 상기 음극판 및 상기 양극판 중 적어도 어느쪽 판을 수평 상태로 유지하기 위한 홈부를 마련한 것을 특징으로 하는 전기 도금 시험기.
제2항에 있어서,

상기 홈부는 상기 음극판 및 상기 양극판 중 적어도 어느 한쪽 판의 높이를 조정하기 위해 상기 수조의 측판에 대해 상하 방향에 복수 개 배치한 것을 특징으로 하는 전기 도금 시험기.
제3항에 있어서,

상기 홈부는 상기 음극판 및 상기 양극판 중 위쪽에 위치하는 판의 높이 조정을 하기 위한 홈으로서, 상기 위쪽에 위치하는 판에는 해당 판에 통전을 행하는 전도 부재를 상기 수조 내를 향하여 위쪽에서 아래쪽으로 삽입하여 전기적으로 접속시키고, 상기 전도 부재는 상기 위쪽에 위치하는 판의 높이에 따라 높이 조정 가능하게 상기 수조에 대해 지지시키는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 전기 도금 시험기.
제4항에 있어서,

상기 음극판 및 상기 양극판 중 아래쪽에 위치하는 판은 상기 폐색판에 캔틸레버 지지 상태로 장착하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 전기 도금 시험기.
제5항에 있어서,

상기 음극판 및 상기 양극판 중 아래쪽에 위치하는 판에는 해당 판에 통전을 행하는 전도 부재를 상기 수조 내를 향하여 수평 방향으로부터 상기 폐색판을 관통시켜 전기적으로 접속시키는 것을 특징으로 하는 기재 전기 도금 시험기.