KR20060110665A - 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

액정 표시 장치 및 이의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20060110665A
KR20060110665A KR1020050033143A KR20050033143A KR20060110665A KR 20060110665 A KR20060110665 A KR 20060110665A KR 1020050033143 A KR1020050033143 A KR 1020050033143A KR 20050033143 A KR20050033143 A KR 20050033143A KR 20060110665 A KR20060110665 A KR 20060110665A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
column spacer
channel
liquid crystal
electrode
Prior art date
Application number
KR1020050033143A
Other languages
English (en)
Inventor
조석호
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020050033143A priority Critical patent/KR20060110665A/ko
Publication of KR20060110665A publication Critical patent/KR20060110665A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341—Filling or closing of cells
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정 패널을 터치시 일측 기판이 타측 기판에 대해 상대적으로 밀리는 현상을 최소화하여 빛샘을 방지하는 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 액정 표시 장치는 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하며 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 'U'자형 채널을 구비하여 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 제 2 기판 상에, 상기 'U'자형 채널에 접하며 'U'자형 채널 사이의 제 1 기판 상으로부터는 이격하도록 형성된 제 1 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 충진된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
터치 불량, 'U'자형 채널, 눌림 불량, 도장 얼룩, 칼럼 스페이서, 하프톤 마스크

Description

액정 표시 장치 및 이의 제조 방법{Liquid Crystal Display Device and Method for Manufacturing the Same}
도 1은 일반적인 액정 표시 장치의 분해사시도
도 2는 종래의 횡전계형 액정 표시 장치를 나타낸 평면도
도 3은 도 2의 I~I' 선상의 구조 단면도
도 4는 터치 얼룩 발생시의 액정 패널의 표면을 나타낸 평면도
도 5a 및 도 5b는 종래의 횡전계형 액정 표시 장치의 터치 얼룩 발생 전후의 모습을 나타낸 단면도
도 6은 본 발명의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도
도 7은 도 6의 박막 트랜지스터 주변부를 나타낸 확대 평면도
도 8은 도 6의 Ⅲ~Ⅲ' 선상의 구조 단면도
도 9a 내지 도 9d는 본 발명의 액정 표시 장치에 있어서, 칼럼 스페이서의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 평면도
*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명*
100 : 제 1 기판 101 : 게이트 라인
101a : 게이트 전극 102 : 데이터 라인
102a : 소오스 전극 102b : 드레인 전극
103 : 화소 전극 103a : 제 1 스토리지 전극
104 : 공통 전극 104a : 공통 라인
104b : 제 2 스토리지 전극 105 : 게이트 절연막
106 : 보호막 106a : 콘택홀
200 : 제 2 기판 201 : 블랙 매트릭스층
202 : 컬러 필터층 203 : 오버코트층
210 : 제 1 칼럼 스페이서 220 : 제 2 칼럼 스페이서
250 : 액정
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 액정 패널을 터치시 일측 기판이 타측 기판에 대해 상대적으로 밀리는 현상을 최소화하여 빛샘을 방지하는 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시 장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비젼 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같은 액정 표시 장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비 전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 액정 표시 장치를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 액정 표시 장치를 나타낸 분해사시도이다.
액정 표시 장치는, 도 1과 같이, 일정 공간을 갖고 합착된 제 1 기판(1) 및 제 2 기판(2)과, 상기 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성되어 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 상기 제 1 기판(1)에는 화소 영역(P)을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 게이트 라인(4)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인(5)이 배열된다. 그리고, 상기 각 화소 영역(P)에는 화소 전극(6)이 형성되고, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 상기 게이트 라인(4)에 인가되는 신호에 따라 상기 데이터 라인(5)의 데이터 신호를 상기 각 화소 전극(6)에 인가한다.
그리고, 상기 제 2 기판(2)에는 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)이 형성되고, 상기 각 화소 영역에 대응되는 부분에는 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러 필터층(8)이 형성되고, 상기 컬러 필터층(8)위에는 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다.
상기와 같은 액정 표시 장치는 상기 화소 전극(6)과 공통 전극(9) 사이의 전계에 의해 상기 제 1, 제 2 기판(1, 2) 사이에 형성된 액정층(3)의 액정이 배향되고, 상기 액정층(3)의 배향 정도에 따라 액정층(3)을 투과하는 빛의 양을 조절하여 화상을 표현할 수 있다.
이와 같은 액정 표시 장치를 TN(Twisted Nematic) 모드 액정 표시 장치라 하며, 상기 TN 모드 액정 표시 장치는 시야각이 좁다는 단점을 가지고 있어 이러한 TN 모드의 단점을 극복하기 위한 횡전계형(IPS: In-Plane Switching) 모드 액정 표시 장치가 개발되었다.
상기 횡전계형(IPS) 모드 액정 표시 장치는 제 1 기판의 화소 영역에 화소 전극과 공통 전극을 일정한 거리를 갖고 서로 평행하게 형성하여 상기 화소 전극과 공통 전극 사이에 횡 전계(수평 전계)가 발생하도록 하고 상기 횡 전계에 의해 액정층이 배향되도록 한 것이다.
이와 같이 형성되는 액정 표시 장치의 제 1, 제 2 기판(1, 2) 사이에는 액정층이 형성되는 일정한 간격을 유지하기 위해 스페이서가 형성된다.
이러한 스페이서는 그 형상에 따라 볼 스페이서 또는 칼럼 스페이서로 나뉘어진다.
볼 스페이서는 구 형상이며, 제 1, 제 2 기판(1, 2) 상에 산포하여 제조되고, 상기 제 1, 제 2 기판(1, 2)의 합착 후에도 움직임이 비교적 자유롭고, 상기 제 1, 제 2 기판(1, 2)과의 접촉 면적이 작다.
반면, 칼럼 스페이서는 제 1 기판 또는 제 2 기판 상의 어레이 공정에서 형성되는 것으로, 소정 기판 상에 소정 높이를 갖는 기둥 형태로 고정되어 형성된다. 따라서, 제 1, 2 기판과의 접촉 면적이 볼 스페이서에 비하여 상대적으로 크다.
이하에서는 칼럼 스페이서를 구비한 횡전계형 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.
도 2는 종래의 횡전계형 액정 표시 장치를 나타낸 평면도이며, 도 3은 도 2의 I~I' 선상의 구조 단면도이다.
도 2 및 도 3과 같이, 종래의 횡전계형 액정 표시 장치는, 제 1 기판(30) 상에 화소 영역을 정의하기 위해 게이트 라인(31) 및 데이터 라인(32)이 서로 수직으로 교차하여 배열되고, 상기 각 게이트 라인(31)과 데이터 라인(32)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되며, 각 화소 영역에는 화소 전극(33)과 공통 전극(35a)이 서로 교번하여 형성된다.
여기서, 상기 박막 트랜지스터(TFT)는 상기 게이트 라인(31)으로부터 돌출된 게이트 전극(31a), 상기 데이터 라인(32)으로부터 돌출된 소오스 전극(32a) 및 이와 소정 간격된 드레인 전극(32b)을 포함하여 이루어진다. 그리고, 상기 게이트 전 극(31a)을 덮는 형상으로 상기 소오스 전극(32a)/드레인 전극(32b)의 하부층에 반도체층(34)이 더 형성된다.
또한, 상기 제 1 기판(30) 상에는 상기 게이트 라인(31)을 포함한 기판 전면에 게이트 절연막(36)이 형성되며, 상기 게이트 절연막(36)위에 보호막(37)이 형성된다. 상기 보호막(37) 중 상기 드레인 전극(32b)의 소정 부위 상부는 노출되어 보호막 홀(37a)이 정의되며, 상기 보호막 홀(37a)을 통해 상기 화소 전극(33)이 드레인 전극(32b)과 연결되어 있다. 여기서, 상기 게이트 절연막(36) 및 보호막(37)은 무기 절연막 성분으로 2000~4000Å의 두께로 증착되어 형성된다.
상기 공통 전극(35a)은 상기 게이트 라인(31)과 평행한 공통 라인(35)으로부터 분기되어 형성되며, 상기 공통 라인(35)은 상기 화소 전극(33)과 오버랩되어 형성된다.
그리고, 상기 제 1 기판(30)에 대향되는 제 2 기판(40)에는 상기 화소 영역을 제외한 비화소 영역(게이트 라인(31), 데이터 라인(32) 및 박막 트랜지스터(TFT) 영역)을 가리기 위한 블랙 매트릭스층(41)과, 상기 블랙 매트릭스층(41)을 포함한 컬러 필터 기판(40) 상에 각 화소 영역별로 차례로 R, G, B 안료가 대응되어 형성된 컬러 필터층(42) 및 상기 컬러 필터층(42)을 포함한 상기 제 2 기판(2) 전면에 형성된 오버코트층(43)이 형성된다. 그리고, 제 1, 제 2 기판(30, 40) 사이에 일정 간격을 갖도록 셀갭(cell gap)을 유지하기 위한 칼럼 스페이서(20)가 형성된다.
여기서, 상기 칼럼 스페이서(20)는, 상기 게이트 라인(31) 상측에 대응되어 형성된다.
도 4는 터치 얼룩 발생시의 액정 패널의 표면을 나타낸 평면도이며, 도 5a 및 도 5b는 종래의 횡전계형 액정 표시 장치의 터치 얼룩 발생 전후의 모습을 나타낸 단면도이다.
도 4와 같이, 상술한 종래의 칼럼 스페이서를 포함하는 횡전계형 액정 표시 장치는, 액정 패널(10)의 표면을 손이나 그 밖의 물건을 이용하여 소정 방향으로 터치하여 지나가게 되면, 터치된 부위에서 얼룩이 발생한다. 이러한 얼룩은 터치시에 발생한 얼룩이라 하여 터치 얼룩이라 하며, 이와 같이 화면에서 얼룩이 관찰되기 때문에 터치 불량이라고도 한다.
이러한 터치 불량은, 이전의 볼 스페이서의 구조에 비해 상기 칼럼 스페이서와 대향하는 하부 기판간의 접촉 면적이 크기 때문에, 마찰력이 커서 나타나는 것으로 파악된다. 즉, 볼 스페이서에 비해 원기둥 형태로 형성되는 칼럼 스페이서는 하부 기판과의 접촉 면적이 크기 때문에, 터치로 인해 제 1, 제 2 기판간의 쉬프트된 후, 원 상태로 복원하는데 오랜 시간이 걸리기 때문에 원 상태로 복원하기 전까지 얼룩이 잔존하게 된다.
이하, 도 5a 및 도 5b를 통해, 터치 전후의 표시 영역과 비표시 영역에서의 변화를 살펴본다.
도 5a와 같이, 종래의 횡전계형 액정 표시 장치는 표시가 이루어지는 표시 영역과, 표시가 이루어지지 않는 그 외곽의 비표시 영역으로 이루어진다.
여기서, 비표시 영역에는 상기 제 1 기판(30)과, 상기 제 2 기판(40) 사이에 는 씰 패턴(50)이 형성되어 두 기판을 합착하고 있다. 이 때, 상기 비표시 영역의 상기 제 2 기판(40)에는 블랙 매트릭스층(41)이 형성되어 빛샘이 발생하지 않도록 한다. 이 때, 상기 비표시 영역의 블랙 매트릭스층(41) 상에는 오버코트층(43)이 더 형성될 수 있다.
그리고, 표시 영역은 도 2 및 도 3에 대해 기술한 바와 같이, 구성된다.
종래의 횡전계형 액정 표시 장치는 서로 다른 층에 공통 전극(35a)과 화소 전극(33)이 교번하는 배치로 형성되어, 각 전극에 전압 인가시 두 전극간에 횡전계를 형성한다.
이 경우, 상기 공통 전극(35a)과 화소 전극(33) 사이에는 게이트 절연막(36)과 보호막(37a)이 개재되어 있다.
또한, 상기 제 1 기판(30)의 게이트 라인(도 2의 31 참조), 데이터 라인(32) 및 박막 트랜지스터(도 2의 TFT 표시부위)에 대응하는 위치에 상기 제 2 기판(40) 상에 블랙 매트릭스층(41)이 형성되고, 상기 블랙 매트릭스층(41)과 일부 오버랩하여 상기 화소 영역들에 대응하여 컬러 필터층(42)이 형성되고, 상기 블랙 매트릭스층(41) 및 컬러 필터층(42)을 포함한 제 2 기판(40) 전면에 오버코트층(43)이 형성된다.
여기서, 상기 블랙 매트릭스층(41)은 상기 공통 전극(35a)과 데이터 라인(32) 이격된 영역에서 전경선 발생으로 나타나는 빛샘 불량을 방지하기 위하여 상기 공통 전극(35a)과 일부 오버랩되어 형성하는 것이 좋다.
즉, 종래의 보호막을 무기 절연막으로 형성하는 구조의 횡전계형 액정 표시 장치에 있어서는, 데이터 라인(32)과 이에 인접한 공통 전극(35a) 사이의 기생 용량을 저감시키기 위해, 공통 전극과 데이터 라인 사이에 일정 간격 이상을 두어 형성하였다. 이 경우, 상기 데이터 라인(32)과 상기 공통 전극(35a)간의 이격된 공간에서는 데이터 라인(32)과 인접 공통 전극(35a)간의 기생 캐피시턴스(Cdp) 형성으로 정상적인 횡전계가 형성되지 않아, 상기 공통 전극(35a)과 데이터 라인(32) 사이의 공간을 블랙 매트릭스층(41)으로 가리워왔다. 이와 같이, 블랙 매트릭스층(41)이 형성된 구간만큼 개구되지 않은 부분이 늘게 되어 종래에는 일정 부분 이상, 즉, 데이터 라인과 인접한 화소 영역의 사이의 공간만큼 개구율의 손실이 있어왔다.
그러나, 도 5b와 같이, 터치 후에는 상기 제 1 기판(30)에 비해 상기 제 2 기판(40)이 상대적으로 밀리게 되어, 비표시 영역에서 씰 패턴(50)은 쉬프트된 방향으로 편향하고, 이 때, 터치 전 블랙 매트릭스트층(41)에 가려졌던 상기 공통 전극(35a)과 데이터 라인(32)간의 이격된 영역은 터치 후 노출되게 되어 이 부위에서 빛샘이 발생하게 된다.
상기와 같은 종래의 액정 표시 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
칼럼 스페이서를 스페이서로 구비한 종래의 액정 표시 장치는 액정 패널을 한쪽 방향으로 미는 터치시 일측 기판이 타측 기판에 대해 밀림이 발생한 후, 칼럼 스페이서의 타측 기판에 대한 접촉 면적이 크기 때문에 접촉 부위의 마찰력이 커서 원 상태로의 회복이 느리다. 따라서, 터치시 기판 쉬프트(밀림)에 의한 빛샘이 발 생되고, 블랙 상태에서 컨트러스트 비(contrast ratio)를 왜곡시켜 화질 불량이 유발된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 액정 패널을 터치시 일측 기판이 타측 기판에 대해 상대적으로 밀리는 현상을 최소화하여 빛샘을 방지하는 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는 데, 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치는 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하며 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 'U'자형 채널을 구비하여 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 제 2 기판 상에, 상기 'U'자형 채널에 접하며 'U'자형 채널 사이의 제 1 기판 상으로부터는 이격하도록 형성된 제 1 칼럼 스페이서 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 충진된 액정층을 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.
상기 제 1 칼럼 스페이서는 상기 제 2 기판면에 대하여 그 수직단면이 'U'자형이며, 상기 'U'자형의 양측 'I'자형 패턴은 상기 'U'자형 채널 상측에 접하며, 상기 'U'자형의 하부 '―'자형 패턴은 제 2 기판면에 접하고 상기 제 1 기판 상으로부터는 이격하여 형성된다.
상기 게이트 라인 상부의 소정 부위에 대응하여 상기 제 2 기판 상에 상기 제 1 기판으로부터 이격되는 제 2 칼럼 스페이서가 더 형성된다.
상기 제 1 기판 상의 화소 영역에는 화소 전극이 형성되며, 상기 제 2 기판 상에는 공통 전극이 전면 형성된다.
상기 제 1 기판 상의 화소 영역에는 서로 교번하여 화소 전극과 공통 전극이 형성된다.
제 2 기판 상에는 상기 화소 영역을 제외한 영역에 형성된 블랙 매트릭스층 및 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 제 2 기판 상에 형성된 컬러 필터층을 더 포함한다.
상기 박막 트랜지스터는 상기 게이트 라인에서 돌출되어 형성된 게이트 전극과, 상기 데이터 라인에서 'U'자형으로 돌출되어 형성된 소오스 전극과, 상기 소오스 전극과 이격되어 'U'자형 내부로 소정 부분 들어와 형성된 드레인 전극 및 상기 게이트 전극과 소오스 전극/드레인 전극 사이의 층간에 형성된 반도체층을 포함하여 이루어진다.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치의 제조 방법은 제 1 기판 및 제 2 기판을 준비하는 단계과, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 'U'자형 채널을 구비한 박막 트랜지스터를 형성하는 단계와, 상기 제 2 기판 상에, 상기 'U'채널 및 채널 사이의 영역에 대응되어 그 수직단면이 'U'자형으로 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계와, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 중 어느 한 기판 상에 액정을 적하하는 단계 및 상기 제 1 기판의 박막 트랜지스터와 상기 제 2 기판 제 1 칼럼 스페이서가 대향되도록 하여 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.
상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는 상기 제 2 기판 상에 네거티브 감광성 수지를 도포하는 단계와, 상기 'U'자형 채널에 대응하는 영역에는 제 1 투과부, 상기 'U'자형 채널 내부에 대응하는 영역에는 반투과부 및 나머지 영역에는 차광부가 정의된 마스크를 상기 제 2 기판 상에 정렬하는 단계 및 상기 마스크를 이용하여 상기 네거티브 감광성 수지를 노광 및 현상하여 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 단계를 포함하여 이루어진다.
상기 게이트 라인 또는 데이터 라인에 대응되는 상기 마스크의 부위에 제 2 투과부를 더 정의하여, 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계에서 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성함과 동시에 제 2 투과부에 대응되어 제 2 칼럼 스페이서를 형성한다.
상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는 제 2 기판 상에 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계와, 상기 제 2 기판 상에 파지티브 감광성 수지를 도포하는 단계와, 상기 컬러 필터 어레이의 소정 부위에 'U'자형 채널에 대응하는 영역에는 제 1 차광부, 상기 'U'자형 채널 내부에 대응하는 영역에는 반투과부 및 나머지 영역에는 투과부가 정의된 마스크를 상기 제 2 기판 상에 정렬하는 단계와, 상기 마스크를 이용하여 상기 파지티브 감광성 수지를 노광 및 현상하여 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 단계를 포함하여 이루어진다.
상기 게이트 라인 또는 데이터 라인에 대응되는 상기 마스크의 부위에 제 2 차광부를 더 정의하여, 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계에서 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성함과 동시에 제 2 차광부에 대응되어 제 2 칼럼 스페이서를 형성한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 액정 표시 장치를 나타낸 평면도이며, 도 7은 도 6의 박막 트랜지스터 주변부를 나타낸 확대 평면도이고, 도 8은 도 6의 Ⅲ~Ⅲ' 선상의 구조 단면도이다.
도 6과 같이, 본 발명의 액정 표시 장치는 크게, 서로 대향되는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판(200)과, 상기 제 1, 제 2 기판(100, 200) 사이에 충진된 액정층(250)을 포함하여 이루어진다.
상기 제 1 기판(100) 상에는 서로 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인(101)과 데이터 라인(102)과, 상기 게이트 라인(101)과 데이터 라인(102)의 교차부에 형성된 박막 트랜지스터(TFT)와, 상기 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 전극(102b)과 전기적으로 연결된 제 1 스토리지 전극(103a)과, 상기 제 1 스토리지 전극(103a)으로부터 분기되어 형성된 화소 전극(103)과, 상기 화소 전극(103)과 교번되는 분기된 공통 전극(104)과, 상기 게이트 라인(101)과 평행하게 형성된 공통 라인(104a) 및 상기 공통 라인(104a)과 공통 전극(104a)에 연결되며 상기 제 1 스토리지 전극(103a)과 오버랩된 제 2 스토리지 전극(104b)을 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 박막 트랜지스터(TFT)는 채널이 소오스 전극(102a)과 드레인 전극(102b) 사이의 영역에 정의되는 것으로, 채널 또한, 소오스 전극(102a)의 형상의 내부를 따라 'U'자형으로 정의된다. 이러한 박막 트랜지스터(TFT)는, 상기 게이 트 라인(101)에서 돌출된 게이트 전극(101a)과, 상기 데이터 라인(102)에서 돌출되어 형성된 'U'자형의 소오스 전극(102a)과, 상기 'U'자형의 소오스 전극(102a)과 소정 간격 이격되어 상기 'U'자형의 소오스 전극(102a) 내부로 들어오는 드레인 전극(102b)을 포함하여 형성된다. 그리고, 상기 데이터 라인(102), 소오스 전극(102a), 드레인 전극(102b) 하부 및 상기 소오스 전극(102a)과 드레인 전극(102b) 사이의 채널 영역 하부에는 반도체층(미도시)이 더 형성된다. 여기서, 상기 반도체층은 하부로부터 비정질 실리콘층(미도시)과 n+층(불순물층)(미도시)의 적층체로 이루어지며, 상기 소오스 전극(102a)과 드레인 전극(102b) 사이의 영역에 대응되는 채널 영역에서는 상기 n+층이 제거되어 있다.
그리고, 상기 게이트 라인(101)과 반도체층 사이의 층에는 게이트 절연막(105)이 개재되며, 상기 데이터 라인(102)과 상기 화소 전극(103)의 사이의 층에는 보호막(106)이 개재된다.
한편, 상기 화소 영역을 지나는 공통 라인(104a)과 연결된 제 2 스토리지 전극(104b)과, 그 상부에 형성되는 제 1 스토리지 전극(103a) 및 상기 두 전극 사이에 개재되는 게이트 절연막(105) 및 보호막(106)은 스토리지 캐패시터(storage capacitor)를 이룬다.
상기 제 1 기판(100)에 대향되는 제 2 기판(200) 상에는 상기 화소 영역을 제외한 영역(게이트 라인 및 데이터 라인 부위)에 대응되어 형성되는 블랙 매트릭스층(201)과, 상기 제 2 기판(200) 상에 형성된 컬러 필터층(202)과, 상기 블랙 매트릭스층(201)과 컬러 필터층(202)을 포함한 제 2 기판(200) 상에 형성된 오버코트 층(203)이 형성된다.
그리고, 상기 'U'자형 소오스 전극 내의 채널 부위(도 7의 A 부위)에 대응되어 상기 오버코트층(203) 상에 제 1 칼럼 스페이서(210)가 형성되고, 상기 게이트 라인(101) 상의 소정 부위에 대응되어 제 2 칼럼 스페이서(220)가 형성된다.
여기서, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)는 수직 단면이 역상의 'U'자형으로 형성되는 칼럼 스페이서로, 이 때, 'U'자형(수직 단면)의 돌출된 양측 부위가 상기 소오스 전극(102a) 내의 'U'자형 채널(수평 단면)(A)에 닿아 있다. 이 때, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)의 'U'자형 패턴에서 들어간 부위(B)는 상기 소오스 전극(102a) 내에 위치한 드레인 전극(102b)과는 접하거나 혹은 접하지 않을 정도로 들어가 있다.
이 때, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)의 'U'자형 패턴 중 돌출된 부위의 높이에 한하여 그 상부면(이 때, 제 2 기판(200)을 기준면으로 하여 제 2 칼럼 스페이서(220)의 상부면은 상기 제 2 기판(200) 면에 닿지 않는 상부면)이 평평하게 형성된다.
상술한 제 1 기판(100) 상에 형성되는 박막 트랜지스터(TFT) 중 상기 'U'자형 채널은 소오스 전극(102a)과 드레인 전극(102b) 사이에 정의되며, 이 때, 상대적으로 박막 트랜지스터(TFT)의 타 영역에 비해 소오스/드레인 전극(102a, 102b)이 형성되지 않기 때문에, 소오스/드레인 전극(102a, 102b)이 갖는 두께만큼 높이 차를 갖는다.
상기 제 1 칼럼 스페이서(210)는 이와 같이, 상대적으로 소오스 전극(102a) 과 드레인 전극(102b) 전극 사이에 상기 소오스/드레인 전극(102/102b)에 비해 더 낮은 부위에 형성된 'U'자형 채널 상측에 접하여 형성되어, 제 1, 제 2기판(100, 200) 합착 후, 마치 상기 'U'자형 채널 내에 끼워진 형태로 대응된다. 따라서, 상기 제 1 기판(100) 또는 제 2 기판(200)의 배면을 일 방향으로 미는 터치시에도 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)에 제 1 기판(100)이 잡혀있기 때문에, 상기 제 1 기판(100) 또는 제 2 기판(200)이 대향 기판에 비해 상대적으로 밀리는 현상이 발생하지 않는다. 이와 같이, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)는 터치시 밀림 방지하는 기능을 함과 동시에 상기 제 1, 제 2 기판(100, 200) 사이에 셀 갭을 지지하는 기능을 한다.
또한, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)와 동일 공정에서 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)의 'U'자형 중 양측의 'I'자형 패턴의 상응하는 높이로 형성되나, 제 1, 제 2 기판(100, 200)간의 합착 후, 상대적으로 단차가 낮은 게이트 라인(101) 상측에 대응됨으로 인해 상기 제 1 기판(100)으로부터 소정 간격(a) 이격되어 형성되게 된다. 이 때, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)와 제 1 기판(100)의 상부(보호막(106)의 표면)와의 이격 두께는 약 0.26㎛에서 0.37㎛ 사이로 이는 소오스/드레인 전극(102a/102b) 두께 및 반도체층(108)의 두께에 상응할 것이다.
상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는 눌림 방지 스페이서로 기능하는 것으로, 일정 밀도로 형성되어 셀 갭 유지 기능을 소정 부분 담당하며, 합착 후 제 1 기판(100)에 대해 일정 간격 이격된 상태에 있어, 외압이 가해지더라도 제 2 칼럼 스페 이서(220)는 제 1 기판(100)과 닿거나 약간 눌릴 정도로 제 1 기판(100)과 접하게 되어, 외압에 의해 소정 부위가 눌리는 도장 불량 등을 방지하게 된다.
한편, 본 발명의 액정 표시 장치에 대한 실험시 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)는 24개의 서브픽셀마다 위치시키고, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는 3개의 픽셀마다 위치시키며, 하나의 서브픽셀 면적은 22188㎛2로 하고, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)와 제 2 칼럼 스페이서(220)의 하부 면적은 약 563.7㎛2로 하였다. 이 경우, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)와 상기 'U'자형 채널 상측의 접하는 부위는 면적(A 부위의 면적)은 약 240㎛2이며, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)의 상부면은 하부면적은 0.61배가 되었다. 이 경우, 제 1 칼럼 스페이서(210)의 제 1 기판(100)의 표시 영역 전체 면적에 대한 제 1 칼럼 스페이서(210) 접촉 부위의 접촉 밀도는 0.045069%(240㎛2/(24*22188㎛2)) 가 되며, 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)의 제 1 기판(100)의 표시 영역 전체 면적에 대한 제 2 칼럼 스페이서(220)의 접촉시 접촉 밀도는 0.2910%((563.7㎛2*0.61)/(3*22188㎛2))가 된다. 이러한 예는 하나의 모델에 대한 일 예로, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(210, 220)들의 제 1 기판(100)에의 접촉 면적 및 밀도는 다양하게 변할 수 있다.
도시된 도면들에서는 상기 제 2 칼럼 스페이서(220)는 상기 게이트 라인(101)에 대응되는 부위에 형성됨을 도시하였으나, 이 부위에 한정되지 않고, 경우에 따라 데이터 라인(102)에 대응하여서도 형성될 수 있다. 즉, 이러한 제 2 칼럼 스페이서(220)는 화소 영역을 제외한 영역(게이트 라인 및 데이터 라인), 즉, 비화소 영역인 블랙 매트릭스층(201) 상부에 대응되어 형성될 수 있다.
이러한 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(210, 220)는 동일한 패터닝 공정에서 형성되는 것으로, 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)의 요철을 형성하기 위해 회절 노광 공정을 통해 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)가 형성된다.
이하에서는 도면을 참조하여 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서의 제조 방법에 대해 설명한다.
도 9a 내지 도 9d는 본 발명의 액정 표시 장치에 있어서, 칼럼 스페이서의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 9a와 같이, 제 2 기판(200) 상의 소정 영역(화소 영역을 제외한 영역)에 대응되어 블랙 매트릭스층(201)을 형성하고, 상기 블랙 매트릭스층(201)을 포함한 제 2 기판(200) 상에 R, G, B 각 색상의 컬러 필터층(202)을 형성하고, 상기 블랙 매트릭스층(201) 및 컬러 필터층(202)을 포함한 제 2 기판(200) 전면에 오버코트층(203)을 형성하여 컬러 필터 어레이를 준비한다.
도 9b와 같이, 상기 컬러 필터 어레이를 포함한 제 2 기판(200) 전면에 네거티브 감광성 수지를 도포한다.
도 9c와 같이, 'U'자형 채널 부위와 제 2 칼럼 스페이서(220, 미도시) 형성부위에 대응하여 투과부(302)가 정의되며, 상기 'U'자형 채널의 양측 사이에 대응되어 반투과부(303)가 정의되며, 나머지 영역이 차광부(301)로 정의된 마스크(300)를 준비한 후, 상기 마스크(300)를 상기 제 2 기판(200) 상부에 대응시킨다.
상기 마스크(300)는 상기와 같이, 투과부, 차광부와 함께 반투과부가 정의되도록 회절 노광 마스크나 하프톤 마스크를 이용한다. 이 때, 형성하고자 하는 상기 제 1 칼럼 스페이서(210)의 'U'자형 패턴에서 들어간 부위(B)의 들어간 정도에 대해 상기 반투과부의 회절정도나 하프톤 정도를 조절하도록 한다.
이어, 상기 마스크(300)를 이용하여 상기 네거티브 감광막(214a)을 노광하여 노광 영역을 정의한다.
이 때, 상기 투과부(302)에 대응되는 부위는 완전 노광되고, 상기 반투과부(303)에 대응되는 부위는 부분 노광되고, 차광부(301)에 대응되는 광이 완전히 차단되어, 각 부위에 노광된 조사량만큼 상기 네거티브 감광막(214a)이 반응한다.
도 9d와 같이, 상기 마스크(300)를 제거 후, 상기 네거티브 감광막(214a)을 현상하여 제 1 칼럼 스페이서(210) 및 제 2 칼럼 스페이서(220)를 형성한다.
도 9c의 노광 공정에 의한 상기 네거티브 감광막(214a)의 반응은 육안으로 관찰되는 것이 아니라 화학적 변화로 이러한 반응에 의한 변화는 도 9d에서와 같이, 현상액을 상기 네거티브 감광막(214a)에 적용시 나타난다.
한편, 네거티브 감광막의 경우, 완전 노광된 부위는 현상 후 남아있고, 부분 노광된 부위는 부분적으로 남아있고, 노광되지 않은 부위는 제거되는 경향을 나타낸다. 따라서, 도 9d와 같이, 제 1 칼럼 스페이서(210)는 제 2 기판(200)면에 대하여 그 수직단면이 'U'자형의 모습을 가지도록 패터닝되며, 제 2 칼럼 스페이서(220)는 사다리꼴 내지 직사각형에 유사한 형태로 패터닝된다.
여기서, 상술한 제 1, 제 2 칼럼 스페이서의 제조는 그 재질을 네거티브 감 광막(214a)을 기준으로 하여 설명하였으나, 이 경우, 상기 네거티브 감광막은 파지티브 감광막으로 대체하고, 상기 마스크를 역상으로 정의함으로써, 동일한 형상으로 패터닝될 수 있다.
이 경우, 파지티브 감광막 적용시 제 2 기판(200) 상에 정렬되는 마스크의 상은 다음과 같다. 즉, 상기 마스크는 컬러 필터 어레이의 소정 부위에 'U'자형 채널에 대응하는 영역에는 차광부, 상기 'U'자형 채널 내부에 대응하는 영역에는 반투과부 및 나머지 영역에는 투과부가 정의되게 된다.
이와 같이, 상기 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(210, 220)를 이루는 성분에 따라 현상액은 각각의 감광막이 반응하는 용액을 이용하도록 한다.
이러한 제 1, 제 2 칼럼 스페이서(210, 220)를 형성한 후에는 상기 제 1 기판(100)과 제 2 기판(200) 중 어느 일 기판 상에 액정을 적하하고, 상기 제 1 기판(100)과 제 2 기판(200) 중 어느 일 기판의 비표시 영역에 씰 패턴을 형성한 후, 액정이 적하되지 않은 기판을 반전시켜 상기 제 1, 제 2 기판(100, 200)을 서로 대향시킨 후, 합착하게 된다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 평면도이다.
도 10과 같이, 본 발명의 다른 실시예는 TN 모드에 적용한 액정 표시 장치를 나타낸 것으로, 제 1 기판 상의 화소 영역에 하나의 전극으로 화소 전극(103)이 형성된 점과, 제 2 기판 상에 오버코트층 대신 공통 전극이 형성된 점을 제외하고는 도 6에 기술된 본 발명의 액정 표시 장치와 유사한 구조이다.
본 발명의 다른 실시예를 나타내는 TN 모드의 액정 표시 장치에 있어서도, 도 10과 같은 TN 모드에 있어서도, 도 8과 같이, 제 1 칼럼 스페이서는 제 2 기판 면에 그 수직단면이 'U'자형 패턴으로 형성되며, 제 2 칼럼 스페이서는 그 상부면이 평탄하게 형성된다.
이와 같이, TN 모드를 적용한 경우에도, 상술한 본 발명의 액정 표시 장치와 같이, 제 1 칼럼 스페이서는 셀 갭 지지와, 터치시 기판 밀림을 방지하는 기능을 하고, 상기 제 2 칼럼 스페이서는 국부적인 외압에 대해 눌림을 방지하는 기능을 함은 동일하다.
상기와 같은 본 발명의 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 'U'자형 채널을 구비한 박막 트랜지스터에 대하여, 상기 'U'자형 채널 상측에 대응하여서는 접하며, 상기 'U'자형 채널 내부의 영역 상에 대응하여서는 이격하도록 제 2 기판면에 그 수직단면이 'U'자형인 칼럼 스페이서를 형성함으로써, 제 1 기판 상의 상대적으로 들어간 부위에 칼럼 스페이서의 나온 부위가 끼워지는 형태로 형성되도록 함으로써, 기판의 배면을 일 방향으로 미는 터치시에 기판의 밀림 현상을 방지하여 터치 불량을 원천적으로 방지할 수 있다.
둘째, 박막 트랜지스터에 비해 상대적으로 단차가 낮은 게이트 라인 또는 데이터 라인 상의 소정 부위에 눌림 방지 칼럼 스페이서를 소정의 밀도로 대응시키도록 하여, 상기 눌림 방지 칼럼 스페이서가 셀 갭을 유지하는 기능을 함과 동시에 초기 합착시 대향 기판과 이격된 상태로 있기 때문에 국부적인 압력에 대해 칼럼 스페이서 대응 부위가 찍히거나 찍힘에 의한 눌림 불량(도장 불량)이 발생함을 방지할 수 있다.

Claims (12)

  1. 서로 대향된 제 1 기판 및 제 2 기판;
    상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 화소 영역을 정의하며 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인;
    상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 'U'자형 채널을 구비하여 형성된 박막 트랜지스터;
    상기 제 2 기판 상에, 상기 'U'자형 채널에 접하며 'U'자형 채널 사이의 제 1 기판 상으로부터는 이격하도록 형성된 제 1 칼럼 스페이서; 및
    상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 충진된 액정층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 칼럼 스페이서는 상기 제 2 기판면에 대하여 그 수직단면이 'U'자형이며, 상기 'U'자형의 양측 'I'자형 패턴은 상기 'U'자형 채널 상측에 접하며, 상기 'U'자형의 하부 '―'자형 패턴은 제 2 기판면에 접하고 상기 제 1 기판 상으로부터는 이격하여 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트 라인 상부의 소정 부위에 대응하여 상기 제 2 기판 상에 상기 제 1 기판으로부터 이격되는 제 2 칼럼 스페이서가 더 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 기판 상의 화소 영역에는 화소 전극이 형성되며, 상기 제 2 기판 상에는 공통 전극이 전면 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 기판 상의 화소 영역에는 서로 교번하여 화소 전극과 공통 전극이 형성된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    제 2 기판 상에는 상기 화소 영역을 제외한 영역에 형성된 블랙 매트릭스층 및 상기 블랙 매트릭스층을 포함한 제 2 기판 상에 형성된 컬러 필터층을 더 포함한 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 박막 트랜지스터는
    상기 게이트 라인에서 돌출되어 형성된 게이트 전극;
    상기 데이터 라인에서 'U'자형으로 돌출되어 형성된 소오스 전극;
    상기 소오스 전극과 이격되어 'U'자형 내부로 소정 부분 들어와 형성된 드레인 전극; 및
    상기 게이트 전극과 소오스 전극/드레인 전극 사이의 층간에 형성된 반도체층을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
  8. 제 1 기판 및 제 2 기판을 준비하는 단계;
    상기 제 1 기판 상에 서로 교차하는 게이트 라인 및 데이터 라인과, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부에 'U'자형 채널을 구비한 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;
    상기 제 2 기판 상에, 상기 'U'채널 및 채널 사이의 영역에 대응되어 그 수직단면이 'U'자형으로 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계;
    상기 제 1 기판과 제 2 기판 중 어느 한 기판 상에 액정을 적하하는 단계; 및
    상기 제 1 기판의 박막 트랜지스터와 상기 제 2 기판 제 1 칼럼 스페이서가 대향되도록 하여 합착하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는
    상기 제 2 기판 상에 네거티브 감광성 수지를 도포하는 단계;
    상기 'U'자형 채널에 대응하는 영역에는 제 1 투과부, 상기 'U'자형 채널 내부에 대응하는 영역에는 반투과부 및 나머지 영역에는 차광부가 정의된 마스크를 상기 제 2 기판 상에 정렬하는 단계; 및
    상기 마스크를 이용하여 상기 네거티브 감광성 수지를 노광 및 현상하여 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 게이트 라인 또는 데이터 라인에 대응되는 상기 마스크의 부위에 제 2 투과부를 더 정의하여, 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계에서 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성함과 동시에 제 2 투과부에 대응되어 제 2 칼럼 스페이서를 형성함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계는
    제 2 기판 상에 컬러 필터 어레이를 형성하는 단계;
    상기 제 2 기판 상에 파지티브 감광성 수지를 도포하는 단계;
    상기 컬러 필터 어레이의 소정 부위에 'U'자형 채널에 대응하는 영역에는 제 1 차광부, 상기 'U'자형 채널 내부에 대응하는 영역에는 반투과부 및 나머지 영역에는 투과부가 정의된 마스크를 상기 제 2 기판 상에 정렬하는 단계;
    상기 마스크를 이용하여 상기 파지티브 감광성 수지를 노광 및 현상하여 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 게이트 라인 또는 데이터 라인에 대응되는 상기 마스크의 부위에 제 2 차광부를 더 정의하여, 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성하는 단계에서 상기 제 1 칼럼 스페이서를 형성함과 동시에 제 2 차광부에 대응되어 제 2 칼럼 스페이서를 형성함을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
KR1020050033143A 2005-04-21 2005-04-21 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법 KR20060110665A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050033143A KR20060110665A (ko) 2005-04-21 2005-04-21 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050033143A KR20060110665A (ko) 2005-04-21 2005-04-21 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060110665A true KR20060110665A (ko) 2006-10-25

Family

ID=37616429

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050033143A KR20060110665A (ko) 2005-04-21 2005-04-21 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060110665A (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101294692B1 (ko) * 2006-11-28 2013-08-08 엘지디스플레이 주식회사 기둥형상의 스페이서 제조방법
KR101363746B1 (ko) * 2007-04-10 2014-02-21 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 이의 제조 방법
WO2014183328A1 (zh) * 2013-05-13 2014-11-20 深圳市华星光电技术有限公司 薄膜晶体管、薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
US10534229B2 (en) 2015-12-09 2020-01-14 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display device and method of manufacturing the same

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101294692B1 (ko) * 2006-11-28 2013-08-08 엘지디스플레이 주식회사 기둥형상의 스페이서 제조방법
KR101363746B1 (ko) * 2007-04-10 2014-02-21 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 이의 제조 방법
WO2014183328A1 (zh) * 2013-05-13 2014-11-20 深圳市华星光电技术有限公司 薄膜晶体管、薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
US10534229B2 (en) 2015-12-09 2020-01-14 Samsung Display Co., Ltd. Liquid crystal display device and method of manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100965572B1 (ko) 액정 표시 장치
KR101137842B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR100617039B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
JP4578443B2 (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
KR101182314B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20070063662A (ko) 액정표시장치 및 이의 제조방법
KR20050086319A (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101192761B1 (ko) 액정표시장치 및 이의 제조방법
CN1949041B (zh) 制造液晶显示装置的方法
KR101182318B1 (ko) 횡전계형 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR100672648B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20060110665A (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20050086342A (ko) 액정 표시 장치 및 제조 방법
KR20070002187A (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20070047087A (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101182316B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101182312B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101085148B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR20060067320A (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101074393B1 (ko) 액정 표시 장치
KR20070059303A (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR101244663B1 (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법
KR101244666B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR100617041B1 (ko) 액정 표시 장치
KR101182317B1 (ko) 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination