KR20060097425A - 유량 제어가 가능한 ｍｃｖｄ용 버블 발생 장치 - Google Patents

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KR20060097425A
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김종해
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엘에스전선 주식회사
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Abstract

본 발명은 MCVD 공법에 따른 광섬유 모재의 제조시 버블러 내부에 수용된 액상 화학 물질의 수위를 감지하여 화학 물질의 수위를 일정 레벨로 유지시키는 MCVD용 버블 발생 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 MCVD용 버블 발생 장치는, 액상화학 물질을 수용하는 버블러, 버블러와 연통되도록 설치되어 액상 화학 물질을 공급하도록 액상 화학 물질을 수용하는 레저버, 레저버로 연결되는 소정의 파이프에 설치되어 레저버 내부로 공급되는 압력 조절용 가스량을 제어하어 레저버로부터 레벨 측정 용기로 공급되는 액상 화학 물질의 양을 제어하는 유량 조절 장치, 버블러 내부에 수용된 액상 화학 물질의 수위를 감지하도록 버블러 측면의 상부로부터 하부까지 소정 거리 이격되어 설치된 복수의 광섬유 센서, 및 복수의 광섬유 센서와 전기적으로 연결되어 복수의 광섬유 센서로부터 상기 버블러 내부에 수용된 액상 화학 물질의 수위 정보를 수신하여 유량 조절 장치를 제어하는 제어수단을 포함한다. 본 발명에 따르면, MCVD 공정이 진행됨에 따라 버블러 내부에 수용된 화학 물질의 수위가 변동되더라도 버블러 내부의 화학 물질의 양이 일정하게 유지되어 양질의 광섬유 모재가 제조될 수 있다.
버블러, MCVD, 광섬유 센서

Description

유량 제어가 가능한 ＭＣＶＤ용 버블 발생 장치{Apparatus of generating bubble in fablicating optical fiber preform capable of regulating flow}
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 종래의 MCVD용 버블 발생 장치의 구성도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 MCVD용 버블 발생 장치의 구성도.
본 발명은 MCVD용 버블 발생 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 MCVD 공법에 따른 광섬유 모재의 제조시 버블러 내부에 수용된 액상의 화학 물질의 수위를 감지하여 화학 물질의 수위를 일정 레벨로 유지시키는 MCVD용 버블 발생 장치에 관한 것이다.
수정화학기상증착(Modified Chemical Vaper Deposition; 이하'MCVD'라고 한다)공법은 광섬유 모재 튜브 내부에 반응기체와 함께 캐리어 가스를 주입하고, 열 원을 이용하여 튜브를 가열하여 튜브 내부에서 열산화 반응으로 인한 증착이 레이어 단위로 반복적으로 이루어지도록 하여 클래딩층 및 코어층을 형성시키는 광섬유 모재 제조 공법이다. 이와 같은 MCVE 공법에서는 액체 상태의 화학 물질을 기체 상태로 만들어 모재내로 공급하는 버블 발생 장치가 사용된다.
도 1에는 종래의 MCVD용 버블 발생 장치의 구성이 도시되어 있다. 도면을 참조하면, 종래의 버블 발생 장치는 액상의 화학 물질이 수용되는 버블러(11), 상기 버블러(11)와 연통되어 버블러(11) 내부로 화학 물질을 공급하는 레저버(12), 액상의 화학 물질을 기화시키기 위해 외부로부터 버블러(11) 내부로 인입되는 캐리어 가스 주입관(13), 및 기체 상태로 된 화학 물질이 배출되는 원료 가스 배출관(14), 및 버블러(11) 내의 화학 물질이 일정 온도를 유지하도록 열을 가해주는 가열장치(15)를 구비한다.
상기와 같은 구성의 버블 발생 장치는, 캐리어 가스 주입관(13)을 통해 산소 등의 캐리어 가스를 주입함과 아울러 가열장치(15)를 이용해 액상의 화학 물질을 가열함으로써 액상의 화학 물질의 표면으로부터 기화되는 반응가스가 상기 원료 가스 배출관(14)을 따라 모재 내부로 공급되도록 동작된다.
그러나, 이러한 버블 발생 장치를 사용하여 광섬유 모재를 제조할 경우, 공정이 진행됨에 따라 버블러(11) 내부의 액상의 화학 물질(1)이 소모되어 모재 내부로 공급되는 반응가스의 양이 감소하여 증착공정이 제대로 이루어지지 않는 문제가 있다. 또한, 모재 튜브의 외경 유지를 위한 내압 제어를 수행할 경우 버블러(11) 내부의 캐리어 가스 증기압이 변동되고, 이에 따라 버블러(11) 내부에 충진된 화학 물질의 수위에 영향을 미쳐 모재 내부로 공급되는 반응가스의 양이 달라지는 문제가 있다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위해, 종래에는 수동으로 압력 유지 장치(미도시)를 조정하여 레저버(12) 내부로 소정의 압력 유지용 가스를 주입시켜 레저버(12) 내부의 압력을 제어하였다. 이에 따라 레저버(12)로부터 버블러(11)로 화학 물질이 유입 되어 버블러(11) 내의 화학 물질의 수위가 조절되었다.
하지만, 종래 기술에 따르면 수동으로 압력 유지 장치를 조정한 후에는 모재를 제조하는 공정이 종료될 때까지 압력 유지 장치를 임의로 조정하지 않으므로 화학 물질이 소모됨에 따라 기화된 화학 물질이 모재내로 유입되기 어려운 문제가 있다. 또한, 증착로의 불규칙적인 압력 변화나 버블러(21) 내로 유입되는 캐리어 가스량의 변화에 따른 즉각적인 화학 물질의 수위 조절이 이루어지지 않아 모재 내부로 반응가스가 일정하게 유입되지 않는 문제도 있다.
다른 종래 기술로서, 미국특허 제4235829호에는 발광부와 수광부로 이루어진 광센서(도 1에서 16)가 버블러(11)의 측면에 구비되어 상기 광센서와 전기적으로 연결된 가스 유량 조절 장치(도 1에서 17)를 이용하여 유량을 조절하는 기술이 개시되어 있다. 이와 같은 구성을 가진 버블 발생 장치는 버블러(11) 내의 액상 화학 물질의 수위에 따라 발광부에서 버블러(11) 내부로 조사된 빛의 양을 수광부가 감지하고, 이를 전기 신호로 변환하여 버블러(11)와 레저버(12)를 연결하는 파이프에 설치된 가스 유량 조절 장치(16)로 전송한다. 그러면, 가스 유량 조절 장치(16)는 레저버(12) 내부로 공급되는 압력 조절용 가스량을 조절함으로써 레저버(12) 내부 의 압력을 변화시킨다. 이에 따라, 레저버(12)로부터 버블러(11)로 공급되는 화학 물질의 양이 조절되어 버블러(11) 내의 액상 화학 물질의 수위는 일정하게 유지된다.
하지만, 이와 같은 버블 발생 장치에서는 버블러(11) 내부의 캐리어 가스 주입관(13)이 광센서(16)의 발광부에서 방출되는 빛을 방해하여 수위를 제대로 감지하기 어려운 문제가 있다. 그리고, 버블러(11) 내부에서 발생하는 버블에 의한 액상의 화학 물질의 상하 유동으로 인해 실제 수위를 판단하는데 오류가 발생할 우려가 있고, 상기 가스 유량 조절 장치에 의해 버블러 내로 유입되는 화학 물질의 양이 조절된 후 소정 시간이 지나서 수위를 다시 감지하므로 신속하게 수위 제어가 이루어지지 않는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 창안된 것으로서, MCVD 공법에 따른 광섬유 모재 제조시에 버블러 내부에 수용된 액상의 화학 물질의 수위에 따라 버블러 내부로 유입되는 화학 물질의 양을 조절함으로써, 신속하고 안정적으로 버블러 내부의 화학 물질의 양을 일정하게 유지시키는 MCVD용 버블 발생 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 MCVD용 버블 발생 장치는 ,액상 화학 물질을 수용하는 버블러, 버블러와 연통되도록 설치되어 액상 화학 물질을 공급하도록 액상 화학 물질을 수용하는 레저버, 레저버로 연결되는 소정의 파 이프에 설치되어 레저버 내부로 공급되는 압력 조절용 가스량을 제어하어 레저버로부터 버블러로 공급되는 액상 화학 물질의 양을 제어하는 유량 조절 장치, 버블러 내부에 수용된 액상 화학 물질의 수위를 감지하도록 버블러 측면의 상부로부터 하부까지 소정 거리 이격되어 설치된 복수의 광섬유 센서, 및 복수의 광섬유 센서와 전기적으로 연결되어 복수의 광섬유 센서로부터 상기 버블러 내부에 수용된 액상 화학 물질의 수위 정보를 수신하여 유량 조절 장치를 제어하는 제어수단을 포함한다.
여기서, 상기 복수의 광섬유 센서는 상기 버블러 측면 상부로부터 하부까지 소정 거리 이격되어 순차적으로 설치되는 제 1,.,A, A+1..N 광섬유 센서를 포함하며, 상기 광섬유 센서 중 제 A 및 A+1 광섬유 센서는 버블러 내부에 수용된 상기 액상 화학 물질의 정상 수위를 측정하도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 A 및 A+1 광섬유 센서 사이의 간격은 5~15mm인 것이 바람직하고, 상기 제 1 내지 A 광섬유 센서 중 인접한 광섬유 센서 사이의 간격과 상기 제 A+1 내지 N 광섬유 센서 중 인접한 광섬유 센서 사이의 간격은 15~25mm인 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설 명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 MCVD용 버블 발생 장치의 구성도이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 MCVD용 버블 발생 장치는 버블러(21)의 측면에 설치된 복수의 광섬유 센서(26)와, 상기 복수의 광섬유 센서(26)로부터 버블러(21) 내부에 수용된 액상 화학 물질의 수위 신호를 수신하여 유량 조절 장치(27) 를 제어하는 제어수단(28)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 버블러(21), 레저버(22), 캐리어 가스 주입관(23), 원료 가스 배출관(24), 및 가열장치(25)는 종래의 버블러에서 채용된 구성과 실질적으로 동일하다.
상기 복수의 광섬유 센서(26)는 일정 길이의 광섬유, 상기 광섬유 내부로 소정의 빛을 입사시켜 버블러(21) 내부로 빛을 조사하는 발광부, 및 버블러(21) 내부에서 반사된 빛을 감지하여 전기적인 신호로 변환하는 수광부로 이루어져, 일정 수위로 물질이 충진된 경우와 충진되지 않은 경우에 반사되는 빛의 차이를 감지하는 광섬유 센서(26a~26d)로 이루어져 있다.
상기 복수의 광섬유 센서(26)는 버블러(21) 내부에 수용된 액상의 화학 물질의 수위를 단계별로 측정하기 위해 버블러(21) 측면 상부로부터 하부까지 소정 거리 이격되어 설치된다. 버블러(21) 측면의 상부로부터 하부까지 설치된 복수의 광 섬유 센서(26)를 순차적으로 제 1, 2, 3, 4 광섬유 센서(26a,26b,26c,26d)라고 명명하면, 제 2 및 3 광섬유 센서(26b,26c)는 정상적인 화학 물질의 수위를 감지하도록 설치되고, 제 1 및 4 광섬유 센서(26a,26d)는 각각 화학 물질의 높은 수위와 낮은 수위를 감지하도록 설치되는 것이 바람직하다. 이와 같이 버블러(21) 내의 화학 물질의 수위 레벨에 따라 광섬유 센서(26a~26d)를 설치함으로써 후술하는 바와 같이 감지된 화학 물질의 수위 레벨에 따라 버블러(21) 내부의 화학 물질의 수위 증감 속도를 조절할 수 있게 된다.
상기 제어 수단(28)은 복수의 광섬유 센서(28)와 전기적으로 연결되어 복수의 광섬유 센서(28)로부터 버블러(21) 내부의 화학 물질의 수위 신호를 수신하여 유량 조절 장치(27)를 제어하는 장치이다. 제어 수단(28)은 수신된 수위 레벨 신호에 따라 유량 조절 장치(27)를 제어하여 버블러(21) 내부로 공급되는 화학 물질의 양을 조절하며, 제어 수단(28)으로는 PLC(Progrmmable Logic Controller)가 사용되는 것이 바람직하다.
상기 유량 조절 장치(27)는 외부 가스 공급 장치(미도시)와 레저버(22)를 연통하도록 설치된 소정의 가스 공급 파이프(29)에 설치되어 레저버(22) 내부의 압력을 증감시키는 장치이다. 유량 조절 장치(27)는 상기 제어 수단(28)으로부터 제어 신호를 수신하여 상기 외부 가스 공급 장치로부터 레저버(22)로 유입되는 소정의 압력 조절용 가스량을 제어함으로써 레저버(22)로부터 버블러(21)로 공급되는 화학 물질의 양을 조절한다. 상기 압력 조절용 가스로는 산소가 사용되는 것이 바람직하다.
이하, 상기와 같이 구성을 가진 MCVD용 버블 발생 장치의 동작을 설명한다.
도 2를 참조하면, 버블러(21) 내의 액체 화학 물질의 수위가 S3,S2,S1,S0인 지점에 각각 제 1, 2, 3, 4 광섬유 센서(26a,26b,26c,26d)가 설치되어 있다. 여기서, 정상적인 수위 범위는 S1~S2 로서, 수위가 S2를 넘으면 낮추어야 하고 수위가 S1 아래이면 높혀야 한다.
버블러(21) 내부의 화학 물질의 소모 또는 과도한 캐리어 가스의 주입으로 인해 수위가 너무 낮아져 S0 이하가 되면, 상기 제 4 광섬유 센서(26d)에 의해 버블러(21) 내부로 조사되어 반사되는 빛의 차이가 감지되고, 감지된 화학 물질의 수위 신호가 상기 제어 수단(28)으로 전송된다. 그러면, 제어 수단(28)은 상기 유량 조절 장치(27)의 밸브를 제어하여 외부 가스 공급 장치(미도시)로부터 레저버(22) 내부로 공급되는 압력 조절용 가스의 양을 증가시켜 레저버(22) 내부의 압력을 증가시킨다. 레저버(22) 내부의 압력이 증가함에 따라 레저버(22)로부터 버블러(21)로 화학 물질이 유입된다. 수위가 낮기 때문에 많은 양의 화학 물질이 버블러(21) 내부로 공급되도록 하기 위해서는 공급되는 화학 물질의 양을 증가 시켜야 한다. 따라서, 레저버(22) 내부로 많은 압력 조절용 가스가 주입되도록 상기 유량 조절 장치(27)를 제어하여 1분당 400cc의 화학 물질이 버블러(21)로 공급되도록 하는 것이 바람직하다. 화학 물질의 공급으로 인해 버블러(21) 내의 화학 물질의 수위가 높아져 S0~S1 범위에 도달하면, 상기 제 4 광섬유 센서(26d)에 의해 버블러(21) 내의 화학 물질이 감지되나 제 3 광섬유 센서(26c)에 의해서는 감지되지 않고, 이러한 전 기 신호가 제어 수단(28)으로 전송된다. 그러면, 제어 수단(28)은 유량 조절 장치(27)의 밸브를 제어하여 수위가 S0 이하로 감지된 경우보다 상대적으로 적은 양의 압력 조절용 가스가 레저버(22) 내부로 주입되도록 한다. 그러면, 레저버(21) 내부의 압력이 낮아져 수위가 S0 이하로 감지된 경우보다 상대적으로 작은 양의 화학 물질이 버블러(21)로 공급된다. 버블러(21)로 유입되는 화학 물질은 1분당 30cc의 속도로 공급되도록 하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 광섬유 센서(26)에 의해 감지된 수위가 정상적인 수위 범위(S1~S2)에 근접할수록 레저버(21) 내부로 공급되는 화학 물질의 양을 작게 하여 정상적인 수위 범위(S1~S2)를 넘지 않도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 증착로의 불규칙적인 압력 변화로 인해 수위가 너무 높아져 S3 를 넘으면, 상기 제 1 광섬유(26a)에 의해 버블러(21) 내부로 조사되어 반사되는 빛의 차이가 감지되고 감지된 화학 물질의 수위 신호가 상기 제어 수단(28)으로 전송된다. 그러면, 제어 수단(28)은 상기 유량 조절 장치(27)의 밸브를 제어하여 외부 가스 공급 장치(미도시)로부터 레저버(22) 내부로 주입되는 압력 조절용 가스의 양을 감소시킨다. 그러면, 레저버(22) 내부의 압력이 감소함에 따라 버블러(21)로부터 레저버(22)로 유입되는 화학 물질의 양은 줄어들게 되어 버블러(21) 내의 화학 물질의 수위가 감소된다. 바람직하게는, 레저버(22) 내부로 소량의 압력 조절용 가스가 공급되도록 상기 유량 조절 장치(27)를 제어하여 1분당 400cc의 화학 물질이 증 착 공정에 따라 소진되도록 한다. 수위가 낮아져 S2~S1 범위에 도달하면 상기 제 2 광섬유 센서(26b)에 의해 버블러(21) 내의 화학 물질이 감지되나 제 1 광섬유 센서(26a)에 의해서는 감지되지 않고, 이러한 전기 신호가 제어 수단(28)으로 전송된다. 그러면, 제어 수단(28)은 유량 조절 장치(27)의 밸브를 제어하여 수위가 S3를 초과한 경우보다 상대적으로 많은 양의 압력 조절용 가스가 레저버(22) 내부로 주입되도록 한다. 그러면, 레저버(21) 내부의 압력이 높아져 수위가 S3를 초과한 경우보다 상대적으로 많은 양의 화학 물질이 레저버(22)로부터 버블러(21)로 유입되고, 이에 따라 수위가 S3를 초과한 경우보다 상대적으로 느린 속도로 버블러(21) 내의 화학 물질의 수위가 낮아진다. 바람직하게는, 레저버(22) 내부로 대량의 압력 조절용 가스가 공급되도록 상기 유량 조절 장치(27)를 제어하여 1분당 30cc의 화학 물질이 증착 공정에 따라 소진되도록 한다. 이와 같이, 광섬유 센서(26)에 의해 감지된 수위가 정상적인 수위 범위(S1~S2)에 근접할수록 레저버(22)로부터 버블러(21)로 유입되는 화학 물질의 양을 증가시켜 증착 공정에 따라 많은 양의 화학 물질이 소진되도록하여, 레저버(21) 내부에 충진된 화학 물질의 수위 감소 속도를 감소시켜 정상적인 수위 범위(S1~S2)를 넘지 않도록 하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 과정을 통해 복수의 광섬유 센서(26)에 의해 감지된 수위 레벨에 따라 버블러(21) 내의 화학 물질의 수위 증감 속도가 조절된다.
한편, 수위를 제어하는 과정에서 만일 제 2 광섬유 센서(26b)와 제 3 광섬유 센서(26c) 사이의 간격(S1~S2)이 너무 좁으면, 버블러(21) 내부에서 발생한 버블에 의해 화학 물질이 상하로 유동함에 따라 광섬유 센서(28)에 의한 감지 오류가 발생할 우려가 있다. 그리고. 만일 제 2 광섬유 센서(26b)와 제 3 광섬유 센서(26c) 사이의 간격(S1~S2)이 너무 넓으면 정상적으로 인정되는 수위 폭이 너무 넓어지는 문제가 있으므로, 제 2 광섬유 센서(26b)와 제 3 광섬유 센서(26c) 사이의 간격(S1~S2)은 5~15mm 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 10mm이다.
그리고, 만일 제 3 광섬유 센서(26c)와 제 4 광섬유 센서(26d) 사이의 간격(S1~S0)이 너무 좁으면, S0 이하로 수위가 감지된 경우의 빠른 수위 증가 속도로 인해 수위가 정상적인 수위 범위의 한계점(S2)을 초과하였다가 다시 감소되므로 스윙 현상이 발생할 수 있다. 그리고, 만일 제 3 광섬유 센서(26c)와 제 4 광섬유 센서(26d) 사이의 간격(S0~S1)이 너무 넓으면 S0 이하로 수위가 감지된 경우보다 상대적으로 감소된 수위 증가 속도로 인해 정상 수위에 이르는데 많은 시간이 소요되는 단점이 있으므로, 제 3 광섬유 센서(26c)와 제 4 광섬유 센서(26d) 사이의 간격(S0~S1)은 15~25mm 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 20mm이다.
또한, 만일 제 1 광섬유 센서(26a)와 제 2 광섬유 센서(26b) 사이의 간격(S3~S2)은, 상기 제 3 광섬유 센서(26c)와 제 4 광섬유 센서(26d) 사이의 간격(S1~S0)에서 상술한 바와 같이 너무 좁으면, S3 을 초과한 것으로 수위가 감지된 경 우의 빠른 수위 감소 속도로 인해 수위가 정상적인 수위 범위의 한계점(S1) 이하로 떨어졌다가 다시 증가 되므로 스윙 현상이 발생할 수 있다. 그리고, 만일 제 1 광섬유 센서(26a)와 제 2 광섬유 센서(26b) 사이의 간격(S2~S3 )이 너무 넓으면 S3 를 초과한 것으로 수위가 감지된 경우보다 상대적으로 감소된 수위 감소 속도로 인해 정상 수위에 이르는데 많은 시간이 소요되는 단점이 있으므로, 제 1 광섬유 센서(26a)와 제 2 광섬유 센서(26b) 사이의 간격(S0~S1)은 15~25mm 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 20mm이다.
한편, 상술한 예에서는 4개의 광섬유 센서가 사용되는 예를 설명하였지만 본 발명은 이에 한정되지 않음은 물론이다.
이상과 같은 기술적 구성에 의해 본 발명의 기술적 과제는 달성되며, 본 발명이 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
본 발명에 의하면 MCVD 공정이 진행됨에 따라 버블러 내부에 수용된 액상의 화학 물질의 수위가 변동되더라도 화학 물질의 수위 레벨에 따라 버블러 내부로 유입되는 화학 물질의 양을 다르게 함으로써, 신속하고 안정적으로 버블러 내부의 화학 물질의 양을 일정하게 유지시켜주므로 버블러 내부에서 광섬유 모재내로 공급되 는 반응 가스의 양이 일정하게 유지되어 양질의 광섬유 모재가 제조될 수 있다.

Claims (4)

  1. 액상 화학 물질을 수용하는 버블러;
    상기 버블러와 연통되도록 설치되어 상기 액상 화학 물질을 공급하도록 액상화학 물질을 수용하는 레저버;
    상기 레저버로 연결되는 소정의 파이프에 설치되어 레저버 내부로 공급되는 압력 조절용 가스량을 제어하어 상기 레저버로부터 상기 버블러로 공급되는 상기 액상 화학 물질의 양을 제어하는 유량 조절 장치;
    상기 버블러 내부에 수용된 상기 액상 화학 물질의 수위를 감지하도록 버블러 측면의 상부로부터 하부까지 소정 거리 이격되어 설치된 복수의 광섬유 센서;및
    상기 복수의 광섬유 센서와 전기적으로 연결되어 복수의 광섬유 센서로부터 상기 버블러 내부에 수용된 상기 액상 화학 물질의 수위 정보를 수신하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 제어수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 MCVD용 버블 발생 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 복수의 광섬유 센서는,
    상기 버블러 측면 상부로부터 하부까지 소정 거리 이격되어 순차적으로 설치되는 제 1,.,A, A+1..N 광섬유 센서를 포함하며, 상기 광섬유 센서 중 제 A 및 A+1 광섬유 센서는 버블러 내부에 수용된 상기 액상 화학 물질의 정상 수위를 측정하도 록 설치되는 것을 특징으로 하는 MCVD용 버블 발생 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 A 및 A+1 광섬유 센서 사이의 간격은 5~15mm인 것을 특징으로 하는 MCVD용 버블 발생 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 내지 A 광섬유 센서 중 인접한 광섬유 센서 사이의 간격과 상기 제 A+1 내지 N 광섬유 센서 중 인접한 광섬유 센서 사이의 간격은 15~25mm인 것을 특징으로 하는 MCVD용 버블 발생 장치.
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