KR100693272B1 - 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의가열온도 조절방법 - Google Patents

광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의가열온도 조절방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법에 관한 것으로, 광섬유 모재를 제조하는 공정인 변형 화학 증착(modified chemical vapor deposition) 공정에서 수트(Soot, 분진)를 배기하는 수트 배기 튜브를 가열하는데 사용하는 보조 토치의 불꽃온도를 증착 버너의 위치에 따라 조절하여 과도한 열이 보조 토치에 의해 수트 배기 튜브에 가해지는 것을 방지함으로써, 배기 튜브가 과도하게 연화되는 것을 최소화하여 증착 튜브 내부에 균일한 증착을 이루어질 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
MCVD, 토치, 광섬유, 모재, 튜브, 버너, 증착, 유량제어기, 센서

Description

광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법{Optical Fiber Preform Manufacturing Device And Supporting Torch Heating Temperature Controlling Method Thereof}
도 1은 종래 광섬유 모재 제조장치의 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 광섬유 모재 제조장치의 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법의 순서도이다.
< 도면의 주요부분에 관한 부호의 설명 >
10: 증착 튜브 20: 수트 배출 튜브
30: 가스 공급부 40: 증착 버너
50: 보조 토치 60: 작업 선반
70: 후드 80: 유량 제어기
81: 밸브 82: 가스 저장소
100: 모재 제조장치 200: 토치용 유량 제어기
210: 마이컴 220: 메모리
300: 위치감지센서 1000: 모재 제조장치
본 발명은 변형 화학 증착(modified chemical vapor deposition, 이하 MCVD라 칭함)을 이용한 광섬유 모재의 제조방법 및 그 장치분야에 관한 것으로, 보다 상세하게는 MCVD 공정에서 코어 및 클래드 층의 균일한 증착을 위해 수트(soot, 분진) 배기 튜브를 가열하는데 사용하는 보조 토치의 불꽃온도를 증착용 버너의 위치에 따라 조절하여 과도한 열이 보조 토치에 의해 수트 배기 튜브에 가해지는 것을 방지함으로써, 고품질의 광섬유 모재를 제조할 수 있는 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법에 관한 것이다.
일반적으로 광섬유 모재를 제조하는 MCVD 공정은 고순도 석영관 속에 도펀트(dophant)를 포함한 원료 가스를 산소 가스와 함께 보냄과 동시에 석영관의 외측을 가열하고 내측에 유리막을 퇴적시킨 후 중실화(中實化)하여 모재를 제조하는 것이다. 이 때 상기 유리막의 퇴적이라는 것은 석영관 내부의 굴절율이 상이하도록 석영입자를 이용하여 코어층과 클래드층으로 증착하는 것이다.
상기 굴절율은 증착 조성물의 조성비를 변화시켜 증착함으로써, 조절할 수 있는데, 보통 증착 조성물로 SiO2 및 GeO2 등을 이용하여 주로 증착하며, SiO2 에 대한 GeO2 의 증착 비율을 조절하여 코어층과 클래드층의 굴절율에 변화를 주게 된다.
도 1은 종래 광섬유 모재 제조장치의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제조장치(100)는 석영관을 재질로 하는 증착 튜브(10)와, 상기 증착 튜브(10) 양측에 위치하여 증착 튜브(10)를 지지하는 수트 배출 튜브(20) 및 가스 공급부(30) 및 상기 가스 공급부(30)에 관연결되어 증착 가스인 도펀트의 공급 유량을 조절하는 밸브(81), 유량 제어기(80) 및 가스 저장소(82) 등을 포함하여 이루어진다.
아울러 상기 증착 튜브(10)의 하부에는 작업 선반(60)이 위치하며, 증착 버너(40)가 증착 튜브(10)의 축선방향을 따라 이동하면서 증착 튜브(10)를 가열한다.
또한 상기 증착 튜브(10)의 상부로 상기 수트 배출 튜브(20)에는 보조 토치(50)가 위치하여 수트 배출 튜브(20)에 계속적으로 열을 가하며, 상기 증착 튜브(10)의 상부에는 배기용 후드(70)가 설치되어 있다.
이러한 종래 제조장치를 사용한 제조공정을 살펴보면, 상기 증착 버너(40)가 회전 중인 증착 튜브(10) 외면을 1300℃∼1800℃로 가열하면서 이동하면, 가스 공급부(30)에서 공급된 증착가스인 SiCl4, GeCl4 가 화학 반응을 일으켜 무정형의 미소분말 물질형태, 즉 수트 형태의 SiO2 및 GeO2 가 형성된다.
상기 수트는 수트 배출 튜브(20) 방향으로 이동하고 이 때 가스 내 온도구배 형성시 저온쪽으로 입자가 이동하는 열영동(thermophoresis) 현상에 의해 상대적으로 저온인 증착 튜브(10) 벽면에 일부가 증착되고, 다른 일부는 수트 배출 튜브(20)를 통해 외부로 빠져 나간다.
그리고 MCVD 공정 중 증착 버너(40)가 이동하여 수트 배출 튜브(20) 근처에 위치하면, 수트 배출 튜브(20)에서도 열영동 현상이 발생되어 수트가 수트 배출 튜브(20)의 벽면에 증착하게 되며, 공정의 진행 중 결국은 수트 배출 튜브(20)가 막히는 문제점이 있다.
이를 해소하기 위해서는 수트 배출 튜브(20) 내에서 발생되는 상기 열영동 현상을 억제해야 하는데, 이러한 열영동 현상을 억제하는 방법으로는 수트 배출 튜브(20)를 보조 토치(50)를 이용하여 공정 진행 중 계속적으로 가열하는 방법이 있다. 그럼으로써, 증착버너(40)가 수트 배출 튜브(20) 근처에 위치해 있을 때 수트 배출 튜브(20) 내부의 온도 구배를 완만하게 하는 것이다.
이 때 상기 증착 버너(40)가 수트가 배출되는 부위 근처에 도달 후 초기 위치로 되돌아갈 때의 속도는 증착 버너(40)가 수트 배출부위 근처로 접근하는 속도의 10∼15배이다.
따라서 수트 배출 튜브(20)의 온도를 일정하게 유지시켜 주지 못할 경우 수트 배출 튜브(20)는 급작스럽게 냉각됨으로써, 열충격(thermal shock) 현상에 의해 수트 배출 튜브(20)의 깨짐 현상이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
그러므로 상기한 열영동에 의한 수트의 증착 및 열충격 감소를 위해 보조토치(50)는 약 400∼800℃ 정도로 수트 배출 튜브(20)를 가열한다.
하지만, 증착 튜브(10)는 앞에서 언급된 바와 같이, 수트 배출 튜브(20) 및 가스 공급부(30)에 의해 양측에서 지지되며 상기 보조 토치(50)에 의한 가열은 수트 배출 튜브(20)를 연화시키게 된다.
이러한 연화로 인해 상기 증착 튜브(10)는 자중에 의해 가스공급부(30) 측 의 지지부에서 처지게 되고, 가열이 지속될수록 처짐량이 증가하게 된다. 결국 이러한 증착 튜브(10)의 처짐은 MCVD 공정으로 제조되는 광섬유 모재의 품질이 저하되는 문제점으로 귀결된다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 제 1목적은, 광섬유 모재의 고품질을 실현할 수 있도록 광섬유 제조시 사용되는 보조 토치에 의한 가열로 증착 튜브가 연화되면서 자중에 의해 가스공급부 측에서 증착튜브가 처지는 것을 방지할 수 있는 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법을 제공하는 것이다.
그리고 본 발명의 제 2목적은, 이동하면서 증착 튜브를 가열하는 증착 버너의 위치에 따라 보조 토치의 연소량이 조절되어 가열정도가 결정될 수 있도록 위치감지센서 및 토치용 유량 제어기가 구비되어 기존의 광섬유 제조공정 진행에 차질없이 적용할 수 있는 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법을 제공하는 것이다.
이러한 본 발명의 목적들은, 석영을 재질로 하는 증착 튜브(10);
상기 증착 튜브(10)가 변형 화학 증착되도록 상기 증착튜브의 축선방향을 따라 이동하며 가열하는 증착 버너(40);
상기 증착 버너(40)의 이동 가열에 따라 발생되는 상기 증착 튜브(10) 내의 증착 조성물이 배출될 수 있도록 상기 증착 튜브(10)의 일측에 연결되는 수트 배출 튜브(20);
상기 증착 튜브(10)의 타측에 위치하여 도펀트를 공급하는 가스 공급부(30);
상기 가스 공급부(30)에 상기 도펀트가 공급되도록 내부에 상기 도펀트가 저장되어 상기 가스 공급부(30)에 관연결되는 가스 저장소(82) 및 유량 제어기(80);
상기 증착 튜브(10)에 대한 상기 수트 배출 튜브(20)의 상대적인 온도 차이를 저하시킬 수 있도록 상기 수트 배출 튜브(20)에 근접 설치되어 연속적으로 가열하는 보조 토치(50);를 포함하여 이루어지며,
상기 보조 토치(50)에는 상기 증착 버너(40)의 위치를 기초로 상기 보조 토치(50)의 연소량 및 가열온도가 조절되도록 토치용 유량 제어기(200)가 관연결되고,
상기 증착 버너(40)에 대한 위치감지 신호가 상기 유량 제어기(80)에 송출될 수 있도록 상기 토치용 유량 제어기(200)에 전기적으로 연결되는 위치감지센서(300)가 상기 증착 버너(40)의 이동경로 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재의 제조장치에 의하여 달성된다.
여기서 상기 토치용 유량 제어기(200)에는 상기 증착 버너(40)의 위치에 따른 상기 보조 토치(50)의 연소량에 관한 설정 데이터가 저장된 메모리(220)와,
상기 메모리(220) 및 상기 위치감지센서(300)에 전기적으로 연결되어 상기 보조 토치(50)의 연소량을 결정하는 마이컴(210)이 구비되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 위치감지센서(300)는 상기 증착버너(40)에 대한 위치감지원이 초음파 센서인 것이 보다 바람직하다.
또한 상기 위치감지센서(300)는 상기 증착버너(40)에 대한 위치감지원이 근 접스위치인 것이 보다 바람직하다.
또한 상기 보조 토치의 연소가스가 수소인 것이 바람직하다.
한편 상기와 같은 본 발명의 목적들은, 도펀트를 증착 튜브 내에 공급하고, 증착버너를 이동하면서 상기 증착 튜브의 표면을 가열하는 변형 화학 증착공정으로 모재를 형성하는 광섬유 모재의 제조방법에 있어서,
상기 증착버너의 이동 경로상에 설치된 위치감지센서로 상기 증착버너의 위치를 감지하는 단계(S1000);
상기 위치감지센서의 위치감지 신호와 상기 증착버너의 위치에 따른 보조토치의 연소량에 대한 데이터를 비교하여 토치용 유량제어기로 상기 보조토치의 연소량을 결정하는 단계(S2000); 및
결정된 상기 연소량을 사용하여 상기 보조 토치로 상기 증착 튜브에 연결된 수트 배출 튜브를 가열하는 단계(S3000);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법에 의하여 달성된다.
여기서 상기 연소량 결정단계(S2000)에서는 상기 보조 토치(50)의 연소량 결정은 상기 토치용 유량 제어기(200)에 내장된 마이컴(210)이 메모리(220)에 내장된 상기 데이터를 로딩하여 상기 위치감지신호와 비교 처리하여 이루어지는 것이 바람직하다.
그리고 상기 증착 버너(40)에 대한 위치감지는 상기 위치감지센서(300)의 감지원으로 초음파를 상기 증착 버너(40)에 발사하고 뒤돌아오는 초음파의 시간으로 위치를 감지하는 초음파 센싱방식인 것이 보다 바람직하다.
또한 상기 증착 버너(40)에 대한 위치감지는 상기 위치감지센서(300)의 감지원으로 근접스위치를 사용하는 것이 보다 바람직하다.
본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
다음으로는 본 발명에 따른 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법에 관하여 첨부되어진 도면과 더불어 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 광섬유 모재 제조장치의 구성도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 모재 제조장치(1000)는 석영을 재질로 하는 증착 튜브(10)에 도펀트를 주입하면서 증착 버너(40)로 회전 중인 증착 튜브(10)를 가열하여 MCVD 공정을 진행하기 위한 것으로, 이를 통해 광섬유의 모재(preform)가 제조된다.
또한 상기 증착 튜브(10)의 일측에는 수트 배출 튜브(20)가 연결되어 있어 증착 공정에서 화학적으로 발생되는 수트(soot, 분진) 형태의 증착 조성물이 외부로 배출되도록 한다.
이 때 증착 버너(40)로 가열되는 증착 튜브(10)와 수트 배출 튜브(20) 사이의 온도차이를 저하시켜 수트가 수트 배출 튜브(20) 내에 적층되어 막혀버리는 것을 방지할 수 있도록 상기 수트 배출 튜브(20)의 상부에는 보조 토치(50)가 설치되 어 상기 수트 배출 튜브(20)를 가열한다.
이러한 상기 모재 제조장치(1000)에서 상기 증착 튜브(10)의 상부에는 배기용 후드(70)가 설치되어 있고, 증착 튜브(10)의 하부에는 작업 선반(60)이 설치되어 있다.
그리고 상기 증착 튜브(10)는 앞에서 언급된 바와 같이 상기 수트 배출 튜브(20)가 일측에 연결되고, 타측에는 가스 공급부(30)가 연결되어 있어 증착 튜브(10)는 상기 수트 배출 튜브(20) 및 가스 공급부(30)에 의해 양측이 지지되어 있다.
이 때 상기 가스 공급부(30)에서는 MCVD 공정시 도펀트로서 이용되는 가스를 상기 증착 튜브(10) 내로 공급하게 되며, 이를 타측에는 도펀트로 이용되는 SiCl4 및 GeCl 4 가 저장된 가스 저장소(82) 및 유량 제어기(80)가 관연결되어 있으며, 상기 유량 제어기(80)에는 밸브(81)가 연결되어 있다.
아울러 상기 보조 토치(50)에는 상기 수트 배출 튜브에 대한 가열온도가 조절될 수 있도록 토치용 유량 제어기(200)가 연결되어 있는데, 상기 토치용 유량 제어기(200)는 마이컴(210)과 메모리(220)가 내장되어 있다.
이러한 상기 토치용 유량 제어기(200)는 상기 보조 토치(50)를 과도하게 가열할 경우 수트 배출 튜브(20)측의 증착 튜브(10) 지지부위의 지지력이 저하되는 것을 방지하기 위해 설치된다.
이러한 수트 배출 튜브(20)의 열로 인한 연화는 증착 튜브(10) 자체의 자중 에 의해 가스 공급부(30)가 연결된 타측을 기준으로 일측이 처지게 되는 원인으로 기능한다.
상기와 같은 처짐은 특히 증착 버너(40)가 가스공급부(30)에 근접하게 이동하면서 가스공급부(30)에 인접한 증착 튜브(10) 측을 가열할 경우 더욱 그러하다.
이에 따라 상기 토치용 유량 제어기(200)의 메모리(220)에는 상기한 증착 버너(40)의 이동에 따른 위치와 보조 토치(50)에서 사용되는 불꽃발생용 수소의 연소량에 대한 설정 데이터가 저장되어 있다.
아울러 상기 위치감지센서(300)는 상기 증착 버너(40)의 이동경로 중에 설치되어 있어 증착 버너(40)의 이동 위치를 감지할 수 있다. 감지된 신호는 상기 토치용 유량 제어기(200)의 마이컴(210)에 송출된다. 이 때 상기 위치감지센서(300)는 초음파를 이동 중인 증착 버너(40)에 발사하여 되돌아오는 초음파의 시간을 이용하여 거리를 감지하는 초음파센서나 근접스위치이다.
이러한 위치감지신호은 상기 마이컴(210)에 의해 메모리(220)의 저장된 데이터와 비교됨으로써, 보조 토치(50)의 연소량이 결정될 수 있으며 결정된 연소량으로 상기 보조 토치(50)로부터 불꽃이 발생된다.
만일 상기 증착 버너(40)가 수트 배출 튜브(20)에 근접할수록 상기 보조 토치(50)로부터 발생되는 불꽃의 온도는 상대적으로 높고, 증착 버너(40)가 멀어질수록 보조 토치(50)의 불꽃온도는 상대적으로 낮다. 결국 이러한 상기 보조 토치(50)의 불꽃온도는 위치감지센서(300)의 감지신호에 기초한 상기 토치용 유량 제어기(200)의 연소량 조절에 의해 구현될 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법의 순서도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 광섬유 모재 제조를 위한 MCVD 공정은 증착 튜브(10)에 대한 증착 버너(40)의 가열과 도펀트의 주입으로 촉발된다.
이 때 상기 증착 튜브(10)가 회전되면서 증착 튜브(10) 내에는 도펀트가 주입되며, 증착 버너(40)가 상기 증착 튜브(10)의 하부에서 축선방향을 따라 이동하면서 증착 튜브(10)의 표면을 가열한다.
본 발명에 따른 가열온도 조절방법의 첫번째 단계로서, 상기 증착 버너(40)의 이동 경로상에 위치감지센서(300)가 설치되어 있어 상기 증착 버너(40)의 위치를 감지한다. 이 때 상기 증착 버너(40)는 증착 튜브(10)의 하부에서 축선방향을 따라 직선 이동하므로, 감지되는 위치는 상기 위치감지센서(300)와의 상대적인 직선거리이다.(S1000)
여기서 상기 위치감지센서(300)는 초음파센서나 근접스위치인 것이 바람직하다.
이 후 두번째 단계로서, 증착 튜브(10)의 일측에 연결된 수트 배출 튜브(20)의 상부에는 보조 토치(50)가 위치하고, 상기 보조 토치(50)에는 상기 보조 토치(50)의 불꽃발생용 수소의 연소량을 조절하기 위한 토치용 유량 제어기(200)가 연결되어 있다.
그리고 상기 토치용 유량 제어기(200) 내에는 메모리(220)가 내장되어 있어 증착 버너(40)의 위치에 따른 수소 연소량에 관한 설정 데이터가 저장되어 있다. 또한 상기 메모리(220)에는 마이컴(210)이 전기적으로 연결되어 있다.
아울러 상기 위치감지센서(300)는 상기 마이컴(210)에 전기적으로 연결되어 있어 증착 버너(40)에 관한 위치감지신호가 송출된다. 그러면 상기 마이컴(210)에서는 상기 위치감지센서(300)의 위치감지신호와 상기 증착버너(40)의 위치에 따른 보조 토치(50)의 연소량에 대한 데이터를 비교 처리한다. 이를 토대로 상기 토치용 유량 제어기(200)가 상기 보조 토치(50)의 연소량을 결정하게 된다.
여기서 상기 연소량의 결정기준은 상기 증착 버너(40)가 수트 배출 튜브(20) 측으로 근접 정도인데, 상대적으로 근접할수록 연소량을 늘이고, 멀어질수록 연소량을 줄이게 된다.(S2000)
마지막 세번째 단계로서, 결정된 상기 연소량을 사용하여 상기 보조 토치(50)로 상기 증착 튜브(10)에 연결된 수트 배출 튜브(20)를 가열한다.(S3000)
이상에서와 같은 본 발명에 따른 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법에서, 상기 위치감지센서(300)는 앞에서 언급된 초음파센서나 근접스위치 이외에, 증착버너(40)가 부착된 운반대의 구동서보 모터에서 나오는 위치정보로 대체하여 사용할 수 있다.
이상에서와 같은 본 발명에 따른 광섬유 모재 제조장치 및 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법에 의하면, 보조 토치에 의해 수트 배출 튜브가 과도하게 연화되는 것을 방지할 수 있어 가스공급부 측 증착튜브의 처짐량을 최소화하여 증착튜브 내의 균일한 증착과 이에 따른 코어층 및 클래드층의 균일한 형성 이 가능한 특징이 있다.
또한 이를 통해 보다 고품질의 광섬유 모재를 제조할 수 있으며, 기존 모재 제조장치에 센서 및 토치용 유량 제어기의 추가하여 사용할 수 있는 장점이 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

Claims (9)

  1. 석영을 재질로 하는 증착 튜브(10);
    상기 증착 튜브(10)가 변형 화학 증착되도록 상기 증착튜브(10)의 축선방향을 따라 이동하며 가열하는 증착 버너(40);
    상기 증착 버너(40)의 이동 가열에 따라 발생되는 상기 증착 튜브(10) 내의 증착 조성물이 배출될 수 있도록 상기 증착 튜브(10)의 일측에 연결되는 수트 배출 튜브(20);
    상기 증착 튜브(10)의 타측에 위치하여 도펀트를 공급하는 가스 공급부(30);
    상기 가스 공급부(30)에 상기 도펀트가 공급되도록 내부에 상기 도펀트가 저장되어 상기 가스 공급부(30)에 관연결되는 가스 저장소(82) 및 유량 제어기(80);
    상기 증착 튜브(10)에 대한 상기 수트 배출 튜브(20)의 상대적인 온도 차이를 저하시킬 수 있도록 상기 수트 배출 튜브(20)에 근접 설치되어 연속적으로 가열하는 보조 토치(50);를 포함하여 이루어지며,
    상기 보조 토치(50)에는 상기 증착 버너(40)의 위치를 기초로 상기 보조 토치(50)의 연소량 및 가열온도가 조절되도록 토치용 유량 제어기(200)가 관연결되고,
    상기 증착 버너(40)에 대한 위치감지 신호가 상기 유량 제어기(80)에 송출될 수 있도록 상기 토치용 유량 제어기(200)에 전기적으로 연결되는 위치감지센서(300)가 상기 증착 버너(40)의 이동경로 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재의 제조장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 토치용 유량 제어기(200)에는 상기 증착 버너(40)의 위치에 따른 상기 보조 토치(50)의 연소량에 관한 설정 데이터가 저장된 메모리(220)와,
    상기 메모리(220) 및 상기 위치감지센서(300)에 전기적으로 연결되어 상기 보조 토치(50)의 연소량을 결정하는 마이컴(210)이 구비되는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재의 제조장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 위치감지센서(300)는 상기 증착버너(40)에 대한 위치감지원이 초음파 센서인 것을 특징으로 하는 광섬유 모재의 제조장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 위치감지센서(300)는 상기 증착버너(40)에 대한 위치감지원이 근접스위치인 것을 특징으로 하는 광섬유 모재의 제조장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 보조 토치(50)의 연소가스가 수소인 것을 특징으로 하는 광섬유 모재의 제조장치.
  6. 도펀트를 증착 튜브(10) 내에 공급하고, 증착버너(40)를 이동하면서 상기 증착 튜브(10)의 표면을 가열하는 변형 화학 증착공정으로 모재를 형성하는 광섬유 모재의 제조방법에 있어서,
    상기 증착버너(40)의 이동 경로상에 설치된 위치감지센서(300)로 상기 증착버너(40)의 위치를 감지하는 단계(S1000);
    상기 위치감지센서(300)의 위치감지신호와 상기 증착버너(40)의 위치에 따른 보조토치(50)의 연소량에 대한 데이터를 비교하여 토치용 유량 제어기(200)로 상기 보조 토치(50)의 연소량을 결정하는 단계(S2000); 및
    결정된 상기 연소량을 사용하여 상기 보조 토치(50)로 상기 증착 튜브(10)에 연결된 수트 배출 튜브(20)를 가열하는 단계(S3000);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 연소량 결정단계(S2000)에서 상기 보조 토치(50)의 연소량 결정은 상기 토치용 유량 제어기(200)에 내장된 마이컴(210)이 메모리(220)에 내장된 상기 데이터를 로딩하여 상기 위치감지신호와 비교 처리하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 증착 버너(40)에 대한 위치감지는 상기 위치감지센서(300)의 감지원으로 초음파를 상기 증착 버너(40)에 발사하고 뒤돌아오는 초음파의 시간으로 위치를 감지하는 초음파 센싱방식인 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 증착 버너(40)에 대한 위치감지는 상기 위치감지센서(300)의 감지원으로 근접스위치를 사용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 모재 제조용 보조 토치의 가열온도 조절방법.
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