KR20060096806A - 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 기판 처리 장치에 있어서:탈이온수를 수용하며, 상부에 기판 건조에 필요한 IPA 증기를 분사하는 분사부를 갖는 베스와;상기 베스로 상기 IPA 증기를 공급하는 IPA 증기 공급부를 포함하되;상기 IPA 증기 공급부는액체 상태의 IPA 용액을 수용하는 용기;상기 용기에 수용된 IPA 용액에 초음파 파동을 가해서 상기 IPA 용액을 기화시키는 초음파 진동소자; 및상기 초음파 진동소자에서 발산되는 초음파 파동에 의해 기화된 IPA 증기를 상기 용기에서 상기 베스로 이동시키는 캐리어 가스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판 처리 장치는상기 캐리어 가스에 의해 상기 베스로 공급되는 IPA 증기의 농도를 측정하는 농도 측정부와, 상기 농도 측정부에서 측정된 농도값과 기설정된 농도값을 비교하여 상기 초음파 진동소자의 진동을 조절하여 기화량을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제1항에 있어서,상기 PA 증기 공급부는상기 용기내의 IPA 용액을 가열하는 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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KR1020050018015A KR100687503B1 (ko) | 2005-03-04 | 2005-03-04 | 기판 처리 장치 |
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ID=37624282
Family Applications (1)
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---|---|---|---|---|
KR100856332B1 (ko) * | 2007-05-21 | 2008-09-04 | 주식회사 케이씨텍 | 건조제 공급장치 |
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KR20040069650A (ko) * | 2003-01-30 | 2004-08-06 | 삼성전자주식회사 | 기판 건조용 건조기체 형성장치 및 이를 이용한 건조기체형성방법 |
KR20050001202A (ko) * | 2003-06-27 | 2005-01-06 | 삼성전자주식회사 | Ipa 농도 모니터링 센서를 구비한 ipa 증기 건조기 |
-
2005
- 2005-03-04 KR KR1020050018015A patent/KR100687503B1/ko active IP Right Grant
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