KR100856332B1 - 건조제 공급장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 내부에 액상 건조제가 수용된 저장조;상기 액상 건조제의 내부에서 밀폐된 공간을 형성하는 방수부재;상기 액상 건조제의 수면 하부에 인접하게 제공되는 복수개의 진동자; 및상기 액상 건조제의 내부에서 분출되도록 가스를 공급하는 가스공급부;를 포함하고,상기 각 진동자는 상기 방수부재와 밀착되게 상기 방수부재의 내부에 수용된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 각 진동자에 대응되게 상기 방수부재의 상부공간을 구획하는 격벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
- 제3항에 있어서,상기 격벽에 의해 구획된 공간이 서로 연통되도록 상기 격벽에는 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
- 제4항에 있어서,상기 관통공은 상기 방수부재에 인접하게 상기 격벽의 하단에 형성된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
- 제1항에 있어서,상기 저장조에 수용된 상기 액상 건조제의 수위를 감지하는 감지센서, 및상기 감지센서에서 측정된 신호에 따라 선택적으로 상기 저장조에 액상 건조제를 공급하는 액상 건조제 공급부를 더 포함하는 건조제 공급장치.
- 제1항에 있어서,상기 진동자는 원형 진동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
- 제1항에 있어서,상기 가스공급부로부터 상기 가스가 분출되는 영역은 상기 각 진동자가 배치되는 영역과 적어도 일부가 서로 겹쳐지게 형성된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
- 제1항에 있어서,상기 가스공급부로부터 상기 가스가 분출되는 영역은 상기 각 진동자가 배치되는 영역의 외측에 형성된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
- 제1항에 있어서,상기 가스공급부로부터 상기 가스가 분출되는 영역 및 상기 각 진동자가 배치되는 영역은 서로 번갈아가며 형성된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020070049274A KR100856332B1 (ko) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | 건조제 공급장치 |
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KR1020070049274A KR100856332B1 (ko) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | 건조제 공급장치 |
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KR100856332B1 true KR100856332B1 (ko) | 2008-09-04 |
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KR1020070049274A KR100856332B1 (ko) | 2007-05-21 | 2007-05-21 | 건조제 공급장치 |
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---|---|---|---|---|
KR20050100481A (ko) * | 2004-04-14 | 2005-10-19 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 건조장치 |
KR20060082339A (ko) * | 2005-01-12 | 2006-07-18 | 삼성전자주식회사 | 기판 건조장치 및 이를 이용한 건조방법 |
KR20060096806A (ko) * | 2005-03-04 | 2006-09-13 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
-
2007
- 2007-05-21 KR KR1020070049274A patent/KR100856332B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
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