KR100836660B1 - 건조제 공급장치 - Google Patents

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KR100836660B1
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강신재
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

액상 이소프로필 알콜의 수위를 일정하게 유지시켜 액상 이소프로필 알콜의 기화(vaporizing) 효율을 향상시킬 수 있는 공급장치가 개시된다. 건조제 공급장치는 액상 건조제를 저장하기 위한 저장조, 저장조의 내부에 제공되어 다단식 수용공간을 형성하는 복수개의 격벽, 각 수용공간에 대응되게 저장조의 하부에 장착되는 복수개의 진동자를 포함하고, 액상 건조제는 각 수용공간 중 최상측에 위치하는 수용공간으로부터 아래로 순차적으로 오버플로우되며 상기 각 수용공간에 수용될 수 있다.
건조제, 저장조, 진동자, 격벽, 다단식

Description

건조제 공급장치{DEVICE AND METHOD FOR SUPPLYING DRYING AGENT}
도 1은 본 발명에 따른 건조제 공급장치가 적용된 습식세정장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 건조제 공급장치를 도시한 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 건조제 공급장치로서, 진동자의 구조 및 출력특성을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건조제 공급장치를 도시한 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 세정조 20 : 리프트부재
30 : 건조 챔버 40 : 공급라인
50 : 건조제 공급장치 52 : 저장조
54 : 격벽 56 : 진동자
60 : 순환라인
본 발명은 건조장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 액상 건조제의 수위를 일정하게 유지시켜 액상 건조제의 기화(vaporizing) 효율을 향상시킬 수 있도록 한건조제 공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 리소그래피, 증착 및 에칭 등의 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판(예를 들어 실리콘 웨이퍼) 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다. 이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정에서는 기판에 잔존된 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행되고, 세정 공정 후에는 웨이퍼에 대한 건조 공정이 수행된다.
종래 알려진 건조 방식으로서는 스핀 건조방식, 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol)에 의한 마란고니 효과(Marangoni effect)를 이용한 건조방식 등이 있다. 그 중 이소프로필 알콜을 이용한 건조방식은 웨이퍼를 순수(DIW : Distilled Water) 안에서 수직 방향으로 끌어올림과 동시에 이소프로필 알콜 및 질소가스를 웨이퍼 표면의 기액(氣液)계면 부근에 불어 넣는 것에 의해 마란고니 효과를 발생시켜 웨이퍼를 건조시키는 방식을 말한다.
일반적으로 건조 공정시 사용되는 이소프로필 알콜은 이소프로필 알콜 공급장치로부터 기체 상태로 제공된다. 일반적인 이소프로필 알콜 공급장치는 히터를 이용한 직/간접 가열 방식 또는 가스를 공급함에 따른 버블링에 의해 액상 이소프로필 알콜이 기화될 수 있도록 구성되어 있다.
그러나, 기존 이소프로필 알콜 공급장치는 이소프로필 알콜의 기화효율을 일 정 이상 향상 시키기 어려운 문제점이 있다.
즉, 가열 방식의 이소프로필 알콜 공급장치는 히터를 사용함에 따라 필연적으로 히터를 예열하기 위한 예열시간을 필요로 했고, 이에 따라 처리 시간이 길어질 뿐만 아니라 처리 공정이 복잡해지고, 그 처리량 또한 일정 이상 향상시키기 어려운 문제점이 있다.
또한, 버블링 방식의 이소프로필 알콜 공급장치는 단순히 액상 이소프로필 알콜의 내부에서 분출되는 가스에 의한 버블에 의해 이소프로필 알콜이 기화되도록 구성됨에 따라 이소프로필 알콜의 기화 효율을 일정 이상 향상시키기 어렵고, 이소프로필 알콜의 기화 농도를 일정 이상 높이기 어려운 문제점이 있다.
이에 따라, 최근에는 이소프로필 알콜의 기화 효율을 향상시키기 위한 일부 대책들이 제안되고 있으나 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 절실히 요구되고 있다.
본 발명은 건조제의 기화 효율을 향상 시킬 수 있는 건조제 공급장치를 제공한다.
특히, 본 발명은 초음파에 의한 무화현상에 의해 액상 이소프로필 알콜이 고농도의 미세한 상태로 기화될 수 있게 하되, 진동자에 대한 액상 이소프로필 알콜의 수위가 일정하게 유지될 수 있도록 한 건조제 공급장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 액상 이소프로필 알콜이 기화되는 처리시간을 단축하고, 처리량을 향상시킬 수 있는 건조제 공급장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 공간효율성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있음은 물론 제 품의 소형화에 기여할 수 있는 건조제 공급장치를 제공한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 건조제 공급장치는 액상 건조제를 저장하기 위한 저장조, 저장조의 내부에 제공되어 다단식 수용공간을 형성하는 복수개의 격벽, 각 수용공간에 대응되게 저장조의 하부에 장착되는 복수개의 진동자를 포함하고, 액상 건조제는 각 수용공간 중 최상측에 위치하는 수용공간으로부터 아래로 순차적으로 오버플로우되며 상기 각 수용공간에 수용될 수 있다
저장조는 액상 이소프로필 알콜이 수용되는 용기로서 그 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 저장조의 저면은 계단 형상으로 상하 방향을 따라 높이차를 갖도록 단차지게 형성될 수 있다.
격벽은 서로 다른 높이를 갖도록 저장조의 내부에 제공되어 다단식 수용공간을 형성한다. 여기서 상기 격벽이 서로 다른 높이를 갖는다 함은 각 격벽에 의해 형성되는 각 수용공간의 높이가 서로 다르게 형성됨을 의미하며, 각 격벽은 다단식 구조로 이루어진 저장조 저면의 각 경계 사이에 제공되도록 높이에 따라 순서대로 배치되어 저장조의 내부공간을 높이차를 갖는 복수개의 수용공간으로 구획한다.
진동자는 각 수용공간에 대응되게 저장조의 하부에 서로 이격되게 장착되며, 액상 이소프로필 알콜 상에 초음파를 방사함으로써 무화현상에 의해 액상 이소프로필 알콜이 무화될 수 있게 한다. 진동자의 개수 및 배열 형태는 요구되는 조건 및 건조 환경에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 진동자로서는 시중에서 일반적으로 사 용되고 통상의 진동자가 적용될 수 있다. 일 예로 진동자로서 출력이 중심 부위에 집중되는 특징을 갖는 원형 진동자가 사용될 수 있다.
아울러, 진동자가 장착되는 저장조의 하부라 함은 액상 이소프로필 알콜의 수면 하부에 인접한 저장조의 저면 내측 또는 외측을 모두 포함할 수 있다.
각 진동자는 대응되는 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 각각 동일한 이격 간격을 갖도록 배치됨이 바람직하다. 물론 각 진동자가 대응되는 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 각각 다른 이격 간격을 갖도록 배치될 수 있다. 그러나, 동일한 진동자의 경우 동일한 출력 특성을 갖기 때문에 각 진동자에 의한 무화가 모두 동일하게 최적으로 이루어질 수 있도록 각 진동자에 대한 액상 이소프로필 알콜의 수위가 모두 동일하게 제공됨이 바람직하다.
저장조 상에는 각 수용공간 중 최하측에 위치하는 수용공간에 수용된 액상 이소프로필 알콜을 각 수용공간 중 최상측에 위치하는 수용공간으로 순환시키기 위한 순환라인이 제공될 수 있다. 순환라인 상에는 각종 부가 장치가 제공될 수 있으며, 순환라인의 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
순환라인을 통해 다단식 구조로 이루어진 저장조의 각 수용공간에는 액상 이소프로필 알콜이 연속적으로 순환 공급될 수 있으며, 이에 따라 진동자에 대한 액상 이소프로필 알콜의 수위가 항상 일정하게 유지될 수 있다. 경우에 따라서는 각 수용공간 중 최상측 수용공간에 별도의 라인을 통해 액상 이소프로필 알콜을 공급하고, 각 수용공간 중 최하측에 위치하는 수용공간에 수용되는 액상 이소프로필 알 콜이 일정 이상 수위에 도달할 시 단순히 배출되도록 구성할 수 있다.
또한, 경우에 따라서는 저장조가 평평한 저면을 갖도록 제공될 수 있으며, 이때 각 진동자는 별도의 지지부재를 통해 대응되는 액상 이소프로필 알콜의 수면 하부에 인접하게 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 저장조의 저면은 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 경사지게 배치될 수 있으며, 저장조의 경사진 저면에 장착되는 진동자는 각 수용공간에 수용된 액상 건조제의 수면에 대해 경사지게 배치될 수 있다. 경우에 따라서는 저장조의 저면을 평평하게 유지하고 각 진동자만을 저장조의 저면에 대해 경사지게 배치할 수 있다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 건조제 공급장치가 적용된 습식세정장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 건조제 공급장치를 도시한 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 건조제 공급장치로서, 진동자의 구조 및 출력특성을 설명하기 위한 도면이다.
도 1에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 건조제 공급장치가 적용된 습식세정장치는 세정조(10), 건조 챔버(30), 공급라인(40) 및 건조제 공급장치(50)를 포함한다.
상기 세정조(10)는 세정액(S)이 수용되는 용기로서 세정하기 위한 피처리물을 수용 가능한 크기로 형성되며, 세정조(10)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 세정조(10)는 세정액과 반응하지 않는 재질로 형성되며, 이러한 세정조(10)의 재질은 요구되는 조건에 따라 적절히 변경될 수 있다. 예를 들어 상기 세정조(10)는 통상의 석영(quartz)으로 형성될 수 있으며, 그외 다른 재질이 사용될 수 있다.
본 발명에서 피처리물이라 함은 세정 및 건조 처리가 이루어지는 대상물로서, 통상의 실리콘 웨이퍼(W)를 포함할 수 있으며, 그외 다른 반도체 장치 등이 포함될 수 있다. 또한, 본 발명에서 세정액(S)이라 함은 기판에 잔존하는 오염물질을 세정하기 위한 화학 용액으로서 단일 또는 복수개의 화학 용액을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 건조 챔버(30)는 세정조(10)의 상부에 선택적으로 분리 가능하게 배치되어 세정 공정이 완료된 피처리물을 건조시키기 위한 건조 공간을 정의한다. 건조 챔버(30)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 건조 챔버(30)의 내측 상부에는 건조 챔버(30)의 내부공간으로 유동성 건조제를 제공하기 위한 노즐(32)이 제공될 수 있다.
한편, 습식세정장치에는 피처리물을 선택적으로 승하강 시키기 위한 리프트부재(20)가 제공될 수 있다. 상기 리프트부재(20)는 피처리물을 수납한 상태로 승하강하며 피처리물이 선택적으로 세정조(10) 또는 건조 챔버(30) 내부에 배치될 수 있게 한다.
상기 공급라인(40)은 건조 챔버(30)에 연결되어 건조를 위한 건조제가 건조 챔버(30)로 안내될 수 있도록 제공된다. 즉, 상기 공급라인(40)의 일단은 건조 챔버(30)에 연결되고, 다른 일단은 건조제 공급장치에 연결되어 건조제 공급장치에서 생성된 건조제를 건조 챔버(30)로 안내한다.
상기 공급라인(40) 상에는 건조제의 공급 여부 및 공급량을 제어하기 위한 밸브 및 각종 제어수단이 제공될 수 있다. 또한, 상기 공급라인(40)을 통해서는 건조제와 함께 건조제를 운반하기 위한 캐리어 가스(예를 들어 질소(N2))가 함께 공급될 수 있으며, 이러한 캐리어 가스는 캐리어 가스 공급부(60)로부터 별도의 독립적인 라인을 통해 공급될 수 있다.
도 2에서 도시한 바와 같이, 건조제 공급장치(50)는 진동자(56)에 의한 무화현상에 의해 건조제가 기화될 수 있게 하되, 진동자(56)에 대한 액상 이소프로필 알콜의 최적 수위(h)가 일정하게 유지될 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 건조제 공급장치(50)는 저장조(52), 진동자(56) 및 격벽(54)을 포함한다.
상기 건조제로서는 요구되는 조건 및 건조 환경에 따라 다양한 물질이 사용될 수 있다. 이하에서는 상기 건조제로서 마란고니 효과(Marangoni effect)를 유도하기 위한 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol)이 사용된 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 저장조(52)는 액상 이소프로필 알콜이 수용되는 용기로서 그 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로, 저장조(52)는 계단 형상의 다단식 저면(53)을 갖도록 제공될 수 있다. 즉, 상기 저장조(52)의 저면(53)은 계단 형상으로 상하 방향을 따라 높이차를 갖도록 단차지게 형성될 수 있다.
상기 격벽(54)은 서로 다른 높이를 갖도록 저장조(52)의 내부에 제공되어 다단식 수용공간을 형성한다. 여기서 상기 격벽(54)이 서로 다른 높이를 갖는다 함은 각 격벽(54)에 의해 형성되는 각 수용공간의 높이가 서로 다르게 형성됨을 의미하며, 각 격벽(54)은 다단식 구조로 이루어진 저장조(52) 저면의 각 경계 사이에 제공되도록 높이에 따라 순서대로 배치되어 저장조(52)의 내부공간을 높이차를 갖는 복수개의 수용공간으로 구획한다.
이러한 구성에 의하여 서로 다른 높이를 갖는 각 수용공간에는 각각 액상 이소프로필 알콜이 수용될 수 있으며, 상기 액상 이소프로필 알콜은 각 수용공간 중 최상측에 위치하는 수용공간으로부터 아래로 순차적으로 오버플로우되며 각 수용공간에 수용될 수 있다.
더욱이 상기 격벽(54)은 저장조(52)의 내부공간을 구획하며 다단식 수용공간을 형성함과 동시에 각 진동자(56)에 의한 무화가 독립적으로 구획된 각 수용공간 내에서 개별적으로 이루어질 수 있게 한다. 이와 같은 구조는 진동자(56)의 출력이 진동자(56)의 외측 영역으로 누설됨이 없이 집중될 수 있게 하며 진동자(56)에 의한 무화가 더욱 효과적으로 이루어질 수 있게 한다.
본 발명의 실시예에서는 격벽(54)에 의해 저장조(52) 내부에 4개의 수용공간 이 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 수용공간의 개수 및 크기에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
상기 각 진동자(56)는 각 수용공간에 대응되게 저장조(52)의 하부에 서로 이격되게 장착되며, 액상 이소프로필 알콜 상에 초음파를 방사함으로써 무화현상에 의해 액상 이소프로필 알콜이 무화될 수 있게 한다. 여기서, 무화현상이라 함은 초음파를 액체에 투과시켰을 때 대량의 기포가 물속에서 발생하며 액체가 상온에서 기화하는 현상을 말한다.
아울러 상기 저장조(52)의 하부라 함은 액상 이소프로필 알콜의 수면 하부에 인접한 저장조(52)의 저면(53) 내측 또는 외측을 모두 포함할 수 있다. 이하에서는 상기 각 진동자(56)가 저장조(52)의 저면(53) 외측에 밀착되게 장착된 예를 들어 설명하기로 한다.
물론 상기 각 진동자(56)가 저장조(52)의 저면(53) 내측에 장착되며 액상 이소프로필 알콜 내부에 수용되도록 구성할 수 있다. 그러나, 이소프로필 알콜은 폭발성이 매우 높기 때문에 전원을 공급하기 위한 전선 등이 연결되는 진동자(56)가 저장조(52)의 외부에 장착됨이 바람직하다. 경우에 따라서는 진동자를 저장조의 저면 내측에 장착하고 각 진동자를 방수처리하기 위한 별도의 방수부재가 제공될 수 있다.
그리고, 상기 각 진동자(56)는 대응되는 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 각각 동일한 이격 간격을 갖도록 배치됨이 바람직하다. 즉, 이는 곧 각 진동자(56)에 대한 액상 이소프로필 알콜의 수위(h)가 모두 동일하게 제공됨을 의미한 다.
물론 상기 각 진동자(56)가 대응되는 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 각각 다른 이격 간격을 갖도록 배치될 수 있다. 그러나, 동일한 진동자(56)의 경우 동일한 출력 특성을 갖기 때문에 각 진동자(56)에 의한 무화가 모두 동일하게 최적으로 이루어질 수 있도록 각 진동자(56)에 대한 액상 이소프로필 알콜의 수위가 모두 동일하게 제공됨이 바람직하다.
이러한 진동자(56)의 개수 및 배열 형태는 요구되는 조건 및 건조 환경에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
또한, 상기 진동자(56)로서는 시중에서 일반적으로 사용되고 통상의 진동자(56)가 적용될 수 있으며, 진동자(56)의 종류 및 형태에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 바람직하게는 진동자(56)로서 도 3과 같은 통상의 원형 진동자(56)가 사용됨이 바람직하다. 즉, 원형 진동자(56)의 경우 그 출력이 중심 부위에 집중되는 특징을 갖기 때문에 진동자(56)에 의한 무화현상이 효과적으로 이루어질 수 있게 한다.
이와 같이 진동자(56)를 이용한 무화방식은 히터를 이용하는 가열 방식에 비해 기화 효율이 뛰어난 효과가 있으며, 그 크기 또한 소형으로 제작될 수 있다. 즉, 상기 진동자(56)는 히터와 같이 별도의 예열 시간을 필요로 하지 않고 전원이 공급됨과 동시에 액상 이소프로필 알콜을 무화시킬 수 있기 때문에 그 처리시간을 단축시킬 수 있으며, 처리량을 향상 시킬 수 있는 장점이 있다. 더욱이 초음파 무 화방식에 의해 무화된 이소프로필 알콜 입자는 일반적인 방법에 의해 기화된 이소프로필 알콜 입자에 비해 매우 세세한 특징이 있기 때문에 피처리물이 더욱 효과적으로 건조될 수 있게 한다.
뿐만 아니라 상기 진동자(56)가 저장조(52)의 저면(53) 외측에 밀착됨에 따라 저장조(52)의 저면(53)은 초음파를 전달하기 위한 일종의 매질층의 역할을 수행할 수 있다. 이와 같은 구조는 진동자(56)로부터 발생된 초음파가 공기가 아닌 매질층 즉, 저장조(52)의 저면(53)을 통해 방사될 수 있게 함으로써 진동자(56)의 과부하를 미연에 방지할 수 있게 한다. 물론 진동자가 저장조의 저면 내측에 설치되며 액상 이소프로필 알콜 내부에 직접 수용될 경우에도, 진동자의 둘레가 액상 이소프로필 알콜이라는 매질에 의해 둘러 쌓이기 때문에 진동자의 과부하를 미연에 방지할 수 있다.
한편, 상기 저장조(52) 상에는 각 수용공간 중 최하측에 위치하는 수용공간에 수용된 액상 이소프로필 알콜을 각 수용공간 중 최상측에 위치하는 수용공간으로 순환시키기 위한 순환라인(60)이 제공될 수 있다.
상기 순환라인(60)은 통상의 순환펌프 및 순환유로를 포함하여 구성될 수 있으며, 순환라인(60)의 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 예를 들어, 상기 순환라인(60) 상에는 필터 및 히터 등과 같은 각종 부가 장치가 제공될 수 있음은 물론이며, 순환되는 액상 이소프로필 알콜을 임시적으로 수용하기 위한 수용조, 액상 건조제를 추가적으로 공급하기 위한 액상 건조제 공급부, 과공급(over feeding)된 액상 건조제를 배출시키기 위한 배출유로 중 적어도 하나가 요구되는 조건에 따라 연결될 수 있다.
이러한 순환라인(60)을 통해 다단식 구조로 이루어진 저장조(52)의 각 수용공간에는 액상 이소프로필 알콜이 연속적으로 순환 공급될 수 있으며, 이에 따라 진동자(56)에 대한 액상 이소프로필 알콜의 수위가 항상 일정하게 유지될 수 있다. 경우에 따라서는 각 수용공간 중 최상측 수용공간에 별도의 라인을 통해 액상 이소프로필 알콜을 공급하고, 각 수용공간 중 최하측에 위치하는 수용공간에 수용되는 액상 이소프로필 알콜이 일정 이상 수위에 도달할 시 배출되도록 구성할 수 있다.
한편, 전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 저장조(52)의 저면(53)이 계단 형상으로 단차지게 형성됨에 따라 저장조(52)의 저면(53)에 장착되는 각 진동자(56) 역시 서로 다른 높이에 배치된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 저장조가 평평한 저면을 갖도록 제공될 수 있으며, 이때 각 진동자는 별도의 지지부재를 통해 대응되는 액상 이소프로필 알콜의 수면 하부에 인접하게 배치될 수 있다.
한편, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 건조제 공급장치를 도시한 단면도이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 저장조(52)의 저면(53)이 계단 형상으로 단차지게 형성되며 각 진동자(56)가 대응되는 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 평행하게 장착된 예를 들어 설명하고 있지만, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 도 4와 같이 저장조(52)의 저면(53')은 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 경 사지게 배치될 수 있다.
즉, 본 발명의 다른 실시예에 따른 건조제 공급장치는 저장조(52), 서로 다른 높이를 갖도록 상기 저장조(52)의 내부에 제공되어 다단식 수용공간을 형성하는 복수개의 격벽(54), 상기 각 수용공간에 대응되게 상기 저장조(52)의 하부에 장착되는 복수개의 진동자(56)를 포함하여 구성되되, 상기 저장조(52)의 저면(53')은 액상 이소프로필 알콜의 수면에 대해 경사지게 배치된다.
상기 각 진동자(56)에 의한 무화가 효과적으로 이루어지기 위해서는 각 진동자(56)에 대한 액상 건조제의 수위가 일정 이상 유지될 수 있어야 한다. 그러나, 액상 건조제의 수면과 각 진동자(56)가 평행하게 배치될 경우, 액상 건조제의 수위가 안전 수위 아래로 내려가게 되면 각 진동자(56)에 의한 무화가 효과적으로 이루어지지 못하는 문제점이 있다. 이에 본 발명은 저장조(52)의 저면(53')을 경사지게 형성하고 각 진동자(56)를 액상 건조제의 수면에 대해 경사지게 배치함으로써, 각 수용공간에 수용된 액상 건조제의 수위(h1,h1',h1")가 안전 수위 아래로 내려가게 된다 하더라도 진동자(56)에 대한 액상 건조제의 수위(h2,h2',h2")가 확보될 수 있게 하며 무화가 안정적으로 이루어질 수 있게 한다.
다시 말해서 액상 건조제의 수면과 각 진동자(56)가 평행하게 배치될 경우 수용공간에 수용된 액상 건조제의 수위가 안전 수위 아래로 내려가게 되면, 액상 건조제의 추가적인 공급이 이루어지는 동안 진동자(56)에 의한 무화를 최적으로 구현하기 어려운 문제점이 있다. 그러나, 저장조(52)의 저면(53')이 경사지게 형성되며 각 진동자(56)가 액상 건조제의 수면에 대해 경사지게 배치될 경우 액상 건조제 의 수위(h1,h1',h1")가 안전 수위 아래로 내려가더라도 진동자(56)에 대한 액상 건조제의 수위(h2,h2',h2")가 확보될 수 있게 하며 액상 건조제의 추가적인 공급이 이루어지는 동안에도 진동자(56)에 의한 무화가 최적으로 구현될 수 있다.
이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 건조제 공급장치에 의하면 진동자에 의한 무화현상에 의해 액상 이소프로필 알콜이 고농도의 미세한 상태로 기화될 수 있게 하되, 진동자에 대한 액상 이소프로필 알콜의 최적 수위가 안정적으로 일정하게 유지될 수 있게 함으로써, 진동자에 의한 무화현상이 최적으로 구현될 수 있게 하며, 보다 효과적으로 웨이퍼의 건조가 이루어질 수 있게 한다.
더욱이, 본 발명에 따르면 다단식 구조로 이루어진 저장조의 각 수용공간에 오버플로우 방식으로 액상 이소프로필 알콜이 연속적으로 공급될 수 있게 함으로써 진동자에 대한 액상 이소프로필 알콜의 수위를 항상 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 초음파에 의한 무화현상이 공기가 아닌 매질층 상에서 이루어질 수 있게 함으로써, 진동자의 과부하를 방지하고 안정성 및 신뢰성을 향상 시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 이소프로필 알콜이 기화되는 처리시간을 단축하고, 처리량을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 공간효율성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있게 하고, 제품의 소형화에 기여할 수 있게 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해 당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (7)

  1. 액상 건조제를 저장하기 위한 저장조;
    상기 저장조의 내부에 제공되어 다단식 수용공간을 형성하는 복수개의 격벽; 및
    상기 각 수용공간에 대응되게 상기 저장조의 하부에 장착되는 복수개의 진동자를 포함하고,
    상기 액상 건조제는 상기 각 수용공간 중 최상측에 위치하는 수용공간으로부터 아래로 순차적으로 오버플로우되며 상기 각 수용공간에 수용되는 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각 진동자는 대응되는 상기 액상 건조제의 수면에 대해 각각 동일한 이격 간격을 갖도록 배치된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 저장조의 저면은 계단 형상으로 단차지게 형성된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 저장조의 저면은 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 각 진동자는 상기 저장조의 저면 외측에 밀착되게 장착된 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 각 수용공간 중 최하측에 위치하는 수용공간에 수용된 액상 건조제를 상기 각 수용공간 중 최상측에 위치하는 수용공간으로 순환시키는 순환라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 진동자는 원형 진동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 건조제 공급장치.
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