KR20060094056A - 색 얼룩 검사 방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

개인차, 개인의 상태 차의 영향을 받지 않고, 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋게 검사한다.

모아레(Moire)를 제거할 수 있도록 집광 광학계(34)의 초점을 조절하여 촬상 장치(35)에 의해 기판(31)을 촬상하고, 촬상 데이터에 기초하여 색 얼룩의 유무, 정도 등을 검사한다.

Description

색 얼룩 검사 방법 및 그 장치{Color blur inspection method and apparatus thereof}

도 1은 본 발명의 색 얼룩 검사 방법이 적용되는, 플랫 패널 디스플레이용의 컬러 필터 제조 장치의 주요부를 도시한 개략도,

도 2는 색 얼룩 검사 장치를 상세하게 도시한 개략도,

도 3은 색 얼룩 검사 장치의 처리의 일례를 설명한 흐름도,

도 4는 모아레가 존재하는 상태에서의 복수의 매트릭스의 휘도 편차와 소정의 임계치의 관계를 도시한 개략도,

도 5는 모아레가 존재하지 않는 상태에서의 복수의 매트릭스의 휘도 편차와 소정의 임계치의 관계를 도시한 개략도,

도 6은 집광 광학계의 핀트를 기판 표면에 설정한 상태에서의 피사계 심도와, 조절 후의 초점 위치를 도시한 개략도,

도 7은 집광 광학계의 핀트를 기판 표면에 설정한 상태에서의 촬상 예를 도시한 도면,

도 8은 집광 광학계의 핀트를 기판 표면으로부터 어긋나게 한 상태에서의 촬상 예를 도시한 도면,

도 9는 본 발명의 색 얼룩 검사 장치의 다른 실시 형태를 도시한 개략도이 다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 도포 장치 2 : 건조기

3 : 색 얼룩 검사 장치 31 : 기판

32 : 반송 장치 33, 39 : 광원

33a, 39a : 광 셔터 34 : 집광 광학계

35 : 촬상 장치 36 : 화상 처리 장치

37 : 제어 장치 38 : 인코더

본 발명은, 컬러 필터의 제조 공정 등에 있어서, 기판상에 형성된 컬러 피막의 색 얼룩의 유무, 정도 등을 검사하기 위한 방법 및 그 장치에 관한 것이다.

종래로부터, 플랫 패널 디스플레이에 이용되는 컬러 필터의 제조 공정 등에 서, 안료 분산의 불균일이나, 성분 응집, 막두께 변동에 의한 색 얼룩이 발생하는 것이 알려져 있다. 그 색 얼룩이 생긴 채로 제조 작업을 계속한다는 문제점의 발생을 방지하기 위해서, 카메라와 광원을 이용하여, 색 얼룩의 유무, 정도 등을 검사하는 것이 행해지고 있었다.

또, LCD 등의 피검사 표시 소자의 표시 화면을, CCD 등을 구비한 촬상 장치로 촬상하여, 피검사 표시 소자의 양부를 검사하는 방법이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조). 특허문헌 1의 방법은, 촬상 화상에 모아레(Moire)가 발생한 것을 눈으로 확인하여 인식한 경우에, 촬상 장치의 렌즈의 핀트(포커스)를 조정함으로써, LCD 패널의 주파수 특성을 캔슬(cancel)하여, 모아레를 제거하는 방법이다.

(특허문헌 1) 일본국 특개평 8-149358호 공보

특허문헌 1의 방법을 채용하여 색 얼룩의 유무, 정도 등을 검사하는 경우에는, 모아레를 제거함으로써 색 얼룩의 유무, 정도, 위치 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다고 생각되지만, 모아레가 발생한 것을 오퍼레이터가 눈으로 확인하여 인식하기 때문에, 필연적으로 개인차가 생기고, 또, 촬상 장치의 렌즈의 핀트(포커스)를 조정하는 정도에 대해서도, 오퍼레이터가 눈으로 확인하면서 핀트를 조정하기 때문에, 필연적으로 개인차가 생기며, 이 결과, 오퍼레이터가 바뀌면 색 얼룩의 유무, 정도 등의 검사 결과의 편차가 생겨 버린다는 문제점이 있다. 구체적으로는, 모아레를 충분히 제거할 수 없거나, 색 얼룩까지도 제거되거나 한다는 문제점이 있다.

또, 오퍼레이터가 바뀌지 않은 경우에도, 예를 들면, 아침과 저녁에는 시력, 집중력 등이 변화하기 때문에, 검사 결과의 편차가 생겨 버린다는 문제점이 있다.

또한, 컬러 피막의 색, 기판상의 패턴, 컬러 피막의 적층 순서가 품종마다 다르기 때문에, 모아레의 발생 조건이 변화한다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 개인차, 품종에 의한 차, 개인의 상태 차의 영향을 받지 않고, 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있는 색 얼룩 검사 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 색 얼룩 검사 방법은, 컬러 피막이 형성된 기판에 대해서 광원에 의해 광을 조사하여, 컬러 피막이 형성된 기판 면을, 초점 조절 가능한 집광 광학계를 통해서 촬상 장치에 의해 촬상하고, 촬상 결과에 기초하여 색 얼룩을 검사하는 방법으로서,

검사 개시시에, 기판을 베이스로, 집광 광학계의 초점을 자동 조정하는 방법이다.

이 구성을 채용하면, 검사 개시시에 집광 광학계의 초점을 자동 조정함으로써, 컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고 기판이 투광성이 있는 기판인 경우의 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다.

단, 투과광으로 검출 가능한 얼룩(컬러 피막의 두께 얼룩 등에 기인한, 얼룩부를 투과하는 광과 정상부를 투과하는 광의 파장 및/또는 강도가 다르다)의 경우, 집광 광학계가 기판 및 컬러 피막을 투과한 광을 집광하는 것이 바람직하다.

또, 반사광으로 검출 가능한 얼룩(컬러 피막의 열화 얼룩 등에 기인한, 얼룩부에서 반사되는 광과 정상부에서 반사되는 광의 파장 및/또는 강도가 다르다)의 경우, 집광 광학계가 컬러 피막에서 반사한 광을 집광하는 것이 바람직하다.

또한, 투과광 고유의 얼룩 및 반사광 고유의 얼룩을 동시에 측정하는 경우, 광원이 기판을 기준으로 하여, 서로 대칭적으로 배치된 광학계를 형성하고, 택일적 으로 기판에 대해서, 광을 조사함으로써, 컬러 피막을 투과하는 광의 얼룩 및 컬러 피막에서 반사되는 광의 얼룩을 검사할 수 있다. 또, 택일적인 검사 방법 때문에, 집광 광학계의 대수를 늘리지 않고 검사할 수 있다. 또한, 연속적으로 전환함으로써, 한 번에 컬러 피막을 투과하는 광의 얼룩 및 컬러 피막에서 반사되는 광의 얼룩을 검사할 수 있고, 합성한 결과를 산출할 수도 있다.

또, 집광 광학계의 초점의 자동 조정은, 모아레를 제거하도록 행해지는 것이 바람직하고, 모아레가 존재하지 않는 상태에서의 촬상 결과로부터 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다. 또한, 집광 광학계의 초점의 자동 조정은, 기판의 피측정면을 중심으로 하는 피사계 심도의 바깥이 되도록 행해지는 것이 더욱 바람직하고, 모아레가 존재하지 않는 상태에서의 촬상 결과로부터 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다.

본 발명의 색 얼룩 검사 장치는, 컬러 피막이 형성된 기판에 대해서 광을 조사하는 광원과, 컬러 피막이 형성된 기판 면을, 초점 조절 가능한 집광 광학계를 통해서 촬상하는 촬상 장치와, 촬상 결과에 기초하여 색 얼룩을 검사하는 검사 수단을 포함하는 것으로서,

검사 개시시에, 기판을 베이스로, 집광 광학계의 초점을 자동 조정하는 초점 자동 조정 수단을 포함하는 것이다.

이 구성을 채용하면, 검사 개시시에 집광 광학계의 초점을 자동 조정함으로써, 컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고, 기판이 투광성이 있는 기판인 경우의 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다. 단, 투과광으로 검출 가능한 얼룩(컬러 피막의 두께 얼룩 등에 기인한, 얼룩부를 투과하는 광과 정상부를 투과하는 광의 파장 및/또는 강도가 다르다)의 경우, 집광 광학계가 기판 및 컬러 피막을 투과한 광을 집광하는 것이 바람직하다.

또, 반사광으로 검출 가능한 얼룩(컬러 피막의 열화 얼룩 등에 기인한, 얼룩부에서 반사되는 광과 정상부에서 반사되는 광의 파장 및/또는 강도가 다르다)의 경우, 집광 광학계가 기판 또는 컬러 피막에서 반사한 광을 집광하는 것이 바람직하다.

또한, 투과광 고유의 얼룩 및 반사광 고유의 얼룩을 동시에 측정하는 경우, 광원이 기판을 기준으로 하여, 서로 대칭적으로 배치된 광학계를 형성하고, 택일적으로 기판에 대해서, 광을 조사함으로써, 컬러 피막을 투과하는 광의 얼룩 및 컬러 피막에서 반사되는 광의 얼룩을 검사할 수 있다. 또, 택일적인 검사 방법 때문에, 집광 광학계의 대수를 늘리지 않고 검사할 수 있다. 또한, 연속적으로 전환함으로써, 한 번에 컬러 피막을 투과하는 광의 얼룩 및 컬러 피막에서 반사되는 광의 얼룩을 검사할 수 있고, 합성한 결과를 산출할 수도 있다.

또, 초점 자동 조정 수단은, 모아레를 제거하도록 집광 광학계의 초점의 자동 조정을 행하는 것이 바람직하고, 모아레가 존재하지 않는 상태에서의 촬상 결과로부터 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다. 또한, 집광 광학계의 초점의 자동 조정은, 기판의 피측정면을 중심으로 하는 피사계 심도의 바깥이 되도록 집광 광학계의 초점의 자동 조정을 행하는 것이 더욱 바람직하고, 모아레가 존재하지 않는 상태에서의 촬상 결과로부터 색 얼룩의 유무, 정도 등을 정밀도 좋 게 검사할 수 있다.

본 발명의 색 얼룩 검사 방법은, 색 얼룩의 유무, 정도, 위치 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다는 특유의 효과를 발휘한다.

본 발명의 색 얼룩 검사 장치도, 색 얼룩의 유무, 정도, 위치 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다는 특유의 효과를 발휘한다.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 색 얼룩 검사 방법 및 그 장치의 실시 형태를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 색 얼룩 검사 방법이 적용되는, 플랫 패널 디스플레이용의 컬러 필터 제조 장치의 주요부를 도시한 개략도이다.

본 컬러 필터 제조 장치는, 유리 등, 투광성이 있는 기판상에 투광성이 있는 컬러 피막을 도포하는 도포 장치(1)와, 도포된 컬러 피막을 건조시키는 건조기(2)와, 건조된 컬러 피막의 색 얼룩의 유무, 정도, 위치 등을 검사하는 색 얼룩 검사 장치(3)를 갖고 있다.

예를 들면, 컬러 필터의 경우, 적어도 3원색을 매트릭스 형상으로 배치하여 이루어지는 것이므로, 도포 장치(1)와, 건조기(2)와, 색 얼룩 검사 장치(3)가 색마다 설치되어 있다.

도 2는 색 얼룩 검사 장치(3)를 상세하게 도시한 개략도이다.

본 색 얼룩 검사 장치(3)는 컬러 피막이 형성된 기판(31)을 수평 방향으로 반송하는 반송 장치(32)와, 소정 위치에서 아래쪽으로부터 기판(31)에 광을 조사하는 광원(33)과, 기판(31)을 투과한 광을 수광하도록 배치된 집광 광학계(34) 및 촬 상 장치(35)와, 촬상 장치(35)에 의해 얻어진 화상 데이터에 기초하여 소정의 화상 처리를 행하는 화상 처리 장치(36)와, 화상 처리 결과 등에 기초하여 반송 장치(32), 집광 광학계(34) 등에 대한 지령 데이터를 생성하여 공급하는 제어 장치(37)와, 기판(31)의 반송 거리를 검출하는 인코더(38)를 갖고 있다. 또한, 30은 프로그래머블 로직 컨트롤러이다.

상기 반송 장치(32)는 예를 들면, 복수의 컨베이어 롤러를 갖고, 일부의 원동 컨베이어 롤러를 회전 구동함으로써, 기판(31)을 소정 방향으로 이송하여, 잔여의 종동 롤러에 의해 기판(31)을 매끄럽게 안내하는 것이다. 단, 상류측 컨베이어와 하류측 컨베이어로 구성되어 있는 것이 바람직하고, 이 경우에는, 상류측 컨베이어와 하류측 컨베이어의 간극에서 기판(31)에 광을 조사하고, 또한 기판(31)을 투과한 광을 수광시킬 수 있다.

상기 광원(33)은 점 광원, 선 광원, 면 광원 중 어느 것이어도 된다.

상기 집광 광학계(34)는 모터 등을 구동원으로 하여 초점 거리를 조절 가능한 것이다.

상기 촬상 장치(35)는 1차원의 촬상 장치, 2차원의 촬상 장치 중 어느 것이어도 된다. 또, 촬상 장치(35)로서는 라인 센서, CCD 카메라, CMOS 카메라 등을 예시할 수 있다.

또, 상기 집광 광학계(34) 및 상기 촬상 장치(35)는 색 얼룩에 기인한 미약한 휘도 값의 차를 검출할 수 있도록, 외광을 차단할 수 있는 차광 케이싱(도시하지 않음)에 수용되어 있다.

상기 화상 처리 장치(36)는 예를 들면, 인코더(38)로부터의 반송 거리 검출 출력을 입력으로 하여, 촬상 장치(35)에 의한 촬상 데이터를 합성하여 기판(31)의 전체 범위에 대응하는 화상 데이터를 생성하는 처리, 생성된 화상 데이터를 매트릭스 형상으로 세분화하는 처리, 매트릭스마다의 평균 휘도, 및 휘도 편차를 산출하는 처리, 산출된 휘도 편차와 소정의 임계치를 비교하는 처리 등을 행하는 것이다. 그리고, 상기 화상 처리 장치(36)는, 촬상 장치(35)로부터의 생촬상(生撮像) 데이터를 입력으로 하여 소정의 전(前) 처리를 행하는 전처리 장치로부터의 데이터에 기초하여 필요한 처리를 행하는 것이어도 된다.

또한, 소정의 임계치는, 예를 들면, 모아레가 존재하는 경우에는, 촬상 장치에 의해 촬영된 화상 내의 최대 휘도와 최소 휘도의 차가 크고, 반대로 모아레가 존재하지 않는 경우에는, 촬상 장치에 의해 촬영된 화상 내의 최대 휘도와 최소 휘도의 차가 작기 때문에, 경험적으로 구할 수 있다(도 4 및 도 5 참조). 구체적으로는, 예를 들면, 촬상 화상의 휘도(예를 들면, 십자 선상의 휘도를 히스토그램으로 표시해 두고, 모아레가 존재하는 위치에 포인터를 이동시켜 휘도차를 측정하여(히스토그램으로 확인하여), 측정된 휘도차를 베이스로 임계치를 결정한다.

상기 제어 장치(37)는, 예를 들면, 화상 처리 장치(36)에서의 비교 결과 등을 입력으로 하여, 필요한 경우에, 초점을 조절하는 지령을 집광 광학계(34)에 공급하고, 반송 장치(32)에 기판 반송 지령을 공급하고, 촬상 장치(35)에 촬상 지령을 공급하는 것이다. 그리고, 제어 장치(37)와 화상 처리 장치(36)는, 모두 1대의 컴퓨터로 구성하는 것도 가능하다.

다음에, 도 3에 도시한 흐름도를 참조하여, 색 얼룩 검사 장치를 더 설명한다.

반송 장치(32)에 기판(31)이 세트된 것을, 도시하지 않은 센서에 의해 검출한 것에 응답하여, 단계 SP1에서, 제어 장치(37)로부터 화상 처리 장치(36)에 대해서 처리 개시 지령을 공급한다. 다음에, 단계 SP2에서, 제어 장치(37)로부터 촬상 장치(35)에 대해서 촬상 지령을 공급한다. 다음에, 단계 SP3에서, 촬상 장치(35)에 의해서 촬상을 행한다. 다음에, 단계 SP4에서, 전처리 장치에 의해서 화상 입출력을 행한다. 다음에, 단계 SP5에서, 화상 처리 장치(36)에 의해서 화상의 매트릭스화를 행한다. 다음에, 단계 SP6에서, 화상 처리 장치(36)에 의해서 각 매트릭스의 휘도 편차를 계산한다. 다음에, 단계 SP7에서, 휘도 편차와 소정의 임계치를 비교한다.

그리고, 단계 SP7에서 휘도 편차가 소정의 임계치보다도 크다고 판정된 경우에는, 단계 SP8에서, 제어 장치(37)로부터 집광 광학계(34)에 대해서 초점 조절 지령을 공급한다. 다음에, 단계 SP9에서, 집광 광학계(34)가 초점을 조절하고, 단계 SP10에서, 제어 장치(37)로부터 촬상 장치(35)에 대해서 촬상 지령을 공급한다. 구체적으로는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 기판(31)의 표면에 핀트를 맞춘 상태에서 피사계 심도의 바깥에 핀트를 맞추도록, 집광 광학계(34)가 초점을 조절한다.

다음에, 단계 SP11에서, 초점이 조절된 집광 광학계(34)를 통해서 촬상 장치(35)에 의해서 촬상을 행한다. 그 후, 다시, 단계 SP4의 처리를 행한다.

반대로, 단계 SP7에서 휘도 편차가 소정의 임계치보다도 크지 않다고 판정된 경우에는, 단계 SP12에서, 제어 장치(37)로부터 반송 장치(32)에 대해서, 다음 영역의 촬상을 위해서 필요한 거리만큼 기판(31)을 반송하는 지령을 공급한다. 다음에, 단계 SP13에서, 반송 장치(32)에 의해서, 다음 영역의 촬상을 위해서 필요한 거리만큼 기판(31)을 반송한다. 그 후, 다시, 단계 SP2의 처리를 행한다.

또한, 도 3의 흐름도에는 도시하고 있지 않지만, 기판(31)의 전체 범위가 촬상된 것을 조건으로 하여, 휘도 편차 등을 이용하여 종래 공지의 처리를 행하여 색 얼룩의 유무, 정도 등을 검사하여, 검사 결과를 표시하고, 기판(31)을 다음 공정으로 반출하는 동시에, 일련의 처리를 종료하고, 다음 기판(31)의 반입에 대비하도록 하고 있다. 단, 모든 기판(31)에 대해서 상기 일련의 처리를 행하면 효율이 저하하게 되기 때문에, 품종이 변할 때마다 상기 일련의 처리를 행하는 것이 바람직하다.

이상의 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 모아레를 제거할 수 있도록 집광 광학계(34)의 초점을 조절하여 촬상하여, 촬상 데이터에 기초하여 색 얼룩의 유무, 정도, 위치 등을 검사하기 때문에, 검사 정밀도를 높일 수 있다. 구체적으로는, 색 얼룩이 모아레의 영향에 의해 검출 곤란해도(도 7 참조), 모아레를 제거하도록 집광 광학계(34)의 초점을 조정함으로써, 색 얼룩을 확실하게 검출하는 것이 가능해진다(도 8 참조).

상기 실시 형태에서는, 휘도 편차와 소정의 임계치를 비교하여, 비교 결과에 기초하여 집광 광학계(34)의 초점을 조절(구체적으로는, 예를 들면, 모든 매트릭스의 휘도 편차가 임계치를 넘지 않도록 집광 광학계(34)의 초점을 조절한다)하도록 하고 있지만, 촬영된 화상의 지정 영역의 휘도 편차를 설정한 임계치와 비교하여, 휘도 편차가 설정한 임계치 내에 들어가도록 집광 광학계(34)의 초점을 조절하는 것이 가능하다.

도 9는 본 발명의 색 얼룩 검사 장치의 다른 실시 형태를 도시한 개략도이다.

본 색 얼룩 검사 장치가 도 2의 색 얼룩 검사 장치와 다른 점은, 소정 위치에서 위쪽으로부터 기판(31)에 광을 조사하는 광원(39)을 더 설치한 점, 광원(33, 39)의 각각의 광 방사 측에 광 셔터(33a, 39a)를 더 설치한 점뿐이다.

상기 광 셔터(33a, 39a)는, 광원으로부터의 광을 기판(31)에 조사하는 상태와 광원으로부터의 광의 조사를 확실하게 저지할 수 있는 상태를 선택할 수 있으면 되고, 기계적 셔터, 액정 셔터 등 종래 공지의 여러 가지의 것이 사용 가능하다. 또, 촬상 장치(35)는, 한쪽의 광원에 기인한 광만을 수광할 필요가 있기 때문에, 적어도 한쪽이 광원으로부터의 광의 조사를 확실하게 저지하도록 제어되는 경우도 있을 수 있다.

또, 광원에 LED, 스트로보, 레이저 다이오드 등을 이용하면, 상기의 각종 셔터는 필요로 하지 않고, 광원의 점등을 제어함으로써, 동일한 효과가 얻어진다.

상기의 구성의 색 얼룩 검사 장치에 의하면, 반사광에 기초한 색 얼룩 및 투과광에 기초한 색 얼룩을, 기판(31)을 한 번 소정 방향으로 반송하는 것만으로, 정밀도 좋게 검사할 수 있다.

본 발명의 색 얼룩 검사 방법은, 색 얼룩의 유무, 정도, 위치 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다는 특유의 효과를 발휘한다.

본 발명의 색 얼룩 검사 장치도, 색 얼룩의 유무, 정도, 위치 등을 정밀도 좋게 검사할 수 있다는 특유의 효과를 발휘한다.

Claims (14)

1. 컬러 피막이 형성된 기판에 대해서 광원에 의해 광을 조사하고, 컬러 피막이 형성된 기판 면을, 초점 조절 가능한 집광 광학계를 통해서 촬상 장치에 의해 촬상하여, 촬상 결과에 기초하여 색 얼룩을 검사하는 방법으로서,

   검사 개시시에, 기판을 베이스로, 집광 광학계의 초점을 자동 조정하는 것을 특징으로 하는 색 얼룩 검사 방법.
2. 제1항에 있어서,

   컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고, 기판이 투광성이 있는 기판이며, 집광 광학계가 기판 및 컬러 피막을 투과한 광을 집광하는 것인 색 얼룩 검사 방법.
3. 제1항에 있어서,

   컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고, 기판이 투광성이 있는 기판이며, 집광 광학계가 컬러 피막에서 반사된 광을 집광하는 것인 색 얼룩 검사 방법.
4. 제1항에 있어서,

   컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고, 기판이 투광성이 있는 기판이며, 광원이 기판을 기준으로 하여 서로 반대 측에 배치되어 있고, 집광 광학계가 기판 및 컬러 피막을 투과한 광, 컬러 피막에서 반사된 광을 집광하는 것인 색 얼룩 검사 방법.
5. 제4항에 있어서,

   기판을 기준으로 하여 서로 반대 측에 배치된 광원이, 택일적으로, 기판에 대해서 광을 조사하는 것인 색 얼룩 검사 방법.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

   집광 광학계의 초점의 자동 조정은, 모아레를 제거하도록 행해지는 색 얼룩 검사 방법.
7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

   집광 광학계의 초점의 자동 조정은, 기판의 피측정면을 중심으로 하는 피사계 심도의 바깥이 되도록 행해지는 색 얼룩 검사 방법.
8. 컬러 피막이 형성된 기판에 대해서 광을 조사하는 광원과, 컬러 피막이 형성된 기판 면을, 초점 조절 가능한 집광 광학계를 통해서 촬상하는 촬상 장치와, 촬상 결과에 기초하여 색 얼룩을 검사하는 검사 수단을 포함하는 색 얼룩 검사 장치로서,

   검사 개시시에, 기판을 베이스로, 집광 광학계의 초점을 자동 조정하는 초점 자동 조정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 색 얼룩 검사 장치.
9. 제8항에 있어서,

   컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고, 기판이 투광성이 있는 기판이며, 집광 광학계가 기판 및 컬러 피막을 투과한 광을 집광하는 것인 색 얼룩 검사 장치.
10. 제8항에 있어서,

    컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고, 기판이 투광성이 있는 기판이며, 집광 광학계가 컬러 피막에서 반사된 광을 집광하는 것인 색 얼룩 검사 장치.
11. 제8항에 있어서,

    컬러 피막이 투광성이 있는 컬러 피막이고, 기판이 투광성이 있는 기판이며, 광원이 기판을 기준으로 하여 서로 반대 측에 배치되어 있고, 집광 광학계가 기판 및 컬러 피막을 투과한 광, 컬러 피막에서 반사된 광을 집광하는 것인 색 얼룩 검사 장치.
12. 제11항에 있어서,

    기판을 기준으로 하여 서로 반대 측에 배치된 광원이, 택일적으로, 기판에 대해서 광을 조사하는 것인 색 얼룩 검사 장치.
13. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,

    초점 자동 조정 수단은, 모아레를 제거하도록 집광 광학계의 초점의 자동 조정을 행하는 것인 색 얼룩 검사 장치.
14. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,

    초점 자동 조정 수단은, 기판의 피측정면을 중심으로 하는 피사계 심도의 바깥이 되도록 집광 광학계의 초점의 자동 조정을 행하는 것인 색 얼룩 검사 장치.

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