KR20060084112A - Evaporating apparatus and method for organic light emitting device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기발광소자용 증착 장치 및 방법을 개시한다. 이에 의하면, 진공챔버 내의 주 셔터와 투명기판 사이에 부 셔터를 추가로 구비하여 제1 증착시간 동안에 상기 주 셔터와 부 셔터를 개방시킨 상태에서 상기 진공챔버 내의 점 증착원인 유기물 증착원의 유기물을 상기 투명기판의 중앙부와 가장자리부 상에 증착시킨다. 제2 증착시간 동안에 상기 주 셔터를 개방상태로 유지하고 상기 부 셔터를 폐쇄상태로 전환하여 상기 유기물을 상기 투명기판의 중앙부를 제외하고 가장자리부에만 증착시킨다. 따라서, 본 발명은 상기 투명기판의 중앙부와 가장자리부의 증착두께 균일도를 향상시킬 수가 있으므로 유기발광소자의 색좌표 특성을 향상시킬 수가 있다.The present invention discloses a deposition apparatus and method for an organic light emitting device. Accordingly, the organic material of the organic material deposition source, which is a point deposition source in the vacuum chamber, is further provided between the main shutter and the transparent substrate in the vacuum chamber to open the main shutter and the sub shutter during the first deposition time. It deposits on the center part and the edge part of a transparent substrate. During the second deposition time, the main shutter is kept open and the sub shutter is closed, so that the organic material is deposited only at the edge portion of the transparent substrate except for the center portion. Therefore, the present invention can improve the deposition thickness uniformity of the central portion and the edge portion of the transparent substrate, thereby improving the color coordinate characteristics of the organic light emitting device.

유기발광소자, 점 증착원, 주 셔터, 부 셔터, 증착두께 균일도Organic light emitting device, point deposition source, main shutter, sub shutter, deposition thickness uniformity

Description

유기발광소자용 증착 장치 및 방법{evaporating apparatus and method for organic light emitting device} Evaporating apparatus and method for organic light emitting device             

도 1은 종래 기술에 의한 유기발광소자용 증착 장치에 주 셔터만이 적용된 예를 나타낸 개략 구성도.1 is a schematic configuration diagram showing an example in which only a main shutter is applied to a deposition apparatus for an organic light emitting device according to the prior art.

도 2는 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 장치에 주 셔터와 부 셔터가 함께 적용된 예를 나타낸 개략 구성도.Figure 2 is a schematic configuration diagram showing an example in which the main shutter and the secondary shutter is applied to the deposition apparatus for an organic light emitting device according to the present invention.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 장치에 적용된 부 셔터의 형상을 나타낸 평면도.3A to 3D are plan views showing the shape of the sub shutter applied to the deposition apparatus for an organic light emitting device according to the present invention.

도 3f와 도 3f는 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 장치에 적용된 부 셔터의 형상을 나타낸 측면도.
Figure 3f and Figure 3f is a side view showing the shape of the secondary shutter applied to the deposition apparatus for an organic light emitting device according to the present invention.

본 발명은 유기발광소자용 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 투명기판과 주 셔터 사이에 부 셔터를 추가로 구비함으로써 투명기판의 전역 상에 증착 되는 유기물의 증착두께 균일도를 향상시키도록 한 유기발광소자용 증착 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus for an organic light emitting device, and more particularly, by providing an additional shutter between the transparent substrate and the main shutter to improve the deposition thickness uniformity of the organic material deposited on the entire surface of the transparent substrate. A light emitting device deposition apparatus and method are disclosed.

기존의 가장 대중적인 표시기인 씨알티(CRT: cathode ray tube)는 제조공정이 잘 확립되어 있어 그 구조가 간단하며 가격이 저렴하나, 그 부피가 크고 중량이 무거운 단점이 있다. 한편, 플라즈마 표시기는 부피가 작고 가벼운 반면에 구동전압이 100~200V정도로 고압이며 광 효율이 낮다는 문제점이 있으며, 액정 표시기(liquid crystal display: LCD)는 응답시간이 느리고 시야각(viewing angle)에 한계가 있다는 단점이 있다. 이에 비하여, 유기발광소자(organic light emitting diode: OLED)는 구동전압이 낮고 가벼워 휴대할 수 있으며 플라스틱 기판을 이용하면 유동적인 두루마리 형태의 표시기를 만들 수가 있다. 또한, 합성하는 유기물질에 따라 비교적 쉽게 다양한 색상을 구현할 수 있다. 이러한 유기 발광소자는 1980년대에 들어 다층구조가 소개되면서 더욱 발전되었는데, 이러한 다층구조의 도입은 전하전달층이나 전하주입층을 이용한 것으로 전극에서의 장벽을 낮춰줄 뿐만 아니라 이들 전하전달층이나 전하주입층의 적절한 조합은 전하전달의 균형을 잘 맞추어주므로 더욱 높은 효율을 낼 수가 있게 된다.The most popular indicator, cathode ray tube (CRT), has a well-established manufacturing process and its structure is simple and inexpensive, but has the disadvantage of being bulky and heavy. On the other hand, the plasma display is small and light, while the driving voltage is about 100-200V, and there is a problem in that it has high pressure and low light efficiency. The liquid crystal display (LCD) has a slow response time and a limited viewing angle. There is a drawback to this. In contrast, organic light emitting diodes (OLEDs) have low driving voltage and are light and can be carried, and a plastic substrate can be used to make a flexible scroll type indicator. In addition, it is possible to implement various colors relatively easily according to the organic material to be synthesized. The organic light emitting device was further developed in the 1980s when a multilayer structure was introduced. The introduction of the multilayer structure uses a charge transfer layer or a charge injection layer, which not only lowers the barrier at the electrode, but also charge transfer layer or charge injection. The proper combination of layers balances charge transfer well, resulting in higher efficiency.

이와 같은 유기 발광소자의 제조에 사용되는 유기 물질은 기판 상에 박막형태로 형성시켜야 하는데, 이러한 박막 제조방법으로는 단분자의 경우 대부분 물리 기상 증착(physical vapor deposition)의 방법이 사용되며 고분자의 경우 스핀코팅, 딥코팅, 닥터블레이드 등의 방법이 사용되고 있다. 상기 물리 기상 증착법 중에는 진공 증착법이 통상적으로 사용되고 있다. 진공 증착법에 사용되는 유기 물질 증착원은 크게 점(point) 증착원과 선형(linear) 증착원으로 구분된다. 상기 점 증착원은 증착 장치에 대한 적용 용이성과 같은 장점을 가지는 반면에 기판 사이즈 확대의 제약과, 투명기판의 전역 상에서의 증착두께 균일도(uniformity)의 저하와 같은 단점을 갖고 있다. 상기 선형 증착원은 증착두께 균일도의 향상과 같은 장점을 가지는 반면에 증착 장치에 대한 적용 곤란성과 같은 단점을 갖는다.The organic material used to manufacture the organic light emitting device should be formed in the form of a thin film on the substrate. As for the thin film manufacturing method, most of the single molecule is a method of physical vapor deposition. Spin coating, dip coating and doctor blade are used. Among the physical vapor deposition methods, vacuum deposition is commonly used. The organic material deposition source used in the vacuum deposition method is largely divided into a point deposition source and a linear deposition source. While the point deposition source has advantages such as ease of application to a deposition apparatus, it has disadvantages such as limitations of substrate size expansion and deterioration of deposition thickness uniformity across the entire transparent substrate. The linear deposition source has advantages such as improvement in deposition thickness uniformity while disadvantages such as difficulty in application to a deposition apparatus.

현재, 대부분의 수동형 유기발광소자(passive matrix OLED: PMOLED) 패널 제조업체는 점 증착원 형태의 유기물 증착원을 적용한 증착 장치를 사용하고 있다. 도 1은 종래 기술에 의한 유기발광소자용 증착 장치에 주 셔터만이 적용된 예를 나타낸 개략 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(10)의 내부 저면 중앙부 상에 유기물 증착원(11)이 배치되고, 상기 유기물 증착원(11)으로부터 상측으로 일정 거리를 두고 이격하며, 상기 진공챔버(10)의 내부공간에 주 셔터(13), 새도우 마스크(15), 투명기판(1)이 하측에서 상측으로 순차적으로 배치된다. 상기 진공챔버(10)의 내부공간의 압력은 유기물의 진공증착에 적합하도록 10-6 내지 10-7 torr으로 유지된다.Currently, most passive matrix OLED (PMOLED) panel manufacturers use a deposition apparatus using an organic deposition source in the form of point deposition source. 1 is a schematic configuration diagram showing an example in which only a main shutter is applied to a deposition apparatus for an organic light emitting device according to the prior art. As shown in FIG. 1, an organic material deposition source 11 is disposed on a center portion of an inner bottom surface of the vacuum chamber 10, spaced apart from the organic material deposition source 11 by a predetermined distance upward, and the vacuum chamber ( The main shutter 13, the shadow mask 15, and the transparent substrate 1 are sequentially disposed from the lower side to the upper side in the inner space of the 10. The pressure in the inner space of the vacuum chamber 10 is maintained at 10 -6 to 10 -7 torr to be suitable for vacuum deposition of organic matter.

이러한 구성을 가진 종래의 OLED용 증착 장치는 상기 증착원(11) 내의 유기물을 가열부(미도시)에 의해 유기물 증발가능 온도로 가열한 후 상기 주 셔터(13)를 개방시킴으로써 상기 증착원(11) 내의 유기물을 상기 새도우 마스크(15)의 개방구를 거쳐 상기 투명기판(1) 상에 증착시킨다.The conventional deposition apparatus for an OLED having such a structure heats an organic material in the deposition source 11 to a temperature at which an organic material can evaporate by a heating unit (not shown), and then opens the main shutter 13 to open the deposition source 11. The organic material in) is deposited on the transparent substrate 1 via the opening of the shadow mask 15.

그러나, 종래의 증착 장치는 1개의 주 셔터(13)만을 갖고 있기 때문에 상기 주 셔터(13)가 개방된 후 폐쇄될 때까지 상기 투명기판(1)의 중앙부와 가장자리부가 상기 증착원(11)에 노출되는 시간이 동일하므로 증착 장치의 특성상, 상기 증착원(11)의 유기물이 상기 투명기판(1)의 중앙부와 가장자리부 상에 증착되는 증착두께가 균일하지 못하고 상이해질 수밖에 없다. 즉, 상기 투명기판(1)의 중앙부의 증착두께가 상기 투명기판(1)의 가장자리부의 증착두께보다 두껍다.However, since the conventional deposition apparatus has only one main shutter 13, the center portion and the edge portion of the transparent substrate 1 may be formed on the deposition source 11 until the main shutter 13 is opened and then closed. Since the exposure time is the same, the deposition thickness at which the organic material of the deposition source 11 is deposited on the central portion and the edge portion of the transparent substrate 1 is inevitably different. That is, the deposition thickness of the central portion of the transparent substrate 1 is thicker than the deposition thickness of the edge portion of the transparent substrate 1.

이와 같이, 상기 투명기판(1)의 중앙부와 가장자리부간의 증착두께 균일도 특성이 불량하므로 유기발광소자의 색좌표, 특히 청색, 백색의 균일도가 낮고, 결함성 불량이 다발한다. 그러므로, 상기 투명기판 상에서의 증착두께 균일도를 향상시키기 위한 적절한 방법이 절실히 요구되고 있는 실정이다.
As described above, since the uniformity of deposition thickness between the center portion and the edge portion of the transparent substrate 1 is poor, the color coordinates of the organic light emitting device, in particular, the uniformity of blue and white is low, and defect defects frequently occur. Therefore, there is an urgent need for a suitable method for improving the deposition thickness uniformity on the transparent substrate.

따라서, 본 발명의 목적은 투명기판 상에 증착되는 유기물의 증착두께 균일도를 향상시키는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to improve the deposition thickness uniformity of the organic material deposited on the transparent substrate.

본 발명의 다른 목적은 유기발광소자의 색좌표 결함성 불량을 감소시킴으로써 색좌표 균일도를 향상시키는데 있다.
Another object of the present invention is to improve color coordinate uniformity by reducing color coordinate defect defects of an organic light emitting device.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 장치는 유기물 증착용 내부 공간을 확보하기 위한 챔버 본체; 상기 챔버 본체의 내부 저면에 설치되어, 증착용 유기물을 담아둠과 아울러 상기 유기물을 가열 증발시키 기 위한 점 증착원 형태의 유기물 증착원; 상기 챔버 본체의 내부 상면에 설치되어, 상기 유기물이 증착되는 투명기판; 상기 투명기판과 상기 증착원 사이에 설치되어, 상기 유기물이 상기 투명기판의 전역 상에 증착되도록 폐쇄상태에서 개방상태로 전환되는 주 셔터; 상기 투명기판의 정해진 영역에만 상기 유기물을 선택적으로 증착하기 위해 상기 투명기판과 셔터 사이에 배치되는 새도우 마스크; 및 상기 주 셔터와 새도우 마스크 사이에 설치되어, 상기 유기물이 상기 투명기판의 중앙부 상에 증착되는 것을 차단하도록 개방상태에서 폐쇄상태로 전환됨으로써 상기 투명기판 상의 유기물 증착두께를 균일화시키는 부 셔터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The organic light emitting device deposition apparatus according to the present invention for achieving the above object comprises a chamber body for securing an internal space for organic material deposition; An organic material deposition source in the form of a point deposition source installed on the inner bottom of the chamber body to contain the organic material for deposition and to heat evaporate the organic material; A transparent substrate installed on an inner upper surface of the chamber main body, on which the organic material is deposited; A main shutter installed between the transparent substrate and the deposition source, the main shutter being switched from a closed state to an open state so that the organic material is deposited on the entire surface of the transparent substrate; A shadow mask disposed between the transparent substrate and the shutter to selectively deposit the organic material only in a predetermined region of the transparent substrate; And a sub shutter installed between the main shutter and the shadow mask to convert the organic material from the open state to the closed state so as to block the organic material from being deposited on the center portion of the transparent substrate, thereby equalizing the deposition thickness of the organic material on the transparent substrate. It is characterized in that the configuration.

바람직하게는, 상기 부 셔터는 상기 투명기판과 80~200mm의 거리를 두고 이격하여 배치된다.Preferably, the sub-shutters are spaced apart from the transparent substrate at a distance of 80 to 200 mm.

바람직하게는, 상기 부 셔터는 상기 투명기판에 대하여 25~40%의 크기를 갖는다.Preferably, the secondary shutter has a size of 25 to 40% with respect to the transparent substrate.

바람직하게는, 상기 부 셔터는 원형, 타원형, 변형된 타원형, 부채꼴형 중 어느 하나로 형성될 수 있다.Preferably, the secondary shutter may be formed of any one of a circle, an ellipse, a modified ellipse, and a fan shape.

바람직하게는, 상기 부 셔터는 평판, 상기 주 셔터를 향해 상향 굴곡한 굴곡판, 상기 주 셔터를 향해 하향 굴곡한 굴곡판 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
Preferably, the sub-shutter may be formed of any one of a flat plate, a curved plate bent upward toward the main shutter, and a curved plate bent downward toward the main shutter.

또한, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 방법은 점 증착원 형태의 유기물 증착원 내의 유기물을 소정 온도로 가열시킨 후 주 셔터를 폐쇄상태에서 개방상태로 전환하여 상기 유기물을 새도우 마스크를 거쳐 투명기판의 전역의 정해진 영역 상에 증착시키는 단계; 상기 유기물을 상기 투명기판의 전역 상에 소정 두께만큼 증착시킨 후 부 셔터를 개방상태에서 폐쇄상태로 전환하여 상기 투명기판의 중앙부 상에 상기 유기물이 증착되는 것을 차단하고 상기 투명기판의 가장자리부 상에 상기 유기물이 증착되도록 함으로써 상기 투명기판 상의 유기물 증착두께를 균일화시키는 단계; 상기 투명기판의 가장자리부 상에 상기 유기물이 소정 두께만큼 증착된 후 상기 주 셔터를 개방상태에서 폐쇄상태로 전환시킴으로써 상기 투명기판 상에 유기물이 증착되는 것을 차단하는 단계; 및 상기 주 셔터가 폐쇄된 후 상기 부 셔터를 폐쇄상태에서 개방상태로 전환시키는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the organic light emitting device deposition method according to the present invention for achieving the above object is to heat the organic material in the organic vapor deposition source in the form of point evaporation source to a predetermined temperature and then switch the main shutter from the closed state to the open state the organic material Depositing on a predetermined area of the entirety of the transparent substrate via a shadow mask; After depositing the organic material to a predetermined thickness over the entire transparent substrate, the sub shutter is switched from the open state to the closed state to prevent the organic material from being deposited on the central portion of the transparent substrate and to the edge portion of the transparent substrate. Equalizing the thickness of the organic material deposition on the transparent substrate by allowing the organic material to be deposited; Blocking the deposition of the organic material on the transparent substrate by switching the main shutter from the open state to the closed state after the organic material is deposited on the edge portion of the transparent substrate by a predetermined thickness; And converting the sub shutter from the closed state to the open state after the main shutter is closed.

따라서, 본 발명은 상기 주 셔터와 투명기판 사이에 부 셔터를 추가로 설치하여, 상기 주 셔터가 개방된 상태에서 상기 투명기판 상에 유기물을 소정 두께만큼 증착시킨 후 상기 부 셔터를 폐쇄시켜 상기 투명기판의 중앙부 상에 유기물이 증착되는 것을 차단시키고 상기 투명기판의 가장자리부 상에 유기물을 계속 증착시킨다.Accordingly, the present invention further provides a sub-shutter between the main shutter and the transparent substrate, and deposits an organic material on the transparent substrate by a predetermined thickness in a state in which the main shutter is opened, and then closes the sub-shutter to close the transparent shutter. The organic material is prevented from being deposited on the center portion of the substrate and the organic material is continuously deposited on the edge portion of the transparent substrate.

따라서, 본 발명은 상기 투명기판의 중앙부와 가장자리부 상에 증착되는 유기물의 증착두께를 균일화시킬 수 있으므로 유기발광소자의 색좌표를 향상시킬 수가 있다.
Therefore, the present invention can uniformize the deposition thickness of the organic material deposited on the central and edge portions of the transparent substrate, thereby improving the color coordinates of the organic light emitting device.

이하, 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 장치 및 방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 종래의 부분과 동일 구성 및 동일 작용을 갖는 부분에는 동일 부호를 부여한다.Hereinafter, a deposition apparatus and method for an organic light emitting diode according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same code | symbol is attached | subjected to the part which has the same structure and the same action as the conventional part.

도 2는 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 장치에 주 셔터와 부 셔터가 함께 적용된 예를 나타낸 개략 구성도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 유기발광소자용 증착 장치(20)는 진공챔버(10)의 내부 저면 중앙부 상에 점 증착원인 유기물 증착원(11)이 배치되고, 상기 유기물 증착원(11)으로부터 상측으로 일정 거리를 두고 이격하며, 상기 진공챔버(10)의 내부공간에 주 셔터(13), 부 셔터(17), 새도우 마스크(15), 투명기판(1)이 하측에서 상측으로 순차적으로 배치된다. 상기 진공챔버(10)의 내부공간의 압력은 유기물의 진공증착에 적합하도록 10-6 내지 10-7 torr으로 유지된다.2 is a schematic configuration diagram illustrating an example in which a main shutter and a sub shutter are applied together to an organic light emitting device deposition apparatus according to the present invention. As shown in FIG. 2, in the deposition apparatus 20 for an organic light emitting device, an organic deposition source 11, which is a point deposition source, is disposed on the inner bottom surface of the vacuum chamber 10. The main shutter 13, the sub shutter 17, the shadow mask 15, and the transparent substrate 1 are sequentially disposed from the lower side to the upper side and spaced apart at a predetermined distance from the upper side. do. The pressure in the inner space of the vacuum chamber 10 is maintained at 10 -6 to 10 -7 torr to be suitable for vacuum deposition of organic matter.

여기서, 상기 부 셔터(17)는 상기 투명기판(1)과 소정의 거리(D), 바람직하게는, 80~200mm의 거리를 두고 이격하여 배치되는데, 이렇게 할 경우, 색좌표 특성이 종래에 비하여 30% 정도 향상될 수 있다. 상기 부 셔터(17)는 상기 투명기판(1)에 대하여 예를 들어 25~40%의 크기를 갖는 것이 바람직한데, 이는 동일한 증착시간 동안에 상기 투명기판(1)의 중앙부가 상기 투명기판(1)의 가장자리부보다 두꺼운 유기물 증착두께를 가지므로 상기 투명기판(1)의 중앙부를 차단하고 상기 투명기판(1)의 가장자리부에만 추가로 유기물 증착두께를 증가시켜주기 위함이다. 바람직하게는, 상기 부 셔터(17)는 도 3a 내지 도 3d에 도시된 바와 같이, 원형, 타원형, 변형된 타원형, 부채꼴형 중 어느 하나의 평판으로 형성될 수 있다. 또한, 상 기 부 셔터(17)의 가장자리로부터 중심부로 갈수록 상기 부 셔터(17)는 도 3e에 도시된 바와 같이 상기 주 셔터(13)를 향해 상향 굴곡한 굴곡판 또는 도 3f에 도시된 바와 같이 상기 주 셔터(13)를 향해 하향 굴곡한 굴곡판으로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 부 셔터(17)의 일측 가장자리부에는 상기 부 셔터(17)를 고정하는데 사용하기 위한 관통홀(17a, 17b, 17c, 17d, 17e, 17f)이 형성된다. 상기 부 셔터(17)는 도면에 도시하지 않았지만, 상기 주 셔터(13)와 유사한 공지된 방식의 기계적인 장치에 의해 개폐된다.Here, the sub-shutter 17 is spaced apart from the transparent substrate 1 at a predetermined distance D, preferably 80 to 200 mm, in which case the color coordinate characteristics are 30 % Can be improved. Preferably, the sub-shutter 17 has a size of, for example, 25 to 40% of the transparent substrate 1, which has a central portion of the transparent substrate 1 during the same deposition time. This is to block the central portion of the transparent substrate 1 and to increase the organic deposition thickness only at the edge portion of the transparent substrate 1 because the organic material deposition thickness is thicker than the edge portion of the transparent substrate 1. Preferably, the secondary shutter 17 may be formed of any one of a circle, an ellipse, a modified ellipse, and a fan shape, as shown in FIGS. 3A to 3D. In addition, as the sub-shutter 17 is bent upward toward the main shutter 13 as shown in FIG. 3E or toward the center from the edge of the upper shutter 17, as shown in FIG. 3F. It may be formed as a curved plate bent downward toward the main shutter (13). Here, through holes 17a, 17b, 17c, 17d, 17e, and 17f are formed at one edge portion of the subshutter 17 to fix the subshutter 17. Although not shown in the figure, the secondary shutter 17 is opened and closed by a mechanical device in a known manner similar to the main shutter 13.

이와 같은 구성을 가진 본 발명의 OLED용 증착 장치(20)는 먼저, 상기 진공챔버(10) 내에 투명기판(1)과 새도우 마스크(13)가 배치된 상태에서 상기 진공챔버(10)의 내부공간을 유기물 진공증착에 적합한 압력, 예를 들어 10-6 내지 10-7 torr의 압력으로 유지한다. 이후, 상기 증착원(11) 내의 유기물을 가열부(미도시)에 의해 유기물 증발가능 온도로 가열하고 나서 상기 주 셔터(13)를 폐쇄상태에서 개방상태로 전환시키고 아울러 부 셔터(17)의 개방상태를 그대로 유지한다.In the OLED deposition apparatus 20 of the present invention having such a configuration, first, an internal space of the vacuum chamber 10 in a state where the transparent substrate 1 and the shadow mask 13 are disposed in the vacuum chamber 10 is provided. Is maintained at a pressure suitable for organic vacuum deposition, for example from 10 −6 to 10 −7 torr. Thereafter, the organic material in the deposition source 11 is heated to a temperature at which the organic material can be evaporated by a heating unit (not shown), and then the main shutter 13 is switched from the closed state to the open state, and the sub shutter 17 is opened. Keep it as it is.

이에 따라, 상기 증착원(11)의 유기물을 상기 새도우 마스크(13)의 개방구를 거쳐 상기 새도우 마스크(13)의 개방구에 해당하는, 상기 투명기판(1)의 중앙부와 가장자리부의 정해진 영역 상에 소정의 제1 증착시간 동안에 증착한다.Accordingly, the organic material of the evaporation source 11 passes through the opening of the shadow mask 13 and corresponds to the opening of the shadow mask 13 on the predetermined region of the center and the edge of the transparent substrate 1. Deposits during a predetermined first deposition time.

상기 유기물이 상기 제1 증착시간만큼 증착되고 나면, 상기 투명기판(1)의 중앙부와 가장자리부 상에 각각 증착되는 유기물의 증착두께는 상기 증착 장치(20)의 특성상 상이하다. 즉, 상기 투명기판(1)의 중앙부의 증착두께는 상기 투명기판 (1)의 가장자리부의 증착두께보다 두껍다. 그러므로, 상기 투명기판(1)의 전역에 걸쳐 유기물 증착두께의 균일도가 불량하다.After the organic material is deposited for the first deposition time, the deposition thickness of the organic material deposited on the central portion and the edge portion of the transparent substrate 1 is different due to the characteristics of the deposition apparatus 20. That is, the deposition thickness of the central portion of the transparent substrate 1 is thicker than the deposition thickness of the edge portion of the transparent substrate 1. Therefore, the uniformity of the deposition thickness of the organic material is poor throughout the transparent substrate 1.

이어서, 상기 제1 증착시간이 경과하면, 상기 주 셔터(13)를 개방상태로 그대로 유지하면서 상기 부 셔터(17)를 개방상태에서 폐쇄상태로 전화시킨다. 이에 따라, 상기 투명기판(1)의 중앙부가 상기 부 셔터(17)에 의해 차단되므로 상기 유기물은 상기 투명기판(1)의 중앙부 상에 증착되지 않고 상기 투명기판(1)의 가장자리부에만 소정의 제2 시간만큼 증착한다.Subsequently, when the first deposition time elapses, the sub shutter 17 is shifted from the open state to the closed state while keeping the main shutter 13 in the open state. Accordingly, since the central portion of the transparent substrate 1 is blocked by the sub-shutter 17, the organic material is not deposited on the central portion of the transparent substrate 1, but only at the edge portion of the transparent substrate 1. Deposit for a second time.

따라서, 본 발명은, 상기 유기물을 상기 제1 시간 및 제2 시간의 합에 해당하는 시간만큼 증착함으로써 상기 투명기판(1) 상에 상기 유기물을 당초 원하는 두께로 증착할 수 있을 뿐만 아니라 상기 투명기판(1)의 중앙부와 가장자리부의 증착두께 균일도를 종래에 비하여 개선시킬 수가 있다.Therefore, the present invention, by depositing the organic material by the time corresponding to the sum of the first time and the second time can not only deposit the organic material on the transparent substrate 1 to the desired thickness, but also the transparent substrate The uniformity of the deposition thickness of the center portion and the edge portion of (1) can be improved as compared with the prior art.

이후, 상기 주 셔터(13)를 개방상태에서 폐쇄상태로 전환시키고 상기 부 셔터(17)를 폐쇄상태에서 개방상태로 전환시킨다.Thereafter, the main shutter 13 is switched from the open state to the closed state, and the sub shutter 17 is switched from the closed state to the open state.

그 다음에, 상기 투명기판(1)을 상기 진공챔버(10)로부터 반출한 후 통상적인 봉지(encapsulation) 공정, 에이징(aging) 및 검사(inspection) 공정, 모듈(module) 공정을 거쳐 최종 제품으로 완성한다. 설명의 편의상 이에 대한 부분은 본 발명의 요지와 관련성이 적으므로 구체적인 설명을 생략하기로 한다.Then, the transparent substrate 1 is taken out of the vacuum chamber 10 and then passed through a conventional encapsulation process, an aging and inspection process, and a module process to a final product. Complete For convenience of explanation, a part thereof is less relevant to the gist of the present invention, and thus detailed description thereof will be omitted.

따라서, 본 발명은 유기물 증착 장치의 주 셔터에 추가하여 부 셔터를 구비함으로써 상기 투명기판의 중앙부와 가장자리부 상의 유기물 증착두께 균일도를 향상시킬 수가 있다. 더욱이, 본 발명은 유기발광소자의 색좌표 균일도를 향상시킬 수가 있고, 결함성 색좌표 불량을 감소시킬 수가 있다. 색좌표 특성, 특히, 청색, 백색에서 약 30% 향상을 얻을 수가 있다.
Therefore, the present invention can improve the thickness uniformity of the organic material deposition on the center and the edge of the transparent substrate by providing a secondary shutter in addition to the main shutter of the organic vapor deposition apparatus. Furthermore, the present invention can improve the color coordinate uniformity of the organic light emitting element, and can reduce the defective color coordinate defect. About 30% improvement can be obtained in color coordinate characteristics, especially blue and white.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 유기발광소자용 증착 장치 및 방법은 진공챔버 내의 주 셔터와 투명기판 사이에 부 셔터를 추가로 구비하여 제1 증착시간 동안에 상기 주 셔터와 부 셔터를 개방시킨 상태에서 상기 진공챔버 내의 점 증착원인 유기물 증착원의 유기물을 상기 투명기판의 중앙부와 가장자리부 상에 증착시킨다. 제2 증착시간 동안에 상기 주 셔터를 개방상태로 유지하고 상기 부 셔터를 폐쇄상태로 전환하여 상기 유기물을 상기 투명기판의 중앙부를 제외하고 가장자리부에만 증착시킨다. 따라서, 본 발명은 상기 투명기판의 중앙부와 가장자리부의 증착두께 균일도를 향상시킬 수가 있으므로 유기발광소자의 색좌표특성을 향상시킬 수가 있다.As described above, the organic light emitting device deposition apparatus and method according to the present invention further comprises a secondary shutter between the main shutter and the transparent substrate in the vacuum chamber to open the main shutter and the secondary shutter during the first deposition time. In the state, the organic material of the organic material deposition source, which is the point deposition source in the vacuum chamber, is deposited on the center portion and the edge portion of the transparent substrate. During the second deposition time, the main shutter is kept open and the sub shutter is closed, so that the organic material is deposited only at the edge portion of the transparent substrate except for the center portion. Therefore, the present invention can improve the deposition thickness uniformity of the center portion and the edge portion of the transparent substrate, thereby improving the color coordinate characteristics of the organic light emitting device.

한편, 본 발명은 도시된 도면과 상세한 설명에 기술된 내용에 한정하지 않으며 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 변형도 가능함은 이 분야에 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 사실이다.On the other hand, the present invention is not limited to the contents described in the drawings and detailed description, it is obvious to those skilled in the art that various modifications can be made without departing from the spirit of the invention. .

Claims (6)

유기물 증착용 내부 공간을 확보하기 위한 챔버 본체;A chamber body for securing an internal space for organic material deposition; 상기 챔버 본체의 내부 저면에 설치되어, 증착용 유기물을 담아둠과 아울러 상기 유기물을 가열 증발시키기 위한 점 증착원 형태의 유기물 증착원;An organic material deposition source installed on an inner bottom surface of the chamber body to contain an organic material for deposition and to heat-evaporate the organic material; 상기 챔버 본체의 내부 상면에 설치되어, 상기 유기물이 증착되는 투명기판; 상기 투명기판과 상기 증착원 사이에 설치되어, 상기 유기물이 상기 투명기판의 전역 상에 증착되도록 폐쇄상태에서 개방상태로 전환되는 주 셔터;A transparent substrate installed on an inner upper surface of the chamber main body, on which the organic material is deposited; A main shutter installed between the transparent substrate and the deposition source, the main shutter being switched from a closed state to an open state so that the organic material is deposited on the entire surface of the transparent substrate; 상기 투명기판의 정해진 영역에만 상기 유기물을 선택적으로 증착하기 위해 상기 투명기판과 셔터 사이에 배치되는 새도우 마스크; 및A shadow mask disposed between the transparent substrate and the shutter to selectively deposit the organic material only in a predetermined region of the transparent substrate; And 상기 주 셔터와 새도우 마스크 사이에 설치되어, 상기 유기물이 상기 투명기판의 중앙부 상에 증착되는 것을 차단하도록 개방상태에서 폐쇄상태로 전환됨으로써 상기 투명기판 상의 유기물 증착두께를 균일화시키는 부 셔터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자용 증착 장치.A sub-shutter provided between the main shutter and the shadow mask, the sub-shutter being uniform from the open state to the closed state so as to block the organic material from being deposited on the center portion of the transparent substrate. Deposition apparatus for an organic light emitting device, characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 부 셔터는 상기 투명기판과 80~200mm의 거리를 두고 이격하여 배치되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자용 증착 장치.The deposition apparatus of claim 1, wherein the sub-shutter is spaced apart from the transparent substrate at a distance of 80 to 200 mm. 제 1 항에 있어서, 상기 부 셔터는 상기 투명기판에 대하여 25~40%의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 유기발광소자용 증착 장치.The deposition apparatus of claim 1, wherein the sub shutter has a size of 25 to 40% with respect to the transparent substrate. 제 3 항에 있어서, 상기 부 셔터는 원형, 타원형, 변형된 타원형, 부채꼴형 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자용 증착 장치.The deposition apparatus of claim 3, wherein the sub-shutter is formed of any one of a circle, an oval, a modified oval, and a fan shape. 제 4 항에 있어서, 상기 부 셔터는 평판, 상기 주 셔터를 향해 상향으로 굴곡한 굴곡판, 상기 주 셔터를 향해 하향으로 굴곡한 굴곡판 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자용 증착 장치.The deposition apparatus of claim 4, wherein the sub-shutter is formed of any one of a flat plate, a curved plate bent upward toward the main shutter, and a curved plate bent downward toward the main shutter. . 점 증착원 형태의 유기물 증착원 내의 유기물을 소정 온도로 가열시킨 후 주 셔터를 폐쇄상태에서 개방상태로 전환하여 상기 유기물을 새도우 마스크를 거쳐 투명기판의 전역의 정해진 영역 상에 증착시키는 단계;Heating the organic material in the organic vapor deposition source in the form of a point evaporation source to a predetermined temperature, and then switching the main shutter from a closed state to an open state to deposit the organic material on a predetermined area throughout the transparent substrate through a shadow mask; 상기 유기물을 상기 투명기판의 전역 상에 소정 두께만큼 증착시킨 후 부 셔터를 개방상태에서 폐쇄상태로 전환하여 상기 투명기판의 중앙부 상에 상기 유기물이 증착되는 것을 차단하고 상기 투명기판의 가장자리부 상에 상기 유기물이 증착되도록 함으로써 상기 투명기판 상의 유기물 증착두께를 균일화시키는 단계;After depositing the organic material to a predetermined thickness over the entire transparent substrate, the sub shutter is switched from the open state to the closed state to prevent the organic material from being deposited on the central portion of the transparent substrate and to the edge portion of the transparent substrate. Equalizing the thickness of the organic material deposition on the transparent substrate by allowing the organic material to be deposited; 상기 투명기판의 가장자리부 상에 상기 유기물이 소정 두께만큼 증착된 후 상기 주 셔터를 개방상태에서 폐쇄상태로 전환시킴으로써 상기 투명기판 상에 유기물이 증착되는 것을 차단하는 단계; 및Blocking the deposition of the organic material on the transparent substrate by switching the main shutter from the open state to the closed state after the organic material is deposited on the edge portion of the transparent substrate by a predetermined thickness; And 상기 주 셔터가 폐쇄된 후 상기 부 셔터를 폐쇄상태에서 개방상태로 전환시키는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자용 증착 방법.And converting the sub-shutter from the closed state to the open state after the main shutter is closed.
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KR101418121B1 (en) * 2007-12-24 2014-07-11 엘지디스플레이 주식회사 Manufacture Equipment of Organic Electro luminescence Display

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