KR20100004783A - Heating crucible and deposition apparatus with the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A heating crucible and a deposition apparatus with the same are provided to prevent a failure of deposition due to change of a cover in a deposition process by placing the cover on a main body firmly. CONSTITUTION: A heating crucible comprises a main body(100), a cover(200), a hinge(300), and a fastening unit(400). The main body has a space and a first opening. A deposition material is exhausted to the space through the first opening. The cover has a second opening(220) smaller than the first opening. The cover covers a part of the first opening with a hinge and exposes the first opening to the outside completely. When the cover covers at least a part of the cover, fastening unit holds the cover and the main body. The fastening unit comprises a first fastener attached to the main body and the second fastener attached to the cover.

Description

가열용기와 이를 구비한 증착장치{Heating crucible and deposition apparatus with the same}Heating vessel and deposition apparatus with same {Heating crucible and deposition apparatus with the same}

본 발명은 가열용기와 이를 구비한 증착장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 사용 과정에서 본체와 덮개가 분리되지 않게 되는 불량이 방지된 가열용기 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heating vessel and a deposition apparatus having the same, and more particularly, to a heating vessel and a deposition apparatus having the same is prevented that the main body and the cover is not separated in the use process.

유기발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다. 일반적인 유기발광 디스플레이 장치에 구비되는 유기발광 소자는 서로 대향된 전극들과 그 사이에 개재된 적어도 발광층을 포함하는 중간층을 구비한다. 이러한 유기발광 소자의 발광을 제어하기 위하여 소스/드레인전극 및 게이트전극 등을 갖는 박막 트랜지스터 등 역시 유기발광 디스플레이 장치에 구비된다.The organic light emitting display device is a self-luminous display device, and has attracted attention as a next generation display device because of its advantages of having a wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed. An organic light emitting device provided in a general organic light emitting display device includes an intermediate layer including electrodes facing each other and at least a light emitting layer interposed therebetween. In order to control the light emission of the organic light emitting diode, a thin film transistor having a source / drain electrode, a gate electrode, and the like is also provided in the organic light emitting display device.

이러한 유기발광 디스플레이 장치를 제조하는 과정에서, 박막 트랜지스터의 각종 전극, 유기발광 소자의 화소전극 또는 대향전극 등을 형성할 시 증착장치를 이용하여 증착(deposition)의 방법에 의해 형성할 수 있다. 즉, 내부 압력이 10-6 내지 10-7 torr로 조절되는 챔버 내에 기판이 배치되도록 하고, 기판에 대향되도록 배치되는 가열용기에 전극 형성 물질을 주입한 후, 가열용기를 이용하여 가열용기 내의 전극 형성 물질을 증발 또는 기화 등을 시켜 기판에 증착되도록 하는 것이다.In the process of manufacturing the organic light emitting display device, when forming various electrodes of the thin film transistor, the pixel electrode or the counter electrode of the organic light emitting device, it can be formed by a deposition method using a deposition apparatus. That is, the substrate is placed in a chamber in which the internal pressure is adjusted to 10 −6 to 10 −7 torr, the electrode forming material is injected into a heating vessel disposed to face the substrate, and then the electrode in the heating vessel is heated using the heating vessel. The forming material is evaporated or vaporized to be deposited on the substrate.

도 1은 종래의 가열용기를 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다. 도 1에 도시된 바와 같이 종래의 가열용기는 제1개구부(12)를 갖는 본체(10)와 제2개구부(22)를 갖는 덮개(20)를 구비하며, 본체(10)와 덮개(20)가 트위스트 방식으로 결합된다. 본체(10) 내에는 전극 형성 물질이 배치되는데, 이 물질은 증발 또는 기화 등에 의해 본체(10)의 제1개구부(12)와 덮개(20)의 제2개구부(22)를 통해 외부로 방출된다. 그러나 이러한 전극 형성 물질이 증발 또는 기화된 후 본체(10)와 덮개(20) 사이에도 증착될 수 있으며, 이에 따라 추후 덮개(20)와 본체(10)를 분리할 수 없게 된다는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 도 1에 도시된 것과 같이 개스킷(50)을 덮개(20)와 본체(10) 사이에 개재시키는 것이 제안되었다. 그러나 트위스트 방식으로 덮개(20)를 본체(10)와 결합할 시 그 사이에 개재된 개스킷(50)이 비틀어지거나 개스킷(50)의 위치가 바뀌어 정확하게 덮개(20)와 본체(10) 사이에 위치하지 못하게 되어, 전극 형성 물질이 증발 또는 기화된 후 본체(10)와 덮개(20) 사이에도 증착되고 이에 따라 추후 덮개(20)와 본체(10)를 분리할 수 없게 된다는 문제점이 있었다.1 is an exploded perspective view schematically showing a conventional heating vessel. As shown in FIG. 1, a conventional heating container includes a main body 10 having a first opening 12 and a cover 20 having a second opening 22, and a main body 10 and a cover 20. Is combined in a twisted manner. An electrode forming material is disposed in the main body 10, which is discharged to the outside through the first opening 12 of the main body 10 and the second opening 22 of the cover 20 by evaporation or vaporization. . However, the electrode forming material may be deposited between the main body 10 and the cover 20 after evaporation or vaporization, and thus there is a problem in that the cover 20 and the main body 10 cannot be separated later. In order to solve this problem, it is proposed to sandwich the gasket 50 between the cover 20 and the main body 10 as shown in FIG. However, when the cover 20 is coupled with the main body 10 in a twisted manner, the gasket 50 interposed therebetween is twisted or the position of the gasket 50 is changed, so that the position between the cover 20 and the main body 10 is precisely located. There is a problem that the electrode forming material is deposited between the main body 10 and the cover 20 after evaporation or vaporization, and thus, the cover 20 and the main body 10 cannot be separated later.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 사용 과정에서 본체와 덮개가 분리되지 않게 되는 불량이 방지된 가열용기 및 이를 구비한 증착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve various problems including the above problems, and an object of the present invention is to provide a heating container and a deposition apparatus having the same, which prevents the main body and the cover from being separated in the process of use.

본 발명은 증착될 물질이 담기는 공간부와 증착될 물질이 방출되는 제1개구부를 갖는 본체와, 상기 본체의 제1개구부보다 작은 제2개구부를 가지며 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 수 있는 덮개와, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮거나 제1개구부를 완전히 노출시킬 수 있도록 하는 힌지를 구비하는 것을 특징으로 하는 가열용기를 제공한다.The present invention has a body having a space for containing the material to be deposited and a first opening for discharging the material to be deposited, and having a second opening smaller than the first opening of the body to cover at least a portion of the first opening of the body. And a hinge configured to cover the at least a portion of the first opening of the main body or to completely expose the first opening.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 본체와 상기 덮개 사이에 개재되는 개스킷을 더 구비하는 것으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the cover may further include a gasket interposed between the main body and the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 개스킷은 교체 가능한 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the gasket can be replaced.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 덮개와 상기 본체를 고정시키는 잠금장치를 더 구비하는 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the cover may further include a locking device to fix the cover and the main body when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 잠금장치의 위치와 상기 힌지의 위 치는 상기 덮개를 중심으로 상호 대향하는 위치인 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the position of the locking device and the position of the hinge may be a position facing each other with respect to the cover.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 본체의 제1개구부 방향 단부는 뾰족한 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the end portion in the first opening direction of the main body may be pointed.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시의 상기 덮개의 상기 본체 방향으로 상기 덮개는 돌출부를 가지며, 상기 돌출부의 단부는 뾰족한 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the cover may have a protruding portion in the direction of the main body of the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body, and the end of the protruding portion may be pointed.

본 발명은 또한, 증착막이 형성될 기판을 지지하는 지지부재와, 증착될 물질이 담기는 공간부와 증착될 물질이 방출되는 제1개구부를 갖는 본체와 상기 본체의 제1개구부보다 작은 제2개구부를 가지며 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 수 있는 덮개와 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮거나 제1개구부를 완전히 노출시킬 수 있도록 하는 힌지를 포함하는 가열용기를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치를 제공한다.The present invention also provides a body having a support member for supporting a substrate on which a deposition film is to be formed, a space containing a material to be deposited, and a first opening for discharging the material to be deposited, and a second opening smaller than the first opening of the body. And a heating container including a cover for covering at least a portion of the first opening of the body and a hinge for covering the at least a portion of the first opening of the body or completely exposing the first opening. It provides a vapor deposition apparatus characterized in that.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 본체와 상기 덮개 사이에 개재되는 개스킷을 더 구비하는 것으로 할 수 있다.According to another aspect of the present invention, the cover may further include a gasket interposed between the main body and the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 개스킷은 교체 가능한 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the gasket can be replaced.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 덮개와 상기 본체를 고정시키는 잠금장치를 더 구비하는 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the cover may further include a locking device to fix the cover and the main body when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 잠금장치의 위치와 상기 힌지의 위치는 상기 덮개를 중심으로 상호 대향하는 위치인 것으로 할 수 있다.According to another feature of the invention, the position of the locking device and the position of the hinge may be a position facing each other with respect to the cover.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 본체의 제1개구부 방향 단부는 뾰족한 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the end portion in the first opening direction of the main body may be pointed.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시의 상기 덮개의 상기 본체 방향으로 상기 덮개는 돌출부를 가지며, 상기 돌출부의 단부는 뾰족한 것으로 할 수 있다.According to still another feature of the present invention, the cover may have a protruding portion in the direction of the main body of the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body, and the end of the protruding portion may be pointed.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 가열용기 및 이를 구비한 증착장치에 따르면, 사용 과정에서 본체와 덮개가 분리되지 않게 되는 불량을 방지할 수 있다.According to the heating vessel of the present invention made as described above and the deposition apparatus having the same, it is possible to prevent the defect that the main body and the cover is not separated during use.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가열용기를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 상기 도면들을 참조하면, 본 실시예에 따른 가열용기는 본체(100)와 덮개(200) 및 힌지(300)를 구비한다. 본체(100)는 증착될 물질이 담기는 공간부와, 증착될 물질이 방출되는 제1개구부(120)를 갖는다. 덮개(200)는 본체(100)의 제1개구부(120)보다 작은 제2개구부(220)를 가지며, 본체(100)의 제1개구부(120)의 적어도 일부를 덮을 수 있다. 도 2a에서는 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부(120)의 적어도 일부를 덮은 경우를, 도 2b에서는 덮개(200)가 본체(100) 의 제1개구부(120)를 덮지 않고 있는 경우를 각각 도시하고 있다. 이와 같은 덮개(200)와 본체(100) 사이의 위치관계는 힌지(300)에 의해 변경될 수 있다. 즉, 힌지(300)는 덮개(200)가 힌지(300)를 중심으로 회전할 수 있도록 하여, 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부(120)의 적어도 일부를 덮거나 제1개구부(120)를 완전히 노출시킬 수 있도록 한다.2A and 2B are perspective views schematically showing a heating container according to an embodiment of the present invention. Referring to the drawings, the heating vessel according to the present embodiment includes a main body 100, a cover 200 and the hinge 300. The main body 100 has a space in which the material to be deposited is contained and a first opening 120 in which the material to be deposited is discharged. The cover 200 may have a second opening 220 smaller than the first opening 120 of the main body 100, and may cover at least a portion of the first opening 120 of the main body 100. In FIG. 2A, the cover 200 covers at least a part of the first opening 120 of the main body 100. In FIG. 2B, the cover 200 does not cover the first opening 120 of the main body 100. Each case is shown. The positional relationship between the cover 200 and the main body 100 may be changed by the hinge 300. That is, the hinge 300 allows the cover 200 to rotate about the hinge 300, so that the cover 200 covers at least a part of the first opening 120 of the main body 100 or the first opening portion. Allow 120 to be fully exposed.

이와 같은 본 실시예에 따른 가열용기에 따르면, 덮개와 본체가 트위스트 방식으로 결합되거나 분리되는 종래의 가열용기와 달리, 원터치 방식으로 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부(120)의 적어도 일부를 덮거나 제1개구부(120)를 완전히 노출시킬 수 있게 된다. 따라서 사용 후의 덮개와 본체의 결합 및 분리가 용이하지 않았던 종래의 가열용기와 달리 덮개(200)와 본체(100)의 결합이 용이하면서도 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부(120)를 용이하게 완전히 노출시킬 수 있다.According to the heating container according to the present embodiment, unlike the conventional heating container in which the cover and the main body are coupled or separated in a twisted manner, the cover 200 is connected to the first opening 120 of the main body 100 in a one-touch manner. It is possible to cover at least a portion or to completely expose the first opening 120. Therefore, unlike the conventional heating vessel, which is not easy to combine and detach the cover and the main body after use, the cover 200 is easy to be combined with the main body 100 while the cover 200 is the first opening 120 of the main body 100. Can be easily and completely exposed.

도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 가열용기를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 본 실시예에 따른 가열용기는 잠금장치(400)를 더 구비한다. 이 잠금장치(400)는 본체(100)에 부착된 제1잠금부(410)와 덮개(200)에 부착된 제2잠금부(420)를 포함하는데, 제1잠금부(410)의 일부가 제2잠금부(420)에 걸쳐지면서 덮개(200)가 본체(100) 방향으로 잡아당겨질 수 있도록 하여 덮개(200)를 본체(100)에 고정시킨다. 즉, 잠금장치(400)는 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부(120)의 적어도 일부를 덮을 시, 덮개(200)와 본체(100)를 고정시킨다.3 is a perspective view schematically showing a heating container according to another embodiment of the present invention. The heating vessel according to the present embodiment further includes a locking device 400. The locking device 400 includes a first lock part 410 attached to the main body 100 and a second lock part 420 attached to the cover 200, wherein a part of the first lock part 410 is formed. The cover 200 is fixed to the main body 100 by allowing the cover 200 to be pulled in the direction of the main body 100 while being covered by the second locking portion 420. That is, the locking device 400 fixes the cover 200 and the main body 100 when the cover 200 covers at least a part of the first opening 120 of the main body 100.

이를 통해 증착 등과 같은 사용 중 덮개(200)가 본체(100)에 고정되는 것을 확실하게 하여, 증착 중 덮개(200)의 위치변화 등으로 인하여 발생할 수 있는 증착 불량을 미연에 방지할 수 있다. 또한 이와 같은 원터치 방식 잠금장치(400)를 이용함으로써, 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부(120)를 완전히 노출시키는 위치로 이동하도록 하는 것을 용이하게 할 수 있다. 한편, 도 4에 도시된 것과 같이 잠금장치(400)의 위치와 힌지(300)의 위치가 덮개(200)를 중심으로 상호 대향하는 위치가 되도록 할 수도 있는 바, 이는 덮개(200)가 본체(100)에 고정될 시 힌지(300)와 잠금장치(400)의 상호 대향하는 위치를 이용하여 그 고정을 확실하게 하기 위함이다.This ensures that the cover 200 is fixed to the main body 100 during use, such as deposition, thereby preventing deposition defects that may occur due to the positional change of the cover 200 during deposition. In addition, by using such a one-touch locking device 400, it is possible to facilitate the cover 200 to move to a position that completely exposes the first opening 120 of the main body 100. On the other hand, as shown in Figure 4 may be such that the position of the locking device 400 and the position of the hinge 300 is a position facing each other with respect to the cover 200, which is the cover 200 is the body ( This is to ensure the fixing by using the position opposite to the hinge 300 and the locking device 400 when fixed to the 100.

도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 가열용기의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 도 4에 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 가열용기는 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시, 본체(100)와 덮개(200) 사이에 개재되는 개스킷(500)을 더 구비한다. 이 개스킷(500)은 중앙에 개구를 갖는 얇은 디스크 형상일 수 있다. 가열용기를 이용하여 증착할 시, 본체(100) 내부에 배치된 증착용 물질이 증발 또는 기화 등을 통해 본체(100)의 제1개구부와 덮개(200)의 제2개구부(220)를 통해 외부로 방출될 시, 그 일부는 외부로 방출되지 않고 본체(100)와 덮개(200) 사이의 부분에 증착될 수도 있다. 이와 같은 경우 추후 본체(200) 내부공간을 세정하거나 증착용 물질을 본체(200) 내부공간에 충진할 시 덮개(200)의 위치가 본체(100)의 제1개구부를 노출시키도록 바뀌어야 하는 바, 본체(100)와 덮개(200) 사이의 부분에 증착된 물질에 의해 본체(100)와 덮개(200)가 고정되어 덮개(200)의 위치를 바꿀 수 없을 수도 있다. 이를 방지하기 위하여 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 개스킷(500) 이 본체(100)와 덮개(200) 사이에 개재시킴으로써, 증착 과정에서 증착용 물질에 의해 본체(100)와 덮개(200)가 고정되지 않도록 할 수 있다.4 is a cross-sectional view schematically showing a part of a heating vessel according to another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the heating container according to the present embodiment has a gasket interposed between the main body 100 and the cover 200 when the cover 200 covers at least a portion of the first opening of the main body 100. It further comprises 500. The gasket 500 may be a thin disk shape having an opening in the center. When depositing using a heating vessel, the deposition material disposed inside the main body 100 is externally formed through the first opening of the main body 100 and the second opening 220 of the cover 200 through evaporation or vaporization. When released, the portion may be deposited on a portion between the main body 100 and the cover 200 without being released to the outside. In such a case, when cleaning the inner space of the main body 200 or filling the vapor deposition material into the inner space of the main body 200, the position of the cover 200 should be changed to expose the first opening of the main body 100. The body 100 and the cover 200 may be fixed by a material deposited on a portion between the body 100 and the cover 200, so that the position of the cover 200 may not be changed. In order to prevent this, when the cover 200 covers at least a portion of the first opening of the main body 100, the gasket 500 is interposed between the main body 100 and the cover 200. The main body 100 and the cover 200 may be fixed.

한편, 전술한 바와 같이 종래의 가열용기는 트위스트 방식으로 덮개를 본체와 결합하는 바, 그와 같은 트위스트 방식 결합 시 그 사이에 개재된 개스킷이 비틀어지거나 개스킷의 위치가 바뀌어 정확하게 덮개와 본체 사이에 위치하지 못하게 되어, 증착용 물질이 증발 또는 기화된 후 본체와 덮개 사이에도 증착되고 이에 따라 추후 덮개와 본체를 분리할 수 없게 된다는 문제점이 있었다.On the other hand, as described above, the conventional heating container is coupled to the main body by the twisted bar, when the gasket interposed therebetween twisted or twisted gasket position or the position of the gasket between the position accurately between the cover and the main body There is a problem that the deposition material is deposited between the body and the cover after evaporation or evaporation, and thus there is a problem that the cover and the body cannot be separated later.

그러나 본 실시예에 따른 가열용기의 경우에는 본체(100)의 제1개구부의 덮개(200)에 의한 적어도 일부의 개폐가 힌지(300)를 중심으로 한 덮개(200)의 위치 변화에 의한 방식으로 이루어지는 바, 따라서 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부의 적어도 일부를 덮도록 하기 위하여 덮개(200)의 위치를 변화시킬 시 개스킷(500)의 위치가 변하거나 개스킷(500)의 형상이 비틀어지지 않게 된다. 이때, 본체(100)의 제1개구부 방향 단부(110)가 뾰족하도록 하고, 또한 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시의 덮개(200)의 본체(100) 방향으로 덮개(200)가 돌출부(210)를 가지며 이 돌출부(210)의 단부가 뾰족하도록 함으로써, 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 개스킷(500)이 덮개(200) 및/또는 본체(100)와 접촉하는 면적을 줄여 덮개(200)가 본체(100)의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 개스킷(500)의 위치가 변하거나 개스킷(500)의 형태 변형이 이루어지는 것을 방지하거나 줄일 수 있다. 이와 같은 개스킷(500)은 물론 도 5에 도시된 것과 같이 교체가 가능함은 물론이다.However, in the case of the heating vessel according to the present embodiment, at least a part of opening and closing by the lid 200 of the first opening of the main body 100 may be changed by the change of the position of the lid 200 about the hinge 300. Therefore, the position of the gasket 500 is changed or the shape of the gasket 500 when the position of the lid 200 is changed so that the lid 200 covers at least a part of the first opening of the main body 100. This will not twist. At this time, the main opening 100 in the first opening direction direction 110 of the main body 100 is pointed, and the main body 100 of the lid 200 when the cover 200 covers at least a part of the first opening of the main body 100. The cover 200 has the protrusion 210 in the direction and the end of the protrusion 210 is pointed, so that the gasket 500 covers when the cover 200 covers at least a part of the first opening of the main body 100. The location of the gasket 500 is changed or the shape of the gasket 500 when the cover 200 covers at least a part of the first opening of the main body 100 by reducing the area in contact with the 200 and / or the main body 100. Deformation can be prevented or reduced. Such a gasket 500 is, of course, replaceable as shown in FIG.

도 6은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 증착장치를 개략적으로 도시하는 단면도이다. 상기 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착장치에는 내부에 챔버(611)가 구비되는데, 챔버(611)에는 증착하고자 하는 기판(600)을 지지하는 기판 지지부(612)와, 이 기판(600)에 밀착되며 증착하고자 하는 패턴의 슬릿이 형성된 증착 마스크(613), 그리고 증착 마스크(613)를 사이에 두고 기판(600)과 대응되도록 배치되는 가열용기(620)가 구비되어 있다.6 is a cross-sectional view schematically showing a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention. Referring to the drawings, the deposition apparatus according to the present embodiment includes a chamber 611 therein, the chamber 611 includes a substrate support 612 for supporting the substrate 600 to be deposited, and the substrate 600. ) Is provided with a deposition mask 613 in close contact with the slits of the pattern to be deposited, and a heating vessel 620 disposed to correspond to the substrate 600 with the deposition mask 613 therebetween.

기판(600)을 지지하는 기판 지지부(612)는 기판(600)의 증착하고자 하는 면이 가열용기(620)와 대응되게 지지할 수 있도록 기판(600)의 가장자리를 지지하게 되는데, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 그리고 기판 지지부(612)에는 기판(600)의 자중에 의해 기판이 휘는 것을 방지하기 위한 수단과, 증착 마스크(613)를 상기 기판(600)에 밀착시키기 위한 수단이 더 구비될 수 있다.The substrate support 612 for supporting the substrate 600 supports the edge of the substrate 600 so that the surface to be deposited on the substrate 600 can be supported to correspond to the heating vessel 620. It is not limited. In addition, the substrate support 612 may further include a means for preventing the substrate from bending due to the weight of the substrate 600 and a means for bringing the deposition mask 613 into close contact with the substrate 600.

또한, 도 6에 도시된 것과 달리, 가열용기는 한 개가 아닌 복수개가 구비될 수도 있으며, 이 경우 라인형으로 배치될 수도 있고, 라인형으로 배치된 후 회전될 수도 있는 등, 그 배치형태는 도 6에 도시된 바에 한정되지 않음은 물론이다.In addition, unlike the one shown in Figure 6, the heating vessel may be provided with a plurality, not one, in this case may be arranged in a line, may be arranged in a line form, then rotated, etc. Of course, it is not limited to what is shown in FIG.

상기와 같은 증착장치에 있어서, 가열용기(620)로 전술한 실시예들에 따른 가열 용기들을 이용함으로써, 다양한 층을 기판(600) 상에 증착하는 과정에서 가열용기의 불량에 의한 증착 불량을 방지할 수 있다.In the deposition apparatus as described above, by using the heating vessel according to the above-described embodiments as the heating vessel 620, in the process of depositing various layers on the substrate 600 to prevent deposition failure due to the failure of the heating vessel. can do.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정 한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, these are merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

도 1은 종래의 가열용기를 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view schematically showing a conventional heating vessel.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 가열용기를 개략적으로 도시하는 사시도이다.2A and 2B are perspective views schematically showing a heating container according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 가열용기를 개략적으로 도시하는 사시도이다.3 is a perspective view schematically showing a heating container according to another embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 가열용기의 일부를 개략적으로 도시하는 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically showing a part of a heating vessel according to another embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 가열용기를 개략적으로 도시하는 사시도이다.5 is a perspective view schematically showing a heating container according to another embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 증착장치를 개략적으로 도시하는 개념도이다.6 is a conceptual diagram schematically showing a deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100: 본체 120: 제1개구부100: main body 120: first opening

200: 덮개 220: 제2개구부200: cover 220: second opening

300: 힌지 400: 잠금장치300: hinge 400: locking device

500: 개스킷500: gasket

Claims (14)

증착될 물질이 담기는 공간부와, 증착될 물질이 방출되는 제1개구부를 갖는 본체;A main body having a space for containing the material to be deposited and a first opening for emitting the material to be deposited; 상기 본체의 제1개구부보다 작은 제2개구부를 가지며, 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 수 있는 덮개; 및A cover having a second opening that is smaller than the first opening of the main body and covering at least a portion of the first opening of the main body; And 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮거나 제1개구부를 완전히 노출시킬 수 있도록 하는 힌지;를 구비하는 것을 특징으로 하는 가열용기.And a hinge to cover the at least a part of the first opening of the main body or to completely expose the first opening. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 본체와 상기 덮개 사이에 개재되는 개스킷을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 가열용기.And a gasket interposed between the main body and the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 개스킷은 교체 가능한 것을 특징으로 하는 가열용기.And the gasket is replaceable. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 덮개와 상기 본체를 고정시키는 잠금장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 가열용기.And a locking device for fixing the cover and the main body when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 잠금장치의 위치와 상기 힌지의 위치는 상기 덮개를 중심으로 상호 대향하는 위치인 것을 특징으로 하는 가열용기.The position of the locking device and the position of the hinge is a heating vessel, characterized in that the position facing each other with respect to the cover. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 본체의 제1개구부 방향 단부는 뾰족한 것을 특징으로 하는 가열용기.Heating container characterized in that the first opening direction end of the body is pointed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시의 상기 덮개의 상기 본체 방향으로 상기 덮개는 돌출부를 가지며, 상기 돌출부의 단부는 뾰족한 것을 특징으로 하는 가열용기.And the cover has a protrusion in the direction of the body of the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the body, and an end of the protrusion is sharp. 증착막이 형성될 기판을 지지하는 지지부재; 및A support member supporting a substrate on which a deposition film is to be formed; And 증착될 물질이 담기는 공간부와 증착될 물질이 방출되는 제1개구부를 갖는 본체와, 상기 본체의 제1개구부보다 작은 제2개구부를 가지며 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 수 있는 덮개와, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮거나 제1개구부를 완전히 노출시킬 수 있도록 하는 힌지를 포함하는 가열용기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.A cover having a space for containing the material to be deposited and a first opening for discharging the material to be deposited, and a second opening smaller than the first opening of the body and covering at least a portion of the first opening of the body And a heating vessel including a hinge to cover the at least a portion of the first opening of the main body or to completely expose the first opening. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 본체와 상기 덮개 사이에 개재되는 개스킷을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.And a gasket interposed between the main body and the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 개스킷은 교체 가능한 것을 특징으로 하는 증착장치.And the gasket is replaceable. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시 상기 덮개와 상기 본체를 고정시키는 잠금장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.And a locking device to fix the cover and the main body when the cover covers at least a portion of the first opening of the main body. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 잠금장치의 위치와 상기 힌지의 위치는 상기 덮개를 중심으로 상호 대향하는 위치인 것을 특징으로 하는 증착장치.The position of the locking device and the position of the hinge is a deposition apparatus, characterized in that the position facing each other with respect to the cover. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 본체의 제1개구부 방향 단부는 뾰족한 것을 특징으로 하는 가열용기.Heating container characterized in that the first opening direction end of the body is pointed. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 덮개가 상기 본체의 제1개구부의 적어도 일부를 덮을 시의 상기 덮개의 상기 본체 방향으로 상기 덮개는 돌출부를 가지며, 상기 돌출부의 단부는 뾰족한 것을 특징으로 하는 가열용기.And the cover has a protrusion in the direction of the body of the cover when the cover covers at least a portion of the first opening of the body, and an end of the protrusion is sharp.
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