KR100670360B1 - Heating crucible of organic thin film forming apparatus - Google Patents

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KR100670360B1
KR100670360B1 KR1020050112940A KR20050112940A KR100670360B1 KR 100670360 B1 KR100670360 B1 KR 100670360B1 KR 1020050112940 A KR1020050112940 A KR 1020050112940A KR 20050112940 A KR20050112940 A KR 20050112940A KR 100670360 B1 KR100670360 B1 KR 100670360B1
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thin film
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김재중
이정열
최용중
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

A heating crucible of an organic thin film forming apparatus is provided to prevent the clogging of a nozzle, by including a thermal conductive unit contacting with an inner side of a crucible body and a cover. A crucible body(141) comprises an aperture(142), and is formed to accommodate an organic material in the inside. A cover(143) includes a nozzle dispensing the organic material, and covers the aperture. A heater(144) is installed to surround the crucible body. A thermal conductive unit(145) contacts with an inner side of the crucible body and the cover.

Description

유기박막 형성장치의 가열용기{Heating crucible of organic thin film forming apparatus}Heating crucible of organic thin film forming apparatus

도 1은 종래의 유기박막 형성장치의 개방형 가열용기의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an open heating container of a conventional organic thin film forming apparatus.

도 2는 종래의 유기박막 형성장치의 커버형 가열용기의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a covered heating container of a conventional organic thin film forming apparatus.

도 3은 본 발명의 실시예의 가열용기가 적용되는 유기박막 형성장치의 구성을 도시한 개략적인 단면도이다.Figure 3 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of an organic thin film forming apparatus to which the heating vessel of the embodiment of the present invention is applied.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가열용기의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a heating vessel according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 가열용기의 열전도성 부재를 도시한 사시도이다.5 is a perspective view showing a thermally conductive member of a heating vessel according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

131: 진공챔버 132: 기판131: vacuum chamber 132: substrate

133: 마스크 134: 마스크 프레임133: mask 134: mask frame

135: 마그네트 유닛 140: 가열용기135: magnet unit 140: heating vessel

141: 용기본체 142: 개구부141: container body 142: opening

143: 커버 143a: 노즐143: cover 143a: nozzle

144: 히터 145: 열전도성 부재 144: heater 145: thermally conductive member

145a: 커버밀착부 145b: 열전도부145a: cover contact part 145b: heat conduction part

145c: 구멍 146: 유기물145c: hole 146: organic matter

본 발명은 유기박막 형성장치의 가열용기에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 노즐의 막힘을 방지할 수 있는 유기박막 형성장치의 가열용기에 관한 것이다. The present invention relates to a heating vessel of an organic thin film forming apparatus, and more particularly, to a heating vessel of an organic thin film forming apparatus capable of preventing clogging of a nozzle.

일반적으로 유기 전계 발광 소자는 기판 상부에 소정 패턴의 양극층이 형성되고, 이 양극층 상부로 홀수송층, 발광층, 전자수송층 등의 유기막이 순차적으로 형성되며, 이들 유기막의 상부에 상기 양극층과 직교하는 방향으로 소정패턴의 음극층이 형성되어 있는 구조를 갖는다.In general, an organic electroluminescent device has an anode layer having a predetermined pattern formed on a substrate, and organic films such as a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are sequentially formed on the anode layer, and are orthogonal to the anode layer on the organic film. It has a structure in which a cathode layer of a predetermined pattern is formed in the direction.

이러한 구성을 가지는 유기 전계 발광 소자에 있어서, 홀수송층, 발광층, 전자수송층 등 유기박막을 형성시키는 기술로 진공증착법이 널리 알려져 있다. 이 진공 증착법은 내부 압력이 10-6 내지 10-7 torr로 조절되는 진공챔버 내부에 유기 박막을 성막시킬 기판을 위치시키고, 이 기판에 유기물이 담긴 가열용기로부터 유기물을 증발 또는 승화시켜 증착시키는 방법으로 행해진다.BACKGROUND OF THE INVENTION In the organic electroluminescent device having such a configuration, vacuum deposition is widely known as a technique for forming an organic thin film such as a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer. In this vacuum deposition method, a substrate is formed in a vacuum chamber in which the internal pressure is controlled to 10 -6 to 10 -7 torr, and the organic material is evaporated or sublimed from a heating vessel in which the organic material is deposited. Is done.

이러한 진공 증착법에 있어서, 증착될 유기물을 수납하고 가열하여 증발 또는 승화시키는 가열용기는 증착될 유기박막의 상태를 직접적으로 제어하는 것으로 유기 박막 형성공정에 있어 중요한 부분을 차지한다. 이에 따라 근자에 이 가열용기에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.In such a vacuum deposition method, a heating container for storing an organic material to be deposited, and heating and evaporating or subliming, directly controls the state of the organic thin film to be deposited, which is an important part in the organic thin film forming process. Accordingly, research on this heating vessel has been actively conducted in recent years.

도 1 및 도 2는 종래에 일반적으로 사용되고 있는 유기박막 형성장치의 가열용기에 대한 두가지 타입을 나타낸 것이다. 1 and 2 illustrate two types of heating containers of an organic thin film forming apparatus which are generally used.

우선, 도 1은, 상방으로 개구된 개구부(12)를 구비하고 유기물(14)을 수납하는 용기본체(11)와, 이 용기본체(11)의 외벽을 감싸는 히터(13)를 포함하는 개방형 가열용기(10)를 나타낸다. 이러한 개방형 가열용기에는 일본 특개 제2000-223269호에 개시된 바와 같이, 소규모의 용기를 다수개 형성하여 가열용기 자체의 개구부가 작도록 하여 유기박막의 균일도를 향상시키는 방법이 있고, 일본 특개 제2000-12218호에서 볼 수 있듯이, 가열용기의 외측면에 히터를 밀착 형성시키고, 증착속도를 검출하여 이를 제어함으로써 장시간 안정적인 증착이 가능하고, 두께의 균일도를 향상시키는 기술이 있다. 또한, 일본 특개 제2000-68055호에는 히터를 용기본체의 외부, 특히 용기본체의 측부와 바닥부에 밀착 형성시키고, 더 나아가 바닥으로부터 돌출된 히터를 더 구비시킨 가열용기가 개시되어 있으며, 일본 특개 제2000-160328호에는 본체를 감싼 히터의 외측으로 열반사 부재를 배치하여 증착되는 유기막의 균일도를 향상시키는 가열용기가 개시되어 있다. First, FIG. 1 is an open type heating system including a container body 11 having an opening 12 opened upward and containing an organic material 14 and a heater 13 surrounding the outer wall of the container body 11. The container 10 is shown. Such open heating containers include a method of improving the uniformity of an organic thin film by forming a plurality of small containers so that the opening of the heating container itself is small, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-223269. As can be seen in the 12218, the heater is formed on the outer surface of the heating vessel in close contact, and by detecting the deposition rate to control for a long time stable deposition, there is a technique for improving the uniformity of the thickness. In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-68055 discloses a heating container in which a heater is formed in close contact with the outside of the container body, in particular, the side and the bottom of the container body, and further provided with a heater protruding from the bottom. No. 2000-160328 discloses a heating vessel which improves the uniformity of the organic film deposited by arranging a heat reflecting member outside the heater surrounding the main body.

상기와 같은 개방형 가열용기들에 있어서는 개구부가 완전히 열려 있기 때문에 기판에 증착되는 유기박막의 균일도가 대체로 좋지 않다. 이에 따라 상기 각 특허에서도 이 균일도를 향상시키는 데 많은 초점이 맞추어져 있으나, 개방형이라는 구조상의 한계로 인하여 균일도의 향상에 다소 어려움이 있다. 또한, 이러한 개방형 가열용기들은 유기물의 소모가 많아 원가를 상승시키는 문제가 있어, 유기 전전계 발광 소자의 양산과정에서는 채택하기 어렵다.In such open heating containers, the uniformity of the organic thin film deposited on the substrate is generally not good because the opening is completely open. Accordingly, in the above patents, much focus has been placed on improving the uniformity, but there is a difficulty in improving the uniformity due to the structural limitation of the open type. In addition, such open heating containers have a problem of increasing costs due to high consumption of organic materials, and thus are difficult to adopt during mass production of organic electroluminescent devices.

한편, 또 다른 타입의 유기 박막 형성장치의 가열용기는 도 2에 도시된 바와 같이, 유기물(24)을 수납하고 있는 용기본체(21)의 개구부(22)를 밀폐하도록 커버(25)가 더 구비되어 있다. 이러한 커버형 가열용기(20)는 커버(25)에 형성된 노즐(25a)을 통해 유기물이 외부로 토출되어 기판에 증착됨으로써 유기물의 소모를 줄일 수 있을 뿐만 아니라 기판에 증착되는 유기박막의 균일도 문제를 개선한 것이다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the heating container of the organic thin film forming apparatus of another type is further provided with a cover 25 to seal the opening 22 of the container body 21 containing the organic material 24. It is. The cover type heating vessel 20 is not only to reduce the consumption of the organic material is deposited on the substrate by the organic material is discharged to the outside through the nozzle 25a formed on the cover 25, but also to solve the problem of uniformity of the organic thin film deposited on the substrate It is an improvement.

이러한 커버형 가열용기에는 일본 공개 특허 특개평 제10-195639호에서 볼 수 있는 바와 같이, 용기보다 직경이 작은 용기형의 커버를 유기물 상부에 근접하도록 형성하여 증발 속도를 용이하게 제어하도록 한 기술을 비롯하여, 커버에 형성된 노즐 부분을 개선한 많은 기술들이 제안되고 있다. Such a cover-type heating container has a technique of forming a cover of a smaller diameter than the container close to the top of the organic material, as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 10-195639, to easily control the evaporation rate. In addition, many techniques have been proposed that improve the nozzle portion formed on the cover.

그런데, 이와 같은 커버형 가열용기에는 여전히 다음과 같은 문제점들이 내재되어 있다.However, the following problems are still inherent in such a cover type heating vessel.

곧, 도 2에서 볼 수 있는 바와 같이, 유기물을 가열하는 히터(23)가 가열용기(20)의 용기본체(21) 외주를 따라 형성되어 있기 때문에 가열용기(20)의 커버(25) 부근, 특히 노즐(25a) 부위의 온도가 낮게 된다. 이렇게 노즐(25a) 부위의 온도가 낮음으로 인해 승화되어 토출되는 유기물이 노즐(25a) 부근에서 재결정화되어 그 내벽에 부착되고, 이는 결국 노즐(25a)을 폐쇄시키게 되는 노즐 막힘 현상을 유발하게 되는 것이다. 이러한 구멍 막힘 현상을 제거하기 위하여 용기본체(21) 외벽의 온도를 높여주면 증착 시 유기물이 변질되어 소자의 특성을 나쁘게 만들기 때문에 특정 온도 이상으로의 가열은 곤란하다.2, since the heater 23 for heating the organic material is formed along the outer circumference of the container body 21 of the heating container 20, the cover 25 of the heating container 20 is near, In particular, the temperature of the part of the nozzle 25a becomes low. Due to the low temperature of the nozzle 25a portion, the organic substance that is sublimed and discharged is recrystallized in the vicinity of the nozzle 25a and adheres to the inner wall thereof, which causes nozzle clogging which closes the nozzle 25a. will be. When the temperature of the outer wall of the container body 21 is increased in order to remove such a clogging phenomenon, heating is difficult above a specific temperature because organic matters are deteriorated and the characteristics of the device are deteriorated during deposition.

이러한 노즐 막힘 현상을 방지하기 위한 다른 방법으로서, 커버의 상부에 히터를 설치하기도 하나, 이도 그 상방으로의 방열로 인해 진공 챔버를 데우게 되므로 추가 단열재의 설치가 필수적이고, 이에 따라 그 구조가 매우 복잡하게 되는 문제점이 있었다. As another method for preventing such a nozzle clogging phenomenon, a heater may be installed on the upper part of the cover, but this also heats the vacuum chamber due to heat radiation upwardly, and thus, additional insulation is required, and thus the structure is very high. There was a problem that became complicated.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 용기본체의 안쪽 측벽 및 커버에 접촉하는 열전도성 부재를 구비함으로써, 노즐의 막힘을 방지하는 유기박막 형성장치의 가열용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and by providing a thermally conductive member in contact with the inner sidewall of the container body and the cover, to provide a heating container of the organic thin film forming apparatus to prevent clogging of the nozzle. The purpose.

위와 같은 목적을 포함하여 그 밖에 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 내부에 유기물이 수납될 수 있도록 형성되고 개구부를 구비한 용기본체와, 상기 유기물이 토출되는 노즐을 구비하고 상기 개구부를 덮는 커버와, 상기 용기본체를 둘러싸도록 설치된 히터와, 상기 용기본체의 안쪽 측벽 및 상기 커버에 접촉하는 열전도성 부재를 포함하는 유기박막 형성장치의 가열용기를 제공한다.In order to achieve the above and other objects, the present invention is provided with a container body formed to accommodate the organic material therein and having an opening, and having a nozzle for discharging the organic material and covering the opening. Provided is a heating container of an organic thin film forming apparatus including a cover, a heater provided to surround the container body, and a heat conductive member in contact with the inner sidewall of the container body and the cover.

여기서, 상기 용기본체는 절연성 물질로 형성되고, 상기 히터는 상기 용기본체의 외면에 밀착 형성되는 것이 바람직하다.Here, the container body is formed of an insulating material, the heater is preferably formed in close contact with the outer surface of the container body.

여기서, 상기 열전도성 부재는 금속의 재질을 포함하여 형성될 수 있다.Here, the thermally conductive member may be formed including a metal material.

여기서, 상기 열전도성 부재는, 상기 커버의 안쪽 면에 밀착하는 커버밀착부와, 일단이 상기 커버밀착부에 접촉하고 타단은 상기 용기본체의 안쪽 측벽에 접촉하는 적어도 하나의 열전도부를 구비할 수 있다.Here, the thermally conductive member may include a cover contact part in close contact with the inner surface of the cover, and at least one heat conductive part in contact with the cover contact part with one end thereof and with the inner sidewall of the container body. .

여기서, 상기 커버밀착부는 원판의 형상으로 형성되되, 상기 노즐에 대응하는 구멍을 구비할 수 있다.Here, the cover contact portion is formed in the shape of a disc, it may be provided with a hole corresponding to the nozzle.

여기서, 상기 열전도부는 그 단면이 사각형인 바(bar)의 형상을 가질 수 있다.Here, the heat conduction portion may have a shape of a bar having a rectangular cross section.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시예의 가열용기가 적용되는 유기박막 형성장치의 구성을 도시한 개략적인 단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가열용기의 단면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 가열용기의 열전도성 부재를 도시한 사시도이다.3 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of an organic thin film forming apparatus to which a heating vessel of an embodiment of the present invention is applied, FIG. 4 is a cross-sectional view of a heating vessel according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an embodiment of the present invention. It is a perspective view which shows the heat conductive member of the heating container which concerns on an example.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예가 적용될 유기박막 형성장치는 진공챔버(131)의 내부에 유기박막을 진공증착하고자 하는 기판(132)이 배치되고, 이 기판(132)과 대응되는 진공챔버(131)의 하부에는 증착시킬 유기물이 수납된 가열용기(140)가 설치된다.As shown in FIG. 3, in the organic thin film forming apparatus to which the present embodiment is to be applied, a substrate 132 for vacuum depositing an organic thin film is disposed inside the vacuum chamber 131, and a vacuum chamber corresponding to the substrate 132 is provided. The lower portion of the 131 is provided with a heating vessel 140 containing the organic material to be deposited.

또한, 기판(132)과 가열용기(140) 사이에는 기판(132)에 유기박막을 증착하고자 하는 패턴과 동일한 패턴의 개구를 가진 마스크(133)가 설치되는데, 마스크(133)는 마스크 프레임(134)에 의해 지지된다. In addition, between the substrate 132 and the heating vessel 140, a mask 133 having an opening of the same pattern as the pattern to be deposited organic thin film on the substrate 132 is provided, the mask 133 is a mask frame 134 Supported by).

기판(132)의 상부에는 마그네트 유닛(135)이 배치되는데, 마그네트 유닛(135)은 마스크 프레임(134)에 지지된 마스크(133)를 기판(132)에 밀착시키는 기능을 수행한다. The magnet unit 135 is disposed on the substrate 132, and the magnet unit 135 performs a function of bringing the mask 133 supported by the mask frame 134 into close contact with the substrate 132.

한편, 유기박막 형성장치의 가열용기(140)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 용기본체(141), 커버(143), 히터(144) 및 열전도성 부재(145)를 구비한다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, the heating container 140 of the organic thin film forming apparatus includes a container body 141, a cover 143, a heater 144, and a thermally conductive member 145.

여기서, 용기본체(141)는 저면이 폐쇄된 구조를 가지고 있기 때문에 내부에 유기물(146)을 수납할 수 있는 구조로 되어 있으며, 그 상부에는 개구부(142)를 구비하고 있다.Here, the container body 141 has a structure in which the bottom surface is closed, and thus the container body 141 has a structure capable of storing the organic material 146 therein, and has an opening 142 thereon.

용기본체(141)는 절연성 및 열방사성이 우수한 알루미나(Al2O3), 질화알루미늄(AlN)과 같은 세라믹 재질로 형성된다.The container body 141 is formed of a ceramic material such as alumina (Al 2 O 3 ) and aluminum nitride (AlN) having excellent insulation and thermal radiation.

용기본체(141)는 수납된 유기물(146)의 가열 및 기화가 용이하게 이루어질 수 있도록 원통의 형상으로 형성하는 것이 바람직하고, 개구부(142)의 크기는 장전되는 유기물의 증착 조건 및 증착 상태에 따라 적절한 변형이 가능하다. The container body 141 is preferably formed in the shape of a cylinder to facilitate heating and vaporization of the stored organic material 146, the size of the opening 142 according to the deposition conditions and deposition conditions of the loaded organic material Appropriate modifications are possible.

커버(143)는 용기본체(141)의 상부에 위치하여 개구부(142)를 덮도록 되어 있으며, 열방사성이 우수한 알루미나(Al2O3), 질화알루미늄(AlN)과 같은 세라믹 재질로 형성된다.The cover 143 is positioned above the container body 141 to cover the opening 142 and is formed of a ceramic material such as alumina (Al 2 O 3 ) and aluminum nitride (AlN) having excellent thermal radiation.

커버(143)는 노즐(143a)을 구비하고 있는데, 그 노즐(143a)로는 기화되거나 승화된 유기물이 토출된다.The cover 143 includes a nozzle 143a, through which the vaporized or sublimed organic substance is discharged.

본 실시예에서의 용기본체(141)와 커버(143)는 세라믹의 재질로 되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉, 본 발명의 용기본체와 커버의 재질은 열방사성 및 내열성이 우수한 재질로 이루어지면 되고, 그 외의 특별한 제한은 없다. 즉, 예를 들면, 용기본체 및 커버는 열방사성이 우수한 티타늄과 같은 금속 재질로 이루어져도 된다. 또한, 용기본체는 세라믹으로 형성되고, 커버는 금속의 재질로 형성되는 것과 같이, 용기본체와 커버가 각각 상이한 재료로 이루어져도 된다.Although the container body 141 and the cover 143 in this embodiment are made of a ceramic material, the present invention is not limited thereto. That is, the material of the container body and the cover of the present invention may be made of a material having excellent heat radiation and heat resistance, and there is no particular limitation. That is, for example, the container body and the cover may be made of a metal material such as titanium having excellent thermal radiation property. In addition, the container body may be made of a ceramic, and the cover may be made of a material of metal, such that the container body and the cover may be made of different materials.

히터(144)는 용기본체(141)의 외면을 밀착하여 둘러싸도록 구성되어 있는데, 용기본체(141)에 수납된 유기물(146)을 가열하는 기능을 수행한다.The heater 144 is configured to closely surround the outer surface of the container body 141, and performs a function of heating the organic material 146 contained in the container body 141.

히터(144)는 용기본체(141) 내부의 유기물(146)을 가열하기 위한 것이면 되고, 그 구조 및 형상에 특별한 제한이 없다. 예를 들면, 용기본체(141)를 둘러싸는 코일의 형상으로 형성될 수도 있고, 용기본체(141)의 외벽에 소정의 패턴으로 코팅하여 형성되는 박막 히터의 형상으로도 형성될 수 있다.The heater 144 may be one for heating the organic substance 146 inside the container body 141, and there is no particular limitation on the structure and shape thereof. For example, the container body 141 may be formed in the shape of a coil, or may be formed in the shape of a thin film heater formed by coating a predetermined pattern on the outer wall of the container body 141.

또한, 본 실시예에서는 용기본체(141)의 측면부에만 히터(144)가 형성되는 것으로 도시되었으나, 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 즉, 본 발명에 따른 히터는 용기본체(141)의 외부 바닥면에도 형성될 수 있다.In addition, although the heater 144 is illustrated as being formed only in the side portion of the container body 141 in the present embodiment, the present invention is not limited thereto. That is, the heater according to the present invention may be formed on the outer bottom surface of the container body 141.

상기와 같은 용기본체(141)의 내부에는 열전도성 부재(145)가 설치되는데, 열전도성 부재(145)는 열전도성이 우수한 구리(Cu), 알루미늄(Al)등의 금속의 재질을 포함하여 이루어져 있다. The thermally conductive member 145 is installed inside the container body 141 as described above. The thermally conductive member 145 includes a material of metal such as copper (Cu) and aluminum (Al) having excellent thermal conductivity. have.

본 실시예의 열전도성 부재(145)는 금속의 재질로 되어 있으나, 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 즉, 본 발명에 따른 열전도성 부재는 내열성 및 열전도성이 뛰어나기만 하면, 그 재질에 있어 제한은 없다. 예를 들면, 본 발명의 열전도성 부재는 내열성 및 열전도성이 우수한 합성수지를 포함하여 이루어질 수도 있다.The thermal conductive member 145 of the present embodiment is made of a metal material, but the present invention is not limited thereto. That is, the heat conductive member according to the present invention is not limited in material as long as it is excellent in heat resistance and thermal conductivity. For example, the thermally conductive member of the present invention may include a synthetic resin having excellent heat resistance and thermal conductivity.

도 5에 도시된 바와 같이, 열전도성 부재(145)는 커버밀착부(145a)와 열전도부(145b)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 5, the thermally conductive member 145 includes a cover contact portion 145a and a thermally conductive portion 145b.

커버밀착부(145a)는 원판의 형상을 가지고 있으며, 그 상면이 커버(143)와 밀착되어 설치되는데, 유기물이 토출될 수 있도록 노즐(143a)이 대응되는 부분에 구멍(145c)이 형성된다.The cover contact portion 145a has a shape of a disc, and an upper surface thereof is installed in close contact with the cover 143. A hole 145c is formed in a portion corresponding to the nozzle 143a so that the organic material can be discharged.

커버밀착부(145a)는 열전도부(145b)에 의해 전달된 열을 커버(143)로 균일하게 전달하도록 소정의 면적을 가지는 원판의 형상을 가지고 있으나, 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 즉, 본 발명의 커버밀착부의 형상은 특별한 제한이 없다. 즉, 본 발명의 커버밀착부의 형상은 그 테두리가 삼각형, 사각형 등의 다각형, 타원의 형상 등이 되도록 이루어질 수도 있다. The cover contact part 145a has a shape of a disc having a predetermined area so as to uniformly transfer heat transferred by the heat conduction part 145b to the cover 143, but the present invention is not limited thereto. That is, the shape of the cover contact portion of the present invention is not particularly limited. That is, the shape of the cover contact portion of the present invention may be made so that the border is a polygon, such as a triangle, a rectangle, the shape of an ellipse.

열전도부(145b)는 용기본체(141)의 측벽의 열을 커버(143)쪽으로 전달하는 부분으로써, 바(bar)형상으로 되어 있다. 열전도부(145b)의 일단은 커버밀착부(145a)에 접촉되고, 그 타단은 용기본체(141)의 안쪽 측벽에 접촉되어, 용기본체(141)의 측벽의 열을 커버밀착부(145a)로 전달하는 기능을 수행한다.The heat conductive portion 145b is a portion that transfers heat from the side wall of the container body 141 toward the cover 143, and has a bar shape. One end of the heat conductive part 145b is in contact with the cover contact part 145a, and the other end is in contact with the inner side wall of the container body 141, so that the row of the side wall of the container body 141 is transferred to the cover contact part 145a. Perform the function of passing.

본 실시예의 열전도부(145b)는 바형상으로 되어 있지만, 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 즉, 본 발명에 따른 열전도부는, 용기본체 측벽의 열을 커버로 전달할 수 있으면, 그 형상에 특별한 제한은 없다. 예를 들면, 본 발명의 열전도부는 얇은 판상의 형태, 꼭지점이 잘린 원뿔, 깔때기 형상 등으로도 형성될 수 있다.Although the heat conduction part 145b of this embodiment is bar-shaped, this invention is not limited to this. That is, as long as the heat conductive part according to the present invention can transfer heat from the side wall of the container body to the cover, there is no particular limitation on the shape thereof. For example, the thermally conductive portion of the present invention may be formed in a thin plate shape, a cone having a vertex cut off, a funnel shape, or the like.

본 실시예의 열전도성 부재(145)는 커버밀착부(145a)를 구비하고 있지만, 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 즉, 본 발명의 열전도성 부재는 커버밀착부를 구비하지 않을 수도 있는데, 그 경우에 열전도부의 일단은 용기본체 측벽에 접촉하고, 타단은 직접 커버에 밀착하도록 구성된다. 그러나, 전술한 바와 같이 커버밀착부를 구비하면, 보다 확실하게 열전도부에서 전달된 열을 커버로 전달할 수 있을 뿐만 아니라, 커버밀착부에 접하는 커버의 면적에 걸쳐 균일하게 열을 전달할 수 있으므로, 본 실시예와 같이 커버밀착부를 구비하는 것이 더 바람직하다.Although the thermally conductive member 145 of this embodiment is provided with the cover adhesion part 145a, this invention is not limited to this. That is, the thermally conductive member of the present invention may not include a cover contact portion, in which case one end of the heat conduction portion is in contact with the side wall of the container body, and the other end is directly attached to the cover. However, as described above, if the cover contact portion is provided, not only can the heat transmitted from the heat conduction portion be transmitted to the cover more reliably, but also heat can be transmitted uniformly over the area of the cover in contact with the cover contact portion. It is more preferable to provide a cover contact portion as in the example.

이하, 본 실시예에 따른 유기박막 형성장치의 가열용기(140)의 작용에 대해 살펴보기로 한다.Hereinafter, the operation of the heating container 140 of the organic thin film forming apparatus according to the present embodiment will be described.

진공챔버(131)의 내부에 유기박막을 진공증착하고자 하는 기판(132)이 증착위치로 배치되면, 용기본체(141)를 둘러싸도록 배치된 히터(144)를 작동시킨다.When the substrate 132 for vacuum deposition of the organic thin film is disposed in the vacuum chamber 131 to the deposition position, the heater 144 disposed to surround the container body 141 is operated.

히터(144)를 작동시키면, 용기본체(141)의 부분 중 히터(144)와 인접한 측벽 방향에서 중앙부 방향으로 열이 전달되게 된다. 그렇게 되면, 용기본체(141)에 수납된 유기물(146) 중 용기본체(141)의 측벽 쪽의 유기물부터 가열되기 시작하여, 점차 용기본체(141)의 중앙부쪽의 유기물이 가열되게 된다. 이와 같은 방식으로 유기물(146)이 가열되면, 유기물(146)은 기화 또는 승화하여 노즐(143a)로 토출되게 된다. When the heater 144 is operated, heat is transferred from the sidewall direction adjacent to the heater 144 in the portion of the container body 141 toward the center portion. Then, among the organics 146 stored in the container body 141, the organic material on the side wall side of the container body 141 starts to be heated, and gradually the organic material on the central side of the container body 141 is heated. When the organic material 146 is heated in this manner, the organic material 146 is vaporized or sublimed and discharged to the nozzle 143a.

이 때, 용기본체(141)의 안쪽 측벽과 커버밀착부(145a)에 접촉되도록 설치된 열전도부(145b)는 용기본체(141)의 측벽에서 열을 전달받아, 커버밀착부(145a)로 열을 전달하게 되고, 열전도부(145b)로부터 열을 전달받은 커버밀착부(145a)는 커버(143)로 열을 균일하게 전달하게 된다.At this time, the heat conduction portion 145b installed to be in contact with the inner sidewall of the container body 141 and the cover contact part 145a receives heat from the sidewall of the container body 141, and heats the cover contact part 145a. The cover contact part 145a, which receives heat from the heat conducting part 145b, transmits heat uniformly to the cover 143.

따라서, 커버(143)의 온도는 용기본체(141)의 온도와 거의 동일하게 되고, 커버(143)의 노즐(143a) 근방의 온도도 용기본체(141)의 온도와 거의 동일하기 때문에, 증발되는 유기물이 재결정화됨으로써 노즐 부근에 달라붙어 노즐이 폐쇄되는 종래의 문제점을 해결할 수 있게 된다. Therefore, the temperature of the cover 143 is almost the same as the temperature of the container body 141, and since the temperature near the nozzle 143a of the cover 143 is also almost the same as the temperature of the container body 141, it is evaporated. By recrystallizing the organic matter, it is possible to solve the conventional problem of sticking near the nozzle and closing the nozzle.

상술한 바와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention as described above, the following effects can be obtained.

첫째, 전면(全面)에 걸쳐 커버의 온도는 용기본체의 온도와 거의 동일하므로, 장시간 증착을 진행하여도, 노즐 부위에서 유기물이 재결정화되어 발생하는 노즐 막힘 현상이 일어나지 않는다.First, since the temperature of the cover is almost the same as the temperature of the container body over the entire surface, the nozzle clogging phenomenon caused by organic crystallization at the nozzle portion does not occur even if the deposition is prolonged for a long time.

둘째, 상기와 같은 노즐 막힘 현상의 문제점을 해결하기 위해 간단한 구조의 열전도성 부재만을 추가하면 되므로, 장착 공수 및 제조 비용의 증가의 부담이 거의 없다.Second, since only a thermally conductive member having a simple structure needs to be added to solve the problem of the nozzle clogging as described above, there is almost no burden of increasing the mounting labor and manufacturing cost.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Could be. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

Claims (6)

내부에 유기물이 수납될 수 있도록 형성되고, 개구부를 구비한 용기본체;A container body formed to accommodate an organic material therein and having an opening; 상기 유기물이 토출되는 노즐을 구비하고, 상기 개구부를 덮는 커버;A cover having a nozzle through which the organic material is discharged and covering the opening; 상기 용기본체를 둘러싸도록 설치된 히터; 및A heater installed to surround the container body; And 상기 용기본체의 안쪽 측벽 및 상기 커버에 접촉하는 열전도성 부재를 포함하는 유기박막 형성장치의 가열용기.And a heat conductive member in contact with the inner sidewall of the container body and the cover. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 용기본체는 절연성 물질로 형성되고, 상기 히터는 상기 용기본체의 외면에 밀착 형성되는 유기박막 형성장치의 가열용기.The container body is formed of an insulating material, the heater is a heating container of the organic thin film forming apparatus is formed in close contact with the outer surface of the container body. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 열전도성 부재는 금속의 재질을 포함하여 형성되는 유기박막 형성장치의 가열용기.The thermally conductive member is a heating vessel of the organic thin film forming apparatus is formed including a metal material. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 열전도성 부재는, 상기 커버의 안쪽 면에 밀착하는 커버밀착부와, 일단이 상기 커버밀착부에 접촉하고 타단은 상기 용기본체의 안쪽 측벽에 접촉하는 적어도 하나의 열전도부를 구비하는 유기박막 형성장치의 가열용기.The thermally conductive member includes an organic thin film forming apparatus including a cover contact part in close contact with an inner surface of the cover and at least one heat conductive part in contact with the cover contact part with one end thereof and with an inner side wall of the container body. Heating vessel. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 커버밀착부는 원판의 형상으로 형성되되, 상기 노즐에 대응하는 구멍을 구비한 유기박막 형성장치의 가열용기. The cover contact portion is formed in the shape of a disc, the heating vessel of the organic thin film forming apparatus having a hole corresponding to the nozzle. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 열전도부는 그 단면이 사각형인 바(bar)의 형상을 가지는 유기박막 형성장치의 가열용기.The heat conducting unit is a heating vessel of the organic thin film forming apparatus having a bar-shaped cross section (square).
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