KR20080062310A - A crucible of fabricating oled - Google Patents

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Abstract

A crucible for fabricating an organic light emitting display is provided to increase the capacity of the crucible by mounting a wall to a lower body, thereby improving productivity. A crucible for fabricating an organic light emitting display includes an upper nozzle(21), a lower body(25), and a coupling unit. The upper nozzle discharges organic material(23) therefrom. The lower body contains the organic material. The coupling unit is installed in the lower body to couple the lower body with the upper nozzle. The coupling unit has a linear structure. The coupling unit is a wall(26) made of graphite.

Description

유기발광표시장치 제조용 도가니 {A Crucible of Fabricating OLED}Crucible for organic light emitting display device {A Crucible of Fabricating OLED}

도 1 은 종래 유기발광표시장치 제조용 도가니를 나타내기 위한 도면.1 is a view showing a crucible for manufacturing a conventional organic light emitting display device.

도 2 는 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니를 나타내기 위한 도면.2 is a view showing a crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

도 3 은 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니의 상부 노즐을 고정시키는 방법을 설명하기 위한 도면.3 is a view for explaining a method of fixing the upper nozzle of the crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

도 4 는 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니의 상면도.4 is a top view of a crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

＊도면의 주요부에 대한 설명＊ Description of main parts of drawing

20a : 제 1 홈 21b : 제 2 홈20a: first groove 21b: second groove

21 : 상부 노즐(Nozzle) 22 : 흑연(Graphite) 재질의 도가니21: Upper nozzle 22: Crucible made of graphite

23 : 유기물 24 : T/C(Thermal couple)23 organic matter 24 T / C (Thermal couple)

25 : 하부 바디(Body) 28 : 원통형의 공간25: lower body 28: cylindrical space

본 발명은 유기발광표시장치 제조용 기구에 관한 것으로, 특히, 상부노즐을덮개 형식으로 하부 바디에 씌우듯이 연결할 수 있는 흑연(Graphite) 재질의 도가니에 대한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for manufacturing an organic light emitting display device, and more particularly, to a crucible made of graphite material which can be connected as if the upper nozzle is covered by a lower body.

유기발광표시장치(Organic Light Emitting display : 이하, OLED)은 디지털 멀티미디어 시대에 가장 유망한 차세대 표시장치로서 각광 받고 있다.Organic Light Emitting Display (OLED) is spotlighted as the most promising next generation display device in the age of digital multimedia.

이러한 OLED는 색 순도의 우수성과 빠른 응답속도, 넓은 시야각의 특성을 가지고 있으며, 자발광 소자이므로 액정표시장치(Liquid Crystl Display)와는 달리 백라이트가 필요치 않아 경량화가 가능한 표시장치이다.Such OLEDs are characterized by excellent color purity, fast response speed, and wide viewing angle, and are light-emitting devices that do not require backlight, unlike liquid crystal displays, because they are self-luminous devices.

이와 같은 OLED는 통상 양극용 투명전극 및 음극 분리용 격벽이 형성된 유리기판 상에 유기발광층을 증착한 후 상기 유기발광층 상에 음극용 금속전극을 형성하고 이후 상기 유리기판의 후면 일부분을 밀폐하여 제조한다.Such OLEDs are usually manufactured by depositing an organic light emitting layer on a glass substrate on which a transparent electrode for anode and a separator for separating a cathode are formed, forming a metal electrode for cathode on the organic light emitting layer, and then sealing a rear portion of the glass substrate. .

한편, OLED를 제조하는 경우 통상 진공 증착법이 이용되는데, 이는 유기물을 도가니(Crucible)에 담아 열을 가하여 증발(evaporation)되도록 하여 유기 박막을 형성하는 것이다. On the other hand, when manufacturing an OLED, vacuum deposition is generally used, which is to form an organic thin film by placing an organic material in a crucible and applying heat to evaporation.

도 1 은 종래의 도가니를 나타낸 것이다.1 shows a conventional crucible.

도 1 에 도시된 바와 같이, 종래의 유기물 도가니는 상부 노즐(Nozzle)(11)과 하부 바디(Body)(15)로 구성된다. As shown in FIG. 1, the conventional organic crucible is composed of an upper nozzle 11 and a lower body 15.

상기 상부 노즐(11)은 상기 하부 바디(15)에 나사형식으로 조인(Joining)하여 연결된다. 이때, 유기물(13)이 상기 연결부분에 증착 되는 경우 상기 상부 노즐(11)을 오픈(Open)하는 것이 불가능하다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 기존에 도가니에 남아있는 유기물을 고온에서 증발시킨 후에 상기 상부 노즐(11)을 오픈 하였다.The upper nozzle 11 is connected to the lower body 15 by screwing (Joining). In this case, when the organic material 13 is deposited on the connection portion, it is impossible to open the upper nozzle 11. In order to solve this problem, the upper nozzle 11 is opened after evaporating the organic material remaining in the crucible at a high temperature.

그러나 이와 같은 방식으로 상기 상부 노즐(11)을 오픈 하는 경우 재료 변형 평가를 위한 잔류 유기물의 채취가 어려우며 도가니 내부의 성막 유형을 관찰하기도 쉽지 않다는 문제점이 있다.However, when the upper nozzle 11 is opened in this manner, it is difficult to collect residual organic materials for material deformation evaluation, and it is not easy to observe the type of deposition inside the crucible.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로 상부 노즐(Nozzle)과 하부 바디(Body)를 나사형식으로 조인(Joining) 하지 않고 상부 노즐을 하부 바디에 덮개를 씌우듯이 연결할 수 있는 도가니를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems and the crucible which can connect the upper nozzle to the lower body as a cover without screwing the upper nozzle (Nozzle) and the lower body (Sody) in the form of a screw The purpose is to provide.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 도가니는 내부에 담겨진 유기물에 열을 가하여 상기 유기물을 증발시키는 OLED 제조용 도가니로서, 유기물이 방출되는 상부 노즐과 유기물이 담기는 하부 바디와 상기 하부 바디에 장착되는 것으로 상기 상부 노즐과 결합되는 부분에 장착되고 상기 상부 노즐의 내부와 결합하는 벽을 포함하여 구성하는 것을 그 특징으로 한다.The crucible of the present invention for achieving the above object is a crucible for manufacturing an OLED that evaporates the organic material by applying heat to the organic material contained therein, the upper nozzle and the lower body and the organic material is discharged and mounted on the lower body It is characterized in that it comprises a wall that is mounted to the portion coupled to the upper nozzle and coupled with the interior of the upper nozzle.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 도가니를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a crucible according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 는 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니를 나타낸 도면이다.2 illustrates a crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

도 2 에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니는 흑연(Graphite) 재질로 이루어지며 상부 노즐(Nozzle)(21)과 하부 바디(Body)(25)로 구성된다. As shown in FIG. 2, the crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention is made of a graphite material and includes an upper nozzle 21 and a lower body 25.

상기 상부 노즐(21)은 가운데 통로를 중심으로 양측에 원통형의 공간(28)이 있다. 상기 하부 바디(25)에서 유기물이 증발된 후 상기 상부 노즐(21)에 도달하면, 상기 원통형의 공간(28)에서 와류를 형성하게 된다. 상기 유기물이 계속해서 증발하여 상기 상부 노즐(21)에 도달하게 되면 이미 원통형의 공간(28)에 와류를 형성하고 있었던 유기물은 가운데 통로(29)로 빠져 나가게 되고, 상기 상부 노즐(21)에 도착한 유기물은 원통형의 공간(28)에서 다시 와류를 형성하게 된다. 이러한 방식으로 유기물은 도가니를 통하여 밖으로 방출된다.The upper nozzle 21 has a cylindrical space 28 on both sides of the center passage. When the organic material is evaporated from the lower body 25 and reaches the upper nozzle 21, vortices are formed in the cylindrical space 28. When the organic material continues to evaporate to reach the upper nozzle 21, the organic material that has already formed a vortex in the cylindrical space 28 exits the middle passage 29, and reaches the upper nozzle 21. The organics again form a vortex in the cylindrical space 28. In this way, the organics are released out through the crucible.

또한, 상기 상부 노즐(21)은 상기 하부 바디(25)와 연결되는 부분이 나사형식의 구조 대신 직선형의 구조를 갖는다. 따라서 상기 상부 노즐(21)을 상기 하부 바디(25)에 덮개를 씌우는 것과 같은 방법으로 상기 상부 노즐(21)이 상기 하부 바디(25)와 결합 된다.In addition, the upper nozzle 21 is a portion connected to the lower body 25 has a linear structure instead of a screw structure. Therefore, the upper nozzle 21 is coupled to the lower body 25 in the same way as to cover the upper nozzle 21 to the lower body 25.

한편, 상기 하부 바디(25)는 증착 하고자 하는 유기물(23)이 담기는 부분으로서, 이 하부 바디(25)의 하축의 중심부에는 제 1 홈(20a)이 형성되어 있으며, 이 제 1 홈(20a)의 중심 바닥면에는 제 2 홈(20b)이 형성된다. 상기 제 2 홈(20b)에는 T/C(Thermal couple)(24)가 삽입되는데 이는 도가니 내부의 온도를 측정하기 위해 사용된다.On the other hand, the lower body 25 is a portion containing the organic material 23 to be deposited, the first groove 20a is formed in the center of the lower axis of the lower body 25, the first groove 20a The second groove 20b is formed in the center bottom surface of the bottom side). The thermal couple (T / C) 24 is inserted into the second groove 20b, which is used to measure the temperature inside the crucible.

또한, 상기 하부 바디(25)에는 상기 상부 노즐(21)과 결합되는 부분에 직선 모양의 벽(Wall)(26)이 장착된다. 상기 벽(26)은 상기 하부 바디(25)가 상기 상부 노즐(21)과 결합되는 경우 결합 부위를 통하여 열이 방출되거나, 유기물이 증착될 수 있으므로 이를 방지하기 위한 용도로 사용된다. 상기 벽(26)은 상기 상부 노즐(21) 내부에 접촉되는데, 상기 상부 노즐(21)의 충분한 높이(t2)까지 닿을 수 있도록 제작 되어야 한다. 또한, 상기 벽(26)이 상기 상부 노즐(21)에 접촉되는 경우 접촉되는 부분에 틈이 생길 수 있는데, 상기 틈을 통하여 열이 방출되거나 도가니 내부에 있는 유기물이 증착될 수 있다. 따라서 상기 벽(26)은 상기 상부 노즐(21)에 완전히 밀착되는 것이 중요하다. 또한, 상기 벽(26)의 재질은 열을 효율적으로 전달할 수 있도록 열전도도가 높은 흑연 재질로 하는 것이 바람직하다.In addition, the lower body 25 is mounted with a straight wall (Wall) 26 in the portion that is coupled to the upper nozzle 21. The wall 26 is used to prevent heat because the heat may be released through the coupling portion or the organic material may be deposited when the lower body 25 is combined with the upper nozzle 21. The wall 26 is in contact with the inside of the upper nozzle 21, and should be manufactured to reach a sufficient height t2 of the upper nozzle 21. In addition, when the wall 26 is in contact with the upper nozzle 21, a gap may occur in the contact portion, where heat may be released or organic matter may be deposited inside the crucible. Therefore, it is important that the wall 26 is completely in contact with the upper nozzle 21. In addition, the material of the wall 26 is preferably made of a graphite material having high thermal conductivity so as to efficiently transfer heat.

한편, 본 발명에 따른 도가니의 외부에는 열선(도시되지 않음)이 설치된다. 상기 열선은 도가니와 직접 접촉되지 않고, 상기 상부 노즐과 하부 바디의 측면에 놓인다. 상기 열선은 도가니에 담긴 유기물의 증발을 위하여 열을 발산한다. 상기 열선에서 발생되는 열은 본 발명에 따른 도가니가 흑연 재질로 이루어져 있기 때문에 도가니 전체적으로 균일하게 전달되고, 이로써 열이 유기물(23)에 균일하게 전달된다. On the other hand, a heating wire (not shown) is installed outside the crucible according to the present invention. The hot wire is not in direct contact with the crucible but lies on the side of the upper nozzle and the lower body. The hot wire emits heat to evaporate the organic matter contained in the crucible. The heat generated from the hot wire is uniformly transmitted throughout the crucible since the crucible according to the present invention is made of graphite material, whereby heat is uniformly transferred to the organic material 23.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니는 상부 노즐을 하부 바디에 덮개를 씌우듯이 결합함으로써 도가니를 자유롭게 오픈(Open) 할 수 있다. 다만, 유기물 증착시에 내부 증기압에 의해 상부 노즐이(21) 하부 바디(25)로부터 분리될 수 있으므로, 상기 상부 노즐을 고정시키는 수단이 필요하다.The crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention configured as described above can open the crucible freely by combining the upper nozzle with a cover on the lower body. However, since the upper nozzle 21 may be separated from the lower body 25 by the internal vapor pressure during organic vapor deposition, a means for fixing the upper nozzle is required.

도 3 은 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니의 상부 노즐을 고 정시키는 수단을 설명하기 위한 도면이고, 도 4 는 본 발명에 따른 유기 발광표시장치 제조용 도가니의 상면도 이다.3 is a view illustrating a means for fixing an upper nozzle of a crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention, and FIG. 4 is a top view of a crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

도 3 에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니의 상부 노즐 상단(34)에는 상기 상부 노즐(21) 상부의 열을 균일하게 하기 위해 가이드(Guide)(31)가 장착 된다. 상기 가이드(31)는 도넛(Doughnut) 모양으로 인코넬(Inconel) 재질로 이루어지며 내부 원의 지름은 상기 상부 노즐(21)의 유기물이 빠져 나가는 통로 보다 더 크다. 또한, 상기 가이드(31)는 스테인레스(SUS) 재질의 고정 블라켓(Bracket)(32) 으로 고정된다. 즉, 본 발명에 따른 도가니의 주위에는 플레이트(Plate)(도시되지 않음)가 있는데, 상기 고정 블라켓(32)과 상기 플레이트가 철봉으로 결합됨으로써 상기 고정 블라켓(32)은 상기 가이드(31)를 고정할 수 있게 된다. 이로써 상기 상부 노즐은 상기 가이드(31)에 의하여 고정될 수 있다.As shown in FIG. 3, a guide 31 is mounted on the upper nozzle top 34 of the crucible for manufacturing the organic light emitting display device according to the present invention to uniformly heat the upper nozzle 21. . The guide 31 is formed of an Inconel material in a donut shape, and the diameter of the inner circle is larger than a passage through which the organic material of the upper nozzle 21 exits. In addition, the guide 31 is fixed by a fixing bracket 32 made of stainless steel (SUS). That is, there is a plate (not shown) around the crucible according to the present invention, and the fixing bracket 32 and the plate are coupled with the iron rod so that the fixing bracket 32 fixes the guide 31. You can do it. As a result, the upper nozzle may be fixed by the guide 31.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 유기발광표시장치 제조용 도가니에는 다음과 같은 효과가 있다.The crucible for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention as described above has the following effects.

도가니의 상부 노즐이 하부 바디에 덮개를 씌우듯이 결합되므로서 도가니의 오픈(Open)이 자유로우며, 이로써 도가니 내부의 잔류물 관찰과 유기물의 증착 특 성을 용이하게 파악할 수 있다.Since the upper nozzle of the crucible is combined as if it covers the lower body, opening of the crucible is free, which makes it easy to observe the residues inside the crucible and the deposition characteristics of the organic material.

또한, 하부 바디(Body)에 벽(Wall)을 장착함으로서 도가니의 용량을 늘릴 수 있어 양산성의 향상도 도모할 수 있다.In addition, by mounting a wall on the lower body, the capacity of the crucible can be increased, and mass production can be improved.

Claims (4)

유기물이 방출되는 상부 노즐과;An upper nozzle through which organic matter is discharged; 유기물이 담기는 하부 바디와;A lower body containing organic matter; 상기 하부 바디에 설치되며, 상기 하부 바디와 상기 상부 노즐간을 결합시키는 결합부를 포함하며;It is installed on the lower body, and includes a coupling unit for coupling between the lower body and the upper nozzle; 상기 결합부가 직선 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치 제조용 도가니.Crucible for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that the coupling portion has a linear structure. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 벽은 흑연 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치 제조용 도가니.Crucible for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that the wall is made of a graphite material. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상부 노즐 상부에는 가이드가 장착되고, 상기 가이드 상부에는 고정 블라켓이 장착되어, 상기 고정 블라켓이 플레이트와 결합함으로써 상기 가이드가 고정되는 것을 특징으로 하는 유기발광표시장치 제조용 도가니.A guide is mounted on the upper nozzle, and a fixing bracket is mounted on the guide, and the guide is fixed by combining the fixing bracket with a plate. 제 3 항에 있어서,      The method of claim 3, wherein 상기 상부 노즐은 상기 가이드에 의해서 고정되는 것을 특징으로 하는 유기 발광표시장치 제조용 도가니.      Crucible for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that the upper nozzle is fixed by the guide.
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