KR20180041294A

KR20180041294A - Mask assembly, apparatus and method for manufacturing a display apparatus

Info

Publication number: KR20180041294A
Application number: KR1020160132851A
Authority: KR
Inventors: 이종대; 고정우; 류영은; 안정현; 공수철
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2016-10-13
Filing date: 2016-10-13
Publication date: 2018-04-24
Also published as: CN107946479A; CN107946479B

Abstract

The present invention discloses a mask assembly, an apparatus for manufacturing a display device, and a method for manufacturing a display device. Generally, when a mask assembly is used, a shadow may be formed in a deposition pattern depending on a distance from an evaporation source. In this case, since the intensity of light emitted from a light emitting layer may be low or the light may be not emitted, embodiments of the present invention may minimize a shadow in forming the light emitting layer. The mask assembly includes a mask sheet and a plurality of first opening parts and a plurality of second opening parts.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a mask assembly, a manufacturing apparatus of a display apparatus,

본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to an apparatus and method, and more particularly, to a mask assembly, an apparatus for manufacturing a display apparatus, and a method for manufacturing a display apparatus.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. In addition to small electronic devices such as mobile phones, tablet PCs are widely used as mobile electronic devices.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시부를 포함한다. 최근, 표시부를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.The portable electronic device includes a display unit for providing the user with visual information such as an image or an image in order to support various functions. In recent years, as the size of other parts for driving the display unit has been reduced, the weight of the display unit in the electronic apparatus has been gradually increasing, and a structure capable of bending to have a predetermined angle in a flat state has been developed.

일반적으로 마스크 조립체를 사용하는 경우 증착원으로부터 거리에 따라 증착 패턴에 쉐도우가 형성될 수 있다. 이러한 경우 발광층에서 발광하는 빛의 세기가 작거나 발광하지 못하는 문제가 발생할 수 있어 본 발명의 실시예들은 발광층의 형성 시 쉐도우를 최소화하는 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조장법을 제공한다. Generally, when a mask assembly is used, a shadow may be formed on the deposition pattern depending on the distance from the evaporation source. In this case, the light emitted from the light emitting layer may have a small intensity or may not emit light. Therefore, embodiments of the present invention provide a mask assembly, a manufacturing apparatus for a display apparatus, and a manufacturing method of a display apparatus that minimize shadows in forming a light emitting layer do.

본 발명의 일 실시예는 마스크 시트와, 상기 마스크 시트의 서로 상이한 위치에 배치되는 복수개의 제1 개구부와 복수개의 제2 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 제1 개구부 중 인접하는 2개의 상기 제1 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 제1 두께는 상기 복수개의 제2 개구부 중 인접하는 2개의 상기 제2 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 제2 두께와 상이한 마스크 조립체를 개시한다. An embodiment of the present invention is a mask sheet comprising a mask sheet, a plurality of first openings and a plurality of second openings arranged at different positions of the mask sheet, Wherein a first thickness of the mask sheet disposed between the openings is different from a second thickness of the mask sheet disposed between adjacent two of the plurality of second openings.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 개구부로부터 증착원까지의 거리는 상기 제2 개구부로부터 상기 증착원까지의 거리보다 가까운 배치될 수 있다. In this embodiment, the distance from the first opening to the evaporation source may be disposed closer to the evaporation source than the distance from the second opening.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 클 수 있다. In this embodiment, the first thickness may be greater than the second thickness.

본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접하는 2개의 상기 제1 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제1 폭은 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접한 2개의 상기 제2 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제2 폭과 상이할 수 있다. In the present embodiment, the first width of the lower surface of the mask sheet, which is disposed between the two first openings adjacent to each other among the plurality of first openings, is smaller than the first width of the second two openings of the plurality of first openings And the second width of the lower surface of the mask sheet disposed between the openings.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 폭은 상기 제2 폭보다 클 수 있다. In the present embodiment, the first width may be greater than the second width.

본 발명의 다른 실시예는, 마스크 시트와, 상기 마스크 시트의 서로 상이한 위치에 배치되는 복수개의 제1 개구부와 복수개의 제2 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접하는 2개의 상기 제1 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제1 폭은 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접한 2개의 상기 제2 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제2 폭과 상이한 마스크 조립체를 개시한다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a mask sheet comprising a mask sheet, a plurality of first openings and a plurality of second openings disposed at different positions of the mask sheet, and two of the plurality of first openings, The first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the first openings is different from the second width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings of the plurality of first openings, .

본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판에 대향하도록 배치된 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 시트와, 상기 마스크 시트의 서로 상이한 위치에 배치되는 복수개의 제1 개구부와 복수개의 제2 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 제1 개구부 중 인접하는 2개의 상기 제1 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 제1 두께는 상기 복수개의 제2 개구부 중 인접하는 2개의 상기 제2 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 제2 두께와 상이한 표시 장치의 제조장치를 개시한다. Another embodiment of the present invention includes a mask assembly disposed to face a display substrate and an evaporation source arranged to face the mask assembly, the mask assembly comprising: a mask sheet; Wherein a first thickness of the mask sheet disposed between two adjacent first openings of the plurality of first openings is greater than a first thickness of the plurality of second openings, And a second thickness of the mask sheet disposed between two adjacent second openings of the openings.

본 실시예에 있어서, 상기 제1 개구부로부터 상기 증착원까지의 거리는 상기 제2 개구부로부터 상기 증착원까지의 거리보다 가까울 수 있다. In the present embodiment, the distance from the first opening to the evaporation source may be closer to the evaporation source from the second opening.

본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판에 대향하도록 배치된 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 배치되는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 시트와, 상기 마스크 시트의 서로 상이한 위치에 배치되는 복수개의 제1 개구부와 복수개의 제2 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접하는 2개의 상기 제1 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제1 폭은 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접한 2개의 상기 제2 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제2 폭과 상이한 표시 장치의 제조장치를 개시한다.Another embodiment of the present invention includes a mask assembly disposed to face a display substrate and an evaporation source arranged to face the mask assembly, the mask assembly comprising: a mask sheet; And the first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent first openings among the plurality of first openings is smaller than the first width of the plurality And a second width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings among the first openings of the mask.

본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 장입시키는 단계와, 증착원에서 증착물질을 증발시켜 마스크 조립체를 통과하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 시트와, 상기 마스크 시트의 서로 상이한 위치에 배치되는 복수개의 제1 개구부와 복수개의 제2 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 제1 개구부 중 인접하는 2개의 상기 제1 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 제1 두께는 상기 복수개의 제2 개구부 중 인접하는 2개의 상기 제2 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 제2 두께와 상이한 표시 장치의 제조방법을 개시한다. Yet another embodiment of the present invention includes a method of fabricating a display comprising the steps of charging a display substrate and a mask assembly into a chamber, evaporating the deposition material in an evaporation source, and depositing a deposition material on the display substrate through the mask assembly, Wherein the mask assembly includes a mask sheet and a plurality of first openings and a plurality of second openings disposed at different positions of the mask sheet from each other, Wherein the first thickness of the mask sheet disposed on the mask sheet is different from the second thickness of the mask sheet disposed between adjacent two of the plurality of second openings.

본 실시예에 있어서, 상기 복수개의 제1 개구부는 상기 복수개의 제2 개구부보다 상기 증착원에 가깝게 배치될 수 있다. In the present embodiment, the plurality of first openings may be arranged closer to the evaporation source than the plurality of second openings.

본 발명의 또 다른 실시예는, 디스플레이 기판 및 마스크 조립체를 챔버 내부에 장입시키는 단계와, 증착원에서 증착물질을 증발시켜 마스크 조립체를 통과하여 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 마스크 시트와, 상기 마스크 시트에 형성되는 복수개의 제1 개구부와 복수개의 제2 개구부를 포함하고, 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접하는 2개의 상기 제1 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제1 폭은 상기 복수개의 제1 개구부 중 서로 인접한 2개의 상기 제2 개구부 사이에 배치된 상기 마스크 시트의 하면의 제2 폭과 상이한 표시 장치의 제조방법을 개시한다. Yet another embodiment of the present invention includes a method of fabricating a display comprising the steps of charging a display substrate and a mask assembly into a chamber, evaporating the deposition material in an evaporation source, and depositing a deposition material on the display substrate through the mask assembly, The mask assembly includes a mask sheet, a plurality of first openings formed in the mask sheet, and a plurality of second openings, wherein the first openings are disposed between two adjacent first openings of the plurality of first openings And a first width of the lower surface of the mask sheet is different from a second width of a lower surface of the mask sheet disposed between two adjacent second openings of the plurality of first openings.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features, and advantages will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be implemented by using a system, method, computer program, or any combination of systems, methods, and computer programs.

본 발명의 실시예들은 증착원으로부터 멀리 이격된 디스플레이 기판에 증착물질이 증착될 때 발생하는 쉐도우 현상을 최소화할 수 있다. Embodiments of the present invention can minimize the shadowing phenomenon that occurs when the evaporation material is deposited on a display substrate that is distant from the evaporation source.

또한, 본 발명의 실시예들은 증착원으로부터 멀리 이격될수록 더 넓은 범위에서 발생하는 쉐도우 현상을 증착원의 상면에서 발생하는 쉐도우 현상과 동일 또는 유사하도록 조절하는 것이 가능하다. Further, in the embodiments of the present invention, it is possible to adjust the shadow phenomenon occurring in a wider range to be the same or similar to the shadow phenomenon occurring on the upper surface of the evaporation source as the evaporation source is farther away from the evaporation source.

본 발명의 실시예들은 디스플레이 기판에 증착물질을 전 영역에 걸쳐서 동일 또는 유사한 형태로 증착하는 것이 가능하다. Embodiments of the present invention are capable of depositing the evaporation material on the display substrate in the same or similar form over the entire area.

본 발명의 실시예들은 균일한 패턴으로 증착물질을 디스플레이 기판에 증착시킴으로써 고화질의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다. Embodiments of the present invention make it possible to manufacture a high-definition display device by depositing a deposition material on a display substrate in a uniform pattern.

또한, 본 발명의 실시예들은 대형 기판에 증착물질을 증착시키는 경우에도 균일한 증착이 가능하므로 대면적 증착에 활용하는 것이 가능하다.In addition, the embodiments of the present invention can be used for large-area deposition because a uniform deposition can be performed even when a deposition material is deposited on a large substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 증착원과 마스크 조립체를 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제1 마스크 시트부재, 디스플레이 기판 및 증착원을 보여주는 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 제2 마스크 시트부재와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 제1 마스크 시트부재의 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 제1 마스크 시트부재의 또 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 증착원과 마스크 시트를 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 8에 도시된 마스크 시트, 디스플레이 기판 및 증착원을 보여주는 단면도이다.
도 10은 도 8에 도시된 마스크 시트의 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.
도 11은 도 8에 도시된 마스크 시트의 또 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.
도 12는 도 1 또는 도 8에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 13은 도 12에 도시된 A-A선을 따라 취한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing the mask assembly shown in Figure 1;
3 is a plan view showing the deposition source and the mask assembly shown in FIG.
4 is a cross-sectional view showing the first mask sheet member, the display substrate, and the evaporation source shown in Fig.
5 is a cross-sectional view showing the second mask sheet member and the display substrate shown in Fig.
6 is a cross-sectional view showing another embodiment of the first mask sheet member shown in Fig. 1 and a display substrate.
7 is a cross-sectional view showing another embodiment of the first mask sheet member shown in Fig. 1 and a display substrate.
8 is a plan view showing an evaporation source and a mask sheet of a display apparatus manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view showing the mask sheet, the display substrate, and the evaporation source shown in Fig.
10 is a cross-sectional view showing another embodiment of the mask sheet shown in Fig. 8 and a display substrate.
11 is a cross-sectional view showing another embodiment of the mask sheet shown in Fig. 8 and a display substrate.
FIG. 12 is a plan view showing a display device manufactured through the manufacturing apparatus of the display device shown in FIG. 1 or FIG. 8. FIG.
13 is a cross-sectional view taken along the line AA shown in Fig.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. The effects and features of the present invention and methods of achieving them will be apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to like or corresponding components throughout the drawings, and a duplicate description thereof will be omitted .

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, the terms first, second, and the like are used for the purpose of distinguishing one element from another element, not the limitative meaning.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular forms "a", "an" and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as inclusive or possessive are intended to mean that a feature, or element, described in the specification is present, and does not preclude the possibility that one or more other features or elements may be added.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part of a film, an area, a component or the like is on or on another part, not only the case where the part is directly on the other part but also another film, area, And the like.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, components may be exaggerated or reduced in size for convenience of explanation. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of explanation, and thus the present invention is not necessarily limited to those shown in the drawings.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, the y-axis, and the z-axis are not limited to three axes on the orthogonal coordinate system, and can be interpreted in a broad sense including the three axes. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.If certain embodiments are otherwise feasible, the particular process sequence may be performed differently from the sequence described. For example, two processes that are described in succession may be performed substantially concurrently, and may be performed in the reverse order of the order described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention. Figure 2 is a perspective view showing the mask assembly shown in Figure 1;

도 1 및 도 2를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 제1 지지부(120), 제2 지지부(130), 비젼부(140), 마스크 조립체(150), 증착원(160) 및 압력조절부(170)를 포함할 수 있다. 1 and 2, a display apparatus manufacturing apparatus 100 includes a chamber 110, a first support 120, a second support 130, a vision unit 140, a mask assembly 150, A circle 160, and a pressure regulator 170.

챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 챔버(110) 일부가 개구되도록 형성될 수 있다. 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트벨브(110a)가 설치되어 챔버(110)의 개구된 부분을 선택적으로 개폐할 수 있다. The chamber 110 may have a space formed therein, and a portion of the chamber 110 may be formed to be open. A gate valve 110a is provided at an opened portion of the chamber 110 to selectively open and close the opened portion of the chamber 110. [

제1 지지부(120)는 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 이때, 제1 지지부(120)는 디스플레이 기판(D)을 다양한 방식으로 지지할 수 있다. 예를 들면, 제1 지지부(120)는 정전척 또는 점착척을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 지지부(120)는 디스플레이 기판(D)의 일부를 지지하는 브라켓, 클램프 등을 포함할 수 있다. 제1 지지부(120)는 상기에 한정되는 것은 아니며 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있는 모든 장치를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 지지부(120)가 정전척 또는 점착척을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first support part 120 can support the display substrate D. At this time, the first support part 120 can support the display substrate D in various ways. For example, the first support portion 120 may include an electrostatic chuck or an adhesive chuck. In another embodiment, the first support part 120 may include a bracket, a clamp, or the like for supporting a part of the display substrate D. The first support part 120 is not limited to the above and may include any device capable of supporting the display substrate D. [ Hereinafter, for convenience of explanation, the first support 120 includes an electrostatic chuck or an adhesive chuck.

제2 지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착되어 지지될 수 있다. 이때, 제2 지지부(130)에는 마스크 조립체(150)를 서로 상이한 적어도 2개 이상의 방향으로 미세 조정할 수 있다. The second support part 130 can be supported by the mask assembly 150. At this time, the second support part 130 can finely adjust the mask assembly 150 in at least two directions different from each other.

비젼부(140)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(140)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150) 중 적어도 하나를 움직여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)를 얼라인할 수 있다. The vision unit 140 can photograph the position of the display substrate D and the mask assembly 150. At this time, the display substrate D and the mask assembly 150 can be aligned by moving at least one of the display substrate D and the mask assembly 150 based on the image captured by the vision unit 140.

증착원(160)은 증착물질이 내부에 삽입된 후 증발할 수 있다. 이때, 증착원(160)은 히터(160a)를 구비할 수 있으며, 히터(160a)에서 가해지는 열에 의해 증착물질이 증발할 수 있다. The evaporation source 160 may evaporate after the evaporation material is inserted therein. At this time, the evaporation source 160 may include a heater 160a, and the evaporation material may be evaporated by the heat applied from the heater 160a.

증착원(160)은 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 증착원(160)은 증착물질이 토출되는 입구부가 원형으로 형성되는 점증착원 형태일 수 있다. 또한, 증착원(160)은 길게 형성되고, 입구부가 복수개로 형성되거나 장공 형태 등으로 형성되는 선증착원 형태일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(160)이 마스크 조립체(150)의 일 지점에 대향하도록 배치되며, 점증착원 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The evaporation source 160 may be formed in various shapes. For example, the evaporation source 160 may be in the form of a point vapor source in which an inlet portion through which the evaporation material is discharged is formed in a circular shape. Also, the evaporation source 160 may be formed in a long shape and may have a plurality of inlet portions or may be in the form of a linear evaporation source formed in a long hole shape or the like. Hereinafter, for convenience of explanation, the evaporation source 160 is arranged to face one point of the mask assembly 150, and a point-deposition-source shape will be described in detail.

압력조절부(170)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 대기압 또는 진공과 유사하도록 조절할 수 있다. 이때, 압력조절부(170)는 챔버(110)와 연결되는 연결배관(171)과 연결배관(171)에 배치되는 압력조절펌프(172)를 포함할 수 있다. The pressure regulator 170 may be connected to the chamber 110 to regulate the pressure inside the chamber 110 to be similar to atmospheric pressure or vacuum. The pressure regulator 170 may include a connection pipe 171 connected to the chamber 110 and a pressure regulating pump 172 disposed in the connection pipe 171.

한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 디스플레이 기판(D)을 제조하여 준비할 수 있다. Meanwhile, a method of manufacturing a display device (not shown) through the display device manufacturing apparatus 100 as described above can be prepared by preparing a display substrate D.

압력조절부(170)는 챔버(110) 내부로 대기압 상태로 유지시킬 수 있으며, 게이트벨브(110a)가 개방된 후 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)가 챔버(110) 내부로 삽입될 수 있다. 이때, 챔버(110) 내부 또는 외부에는 별도의 로봇암, 셔틀 등이 구비되어 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)를 이송시킬 수 있다. The pressure regulator 170 can be maintained at atmospheric pressure inside the chamber 110 and the display substrate D and the mask assembly 150 are inserted into the chamber 110 after the gate valve 110a is opened . At this time, a separate robot arm, a shuttle, or the like may be provided inside or outside the chamber 110 to transfer the display substrate D and the mask assembly 150.

상기와 같은 과정이 완료되면, 압력조절부(170)는 챔버(110) 내부를 거의 진공과 흡사하도록 유지시킬 수 있다. 또한, 비젼부(140)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)를 촬영하여 제1 지지부(120) 및 제2 지지부(130)를 미세구동하여 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150) 중 적어도 하나를 미세 조정하여 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)를 얼라인할 수 있다. When the above process is completed, the pressure regulator 170 can maintain the inside of the chamber 110 to be substantially similar to vacuum. The vision unit 140 photographs the display substrate D and the mask assembly 150 to finely drive the first support unit 120 and the second support unit 130 to drive the display substrate D and the mask assembly 150, The display substrate D and the mask assembly 150 can be aligned.

히터(160a)가 작동하여 증착원(160)에서 증착물질을 마스크 조립체(150)로 공급할 수 있다. 마스크 조립체(150)를 통과한 증착물질은 디스플레이 기판(D)에 일정한 패턴으로 증착될 수 있다. The heater 160a may operate to supply the deposition material to the mask assembly 150 in the deposition source 160. [ The deposition material that has passed through the mask assembly 150 may be deposited on the display substrate D in a predetermined pattern.

상기와 같은 과정이 진행되는 동안 증착원(160) 및 디스플레이 기판(D) 중 적어도 하나는 선형 운동할 수 있다. 다른 실시예로써 증착원(160) 및 디스플레이 기판(D)는 모두 정지한 상태에서 증착이 수행되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(160) 및 디스플레이 기판(D) 모두 정지한 상태에서 증착이 수행되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. At least one of the evaporation source 160 and the display substrate D may be linearly moved during the above process. As another embodiment, it is also possible that the deposition source 160 and the display substrate D are both kept stationary. Hereinafter, the evaporation source 160 and the display substrate D will be described in detail with reference to the case where deposition is performed in a stationary state for convenience of explanation.

상기와 같이 증착이 진행되는 동안 마스크 조립체(150)를 통하여 증착되는 증착물질은 증착원(160)과 마스크 조립체(150)의 개구부 사이의 거리에 의하여 증착의 성공 여부가 결정될 수 있다. 구체적으로 일반적인 증착 공정에서 마스크 조립체를 통과한 증착물질은 증착원과 마스크 조립체의 개구부 사이의 거리에 따라 패턴의 일부에서 증착물질의 두께가 작은 부위가 발생하거나 증착이 되지 않는 쉐도우(Shadow) 현상이 발생할 수 있다. 이러한 경우 제조된 표시 장치의 성능 저하 또는 불량이 발생할 수 있다. 예를 들면, 증착원(160)의 상면에 배치되는 개구부를 통과한 증착물질은 설계된 것과 동일하거나 유사하게 디스플레이 기판(D) 상에 증착이 되지만, 증착원(160)의 상면으로부터 이격된 개구부를 통과한 증착물질은 설계된 것과 동일하거나 유사하게 디스플레이 기판(D) 상에 증착되지 못한다. The deposition of the deposition material through the mask assembly 150 during the deposition may be determined by the distance between the deposition source 160 and the opening of the mask assembly 150. Specifically, the evaporation material that has passed through the mask assembly in a general evaporation process may have a shadow region where a thickness of the evaporation material is small in a part of the pattern depending on the distance between the evaporation source and the opening of the mask assembly, Lt; / RTI > In this case, deterioration or poor performance of the manufactured display device may occur. For example, the evaporation material that has passed through the opening disposed on the upper surface of the evaporation source 160 is evaporated on the display substrate D in the same or similar manner as the designed evaporation source 160, but an opening spaced from the upper surface of the evaporation source 160 The deposited vapor-deposited material can not be deposited on the display substrate D at the same or similar to that designed.

이러한 문제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예들에서는 증착원(160)과의 거리에 따라 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질이 입사하는 입사각을 가변시킬 수 있다. 이에 대해서는 하기에서 상세히 설명하기로 한다. In order to solve such a problem, in the embodiments of the present invention, the incident angle at which the evaporation material deposited on the display substrate D is incident can be varied according to the distance from the evaporation source 160. This will be described in detail below.

도 3은 도 1에 도시된 증착원과 마스크 조립체를 보여주는 평면도이다. 도 4는 도 1에 도시된 제1 마스크 시트부재, 디스플레이 기판 및 증착원을 보여주는 단면도이다. 도 5는 도 1에 도시된 제2 마스크 시트부재와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.3 is a plan view showing the deposition source and the mask assembly shown in FIG. 4 is a cross-sectional view showing the first mask sheet member, the display substrate, and the evaporation source shown in Fig. 5 is a cross-sectional view showing the second mask sheet member and the display substrate shown in Fig.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151) 및 마스크 시트(152)를 포함할 수 있다. 3 through 5, the mask assembly 150 may include a mask frame 151 and a mask sheet 152. [

마스크 프레임(151)은 복수개의 프레임을 포함할 수 있다. 이때, 복수개의 프레임은 격자 형태 또는 사각형 형태를 구성할 수 있으며, 내부에 공간이 형성될 수 있다. The mask frame 151 may include a plurality of frames. At this time, a plurality of frames may form a grid or a rectangular shape, and a space may be formed therein.

마스크 프레임(151)은 증착물질이 통과하는 영역을 정의할 수 있다. 이때, 마스크 프레임(151)의 상면에는 마스크 시트(152)가 배열되어 고정될 수 있다. 특히 마스크 시트(152)는 인장력이 가해진 상태에서 마스크 프레임(151)에 고정될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151)은 일체로 형성되거나 별도로 형성되어 서로 결합할 수 있다. The mask frame 151 may define a region through which the deposition material passes. At this time, the mask sheet 152 may be arranged and fixed on the upper surface of the mask frame 151. In particular, the mask sheet 152 can be fixed to the mask frame 151 under a tensile force. At this time, the mask sheet 152 and the mask frame 151 may be integrally formed or separately formed and may be coupled to each other.

마스크 시트(152)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마스크 시트(152)는 스틱(stick) 형태의 복수개의 마스크 시트부재(152a,152b)를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 시트부재(152a,152b)는 스틱 형태인 경우 복수개의 마스크 시트부재(152a,152b)는 서로 인접하도록 배열될 수 있다. 특히 복수개의 마스크 시트(152)는 마스크 시트(152)의 중앙에 배치되는 제1 마스크 시트부재(152a)와 마스크 시트(152)의 최외곽을 형성하는 제2 마스크 시트부재(152b)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 시트(152)는 일체로 형성되어 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 시트(152)가 스틱 형태로 형성되어 복수개의 마스크 시트부재(152a,152b)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The mask sheet 152 may be formed in various shapes. For example, the mask sheet 152 may include a plurality of mask sheet members 152a and 152b in the form of sticks. At this time, when the mask sheet members 152a and 152b are stick-shaped, the plurality of mask sheet members 152a and 152b may be arranged adjacent to each other. The plurality of mask sheets 152 includes a first mask sheet member 152a disposed at the center of the mask sheet 152 and a second mask sheet member 152b forming the outermost portion of the mask sheet 152 . In another embodiment, the mask sheet 152 may be integrally formed and formed in a plate shape. Hereinafter, the mask sheet 152 is formed in a stick shape to include a plurality of mask sheet members 152a and 152b for convenience of explanation.

증착원(160)과 마스크 시트부재(152a,152b) 까지의 거리에 따라 마스크 시트부재(152a,152b)의 두께는 서로 상이하게 형성될 수 있다. 또한, 증착원(160)과 마스크 시트부재(152a,152b) 까지의 거리에 따라 개구부(152c) 사이의 마스크 시트부재(152a,152b) 하면의 폭이 서로 상이하게 형성될 수 있다. 이때, 상기와 같은 두께와 폭 중 적어도 하나는 하나의 마스크 시트부재(152a,152b)에서 서로 상이하게 형성되는 것이 가능하다. 다른 실시예로써 상기와 같은 두께와 폭 중 적어도 하나는 서로 다른 마스크 시트부재(152a,152b)에서 서로 상이하게 형성되는 것도 가능하다. 또한, 또 다른 실시예로써 상기와 같은 두께와 폭 중 적어도 하나는 동일한 마스크 시트부재(152a,152b)에서 서로 상이하고, 서로 다른 마스크 시트부재(152a,152b)에서도 서로 상이하게 형성되는 것도 가능하다. 상기와 같은 두께는 마스크 시트부재(152a,152b)의 길이 방향(예를 들면, 도 2에서 X 방향)과 수직한 방향으로 측정될 수 있다. 즉, 인접한 개구부 사이에 배치된 마스크 시트부재(152a,152b)의 두께는 도 2를 기준으로 Z방향으로 측정된 값일 수 있다. 또한, 인접하는 개구부 사이에 배치된 마스크 시트부재(152a,152b) 하면의 폭은 마스크 시트부재(152a,152b)의 길이방향(또는 마스크 시트부재(152a,152b)의 장변방향) 또는 마스크 시트부재(152a,152b)의 단변방향(예를 들면, 도 2에서 Y방향) 중 한 방향으로 측정된 값일 수 있다. 이때, 인접하는 개구부 사이에 배치된 마스크 시트부재(152a,152b) 하면의 폭은 도 4에 도시된 것과 같이 마스크 시트부재(152a,152b)의 하면에 형성된 개구부의 테두리를 형성하는 돌출된 부분에서 인접한 돌출된 부분까지의 직선 거리로 측정될 수 있다. 또한, 서로 인접한 개구부는 마스크 시트부재(152a,152b)의 단변 또는 장변과 평행하게 배열된 개구부일 수 있다. The thicknesses of the mask sheet members 152a and 152b may be different from each other depending on the distance to the evaporation source 160 and the mask sheet members 152a and 152b. The widths of the lower surfaces of the mask sheet members 152a and 152b between the openings 152c may be different from each other depending on distances to the evaporation source 160 and the mask sheet members 152a and 152b. At this time, at least one of the thickness and the width may be different from each other in one mask sheet member 152a and 152b. In another embodiment, at least one of the thickness and the width may be different from each other in the different mask sheet members 152a and 152b. In another embodiment, at least one of the thickness and the width may be different from each other in the same mask sheet members 152a and 152b, and may be different from each other in the different mask sheet members 152a and 152b . The thickness can be measured in a direction perpendicular to the longitudinal direction (e.g., X direction in FIG. 2) of the mask sheet members 152a and 152b. That is, the thickness of the mask sheet members 152a and 152b disposed between the adjacent openings may be a value measured in the Z direction with reference to FIG. The width of the lower surface of the mask sheet members 152a and 152b disposed between the adjacent openings is equal to the width of the mask sheet members 152a and 152b in the longitudinal direction of the mask sheet members 152a and 152b May be a value measured in one of the short side directions (e.g., the Y direction in Fig. 2) of the first and second end portions 152a and 152b. At this time, the widths of the lower surface of the mask sheet members 152a and 152b disposed between the adjacent openings are set so as to be equal to each other in the protruding portion forming the rim of the opening formed in the lower surface of the mask sheet members 152a and 152b Can be measured as the straight line distance to the adjacent protruding portion. The openings adjacent to each other may be openings arranged in parallel with the short side or long side of the mask sheet members 152a and 152b.

상기와 같은 마스크 시트부재(152a,152b)에는 복수개의 개구부(152c)가 형성될 수 있다. 이때, 복수개의 개구부(152c)는 일정한 패턴을 형성할 수 있다. 또한, 복수개의 개구부(152c)는 마스크 시트부재(152a,152b)의 전면에 일정한 간격으로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 복수개의 개구부(152c)는 일부와 다른 일부가 서로 다른 복수개의 그룹을 형성할 수 있으며, 복수개의 개구부(152c) 중 일부를 포함하는 복수개의 그룹은 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 복수개의 개구부(152c)가 서로 다른 복수개의 그룹을 형성하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. A plurality of openings 152c may be formed in the mask sheet members 152a and 152b. At this time, the plurality of openings 152c can form a certain pattern. Further, the plurality of openings 152c may be formed at regular intervals on the entire surface of the mask sheet members 152a and 152b. In another embodiment, the plurality of openings 152c may form a plurality of groups which are different from each other and a plurality of groups including a part of the plurality of openings 152c may be arranged to be spaced apart from each other. Hereinafter, for convenience of explanation, the case where a plurality of openings 152c form a plurality of groups different from each other will be described in detail.

복수개의 개구부(152c)는 서로 이격되도록 배치되는 제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)를 포함할 수 있다. 제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)는 증착원(160)으로부터 거리가 서로 상이할 수 있다. 예를 들면, 제1 개구부(152c-1)에서 증착원(160)까지의 거리는 제2 개구부(152c-2)에서 증착원(160)까지의 거리보다 크게 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 개구부(152c-1)는 마스크 시트(152)의 중앙 부분에 배치될 수 있으며, 제2 개구부(152c-2)는 마스크 시트(152)의 중앙으로부터 편심되도록 배치될 수 있다. The plurality of openings 152c may include a first opening 152c-1 and a second opening 152c-2 that are spaced apart from each other. The first opening 152c-1 and the second opening 152c-2 may have different distances from the evaporation source 160. For example, the distance from the first opening 152c-1 to the evaporation source 160 may be larger than the distance from the second opening 152c-2 to the evaporation source 160. [ Specifically, the first opening 152c-1 may be disposed at the center portion of the mask sheet 152, and the second opening 152c-2 may be disposed to be eccentric from the center of the mask sheet 152. [

제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)는 하나의 마스크 시트부재(152a 또는 152b)에 배치될 수 있다. 이때, 제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)는 서로 하나의 그룹에 포함되거나 서로 다른 그룹에 포함될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)는 서로 다른 마스크 시트부재(152a,152b)에 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)는 하나의 제1 마스크 시트부재(152a)에 배치되어 서로 다른 그룹에 포함되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first opening 152c-1 and the second opening 152c-2 may be disposed on one mask sheet member 152a or 152b. At this time, the first opening 152c-1 and the second opening 152c-2 may be included in one group or may be included in different groups. In another embodiment, the first opening 152c-1 and the second opening 152c-2 may be disposed on different mask sheet members 152a and 152b. Hereinafter, for convenience of explanation, the first opening 152c-1 and the second opening 152c-2 are disposed on one first mask sheet member 152a and are included in different groups .

제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제1 개구부(152c-1)는 하나의 표시 장치의 표시 영역을 정의할 수 있으며, 복수개의 제2 개구부(152c-2)는 다른 하나의 표시 장치의 표시 영역을 정의할 수 있다. A plurality of the first opening 152c-1 and the second opening 152c-2 may be provided. At this time, the plurality of first openings 152c-1 may define a display area of one display device, and the plurality of second openings 152c-2 may define a display area of another display device .

일 실시예로써 복수개의 제1 개구부(152c-1) 중 서로 인접하는 2개의 제1 개구부(152c-1) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a)의 제1 두께(T1)는 복수개의 제2 개구부(152c-2) 중 서로 인접한 2개의 제2 개구부(152c-2) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a)의 제2 두께(T2)와 서로 상이할 수 있다. 다른 실시예로써 복수개의 제1 개구부(152c-1) 중 서로 인접하는 2개의 제1 개구부(152c-1) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a)의 하면의 제1 폭(W1)은 복수개의 제2 개구부(152c-2) 중 서로 인접한 2개의 제2 개구부(152c-2) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a)의 하면의 제2 폭(W2)와 서로 상이할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)가 서로 상이하고 제1 폭(W1)와 제2 폭(W2)은 서로 상이한 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)가 서로 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first thickness T1 of the first mask sheet member 152a disposed between two adjacent first openings 152c-1 of the plurality of first openings 152c-1 may be a plurality And the second thickness T2 of the first mask sheet member 152a disposed between the two second openings 152c-2 adjacent to each other in the second opening 152c-2. In another embodiment, the first width W1 of the lower surface of the first mask sheet member 152a disposed between the two first openings 152c-1 adjacent to each other among the plurality of first openings 152c-1 is May be different from the second width W2 of the lower surface of the first mask sheet member 152a disposed between the two second openings 152c-2 of the plurality of second openings 152c-2 . As another embodiment, it is also possible that the first thickness T1 and the second thickness T2 are different from each other and the first width W1 and the second width W2 are different from each other. Hereinafter, the first thickness T1 and the second thickness T2 are different from each other for convenience of explanation.

제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)가 서로 상이한 경우 제1 폭(W1)와 제2 폭(W2)은 서로 동일할 수 있다. 이때, 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)가 서로 상이한 경우 증착물질이 제1 개구부(152c-1)의 테두리를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 입사하는 제1 입사각(θ1)과 제2 개구부(152c-2)의 테두리를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 입사하는 제2 입사각(θ2)은 상이해진다. 이러한 경우 제1 입사각(θ1)은 제1 개구부(152c-1)가 형성된 제1 마스크 시트부재(152a)의 상면에 형성된 제1 돌출점(152a-1a)과 제1 마스크 시트부재(152a)의 하면에 형성된 제2 돌출점(152a-1b)을 서로 연결한 선분이 디스플레이 기판(D)과 이루는 각도로 정의할 수 있다. 또한, 제2 입사각(θ2)도 제1 입사각(θ1)과 유사하게 정의될 수 있다. When the first thickness T1 and the second thickness T2 are different from each other, the first width W1 and the second width W2 may be equal to each other. At this time, when the first thickness T1 and the second thickness T2 are different from each other, the deposition material passes through the rim of the first opening 152c-1 and is incident on the display substrate D at a first incidence angle? The second incident angle? 2 incident on the display substrate D through the rim of the second opening 152c-2 becomes different. In this case, the first incident angle [theta] 1 is the angle formed by the first protruding point 152a-1a formed on the upper surface of the first mask sheet member 152a on which the first opening 152c-1 is formed, And the second projection point 152a-1b formed on the lower surface of the display substrate D may be defined as an angle formed by the line segment connecting the second projection points 152a-1b and the display substrate D. Further, the second incident angle [theta] 2 may be defined similarly to the first incident angle [theta] 1.

제2 두께(T2)가 제1 두께(T1)보다 작게 형성되는 경우 제2 입사각(θ2)은 제1 입사각(θ1)보다 작아질 수 있다. 이러한 경우 제2 개구부(152c-2)를 통과한 증착물질은 디스플레이 기판(D)에 증착될 때 기존의 제2 개구부를 통과하여 디스플레이 기판에 증착되는 증착물질보다 더 적은 쉐도우 현상이 발생할 수 있다. 구체적으로 종래의 경우 제1 두께와 제2 두께가 동일하므로 제1 입사각과 제2 입사각이 동일하게 형성될 수 있다. 이러한 경우 증착원에서 방사되는 증착물질은 증착원의 상면에서는 디스플레이 기판의 일면에 대해서 거의 직각을 형성하지만 증착원으로부터 멀어질수록 증착물질은 디스플레이 기판의 일면에 대해서 직각이 아닌 일정 각도(예를 들면, 예각를 형성하면서 입사될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트부재의 하면에 형성된 돌출점(예를 들면, 도 4의 제2 돌출점과 같은 지점)에 충돌하는 경우 개구부를 통과한 증착물질이 디스플레이 기판에 증착되지 못하는 문제가 발생할 수 있다. 예를 들면, 도 4의 제2 개구부(152c-2)를 통과하는 경우 제1 마스크 시트부재(152a)의 제2 돌출점(152a-1b)과 최대한 근접하여 제2 개구부(152c-2)를 통과하는 증착물질 중 일부는 제1 돌출점(152a-1a) 측으로 이동하지 못하고 제1 돌출점(152a-1a)과 이격된 디스플레이 기판(D) 부분으로 이동할 수 있다. 이때, 제1 돌출점(152a-1a)과 상기와 같이 이동한 증착물질이 증착된 디스플레이 기판(D) 부분 사이에는 증착물질이 증착되지 못할 수 있다. When the second thickness T2 is formed to be smaller than the first thickness T1, the second incident angle 2 may be smaller than the first incident angle 1. In this case, the evaporation material that has passed through the second opening 152c-2 may cause less shadowing phenomenon than the evaporation material that is deposited on the display substrate through the existing second opening when deposited on the display substrate D. Specifically, since the first thickness and the second thickness are the same in the conventional case, the first incident angle and the second incident angle can be formed to be the same. In this case, the evaporation material emitted from the evaporation source forms a substantially right angle with respect to the one surface of the display substrate on the top surface of the evaporation source, but the evaporation material moves away from the evaporation source to a certain angle (For example, the same point as the second protruding point in FIG. 4) formed on the lower surface of the mask sheet member, the evaporation material that has passed through the opening portion may contact the display substrate The first mask sheet member 152a can be prevented from being deposited. For example, when passing through the second opening 152c-2 of Fig. 4, the second projection 152a-1b of the first mask sheet member 152a is as close as possible A part of the evaporation material passing through the second opening 152c-2 can not move toward the first projecting point 152a-1a and moves to the portion of the display substrate D spaced apart from the first projecting point 152a-1a It may In this case, between the first projection point (152a-1a) and the moved one deposition material is deposited display substrate (D) parts as described above can not be deposited deposition material.

상기와 같은 경우 본 발명의 실시예들과 같이 제2 두께(T2)를 제1 두께(T1)보다 낮게 형성함으로써 제2 입사각(θ2)을 제1 입사각(θ1)보다 작게 형성시킬 수 있다. The second incident angle 2 may be smaller than the first incident angle 1 by forming the second thickness T2 lower than the first thickness T1 as in the embodiments of the present invention.

이러한 경우 증착원(160)의 상면이 아닌 부분의 개구부(예를 들면, 제2 개구부(152c-2))를 통과할 때 제2 돌출점(152a-1b)에 충돌하거나 제2 돌출점(152a-1b)에 근접하여 이동하는 증착물질 중 일부는 제1 돌출점(152a-1a)과 최대한 근접한 디스플레이 기판(D) 상에 증착될 수 있다. 또한, 제2 돌출점(152a-1b)에 충돌하거나 제2 돌출점(152a-1b)에 근접하여 이동하는 증착물질 중 일부는 제1 돌출점(152a-1)과 충돌하거나 근접하게 이동하여 디스플레이 기판(D) 상에 증착될 수 있다. 특히 상기와 같이 디스플레이 기판(D)에 증착된 증착물질은 설계된 증착물질의 면적, 두께, 양 등과 동일 또는 유사할 수 있다. 특히 제2 개구부(152c-2)를 통과하는 증착물질의 양은 종래의 제2 개구부를 통과하는 증착물질의 양보다 많아질 수 있으며, 증착물질은 더 넓은 범위의 디스플레이 기판(D) 영역에 증착됨으로써 기 설계된 디스플레이 기판(D)의 증착 영역에 정밀하면서 정확하게 증착될 수 있다. In this case, when it passes through the opening (for example, the second opening 152c-2) of the non-upper surface of the evaporation source 160, it collides with the second projection point 152a-1b or the second projection point 152a -1b may be deposited on the display substrate D as close as possible to the first projecting point 152a-1a. In addition, some of the evaporation material that impinges on the second protruding point 152a-1b or moves close to the second protruding point 152a-1b collides with or moves close to the first protruding point 152a-1, Can be deposited on the substrate (D). In particular, the evaporation material deposited on the display substrate D as described above may be the same as or similar to the area, thickness, amount, etc. of the designed evaporation material. The amount of deposition material passing through the second opening 152c-2 may be greater than the amount of deposition material passing through the conventional second opening, and the deposition material may be deposited on a wider range of the display substrate D region And can be precisely and accurately deposited on the deposition region of the display substrate D designed in advance.

따라서 마스크 조립체(150), 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 증착원(160)으로부터 멀리 이격된 디스플레이 기판(D)에 증착물질이 증착될 때 발생하는 쉐도우 현상을 최소화할 수 있다. Accordingly, the mask assembly 150, the display apparatus manufacturing apparatus 100, and the display apparatus manufacturing method minimize the shadowing phenomenon that occurs when the evaporation material is deposited on the display substrate D spaced away from the evaporation source 160 .

또한, 마스크 조립체(150), 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 증착원(160)으로부터 멀리 이격될수록 더 넓은 범위에서 발생하는 쉐도우 현상을 증착원(160)의 상면에서 발생하는 쉐도우 현상과 동일 또는 유사하도록 조절하는 것이 가능하다. 특히 마스크 조립체(150), 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 전 영역에 걸쳐서 동일 또는 유사한 형태로 증착하는 것이 가능하다. Also, the mask assembly 150, the display apparatus manufacturing apparatus 100, and the display apparatus manufacturing method generate a shadow phenomenon that occurs in a wider range from the upper surface of the evaporation source 160 as they are farther away from the evaporation source 160 It is possible to adjust to be the same or similar to the shadow phenomenon. In particular, the mask assembly 150, the display apparatus manufacturing apparatus 100, and the display apparatus manufacturing method are capable of depositing the evaporation material on the display substrate D in the same or similar form over the entire area.

마스크 조립체(150), 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 균일한 패턴으로 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시킴으로써 고화질의 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다. The mask assembly 150, the display apparatus manufacturing apparatus 100, and the display apparatus manufacturing method, it is possible to manufacture the display apparatus of high picture quality by depositing the evaporation material on the display substrate D in a uniform pattern.

또한, 마스크 조립체(150), 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 대형 기판에 증착물질을 증착시키는 경우에도 균일한 증착이 가능하므로 대면적 증착에 활용하는 것이 가능하다.In addition, since the mask assembly 150, the display apparatus manufacturing apparatus 100, and the display apparatus can be uniformly deposited even when a deposition material is deposited on a large substrate, it can be utilized for large-area deposition.

마스크 조립체(150)는 상기의 구성 이외에도 마스크 프레임(151)에 설치되어 마스크 시트(152)를 지지하는 지지프레임(153)을 더 포함할 수 있다. 이때, 지지프레임(153)은 마스크 프레임(151)의 장변 및 단변 중 적어도 하나의 변과 평행하도록 마스크 프레임(151)에 설치될 수 있다. 또한, 지지프레임(153)은 마스크 프레임(151)의 내부 공간에 배치될 수 있다. 특히 지지프레임(153) 중 일부는 마스크 시트부재(152a,152b)의 길이 방향으로 배열되어 인접하는 마스크 시트부재(152a,152b) 사이에 배치되어 마스크 시트부재(152a,152b) 사이로 증착물질이 빠져나가는 것을 방지할 수 있다. The mask assembly 150 may further include a support frame 153 mounted on the mask frame 151 to support the mask sheet 152. At this time, the support frame 153 may be installed on the mask frame 151 so as to be parallel to at least one side of the long side and the short side of the mask frame 151. Further, the support frame 153 may be disposed in the inner space of the mask frame 151. Particularly, some of the support frames 153 are arranged in the longitudinal direction of the mask sheet members 152a and 152b and disposed between the adjacent mask sheet members 152a and 152b to allow the evaporation material to escape between the mask sheet members 152a and 152b It can be prevented from going out.

도 5를 참고하면, 제1 개구부(152c-1)와 제2 개구부(152c-2)는 제1 마스크 시트부재(152a)에 형성되고, 제3 개구부(152c-3)와 제4 개구부(152c-4)는 제2 마스크 시트부재(152b)에 형성될 수 있다. 이러한 경우 증착원(160)을 기준으로 개구로부로부터 증착원(160)까지의 거리는 제1 개구부(152c-1), 제2 개구부(152c-2), 제3 개구부(152c-3) 및 제4 개구부(152c-4) 순으로 커질 수 있다. 5, the first opening 152c-1 and the second opening 152c-2 are formed in the first mask sheet member 152a, and the third opening 152c-3 and the fourth opening 152c -4 may be formed in the second mask sheet member 152b. In this case, the distance from the opening portion to the evaporation source 160 on the basis of the evaporation source 160 is set to be the same as that of the first opening portion 152c-1, the second opening portion 152c-2, the third opening portion 152c- 4 openings 152c-4.

이러한 경우 일 실시예로써 인접하는 제1 개구부(152c-1) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a) 하면의 제1 폭(W1), 제2 개구부(152c-2) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a) 하면의 제2 폭(W2), 제3 개구부(152c-3) 사이에 배치된 제2 마스크 시트부재(152b) 하면의 제3 폭(W3) 및 제4 개구부(152c-4) 사이에 배치된 제2 마스크 시트부재(152b) 하면의 제4 폭(W4)은 각각 서로 상이할 수 있다. 구체적으로 제1 폭(W1)은 제2 폭(W2), 제3 폭(W3) 및 제4 폭(W4)보다 클 수 있으며, 제2 폭(W2)은 제3 폭(W3) 및 제4 폭(W4)보다 클 수 있다. 또한, 제3 폭(W3)은 제4 폭(W4)보다 클 수 있다. In this case, in one embodiment, the first width W1 of the lower surface of the first mask sheet member 152a disposed between adjacent first openings 152c-1, the first width W1 of the lower surface of the first mask sheet member 152a, The second width W2 of the lower surface of the mask sheet member 152a and the third width W3 of the lower surface of the second mask sheet member 152b disposed between the third opening 152c-3 and the fourth opening 152c -4), the fourth width W4 of the lower surface of the second mask sheet member 152b may be different from each other. Specifically, the first width W1 may be greater than the second width W2, the third width W3, and the fourth width W4, the second width W2 may be greater than the third width W3, May be larger than the width W4. The third width W3 may be larger than the fourth width W4.

다른 실시예로써 인접하는 제1 개구부(152c-1) 사이에 배치되는 제1 마스크 시트부재(152a)의 제1 두께(T1), 인접하는 제2 개구부(152c-2) 사이에 배치되는 제1 마스크 시트부재(152a)의 제2 두께(T2), 인접하는 제3 개구부(152c-3) 사이에 배치되는 제2 마스크 시트부재(152b)의 제3 두께(T3) 및 인접하는 제4 개구부(152c-4) 사이에 배치되는 제2 마스크 시트부재(152b)의 제4 두께(T4)는 서로 상이하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 두께(T1)는 제2 두께(T2), 제3 두께(T3) 및 제4 두께(T4)보다 클 수 있으며, 제2 두께(T2)는 제3 두께(T3) 및 제4 두께(T4)보다 클 수 있다. 또한, 제3 두께(T3)는 제4 두께(T4)보다 클 수 있다. The first thickness T1 of the first mask sheet member 152a disposed between the adjacent first openings 152c-1 and the first thickness T1 of the first mask sheet member 152b disposed between the adjacent second openings 152c- The second thickness T3 of the second mask sheet member 152b disposed between the adjacent third openings 152c-3 and the third thickness T3 of the second mask sheet member 152b disposed between the adjacent fourth openings 152c- The fourth thickness T4 of the second mask sheet member 152b disposed between the second mask sheet member 152b and the second mask sheet member 152b-152c-4 may be different from each other. Specifically, the first thickness T1 may be greater than the second thickness T2, the third thickness T3, and the fourth thickness T4, the second thickness T2 may be greater than the third thickness T3, May be greater than the thickness T4. Also, the third thickness T3 may be larger than the fourth thickness T4.

또 다른 실시예로써 제1 폭(W1), 제2 폭(W2), 제3 폭(W3) 및 제4 폭(W4)이 순차적으로 작아지도록 형성되면, 제1 두께(T1), 제2 두께(T2), 제3 두께(T3) 및 제4 두께(T4)가 순차적으로 작아지는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 두께(T1), 제2 두께(T2), 제3 두께(T3) 및 제4 두께(T4)가 서로 상이하게 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. In another embodiment, when the first width W1, the second width W2, the third width W3, and the fourth width W4 are sequentially decreased, the first thickness T1, the second thickness W2, The second thickness T2, the third thickness T3, and the fourth thickness T4 may be sequentially decreased. Hereinafter, for the sake of convenience of explanation, a detailed description will be made mainly on the case where the first thickness T1, the second thickness T2, the third thickness T3, and the fourth thickness T4 are formed to be different from each other do.

상기와 같이 제1 두께(T1), 제2 두께(T2), 제3 두께(T3) 및 제4 두께(T4)가 서로 상이하게 형성되는 경우 제1 입사각(θ1), 제2 입사각(θ2), 제3 입사각(θ3) 및 제4 입사각(θ4)은 서로 상이해질 수 있다. 구체적으로 제1 두께(T1), 제2 두께(T2), 제3 두께(T3) 및 제4 두께(T4)가 순차적으로 작아짐으로 제1 입사각(θ1), 제2 입사각(θ2), 제3 입사각(θ3) 및 제4 입사각(θ4)은 순차적으로 작아질 수 있다. 즉, 증착원(160)과 개구부의 거리가 증가함에 따라 증착물질의 입사각이 작아짐으로써 증착물질의 증착 시 발생하는 쉐도우 현상을 최소화할 수 있다. The first incident angle? 1, the second incident angle? 2, and the third incident angle? 3 are different from each other when the first thickness T1, the second thickness T2, the third thickness T3, and the fourth thickness T4 are formed to be different from each other, The third incident angle 3 and the fourth incident angle 4 may be different from each other. Specifically, since the first thickness T1, the second thickness T2, the third thickness T3 and the fourth thickness T4 are sequentially decreased, the first incident angle? 1, the second incident angle? 2, The incident angle [theta] 3 and the fourth incident angle [theta] 4 may be sequentially decreased. That is, as the distance between the evaporation source 160 and the opening increases, the angle of incidence of the evaporation material decreases, thereby minimizing the shadowing phenomenon occurring during evaporation of the evaporation material.

도 6은 도 1에 도시된 제1 마스크 시트부재의 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.6 is a cross-sectional view showing another embodiment of the first mask sheet member shown in Fig. 1 and a display substrate.

도 6을 참고하면, 제1 마스크 시트부재(152a′)에는 서로 이격되도록 배치된 제1 개구부(152c-1′) 및 제2 개구부(152c-2′)가 형성될 수 있다. 이때, 제1 개구부(152c-1′) 및 제2 개구부(152c-2′)는 증착원(미도시)까지의 거리가 각각 상이할 수 있다. 구체적으로 제1 개구부(152c-1′)로부터 상기 증착원까지의 거리는 제2 개구부(152c-2′)로부터 상기 증착원까지의 거리보다 작을 수 있다. 이때, 상기 증착원과 제1 마스크 시트부재(152a′)는 도 4에 도시된 것과 같이 배치될 수 있다. Referring to FIG. 6, the first mask sheet member 152a 'may have a first opening 152c-1' and a second opening 152c-2 ', which are spaced apart from each other. At this time, distances from the first opening 152c-1 'and the second opening 152c-2' to the evaporation source (not shown) may be different from each other. Specifically, the distance from the first opening 152c-1 'to the evaporation source may be smaller than the distance from the second opening 152c-2' to the evaporation source. At this time, the evaporation source and the first mask sheet member 152a 'may be arranged as shown in FIG.

이러한 경우 서로 인접하는 제1 개구부(152c-1′) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a′)의 제1 두께(T1)와 제2 개구부(152c-2′) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a′)의 제2 두께(T2)는 서로 동일할 수 있다. 반면, 제1 개구부(152c-1′) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a′)의 제1 폭(W1)과 제2 개구부(152c-2′) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a′)의 제2 폭(W2)은 서로 상이하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 폭(T1)은 제2 폭(T2)보다 크게 형성될 수 있다. 이러한 경우 제1 입사각(θ1)은 제2 입사각(θ2)보다 크게 형성될 수 있다. The first mask sheet member 152a 'disposed between the first openings 152c-1' adjacent to each other and the first thickness T1 of the first mask sheet member 152a ' The second thickness T2 of the mask sheet member 152a 'may be equal to each other. On the other hand, the first mask sheet member 152b disposed between the first width W1 of the first mask sheet member 152a 'disposed between the first openings 152c-1' and the second opening 152c-2 ' And the second width W2 of the first electrode 152a 'may be different from each other. Specifically, the first width T1 may be greater than the second width T2. In this case, the first incident angle [theta] 1 may be formed larger than the second incident angle [theta] 2.

상기와 같은 경우 증착원(미도시)는 상기 도 4와 동일 또는 유사하게 배치될 수 있다. In such a case, the evaporation source (not shown) may be disposed in the same or similar manner as in FIG.

도 7은 도 1에 도시된 제1 마스크 시트부재의 또 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing another embodiment of the first mask sheet member shown in Fig. 1 and a display substrate.

도 7을 참고하면, 제1 마스크 시트부재(152a″)에는 서로 이격되도록 배치된 제1 개구부(152c-1″) 및 제2 개구부(152c-2″)가 형성될 수 있다. 이때, 제1 개구부(152c-1″) 및 제2 개구부(152c-2″)는 증착원(미도시)까지의 거리가 상기 도 4에 도시된 것과 동일 또는 유사하게 각각 상이할 수 있다. 구체적으로 제1 개구부(152c-1″)로부터 상기 증착원까지의 거리는 제2 개구부(152c-2″)로부터 상기 증착원까지의 거리보다 작을 수 있다. Referring to Fig. 7, the first mask sheet member 152a " may be formed with a first opening 152c-1 " and a second opening 152c-2 " At this time, the distances to the evaporation sources (not shown) may be the same or similar to those shown in FIG. 4, respectively, in the first openings 152c-1 "and the second openings 152c-2". Specifically, the distance from the first opening 152c-1 "to the evaporation source may be smaller than the distance from the second opening 152c-2" to the evaporation source.

이러한 경우 서로 인접하는 제1 개구부(152c-1″) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a″)의 제1 두께(T1)와 제2 개구부(152c-2″) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a)의 제2 두께(T2)는 서로 상이할 수 있다. 구체적으로 제1 두께(T1)는 제2 두께(T2)보다 크게 형성될 수 있다.In this case, the first mask sheet member 152a " disposed between the first openings 152c-1 " adjacent to each other and the first thickness T1 of the first mask sheet member 152a " The second thickness T2 of the mask sheet member 152a may be different from each other. Specifically, the first thickness T1 may be greater than the second thickness T2.

또한, 제1 개구부(152c-1″) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a″)의 제1 폭(T1)과 제2 개구부(152c-2″) 사이에 배치된 제1 마스크 시트부재(152a″)의 제2 폭(T2)은 서로 상이하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제1 폭(T1)은 제2 폭(T2)보다 크게 형성될 수 있다. The first mask sheet member 152a is disposed between the first width T1 and the second opening 152c-2 " of the first mask sheet member 152a " disposed between the first openings 152c-1 " And the second width T2 of the second electrode 152a " may be different from each other. Specifically, the first width T1 may be greater than the second width T2.

상기와 같은 경우 제1 입사각(θ1)은 제2 입사각(θ2)보다 크게 형성될 수 있다. 또한, 상기와 같은 경우 증착원(미도시)는 상기 도 4와 동일 또는 유사하게 배치될 수 있다. In this case, the first incident angle [theta] 1 may be larger than the second incident angle [theta] 2. In addition, in the above case, the evaporation source (not shown) may be disposed in the same or similar manner as in FIG.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치의 증착원과 마스크 시트를 보여주는 평면도이다. 도 9는 도 8에 도시된 마스크 시트, 디스플레이 기판 및 증착원을 보여주는 단면도이다. 8 is a plan view showing an evaporation source and a mask sheet of a display apparatus manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention. 9 is a cross-sectional view showing the mask sheet, the display substrate, and the evaporation source shown in Fig.

도 8 및 도 9를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(미도시)는 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 이때, 증착원(260)은 점증착원 또는 선증착원 형태로 형성될 수 있다. 증착원(260)이 점증착원 형태인 경우 마스크 시트(252)의 중앙에 배열될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(260)이 선증착원인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 8 and 9, a display apparatus manufacturing apparatus (not shown) may be formed in the same or similar manner as described above. At this time, the evaporation source 260 may be formed in the form of a point evaporation source or a line evaporation source. And may be arranged at the center of the mask sheet 252 when the evaporation source 260 is in the form of a point vapor source. Hereinafter, for convenience of explanation, the deposition source 260 will be described in detail with reference to the case where the deposition source is the deposition source.

증착원(260)은 다양한 방향으로 배열될 수 있다. 예를 들며, 증착원(260)은 마스크 시트(252)의 장변과 평행하게 배열될 수 있다. 다른 실시예로써 증착원(260)은 마스크 시트(252)의 단변과 평행하게 배열될 수 있다. 또 다른 실시예로써 증착원(260)은 마스크 시트(252)의 크기, 모양 등에 상관없이 디스플레이 기판(D)에 대향하도록 배열되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(260)은 마스크 시트(252)의 장변과 평행하게 배열되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The evaporation source 260 may be arranged in various directions. For example, the evaporation source 260 may be arranged in parallel with the long side of the mask sheet 252. As another embodiment, the evaporation source 260 may be arranged parallel to the short side of the mask sheet 252. As another embodiment, the evaporation source 260 may be arranged to face the display substrate D regardless of the size, shape, or the like of the mask sheet 252. Hereinafter, the evaporation source 260 is arranged in parallel with the long side of the mask sheet 252 for convenience of explanation.

한편, 상기와 같은 마스크 시트(252)에는 서로 상이한 위치에 배치되는 복수개의 제1 개구부(252c-1)와 제2 개구부(252c-2)가 구비될 수 있다. 이때, 제1 개구부(252c-1) 주변의 마스크 시트(252)의 두께는 제2 개구부(252c-2) 주변의 마스크 시트(252)의 두께와 상이할 수 있다. 다른 실시예로써 인접하는 제1 개구부(252c-1) 사이의 마스크 시트(252) 하면의 거리는 인접하는 제2 개구부(252c-2) 사이의 마스크 시트(252) 하면의 거리와 상이하게 형성될 수 있다. The mask sheet 252 may include a plurality of first openings 252c-1 and a second openings 252c-2 disposed at different positions from each other. At this time, the thickness of the mask sheet 252 around the first opening 252c-1 may be different from the thickness of the mask sheet 252 around the second opening 252c-2. The distance of the lower surface of the mask sheet 252 between the adjacent first openings 252c-1 may be different from the distance of the lower surface of the mask sheet 252 between the adjacent second openings 252c-2 have.

한편, 상기와 같은 마스크 시트(252)를 통하여 증착을 수행하는 경우 증착원(260)으로부터 개구부까지의 거리에 따라 디스플레이 기판(D)에 증착된 증착물질에서 쉐도우 현상이 발생하거나 발생하지 않을 수 있다. On the other hand, when vapor deposition is performed through the mask sheet 252, the shadowing phenomenon may or may not occur in the evaporation material deposited on the display substrate D depending on the distance from the evaporation source 260 to the opening .

구체적으로 제1 개구부(252c-1)는 제2 개구부(252c-2)보다 증착원(260)에 가까운 거리에 배치될 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 것과 같이 제1 개구부(252c-1)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착물질이 증착되는 경우보다 제2 개구부(252c-2)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착물질이 증착되는 경우가 쉐도우 현상이 더 많이 발생할 수 있다. Specifically, the first opening 252c-1 may be disposed at a distance closer to the evaporation source 260 than the second opening 252c-2. In this case, the deposition material is deposited on the display substrate D through the second opening 252c-2 rather than when the deposition material is deposited on the display substrate D through the first opening 252c-1, May be more likely to cause a shadow phenomenon.

이러한 경우 인접한 제1 개구부(252c-1) 사이에 배치된 마스크 시트(252) 하면의 제1 폭(W1)과 인접한 제2 개구부(252c-2) 사이에 배치된 마스크 시트(252) 하면의 제2 폭(W2)을 서로 상이하게 형성할 수 있다. In this case, the mask sheet 252 disposed between the first width W1 of the lower surface of the mask sheet 252 disposed between the adjacent first openings 252c-1 and the second opening 252c-2 adjacent thereto, And the two widths W2 can be formed to be different from each other.

구체적으로 인접한 제2 개구부(252c-2) 사이에 배치된 마스크 시트(252) 하면의 제2 폭(W2)은 인접한 제1 개구부(252c-1) 사이에 배치된 마스크 시트(252) 하면의 제1 폭(W1)보다 작게 형성될 수 있다. 상기와 같이 제2 폭(W2)이 제1 폭(W1)보다 작은 경우 증착물질이 제2 개구부(252c-2)의 테두리를 통과하여 입사하는 제2 입사각(θ2)은 제1 개구부(252c-1)의 테두리를 통과하여 입사하는 제1 입사각(θ1)보다 작아질 수 있다. The second width W2 of the lower surface of the mask sheet 252 disposed between the adjacent second openings 252c-2 is smaller than the width W2 of the lower surface of the mask sheet 252 disposed between the adjacent first openings 252c- 1 < / RTI > width W1. When the second width W2 is smaller than the first width W1 as described above, the second incident angle [theta] 2 through which the deposition material passes through the rim of the second opening 252c-2 enters the first opening 252c- 1 incident through the rim of the first incident angle? 1.

상기와 같은 경우 제1 개구부(252c-1)를 통하여 디스플레이 기판(D)에 증착된 증착물질과 제2 개구부(252c-2)를 통하여 디스플레이 기판(D)에 증착된 증착물질의 패턴의 형태, 쉐도우의 범위 등은 동일하거나 거의 유사해질 수 있다. The pattern of the deposition material deposited on the display substrate D through the deposition material deposited on the display substrate D and the second opening 252c-2 through the first opening 252c-1, The range of the shadows, etc. can be the same or nearly similar.

따라서 마스크 조립체(미도시), 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착원(260)으로부터 멀리 이격될수록 더 넓은 범위에서 발생하는 쉐도우 현상을 증착원(260)의 상면에서 발생하는 쉐도우 현상과 동일 또는 유사하도록 조절하는 것이 가능하다. 특히 상기 마스크 조립체, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 전 영역에 걸쳐서 동일 또는 유사한 형태로 증착하는 것이 가능하다. Accordingly, as the mask assembly (not shown), the display device manufacturing method, and the display device manufacturing method, a shadow phenomenon occurring in a wider range becomes farther away from the evaporation source 260, It is possible to adjust to be the same or similar to the phenomenon. In particular, the mask assembly, the display device manufacturing method, and the display device manufacturing method can deposit the evaporation material on the display substrate D in the same or similar form over the entire area.

상기 마스크 조립체, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 균일한 패턴으로 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시킴으로써 고화질의 상기 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다. The mask assembly, the display device manufacturing method, and the display device manufacturing method can manufacture the display device of high picture quality by depositing the evaporation material on the display substrate D in a uniform pattern.

또한, 상기 마스크 조립체, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 대형 기판에 증착물질을 증착시키는 경우에도 균일한 증착이 가능하므로 대면적 증착에 활용하는 것이 가능하다. In addition, the mask assembly, the display device manufacturing method, and the display device manufacturing method can be used for large-area deposition because uniform deposition is possible even when a deposition material is deposited on a large substrate.

도 10은 도 8에 도시된 마스크 시트의 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다. 10 is a cross-sectional view showing another embodiment of the mask sheet shown in Fig. 8 and a display substrate.

도 10을 참고하면, 증착원(미도시)으로부터 서로 다른 거리에 배치되는 제1 개구부(252c-1′)와 제2 개구부(252c-2′)를 통하여 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 증착시킬 수 있다. 이때, 제1 개구부(252c-1′)와 상기 증착원까지의 거리는 제2 개구부(252c-2′)와 상기 증착원까지의 거리보다 작을 수 있다. 이러한 경우 상기 증착원는 상기 도 9와 동일 또는 유사하게 배치될 수 있다. 10, an evaporation material is deposited on the display substrate D through a first opening 252c-1 'and a second opening 252c-2' disposed at different distances from an evaporation source (not shown) . At this time, the distance from the first opening 252c-1 'to the evaporation source may be smaller than the distance from the second opening 252c-2' to the evaporation source. In this case, the evaporation source may be arranged in the same or similar manner as in FIG.

상기와 같은 경우 인접한 제1 개구부(252c-1′) 사이에 배치된 마스크 시트(252′) 하면의 제1 폭(W1) 및 마스크 시트(252′)의 제1 두께(T1)와 인접한 제2 개구부(252c-2′) 사이에 배치된 마스크 시트(252′) 하면의 제2 폭(W2) 및 마스크 시트(252′)의 제2 두께(T2)를 서로 상이하게 형성할 수 있다. In this case, the first width W1 of the lower surface of the mask sheet 252 'disposed between the adjacent first openings 252c-1' and the second width T1 of the mask sheet 252 ' The second width W2 of the lower surface of the mask sheet 252 'disposed between the openings 252c-2' and the second thickness T2 of the mask sheet 252 'can be made different from each other.

구체적으로 인접한 제2 개구부(252c-2′) 사이에 배치된 마스크 시트(252′) 하면의 제2 폭(W2)은 인접한 제1 개구부(252c-1′) 사이에 배치된 마스크 시트(252′) 하면의 제1 폭(W1)보다 작게 형성될 수 있다. 또한, 인접한 제2 개구부(252c-2′) 사이에 배치된 마스크 시트(252′)의 제2 두께(T2)는 인접한 제1 개구부(252c-1′) 사이에 배치된 마스크 시트(252′)의 제1 두께(T1)보다 작게 형성될 수 있다. Specifically, the second width W2 of the lower surface of the mask sheet 252 'disposed between the adjacent second openings 252c-2' is smaller than the width W2 of the lower surface of the mask sheet 252 'disposed between the adjacent first openings 252c-1' The first width W1 may be smaller than the first width W1. The second thickness T2 of the mask sheet 252 'disposed between the adjacent second openings 252c-2' is greater than the second thickness T2 of the mask sheet 252 'disposed between the adjacent first openings 252c-1' The first thickness T1 may be less than the first thickness T1.

상기와 같이 제2 폭(W2)이 제1 폭(W1)보다 작고, 제2 두께(T2)가 제1 두께(T1)보다 작은 경우 증착물질이 제2 개구부(252c-2′)의 테두리를 통과하여 입사하는 제2 입사각(θ2)은 제1 개구부(252c-1′)의 테두리를 통과하여 입사하는 제1 입사각(θ1)보다 작아질 수 있다. 이러한 경우 상기에서 설명한 바와 같이 제2 개구부(252c-2′)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착된 증착물질은 제1 개구부(252c-1′)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착된 증착물질과 패턴의 형태, 쉐도우 현상이 발생한 면적, 쉐도우 현상이 발생한 형상 등이 거의 동일 또는 유사해진다. As described above, when the second width W2 is smaller than the first width W1 and the second thickness T2 is smaller than the first thickness T1, the deposition material is prevented from reaching the edge of the second opening 252c-2 ' The incident angle? 2 incident through the first aperture 252c-1 'may be smaller than the first incident angle? 1 incident through the rim of the first aperture 252c-1'. In this case, as described above, the evaporation material deposited on the display substrate D through the second opening 252c-2 'passes through the first opening 252c-1' and is deposited on the display substrate D The shape of the deposition material and the pattern, the area where the shadow phenomenon occurs, and the shape where the shadow phenomenon occurs are almost the same or similar.

따라서 마스크 조립체(미도시), 표시 장치의 제조장치(미도시) 및 표시 장치의 제조방법은 상기 증착원으로부터 멀리 이격될수록 더 넓은 범위에서 발생하는 쉐도우 현상을 상기 증착원의 상면에서 발생하는 쉐도우 현상과 동일 또는 유사하도록 조절하는 것이 가능하다. 특히 상기 마스크 조립체, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 디스플레이 기판(D)에 증착물질을 전 영역에 걸쳐서 동일 또는 유사한 형태로 증착하는 것이 가능하다. Therefore, as the mask assembly (not shown), the display apparatus manufacturing apparatus (not shown), and the display apparatus manufacturing method are moved away from the evaporation source, a shadow phenomenon occurring in a wider range occurs, It is possible to adjust to be the same or similar. In particular, the mask assembly, the display device manufacturing method, and the display device manufacturing method can deposit the evaporation material on the display substrate D in the same or similar form over the entire area.

또한, 상기 마스크 조립체, 상기 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 대형 기판에 증착물질을 증착시키는 경우에도 균일한 증착이 가능하므로 대면적 증착에 활용하는 것이 가능하다.In addition, the mask assembly, the display device manufacturing method, and the display device manufacturing method can be used for large-area deposition because uniform deposition is possible even when a deposition material is deposited on a large substrate.

도 11은 도 8에 도시된 마스크 시트의 또 다른 실시예와 디스플레이 기판을 보여주는 단면도이다.11 is a cross-sectional view showing another embodiment of the mask sheet shown in Fig. 8 and a display substrate.

도 11을 참고하면, 마스크 시트(252″)는 제1 개구부(252c-1″)와 제2 개구부(252c-2″)를 구비할 수 있다. 이때, 제1 개구부(252c-1″)와 제2 개구부(252c-2″)는 증착원(미도시)까지의 거리가 상기 도 8에 도시된 것과 동일 또는 유사하게 서로 상이할 수 있다. 구체적으로 제1 개구부(252c-1″)로부터 상기 증착원까지의 거리는 제2 개구부(252c-2″)로부터 상기 증착원까지의 거리보다 작을 수 있다. 이러한 경우 상기 증착원는 상기 도 9와 동일 또는 유사하게 배치될 수 있다. Referring to Fig. 11, the mask sheet 252 " may have a first opening 252c-1 " and a second opening 252c-2 ". At this time, the distance from the first opening 252c-1 "and the second opening 252c-2" to the evaporation source (not shown) may be the same as or similar to those shown in FIG. Specifically, the distance from the first opening 252c-1 "to the evaporation source may be smaller than the distance from the second opening 252c-2" to the evaporation source. In this case, the evaporation source may be arranged in the same or similar manner as in FIG.

상기와 같은 경우 제1 개구부(252c-1″) 사이에 배치된 마스크 시트(252″)의 제1 두께(T1) 및 제1 폭(T1)은 제2 개구부(252c-2″) 사이에 배치된 마스크 시트(252″)의 제2 두께(T2) 및 제2 폭(T2)과 각가 상이하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 두께(T1)는 제2 두께(T2)와 상이하고, 제1 폭(T1)과 제2 폭(T2)은 서로 동일하게 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)는 서로 동일하고, 제1 폭(T1)과 제2 폭(T2)은 서로 상이하게 형성될 수 있다. 또 다른 실시예로써, 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)는 서로 상이하고, 제1 폭(T1)과 제2 폭(T2)은 서로 상이하게 형성되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)가 서로 동일하고, 제1 폭(T1)과 제2 폭(T2)이 서로 상이한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first thickness T1 and the first width T1 of the mask sheet 252 "disposed between the first openings 252c-1" are disposed between the second openings 252c-2 " May be formed to be different from the second thickness T2 and the second width T2 of the mask sheet 252 ". For example, the first thickness T1 may be different from the second thickness T2, and the first width T1 and the second width T2 may be equal to each other. In another embodiment, the first thickness T1 and the second thickness T2 are equal to each other, and the first width T1 and the second width T2 may be different from each other. In another embodiment, the first thickness T1 and the second thickness T2 may be different from each other, and the first width T1 and the second width T2 may be different from each other. Hereinafter, for convenience of explanation, the first thickness T1 and the second thickness T2 are equal to each other and the first width T1 and the second width T2 are different from each other .

제1 두께(T1)는 제2 두께(T2)보다 크게 형성될 수 있다. 이러한 경우 제1 입사각(θ1)은 제2 입사각(θ2)보다 크게 형성될 수 있다. The first thickness T1 may be greater than the second thickness T2. In this case, the first incident angle [theta] 1 may be formed larger than the second incident angle [theta] 2.

도 12는 도 1 또는 도 8에 도시된 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 13은 도 12에 도시된 A-A선을 따라 취한 단면도이다.FIG. 12 is a plan view showing a display device manufactured through the manufacturing apparatus of the display device shown in FIG. 1 or FIG. 8. FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line A-A shown in Fig.

도 12 및 도 13을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부(미표기)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.12 and 13, the display device 20 can define a display area DA on the substrate 21 and a non-display area on the outskirts of the display area DA. A light emitting portion (not shown) is disposed in the display area DA, and power supply wiring (not shown) is disposed in the non-display area. In addition, the pad portion C may be disposed in the non-display region.

표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D), 중간층(28b), 대향 전극(28c) 및 봉지층(미표기)을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 버퍼층(22), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28a) 및 화소 정의막(29)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 봉지부는 기판(21)과 동일 또는 유사한 봉지 기판(미도시) 또는 박막 봉지층(E) 을 포함할 수 있다. 이때, 상기 봉지부가 상기 봉지 기판을 포함하는 경우 기판(21)과 상기 봉지 기판 사이에는 별도의 실링부재(미도시)가 배치될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 봉지부가 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The display device 20 may include a display substrate D, an intermediate layer 28b, an opposite electrode 28c, and an encapsulating layer (not shown). At this time, the display substrate D may include a substrate 21, a buffer layer 22, a thin film transistor (TFT), a passivation film 27, a pixel electrode 28a, and a pixel defining layer 29. Further, the sealing portion may include a sealing substrate (not shown) or a thin sealing layer (E) which is the same as or similar to the substrate 21. At this time, if the sealing part includes the sealing substrate, a separate sealing member (not shown) may be disposed between the substrate 21 and the sealing substrate. Hereinafter, for convenience of explanation, the case where the sealing portion includes the thin film sealing layer E will be described in detail.

기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.The substrate 21 may be made of a plastic material, or a metal material such as SUS or Ti may be used. The substrate 21 may be made of polyimide (PI). Hereinafter, for convenience of explanation, the case where the substrate 21 is formed of polyimide will be described in detail.

기판(21) 상에 상기 발광부가 형성될 수 있다. 이때, 상기 발광부는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.The light emitting portion may be formed on the substrate 21. [ At this time, the light emitting portion is provided with a thin film transistor (TFT), a passivation film 27 is formed to cover the passivation film 27, and an organic light emitting element 28 may be formed on the passivation film 27.

기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.A buffer layer 22 made of an organic compound and / or an inorganic compound is further formed on the upper surface of the substrate 21, and SiOx (x? 1) and SiNx (x? 1) can be formed.

이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23a)과 드레인 영역(23b)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23b)을 더 포함한다. After the active layer 23 arranged in a predetermined pattern is formed on the buffer layer 22, the active layer 23 is buried by the gate insulating layer 24. The active layer 23 has a source region 23a and a drain region 23b and further includes a channel region 23b therebetween.

이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The active layer 23 may be formed to contain various materials. For example, the active layer 23 may contain an inorganic semiconductor material such as amorphous silicon or crystalline silicon. As another example, the active layer 23 may contain an oxide semiconductor. As another example, the active layer 23 may contain an organic semiconductor material. Hereinafter, for convenience of explanation, the active layer 23 is formed of amorphous silicon will be described in detail.

이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)이 불순물에 의해 도핑된다. The active layer 23 may be formed by forming an amorphous silicon film on the buffer layer 22, crystallizing the amorphous silicon film into a polycrystalline silicon film, and patterning the polycrystalline silicon film. The active layer 23 is doped with impurities in its source region 23a and drain region 23b depending on the type of TFT, such as a driving TFT (not shown) and a switching TFT (not shown).

게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다. On the upper surface of the gate insulating layer 24, a gate electrode 25 corresponding to the active layer 23 and an interlayer insulating layer 26 for embedding the gate electrode 25 are formed.

그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27a) 및 드레인 전극(27b)을 각각 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23b)에 콘택되도록 형성한다. After the contact hole H1 is formed in the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 24, the source electrode 27a and the drain electrode 27b are formed on the interlayer insulating layer 26, respectively, 23a and the drain region 23b.

이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28a)이 형성된다. 이 화소 전극(28a)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27b)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.A passivation film 27 is formed on the upper portion of the thin film transistor thus formed and a pixel electrode 28a of the organic light emitting element 28 is formed on the passivation film 27. [ This pixel electrode 28a is contacted to the drain electrode 27b of the TFT by the via hole H2 formed in the passivation film 27. [ The passivation film 27 may be formed of an inorganic material and / or organic material, a single layer, or two or more layers. The passivation film 27 may be formed of a planarization film so that the top surface is flat regardless of the bending of the bottom film, As shown in Fig. It is preferable that the passivation film 27 is formed of a transparent insulator so as to achieve a resonance effect.

패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28a) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28a)이 노출되도록 개구된다.After the pixel electrode 28a is formed on the passivation film 27, the pixel defining film 29 is formed of an organic material and / or an inorganic material so as to cover the pixel electrode 28a and the passivation film 27, So that the electrode 28a is exposed.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(28a) 상에 중간층(28b) 및 대향 전극(28c)이 형성된다.An intermediate layer 28b and a counter electrode 28c are formed on at least the pixel electrode 28a.

화소 전극(28a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다. The pixel electrode 28a functions as an anode electrode and the counter electrode 28c functions as a cathode electrode. Of course, the polarities of the pixel electrode 28a and the counter electrode 28c may be reversed.

화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)은 상기 중간층(28b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.The pixel electrode 28a and the counter electrode 28c are insulated from each other by the intermediate layer 28b and voltages of different polarities are applied to the intermediate layer 28b to cause the organic light emitting layer to emit light.

중간층(28b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28b)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다. The intermediate layer 28b may have an organic light emitting layer. As another alternative example, the intermediate layer 28b may include an organic emission layer, and may further include a hole injection layer (HIL), a hole transport layer, an electron transport layer, And an electron injection layer may be further included. The present embodiment is not limited to this, and the intermediate layer 28b may include an organic light emitting layer and may further include various other functional layers (not shown).

이때, 상기와 같은 중간층(28b)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다. At this time, the intermediate layer 28b may be formed through the manufacturing apparatus (not shown) of the display device described above.

한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다. On the other hand, one unit pixel is composed of a plurality of sub-pixels, and a plurality of sub-pixels can emit light of various colors. For example, the plurality of sub-pixels may have sub-pixels emitting red, green, and blue light, respectively, and may have sub-pixels (not shown) emitting red, green, blue, and white light.

한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.Meanwhile, the thin film encapsulation layer E may include a plurality of inorganic layers, or may include an inorganic layer and an organic layer.

박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The organic layer of the thin film encapsulating layer (E) may be a single film or a laminated film formed of a polymer and preferably formed of any one of polyethylene terephthalate, polyimide, polycarbonate, epoxy, polyethylene and polyacrylate. More preferably, the organic layer may be formed of polyacrylate, and specifically, a monomer composition containing a diacrylate monomer and a triacrylate monomer may be polymerized. The monomer composition may further include a monoacrylate monomer. Further, the monomer composition may further include a known photoinitiator such as TPO, but is not limited thereto.

박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The inorganic layer of the thin-film encapsulating layer (E) may be a single film or a laminated film containing a metal oxide or a metal nitride. Specifically, the inorganic layer may include any one of SiNx, Al2O3, SiO2, and TiO2.

박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.The uppermost layer exposed to the outside of the thin film encapsulation layer (E) may be formed of an inorganic layer to prevent moisture permeation to the organic light emitting element.

박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다. The thin film encapsulation layer (E) may include at least one sandwich structure in which at least one organic layer is interposed between at least two inorganic layers. As another example, the thin film encapsulation layer (E) may include at least one sandwich structure in which at least one inorganic layer is interposed between at least two organic layers. As another example, the thin-film encapsulation layer (E) may include a sandwich structure in which at least one organic layer is interposed between at least two inorganic layers, and a sandwich structure in which at least one inorganic layer is interposed between at least two organic layers .

박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다. The thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, and a second inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting diode OLED.

다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, and a third inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting device OLED.

또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer (E) may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, a third inorganic layer, and a third organic layer sequentially from the top of the organic light emitting diode An organic layer, and a fourth inorganic layer.

유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.A halogenated metal layer including LiF may be further included between the organic light emitting element OLED and the first inorganic layer. The metal halide layer can prevent the organic light emitting diode OLED from being damaged when the first inorganic layer is formed by a sputtering method.

제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.The first organic layer may have a smaller area than the second inorganic layer, and the second organic layer may have a smaller area than the third inorganic layer.

따라서 표시 장치(20)는 정밀한 패턴을 형성하는 중간층(28b)을 구비하고, 중간층(28b)이 정확한 위치에 증착되어 형성됨으로써 정밀한 이미지 구현이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 반복적으로 중간층(28b)을 증착하더라도 일정한 패턴을 형성함으로써 지속적인 생산에 따라 균일한 품질을 나타낸다.Accordingly, the display device 20 includes the intermediate layer 28b for forming a precise pattern, and the intermediate layer 28b is formed by being deposited at the correct position, thereby enabling accurate image realization. Further, the display device 20 exhibits uniform quality according to continuous production by forming a constant pattern even when the intermediate layer 28b is repeatedly formed.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the exemplary embodiments, and that various changes and modifications may be made therein without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

D: 디스플레이 기판
20: 표시 장치
100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
120: 제1 지지부
130: 제2 지지부
140: 비젼부
150: 마스크 조립체
151: 마스크 프레임
152: 마스크 시트
153: 지지프레임
160,260: 증착원
170: 압력조절부 D: Display substrate
20: Display device
100: Manufacturing apparatus of display device
110: chamber
120: first support part
130: second support portion
140: vision part
150: mask assembly
151: mask frame
152: Mask sheet
153: Support frame
160,260: evaporation source
170: Pressure regulator

Claims

mask sheet; And
A plurality of first openings and a plurality of second openings disposed at mutually different positions of the mask sheet,
Wherein a first thickness of the mask sheet disposed between two adjacent first openings of the plurality of first openings is greater than a first thickness of the mask sheet disposed between adjacent two of the plurality of second openings The second thickness being different from the second thickness.

The method according to claim 1,
Wherein the first opening is disposed at a center of the mask sheet member and the second opening is disposed apart from the first opening.

The method according to claim 1,
Wherein the first thickness is greater than the second thickness.

The method according to claim 1,
The first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two first openings adjacent to each other among the plurality of first openings is smaller than the first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings among the plurality of first openings And a second width of the lower surface of the mask sheet.

5. The method of claim 4,
Wherein the first width is greater than the second width.

mask sheet; And
A plurality of first openings and a plurality of second openings disposed at mutually different positions of the mask sheet,
The first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two first openings adjacent to each other among the plurality of first openings is smaller than the first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings among the plurality of first openings And a second width of the lower surface of the mask sheet.

The method according to claim 6,
Wherein the first width is greater than the second width.

A mask assembly disposed opposite the display substrate;
And an evaporation source arranged to face the mask assembly,
Wherein the mask assembly comprises:
mask sheet; And
A plurality of first openings and a plurality of second openings disposed at mutually different positions of the mask sheet,
Wherein a first thickness of the mask sheet disposed between two adjacent first openings of the plurality of first openings is greater than a first thickness of the mask sheet disposed between adjacent two of the plurality of second openings Wherein the second thickness is different from the second thickness.

9. The method of claim 8,
Wherein a distance from the first opening to the evaporation source is smaller than a distance from the second opening to the evaporation source.

9. The method of claim 8,
Wherein the first thickness is larger than the second thickness.

9. The method of claim 8,
The first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two first openings adjacent to each other among the plurality of first openings is larger than the first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings among the plurality of first openings And the second width of the lower surface of the mask sheet.

12. The method of claim 11,
Wherein the first width is larger than the second width.

A mask assembly disposed opposite the display substrate;
And an evaporation source arranged to face the mask assembly,
Wherein the mask assembly comprises:
mask sheet; And
A plurality of first openings and a plurality of second openings disposed at mutually different positions of the mask sheet,
The first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two first openings adjacent to each other among the plurality of first openings is smaller than the first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings among the plurality of first openings And the second width of the lower surface of the mask sheet.

Loading the display substrate and the mask assembly into the chamber; And
Evaporating the evaporation material in the evaporation source and depositing the evaporation material on the display substrate through the mask assembly,
Wherein the mask assembly comprises:
mask sheet; And
A plurality of first openings and a plurality of second openings disposed at mutually different positions of the mask sheet,
Wherein a first thickness of the mask sheet disposed between two adjacent first openings of the plurality of first openings is greater than a first thickness of the mask sheet disposed between adjacent two of the plurality of second openings Wherein the second thickness is different from the second thickness.

15. The method of claim 14,
Wherein the plurality of first openings are disposed closer to the evaporation source than the plurality of second openings.

15. The method of claim 14,
Wherein the first thickness is larger than the second thickness.

15. The method of claim 14,
The first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two first openings adjacent to each other among the plurality of first openings is larger than the first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings among the plurality of first openings Wherein the second width of the lower surface of the mask sheet is different from the second width of the lower surface of the mask sheet.

18. The method of claim 17,
Wherein the first width is larger than the second width.

Loading the display substrate and the mask assembly into the chamber; And
Evaporating the evaporation material in the evaporation source and depositing the evaporation material on the display substrate through the mask assembly,
Wherein the mask assembly comprises:
mask sheet; And
And a plurality of first openings and a plurality of second openings formed in the mask sheet,
The first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two first openings adjacent to each other among the plurality of first openings is larger than the first width of the lower surface of the mask sheet disposed between the two adjacent second openings among the plurality of first openings Wherein the second width of the lower surface of the mask sheet is different from the second width of the lower surface of the mask sheet.

20. The method of claim 19,
Wherein the first width is larger than the second width.