KR20210146501A - Mask assembly, manufacturing method for the same, apparatus for manufacturing a display device - Google Patents

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KR20210146501A
KR20210146501A KR1020200063271A KR20200063271A KR20210146501A KR 20210146501 A KR20210146501 A KR 20210146501A KR 1020200063271 A KR1020200063271 A KR 1020200063271A KR 20200063271 A KR20200063271 A KR 20200063271A KR 20210146501 A KR20210146501 A KR 20210146501A
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홍재민
권하늘
노희석
이수진
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

Disclosed are a mask assembly, a manufacturing method of the mask assembly, and a manufacturing device of a display device. The mask assembly of the present invention comprises: a mask frame including a first seating surface, a second seating surface arranged to be stepped from the first seating surface, and a first opening; a support member partially seated on the first seating surface and partitioning the first opening into one or more second openings; a first mask disposed on the support member and including a third opening disposed to correspond to the second opening; and a second mask partially seated on the second seating surface and including a plurality of fourth openings arranged to correspond to the third opening.

Description

마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조장치{Mask assembly, manufacturing method for the same, apparatus for manufacturing a display device}A mask assembly, a method for manufacturing a mask assembly, and an apparatus for manufacturing a display device TECHNICAL FIELD

본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 표시 장치의 제조장치에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to an apparatus and method, and more particularly, to a mask assembly, a method for manufacturing the mask assembly, and an apparatus for manufacturing a display device.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. In addition to small electronic devices such as mobile phones, tablet PCs have recently been widely used as mobile electronic devices.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.Such a mobile electronic device includes a display device to provide visual information such as an image or video to a user in order to support various functions. Recently, as other components for driving the display device are miniaturized, the proportion of the display device in electronic devices is gradually increasing, and a structure that can be bent to have a predetermined angle in a flat state is being developed.

상기와 같은 표시 장치를 제조하기 위하여 사용하는 마스크 조립체의 경우 증착 공정의 수행 시 얼마나 변형되지 않느냐에 따라 표시 장치의 해상도, 표시 장치가 구현하는 이미지의 형태가 상이해질 수 있다. In the case of the mask assembly used to manufacture the display device as described above, the resolution of the display device and the shape of the image implemented by the display device may be different depending on how much the mask assembly is not deformed during the deposition process.

종래의 마스크 조립체는 개구부의 형태에 따라 자기력이 마스크 조립체에 불균일하게 형성됨으로써 마스크 조립체의 변형이나 마스크 조립체 일부의 쳐짐 등을 방지하지 못할 수 있다. 본 발명의 실시예들은 마스크 조립체의 변형과 마스크 조립체 일부의 쳐짐을 방지하는 마스크 조립체, 마스크 조립체의 제조방법 및 정밀한 패턴의 증착이 가능한 표시 장치의 제조장치를 제공한다. The conventional mask assembly may not be able to prevent deformation of the mask assembly or sagging of a part of the mask assembly because magnetic force is non-uniformly formed in the mask assembly according to the shape of the opening. SUMMARY Embodiments of the present invention provide a mask assembly that prevents deformation of the mask assembly and sagging of a part of the mask assembly, a method of manufacturing the mask assembly, and an apparatus for manufacturing a display device capable of depositing a precise pattern.

본 발명의 일 실시예는 제1안착면, 상기 제1안착면으로부터 단차지게 배치된 제2안착면 및 제1개구부를 포함한 마스크 프레임과, 일부가 상기 제1안착면에 안착하며, 상기 제1개구부를 적어도 하나 이상의 제2개구부로 구획하는 지지부재와, 상기 지지부재 상에 배치되며, 상기 제2개구부에 대응되도록 배치된 제3개구부를 포함한 제1마스크와, 일부가 상기 제2안착면에 안착하며, 상기 제3개구부에 대응되도록 배열된 복수개의 제4개구부를 포함한 제2마스크를 포함하는 마스크 조립체를 개시한다. An embodiment of the present invention provides a mask frame including a first seating surface, a second seating surface arranged to be stepped from the first seating surface, and a first opening, a part of which is seated on the first seating surface, and the first A support member for dividing the opening into at least one or more second openings; a first mask disposed on the support member and including a third opening disposed to correspond to the second opening; Disclosed is a mask assembly including a second mask seated therein and including a plurality of fourth openings arranged to correspond to the third openings.

본 실시예에 있어서, 상기 제2개구부와 상기 제3개구부의 형상은 서로 상이할 수 있다. In this embodiment, the shapes of the second opening and the third opening may be different from each other.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재는 자성체일 수 있다. In this embodiment, the support member may be a magnetic material.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재는 상기 제1개구부를 복수개의 상기 제2개구부로 구획하도록 격자 형태일 수 있다. In this embodiment, the support member may have a grid shape to divide the first opening into a plurality of the second openings.

본 실시예에 있어서, 상기 제1안착면 및 상기 제2안착면 중 적어도 하나는 슬롯을 포함할 수 있다. In this embodiment, at least one of the first seating surface and the second seating surface may include a slot.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임은, 상기 제1안착면 및 상기 제2안착면이 배치된 돌출부를 포함할 수 있다. In the present embodiment, the mask frame may include a protrusion on which the first seating surface and the second seating surface are disposed.

본 실시예에 있어서, 평면 상에서 볼 때 상기 제2개구부는 상기 제3개구부의 내부에 배치될 수 있다. In this embodiment, the second opening may be disposed inside the third opening when viewed in a plan view.

본 발명의 다른 실시예는, 제1안착면, 상기 제1안착면으로부터 단차지게 배치된 제2안착면 및 제1개구부를 포함한 마스크 프레임에 상기 제1개구부를 적어도 하나 이상의 제2개구부로 구획하는 지지부재를 상기 제1안착면에 안착하도록 배치하는 단계와, 상기 제2개구부에 대응되는 제3개구부를 포함한 제1마스크를 지지부재에 안착하도록 배치하는 단계와, 상기 지지부재 및 상기 제1마스크를 상기 제1안착면에 고정시키는 단계와, 제2마스크를 상기 제2안착면에 배치하여 고정시키는 단계를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법을 개시한다. Another embodiment of the present invention is to divide the first opening into at least one or more second openings in a mask frame including a first seating surface, a second seating surface arranged to be stepped from the first seating surface, and a first opening arranging a support member to be seated on the first seating surface; arranging a first mask including a third opening corresponding to the second opening to be seated on the support member; the support member and the first mask Disclosed is a method of manufacturing a mask assembly, comprising fixing a mask to the first seating surface, and placing and fixing a second mask on the second seating surface.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재, 상기 제1마스크 및 상기 제2마스크 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the method may further include removing a portion of at least one of the support member, the first mask, and the second mask.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재, 상기 제1마스크 및 상기 제2마스크 중 적어도 하나는 상기 제1안착면 및 상기 제2안착면 중 적어도 하나에 배치된 슬롯을 기준으로 절단될 수 있다. In this embodiment, at least one of the support member, the first mask, and the second mask may be cut based on a slot disposed on at least one of the first seating surface and the second seating surface.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재, 상기 제1마스크 및 상기 제2마스크 중 적어도 하나를 인장시키는 단계를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the method may further include tensioning at least one of the support member, the first mask, and the second mask.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재는 자성체일 수 있다. In this embodiment, the support member may be a magnetic material.

본 실시예에 있어서, 평면 상에서 볼 때 상기 제2개구부는 상기 제3개구부의 내부에 배치될 수 있다. In this embodiment, the second opening may be disposed inside the third opening when viewed in a plan view.

본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체와 기판이 삽입되는 챔버와, 상기 마스크 조립체와 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 기판으로 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 제1안착면, 상기 제1안착면으로부터 단차지게 배치된 제2안착면 및 제1개구부를 포함한 마스크 프레임과, 일부가 상기 제1안착면에 안착하며, 상기 제1개구부를 적어도 하나 이상의 제2개구부로 구획하는 지지부재와, 상기 지지부재 상에 배치되며, 상기 제2개구부에 대응되도록 배치된 제3개구부를 포함한 제1마스크와, 일부가 상기 제2안착면에 안착하며, 상기 제3개구부에 대응되도록 배열된 복수개의 제4개구부를 포함한 제2마스크를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다. Another embodiment of the present invention includes a mask assembly, a chamber into which the mask assembly and the substrate are inserted, and a deposition source disposed inside the chamber to face the mask assembly and supplying a deposition material to the substrate, , the mask assembly includes a mask frame including a first seating surface, a second seating surface arranged to be stepped from the first seating surface, and a first opening, a part of which is seated on the first seating surface, and the first opening at least one second opening; and a second mask including a plurality of fourth openings arranged to correspond to the third openings.

본 실시예에 있어서, 상기 제2개구부와 상기 제3개구부의 형상은 서로 상이할 수 있다. In this embodiment, the shapes of the second opening and the third opening may be different from each other.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재는 자성체일 수 있다. In this embodiment, the support member may be a magnetic material.

본 실시예에 있어서, 상기 지지부재는 상기 제1개구부를 복수개의 상기 제2개구부로 구획하도록 격자 형태일 수 있다. In this embodiment, the support member may have a grid shape to divide the first opening into a plurality of the second openings.

본 실시예에 있어서, 상기 제1안착면 및 상기 제2안착면 중 적어도 하나는 슬롯을 포함할 수 있다. In this embodiment, at least one of the first seating surface and the second seating surface may include a slot.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임은, 상기 제1안착면 및 상기 제2안착면이 배치된 돌출부를 포함할 수 있다. In the present embodiment, the mask frame may include a protrusion on which the first seating surface and the second seating surface are disposed.

본 실시예에 있어서, 평면 상에서 볼 때 상기 제2개구부는 상기 제3개구부의 내부에 배치될 수 있다. In this embodiment, the second opening may be disposed inside the third opening when viewed in a plan view.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be embodied using a system, method, computer program, or combination of any system, method, and computer program.

본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체는 정밀한 패턴으로 기판 상에 증착물질을 증착시키는 것이 가능하다. 본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체의 제조방법은 설계된 패턴을 갖는 마스크 조립체를 제조하는 것이 가능하다. The mask assembly according to the embodiments of the present invention is capable of depositing a deposition material on a substrate in a precise pattern. The method of manufacturing a mask assembly according to embodiments of the present invention is capable of manufacturing a mask assembly having a designed pattern.

본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치는 정밀한 패턴을 갖는 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.The apparatus for manufacturing a display device according to embodiments of the present invention can manufacture a display device having a precise pattern.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 마스크 프레임의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ′선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 지지부재의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 2에 도시된 제1마스크의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 7 및 도 8은 도 2에 도시된 마스크 조립체의 제조공정을 보여주는 부분사시도이다.
도 9 및 도 10은 도 2에 도시된 마스크 조립체의 제조공정을 보여주는 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 12는 도 11의 A-A′선을 따라 취한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.
2 is a perspective view illustrating a mask assembly according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a part of the mask frame illustrated in FIG. 2 .
4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV′ of FIG. 3 .
FIG. 5 is a plan view showing a part of the support member shown in FIG. 2 .
FIG. 6 is a plan view illustrating a part of the first mask shown in FIG. 2 .
7 and 8 are partial perspective views illustrating a manufacturing process of the mask assembly shown in FIG. 2 .
9 and 10 are plan views illustrating a manufacturing process of the mask assembly shown in FIG. 2 .
11 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment.
12 is a cross-sectional view taken along line AA′ of FIG. 11 .

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and a method for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when described with reference to the drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals, and the overlapping description thereof will be omitted. .

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as first, second, etc. are used for the purpose of distinguishing one component from another, not in a limiting sense.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have means that the features or components described in the specification are present, and the possibility that one or more other features or components will be added is not excluded in advance.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when it is said that a part such as a film, region, or component is on or on another part, not only when it is directly on the other part, but also another film, region, component, etc. is interposed therebetween. Including cases where there is

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the size of the components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily indicated for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, the y-axis, and the z-axis are not limited to three axes on a Cartesian coordinate system, and may be interpreted in a broad sense including them. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.In cases where certain embodiments may be implemented otherwise, a specific process sequence may be performed different from the described sequence. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order opposite to the order described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.

도 1을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 자기력생성부(120), 제1지지부(131), 제2지지부(132), 비젼부(140), 마스크 조립체(200), 증착원(160) 및 압력조절부(170)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , an apparatus 100 for manufacturing a display device includes a chamber 110 , a magnetic force generator 120 , a first support part 131 , a second support part 132 , a vision part 140 , and a mask assembly ( 200 ), an evaporation source 160 , and a pressure control unit 170 .

챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 챔버(110) 일부가 개구되도록 형성될 수 있다. 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트벨브(110A)가 설치되어 챔버(110)의 개구된 부분을 선택적으로 개폐할 수 있다. The chamber 110 may have a space formed therein, and may be formed such that a part of the chamber 110 is opened. A gate valve 110A is installed in the opened portion of the chamber 110 to selectively open and close the opened portion of the chamber 110 .

자기력생성부(120)는 챔버(110)에 고정되도록 형성될 수 있다. 이때, 자기력생성부(120)는 선택적으로 자기장을 형성하도록 전자석 및 영구자석 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 자기력생성부(120)는 마스크 조립체(200)를 디스플레이 기판(D) 측으로 밀착시킬 수 있다. The magnetic force generator 120 may be formed to be fixed to the chamber 110 . In this case, the magnetic force generating unit 120 may include at least one of an electromagnet and a permanent magnet to selectively form a magnetic field. The magnetic force generating unit 120 may adhere the mask assembly 200 to the display substrate D side.

제1지지부(131)는 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(131)는 디스플레이 기판(D)을 다양한 방식으로 지지할 수 있다. 예를 들면, 제1지지부(131)는 정전척 또는 점착척을 포함할 수 있다. 이러한 경우 제1지지부(131)와 자기력생성부(120)는 일체로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(131)는 디스플레이 기판(D)의 일부가 안착되어 디스플레이 기판(D)을 지지하는 프레임 또는 디스플레이 기판(D)의 일부를 파지하여 고정하는 클램프 등을 포함할 수 있다. 제1지지부(131)는 상기에 한정되는 것은 아니며 디스플레이 기판(D)을 지지할 수 있는 모든 장치를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(131)가 디스플레이 기판(D)을 파지하는 클램프를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first support part 131 may support the display substrate D. In this case, the first support part 131 may support the display substrate D in various ways. For example, the first support part 131 may include an electrostatic chuck or an adhesive chuck. In this case, the first support part 131 and the magnetic force generator 120 may be integrally formed. As another embodiment, the first support part 131 may include a frame on which a part of the display substrate D is seated to support the display substrate D, or a clamp for holding and fixing a part of the display substrate D. . The first support part 131 is not limited to the above, and may include any device capable of supporting the display substrate D. FIG. However, hereinafter, for convenience of description, a case in which the first support part 131 includes a clamp for gripping the display substrate D will be described in detail.

제2지지부(132)는 마스크 조립체(200)가 안착되어 지지될 수 있다. 이때, 제2지지부(132)에는 마스크 조립체(200)를 서로 상이한 적어도 2개 이상의 방향으로 미세 조정할 수 있다. The second support part 132 may be supported by the mask assembly 200 being seated therein. In this case, the mask assembly 200 may be finely adjusted in at least two different directions on the second support part 132 .

비젼부(140)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(200)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(140)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(200) 중 적어도 하나를 움직여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(200)를 얼라인(align)할 수 있다. The vision unit 140 may photograph the positions of the display substrate D and the mask assembly 200 . In this case, the display substrate D and the mask assembly 200 may be aligned by moving at least one of the display substrate D and the mask assembly 200 based on the image captured by the vision unit 140 . .

마스크 조립체(200)는 마스크 프레임(210), 지지부재(220), 제1마스크(230) 및 제2마스크(240)를 포함할 수 있다. The mask assembly 200 may include a mask frame 210 , a support member 220 , a first mask 230 , and a second mask 240 .

증착원(160)은 증착물질이 내부에 삽입된 후 증발할 수 있다. 이때, 증착원(160)은 히터(160A)를 구비할 수 있으며, 히터(160A)에서 가해지는 열에 의해 증착물질이 증발할 수 있다. The deposition source 160 may evaporate after the deposition material is inserted therein. In this case, the deposition source 160 may include a heater 160A, and the deposition material may be evaporated by heat applied from the heater 160A.

증착원(160)은 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 증착원(160)은 증착물질이 토출되는 입구부가 원형으로 형성되는 점증착원 형태일 수 있다. 또한, 증착원(160)은 길게 형성되고, 입구부가 복수개로 형성되거나 장공 형태 등으로 형성되는 선증착원 형태일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(160)이 마스크 조립체(200)의 일 지점에 대향하도록 배치되며, 점증착원 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The deposition source 160 may be formed in various shapes. For example, the deposition source 160 may be in the form of a gradual deposition source in which an inlet through which the deposition material is discharged is formed in a circular shape. In addition, the deposition source 160 may be in the form of a pre-deposition source which is formed to be long and has a plurality of inlets or a long hole shape. Hereinafter, for convenience of description, a case in which the deposition source 160 is disposed to face one point of the mask assembly 200 and is in the form of a point deposition source will be described in detail.

압력조절부(170)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 대기압 또는 진공과 유사하도록 조절할 수 있다. 이때, 압력조절부(170)는 챔버(110)와 연결되는 연결배관(171)과 연결배관(171)에 배치되는 압력조절펌프(172)를 포함할 수 있다. The pressure adjusting unit 170 may be connected to the chamber 110 to adjust the pressure inside the chamber 110 to be similar to atmospheric pressure or vacuum. In this case, the pressure control unit 170 may include a connection pipe 171 connected to the chamber 110 and a pressure control pump 172 disposed on the connection pipe 171 .

한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 디스플레이 기판(D)을 제조하여 준비할 수 있다. Meanwhile, looking at a method of manufacturing a display device (not shown) through the display device manufacturing device 100 as described above, the display substrate D may be manufactured and prepared.

압력조절부(170)는 챔버(110) 내부로 대기압 상태로 유지시킬 수 있으며, 게이트벨브(110A)가 개방된 후 디스플레이 기판(D) 및 변형이 보정된 마스크 조립체(200)가 챔버(110) 내부로 삽입될 수 있다. 이때, 챔버(110) 내부 또는 외부에는 별도의 로봇암, 셔틀 등이 구비되어 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(200)를 이송시킬 수 있다. The pressure adjusting unit 170 may maintain the inside of the chamber 110 at atmospheric pressure, and after the gate valve 110A is opened, the display substrate D and the mask assembly 200 having the deformation corrected are installed in the chamber 110 . can be inserted inside. In this case, a separate robot arm, a shuttle, etc. may be provided inside or outside the chamber 110 to transport the display substrate D and the mask assembly 200 .

압력조절부(170)는 챔버(110) 내부를 거의 진공과 흡사하도록 유지시킬 수 있다. 또한, 제1지지부(131) 및 제2지지부(132) 중 적어도 하나가 작동하여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(200) 사이의 간격을 기 설정된 간격으로 조절할 수 있다. 비젼부(140)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(200)를 촬영하여 제1지지부(131) 및 제2지지부(132)를 미세 구동하여 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(200) 중 적어도 하나를 미세 조정하여 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(200)를 얼라인할 수 있다. The pressure adjusting unit 170 may maintain the inside of the chamber 110 to be almost vacuum-like. In addition, at least one of the first support part 131 and the second support part 132 may operate to adjust the distance between the display substrate D and the mask assembly 200 to a preset distance. The vision unit 140 photographs the display substrate D and the mask assembly 200 to finely drive the first support part 131 and the second support part 132 , so that at least one of the display substrate D and the mask assembly 200 is performed. By fine-tuning one, the display substrate D and the mask assembly 200 may be aligned.

히터(160A)가 작동하여 증착원(160)에서 증착물질을 마스크 조립체(200)로 공급할 수 있다. 마스크 조립체(200)를 통과한 증착물질은 디스플레이 기판(D)에 일정한 패턴으로 증착될 수 있다. The heater 160A may operate to supply a deposition material from the deposition source 160 to the mask assembly 200 . The deposition material passing through the mask assembly 200 may be deposited on the display substrate D in a predetermined pattern.

상기와 같은 과정이 진행되는 동안 증착원(160) 및 디스플레이 기판(D) 중 적어도 하나는 선형 운동할 수 있다. 다른 실시예로써 증착원(160) 및 디스플레이 기판(D)는 모두 정지한 상태에서 증착이 수행되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(160) 및 디스플레이 기판(D) 모두 정지한 상태에서 증착이 수행되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. During the above process, at least one of the deposition source 160 and the display substrate D may linearly move. In another embodiment, the deposition may be performed while the deposition source 160 and the display substrate D are both stopped. Hereinafter, for convenience of description, a case in which deposition is performed while both the deposition source 160 and the display substrate D are stopped will be described in detail.

상기와 같이 증착원(160)에서 공급된 증착물질은 마스크 조립체(200)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착되어 후술할 중간층 중 적어도 하나의 층을 형성할 수 있다. As described above, the deposition material supplied from the deposition source 160 may pass through the mask assembly 200 and be deposited on the display substrate D to form at least one of the intermediate layers to be described later.

상기와 같이 중간층 중 적어도 하나의 층을 형성하는 경우 증착원(160)은 고온의 증착물질을 공급할 수 있다. 이때, 제1마스크(230)는 열 변형, 하중 등을 통하여 쳐지는 등의 문제가 발생할 수 있다. 이러한 경우 자기력생성부(120)의 자기력은 지지부재(220)가 쳐지는 것을 방지할 뿐만 아니라 지지부재(220)가 제1마스크(230)를 자기력생성부(120) 측으로 가력하도록 할 수 있다. When forming at least one of the intermediate layers as described above, the deposition source 160 may supply a high-temperature deposition material. In this case, the first mask 230 may have a problem such as sagging through thermal deformation or load. In this case, the magnetic force of the magnetic force generating unit 120 may not only prevent the support member 220 from sagging, but also cause the support member 220 to apply the first mask 230 to the magnetic force generating unit 120 side.

상기와 같은 경우 지지부재(220)는 제1마스크(230)가 증착원(160) 측으로 쳐지는 것을 방지함으로써 제1마스크(230)의 위치 및 형상 중 적어도 하나가 초기와 상이해지는 것을 저감시킬 수 있다. In such a case, the support member 220 prevents the first mask 230 from sagging toward the deposition source 160 , thereby reducing at least one of the position and shape of the first mask 230 from being different from the initial one. have.

이후 다른 표시 장치의 제조장치를 통하여 상기 중간층 상에 대향전극을 형성할 수 있다. 상기와 같이 중간층과 대향전극을 형성한 후 상기 대향전극 상에 봉지부재를 배치하여 표시 장치(20)를 제조할 수 있다.Thereafter, the counter electrode may be formed on the intermediate layer through another display device manufacturing apparatus. After forming the intermediate layer and the counter electrode as described above, the display device 20 may be manufactured by disposing an encapsulation member on the counter electrode.

따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 정확한 패턴의 중간층 중 적어도 하나의 층을 형성하거나 정확한 영역에 대향전극을 형성하는 것이 가능하다. Accordingly, in the apparatus 100 for manufacturing a display device, it is possible to form at least one of the intermediate layers having an accurate pattern or to form the counter electrode in an accurate region.

표시 장치의 제조장치(100)는 제2개구부(222-1)와 제3개구부(231-1)의 형상을 정확하게 유지함으로써 정확한 패턴으로 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 증착시키는 것이 가능하다.The display device manufacturing apparatus 100 accurately maintains the shapes of the second opening 222-1 and the third opening 231-1, so that the deposition material can be deposited on the display substrate D in an accurate pattern.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 마스크 프레임의 일부를 보여주는 사시도이다. 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ′선을 따라 취한 단면도이다. 도 5는 도 2에 도시된 지지부재의 일부를 보여주는 평면도이다. 도 6은 도 2에 도시된 제1마스크의 일부를 보여주는 평면도이다.2 is a perspective view illustrating a mask assembly according to an embodiment of the present invention. 3 is a perspective view illustrating a part of the mask frame illustrated in FIG. 2 . 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV′ of FIG. 3 . FIG. 5 is a plan view showing a part of the support member shown in FIG. 2 . FIG. 6 is a plan view illustrating a part of the first mask shown in FIG. 2 .

도 2 내지 도 6을 참고하면, 마스크 조립체(200)는 마스크 프레임(210), 지지부재(220), 제1마스크(230) 및 제2마스크(240)를 포함할 수 있다. 2 to 6 , the mask assembly 200 may include a mask frame 210 , a support member 220 , a first mask 230 , and a second mask 240 .

마스크 프레임(210)은 서로 연결되는 복수개의 프레임을 포함할 수 있다. 복수개의 프레임은 사각형 형태를 구성할 수 있다. 이러한 경우 마스크 프레임(210)은 중앙 부분에 하나의 제1개구부(211-1)를 포함할 수 있다. 이때, 제1개구부(211-1)는 사각형 형태일 수 있다. 예를 들면, 제1개구부(211-1)는 직사각형 또는 정사각형 형태일 수 있다. 이때, 마스크 프레임(210)은 장변과 단변을 가질 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(210)의 장변은 도 2의 X방향으로 배치될 수 있으며, 마스크 프레임(210)의 단변은 도 2의 Y방향으로 배치될 수 있다. The mask frame 210 may include a plurality of frames connected to each other. The plurality of frames may have a rectangular shape. In this case, the mask frame 210 may include one first opening 211-1 in the central portion. In this case, the first opening 211-1 may have a rectangular shape. For example, the first opening 211-1 may have a rectangular or square shape. In this case, the mask frame 210 may have a long side and a short side. For example, the long side of the mask frame 210 may be disposed in the X direction of FIG. 2 , and the short side of the mask frame 210 may be disposed in the Y direction of FIG. 2 .

상기와 같은 마스크 프레임(210)은 사각형 형태의 프레임바디부(211), 프레임바디부(211)의 외면에 배치되는 돌출부(212), 돌출부(212)에 단차지게 형성되는 제1안착면(213)과 제2안착면(214)을 포함할 수 있다. 이러한 경우 돌출부(212)는 프레임바디부(211)의 외면으로부터 돌출될 수 있다. 제1안착면(213)과 제2안착면(214)은 평평하게 배치될 수 있으며, 제1안착면(213)에는 지지부재(220)가 안착하고 제2안착면(214)에는 제1마스크(230)가 안착할 수 있다. 상기와 같은 제1안착면(213)과 제2안착면(214)에는 각각 제1슬롯(213-1)과 제2슬롯(214-1)이 배치될 수 있다. 이때, 제1슬롯(213-1)은 제1안착면(213)의 가장 안쪽에 배치될 수 있으며, 제2슬롯(214-1)은 제2안착면(214)의 가장 안쪽에 배치될 수 있다. The mask frame 210 as described above has a rectangular frame body part 211 , a protrusion 212 disposed on the outer surface of the frame body part 211 , and a first seating surface 213 formed to be stepped on the protrusion 212 . ) and a second seating surface 214 may be included. In this case, the protrusion 212 may protrude from the outer surface of the frame body 211 . The first seating surface 213 and the second seating surface 214 may be arranged flat, the support member 220 is seated on the first seating surface 213 , and the first mask is located on the second seating surface 214 . (230) can be seated. A first slot 213-1 and a second slot 214-1 may be disposed on the first seating surface 213 and the second seating surface 214 as described above, respectively. In this case, the first slot 213 - 1 may be disposed on the innermost side of the first seating surface 213 , and the second slot 214 - 1 may be disposed on the innermost side of the second seating surface 214 . have.

지지부재(220)는 제1개구부(211-1)에 배치되어 제1개구부(211-1)를 복수개의 제2개구부(222-1)로 구분할 수 있다. The support member 220 may be disposed in the first opening 211-1 to divide the first opening 211-1 into a plurality of second openings 222-1.

예를 들면, 지지부재(220)는 내부에 서로 상이한 방향인 제1방향 및 제2방향으로 배치되도록 격자를 구비할 수 있다. 지지부재(220)는 외곽을 형성하는 지지부재바디부(221), 지지부재바디부(221) 내부의 개구영역에 제1방향(예를 들면, 도 2의 Y축 방향) 및 제2방향(예를 들면, 도 2의 X축 방향)으로 배열되는 격자부재(222)를 포함할 수 있다. 이러한 격자부재(222)는 제1개구부(211-1)를 복수개의 제2개구부(222-1)로 구분할 수 있다. 이때, 제2개구부(222-1)의 크기는 제1개구부(211-1)의 크기보다 작을 수 있다. 상기와 같은 지지부재(220)는 지지부재바디부(221)와 연결되는 지지부재더미부(225)를 포함할 수 있다. 지지부재더미부(225)는 지지부재(220)를 마스크 프레임(210)에 부착한 후 제거될 수 있다. 또한, 지지부재(220)는 지지부재바디부(221)와 연결되는 지지부재용접부(224)를 포함할 수 있다. 지지부재용접부(224)는 제1안착면(213)에 안착하며, 용접을 통하여 지지부재바디부(221)에 고정될 수 있다. 이때, 지지부재용접부(224)는 단차지게 형성될 수 있다. 예를 들면, 지지부재용접부(224)는 제1안착면(213)과 제2안착면(214)에 각각 안착하도록 절곡될 수 있다. 이러한 경우 지지부재용접부(224)는 제1안착면(213)에 안착할 뿐만 아니라 제2안착면(214)에서 안착될 수 있다. 이때, 지지부재바디부(221)와 제1더미개구부(223-1)는 서로 다른 평면 상에 배치될 수 있다. 상기와 같은 지지부재용접부(224)와 지지부재더미부(225) 사이에는 마스크 프레임(210)의 돌출부(212)와 간섭이 발생하지 않도록 제1더미개구부(223-1)가 형성될 수 있다. 이러한 제1더미개구부(223-1)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제1더미개구부(223-1) 사이에는 지지부재용접부(224)와 지지부재더미부(225)를 서로 연결하는 제1연결부재(223)가 배치될 수 있다. 이러한 경우 돌출부(212)에는 제1연결부재(223)가 안착하는 안착홈(215)이 배치됨으로써 제1연결부재(223)가 돌출부(212)와 간섭이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기와 같은 지지부재더미부(225)와 지지부재용접부(224)의 일부는 지지부재용접부(224)를 마스크 프레임(210)에 고정시킨 후 제거될 수 있다. For example, the support member 220 may include a grid to be disposed in the first direction and the second direction, which are different directions from each other therein. The support member 220 includes a support member body portion 221 forming an outer periphery, and a first direction (eg, the Y-axis direction in FIG. 2 ) and a second direction ( For example, it may include a grid member 222 arranged in the X-axis direction of FIG. 2 . The grid member 222 may divide the first opening 211-1 into a plurality of second openings 222-1. In this case, the size of the second opening 222-1 may be smaller than the size of the first opening 211-1. The support member 220 as described above may include a support member dummy portion 225 connected to the support member body portion 221 . The support member dummy part 225 may be removed after the support member 220 is attached to the mask frame 210 . In addition, the support member 220 may include a support member welding portion 224 connected to the support member body portion 221 . The support member welding part 224 is seated on the first seating surface 213 and may be fixed to the support member body part 221 through welding. At this time, the support member welding portion 224 may be formed to be stepped. For example, the support member welding part 224 may be bent to be seated on the first seating surface 213 and the second seating surface 214 , respectively. In this case, the welding support member 224 may be seated on the second seating surface 214 as well as on the first seating surface 213 . In this case, the support member body part 221 and the first dummy opening 223 - 1 may be disposed on different planes. A first dummy opening 223 - 1 may be formed between the support member welding part 224 and the support member dummy part 225 to prevent interference with the protruding part 212 of the mask frame 210 from occurring as described above. A plurality of such first dummy openings 223 - 1 may be provided, and between the plurality of first dummy openings 223 - 1 , the first dummy opening 224 and the supporting member dummy 225 are connected to each other. A connection member 223 may be disposed. In this case, a seating groove 215 in which the first connecting member 223 is seated is disposed in the protrusion 212 to prevent the first connecting member 223 from interfering with the protrusion 212 . A part of the support member dummy part 225 and the support member welding part 224 as described above may be removed after fixing the support member welding part 224 to the mask frame 210 .

상기와 같은 지지부재(220)는 제1마스크(230)보다 자화율이 더 클 수 있다. 이때, 지지부재(220)는 자성체를 포함할 수 있으며, 제1마스크(230)는 자성체를 포함하지 않을 수 있다. 특히 지지부재(220)는 인바 소재의 박판으로 형성될 수 있으며, 제1마스크는 오스테나이트계 스테인리스강(SUS, Austenitic Stainless Steels) 소재의 박판으로 형성될 수 있다. The support member 220 as described above may have a higher magnetic susceptibility than the first mask 230 . In this case, the support member 220 may include a magnetic material, and the first mask 230 may not include a magnetic material. In particular, the support member 220 may be formed of a thin plate made of an Invar material, and the first mask may be formed of a thin plate made of an austenitic stainless steel (SUS) material.

제1마스크(230)는 지지부재(220) 상에 배치될 수 있다. 이때, 제1마스크(230)는 하나 또는 복수개 구비될 수 있다. 일 실시예로써 제1마스크(230)가 하나 구비되는 경우 제1마스크(230)는 제1개구부(211-1) 전체를 차폐할 수 있다. 제1마스크(230)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 제1마스크(230)는 서로 인접하도록 배치될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 제1마스크(230)가 제1개구부(211-1)를 완전히 차폐하도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first mask 230 may be disposed on the support member 220 . In this case, one or a plurality of first masks 230 may be provided. As an embodiment, when one first mask 230 is provided, the first mask 230 may shield the entire first opening 211-1. When a plurality of first masks 230 are provided, the plurality of first masks 230 may be disposed adjacent to each other. However, hereinafter, for convenience of description, a case in which one first mask 230 is disposed to completely shield the first opening 211-1 will be described in detail.

제1마스크(230)는 지지부재(220) 상에 배치될 수 있다. 상기와 같은 제1마스크(230)는 제3개구부(231-1)가 배치된 제1마스크바디부(231), 제1마스크바디부(231)와 연결되는 제1마스크용접부(234), 제1마스크용접부(234)와 연결된 제1마스크더미부(235)를 포함할 수 있다. 제3개구부(231-1)는 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 이때, 제3개구부(231-1)는 제2개구부(222-1)에 대응되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 평면 상에서 볼 때 제3개구부(231-1)는 제2개구부(222-1)의 내부에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제3개구부(231-1)의 면적은 제2개구부(222-1)의 면적보다 작을 수 있다. 제3개구부(231-1)의 형상은 다양할 수 있다. 예를 들면, 제3개구부(231-1)의 형상은 다각형, 원형 또는 타원형 중 하나일 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제3개구부(231-1)의 형상은 원형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first mask 230 may be disposed on the support member 220 . The first mask 230 as described above includes a first mask body portion 231 having a third opening 231-1 disposed thereon, a first mask welding portion 234 connected to the first mask body portion 231, and a first It may include a first mask dummy part 235 connected to the first mask welding part 234 . At least one third opening 231-1 may be provided. In this case, the third opening 231-1 may be disposed to correspond to the second opening 222-1. For example, when viewed in a plan view, the third opening 231-1 may be disposed inside the second opening 222-1. In this case, the area of the third opening 231-1 may be smaller than the area of the second opening 222-1. The shape of the third opening 231-1 may vary. For example, the shape of the third opening 231-1 may be one of a polygonal shape, a circular shape, and an elliptical shape. However, hereinafter, for convenience of description, the shape of the third opening 231-1 will be described in detail focusing on a circular shape.

제1마스크용접부(234)는 지지부재용접부(224)와 유사하게 단차지게 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 제1마스크용접부(234)는 평평한 플레이트 형태로 형성되는 것도 가능하다. The first mask welding portion 234 may be formed to have a step similar to the support member welding portion 224 . As another embodiment, the first mask welding portion 234 may be formed in a flat plate shape.

제1마스크더미부(235)는 제2더미개구부(233-1)를 포함할 수 있다. 이러한 경우 제2더미개구부(233-1)는 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 제2더미개구부(233-1)는 서로 이격되도록 배치될 수 있고, 서로 인접하는 제2더미개구부(233-1) 사이에는 제2연결부재(233)가 배치될 수 있다. 이러한 제2연결부재(233)는 제1마스크용접부(234)와 제1마스크더미부(235)를 서로 연결할 수 있다. 또한, 제1마스크(230)가 마스크 프레임(210)에 배치될 때, 제2더미개구부(233-1)에는 돌출부(212)가 삽입됨으로써 제1마스크(230)와 돌출부(212) 사이의 간섭을 최소화할 수 있다. 특히 상기와 같은 경우 제1마스크(230)를 지지부재(220) 상에 배치하고, 용접으로 제1마스크(230)를 지지부재(220) 및 마스크 프레임(210)에 고정시킨 후 제1마스크용접부(234)의 일부와 제1마스크더미부(235)를 제거할 수 있다. The first mask dummy part 235 may include a second dummy opening 233 - 1 . In this case, a plurality of second dummy openings 233 - 1 may be provided, the plurality of second dummy openings 233 - 1 may be disposed to be spaced apart from each other, and second dummy openings 233 - 1 adjacent to each other may be provided. A second connecting member 233 may be disposed therebetween. The second connecting member 233 may connect the first mask welding part 234 and the first mask dummy part 235 to each other. In addition, when the first mask 230 is disposed on the mask frame 210 , the protrusion 212 is inserted into the second dummy opening 233 - 1 , thereby interfering between the first mask 230 and the protrusion 212 . can be minimized. In particular, in the above case, the first mask 230 is disposed on the support member 220 , and the first mask 230 is fixed to the support member 220 and the mask frame 210 by welding, and then the first mask welding part A portion of the 234 and the first mask dummy 235 may be removed.

제2마스크(240)는 마스크 프레임(210)의 제2안착면(214)에 배치될 수 있다. 이때, 제2마스크(240)는 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 이러한 경우 제2마스크(240)가 복수개 구비되는 경우 복수개의 제2마스크(240)는 서로 인접하도록 배열될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제2마스크(240)는 제2방향을 따라 서로 인접하도록 배열될 수 있다. 이때, 각 제2마스크(240)의 길이 방향은 제1방향과 동일하거나 평행할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2마스크(240)는 복수개 구비되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The second mask 240 may be disposed on the second seating surface 214 of the mask frame 210 . In this case, at least one second mask 240 may be provided. In this case, when a plurality of second masks 240 are provided, the plurality of second masks 240 may be arranged adjacent to each other. For example, the plurality of second masks 240 may be arranged to be adjacent to each other in the second direction. In this case, the longitudinal direction of each second mask 240 may be the same as or parallel to the first direction. Hereinafter, for convenience of description, a case in which a plurality of second masks 240 are provided will be described in detail.

상기와 같은 각 제2마스크(240)는 제1마스크(230)의 적어도 일부를 차폐하도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 각 제2마스크(240)는 제1방향으로 일렬로 배열되는 제3개구부(231-1)를 모두 차폐하도록 배치될 수 있다. 각 제2마스크(240)의 표면에는 복수개의 제4개구부(241)가 배치될 수 있다. 이때, 복수개의 제4개구부(241)는 각 제2마스크(240)의 표면의 대부분에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 복수개의 제4개구부(241) 중 일부가 제3개구부(231-1)와 대응되도록 배치되는 것도 가능하다. 즉, 평면 상에서 볼 때 제3개구부(231-1)와 중첩되는 제2마스크(240) 영역에만 제4개구부(241)가 배치될 수 있다. Each of the second masks 240 as described above may be disposed to shield at least a portion of the first mask 230 . In this case, each of the second masks 240 may be disposed to shield all of the third openings 231-1 arranged in a line in the first direction. A plurality of fourth openings 241 may be disposed on the surface of each second mask 240 . In this case, the plurality of fourth openings 241 may be disposed to be spaced apart from each other on most surfaces of the second masks 240 . As another embodiment, a portion of the plurality of fourth openings 241 may be disposed to correspond to the third opening 231-1. That is, the fourth opening 241 may be disposed only in the area of the second mask 240 overlapping the third opening 231-1 when viewed in a plan view.

제2마스크(240)는 인장력이 가해진 상태로 마스크 프레임(210)에 고정될 수 있다. 이때, 제2마스크(240)는 스틱(stick) 형태로 형성될 수 있다. 제2마스크(240)는 마스크 프레임(210)에 인장된 상태로 고정될 수 있다. 예를 들면, 제2마스크(240)의 양단 각각은 제2안착면(214)에 안착하여 용접으로 고정될 수 있다. The second mask 240 may be fixed to the mask frame 210 in a state in which a tensile force is applied. In this case, the second mask 240 may be formed in a stick shape. The second mask 240 may be fixed to the mask frame 210 in a tensioned state. For example, both ends of the second mask 240 may be seated on the second seating surface 214 and fixed by welding.

따라서 마스크 조립체(200)는 제조 공정 시 각 개구부의 위치가 가변하는 것을 저감시킬 수 있다. Accordingly, the mask assembly 200 may reduce a change in the position of each opening during the manufacturing process.

도 7 및 도 8은 도 2에 도시된 마스크 조립체의 제조공정을 보여주는 부분사시도이다. 도 9 및 도 10은 도 2에 도시된 마스크 조립체의 제조공정을 보여주는 평면도이다.7 and 8 are partial perspective views illustrating a manufacturing process of the mask assembly shown in FIG. 2 . 9 and 10 are plan views illustrating a manufacturing process of the mask assembly shown in FIG. 2 .

도 7 내지 도 10을 참고하면, 마스크 프레임(210), 지지부재(220), 제1마스크(230) 및 제2마스크(240)를 제조하여 준비할 수 있다. 이때, 지지부재(220) 및 제1마스크(230)는 상기 도 5 및 도 6에 도시된 형태와 동일한 형태로 제조될 수 있다. 7 to 10 , the mask frame 210 , the support member 220 , the first mask 230 , and the second mask 240 may be manufactured and prepared. In this case, the support member 220 and the first mask 230 may be manufactured in the same shape as those shown in FIGS. 5 and 6 .

도 7을 참고하면, 마스크 프레임(210)에 지지부재(220)를 배치할 수 있다. 이때, 지지부재(220)는 인장된 상태로 마스크 프레임(210)에 배치할 수 있다. 예를 들면, 지지부재(220)를 돌출부(212)의 방향으로 인장시킬 수 있다. 지지부재(220)는 돌출부(212)가 삽입될 수 있다. 이러한 경우 지지부재(220)의 지지부재용접부(224)는 제1안착면(213)에 안착되고, 지지부재더미부(225)는 돌출부(212)의 외곽으로 돌출될 수 있다. 또한, 돌출부(212)는 제1더미개구부(223-1)에 삽입될 수 있다. Referring to FIG. 7 , the support member 220 may be disposed on the mask frame 210 . In this case, the support member 220 may be disposed on the mask frame 210 in a tensioned state. For example, the support member 220 may be tensioned in the direction of the protrusion 212 . The support member 220 may have a protrusion 212 inserted thereinto. In this case, the support member welding part 224 of the support member 220 may be seated on the first seating surface 213 , and the support member dummy part 225 may protrude to the outside of the protrusion part 212 . Also, the protrusion 212 may be inserted into the first dummy opening 223 - 1 .

도 8을 참고하면, 상기와 같은 지지부재(220)를 마스크 프레임(210) 상에 배치한 후 제1마스크(230)를 인장시킨 상태에서 지지부재(220) 상에 배치할 수 있다. 상기와 같은 경우 제2개구부(222-1) 상에는 제3개구부(231-1)가 배치될 수 있다. 제1마스크(230)가 배치되는 경우 제2더미개구부(233-1)에는 돌출부(212)가 삽입될 수 있다. 또한, 제1마스크더미부(235)는 지지부재더미부(225) 상에 배치될 수 있으며, 제2연결부재(233)는 제1연결부재(223) 상에 배치될 수 있다. Referring to FIG. 8 , after the support member 220 as described above is disposed on the mask frame 210 , the first mask 230 may be disposed on the support member 220 in a tensioned state. In this case, the third opening 231-1 may be disposed on the second opening 222-1. When the first mask 230 is disposed, the protrusion 212 may be inserted into the second dummy opening 233 - 1 . Also, the first mask dummy part 235 may be disposed on the support member dummy part 225 , and the second connection member 233 may be disposed on the first connection member 223 .

상기와 같은 지지부재(220)와 제1마스크(230)를 제1안착면(213)에 고정시킬 수 있다. 이때, 지지부재(220)와 제1마스크(230)를 제1안착면(213)에 고정시키는 순서는 다양할 수 있다. 예를 들면, 일 실시예로써 지지부재(220)를 제1안착면(213)에 고정시킨 후 제1마스크(230)를 지지부재(220) 상에 고정시킬 수 있다. 이때, 지지부재(220)를 인장시켜 마스크 프레임(210)에 고정시킨 후 다시 제1마스크(230)를 인장시켜 지지부재(220) 상에 배치하고, 지지부재(220)에 제1마스크(230)를 고정시킬 수 있다. 다른 실시예로써 지지부재(220)를 마스크 프레임(210) 상에 배치하고, 제1마스크(230)를 지지부재(220) 상에 배치한 후 지지부재(220)와 제1마스크(230)를 동시에 제1안착면(213)에 고정시키는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 지지부재(220)와 제1마스크(230)를 제1안착면(213)에 동시에 고정시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The support member 220 and the first mask 230 as described above may be fixed to the first seating surface 213 . In this case, the order of fixing the support member 220 and the first mask 230 to the first seating surface 213 may vary. For example, according to an embodiment, after fixing the support member 220 to the first seating surface 213 , the first mask 230 may be fixed on the support member 220 . At this time, after tensioning the support member 220 and fixing it to the mask frame 210 , the first mask 230 is tensioned again and placed on the support member 220 , and the first mask 230 is placed on the support member 220 . ) can be fixed. In another embodiment, the support member 220 is disposed on the mask frame 210 , the first mask 230 is disposed on the support member 220 , and then the support member 220 and the first mask 230 are disposed. It is also possible to fix it to the first seating surface 213 at the same time. Hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the support member 220 and the first mask 230 are simultaneously fixed to the first seating surface 213 will be described in detail.

상기와 같이 지지부재(220)와 제1마스크(230)를 마스크 프레임(210)에 고정시킨 후 지지부재(220)의 일부와 제1마스크(230)의 일부를 제거할 수 있다. 구체적으로 지지부재(220)의 지지부재용접부(224)의 일부, 지지부재(220)의 지지부재더미부(225), 제1마스크(230)의 제1마스크용접부(234)의 일부 및 제1마스크(230)의 제1마스크더미부(235)를 제거할 수 있다. 이러한 경우 지지부재(220)의 일부 및 제1마스크(230)의 일부를 제거하기 위해서는 레이저를 사용하거나 칼날 등을 사용할 수 있다. 이때, 제1슬롯(213-1)과 대응되는 제1절단선(CL1)을 따라 레이저를 제1마스크(230) 및 지지부재(220)에 조사하거나 칼날을 통하여 제1마스크(230) 및 지지부재(220)를 제거할 수 있다. After fixing the support member 220 and the first mask 230 to the mask frame 210 as described above, a part of the support member 220 and a part of the first mask 230 may be removed. Specifically, a part of the support member welding part 224 of the support member 220, the support member dummy part 225 of the support member 220, a part of the first mask welding part 234 of the first mask 230, and the first The first mask dummy 235 of the mask 230 may be removed. In this case, in order to remove a part of the support member 220 and a part of the first mask 230, a laser or a knife may be used. At this time, the laser is irradiated to the first mask 230 and the support member 220 along the first cutting line CL1 corresponding to the first slot 213 - 1 or the first mask 230 and support through a blade. The member 220 may be removed.

도 9를 참고하면, 제1마스크(230)와 지지부재(220)의 고정이 완료된 후 제2마스크(240)를 마스크 프레임(210) 상에 인장시켜 배치할 수 있다. 이때, 제2마스크(240)의 양단은 돌출부(212) 상에 배치될 수 있다. Referring to FIG. 9 , after fixing of the first mask 230 and the support member 220 is completed, the second mask 240 may be tensioned and disposed on the mask frame 210 . In this case, both ends of the second mask 240 may be disposed on the protrusion 212 .

상기와 같이 제2마스크(240)가 배치되면, 제2안착면(214)의 상면에 배치된 제2마스크(240) 부분을 제2안착면(214)에 고정시킬 수 있다. 이때, 제2마스크(240)는 용접을 통하여 제2안착면(214)에 배치될 수 있다. When the second mask 240 is disposed as described above, the portion of the second mask 240 disposed on the upper surface of the second seating surface 214 may be fixed to the second seating surface 214 . In this case, the second mask 240 may be disposed on the second seating surface 214 through welding.

상기와 같이 제2마스크(240)가 제2안착면(214)에 고정되면, 제2마스크(240)의 양단의 일부를 제거할 수 있다. 예를 들면, 제2슬롯(214-1)에 대응되는 제2절단선(CL2)을 따라 제2마스크(240)의 양단부분을 절단함으로써 제2마스크(240)의 양단을 제거할 수 있다. 이때, 제2마스크(240)의 양단을 제거하는 방법은 상기에서 설명한 것과 같이 레이저 또는 칼날 등을 사용할 수 있다. When the second mask 240 is fixed to the second seating surface 214 as described above, a portion of both ends of the second mask 240 may be removed. For example, both ends of the second mask 240 may be removed by cutting both ends of the second mask 240 along the second cutting line CL2 corresponding to the second slot 214 - 1 . In this case, the method of removing both ends of the second mask 240 may use a laser or a blade as described above.

상기와 같은 경우 지지부재(220)는 상기에서 설명한 자기력생성부(미도시)가 작동 시 제1마스크(230) 및 제2마스크(240)의 쳐짐을 방지할 수 있다. 뿐만 아니라 지지부재(220)는 마스크 프레임(210)의 변형을 최소화할 수 있다. In such a case, the support member 220 may prevent the first mask 230 and the second mask 240 from sagging when the magnetic force generating unit (not shown) described above operates. In addition, the support member 220 may minimize deformation of the mask frame 210 .

따라서 마스크 조립체의 제조방법은 정밀한 패턴을 증착할 수 있는 마스크 조립체(200)를 제조하는 것이 가능하다. Accordingly, the mask assembly manufacturing method is capable of manufacturing the mask assembly 200 capable of depositing a precise pattern.

도 11은 본 발명의 일 실시예 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 12는 도 11의 A-A′선을 따라 취한 단면도이다.11 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment. 12 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 11 .

도 11 및 도 12를 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 비표시 영역(NDA)에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)은 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 표시 영역(DA)은 다각형, 원형 또는 타원형 중 하나의 형태일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 영역(DA)은 원형인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 11 and 12 , in the display device 20 , a display area DA and a non-display area NDA outside the display area DA may be defined on the substrate 21 . A light emitting part may be disposed in the display area DA, and a power line (not shown) may be disposed in the non-display area NDA. In addition, the pad part C may be disposed in the non-display area. In this case, the display area DA may be formed in various shapes. For example, the display area DA may have one of a polygonal shape, a circular shape, and an elliptical shape. Hereinafter, for convenience of description, a case in which the display area DA is circular will be described in detail.

표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D) 및 봉지부재(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28A)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28A) 및 중간층(28B) 중 적어도 하나의 층을 포함하는 것도 가능하다. 일 실시예로써 상기 봉지부재는 기판(21)을 마주보도록 배치되는 봉지기판(미도시)와 기판(21)과 상기 봉지기판 사이에 배치되는 실링부재(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 기판(21) 상에 배치되는 유기 발광 소자(28,organic light-emitting diode)는 상기 실링부재와 상기 봉지기판으로 실링될 수 있다. 다른 실시예로써 상기 봉지부재는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 디스플레이 기판(D)이 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28A)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 또한, 설명의 편의를 위하여 상기 봉지부재가 박막 봉지층(E)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The display device 20 may include a display substrate D and an encapsulation member (not shown). In this case, the display substrate D may include a substrate 21 , a thin film transistor TFT, a passivation layer 27 , and a pixel electrode 28A. In another embodiment, the display substrate D may include at least one of a substrate 21 , a thin film transistor TFT, a passivation layer 27 , a pixel electrode 28A, and an intermediate layer 28B. In an embodiment, the encapsulation member may include an encapsulation substrate (not shown) disposed to face the substrate 21 and a sealing member (not shown) disposed between the substrate 21 and the encapsulation substrate. In this case, an organic light-emitting diode (OLED) 28 disposed on the substrate 21 may be sealed by the sealing member and the encapsulation substrate. In another embodiment, the encapsulation member may include a thin film encapsulation layer (E). Hereinafter, for convenience of description, a case in which the display substrate D includes a substrate 21 , a thin film transistor TFT, a passivation layer 27 , and a pixel electrode 28A will be described in detail. decide to do In addition, for convenience of description, a case in which the encapsulation member includes the thin film encapsulation layer (E) will be described in detail.

기판(21)은 글래스 또는 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지는 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethyelenen napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(21)은 플렉서블, 롤러블 또는 벤더블 특성을 가질 수 있다. 기판(21)은 전술한 고분자 수지를 포함하는 층 및 무기층(미도시)을 포함하는 다층 구조일 수 있다.The substrate 21 may include glass or a polymer resin. Polymer resin is polyethersulfone, polyacrylate, polyetherimide, polyethylene naphthalate (polyethyelenen napthalate), polyethylene terephthalate (polyethyeleneterepthalate), polyphenylene sulfide (polyphenylene sulfide), polya It may include a polymer resin such as polyarylate, polyimide, polycarbonate, or cellulose acetate propionate. The substrate 21 including the polymer resin may have flexible, rollable, or bendable properties. The substrate 21 may have a multilayer structure including a layer including the above-described polymer resin and an inorganic layer (not shown).

기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.A thin film transistor TFT is formed on the substrate 21 , a passivation film 27 is formed to cover the thin film transistor TFT, and an organic light emitting device 28 may be formed on the passivation film 27 . have.

기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.A buffer layer 22 made of an organic compound and/or an inorganic compound is further formed on the upper surface of the substrate 21 , and may be formed of SiO x (x≥1) or SiN x (x≥1).

이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23A)과 드레인 영역(23C)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23B)을 더 포함한다. After the active layer 23 arranged in a predetermined pattern is formed on the buffer layer 22 , the active layer 23 is buried by the gate insulating layer 24 . The active layer 23 has a source region 23A and a drain region 23C, and further includes a channel region 23B therebetween.

이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The active layer 23 may be formed to contain various materials. For example, the active layer 23 may contain an inorganic semiconductor material such as amorphous silicon or crystalline silicon. As another example, the active layer 23 may contain an oxide semiconductor. As another example, the active layer 23 may contain an organic semiconductor material. However, hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the active layer 23 is formed of amorphous silicon will be described in detail.

이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23A) 및 드레인 영역(23C)이 불순물에 의해 도핑 된다. The active layer 23 may be formed by forming an amorphous silicon film on the buffer layer 22 , crystallizing it to form a polycrystalline silicon film, and patterning the polycrystalline silicon film. In the active layer 23, a source region 23A and a drain region 23C of the active layer 23 are doped with impurities, depending on the type of TFT, such as a driving TFT (not shown) and a switching TFT (not shown).

게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다. A gate electrode 25 corresponding to the active layer 23 and an interlayer insulating layer 26 filling the gate electrode 25 are formed on the upper surface of the gate insulating layer 24 .

그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27A) 및 드레인 전극(27B)을 각각 소스 영역(23A) 및 드레인 영역(23C)에 콘택되도록 형성한다. Then, after forming the contact hole H1 in the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 24, the source electrode 27A and the drain electrode 27B are respectively formed on the interlayer insulating layer 26 in the source region ( 23A) and the drain region 23C.

이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28A)이 형성된다. 이 화소 전극(28A)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27B)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.A passivation layer 27 is formed on the thin film transistor formed in this way, and a pixel electrode 28A of the organic light emitting device 28 (OLED) is formed on the passivation layer 27 . This pixel electrode 28A is in contact with the drain electrode 27B of the TFT by a via hole H2 formed in the passivation film 27 . The passivation film 27 may be formed of an inorganic material and/or an organic material, a single layer or two or more layers. It may be formed so that the curvature goes along the curvature. And, the passivation film 27 is preferably formed of a transparent insulator so as to achieve a resonance effect.

패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28A)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28A) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28A)이 노출되도록 개구된다.After the pixel electrode 28A is formed on the passivation film 27, a pixel defining film 29 is formed of an organic material and/or an inorganic material to cover the pixel electrode 28A and the passivation film 27, and the pixel The electrode 28A is opened so as to be exposed.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(28A) 상에 중간층(28B) 및 대향 전극(28C)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향 전극(28C)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28C)은 중간층(28B), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28C)이 중간층(28B), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. Then, an intermediate layer 28B and a counter electrode 28C are formed on at least the pixel electrode 28A. As another embodiment, the counter electrode 28C may be formed on the entire surface of the display substrate D. As shown in FIG. In this case, the counter electrode 28C may be formed on the intermediate layer 28B and the pixel defining layer 29 . Hereinafter, for convenience of description, the case in which the counter electrode 28C is formed on the intermediate layer 28B and the pixel defining layer 29 will be described in detail.

화소 전극(28A)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28C)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28A)과 대향 전극(28C)의 극성은 반대로 되어도 무방하다. The pixel electrode 28A functions as an anode electrode and the counter electrode 28C functions as a cathode electrode. Of course, the polarities of the pixel electrode 28A and the counter electrode 28C may be reversed.

화소 전극(28A)과 대향 전극(28C)은 상기 중간층(28B)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28B)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.The pixel electrode 28A and the counter electrode 28C are insulated from each other by the intermediate layer 28B, and voltages of different polarities are applied to the intermediate layer 28B so that light is emitted from the organic emission layer.

중간층(28B)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28B)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28B)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다. The intermediate layer 28B may include an organic emission layer. As another optional example, the intermediate layer 28B includes an organic emission layer, in addition to a hole injection layer (HIL), a hole transport layer, and an electron transport layer. and at least one of an electron injection layer. The present embodiment is not limited thereto, and the intermediate layer 28B may include an organic light emitting layer, and may further include various other functional layers (not shown).

상기와 같은 중간층(28B)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28B)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28B)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. A plurality of intermediate layers 28B as described above may be provided, and the plurality of intermediate layers 28B may form the display area DA. In this case, the plurality of intermediate layers 28B may be disposed to be spaced apart from each other in the display area DA.

한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다. 이러한 각 부화소는 각각 상기에서 설명한 화소 전극(28A), 중간층(28B) 및 대향 전극(28C)을 포함할 수 있다. Meanwhile, one unit pixel includes a plurality of sub-pixels, and the plurality of sub-pixels may emit light of various colors. For example, each of the plurality of sub-pixels may include a sub-pixel emitting red, green, and blue light, and may include a sub-pixel (not marked) emitting red, green, blue, and white light. Each of these sub-pixels may include the pixel electrode 28A, the intermediate layer 28B, and the counter electrode 28C described above, respectively.

상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치는 디스플레이 기판(D)에 중간층(28B) 중 적어도 하나의 층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다. 구체적으로 표시 장치의 제조장치(100)는 중간층(28B) 중 유기 발광층, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 주입층, 전자 수송층 및 기능층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다. The apparatus for manufacturing the display device described above may form at least one of at least one of the intermediate layers 28B on the display substrate D. As shown in FIG. In detail, the apparatus 100 for manufacturing a display device may form at least one of an organic light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, an electron transport layer, and a functional layer among the intermediate layer 28B.

한편, 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.Meanwhile, the thin film encapsulation layer (E) may include a plurality of inorganic layers or may include an inorganic layer and an organic layer.

박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.The organic layer of the thin film encapsulation layer (E) may include a polymer-based material. Polymer-based materials include polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyimide, polyethylene sulfonate, polyoxymethylene, polyarylate, hexamethyldisiloxane, acrylic resin (e.g., polymethyl methacrylate, polyacrylic acid, etc.) or any combination thereof.

박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 타탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 아연옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있다.The inorganic layer of the thin film encapsulation layer (E) may include at least one inorganic insulating material of aluminum oxide, titanium oxide, tantalum oxide, hafnium oxide, zinc oxide, silicon oxide, silicon nitride, and silicon oxynitride.

박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.The uppermost layer exposed to the outside of the thin film encapsulation layer (E) may be formed of an inorganic layer to prevent moisture permeation to the organic light emitting device.

박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다. The thin film encapsulation layer (E) may include at least one sandwich structure in which at least one organic layer is inserted between at least two inorganic layers. As another example, the thin film encapsulation layer (E) may include at least one sandwich structure in which at least one inorganic layer is inserted between at least two organic layers. As another example, the thin film encapsulation layer (E) may include a sandwich structure in which at least one organic layer is inserted between at least two inorganic layers and a sandwich structure in which at least one inorganic layer is inserted between at least two organic layers. .

박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(28,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다. The thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, and a second inorganic layer sequentially from an upper portion of the organic light emitting diode 28 (OLED).

다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(28,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, and a third inorganic layer sequentially from an upper portion of the organic light emitting diode 28 (OLED). have.

또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(28,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer (E) may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, the second organic layer, a third inorganic layer, It may include a third organic layer and a fourth inorganic layer.

유기 발광 소자(28,OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(28,OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.A metal halide layer including LiF may be additionally included between the organic light emitting diode 28 (OLED) and the first inorganic layer. The metal halide layer may prevent the organic light emitting diode 28 (OLED) from being damaged when the first inorganic layer is formed by sputtering.

제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다. The first organic layer may have a smaller area than the second inorganic layer, and the second organic layer may also have a smaller area than the third inorganic layer.

상기와 같이 무기층이 복수개 구비되는 경우 무기층은 표시 장치(20)의 가장자리 영역에서 서로 직접 접촉하도록 증착될 수 있으며, 유기층이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.When a plurality of inorganic layers are provided as described above, the inorganic layers may be deposited in direct contact with each other in the edge region of the display device 20 , and the organic layers may not be exposed to the outside.

따라서 표시 장치(20)는 정밀한 이미지를 구현할 수 있다.Accordingly, the display device 20 may implement a precise image.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As such, the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and variations of the embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

20: 표시 장치 212: 돌출부
100: 표시 장치의 제조장치 213: 제1안착면
110: 챔버 221: 지지부재바디부
120: 자기력생성부 222: 격자부재
131: 제1지지부 223: 제1연결부재
132: 제2지지부 224: 지지부재용접부
140: 비젼부 225: 지지부재더미부
160: 증착원 230: 제1마스크
170: 압력조절부 231: 제1마스크바디부
200: 마스크 조립체 233: 제2연결부재
210: 마스크 프레임 234: 제1마스크용접부
211: 프레임바디부 235: 제1마스크더미부
214: 제2안착면 240: 제2마스크
220: 지지부재20: display device 212: protrusion
100: device for manufacturing a display device 213: first seating surface
110: chamber 221: support member body part
120: magnetic force generating unit 222: lattice member
131: first support 223: first connection member
132: second support 224: support member welding part
140: vision part 225: support member dummy part
160: evaporation source 230: first mask
170: pressure control unit 231: first mask body unit
200: mask assembly 233: second connection member
210: mask frame 234: first mask welding
211: frame body portion 235: first mask dummy portion
214: second seating surface 240: second mask
220: support member

Claims (20)

제1안착면, 상기 제1안착면으로부터 단차지게 배치된 제2안착면 및 제1개구부를 포함한 마스크 프레임;
일부가 상기 제1안착면에 안착하며, 상기 제1개구부를 적어도 하나 이상의 제2개구부로 구획하는 지지부재;
상기 지지부재 상에 배치되며, 상기 제2개구부에 대응되도록 배치된 제3개구부를 포함한 제1마스크; 및
일부가 상기 제2안착면에 안착하며, 상기 제3개구부에 대응되도록 배열된 복수개의 제4개구부를 포함한 제2마스크;를 포함하는 마스크 조립체.a mask frame including a first seating surface, a second seating surface disposed to be stepped from the first seating surface, and a first opening;
a support member partially seated on the first seating surface and partitioning the first opening into at least one or more second openings;
a first mask disposed on the support member and including a third opening disposed to correspond to the second opening; and
and a second mask partially seated on the second seating surface and including a plurality of fourth openings arranged to correspond to the third openings. 제 1 항에 있어서,
상기 제2개구부와 상기 제3개구부의 형상은 서로 상이한 마스크 조립체. The method of claim 1,
The shape of the second opening and the third opening are different from each other. 제 1 항에 있어서,
상기 지지부재는 자성체인 마스크 조립체. The method of claim 1,
The support member is a magnetic body mask assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 지지부재는 상기 제1개구부를 복수개의 상기 제2개구부로 구획하도록 격자 형태인 마스크 조립체. The method of claim 1,
The support member has a lattice shape to partition the first opening into a plurality of the second openings. 제 1 항에 있어서,
상기 제1안착면 및 상기 제2안착면 중 적어도 하나는 슬롯을 포함한 마스크 조립체. The method of claim 1,
At least one of the first seating surface and the second seating surface includes a slot. 제 1 항에 있어서,
상기 마스크 프레임은,
상기 제1안착면 및 상기 제2안착면이 배치된 돌출부;를 포함하는 마스크 조립체. The method of claim 1,
The mask frame is
and a protrusion on which the first seating surface and the second seating surface are disposed. 제 1 항에 있어서,
평면 상에서 볼 때 상기 제2개구부는 상기 제3개구부의 내부에 배치된 마스크 조립체. The method of claim 1,
The mask assembly in which the second opening is disposed inside the third opening in plan view. 제1안착면, 상기 제1안착면으로부터 단차지게 배치된 제2안착면 및 제1개구부를 포함한 마스크 프레임에 상기 제1개구부를 적어도 하나 이상의 제2개구부로 구획하는 지지부재를 상기 제1안착면에 안착하도록 배치하는 단계;
상기 제2개구부에 대응되는 제3개구부를 포함한 제1마스크를 지지부재에 안착하도록 배치하는 단계;
상기 지지부재 및 상기 제1마스크를 상기 제1안착면에 고정시키는 단계; 및
제2마스크를 상기 제2안착면에 배치하여 고정시키는 단계;를 포함하는 마스크 조립체의 제조방법. A support member for partitioning the first opening into at least one or more second openings in a mask frame including a first seating surface, a second seating surface disposed to be stepped from the first seating surface, and a first opening, the first seating surface disposing to be seated on the;
disposing a first mask including a third opening corresponding to the second opening to be seated on a support member;
fixing the support member and the first mask to the first seating surface; and
A method of manufacturing a mask assembly including a; placing and fixing a second mask on the second seating surface. 제 8 항에 있어서,
상기 지지부재, 상기 제1마스크 및 상기 제2마스크 중 적어도 하나의 일부를 제거하는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법. 9. The method of claim 8,
and removing a portion of at least one of the support member, the first mask, and the second mask. 제 9 항에 있어서,
상기 지지부재, 상기 제1마스크 및 상기 제2마스크 중 적어도 하나는 상기 제1안착면 및 상기 제2안착면 중 적어도 하나에 배치된 슬롯을 기준으로 절단되는 마스크 조립체의 제조방법. 10. The method of claim 9,
At least one of the support member, the first mask, and the second mask is cut based on a slot disposed on at least one of the first seating surface and the second seating surface. 제 8 항에 있어서,
상기 지지부재, 상기 제1마스크 및 상기 제2마스크 중 적어도 하나를 인장시키는 단계;를 더 포함하는 마스크 조립체의 제조방법. 9. The method of claim 8,
and tensioning at least one of the support member, the first mask, and the second mask. 제 8 항에 있어서,
상기 지지부재는 자성체인 마스크 조립체의 제조방법. 9. The method of claim 8,
The method of manufacturing a mask assembly wherein the support member is a magnetic body. 제 8 항에 있어서,
평면 상에서 볼 때 상기 제2개구부는 상기 제3개구부의 내부에 배치된 마스크 조립체의 제조방법. 9. The method of claim 8,
In a plan view, the second opening is disposed inside the third opening. 마스크 조립체;
상기 마스크 조립체와 기판이 삽입되는 챔버; 및
상기 마스크 조립체와 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 기판으로 증착물질을 공급하는 증착원;을 포함하고,
상기 마스크 조립체는,
제1안착면, 상기 제1안착면으로부터 단차지게 배치된 제2안착면 및 제1개구부를 포함한 마스크 프레임;
일부가 상기 제1안착면에 안착하며, 상기 제1개구부를 적어도 하나 이상의 제2개구부로 구획하는 지지부재;
상기 지지부재 상에 배치되며, 상기 제2개구부에 대응되도록 배치된 제3개구부를 포함한 제1마스크; 및
일부가 상기 제2안착면에 안착하며, 상기 제3개구부에 대응되도록 배열된 복수개의 제4개구부를 포함한 제2마스크;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. mask assembly;
a chamber into which the mask assembly and the substrate are inserted; and
a deposition source disposed inside the chamber to face the mask assembly and supplying a deposition material to the substrate;
The mask assembly,
a mask frame including a first seating surface, a second seating surface disposed to be stepped from the first seating surface, and a first opening;
a support member partially seated on the first seating surface and partitioning the first opening into at least one or more second openings;
a first mask disposed on the support member and including a third opening disposed to correspond to the second opening; and
and a second mask partially seated on the second seating surface and including a plurality of fourth openings arranged to correspond to the third openings. 제 14 항에 있어서,
상기 제2개구부와 상기 제3개구부의 형상은 서로 상이한 표시 장치의 제조장치.15. The method of claim 14,
The shape of the second opening and the third opening are different from each other. 제 14 항에 있어서,
상기 지지부재는 자성체인 표시 장치의 제조장치.15. The method of claim 14,
The support member is a magnetic body. 제 14 항에 있어서,
상기 지지부재는 상기 제1개구부를 복수개의 상기 제2개구부로 구획하도록 격자 형태인 표시 장치의 제조장치.15. The method of claim 14,
The support member has a grid shape to partition the first opening into a plurality of the second openings. 제 14 항에 있어서,
상기 제1안착면 및 상기 제2안착면 중 적어도 하나는 슬롯을 포함한 표시 장치의 제조장치. 15. The method of claim 14,
At least one of the first seating surface and the second seating surface includes a slot. 제 14 항에 있어서,
상기 마스크 프레임은,
상기 제1안착면 및 상기 제2안착면이 배치된 돌출부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. 15. The method of claim 14,
The mask frame is
and a protrusion on which the first seating surface and the second seating surface are disposed. 제 14 항에 있어서,
평면 상에서 볼 때 상기 제2개구부는 상기 제3개구부의 내부에 배치된 표시 장치의 제조장치.15. The method of claim 14,
In a plan view, the second opening is disposed inside the third opening.
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KR102409797B1 (en) * 2021-12-20 2022-06-22 주식회사 핌스 Thin Film deposition Metal Mask having reformation resistance

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