KR20060080998A - 습식 전기집진을 이용한 폐 가스 정화처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 반도체 제조 공정이나 화학 공정 등에서 사용된 후 배출되는 배기 가스를 배출허용치 이하의 무해한 가스로 정화하는 폐 가스 정화처리장치에 있어서,상기 배기 가스를 연소시켜 발화성 가스와 폭발성 가스를 제거하는 버너부;상기 버너부에서 처리된 배기 가스 중 수용성의 유독성 가스를 물에 용해시키는 웨트 세정부 및1차적으로 버너부에서 연소하여 버닝하고, 2차적으로 버너부에서 미처리된 배기 가스를 웨트 세정부에서 물을 분사하여 세정함에도 불구하고 여전히 처리되지 않은 분진 입자를 대전시켜 포집하고 세정하는 전기 집진부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 습식 전기집진을 이용한 반도체용 폐 가스 처리장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 전기 집진부는 하부 일측에 웨트 세정부에서 처리된 배기 가스가 유입되는 유입구가 구비되며, 하부 내측에 배기 가스를 세정한 세정수가 드레인되는 집수부가 설치되며, 하부 타측에 집수부의 세정수가 유출되는 세정수 유출구가 구비되어 배기 가스의 유입과 세정수의 유출을 가능하게 하는 각종 배관이 연결된 하부 하우징과, 중앙에 배기가스를 대전시켜 포집하고 세정하는 중앙 하우징 및 상부에 정화처리된 가스를 배출하는 유출구가 구비되어 외부 덕트와 연결된 상부 하우징으로 구성됨을 특징으로 하는 습식 전기집진을 이용한 반도체용 폐 가스 처리장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 전기 집진부는 중앙에 상하로 길게 형성되고, 직류 전압에 의하여 방전되어 음(-)의 성질을 띠며, 분진 입자들을 음(-)으로 대전시키는 봉형상의 방전부;상기 방전부의 외둘레에 소정 간격으로 이격되어 설치되고, 양(+)의 성질을 띠며, 상기 방전부에 의하여 대전된 음(-)의 분진 입자들을 내벽에 포집하는 튜브 형상의 집진부;상기 집진부의 외벽과의 사이에 세정수를 수용할 수 있도록 소정의 수용공간이 형성되며, 상기 수용공간의 상부에는 포트가 구비되어 세정수가 상기 포트의 수위에 도달했을 상기 집진부의 내벽으로 오버 플로우되면서 분진 입자들을 세정하는 환형의 세정부를 포함하여 구성됨을 특징을 하는 습식 전기집진을 이용한 폐 가스 처리장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 세정부의 하부에는 상기 세정수를 공급하는 세정수 유입구가 더 구비되며, 상기 세정수 유입구는 펌프와 연결되어 분당 40 lpm의 속도로 세정수를공급함을 특징으로 하는 습식 전기집진을 이용한 폐 가스 처리장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 세정수는 물과 수산화나트륨이 혼합된 세정액임을 특징으로 하는 습식 전기집진을 이용한 폐 가스 처리장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 방전부 및 집진부의 하부에는 상기 방전부 및 집진부에 고착화되어 방전을 방해하는 스케일 기타 슬러지들을 분해하고 세정하는 친수성 콜로이드계 계면활성제를 분무하기 하기 위하여 에어노즐이 더 설치됨을 특징으로 하는 습식 전기집진을 이용한 폐 가스 처리장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 방전부 및 집진부는 동심원 상에 적어도 2개 이상 설치됨을 특징으로 하는 습식 전기집진을 이용한 폐 가스 처리장치.
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