KR20060080561A - 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법 - Google Patents

아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20060080561A
KR20060080561A KR1020060042662A KR20060042662A KR20060080561A KR 20060080561 A KR20060080561 A KR 20060080561A KR 1020060042662 A KR1020060042662 A KR 1020060042662A KR 20060042662 A KR20060042662 A KR 20060042662A KR 20060080561 A KR20060080561 A KR 20060080561A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
data
glass
glass substrate
stage
mobile camera
Prior art date
Application number
KR1020060042662A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100802596B1 (ko
Inventor
이경철
백승웅
최준호
김동욱
고승용
나종상
Original Assignee
(주)와이티에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)와이티에스 filed Critical (주)와이티에스
Priority to KR1020060042662A priority Critical patent/KR100802596B1/ko
Publication of KR20060080561A publication Critical patent/KR20060080561A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100802596B1 publication Critical patent/KR100802596B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67282—Marking devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
    • B41J2/44—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using single radiation source per colour, e.g. lighting beams or shutter arrangements
    • B41J2/442—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using single radiation source per colour, e.g. lighting beams or shutter arrangements using lasers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

본 발명은 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사방법에 관한 것으로, 레이저마킹 시스템 내에 마킹된 아이디의 위치를 검사하는 장치 및 방법을 추가하여 레이저마킹 시스템 내에서 아이디 마킹 후 곧바로 아이디 검사를 수행함으로써 검사에 소요되는 시간과 인력을 크게 줄일 수 있도록 함에 그 목적이 있다. 이를 위해 구성되는 본 발명의 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템은 포토 레지스터(PR)가 도포되어 레이저 마킹이 수행될 글라스 기판이 고정 설치되는 스테이지; 스테이지를 길이 방향(Y축 방향)으로 왕복운동시키는 Y축 이동수단; 스테이지 상부에 스테이지와 이격된 채로 설치되어 적어도 하나 이상의 레이저 소스로부터 발생된 레이저빔을 글라스 기판 상에 조사하여 글라스 아이디 데이터 마킹을 포함한 각종 레이저마킹을 수행하는 스캔헤드; 스테이지 상부에 스테이지와 이격된 채로 설치되어 글라스 기판을 촬영하는 이동 카메라; 이동 카메라를 테이지의 폭 방향(X축 방향)으로 왕복운동시키는 X축 이동수단; 글라스 기판의 에지 부위를 촬영하기 위해 에지 부위에 고정 설치되는 고정 카메라; 및 Y축 이동수단과 X축 이동수단의 움직임을 제어하는 모션제어와 고정 카메라 및 이동 카메라에 의해 촬영된 영상 데이터를 분석하는 비전분석이 탑재되어 글라스 기판에 마킹 된 글라스 아이디 데이터를 촬영 및 분석하여 그 위치값을 생성하는 제어 유니트를 포함하여 이루어진다.
레이저 마킹, 글라스 아이디, 포토레지스트, 검사, 위치

Description

아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사방법{Laser marking system with inspecting ID position and the inspecting method therethrough}
도 1 은 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템의 기구적인 구성을 개략적으로 보인 사시도.
도 2 는 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템의 전기적인 블록 구성도.
도 3 은 본 발명에 따른 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 4 는 도 3 에서 이동 카메라를 글라스 기판의 중심 위치로 이동시키는 원리를 설명하기 위한 도.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
100. 레이저마킹 시스템
110. 스테이지 120. 안내레일
130. 글라스 기판 140. 수직 지지대
150. 수평 지지대 160. 카메라
170. 스캔헤드 지지대 180. 스캔헤드
200. 제어 유니트 210. 키입력부
220. LED 구동부 225. LED
230. 램프 구동부 235. 램프
240. 모니터 구동부 245. 모니터
250. 카메라 구동부 225. 이동 카메라
260. Y축 구동부 265. 리니어모터
270. X축 구동부 275. 리니어모터
280. 스캔헤드 제어부 290. 카메라 구동부
295. 고정 카메라
본 발명은 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저마킹 시스템 내에 마킹된 아이디의 위치를 검사하는 장치 및 방법을 추가하여 레이저마킹 시스템 내에서 아이디 검사기능을 직접적으로 수행할 수 있도록 한 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로 레이저마킹 시스템은 임의의 대상물, 예를 들어 LCD 패널을 제조하는데 사용되는 글라스 기판 위에 당해 글라스 기판의 고유 인식코드{이하, 이를 "글라스 아이디"(Glass IDentification)라 한다} 등을 미세 마킹하는 경우 등에 사용된다.
한편, 실제 생산라인에서는 정확한 위치에 글라스 아이디가 마킹 되었는지를 다시 검사하게 되는데, 이러한 검사 과정이 레이저 마킹 시스템이 아닌 별도의 검사장비에서 여러 공정을 거쳐서 이루어지기 때문에 많은 시간과 적지 않은 인력이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 레이저마킹 시스템 내에 마킹된 아이디의 위치를 검사하는 장치 및 방법을 추가하여 레이저마킹 시스템 내에서 아이디 마킹 후 곧바로 아이디 위치검사를 수 행함으로써 검사에 소요되는 시간과 인력을 크게 줄일 수 있도록 한 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사방법을 제공함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해 구성되는 본 발명은 다음과 같다. 즉, 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템은 레이저마킹이 수행될 글라스 기판이 고정 설치되는 스테이지; 스테이지를 길이 방향(Y축 방향)으로 왕복운동시키는 Y축 이동수단; 스테이지 상부에 스테이지와 이격된 채로 설치되어 적어도 하나 이상의 레이저 소스로부터 발생된 레이저빔을 글라스 기판 상에 조사하여 글라스 아이디 데이터 마킹을 포함한 각종 레이저마킹을 수행하는 스캔헤드; 스테이지 상부에 스테이지와 이격된 채로 설치되어 글라스 기판을 촬영하는 이동 카메라; 이동 카메라를 스테이지의 폭 방향(X축 방향)으로 왕복운동시키는 X축 이동수단; 글라스 기판의 에지 부위를 촬영하기 위해 에지 부위에 고정 설치되는 고정 카메라; 및 Y축 이동수단과 X축 이동수단의 움직임을 제어하는 모션제어와 고정 카메라 및 이동 카메라에 의해 촬영된 영상 데이터를 분석하는 비전분석이 탑재되어 글라스 기판에 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬영 및 분석하여 그 위치값을 생성하는 제어 유니트를 포함하여 이루어진다.
한편, 본 발명의 다른 특징에 따른 레이저킹 시스템의 아이디위치 검사방법은 레이저마킹이 수행될 글라스 기판을 스테이지에 고정시킨 상태에서 스캔헤드에 의해 글라스 아이디 데이터를 마킹하고, 이후 이동 카메라와 스테이지를 각각 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동시켜가면서 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬영하며, 촬영된 글라스 아이디 데이터의 위치를 정밀 분석하여 오차를 파악함으로써 위치값을 생성하는 작업을 단일의 레이저마킹 시스템을 통해 수행하되, (a) 글라스 기판을 스테이지에 고정시킨 상태에서 글라스 기판의 에지 부위에 고정 설치되는 고정 카메라에 의해 에지 얼라인을 수행하는 단계; (b) 글라스 아이디 데이터의 내용과 글라스 기판의 원점을 기준으로 한 그 위치 좌표값이 저장되어 있는 레시피 파일에 의거하여 글라스 기판에 적어도 하나 이상의 글라스 아이디 데이터를 마킹하는 단계; (c) 글라스 아이디 데이터가 마킹 된 위치를 검사하기 위해 스테이지 및 이동 카메라를 이동시켜 글라스 기판의 원점을 찾아가는 단계; 및 (d) 레시피 파일 분석에 따라 각각의 글라스 아이디 데이터의 정확한 마킹 위치를 찾아서 위치값을 생성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사방법에 대해 상세하게 설명하기로 한다.
먼저, 본 발명을 설명하기에 앞서 글라스 기판 위에 패턴 및 패널 아이디 마킹과 주변 노광을 행하는 라인 공정에 대해 간략하게 설명한다. 패턴 및 글라스 아이디 마킹과 주변 노광을 행하는 통상의 라인 공정에 따르면 공정 전체의 클린화를 위한 세척 공정, 글라스 기판 위에 BM 수지의 도포를 균일하게 하는 스핀 코팅 공정과 코팅 공정이 끝난 글라스 기판에 원하는 마스크 패턴을 띄워 자외선을 쪼이는 노광 공정, 각 패널 당 고유인식 코드인 글라스 아이디를 레이저로 마킹하고 외각 들뜸 현상을 사전에 방지하는 아이디 마킹 및 주변 노광 공정, 마스크 패턴으로 인해 자외선을 받은 부분은 약해지고 받지 않은 부분은 포토레지스트(Photo Resist) 코팅 상태를 유지하게 되어 자외선에 노출된 부분만 제거가 가능하게 하는 현상 공정, 노광 공정에서 자외선을 받지 않은 포토레지스트에 의해 가려진 부분을 제외한 증착막을 제거하는 식각 공정 및 남은 포토레지스트를 용제를 이용하여 제거하는 포토레지스트 스트립 공정이 순차적으로 수행되게 된다.
도 1 은 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템의 기구적인 구성을 개략적으로 보인 사시도이다.
도 1 에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템의 기구적인 구성에 따르면 평평한 판재로 이루어진 스테이지(110)가 그 양단에 설치된 안내레일(120)을 따라 소정 방향(이하, 이를 "Y축 방향"이라 한다)으로 왕복운동 하도록 구성되는데, 이러한 스테이지(110)의 중심 부분에는 감광액(Photo Resistive Liquid)이 도포되어 있고 평탄도가 우수한 글라스 기판(130)이 얹어지게 된다. 그리고, 이러한 스테이지(110)는 도시되지 않은 리니어모터에 의해 안내레일(120) 상에서 Y축 방향으로 왕복운동하게 된다.
또한. 적어도 하나의 레이저 소스(도시하지 않음)로부터 발생된 레이저빔을 스테이지(110)에 얹혀진 상태로 이송되는 글라스 기판(130) 상에 조사하여 여기에 글라스 아이디 데이터를 마킹하는 적어도 하나 이상, 본 실시 예에서는 4개의 스캔헤드(180)가 스캔헤드 지지대(170)에 상호 소정 간격을 두고 지지된 채로 스테이지(110) 상부에 고정 설치되어 있다.
한편, 스테이지(110) 양단의 안내레일(120) 상에는 한 쌍의 수직 지지 대(140)가 마주보도록 고정 설치되어 있고, 이러한 수직 지지대(140)의 상단에는 다시 이들을 가로질러 연결, 즉 스테이지(110) 상방을 가로질러 연결하는 수평 지지대(150)가 설치되어 있다. 그리고, 이러한 수평 지지대(150)에도 안내레일(도시하지 않음)이 설치되어 있고, 이러한 수평 지지대(150)의 안내레일에는 이를 따라 움직이는 이동 카메라(160)가 설치되게 된다. 물론, 이러한 이동 카메라(160)도 도시하지 않은 자체의 리니어모터에 의해 수평 지지대(150)의 안내레일 상에서 스테이지(110)를 가로지르는 방향(이하, 이를 "X축 방향"이라 한다)으로 왕복운동하게 되는데, 바람직하게는 스테이지(110)의 X축 방향의 전 영역(길이)에 걸쳐서 이동하게 된다.
그리고, 비록 도시하지는 않았지만 이동 카메라(160)는 상하 이송기구에 의해 상하(Z축 방향)로도 이동될 수 있도록 되어 있다. 한편, 도시하지는 않았지만 글라스 기판(130)의 에지 부분에는 이를 촬영하여 얼라인하는 적어도 1개 이상의 에지 얼라인용 카메라가 고정적으로 설치(이하, 이를 "고정 카메라"라 한다)되어 있다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 레이저마킹 시스템에서는 글라스 기판(130)을 스테이지(110)에 고정시킨 상태에서 요구되는 글라스 아이디 데이터를 마킹하고, 이후 이동 카메라(160)와 스테이지(110)를 각각 X축 또는 Y축 방향으로 이동시켜 가면서 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬영하며, 이렇게 촬영된 글라스 아이디 데이터의 위치를 정밀 검사하여 오차를 파악한 후에 이를 바로잡는 위치값을 생성함으로써 향후 글라스 아이디 데이터가 글라스 기판의 정확한 위치에 마킹 될 수 있도록 하고 있는바, 이러한 글라스 아이디 데이터의 마킹과 그 마킹 위치의 검사 기능이 모두 동일한 레이저마킹 시스템에서 이루어지게 된다.
도 2 는 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템의 전기적인 블록 구성도로, 설명의 편의상 도 1 의 구성과는 다른 참조번호를 부여한다.
도 2 에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템의 전기적인 구성은 크게 글라스 아이디 데이터를 촬영하는 이동 카메라(255), 예를 들어 30만 화소급의 CCD(Charge Coupled Device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 카메라(255)와 이를 구동하는 카메라 구동부(250), 이동 카메라(255)를 X축 방향으로 왕복운동시키는 리니어모터(275)와 그 구동부(X축 구동부 : 270), 스테이지(110)를 Y축 방향으로 왕복운동시키는 리니어모터(265)와 그 구동부(Y축 구동부 : 260), 이동 카메라(255)에 의한 마킹 데이터 촬영시 주위를 조명하는 램프(235)와 그 구동부(250), 글라스 아이디 데이터 마킹을 위한 스캔헤드(갈바노 스캐너헤드)의 내부 구성품(예를 들어, X미러나 Y미러)을 제어하는 스캔헤드 제어부(280), 글라스 기판(130)의 에지를 얼라인하는데 사용되는 고정 카메라(295), 예를 들어 30만 화소급의 CCD(Charge Coupled Device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 카메라(295)와 이를 구동하는 카메라 구동부(290) 및 시스템의 동작을 총괄적으로 제어하는 제어 유니트(200)를 포함하여 이루어질 수 있다.
전술한 바와 같은 구성에서 제어 유니트(200)는 산업용 PC(Personal Computer)로 구현될 수 있는바, 여기에는 스테이지(110) 및 이동 카메라(255)의 정밀 움직임을 각각 제어하는 모션제어 소프트웨어, 이동 카메라(255) 및 고정 카메라(295)에 의해 촬영된 영상 데이터를 분석하는 비전분석 소프트웨어 및 글라스 아이디 데이터의 위치값을 생성하는 소프트웨어 등이 탑재되어 있다. 도면에서 미설명 부호 210은 레이저마킹 시스템에서 후술하는 바와 같이 원하는 글라스 아이디 데이터의 내용과 그 마킹 위치 등과 같은 각종 데이터를 입력 또는 선택하는데 사용되는 키 입력부를 나타내고, 222와 220은 각각 레이저마킹 시스템의 각종 동작 상태를 시각적으로 표시하는 LED와 그 구동부를 나타내며, 232와 230은 레이저마킹 시스템의 입력 또는 선택 사항을 사용자가 알 수 있도록 표시하고 기타 이동 카메라(255) 및 고정 카메라(295)에 의해 촬영된 영상을 디스플레이하는 모니터와 그 구동부를 나타낸다.
전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 레이저마킹 시스템의 글라스 아이디 검사방법은 크게 포토 레지스트가 도포된 글라스 기판을 에지 얼라인하는 단계, 글라스 기판에 글라스 아이디 데이터의 내용과 원점을 기준으로 한 그 위치 좌표값이 저장되어 있는 레시피(Recipe) 파일에 의거하여 적어도 하나 이상의 글라스 아이디 데이터를 마킹하는 단계, 글라스 아이디 데이터가 마킹된 위치를 검사하기 위해 스테이지 및 이동 카메라를 이동시켜 글라스 기판의 중앙을 찾아가는 단계 및 레시피 파일 분석에 따라 각각의 글라스 아이디 데이터의 정확한 마킹 위치를 찾아서 위치값을 생성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
이하에는 전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템의 동작을 그 검사방법과 함께 상세하게 설명하기로 한다.
도 3 은 본 발명에 따른 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법을 설명하기 위한 흐름도, 도 4 는 도 3 에서 이동 카메라를 글라스 기판의 중심 위치로 이동시키는 원리를 설명하기 위한 도이다.
도 3 에 도시된 바와 같이 먼저, 단계 S10에서는 글라스 기판(130)을 스테이지(110)의 미리 정해진 위치에 고정시킨 상태에서 글라스 기판(130) 마다 일정하고 정확한 글라스 아이디 데이터 마킹을 하기 위해 고정 카메라(295)를 이용하여 글라스 에지 얼라인을 실행한다. 예를 들어, 글라스 기판(130)은 그 모서리가 직각이고 나머지 부분이 직선으로 이루어져 있기 때문에 고정 카메라(295)를 글라스 기판(130)의 에지 부위에 수평으로 고정시킨 상태에서 이에 의해 촬영된 영상의 에지 부분과 고정 카메라(295) 영상 상의 중심과 일치시키는 에지 얼라인을 실행한다.
다음으로, 단계 S12에서는 레시피 파일 데이터의 정보에 의한 글라스 기판(130)의 미리 정해진 위치에 글라스 아이디 데이터에 대한 레이저 마킹을 실시한다. 이때, 글라스 기판(130)은 현상(Develop) 과정을 거치지 않은 상태이고 글라스 아이디 데이터 마킹 결과가 이동 카메라(160 또는 255)의 영상에 들어와야 하기 때문에 스캔헤드(180)의 레이저 파워를 높여서 글라스 기판(130)에 도포된 포토레지스터를 날려버리는 것이 바람직하다.
다음으로, 단계 S14 및 단계 S16에서는 이동 카메라(160 또는 255)의 중심을 글라스 기판(130)의 정확한 원점에 위치시키게 되는데, 이를 위해 이동 카메라(160 또는 255)에 대해서도 글라스 기판(130)의 에지에 대한 얼라인을 수행하게 된다. 즉, 도 4 에 도시된 바와 같이 스테이지(130) 축이 Y축 방향, 예를 들어 길이 방향으로 이동하면서 글라스 기판(130)의 길이 라인과 이동 카메라(160 또는 255)의 중심을 맞추는 얼라인, 즉 그 전체 길이 및 어긋남 정도를 파악한 후에 글라스 기판(130)의 길이의 1/2이 되는 지점에 이동 카메라(160 또는 255)가 위치할 수 있도록 스테이지(110)를 이동한다.
다음으로, X축 방향, 예를 들어 글라스 기판(130)의 폭 방향에 대해서도 이동 카메라(160 또는 255)를 직접 이동시키면서 글라스 기판(130)의 폭 라인과 이동 카메라(160 또는 255)의 중심을 맞추는 얼라인, 즉 그 전체 폭 및 어긋남 정도를 파악한 후에 글라스 기판(130)의 폭의 1/2이 되는 지점으로 이동 카메라(160 또는 255)를 이동시킴으로써 이동 카메라(160 또는 255)의 중심이 글라스 기판(130)의 원점에 정확하게 위치되도록 한다. 다시 말해서, 이동 카메라(160 또는 255)에 의해 실측에 의해 이동 카메라(160 또는 255)의 중심을 글라스 기판(130)의 원점에 정확하게 위치시키게 된다.
다시 도 3 으로 돌아가서, 단계 S18에서는 이렇게 구해진 실제 글라스 기판(130)의 원점을 기준으로 레시피 파일의 글라스 아이디 데이터의 위치 좌표값을 분석하고, 다시 단계 S20에서는 이렇게 분석된 위치 좌표값으로 이동한 상태에서 촬상 범위에 들어와 있는 글라스 아이디 데이터의 얼라인(이하, 이를 "데이터 얼라인"이라 한다) 작업을 통해 어긋남 정도를 파악하게 된다.
한편, 단계 S20에서의 데이터 얼라인은 사전에 저장된 글라스 아이디 데이터 패턴을 참조하여 각각의 글라스 아이디 데이터를 확인, 즉 패턴 매칭한 후에 이렇 게 확인된 글라스 아이디 데이터의 중심점과 이동 카메라(160 또는 255) 중심점과의 차이만큼 이동 카메라(160 또는 255)의 중심 방향으로 이동하면서 이루어진다. 이 과정에서, 글라스 아이디 데이터의 중심점과 이동 카메라(160 또는 255)의 중심점은 모두 픽셀 단위로 나타나고, 또한 X축 또는 Y축 리니어모터의 이동은 펄스 단위로 이루어지기 때문에 이를 서로 매칭시켜 주는 작업이 필요하게 된다.
픽셀 당 리니어모터의 움직이는 펄스를 매칭하는 방법은, 예를 들어 하나의 글라스 아이디 데이터를 촬상 범위에 두고 패턴 매칭하여 글라스 아이디 데이터의 중심 픽셀값(측정 데이터1)을 저장하는 단계, 글라스 아이디 데이터가 촬상 범위에서 벗어나지 않도록 X축 리니어모터(275)를 미리 정해진 값(이동 데이터1)만큼 소량 이동시키는 단계, 패턴 매칭을 재수행하여 그 중심 픽셀값(측정 데이터2)을 확인한 후에 측정 데이터1과 측정 데이터2의 차(측정 데이터3)를 구하는 단계 및 이동 데이터1을 측정 데이터3으로 나누는 단계로 이루어질 수 있는데, 이에 따라 픽셀 당 해당되는 X축 리니어모터(275)의 움직이는 펄스값을 알 수가 있다. Y축 리니어모터(265) 또한 X축 리니어모터(275)에 대해 구한 방법과 동일한 방법에 의해 픽셀당 움직이는 펄스값을 구할 수가 있다.
다시 도 3 으로 돌아가서, 단계 S22에서는 현재 데이터 얼라인 한 글라스 아이디 데이터가 마지막 글라스 아이디 데이터인지를 판단하는데, 마지막이 아닌 경우에는 단계 S20으로 복귀하는 반면에 마지막인 경우에는 단계 S24로 진행하여 이렇게 파악된 어긋남 정도를 위치값으로 저장하게 된다.
본 발명에 따른 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사 방법은 전술한 실시 예에 국한되지 않고 본 발명의 기술 사상이 허용하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수가 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그 검사방법에 따르면 레이저마킹 시스템 내에서 글라스 아이디 데이터의 위치검사기능을 실행함으로써 실제 생산라인에서 특정 검사장비를 거치지 않아도 정확한 포지션에 마킹할 수 있으며, 결과적으로 셋업(Set-up) 기간의 단축, 제조비용의 절감 및 생산성 향상을 기대할 수 있다.

Claims (8)

  1. 레이저마킹이 수행될 글라스 기판이 고정 설치되는 스테이지;
    상기 스테이지를 길이 방향(Y축 방향)으로 왕복운동시키는 Y축 이동수단;
    상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 이격된 채로 설치되어 적어도 하나 이상의 레이저 소스로부터 발생된 레이저빔을 상기 글라스 기판 상에 조사하여 글라스 아이디 데이터 마킹을 포함한 각종 레이저마킹을 수행하는 스캔헤드;
    상기 스테이지 상부에 상기 스테이지와 이격된 채로 설치되어 상기 글라스 기판을 촬영하는 이동 카메라;
    상기 이동 카메라를 상기 스테이지의 폭 방향(X축 방향)으로 왕복운동시키는 X축 이동수단;
    상기 글라스 기판의 에지 부위를 촬영하기 위해 상기 에지 부위에 고정 설치되는 고정 카메라; 및
    상기 Y축 이동수단과 X축 이동수단의 움직임을 제어하는 모션제어와 상기 고정 카메라 및 이동 카메라에 의해 촬영된 영상 데이터를 분석하는 비전분석이 탑재되어 상기 글라스 기판에 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬영 및 분석하여 그 위치값을 생성하는 제어 유니트를 포함하여 이루어진 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 X축 이동수단 및 Y축 이동수단은 각각 안내레일과 리니어모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 X축 이동수단은 상기 스테이지를 가운데 두고 마주보도록 설치된 한 쌍의 수직 지지대;
    상기 수직 지지대를 연결하는 수평 지지대;
    상기 수평 지지대에 설치되는 안내레일; 및
    상기 이동 카메라를 지지한 채로 상기 안내레일을 따라 이동하는 리니어모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템.
  4. 레이저마킹이 수행될 글라스 기판을 스테이지에 고정시킨 상태에서 스캔헤드에 의해 글라스 아이디 데이터를 마킹하고, 이후 이동 카메라와 스테이지를 각각 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동시켜가면서 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬영하며, 상기 촬영된 글라스 아이디 데이터의 위치를 정밀 분석하여 오차를 파악함으로써 위치값을 생성하는 작업을 단일의 레이저마킹 시스템을 통해 수행하되,
    (a) 상기 글라스 기판을 상기 스테이지에 고정시킨 상태에서 상기 글라스 기판의 에지 부위에 고정 설치되는 고정 카메라에 의해 에지 얼라인을 수행하는 단계;
    (b) 상기 글라스 아이디 데이터의 내용과 상기 글라스 기판의 원점을 기준으 로 한 그 위치 좌표값이 저장되어 있는 레시피 파일에 의거하여 상기 글라스 기판에 적어도 하나 이상의 글라스 아이디 데이터를 마킹하는 단계;
    (c) 상기 글라스 아이디 데이터가 마킹된 위치를 검사하기 위해 상기 스테이지 및 상기 이동 카메라를 이동시켜 상기 글라스 기판의 원점을 찾아가는 단계; 및
    (d) 상기 레시피 파일 분석에 따라 각각의 글라스 아이디 데이터의 정확한 마킹 위치를 찾아서 위치값을 생성하는 단계를 포함하여 이루어진 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 단계 (b)에서 상기 글라스 기판은 현상 과정을 거치지 않은 상태이고, 상기 글라스 아이디 데이터의 마킹시 그 결과가 상기 이동 카메라의 영상에 들어오도록 상기 스캔헤드의 레이저 파워를 높여서 상기 글라스 기판에 도포된 포토레지스터를 제거하는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 단계 (c)는 상기 스테이지 축이 길이 방향으로 이동하면서 상기 글라스 기판의 길이 라인과 상기 이동 카메라의 중심을 맞추는 얼라인을 수행하여 그 전체 길이 및 어긋남 정도를 파악한 후에 상기 글라스 기판 길이의 1/2이 되는 지점에 상기 이동 카메라가 위치할 수 있도록 상기 스테이지를 이동하고, 상기 글라스 기판의 폭 방향에 대해서도 상기 이동 카메라를 직접 이동시키면서 상기 글라스 기판의 폭 라인과 상기 이동 카메라의 중심을 맞추는 얼라인을 수 행하여 그 전체 폭 및 어긋남 정도를 파악한 후에 상기 글라스 기판 폭의 1/2이 되는 지점으로 상기 이동 카메라를 이동시키는 과정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 단계 (d)에서의 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 상기 X축 방향의 얼라인은 사전에 저장된 글라스 아이디 패턴을 참조하여 마킹된 글라스 아이디 데이터를 확인하고, 상기 확인된 글라스 아이디 데이터의 중심점과 상기 이동 카메라 중심점과의 차이만큼 상기 이동 카메라의 중심 방향으로 이동하면서 이루어지되,
    상기 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬상 범위에 두고 패턴 매칭을 수행하여 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 중심 픽셀값(측정 데이터1)을 저장하는 단계;
    상기 마킹된 글라스 아이디 데이터가 촬상 범위에서 벗어나지 않도록 상기 이동 카메라를 미리 정해진 값(이동 데이터1)만큼 소량 이동시키는 단계;
    패턴 매칭을 재수행하여 중심 픽셀값(측정 데이터2)을 확인한 후에 상기 측정 데이터1과 상기 측정 데이터2의 차(측정 데이터3)를 구하는 단계; 및
    상기 이동 데이터1을 상기 측정 데이터3으로 나누는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 단계 (d)에서의 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 상기 Y축 방향의 얼라인은 사전에 저장된 글라스 아이디 패턴을 참조하여 마킹된 글라스 아이디 데이터를 확인하고, 상기 확인된 글라스 아이디 데이터의 중심점과 상기 이동 카메라 중심점과의 차이만큼 상기 이동 카메라의 중심 방향으로 이동하면서 이루어지되,
    상기 마킹된 글라스 아이디 데이터를 촬상 범위에 두고 패턴 매칭을 수행하여 상기 마킹된 글라스 아이디 데이터의 중심 픽셀값(측정 데이터1)을 저장하는 단계;
    상기 마킹된 글라스 아이디 데이터가 촬상 범위에서 벗어나지 않도록 상기 스테이지를 미리 정해진 값(이동 데이터1)만큼 소량 이동시키는 단계;
    패턴 매칭을 재수행하여 중심 픽셀값(측정 데이터2)을 확인한 후에 상기 측정 데이터1과 상기 측정 데이터2의 차(측정 데이터3)를 구하는 단계; 및
    상기 이동 데이터1을 상기 측정 데이터3으로 나누는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저마킹 시스템을 통한 아이디위치 검사방법.
KR1020060042662A 2006-05-11 2006-05-11 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법 KR100802596B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060042662A KR100802596B1 (ko) 2006-05-11 2006-05-11 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060042662A KR100802596B1 (ko) 2006-05-11 2006-05-11 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020060012656U Division KR200422077Y1 (ko) 2006-05-11 2006-05-11 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060080561A true KR20060080561A (ko) 2006-07-10
KR100802596B1 KR100802596B1 (ko) 2008-02-13

Family

ID=37171839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060042662A KR100802596B1 (ko) 2006-05-11 2006-05-11 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100802596B1 (ko)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100775024B1 (ko) * 2006-06-07 2007-11-08 주식회사 케이씨텍 유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지검사방법
KR100811669B1 (ko) * 2006-07-28 2008-03-11 요코가와 덴키 가부시키가이샤 Ｘｙ 스테이지
KR20160034090A (ko) 2014-09-19 2016-03-29 한화테크윈 주식회사 기판 검사장치
CN107145127A (zh) * 2017-05-12 2017-09-08 广东大族粤铭智能装备股份有限公司 一种基于双头异步视觉定位飞行加工的方法与系统
KR20170119297A (ko) * 2016-04-18 2017-10-26 가부시기가이샤 디스코 웨이퍼의 가공 방법
CN109177539A (zh) * 2018-10-30 2019-01-11 付灵 一种自动测定玻璃长宽数据化打印系统及其控制方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100950251B1 (ko) 2007-10-25 2010-03-31 삼성중공업 주식회사 레이저 비전의 레이저 패턴 추출 방법
KR101691106B1 (ko) * 2010-10-22 2016-12-30 엘지디스플레이 주식회사 평면모터 구조 및 이를 이용한 대상물 대응방법

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990026496A (ko) * 1997-09-25 1999-04-15 윤종용 통합형 백 앤드 공정 시스템 및 이를 통한 백앤드 공정진행 방법
KR20020076553A (ko) * 2001-03-29 2002-10-11 삼성전자 주식회사 반도체 패키지의 마킹장치
KR100461161B1 (ko) * 2001-06-22 2004-12-14 (주)하드램 아이트리플이 1394를 이용하는 레이저 마킹 시스템
KR20030075861A (ko) * 2002-03-21 2003-09-26 삼성전자주식회사 반도체 칩 패키지 마킹 장치
KR100492748B1 (ko) * 2002-09-11 2005-06-07 (주)하드램 셀렉터블 다중 스캔헤드를 이용한 시분할 레이저 마킹장치및 방법
JP4477333B2 (ja) * 2003-09-29 2010-06-09 シャープ株式会社 薄膜トランジスタ基板の製造方法及びそれに用いるレーザアニール装置
KR20050071424A (ko) * 2005-06-15 2005-07-07 (주)영원테크 레이저 마킹 시스템의 보정파일 생성방법

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100775024B1 (ko) * 2006-06-07 2007-11-08 주식회사 케이씨텍 유리기판 에지 검사장치 및 이를 이용한 유리기판 에지검사방법
KR100811669B1 (ko) * 2006-07-28 2008-03-11 요코가와 덴키 가부시키가이샤 Ｘｙ 스테이지
KR20160034090A (ko) 2014-09-19 2016-03-29 한화테크윈 주식회사 기판 검사장치
KR20170119297A (ko) * 2016-04-18 2017-10-26 가부시기가이샤 디스코 웨이퍼의 가공 방법
CN107145127A (zh) * 2017-05-12 2017-09-08 广东大族粤铭智能装备股份有限公司 一种基于双头异步视觉定位飞行加工的方法与系统
CN109177539A (zh) * 2018-10-30 2019-01-11 付灵 一种自动测定玻璃长宽数据化打印系统及其控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100802596B1 (ko) 2008-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100802596B1 (ko) 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그검사방법
US20210207954A1 (en) Apparatus and method for measuring a three-dimensional shape
KR100909159B1 (ko) 위치 검출 방법, 위치 검출 장치, 패턴 묘화 장치 및 피검출물
TWI485628B (zh) A re-registration method for locating a target object, and a recording medium for recording the method
KR20100065073A (ko) 기판검사방법, 기판검사장치 및 기억매체
KR20150034080A (ko) 위치 계측 장치, 얼라인먼트 장치, 패턴 묘화 장치 및 위치 계측 방법
CN107768278B (zh) 液滴排出装置和液滴排出条件修正方法
KR20060069802A (ko) 보정파일 생성기능을 갖는 레이저마킹 시스템 및 그보정파일 생성방법
JP2010147401A (ja) 電子部品装着装置及び画像歪補正方法
JP4076343B2 (ja) 半導体ウェハのドットマーク形成位置の位置決め方法とその位置決め装置
JP2009192693A (ja) パターン描画装置
KR200422077Y1 (ko) 아이디위치 검사기능을 갖는 레이저마킹 장치
KR200422239Y1 (ko) 보정파일 생성기능을 갖는 레이저 마킹장치
CN110658215B (zh) 一种基于机器视觉的pcb板自动拼接检测方法与装置
JP6976205B2 (ja) チップ位置測定装置
JP5572247B2 (ja) 画像歪補正方法
CN111512240A (zh) 光敏记录介质上至少一幅存储图像的曝光方法和曝光设备
KR100856564B1 (ko) 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 마킹 오프셋자동 보정 방법
JPH08181053A (ja) 位置検出方法
JP2008135423A (ja) 輪郭検出装置、位置決め装置、パターン描画装置および輪郭検出方法
KR20150032772A (ko) 묘화 장치, 기판 처리 시스템 및 묘화 방법
JP4533777B2 (ja) シート体位置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置
TWI856625B (zh) 描繪位置資訊取得方法以及描繪方法
KR100856565B1 (ko) 레이저 마킹 시스템의 스캔헤드 틀어짐에 따른 세타각오프셋 자동 보정 방법
JP4306353B2 (ja) 画像認識装置における画素レート算出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121120

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131122

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150120

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160114

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170201

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180104

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190108

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200108

Year of fee payment: 13