KR20060079296A - External powder trap of dry gas scrubber - Google Patents

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Abstract

본 발명은 질소(Nitrogen)블로우와 다공판을 이용한 드라이가스 스크러버 (Dry Gas Scrubber)의 외부파우더(External Powder) 집진장치에 관한 것이다. The present invention relates to an external powder dust collector of a dry gas scrubber using a nitrogen blower and a porous plate.

이를 위한 본 발명은, 배관을 통해 가스의 입구(11)와 출구(12)가 설치되고, 약제통(13)의 입출구로 입구격리밸브(17)와 출구격리밸브(18)가 설치되면서 압력 트랜스듀서(15)와 바이패스밸브(16)가 각기 설치되어지는 드라이가스 스크러버에 있어서, 상기 약제통(13)의 내부에 약제만을 충진시키고 입구격리밸브(17)의 앞단에다 다공판이 상하로 배열되어 있는 외부 파우더트랩(20)을 설치한 것을 그 특징으로 한다.
The present invention for this purpose, the inlet 11 and outlet 12 of the gas is installed through the pipe, the inlet isolating valve 17 and the outlet isolating valve 18 to the inlet and outlet of the medicine container 13 while the pressure transformer In the dry gas scrubber in which the producer 15 and the bypass valve 16 are respectively provided, only the medicine is filled in the medicine container 13 and the perforated plate is arranged up and down at the front end of the inlet isolation valve 17. It is characterized in that the outer powder trap 20 is installed.

드라이가스 스크러버, 파우더집진장치, 다공판, 뷰포트, 외부 파우더트랩Dry gas scrubber, powder dust collector, perforated plate, viewport, external powder trap

Description

드라이가스 스크러버의 파우더집진장치{EXTERNAL POWDER TRAP OF DRY GAS SCRUBBER} Powder collecting device of dry gas scrubber {EXTERNAL POWDER TRAP OF DRY GAS SCRUBBER}             

도 1 은 종래의 드라이가스 스크러버를 도시해 놓은 약제통의 장착도,1 is a mounting view of a medicine container showing a conventional dry gas scrubber,

도 2 는 본 발명의 실시예에 관한 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치가 장착되어 있는 도면,FIG. 2 is a view illustrating a powder dust collecting device of a dry gas scrubber according to an embodiment of the present invention;

도 3 는 도 2 에 도시된 파우더집진장치를 도시해 놓은 도면,3 is a view showing the powder dust collecting device shown in FIG.

도 4 는 도 3 에 도시된 다공판을 도시해 놓은 사시도,4 is a perspective view illustrating the porous plate illustrated in FIG. 3;

도 5 는 본 발명의 파우더집진장치를 설명하기 위한 작동상태도이다. 5 is an operation state diagram for explaining the powder dust collecting apparatus of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 드라이가스 스크러버 11 : 입구10 dry gas scrubber 11 inlet

12 : 출구 13 : 약제통12: exit 13: drug container

14 : 내부 파우더트랩 15 : 압력 트랜스듀서14 Internal Powder Trap 15 Pressure Transducer

16 : 바이패스 밸브 17 : 입구격리밸브16: bypass valve 17: inlet isolation valve

18 : 출구격리밸브 20 : 외부 파우더트랩
18: outlet isolation valve 20: external powder trap

본 발명은 질소(Nitrogen) 블로우와 다공판을 이용한 드라이가스 스크러버 (Dry Gas Scrubber)의 외부파우더(External Powder) 집진장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an external powder dust collector of a dry gas scrubber using a nitrogen blow and a porous plate.

반도체 제조공정에서 웨이퍼상에 박막을 형성하기 위해 사용되는 다양한 종류의 반응가스는 산화성분, 인화성분 및 유독성분을 보유하고 있기 때문에, 사용을 마친 반응가스인, 폐가스를 그대로 대기중에 방출할 경우 인체에 유해할 뿐만 아니라 환경 오염을 유발시키게 된다. 이에 따라 폐가스의 유해성분함량을 허용 농도 이하로 낮추는 정화처리과정을 거쳐서 대기중으로 배출시키기 위해 폐가스를 배기시키는 반도체 설비의 배기라인에는 폐가스의 유독성분을 제거하기 위한 가스스크러버가 설치된다.In the semiconductor manufacturing process, various kinds of reaction gases used to form thin films on wafers contain oxidizing components, flammable components, and toxic components. Therefore, when the waste gas, which is a used reaction gas, is released into the atmosphere as it is, Not only harmful to the environment, but also cause environmental pollution. Accordingly, a gas scrubber is installed in an exhaust line of a semiconductor facility that exhausts waste gas to discharge it to the atmosphere through a purification process for lowering the harmful component content of the waste gas below an allowable concentration.

이러한, 가스스크러버는 가스유입관이 배기라인에 연결되어 폐가스를 공급받은 다음 여러 가지 방식 즉, 열에 의해 연소되는 성질을 이용한 연소식과, 세정수에 용해되는 성질을 이용한 습식과, 가스 처리제와 반응하는 성질을 이용한 건식등에 의해 폐가스를 세정하게 된다. 한편, 배기라인을 통해 가스스크리버에 공급되는 폐가스에는 각종 반응부산물이 파우더형태로 함유되어 있으며, 습식가스스크러버의 세정수와 반응하여 파우더를 생성시킨다.The gas scrubber is a combustion method using a gas inlet pipe connected to an exhaust line and supplied with waste gas, and then burned by various methods, that is, a wet type using water dissolving property and a gas treating agent. The waste gas is cleaned by dry using the property of On the other hand, the waste gas supplied to the gas scrubber through the exhaust line contains various reaction byproducts in the form of powder, and reacts with the washing water of the wet gas scrubber to generate powder.

이와 같이 반도체 세정장치로써 스크러버(Scrubber)는 고압의 DI워터 또는 DI 워터 + 브러쉬를 사용하여 웨이퍼 위의 이물질이나 거친 면을 깨끗이 하거나 고르게 하여 주는 장비인 것이다. 반도체 제조공정중에서 식각(Metal Etch)장치에는 Toxic배기가스를 대기중으로 직접 보내기 전에 유독 물질을 정화시켜 방출하기 위하여 세정장치로써 드라이가스 스크러버(Dry Gas Scrubber)를 사용하고 있다. 상기 세정장치는 유독 물질을 정화시키기 위한 약제(Resin)가 들어있는 통(Canister)에서 가스(Gas)정화가 이루어진 다음 배출되어진다.As such, a scrubber is a device that cleans or evens out foreign substances or rough surfaces on a wafer using high pressure DI water or DI water + brush. In the semiconductor manufacturing process, a dry gas scrubber is used as a cleaning device in order to purify and release toxic substances before sending the toxic exhaust gas directly into the atmosphere. The cleaning apparatus is discharged after gas purification is performed in a canister containing a resin for purifying toxic substances.

상기와 같은 목적으로 사용되는 세정장치에서 식각(Metal Etch) 특성상 발생하는 파우더에 의하여 약제(Resin)통이 막히는 현상이 발생되고 있고, 이것으로 인하여 약제 비정기의 교체 현상이 발생하고 있다. 그리고, 상기 약제통에서의 입구압력(Inlet Pressure)이 증가함으로 인하여 드라이 펌프에 데미지(Damage)를 발생시킨다.In the cleaning apparatus used for the above purpose, the phenomenon that the drug (Resin) container is clogged by the powder generated due to the characteristics of the etching (Metal Etch) occurs, which causes the replacement of the drug occasional. In addition, damage to the dry pump occurs due to an increase in the inlet pressure in the medicine container.

도 1 은 종래의 드라이가스 스크러버를 도시해 놓은 약제통의 장착도로서, 세정장치로써 드라이가스 스크러버(10)에는 가스의 입구(11)와 출구(12)가 각기 설치되는 한편 바닥의 내부 파우더트랩(14)과 그 위로 충진된 약제로 된 약제통(13)이 내장되어 있다. 상기 입구(11)측의 배관으로는 압력 트랜스듀서(15)가 설치되면서 각기 바이패스밸브(16)와 입구격리밸브(17)가 각각 설치된다.FIG. 1 is a view illustrating a conventional medicine container showing a dry gas scrubber, wherein a dry gas scrubber 10 is provided with a gas inlet 11 and an outlet 12 respectively in a dry gas scrubber 10 as a cleaning device, and an inner powder trap at the bottom. (14) and a medicine container 13 made of a medicine filled therein is embedded. As the pressure transducer 15 is installed at the inlet 11 side, the bypass valve 16 and the inlet isolation valve 17 are respectively installed.

상기 입구격리밸브(17)는 약제통(13)의 내부 파우더트랩(14)을 열고 닫으며, 이 약제통(13)의 약제 상부로는 출구격리밸브(18)가 설치되어 약제를 통해 가스가 출구(12)측으로 배출되어진다. 그리고, 상기 바이패스 밸브(16)는 경우에 따라 약제를 통과한 가스를 바이패스시키도록 구성되어 있다. 따라서, 세정가스는 드라이 가스 스크러버(10)내의 약제통(13)을 통과하게 된다.The inlet isolation valve 17 opens and closes the inner powder trap 14 of the medicine container 13, and an outlet isolation valve 18 is installed at the upper part of the medicine container 13 to supply gas through the medicine. It is discharged to the outlet 12 side. And the said bypass valve 16 is comprised so that the gas which passed the chemical | medical agent may bypass by the case. Therefore, the cleaning gas passes through the chemical container 13 in the dry gas scrubber 10.

이와 같이 드라이가스 스크러버(10)가 동작됨에 따라 식각 프로세스특성상 진행중 파우더가 많이 발생하며, 이 파우더는 약제통(13)의 입구부분에 설치된 내부 파우더트랩(Internal Powder Trap :14)에 쌓이도록 되어 있다. 이 내부 파우더트랩(14)에 쌓이게 된 파우더는 약제(Resin)를 교체하지 않는 한 약제통(13)으로부터 제거가 어려우며, 또한 파우더의 양이 얼마나 쌓여 있는지 확인이 곤란하다는 결점이 발생되었다.
As the dry gas scrubber 10 operates as described above, a lot of powder is generated during the etching process, and the powder is accumulated in an internal powder trap (14) installed at the inlet of the medicine container 13. . The powder accumulated in the inner powder trap 14 is difficult to remove from the medicine container 13 unless the drug (Resin) is replaced, and it is difficult to check how much powder is accumulated.

본 발명은 상기와 같은 종래의 드라이가스 스크러버가 가지고 있는 문제점을 해소하기 위해 발명한 것으로, 가스스크러버의 집진장치의 구조변경을 통해 파워트랩(Powder Trap)만 현장에서 분리하여 파우더를 제거할 수 있도록 하여 약제의 수명을 연장시키고, 또한 파우더의 발생 양을 육안으로 확인할 수 있는 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다. The present invention has been invented to solve the problems of the conventional dry gas scrubber as described above, so that only the power trap (Powder Trap) can be separated in the field through the structural change of the dust collector of the gas scrubber to remove the powder The purpose of the present invention is to provide a powder dust collecting device of a dry gas scrubber that can extend the life of the drug and also visually check the amount of powder generated.

본 발명의 다른 목적은, 파워트랩을 약제통 외부에 설치하고 뷰포트(View Port)를 만들어 파우더양을 모니터링함으로써 약제통의 입구압력 증가로 인하여 드라이펌프에 데미지 발생을 미연에 방지하여 장비 가동률의 향상과 생산성의 향상을 도모할 수 있는 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치를 제공할 수 있다.
Another object of the present invention is to install a power trap outside the medicine container and to create a viewport (View Port) by monitoring the amount of powder to prevent damage to the dry pump due to the increase in the inlet pressure of the medicine container to improve the equipment operation rate It is possible to provide a powder dust collecting device for dry gas scrubber that can improve the productivity and productivity.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 배관을 통해 가스의 입구(11)와 출구(12)가 설치되고, 약제통(13)의 입출구로 입구격리밸브(17)와 출구격리밸브(18)가 설치되면서 압력 트랜스듀서(15)와 바이패스밸브(16)가 각기 설치되어지는 드라이가스 스크러버에 있어서, 상기 약제통(13)의 내부에 약제만을 충진시키고 입구격리밸브(17)의 앞단에다 다공판이 상하로 배열되어 있는 외부 파우더트랩(20)을 설치한 것을 그 특징으로 한다.
In order to achieve the above object, the present invention provides a gas inlet 11 and an outlet 12 through a pipe, and an inlet and outlet isolation valve 17 and an outlet isolation valve 18 are provided at the inlet and outlet of the medicine container 13. In the dry gas scrubber in which the pressure transducer 15 and the bypass valve 16 are respectively provided while being installed, only the medicine is filled in the inside of the medicine container 13 and the porous plate is placed in front of the inlet isolation valve 17. It is characterized in that the outer powder trap 20 is arranged up and down.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 는 본 발명의 실시예에 관한 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치가 장착되어 있는 것으로, 본 발명은 종래의 식각프로세스(Metal Etch Process)에서 드라이가스 스크러버(10)의 파우더에 의한 막힘 현상을 없애기 위해 외부 파우더트랩(20)과 이 외부 파우더트랩(20)내에 뷰포트를 장착하도록 구성되어 있다.2 is a powder dust collecting device of the dry gas scrubber according to the embodiment of the present invention, the present invention is to eliminate the clogging phenomenon by the powder of the dry gas scrubber 10 in the conventional etching process (Metal Etch Process) It is configured to mount the outer powder trap 20 and the viewport in the outer powder trap (20).

즉, 상기 드라이가스 스크러버(10)는 배관을 통해 가스의 입구(11)와 출구(12)가 각기 설치되어 있고, 약제통(13)의 입출구로는 입구격리밸브(17)와 출구격리밸브(18)가 설치되면서 압력 트랜스듀서(15)와 바이패스밸브(16)가 각기 설치되어져 있다. 그리고, 상기 약제통(13)에는 내부로 약제만을 충진시키고 입구격리밸브(17)의 앞단에다 다공판(21 : 도 3 참조)이 상하로 배열되어 있는 외부 파우더트랩(20)을 설치하도록 구성되어져 있다.That is, the dry gas scrubber 10 is provided with gas inlet 11 and outlet 12 through a pipe, respectively, and the inlet and outlet of the medicine container 13 is an inlet isolation valve 17 and an outlet isolation valve ( 18), the pressure transducer 15 and the bypass valve 16 are respectively installed. In addition, the medicine container 13 is configured to fill only the medicine into the inside and to install an outer powder trap 20 in which a perforated plate 21 (see FIG. 3) is arranged up and down at the front end of the inlet isolation valve 17. have.

따라서, 본 발명은 상기 드라이가스 스크러버(10)내에서 외부 파우더트랩(20)에 쌓인 파우더의 제거를 약제통(13)의 약제를 교체하지 않고 파우더 제거를 쉽게 행할 수 있는 장점이 있다. Therefore, the present invention has the advantage that the powder can be easily removed to remove the powder accumulated in the outer powder trap 20 in the dry gas scrubber 10 without replacing the medicine of the medicine container (13).

도 3 는 도 2 에 도시된 파우더집진장치를 도시해 놓은 도면이고, 도 4 는 도 3 에 도시된 다공판을 도시해 놓은 사시도이며, 도 5 는 본 발명의 파우더집진장치를 설명하기 위한 작동상태도이다. Figure 3 is a view showing the powder dust collecting device shown in Figure 2, Figure 4 is a perspective view showing the porous plate shown in Figure 3, Figure 5 is an operating state diagram for explaining the powder dust collecting device of the present invention to be.

즉, 도 3 에 도시된 외부 파우더트랩(20)은 입구측으로 질소블로워(22)가 설치되는 한편 상부로 모터(24)가 장착되고, 이 외부 파우더트랩(20)의 측면으로 투명한 뷰포트(23)가 설치되게 된다. 이 외부 파우더트랩(20) 내부에는 상하로 배열된 다공판(21)을 겹겹이 설치하여 파우더가 트랩을 쉽게 빠져나가지 못하도록 한다. 상기 다공판(21)은 도 4 에 도시된 바와 같이 (-) 그라운드되고, 확대도면과 같이 구멍이 배열되어져 있다.That is, the outer powder trap 20 shown in FIG. 3 is equipped with a nitrogen blower 22 at the inlet side while the motor 24 is mounted at the upper side, and the viewport 23 transparent to the side of the outer powder trap 20. Will be installed. The outer powder trap (20) inside the perforated plate 21 arranged in the upper and lower layers are installed so that the powder does not easily escape the trap. The porous plate 21 is (-) grounded as shown in Figure 4, the holes are arranged as shown in the enlarged view.

상기 뷰포트(23)는 파우더양을 모니터링할 수 있도록 하여 약제 비정기 교체 현상을 방지할 수 있도록 한다. 상기 외부 파우더트랩(20)의 입구에는 질소(Nitrogen)를 블로우시켜 뜨거운 가스상태의 부산물(Byproduct)을 질소에 의해 냉각시켜 분말상태로 만들어 상하 배열된 다공판(21)에 흡착이 잘 이루어지도록 한다(도 5 참조). 이 다공판(21)들에 외부 (+) 파워를 인가하여 정전기에 의하여 흡착이 잘 되도록 한다. 또한, 다공판(21)을 외부 파우더트랩(20)상의 모터(24)에 의하여 진동(Vibration)을 발생시켜 흡착된 파우더가 밑으로 떨어지도록 한다.The viewport 23 can monitor the amount of powder to prevent the occasional drug replacement phenomenon. Nitrogen is blown at the inlet of the outer powder trap 20 to cool by-products in the hot gas state by nitrogen to form a powder state so that adsorption is made to the porous plates 21 arranged up and down. (See Figure 5). External (+) power is applied to the porous plates 21 so as to be easily adsorbed by static electricity. In addition, the porous plate 21 causes vibration by the motor 24 on the outer powder trap 20 so that the adsorbed powder falls down.

이상과 같이 구성되는 본 발명의 파우더집진장치는 N2 블로워(Blower : 22)와 다공판(Mesh : 21)을 이용한 집진장치를 드라이가스 스크러버(10)에 채용할 수 있고, 이 파우더집진장치의 뷰포트(View Port : 23) 설치 구조와 스크러버 외부에 집진장치를 구성하는 방법을 제공한 것이다.
The powder dust collector of the present invention constituted as described above can adopt a dust collector using an N2 blower (22) and a porous plate (Mesh: 21) to the dry gas scrubber 10, and the viewport of the powder dust collector (View Port: 23) It provides the installation structure and the method of configuring the dust collector outside the scrubber.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 드라이가스 스크러버의 약제통에 사용되는 파우더 집진장치의 구조변경을 통해 아래와 같은 효과가 있다. 첫째로는 파우더에 의한 약제통의 약제 막힘현상을 방지하고, 둘째로는 외부파우더 집진장치에 의한 쉬운 세정작용이며, 셋째는 뷰포트(View Port)설치로 인한 파우더 양을 모니터링하여 막힘 현상 미연에 방지하고, 넷째로는 질소블로우에 의한 냉각효과로 쉬운 흡착효과이며, 다섯째로는 다공판에 파워를 인가하여 정전기에 의한 흡착효과이고, 여섯째로는 모터를 이용한 다공판의 진동(Vibration)을 발생시켜 파우더의 분리효과 등을 갖는다.As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained through the structural change of the powder dust collecting apparatus used for the medicine container of the dry gas scrubber. First, it prevents the drug clogging of the medicine bottle by powder, and secondly, it is easy to clean by the external powder collector. Third, it prevents the clogging phenomenon by monitoring the amount of powder due to the installation of the view port. Fourth, the adsorption effect is easy by the cooling effect by nitrogen blow, and the fifth is the adsorption effect by applying static electricity to the porous plate, and sixth, the vibration of the porous plate using the motor is generated. Powder separation effect.

또한, 본 발명의 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치에 대한 기술사상을 예시도면에 의거하여 설명했지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명의 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다. 본 발명은 이 기술분야의 통상 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.In addition, although the technical concept of the powder dust collecting device of the dry gas scrubber of the present invention has been described based on the exemplary drawings, this is illustrative of the best embodiments of the present invention by way of example and not limited to the claims of the present invention. . It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and imitations can be made without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

Claims (3)

배관을 통해 가스의 입구와 출구가 각각 설치되고, 약제통의 입출구로는 입구격리밸브와 출구격리밸브가 설치되면서 압력 트랜스듀서와 바이패스밸브가 각기 설치되어지는 드라이가스 스크러버에 있어서, In the dry gas scrubber in which the gas inlet and outlet are respectively installed through the piping, and the inlet and outlet isolation valves are installed as pressure inlet and outlet isolation valves, respectively. 상기 약제통의 내부에 약제만을 충진시키고 입구격리밸브의 앞단에다 다공판이 상하로 배열되어 있는 외부 파우더트랩을 설치한 것을 특징으로 하는 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치.The powder collecting device of the dry gas scrubber, wherein only the medicine is filled in the inside of the medicine container, and an outer powder trap having a perforated plate arranged up and down is installed at the front end of the inlet isolation valve. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 외부 파우더트랩은 입구측으로 질소블로워가 설치되는 한편 상부로 모터가 장착되고, 이 외부 파우더트랩의 측면으로 투명한 뷰포트가 설치되게 된 것을 특징으로 하는 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치.The outer powder trap is a dust blower of the dry gas scrubber, characterized in that the nitrogen blower is installed on the inlet side while the motor is mounted on the upper side, and a transparent viewport is installed on the side of the outer powder trap. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 외부 파우더트랩의 입구에는 질소를 블로우시켜 뜨거운 가스상태의 부산물을 질소에 의해 냉각시켜 분말상태로 만들어 상하 배열된 다공판에 흡착이 잘 이루어진 것을 특징으로 하는 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치.Drying gas scrubber powder collector of the dry powder scrubber, characterized in that the inlet of the outer powder trap by blowing nitrogen by-products of the hot gas state by nitrogen to make the powder state adsorption on the porous plate arranged up and down.
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KR102023950B1 (en) 2018-10-23 2019-09-23 엠에이티플러스 주식회사 Apparatus for treating waste gas
KR20200021235A (en) 2018-08-20 2020-02-28 엠에이티플러스 주식회사 Apparatus for treating waste gas
KR20210095425A (en) 2020-01-23 2021-08-02 김대성 Centrifugal Separated Powder Collector
KR20210095421A (en) 2020-01-23 2021-08-02 김대성 Powder capture unit with water cooled cooler

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200021235A (en) 2018-08-20 2020-02-28 엠에이티플러스 주식회사 Apparatus for treating waste gas
KR102023950B1 (en) 2018-10-23 2019-09-23 엠에이티플러스 주식회사 Apparatus for treating waste gas
KR20210095425A (en) 2020-01-23 2021-08-02 김대성 Centrifugal Separated Powder Collector
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