JP4491696B2 - Exhaust gas treatment equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、有機シリコンを含有する排気ガスを高温酸化処理法にて処理する排気ガス処理装置に関するものであり、特に、半導体製造や液晶製造における有機シリコン含有排気ガスの処理に好適に適用し得るものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、一般的に、可燃性有害物質を含む有害ガスを浄化する処理装置として、高温酸化処理装置すなわち燃焼装置が広く使用されている。
【0003】
一般的な有害ガスの高温酸化処理装置のフローは、例えば図−1に示す通りであり、有害ガスはブロワー1を介して熱交換器2の受熱側に送られ処理後の高温排気から間接的に熱を回収し、さらにヒーターであるバーナー3により所定の温度まで昇温され、高温の反応部4にて可燃性有害物質は酸化分解される。この時の温度は一般的には750℃以上に設定され、処理後の高温排気は、熱交換器2の放熱側に通され、大気へ放出される。
【0004】
上記において、有害ガスを高温酸化処理装置にて処理する場合、一般的には、可燃性有害物質は酸化されやすいものが多く、量的にも極微量であるので、有機シリコンの酸化物は、熱交換器の放熱側伝熱面に付着することなく大気に放出されるものと考えられていた。従って、熱交換器2の放熱側での目詰まりは生じ難く、熱交換器の放熱側の目詰まり対策としては、特に何もなされていないのが現状である。
【0005】
しかしながら、半導体製造工程さらには液晶製造工程の有機排気ガスの一部には、有機シリコンの一種であるヘキサメチルジシラザンが含まれ、この排気ガスを従来の装置すなわち図ー1に示されるフローを用いた高温酸化処理装置にて処理した際には、熱交換器2の放熱側伝熱面に有機シリコンの酸化物である二酸化珪素が付着・堆積し、極めて短時間に熱交換器が目詰まりするという問題が発生した。
【0006】
さらに、熱交換器の目詰まりが発生すると、処理風量が低下し、充分な処理がなされず、また、ヒーターとしてバーナーを使用している場合には、バーナーの失火が発生し不完全燃焼となり、危険な状態に陥ることすらも生じる危険性を含んでいた。
【0007】
一方、この熱交換器の伝熱面に付着した二酸化珪素を完全に取り除くことは容易ではなく、最悪の場合には、熱交換器の交換を実施する必要があり、この場合には極めて多大な費用を要することとなった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のような問題点を解決することを目的とするものであり、酸化され難い有機シリコンを比較的多く含む排気ガスを高温酸化分解処理する場合にも、目詰まりや不完全燃焼を生じず、多大な補修費用を必要としない排気ガス処理装置を提供するものである。
【0009】
本発明者らは、有機シリコンを含有する排気ガスの高温酸化処理時に発生する堆積物を容易に除去する手段に関して検討するに際して、まず、かかる堆積物を化学分析した結果、堆積物が多少の煤等を含むものの、実質的には二酸化珪素を主要成分とするものであることを見い出した。
【0010】
さらに、本発明者らは、上記の二酸化珪素を主成分とする堆積物を剥離除去する手段に関して、鋭意検討した結果、本来水とは相溶性を有しない二酸化珪素の堆積物に水を散水すると、驚いたことに、水が堆積物の中に浸透し堆積物の形状を崩すと共に、水がステンレス等の金属と堆積物との間に浸透することにより堆積物を容易に剥離させることを見い出した。
【0011】
本発明者らは、上記知見を基に、さらに検討を重ねた結果、本発明に到達したものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
即ち、有機シリコンを含有する排気ガスを熱交換器の受熱側へ供給する排気ガス供給手段、受熱側の排気ガスと放熱側の排気ガスとの間で熱交換するための熱交換器、該熱交換器の受熱側を通過した排気ガスを加熱するための加熱手段及び該加熱手段で得られた高温の排気ガスを酸化分解するための反応部を有する排気ガス処理装置であって、前記熱交換器の放熱側へ散水するための散水手段及び散水後の廃水を前記排気ガス処理装置の系外へ排出するための排水手段を有する排気ガス処理装置を提供するものである。
【0013】
本発明の排気ガス処理装置の好ましい実施態様は、前記熱交換器の放熱側の入口と出口の差圧又は/及び前記熱交換器の放熱側の入口の圧力を検出するための圧力検出手段を有する。
【0014】
本発明の排気ガス処理装置の好ましい実施態様は、前記熱交換器が、ステンレス製伝熱面を有する平板平面流式熱交換器である。
【0015】
本発明の排気ガス処理装置の好ましい実施態様は、前記熱交換器の放熱側における排気ガスの流れが、上方から下方への下降流である。
【0016】
本発明の排気ガス処理装置の好ましい実施態様は、前記熱交換器の放熱側の出口に、廃水を受け溜めるためのチャンバーを付設したものである。
【0017】
本発明の排気ガス処理装置の好ましい実施態様は、前記散水手段及び/又は前記チャンバーが、装着及び脱着可能な構造である。
【0018】
また、本発明は、上記の排気ガス処理装置を2系統設置してなる排気ガス処理装置を提供するものである。
【0019】
【発明の実施形態】
本発明の排気ガス処理装置は、有機シリコンを含有する排気ガスに適用することが好ましく、例えば、数千ppm以下の濃度のアルコール類、ケトン類、脂肪族炭化水素類、芳香族炭化水素類等の有機溶剤を含有する排気ガス等に好適に適用することができる。
【0020】
なお、上記の排気ガスとは、各種工場の排気系統から排出されるいわゆる排気ガスに限定されるものではなく、例えば、低濃度の有機溶剤を含有する排気ガスを吸着式濃縮装置で処理することにより得られる濃縮ガス等は当然のこととして、いわゆる排気ガスとは称されないガスをも含むものである。
【0021】
上記の吸着式濃縮装置は、例えば、低濃度の有機溶剤を含む排気ガスは、連続回転するハニカム状吸着体の吸着部に通気され、浄化されると共に、吸着体の脱着部に通気される少量高温の脱着空気により、吸着体に吸着された有機溶剤は脱着される。これにより吸着体は連続再生され、有機溶剤を含有する濃縮ガスが吸着式濃縮装置から取り出される。ヘキサメチルジシラザン、またはその分解生成物であるトリメチルシラノール等の比較的沸点の低い有機シリコンは、この吸着式濃縮装置ににより濃縮される。すなわち、濃縮ガス中に比較的高い濃度で存在し、この濃縮ガスを高温酸化処理方法で処理した際には、二酸化珪素を主体とする有機シリコン酸化物である堆積物を多量に生成する場合が多く、かかる場合には、本発明の排気ガスの処理方法は優れた効果を発揮することとなる。
【0022】
本発明の排気ガス処理装置は、排気ガス中に含まれる有機シリコンが、アルキルシラン基を有する有機シリコンである場合に、より好適に適用することができる。
【0023】
なお、ここでいうアルキルシラン基を有する有機シリコンとは、例えばシロキサン結合、シラザン結合、シラノール結合等を有する有機シリコンを意味する。
【0024】
また、ヘキサメチルジシラザンやこの加水分解生成物であるトリメチルシラノールは、特に半導体製造工程や液晶製造工程等において用いられ、又は、多量に発生する有機シリコンであり、これらを含む排気ガスを高温酸化処理した際には、熱交換器における目詰まりが顕著に発生し、さらにこれらの有機シリコンは高温酸化処理の前段で排気ガス中から除去することが極めて困難な物質であるが、かかる有機シリコンを含有する排気ガスを処理対象とする場合に、本発明の排気ガス処理装置は特に好適に適用することができる。
【0025】
本発明において、有機シリコンの酸化物である堆積物は、二酸化珪素を主成分とするものである。
【0026】
なお、堆積物には、二酸化珪素の他に、不完全燃焼のスス、処理対象の有機シリコン、その化学変化物、その他排気ガス中の各成分等が含まれるが、二酸化珪素を主成分とする限り、本発明を適用し得るものである。
【0027】
また、上記堆積物の代表的な形状は、微粉粒体が圧縮された固形物であり、かかる堆積物は、各種配管、器具、備品、装置の内壁に付着し、圧縮空気やブラッシングによっては、除去することが困難な場合が多い。
【0028】
本発明の排気ガス処理装置における加熱手段は、特に限定されるものではなく、排気ガスに含まれる有害な有機溶剤を高温下にて酸化分解し無害な排気ガスを得る処理手段であれば、いかなる手段であってもよい。
【0029】
なお、本発明の排気ガス処理装置において、加熱手段は、高温酸化処理温度すなわち高温度の反応部における温度は750℃以上、この反応部での排気ガスの滞留時間は0.5秒以上、好ましくは1.0秒以上の条件により高温酸化処理する手段であることが好ましい。
【0030】
本発明の排気ガス処理装置における受熱側の排気ガスと放熱側の排気ガスとの間で熱交換するための熱交換器は、特に限定されるものではなく、例えば、平板平面流式熱交換器(図−3)、多管式熱交換器(図−4)等が好適に用いられる。
【0031】
なお、本発明の排気ガス処理装置においては、熱交換器放熱側伝熱面に付着した堆積物を散水除去し易い構造を有している熱交換器がより好ましく、特に平板平面流式熱交換器は、伝熱面同士の間隔が比較的広く、堆積物を散水除去し易い構造を有しているので、特に好ましい。
【0032】
上記の熱交換器の伝熱面の材質については、ステンレス製であることが好ましい。ステンレス性であれば、耐熱性に優れるのみならず、散水による腐食を防ぐ効果が高いからである。
【0033】
本発明の排気ガス処理装置において、熱交換器の放熱側へ散水するための散水手段は、特に限定されるものではなく、例えばシャワー状の水を散水して、堆積物にかける手段などが好適に用いられる。かかる手段であれば、熱交換器の放熱側に堆積した堆積物に対してもまんべんなく水を注ぐことが可能である。
【0034】
以下、図を用いて本発明を詳細に説明する。
【0035】
図−2には本発明の処理装置のフローの1例が示される。被処理ガスは、ブロワー1を介して伝熱面がステンレス製の平板平面流式熱交換器2の受熱側に送られ、処理後の高温排気ガスから間接的に熱を回収し、さらにヒーターであるバーナー3により所定の温度まで昇温される。高温の反応部4にて可燃性有害物質は酸化分解処理される。処理後の高温排気ガスは、熱交換器2の放熱側への導入部5を介して熱交換器2の放熱側へ通され、熱を放出した後、大気へ放出される。熱交換器2には、放熱側入口と出口との差圧を測定する圧力計6が設置され、熱交換器放熱側における二酸化珪素による目詰まりの状態が監視されている。さらに熱交換器2には放熱側へ水を散水する散水ライン7が付設されている。また、散水時の洗浄廃水を排出するための排水ライン8が熱交換器の放熱側に付設されている。
【0036】
熱交換器の放熱側伝熱面に二酸化珪素が付着・堆積し、熱交換器の放熱側に目詰まりが発生し、熱交換器放熱側入出口の差圧が上昇し、圧力計5の指示値が所定圧に達した際には、バーナー3による被処理ガスの昇温は停止され、熱交換器は常温程度に冷却された後ブロワー1は停止される。その後、散水ライン7から散水が行われ、熱交換器に堆積した二酸化珪素は洗い流される。この時に発生する二酸化珪素を含む洗浄廃水は、排水ライン8を通して熱交換器の外へと排出される。
【0037】
本発明を使用した図−2のフローに従う排気ガス処理装置の詳細部分図の1例が図−5に示される。熱交換器2には、伝熱面がステンレス製の平板平面流式熱交換器が使用されている。反応部4からの高温排気ガスの温度は、通常750℃以上であり、反応部4の内部さらには熱交換器2の放熱側入口への導入部である高温排気導入管5の内面には、内面を熱から保護するための断熱材4a,5aが取り付けられている。反応部4からの高温排気は導入管5を介して熱交換器2の下方に開口した放熱側入口へ通気される。この高温排気は、熱交換器の放熱側下方から上方に向かい上昇流で通気され、この間に排気の熱が回収され、その後大気放出管9を通して大気へ排出される。熱交換器2の放熱側の伝熱面に付着・堆積した二酸化珪素を除去するため、熱交換機2の放熱側出口2bから散水ライン7を通して散水を行う。
【0038】
本発明を使用した図−2のフローに従う排気ガス処理装置の詳細部分図の別の一例が図−6に示される。熱交換器2には、伝熱面がステンレス製の平板平面流式熱交換器が使用されている。反応部4からの高温排気導入管5を介して熱交換器2の上方に開口した放熱側入口へ通気される。この高温排気は、熱交換器の放熱側上方から下方に向かい下降流で通気され、この間に排気の熱が回収され、その後、大気放出管9を通して大気へ放出される。大気放出管9に通気される排気の温度は400℃以下となっており、大気放出管9の内面に、内面を熱から保護するための断熱材を付設する必要はない。熱交換器2の放熱側伝熱面に付着・堆積した二酸化珪素を除去するため、熱交換器2の放熱側入口2aより散水管7にて散水を行った。二酸化珪素の微粉体を含む廃水は、熱交換器2の放熱側出口2bより排出され、さらに大気放出管の底部に付設された排水ライン8より系外へ排出された。これにより、反応部4および導入部5の内面に取り付けられて断熱材は浸水により破損することも無く、熱交換器2の放熱側伝熱面に付着・堆積した二酸化珪素は、完全に洗浄除去された。
【0039】
図−6に示される処理装置に関して、熱交換器2の放熱側出口2bと大気放出管9との間に、廃水を受けるためのチャンバー10を設置した処理装置が、図ー7に示される。チャンバー10の底部には、二酸化珪素の微粉体を含む廃水を排出させるための排水ライン8が取り付けられている。チャンバー10が取り付けられることにより、微粉体の二酸化珪素を含む廃水が、完全に系外へ排出される。なお、チャンバー10はステンレス製であることが望ましい。
【0040】
なお、図−7に示される処理装置に関して、処理時における熱交換器2の放熱側入口2bの温度は750℃と極めて高温であり、散水ラインを熱交換器2の放熱側入口2b内部に常時設置しておくためには、耐熱性に優れた極めて高価な材質を散水管8に使用しなければならず、あまり好ましいことではない。そこで、散水管挿入口を設け、酸化分解処理を実施している間は、散水管8を熱交換器2の放熱側入口内部から取り外し、熱交換器2の放熱側伝熱面に付着・堆積した二酸化珪素を除去する際に、熱交換器を冷却した後、散水管挿入口より散水管8を熱交換器2の放熱側入口2b内部へ挿入装着し、熱交換器に付着・堆積した二酸化珪素を洗浄除去することが望ましい。
【0041】
図−8には本発明の処理方法の別の例が示される。この例では2系統即ち、A系統とB系統の設備が設置されている。まず、被処理ガスはA系統で処理される。即ち、被処理ガスは、開口された切替ダンパー8Aを介してブロワー1A、さらにステンレス製の平板平面流式熱交換器2Aの受熱側に送られ、処理後の高温排気ガスから間接的に熱を回収し、さらにヒーターであるバーナー3Aにより所定の温度まで昇温される。高温の反応部4Aにて可燃性有害物質は酸化分解処理される。処理後の高温排気は、熱交換器の放熱側に通され、大気へ放出される。熱交換器2Aには、放熱側入口と出口との差圧を測定する圧力計5Aが設置され、熱交換器放熱側における二酸化珪素による目詰まりの状態が監視されている。さらに熱交換器2Aには放熱側へ水を散水する散水ライン6Aが付設されている。また、散水時の洗浄廃水を排出するための排水ライン7Aが熱交換器2Aの放熱側に付設されている。この時には、外気取り入れダンパー9A,9Bはそれぞれ閉口されている。もう一方の処理系統であるB系統の設備は停止している。即ち、切替ダンバー8Bは閉口され、ブロワー1Bおよびバーナー3Bは停止している。
【0042】
熱交換器2Aの放熱側伝熱面に二酸化珪素が付着堆積し、熱交換器の放熱側に目詰まりが発生し、熱交換器放熱側入出口の差圧が上昇し、圧力計5Aの指示値が所定圧に達した際には、切替ダンパー8Aは閉められたまま、外気取り入れダンパー9Bが開口され、ブロワー1Bが起動される。さらにバーナー3Bが起動され、反応部4Bの温度が高温酸化処理を行うに充分な温度となった時点で、切替ダンパー8Bが開口されると同時に、外気取り入れダンパー9Bは閉口され、さらに外気取り入れダンパー9Aは開口されると同時に、切替ダンパー8Aは閉口される。これにより被処理ガスの処理設備がA系統からB系統へ切り替えられる。さらに、バーナー3Aは停止され、熱交換器2Aは冷却された後、ブロワー1Aが停止される。その後、散水ライン6Aから熱交換器放熱側へ散水が行われ、堆積した二酸化珪素が洗い流される。この時に発生する二酸化珪素を含む廃水は、排水ライン7Aを通して熱交換器の外へと排出される。これらの工程が終了した時点で、ブロワー2Aは再び起動され、熱交換器2Aを乾燥した後再び停止される。さらに、外気取り入れダンパー9Aは閉口され、A系統の設備は停止状態となる。なお、これら操作は、自動で行われることが望ましい。
【0043】
【実施例】
(実施例1)
ヘキサメチルジシラザンを約10ppm、酢酸ブチルを主体とする有機溶剤を3000ppm含む排気ガスに関して、本発明を使用した図ー2のフローに従う図ー7に示された処理装置により高温酸化処理を実施した。熱交換器2には伝熱面がステンレス製の平板平面流式熱交換器が使用され、高温酸化処理後の高温排気は、熱交換器2の放熱側の上方から下方へむけて下降流で通気された。また、バーナー3にはLPGが燃料として使用された。反応部4の温度は750℃となるように制御されている。
【0044】
圧力計の指示値は、高温酸化処理開始当初は、50mmAqであった。この時の酢酸ブチルの除去効率は99%以上と極めて良好であった。約1週間の高温酸化処理後、圧力計6の指示値が設定圧力の100mmAqまで上昇した。この時の酢酸ブチルの除去効率は99%以上と良好であった。また、処理風量の低下は特には見られなかった。その後、バーナー3を停止し、高温酸化処理を中止した。熱交換器2は約1〜2時間で約60℃程度まで冷却された。その後、ブロワー1を停止し、熱交換器2の上方に開口された放熱側入口2aから下方に向けて約10分程散水ライン7からの散水が行われた。散水は、特に熱交換器内部に人が入ることなく、熱交換器の開口面全体にまんべんなく行われた。二酸化珪素の白色粉体が多量に分散した廃水は、廃水受けチャンバー10に付設された排水ライン8から排出された。この廃水中に二酸化珪素の白色粉体が見られなくなった後、ブロワー1およびバーナー3は再起動され、反応部4の温度は定常処理温度の750℃まで上昇し、処理が再開された。ブロワー1の再起動から反応部4の温度が定常温度になるまでの時間は約30分であった。圧力計5の指示値は、50mmAqと高温酸化処理開始当初の値まで低下した。酢酸ブチルの除去率は99%以上と極めて良好であった。
【0045】
熱交換器に堆積した二酸化珪素を除去する上で、高温酸化処理の中止から再開までに掛かった時間は、約2時間30分であった。
また、ブロワー1を再起動した際に、熱交換器放熱側からの排気、即ち、大気へ放出される排気中には、二酸化珪素の白色粉体がほとんど見受けられなかった。
【0046】
さらに、処理を続けたところ、前回と同様、約1週間で圧力計5の指示値が100mmAqまで再び上昇した。このため、同じ操作を繰り返し実施した。
【0047】
(比較例1)
ヘキサメチルジシラザンを約10ppm、酢酸ブチルを主体とする有機溶剤を3000ppm含む排気ガスに関して、従来の処理方法を使用した図ー1のフローシートに従い、高温酸化処理を実施した。熱交換器2にはステンレス製の平板平面流式熱交換器を用いた。また、バーナー3にはLPGが燃料として使用された。反応部4の温度は750℃となるように制御されている。
【0048】
高温酸化処理開始当初の酢酸ブチルの除去効率は99%以上と極めて良好であった。熱交換器2の放熱側の圧力の監視はなされておらず、熱交換器放熱側の目詰まり状況が把握できないため、高温酸化処理を開始してから約2週間後、バーナー3の失火がたびたび発生し、充分な高温酸化処理が出来なくなった。また、処理風量も高温酸化処理開始時の50%以下に低下していた。このため、バーナー3を停止し、高温酸化処理を中止した。その後、熱交換器2を人が熱交換器内部に入る上で問題のない30℃程度まで冷却した。冷却には約6時間が必要であった。その後、ブロワー1を停止し、熱交換器2の内部に人が入り、点検を実施したところ、放熱側が完全に目詰まりしていることが判明した。熱交換器の放熱側は、黒色物質が堆積していた。この堆積物を分析したところ、これらの物質は、バーナー3の不完全燃焼により発生したススに起因する炭素と、ヘキサメチルジシラザンの酸化物である二酸化珪素の混合物であることが判明した。
【0049】
(比較例2)
比較例1と同様、ヘキサメチルジシラザンを約10ppm、酢酸ブチルを主体とする有機溶剤を3000ppm含む排気ガスに関して、図ー1のフローシートに従い高温酸化処理を実施した。熱交換器2には伝熱面がステンレス製の平板平面流式熱交換器を用いた。また、バーナー3にはLPGが燃料として使用された。反応部4の温度は750℃となるように制御されている。
【0050】
高温酸化処理開始当初の酢酸ブチルの除去効率は99%以上と極めて良好であった。熱交換器2の放熱側の圧力の監視はなされていないが、比較例1の結果から、高温酸化処理開始1週間後に、バーナー3を停止し、高温酸化処理を中止した。その後、熱交換器2を人が熱交換器内部に入る上で問題のない30℃程度まで冷却した。冷却には約6時間が必要であった。その後、ブロワー1を停止し、熱交換器2の内部に人が
入り、点検したところ、放熱部の伝熱面に、白色の二酸化珪素が堆積しているのが確認された。この堆積物を、まず、ブラシにより除去し、その後、圧縮空気による除去を試みた。しかしながら二酸化珪素は熱交換器2の伝熱面に密着しており、完全に堆積物を除去することは不可能であった。堆積物の除去に掛かった時間は約3時間であった。
【0051】
その後、ブロワー1およびバーナー3が再起動され、反応部4の温度は定常処理温度の750℃まで上昇し、高温酸化処理が再開された。ブロワー1の再起動から反応部4の温度が定常温度になるまでの時間は約30分であった。
【0052】
熱交換器に堆積した二酸化珪素を除去する上で、高温酸化処理の停止から再開までに掛かった時間は、約9時間30分であった。
【0053】
また、ブロワー1を起動した直後から数分間の間、大気への排気中に多量の二酸化珪素の白色粉体が混入していることが見受けられた。
【0054】
さらに、高温酸化処理を続けたところ、約1週間の高温酸化処理を実施した時点で、バーナー3の失火がたびたび発生し、充分な酸化分解処理を実施することが困難な状況となった。また、処理風量も処理開始時の50%以下に低下していた。
【0055】
【発明の効果】
本発明の排気ガス処理装置により、有機シリコンを含有した排気ガスは、バーナーの失火さらには処理風量の低下を伴うこともなく、安定的に、高い効率で高温酸化処理された。また、熱交換器の放熱側に堆積した二酸化珪素は極めて短い時間にて、しかも簡単に除去された。さらに、その除去効果は極めて高く、ほぼ完全に二酸化珪素を熱交換機伝熱面から洗浄除去することができた。さらに本方法による洗浄除去後の熱交換器に残存する二酸化珪素の残査は少なく、処理再開時に二酸化珪素の残査が大気に排出されるといった2次的な公害を引き起こす心配がないことも明らかとなった。
上記の通り、本発明の排気ガス処理装置は、特に有機シリコンを含有した排気ガスを排出する半導体製造工程や液晶製造工程等に、特に好適に用いることができ、その効果は大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の排気ガス処理装置のフローシートの一例である。
【図2】本発明の排気ガス処理装置のフローシートの一例である。
【図3】本発明に使用される平板平面流式熱交換器の1例である。
【図4】本発明に使用される多管式熱交換器の1例である。
【図5】本発明の排気ガス処理装置の詳細部分図の1例である。
【図6】本発明の排気ガス処理装置の詳細部分図の1例である。
【図7】本発明の排気ガス処理装置の詳細部分図の1例である。
【図8】本発明の排気ガス処理装置のフローシートの一例である。
【符号の説明】
1、1A、1B ブロワー
2、2A、2B 熱交換器
2a 熱交換器放熱側入口
2b 熱交換器放熱側出口
3、3A、3B ヒーター(バーナー)
4、4A、4B 反応部
5 高温排気導入管
6、6A、6B 圧力計
7、7A、7B 散水ライン
8、8A、8B 排水ライン
9 大気放出管
10 チャンバー
11A、11B 切り替えダンパー
12A、12B 外気取り入れダンパー[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to an exhaust gas processing apparatus for processing exhaust gas containing organic silicon by a high-temperature oxidation method, and can be suitably applied particularly to processing of exhaust gas containing organic silicon in semiconductor manufacturing or liquid crystal manufacturing. Is.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a high-temperature oxidation treatment apparatus, that is, a combustion apparatus, has been widely used as a treatment apparatus that purifies harmful gases containing flammable harmful substances.
[0003]
The flow of a general harmful gas high-temperature oxidation treatment apparatus is as shown in FIG. 1, for example, and the harmful gas is sent to the heat receiving side of the
[0004]
In the above, when processing harmful gas in a high-temperature oxidation treatment apparatus, in general, flammable harmful substances are often easily oxidized, and since the amount is extremely small, the oxide of organic silicon, It was thought that it was released to the atmosphere without adhering to the heat transfer side heat transfer surface of the heat exchanger. Therefore, clogging on the heat radiating side of the
[0005]
However, a part of the organic exhaust gas in the semiconductor manufacturing process and further in the liquid crystal manufacturing process contains hexamethyldisilazane which is a kind of organic silicon, and this exhaust gas is flown through the conventional apparatus, that is, the flow shown in FIG. When processing with the high-temperature oxidation processing apparatus used, silicon dioxide, which is an oxide of organic silicon, adheres and accumulates on the heat transfer side heat transfer surface of the
[0006]
In addition, if the heat exchanger is clogged, the air flow rate will be reduced and sufficient processing will not be performed.If a burner is used as a heater, the burner will misfire, resulting in incomplete combustion. It included the danger of even falling into a dangerous state.
[0007]
On the other hand, it is not easy to completely remove the silicon dioxide adhering to the heat transfer surface of this heat exchanger, and in the worst case, it is necessary to replace the heat exchanger. It was expensive.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention aims to solve the above-mentioned problems, and is also clogged or incompletely burned even when exhaust gas containing a relatively large amount of organic silicon that is difficult to be oxidized is subjected to high-temperature oxidative decomposition treatment. The present invention provides an exhaust gas treatment device that does not cause a large amount of repair costs.
[0009]
When examining the means for easily removing deposits generated during high-temperature oxidation treatment of exhaust gas containing organic silicon, the present inventors first analyzed the deposits, and as a result, some deposits were found. However, it has been found that silicon dioxide is essentially the main component.
[0010]
Furthermore, as a result of intensive studies on the means for peeling and removing the above-mentioned deposits containing silicon dioxide as a main component, the present inventors have sprinkled water on silicon dioxide deposits that are inherently incompatible with water. Surprisingly, it has been found that water penetrates into the deposit and destroys the shape of the deposit, and the water easily penetrates between the metal such as stainless steel and the deposit to cause the deposit to peel off easily. It was.
[0011]
As a result of further studies based on the above findings, the present inventors have reached the present invention.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
That is, an exhaust gas supply means for supplying exhaust gas containing organic silicon to the heat receiving side of the heat exchanger, a heat exchanger for exchanging heat between the heat receiving side exhaust gas and the heat releasing side exhaust gas, the heat An exhaust gas treatment apparatus having a heating means for heating exhaust gas that has passed through a heat receiving side of an exchanger, and a reaction section for oxidizing and decomposing high-temperature exhaust gas obtained by the heating means, wherein the heat exchange There is provided an exhaust gas treatment apparatus having watering means for watering to the heat radiating side of the vessel and drainage means for discharging waste water after watering out of the exhaust gas treatment apparatus.
[0013]
In a preferred embodiment of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, there is provided pressure detecting means for detecting a differential pressure between an inlet and an outlet on the heat radiation side of the heat exchanger and / or a pressure at an inlet on the heat radiation side of the heat exchanger. Have.
[0014]
In a preferred embodiment of the exhaust gas treatment device of the present invention, the heat exchanger is a flat plate flow heat exchanger having a stainless steel heat transfer surface.
[0015]
In a preferred embodiment of the exhaust gas treatment device of the present invention, the flow of exhaust gas on the heat radiation side of the heat exchanger is a downward flow from above to below.
[0016]
In a preferred embodiment of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, a chamber for collecting waste water is attached to an outlet on the heat radiation side of the heat exchanger.
[0017]
In a preferred embodiment of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, the watering means and / or the chamber is a structure that can be attached and detached.
[0018]
In addition, the present invention provides an exhaust gas processing apparatus in which two systems of the above exhaust gas processing apparatus are installed.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The exhaust gas treatment apparatus of the present invention is preferably applied to exhaust gas containing organic silicon. For example, alcohols, ketones, aliphatic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons having a concentration of several thousand ppm or less, etc. The present invention can be suitably applied to exhaust gas containing any organic solvent.
[0020]
The exhaust gas is not limited to the so-called exhaust gas discharged from the exhaust systems of various factories. For example, the exhaust gas containing a low-concentration organic solvent is treated with an adsorption concentrator. As a matter of course, the concentrated gas and the like obtained by the above process include a gas that is not called exhaust gas.
[0021]
In the above-described adsorption type concentrator, for example, exhaust gas containing a low concentration organic solvent is ventilated and purified through the adsorbing part of the continuously rotating honeycomb adsorbent, and is also vented to the desorbing part of the adsorbent. The organic solvent adsorbed on the adsorbent is desorbed by the high temperature desorption air. Thereby, the adsorbent is continuously regenerated, and the concentrated gas containing the organic solvent is taken out from the adsorption type concentrator. Organic silicon having a relatively low boiling point, such as hexamethyldisilazane or its decomposition product, trimethylsilanol, is concentrated by this adsorption type concentrator. That is, it exists in a relatively high concentration in the concentrated gas, and when this concentrated gas is processed by the high-temperature oxidation method, a large amount of deposits, which are organic silicon oxides mainly composed of silicon dioxide, may be generated. In many cases, the exhaust gas treatment method of the present invention exhibits excellent effects.
[0022]
The exhaust gas treatment device of the present invention can be more suitably applied when the organic silicon contained in the exhaust gas is an organic silicon having an alkylsilane group.
[0023]
Here, the organic silicon having an alkylsilane group means organic silicon having a siloxane bond, a silazane bond, a silanol bond, or the like.
[0024]
Hexamethyldisilazane and its hydrolysis product, trimethylsilanol, are especially used in semiconductor manufacturing processes, liquid crystal manufacturing processes, etc., or are abundantly generated organic silicon, and exhaust gas containing them is oxidized at high temperature. When treated, clogging in the heat exchanger occurs remarkably, and these organic silicons are substances that are extremely difficult to remove from the exhaust gas before the high temperature oxidation treatment. The exhaust gas treatment apparatus of the present invention can be particularly suitably applied when the contained exhaust gas is to be treated.
[0025]
In the present invention, the deposit that is an oxide of organic silicon is mainly composed of silicon dioxide.
[0026]
In addition to silicon dioxide, the deposit contains incompletely combusted soot, organic silicon to be treated, chemical changes thereof, and other components in exhaust gas, etc., but silicon dioxide is the main component. As long as the present invention is applicable.
[0027]
The typical shape of the deposit is a solid material in which fine particles are compressed, and such deposit adheres to the inner walls of various pipes, instruments, fixtures, and equipment, and depending on the compressed air and brushing, Often difficult to remove.
[0028]
The heating means in the exhaust gas treatment apparatus of the present invention is not particularly limited as long as it is a treatment means for obtaining harmless exhaust gas by oxidizing and decomposing a harmful organic solvent contained in the exhaust gas at a high temperature. It may be a means.
[0029]
In the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, the heating means has a high temperature oxidation treatment temperature, that is, a temperature in the high temperature reaction part of 750 ° C. or higher, and the residence time of the exhaust gas in this reaction part is 0.5 second or more, Is preferably a means for high-temperature oxidation treatment under conditions of 1.0 second or longer.
[0030]
The heat exchanger for exchanging heat between the exhaust gas on the heat receiving side and the exhaust gas on the heat radiation side in the exhaust gas treatment apparatus of the present invention is not particularly limited, for example, a flat plate flow heat exchanger (FIG. 3), a multi-tube heat exchanger (FIG. 4), etc. are used suitably.
[0031]
In the exhaust gas treatment device of the present invention, a heat exchanger having a structure in which the deposits adhering to the heat exchanger heat-dissipating side heat transfer surface can be easily removed by sprinkling is more preferable. Since the space | interval of heat-transfer surfaces is comparatively wide and has a structure which sprinkles and removes a deposit, it is especially preferable.
[0032]
The material of the heat transfer surface of the heat exchanger is preferably made of stainless steel. This is because the stainless steel is not only excellent in heat resistance but also highly effective in preventing corrosion due to water spray.
[0033]
In the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, the watering means for sprinkling water to the heat radiating side of the heat exchanger is not particularly limited, and for example, means for spraying shower-like water and applying it to the deposit is suitable. Used for. With such means, it is possible to evenly pour water on the deposit deposited on the heat radiation side of the heat exchanger.
[0034]
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0035]
FIG. 2 shows an example of the flow of the processing apparatus of the present invention. The gas to be treated is sent to the heat receiving side of the flat plate flow
[0036]
Silicon dioxide adheres and accumulates on the heat transfer side heat transfer surface of the heat exchanger, clogging occurs on the heat release side of the heat exchanger, the differential pressure at the heat exchanger heat release side increases and the
[0037]
An example of a detailed partial view of an exhaust gas treatment device according to the flow of FIG. 2 using the present invention is shown in FIG. The
[0038]
Another example of a detailed partial view of an exhaust gas treatment device according to the flow of FIG. 2 using the present invention is shown in FIG. The
[0039]
Regarding the processing apparatus shown in FIG. 6, a processing apparatus in which a
[0040]
Regarding the processing apparatus shown in FIG. 7, the temperature of the heat
[0041]
FIG. 8 shows another example of the processing method of the present invention. In this example, two systems, that is, facilities of system A and system B are installed. First, the gas to be processed is processed in the A system. In other words, the gas to be treated is sent to the heat receiving side of the blower 1A and further the flat plate flow
[0042]
Silicon dioxide adheres and accumulates on the heat transfer side heat transfer surface of the
[0043]
【Example】
Example 1
With respect to exhaust gas containing about 10 ppm of hexamethyldisilazane and 3000 ppm of an organic solvent mainly composed of butyl acetate, high-temperature oxidation treatment was performed by the treatment apparatus shown in FIG. 7 according to the flow of FIG. . The
[0044]
The indicated value of the pressure gauge was 50 mmAq at the beginning of the high temperature oxidation treatment. The removal efficiency of butyl acetate at this time was extremely good at 99% or more. After high temperature oxidation treatment for about one week, the indicated value of the pressure gauge 6 rose to the set pressure of 100 mmAq. The removal efficiency of butyl acetate at this time was as good as 99% or more. Moreover, the reduction of the treatment air volume was not particularly seen. Thereafter, the
[0045]
In removing the silicon dioxide deposited on the heat exchanger, it took about 2 hours and 30 minutes from the discontinuation of the high temperature oxidation treatment to the resumption.
Further, when the blower 1 was restarted, almost no white powder of silicon dioxide was found in the exhaust from the heat exchanger heat radiation side, that is, the exhaust discharged to the atmosphere.
[0046]
Furthermore, when the process was continued, the indicated value of the
[0047]
(Comparative Example 1)
The exhaust gas containing about 10 ppm of hexamethyldisilazane and 3000 ppm of an organic solvent mainly composed of butyl acetate was subjected to high temperature oxidation treatment according to the flow sheet of FIG. 1 using a conventional treatment method. As the
[0048]
The removal efficiency of butyl acetate at the beginning of the high-temperature oxidation treatment was extremely good at 99% or more. The pressure on the heat dissipation side of the
[0049]
(Comparative Example 2)
As in Comparative Example 1, high-temperature oxidation treatment was performed on the exhaust gas containing about 10 ppm of hexamethyldisilazane and 3000 ppm of an organic solvent mainly composed of butyl acetate according to the flow sheet of FIG. As the
[0050]
The removal efficiency of butyl acetate at the beginning of the high-temperature oxidation treatment was extremely good at 99% or more. Although the pressure on the heat radiation side of the
[0051]
Then, the blower 1 and the
[0052]
In removing the silicon dioxide deposited on the heat exchanger, the time taken from the stop to the restart of the high temperature oxidation treatment was about 9 hours 30 minutes.
[0053]
It was also found that a large amount of white powder of silicon dioxide was mixed in the exhaust to the atmosphere for several minutes immediately after the blower 1 was started.
[0054]
Further, when the high temperature oxidation treatment was continued, when the high temperature oxidation treatment was performed for about one week, the
[0055]
【The invention's effect】
With the exhaust gas treatment apparatus of the present invention, the exhaust gas containing organic silicon was stably oxidized with high efficiency and high-temperature oxidation without causing a burner misfire or a reduction in the amount of treatment air. Further, silicon dioxide deposited on the heat radiation side of the heat exchanger was easily removed in a very short time. Further, the removal effect was extremely high, and silicon dioxide was almost completely cleaned and removed from the heat exchanger heat transfer surface. Furthermore, there is little residue of silicon dioxide remaining in the heat exchanger after washing and removal by this method, and it is also clear that there is no fear of causing secondary pollution such as the residue of silicon dioxide being discharged to the atmosphere when processing is resumed. It became.
As described above, the exhaust gas treatment apparatus of the present invention can be used particularly preferably in a semiconductor manufacturing process, a liquid crystal manufacturing process, or the like that exhausts exhaust gas containing organic silicon, and the effect is great.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an example of a flow sheet of a conventional exhaust gas processing apparatus.
FIG. 2 is an example of a flow sheet of the exhaust gas treatment device of the present invention.
FIG. 3 is an example of a flat plate flow heat exchanger used in the present invention.
FIG. 4 is an example of a multi-tube heat exchanger used in the present invention.
FIG. 5 is an example of a detailed partial view of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention.
FIG. 6 is an example of a detailed partial view of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention.
FIG. 7 is an example of a detailed partial view of the exhaust gas treatment apparatus of the present invention.
FIG. 8 is an example of a flow sheet of the exhaust gas treatment device of the present invention.
[Explanation of symbols]
1, 1A,
4, 4A,
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