KR20060074771A - Standard mechanical interface system - Google Patents

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KR20060074771A
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door
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차현기
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동부일렉트로닉스 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 제조를 위한 공정장비의 주변장치로 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface) 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a standard mechanical interface system used as a peripheral device for process equipment for manufacturing a semiconductor.

본 발명은, 파드도어의 체결후크를 작동시키는 회전판을 회전시키기 위해 그 회전축을 통해 결합되는 구동모터와, 상기 회전축의 회전에 따라 승하강되는 승하강부재와, 상기 승하강부재에 연동되어 승하강됨으로써 SMIF파드를 클램핑 또는 언클램핑하는 복수개의 래치부재와, 상기 승하강부재와 상기 래치부재간을 연결하도록 절곡된 형상으로 이루어져 절곡부분에 회전가능한 죠인트부가 구비되는 연결링크부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. The present invention, the drive motor coupled through the rotary shaft to rotate the rotary plate for operating the fastening hook of the pod door, the elevating member is raised and lowered in accordance with the rotation of the rotary shaft, and the elevating member Thereby comprising a plurality of latch members for clamping or unclamping SMIF pods, and a link link member having a rotatable joint portion at a bent portion formed in a shape bent to connect the lifting member and the latch member. do.

따라서, 한개의 구동모터를 이용하여 한번의 구동으로 두가지 작용이 동시에 이루어지게 되므로, 공정시간을 단축시켜 생산성 향상을 기하고, 에러 및 고장 발생 가능성을 줄여 사용상의 효율성 및 장비가동율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, since two actions are performed at the same time by using a single drive motor, the process time can be shortened to improve productivity, and the possibility of errors and failures can be reduced, thus improving the efficiency of operation and equipment operation rate. It works.

SMIF, 파드, 포트, 래치, 웨이퍼, 반도체SMIF, Pods, Ports, Latches, Wafers, Semiconductors

Description

스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템{STANDARD MECHANICAL INTERFACE SYSTEM}Standard mechanical interface system {STANDARD MECHANICAL INTERFACE SYSTEM}

도 1은 종래의 SMIF시스템의 일부를 보여주는 개략도, 1 is a schematic view showing a part of a conventional SMIF system,

도 2는 도 1의 SMIF파드에 대한 저면도, FIG. 2 is a bottom view of the SMIF pod of FIG. 1;

도 3은 도 1의 SMIF포트 일부를 도시한 일부 절개 사시도, 3 is a partial cutaway perspective view showing a part of the SMIF port of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 SMIF시스템의 요부를 보여주는 개략도이다. Figure 4 is a schematic diagram showing the main part of the SMIF system according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : SMIF파드 11 : 파드도어10: SMIF Pod 11: Paddoor

11a : 삽입구멍 12 : 캐리어11a: insertion hole 12: carrier

13 : 파드커버 14 : 밀봉재13: Pad cover 14: sealing material

15 : 중심구멍 16 : 체결후크15: center hole 16: fastening hook

20 : SMIF포트 22 : 가이드레일20: SMIF port 22: guide rail

23 : 래치 24 : 포트도어23 latch 24 port door

25 : 위치결정핀 26 : 검출센서25: positioning pin 26: detection sensor

27 : 파드감지센서 30 : 회전판27: Pod detection sensor 30: rotating plate

32 : 회전핀 34 : 검출바32: rotary pin 34: detection bar

36 : 회전축 36a : 볼스크류부 36: rotating shaft 36a: ball screw portion                 

38 : 구동모터 40 : 볼너트부재38: drive motor 40: ball nut member

42 : 연결링크부재 42a : 죠인트부42: linking member 42a: joint portion

44 : 래치부재44: latch member

본 발명은 반도체 제조를 위한 공정장비의 주변장치로 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface) 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 한개의 구동모터의 한번의 구동만으로 SMIF파드에 대한 클램핑 및 파드도어의 언락킹 또는 그 반대작용이 동시에 이루어지게 되는 SMIF시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a standard mechanical interface system used as a peripheral device for process equipment for manufacturing a semiconductor. More specifically, the present invention relates to a clamping and a pad door of an SMIF pod by only one driving of one driving motor. It relates to an SMIF system in which unlocking or vice versa takes place simultaneously.

일반적으로, 반도체 제조 공정을 수행하는 각 공정장비의 주변장치로서 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface ; 이하, "SMIF"로 칭함) 시스템은 좁은 공간의 청정실 등에서 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위하여 웨이퍼(wafer)가 저장된 캐리어(carrier)를 각 공정장비측에 장전하거나 인출하는데 사용되게 된다. In general, the Standard Mechanical Interface (hereinafter referred to as "SMIF") system, which is used as a peripheral device for each process equipment that performs a semiconductor manufacturing process, is an artificial mistake such as an air control and a process processing in a clean room of a narrow space. In order to prevent this problem, the wafer is stored and used to load or withdraw carriers stored in each process equipment.

도 1은 종래의 SMIF시스템의 일부를 보여주는 개략도이다. 1 is a schematic diagram showing a part of a conventional SMIF system.

SMIF파드(10)는 그 하부에 마련된 파드도어(11), 파드도어(11)의 상부에 탑재되며 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(12) 및 캐리어(12)를 덮고 있는 파드커버(13)를 포함하며, 그 내부는 진공상태를 유지해야 하므로, 파드도어(11)의 각 측변을 따라 고무재질의 밀봉재(14)가 마련된다. The SMIF pod 10 includes a pod door 11 provided at a lower portion thereof, a carrier 12 mounted on an upper portion of the pod door 11, and a pod cover 13 covering the carrier 12 and the wafers 12 aligned. Since the inside thereof must be maintained in a vacuum state, a rubber sealing material 14 is provided along each side of the pod door 11.

파드도어(11)의 하면에는 도 2의 저면도로 나타낸 바와 같이, 복수개의 삽입구멍(11a)과 한쌍의 중심구멍(15)이 형성되어 있으며, 삽입구멍(11a)에는 후술하는 SMIF포트(20)측의 위치결정핀(25)이 삽입되는 것에 의해 SMIF파드(10)가 정위치에 안착되도록 한다. As shown in the bottom view of FIG. 2, a plurality of insertion holes 11a and a pair of center holes 15 are formed in the lower surface of the pod door 11, and the SMIF port 20 described later is provided in the insertion hole 11a. The positioning pin 25 on the side is inserted so that the SMIF pod 10 is seated in the correct position.

또한, 파드도어(11)의 측변 둘레에는 다수개의 체결후크(16)가 구비되며, 미도시하였으나 이에 대응되는 위치의 파드커버(13) 내측면상에는 다수개의 후크홈이 형성되어 있어, 체결후크(16)가 후크홈에 선택적으로 체결됨으로써, 파드도어(11)와 파드커버(13)간에 상호 락킹 또는 언락킹되게 된다. In addition, a plurality of fastening hooks 16 are provided at the circumference of the pod door 11, and a plurality of hook grooves are formed on the inner surface of the pod cover 13 at a position corresponding to the fastening hooks. 16 is selectively fastened to the hook groove, so that the pod door 11 and the pod cover 13 are mutually locked or unlocked.

한편, SMIF포트(20)는 그 상면상에 Ｌ자형상의 가이드레일(22), 래치(latch)(23) 및 포트도어(24)를 구비한다. On the other hand, the SMIF port 20 includes an L-shaped guide rail 22, a latch 23, and a port door 24 on its upper surface.

가이드레일(22)은 SMIF포트(20) 상면의 각 꼭지점에 마련되어 SMIF포트(20)상의 정위치에 SMIF파드(10)가 안착되도록 안내하며, 래치(23)는 가이드레일(22)의 코너부에 선택적으로 구비되어 안착되는 SMIF파드(10)를 기계적으로 클램핑하여 고정하게 된다. The guide rail 22 is provided at each vertex of the upper surface of the SMIF port 20 to guide the SMIF pod 10 to be seated at the correct position on the SMIF port 20, and the latch 23 is a corner portion of the guide rail 22. The SMIF pod 10 which is selectively provided and seated in the mechanical clamping is fixed.

포트도어(24)는 파드도어(11)와 함께 수직방향으로 이송되어 파드도어(11)상의 캐리어(12)를 상하로 운반하는 역할을 하며, 그 상면상에는 전술한 바와 같이 파드도어(11)의 삽입구멍(11a)에 각각 삽입되게 되는 위치결정핀(25)과 안착되는 SMIF파드(10)를 감지하는 파드감지센서(27)가 구비되어 있다. The port door 24 is transported in the vertical direction together with the pod door 11 to carry the carrier 12 on the pod door 11 up and down, and the upper surface of the pod door 11 as described above. A pod detecting sensor 27 for detecting the positioning pin 25 to be inserted into the insertion hole 11a and the SMIF pod 10 seated therein is provided.

그리고, SMIF포트(20)의 상부측 중심부에는 도 3에 나타낸 바와 같이, 파드 도어(11)의 중심구멍(15)에 삽입되는 회전핀(32)이 그 상면상에 형성된 회전판(30)이 구비되며, 이 회전판(30)의 외측면상에는 검출바(34)가 구비되어 있고, 그 하면은 수직방향으로 구비되는 회전축(36)에 결합되며, 회전축(36)은 회전구동력을 제공하는 구동모터(38)에 연결되어 있다. In addition, as shown in FIG. 3, a rotary plate 30 having a rotary pin 32 inserted into the center hole 15 of the pod door 11 is provided on the upper surface of the SMIF port 20. On the outer surface of the rotating plate 30 is provided with a detection bar 34, the lower surface is coupled to the rotary shaft 36 provided in the vertical direction, the rotary shaft 36 is a drive motor for providing a rotational driving force ( 38).

또한, SMIF포트(20)의 상부측에는 전술한 회전판(30)의 검출바(34)를 감지하기 위해 일정각도 이격되어 검출센서(26)가 구비되어 있다. In addition, the upper side of the SMIF port 20 is provided with a detection sensor 26 spaced at a predetermined angle to detect the detection bar 34 of the rotating plate 30 described above.

한편, 미도시하였으나 전술한 래치(23)를 동시에 작동시켜 안착되는 SMIF파드(10)를 클램핑 또는 언클램핑하도록 구동하게 하는 제2구동모터가 구비되어 있다. On the other hand, although not shown, a second drive motor is provided to drive the above-described latch 23 to simultaneously clamp or unclamp the seated SMIF pod 10.

이상과 같은 구성으로, 웨이퍼가 정렬 수납된 캐리어(12)가 탑재된 SMIF파드(10)가 SMIF포트(20)상에 안착되어 작용되는 일련의 과정을 설명하면 다음과 같다. With the above configuration, a series of processes in which the SMIF pod 10 on which the carrier 12 on which the wafer is aligned is mounted is seated and operated on the SMIF port 20 will be described.

SMIF파드(10)는 그 삽입구멍(11a)과 SMIF포트(20)측의 위치결정핀(25)의 상호작용 및 SMIF포트(20)의 가이드레일(22)에 의해 정위치로 안내되면서 안착되게 되며, 그 안착된 사실은 포트도어(24)상의 파드감지센서(27)에 의해 감지되게 된다. The SMIF pod 10 is seated while guided in position by the interaction between the insertion hole 11a and the positioning pin 25 on the SMIF port 20 side and the guide rail 22 of the SMIF port 20. The seated fact is detected by the pod detection sensor 27 on the port door 24.

따라서, 파드감지센서(27)가 안착되는 SMIF파드(10)를 감지함에 따라서 제2구동모터가 구동되어 다수개의 래치(23)가 내측을 향해 회동작동됨으로써, 안착된 SMIF파드(10)의 외측을 클램핑하여 고정하게 된다. Accordingly, as the pod detection sensor 27 detects the SMIF pod 10 to be seated, the second driving motor is driven to rotate the plurality of latches 23 to the inner side, so that the outside of the seated SMIF pod 10 is rotated. To clamp it.

그리고, SMIF파드(10)의 안착에 따라 회전판(30)의 회전핀(32)이 파드도어(11)의 중심구멍(15)에 삽입되게 됨은 물론이다. As the SMIF pod 10 is seated, the rotary pin 32 of the rotating plate 30 is inserted into the center hole 15 of the pod door 11, of course.                         

이로써, SMIF파드(10)가 안착되는 과정은 완료되며, 필요시점에서 구동모터(38)가 구동되어 회전판(30)을 일정각도 회전시키며, 이에 따라 회전판(30)의 검출바(34)가 일측의 검출센서(26)에 검출되게 되면, 파드도어(11)의 체결후크(16)가 작동되어 파드커버(13)의 후크홈으로부터 분리되어 상호 언락킹되게 된다. As a result, the process of seating the SMIF pod 10 is completed, and when necessary, the driving motor 38 is driven to rotate the rotating plate 30 at an angle, and thus the detection bar 34 of the rotating plate 30 is one side. When detected by the detection sensor 26, the fastening hook 16 of the pod door 11 is operated to be separated from the hook groove of the pod cover 13 to be unlocked with each other.

이로써, 파드도어(11)는 래치(23)에 의해 클램핑되어 있는 파드커버(13)와 언락킹되므로, 포트도어(24)가 하강함에 따라 함께 수직방향으로 하강하여, 그 상면상에 재치된 캐리어(12)가 SMIF포트(20)내에 위치되도록 하게 된다. Thus, the pod door 11 is unlocked with the pod cover 13 clamped by the latch 23, so that the port door 24 is lowered vertically together as the port door 24 descends, and the carrier mounted on the upper surface thereof. (12) is positioned in the SMIF port 20.

그러나, 종래에는 이와 같이 SMIF파드(10)를 SMIF포트(20)측에 고정하는 래치(23)의 작동 및 고정된 SMIF파드(10)의 파드도어(11)를 파드커버(13)로부터 언락킹시키기 위한 체결후크(16)의 작동이 각각 개별 구동모터(38, 미도시)에 의해 개별적으로 이루어지게 되므로, 공정시간이 길게 소요되고, 두개의 구동모터(38, 미도시)측에서 어느 하나라도 에러나 고장이 발생할 경우 SMIF시스템 자체를 사용할 수 없게 되어 사용상의 효율성과 장비가동율이 떨어진다는 문제점이 있었다. However, in the related art, the operation of the latch 23 that fixes the SMIF pod 10 to the SMIF port 20 and thus unlocks the pod door 11 of the fixed SMIF pod 10 from the pod cover 13. Since the operation of the fastening hook 16 is made by the individual drive motor 38 (not shown), respectively, the process takes a long time, any one of the two drive motor (38, not shown) In the event of an error or failure, the SMIF system itself cannot be used, resulting in a drop in efficiency and utilization rate.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 한개의 구동모터만을 이용하여 그 한번의 구동으로 SMIF파드 클램핑 및 파드도어 언락킹 작용이 동시에 이루어질 수 있는 SMIF시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and provides an SMIF system capable of simultaneously performing the clamping and unlocking of the door by a single drive using only one drive motor. have.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 파드도어의 체결후크를 작동시키는 회전판을 회전시키기 위해 그 회전축을 통해 결합되는 구동모터와, 상기 회전축의 회전에 따라 승하강되는 승하강부재와, 상기 승하강부재에 연동되어 승하강됨으로 써 SMIF파드를 클램핑 또는 언클램핑하는 복수개의 래치부재와, 상기 승하강부재와 상기 래치부재간을 연결하도록 절곡된 형상으로 이루어져 절곡부분에 회전가능한 죠인트부가 구비되는 연결링크부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF시스템을 제공한다. The present invention for achieving the above object, the drive motor coupled through the rotary shaft to rotate the rotary plate for operating the fastening hook of the pod door, the elevating member is raised and lowered according to the rotation of the rotary shaft, Connection is provided with a rotatable joint in the bent portion consisting of a plurality of latch members for clamping or unclamping the SMIF pod by being linked to the descending member and bent to connect between the lifting member and the latch member It provides a SMIF system comprising a link member.

본 발명의 상기 목적과 여러가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 SMIF시스템의 요부를 보여주는 개략도이다. Figure 4 is a schematic diagram showing the main part of the SMIF system according to the present invention.

설명에 앞서, 종래와 동일한 부분에 대해서는 그 상세한 설명을 생략함을 밝힌다. Prior to the description, the same parts as in the prior art will be omitted.

본 발명에 따르면, 회전판(30)을 일정각도 회전시키기 위해 구비되는 회전축(36)상에는 일정길이 볼스크류부(36a)가 구비되며, 이 볼스크류부(36a)에 나사결합되도록 볼너트부재(40)가 구비되고, 이 볼너트부재(40)에는 상부측의 래치부재(44)에 각각 결합되는 절곡된 형상으로 중간에 회전가능한 죠인트부(42a)가 구비되는 연결링크부재(42)가 결합되게 된다. According to the present invention, a predetermined length ball screw portion 36a is provided on the rotating shaft 36 provided to rotate the rotating plate 30 at a predetermined angle, and the ball nut member 40 is screwed to the ball screw portion 36a. Is provided, and the ball nut member 40 has a bent shape coupled to the latch member 44 on the upper side thereof so that the connection link member 42 having a rotatable joint portion 42a is provided. do.

따라서, 구동모터(38)의 회전구동에 따라 회전축(36)은 일정각도 회전되어 회전판(30)을 회전시킴으로써, 종래와 동일하게 체결후크(16)가 작동되게 되어 파 드도어(11)가 파드커버(13)로부터 락킹 또는 언락킹되게 됨과 동시에, 회전되는 회전축(36)의 볼스크류부(36a)에 치합되어 있는 볼너트부재(40)가 상승 또는 하강되게 되어, 볼너트부재(40)에 연결링크부재(42)를 통해 결합되어 있는 래치부재(44)가 또한 상승 또는 하강되면서 외측 또는 내측으로 미세 회동되어 SMIF파드(10)를 언클램핑 또는 클램핑하게 된다. Therefore, the rotation shaft 36 is rotated by a predetermined angle in accordance with the rotational drive of the drive motor 38 to rotate the rotary plate 30, the fastening hook 16 is operated in the same manner as in the prior art, so that the pod door 11 is pod While being locked or unlocked from the cover 13, the ball nut member 40 engaged with the ball screw portion 36a of the rotating shaft 36 to be rotated is raised or lowered to the ball nut member 40. The latch member 44 coupled through the connecting link member 42 is also rotated finely outward or inward as it is raised or lowered to unclamp or clamp the SMIF pod 10.

물론, 구동모터(38)의 회전구동은 파드감지센서(27)로부터 SMIF파드(10)의 안착 또는 안착 해제 사실이 전송되는 시점에서 각각 이루어지게 된다. Of course, the rotational drive of the drive motor 38 is made at each time the fact that the seat or release of the SMIF pod 10 is transmitted from the pod detection sensor 27.

여기서, 래치부재(44)의 SMIF파드(10)의 측면에 대해 접촉되는 부분은 접촉 손상을 방지하면서 적정한 클램핑력을 제공할 수 있는 적정 재질로 이루어져야 함은 물론이다. Here, the part of the latch member 44 in contact with the side of the SMIF pod 10 should be made of a suitable material that can provide a proper clamping force while preventing contact damage.

이로써, 한개의 구동모터(38)만을 이용하여 그 한번의 구동으로 SMIF파드(10)를 클램핑함은 물론 파드도어(11)를 언락킹시키고, 또한 이와 반대로 작용되도록 할 수 있게 되므로, 공정시간을 단축시키고, 그 에러 및 고장 발생 가능성을 줄여 사용상의 효율성과 장비가동율을 향상시킬 수 있게 되는 것이다. As a result, it is possible to clamp the SMIF pod 10 with only one driving motor 38 and to unlock the pod door 11 as well as vice versa. By shortening and reducing the possibility of errors and failures, it is possible to improve the efficiency of operation and the operation rate of equipment.

이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.In the foregoing description, it should be understood that those skilled in the art can make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention as merely illustrative of a preferred embodiment of the present invention.

본 발명에 따르면, 한개의 구동모터를 이용하여 한번의 구동으로 두가지 작용이 동시에 이루어지게 되므로, 공정시간을 단축시켜 생산성 향상을 기하고, 에러 및 고장 발생 가능성을 줄여 사용상의 효율성 및 장비가동율을 향상시킬 수 있는 효과가 달성될 수 있다. According to the present invention, since two actions are simultaneously performed by one drive using one drive motor, the process time can be shortened to improve productivity, reduce the possibility of errors and failures, and improve the efficiency of use and equipment operation rate. Achievable effects can be achieved.

Claims (2)

파드도어의 체결후크를 작동시키는 회전판을 회전시키기 위해 그 회전축을 통해 결합되는 구동모터와, A drive motor coupled through the rotary shaft to rotate the rotary plate for operating the fastening hook of the poddoor, 상기 회전축의 회전에 따라 승하강되는 승하강부재와, A lifting member lifting and lowering according to the rotation of the rotating shaft; 상기 승하강부재에 연동되어 승하강됨으로써 SMIF파드를 클램핑 또는 언클램핑하는 복수개의 래치부재와, A plurality of latch members for clamping or unclamping SMIF pods by being lowered in conjunction with the lifting members; 상기 승하강부재와 상기 래치부재간을 연결하도록 절곡된 형상으로 이루어져 절곡부분에 회전가능한 죠인트부가 구비되는 연결링크부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF시스템. SMIF system, characterized in that it comprises a connecting link member formed in a shape bent to connect between the elevating member and the latch member is provided with a rotatable joint in the bent portion. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 회전축상에는 볼스크류부가 형성되어 있고,The ball screw portion is formed on the rotation axis, 상기 볼스크류부에 치합되는 볼너트부가 상기 승하강부재에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 SMIF시스템.SMIF system, characterized in that the ball nut portion to be engaged with the ball screw portion is formed in the elevating member.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115057081A (en) * 2022-06-23 2022-09-16 上海大族富创得科技有限公司 Light shield storage box opening and closing device

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