KR20060074581A - 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드에 관한 것으로서, 웨이퍼(W)를 이송시키는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드에 있어서, 웨이퍼(W)가 이송시 상측에 놓여지는 플레이트(110)와, 플레이트(110)에 놓여진 웨이퍼(W)를 정전력으로 척킹하도록 플레이트(110) 내에 설치되어 직류전원을 공급받아 정전력을 발생시키는 정전력발생부재(120)와, 정전력발생부재(120)로 직류전원을 공급하는 직류전원공급부(130)를 포함한다. 따라서, 본 발명은 웨이퍼를 정전력으로 척킹함으로써 회전시 웨이퍼가 이탈하여 손상 내지 파손되거나 웨이퍼의 특정부위에 응력이 집중되어 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하며, 웨이퍼의 척킹을 위해 별도의 장치가 필요하지 않게 되어 전체적인 시스템 구조를 간단하게 할 수 있는 효과를 가지고 있다.

Description

웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드{BLADE OF A SEMICONDUCTOR WAFER TRANSFER}

도 1은 종래의 일실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 평면도이고,

도 2는 종래의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 평면도이고,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 구성도이고,

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 측면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

110 : 플레이트 120 : 정전력발생부재

130 : 직류전원공급부 131 : 공급라인

140 : 직류역류방지부

본 발명은 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 정전력으로 척킹함으로써 회전시 웨이퍼가 이탈하여 손상 내지 파손되거나 웨이퍼의 특정부위에 응력이 집중되어 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 이온주입 공정, 증착 공정, 확산 공정, 사진식각 공정 등과 같은 여러 가지의 단위 공정을 거쳐서 제조된다. 따라서, 단위 공정 진행을 위해 각각의 장비나 공정챔버로 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩하기 위하여 다양한 웨이퍼 트랜스퍼가 사용된다.

웨이퍼 트랜스퍼는 웨이퍼가 안착된 블레이드(blade)를 회전운동시키거나 수직 또는 수평운동시켜서 웨이퍼를 원하는 위치로 이송시킨다.

종래의 웨이퍼 트랜스퍼에 구비되는 블레이드를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래의 일실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 평면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 일실시예에 따른 블레이드(10)는 포켓 타입(pocket type)으로서, 플레이트(11)의 상면에 웨이퍼(W)가 안착되기 위한 안착홈(12)을 형성함으로써 이 안착홈(12)에 웨이퍼(W)를 안착시켜서 원하는 위치로 이송시킨다.

그러나, 이와 같은 종래의 일실시예에 따른 블레이드(10)는 웨이퍼(W)가 안착홈(12)내에 잘못 놓이거나 블레이드(10)가 회전시 원심력에 의해 웨이퍼(W)가 미끄러져서 추락하여 손상되거나 심지어는 파손되는 경우가 발생하는 문제점을 가지고 있었다.

도 2는 종래의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 평면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 다른 실시예에 따른 블레이드(20)는 패들 타 입(paddle type)으로서, 플레이트(21)의 상면에 웨이퍼(W)를 진공으로 흡착하기 위한 흡입홀(22)을 형성함으로써 흡입홀(22)상에 놓여진 웨이퍼(W)를 외부의 진공공급부로부터 흡입홀(22)로 공급되는 진공에 의해 흡착하여 원하는 위치로 이송시킨다.

그러나, 이와 같은 종래의 다른 실시예에 따른 블레이드(20)는 흡입홀(22)로 진공이 공급되는 진공공급라인상에 진공의 누출이 발생하는 경우 또는 다른 원인에 의해 웨이퍼(W)를 제대로 흡착하지 못하게 되는 경우 이송도중 블레이드(20)로부터 웨이퍼(W)가 추락하게 되며, 웨이퍼(W)에 진공이 공급되는 부위에 응력이 집중됨으로써 웨이퍼(W)에 스트레스를 주어서 손상을 초래하는 문제점이 발생한다. 또한, 블레이드(20)로 진공을 공급하기 위하여 진공공급펌프 또는 중앙공급방식의 진공공급장치, 진공공급라인의 설치 등 부가적인 투자 비용을 발생시키는 문제점을 가지고 있었다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼를 정전력으로 척킹함으로써 회전시 웨이퍼가 이탈하여 손상 내지 파손되거나 웨이퍼의 특정부위에 응력이 집중되어 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하며, 웨이퍼의 척킹을 위해 별도의 장치가 필요하지 않게 되어 전체적인 시스템 구조를 간단하게 할 수 있는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 웨이퍼를 이송시키는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드에 있어서, 웨이퍼가 이송시 상측에 놓여지는 플레이트와, 플레 이트에 놓여진 웨이퍼를 정전력으로 척킹하도록 플레이트 내에 설치되어 직류전원을 공급받아 정전력을 발생시키는 정전력발생부재와, 정전력발생부재로 직류전원을 공급하는 직류전원공급부를 포함한다.

이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 도시한 측면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드(100)는 플레이트(110)와, 플레이트(110) 내에 설치되는 정전력발생부재(120)와, 정전력발생부재(120)로 직류전원을 공급하는 직류전원공급부(130)를 포함한다.

플레이트(110)는 웨이퍼 트랜스퍼(미도시)에 연결됨으로써 회전운동 또는 직선운동을 하게 되고, 상측면이 웨이퍼(W)가 안착되도록 평면으로 형성되며, 내측에 정전력발생부재(120)가 설치된다.

정전력발생부재(120)는 플레이트(110)에 놓여진 웨이퍼(W)를 정전력으로 척킹하도록 플레이트(W) 내에 설치되어 직류전원을 공급받아 정전력을 발생시킨다. 또한, 정전력발생부재(120)는 플레이트(110)상에 설치가 용이하고 플레이트(110)를 슬림(slim)하게 유지할 수 있도록 구리(Cu) 재질의 판상부재로 형성된다.

직류전원공급부(130)는 정전력발생부재로 직류전원을 공급하는데, 바람직하 게는 교류전원을 정류기에 의해 직류전원으로 변환시켜서 사용한다.

한편, 직류전원공급부(130)로부터 정전력발생부재(120)로 공급되는 직류가 역류하는 것을 방지하기 위해 직류전원의 공급라인(131)상에 직류역류방지부(140)가 설치된다. 직류역류방지부(140)는 각종 필터가 사용될 수 있으나, 바람직하게는 고전압 부하용 다이오드가 사용된다.

이와 같은 구조로 이루어진 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

플레이트(110)상에 놓여진 웨이퍼(W)를 척킹하기 위하여 직류전원공급부(130)로부터 정전력발생부재(120), 일예로 구리재질의 판상부재에 직류전원이 공급되면 정전력발생부재(120)에 정전력이 발생하여 플레이트(110)상에 위치한 웨이퍼(W)가 가지는 정전기에 의해 웨이퍼(W)를 척킹한다.

이 때, 척킹을 위한 전압은 +극, -극을 구분하지 않는다. 왜냐면, 웨이퍼(W)의 척킹은 전위차에 의한 것이므로 +극, -극중 어떤 전압을 공급해도 전위차가 발생함으로 웨이퍼(W)의 척킹이 가능하다.

플레이트(110)에 척킹된 웨이퍼(W)가 원하는 위치에 도착하면 정전력 발생을 위해 공급했던 전압과 반대 극성의 전압을 걸어주어 플레이트(110)와 웨이퍼(W)에 축적되어 있는 전하를 방전하게 된다. 즉, 웨이퍼(W)의 척킹을 위해 500V를 공급했다면 방전을 위해서는 -500V를 공급하게 된다.

한편, 직류전원공급부(130)로부터 정전력발생부재(120)로 공급되는 직류가 역류하는 것을 방지하기 위해 직류전원의 공급라인(131)상에 설치되는 직류역류방 지부(140)에 의해 직류전원공급부(130)로부터 정전력발생부재(120)로 공급되는 직류가 역류되는 것을 방지함으로써 직류의 역류로 인해 웨이퍼(W)가 플레이트(110)로부터 이탈하는 것을 방지한다.

이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 웨이퍼(W)를 정전력으로 척킹함으로써 회전시 웨이퍼(W)가 이탈하여 손상 내지 파손되거나 웨이퍼(W)의 특정부위에 응력이 집중되어 웨이퍼(W)가 손상되는 것을 방지하며, 웨이퍼(W)의 척킹을 위해 별도의 장치가 필요하지 않게 되어 전체적인 시스템 구조를 간단하게 함과 아울러 설비 비용을 절감할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드는 웨이퍼를 정전력으로 척킹함으로써 회전시 웨이퍼가 이탈하여 손상 내지 파손되거나 웨이퍼의 특정부위에 응력이 집중되어 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하며, 웨이퍼의 척킹을 위해 별도의 장치가 필요하지 않게 되어 전체적인 시스템 구조를 간단하게 할 수 있는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (3)

1. 웨이퍼를 이송시키는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드에 있어서,

   상기 웨이퍼가 이송시 상측에 놓여지는 플레이트와,

   상기 플레이트에 놓여진 상기 웨이퍼를 정전력으로 척킹하도록 상기 플레이트 내에 설치되어 직류전원을 공급받아 정전력을 발생시키는 정전력발생부재와,

   상기 정전력발생부재로 직류전원을 공급하는 직류전원공급부

   를 포함하는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 정전력발생부재는,

   구리재질로 형성되는 판상부재인 것

   을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 직류전원공급부로부터 상기 정전력발생부재로 공급되는 직류가 역류하는 것을 방지하기 위해 직류전원의 공급라인상에 직류역류방지부가 설치되는 것

   을 특징으로 하는 웨이퍼 트랜스퍼의 블레이드.

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