KR20060073634A - Free ball bearing and supporting table - Google Patents

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KR20060073634A
KR20060073634A KR1020067006332A KR20067006332A KR20060073634A KR 20060073634 A KR20060073634 A KR 20060073634A KR 1020067006332 A KR1020067006332 A KR 1020067006332A KR 20067006332 A KR20067006332 A KR 20067006332A KR 20060073634 A KR20060073634 A KR 20060073634A
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카오루 이구찌
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가부시끼가이샤 이구찌 기꼬 세이사꾸쇼
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Abstract

A free ball bearing (1, 11), comprising a body (2, 12) with a semi-spherical recessed face, a large number of small balls (3, 13) disposed in the semi-spherical recessed face of the body, a large ball (4, 14) placed on the large number of small balls, and a cap (5, 15) preventing the large ball and the small balls from being ejected. At least the large ball is formed of a conductive resin, and the small balls, the body, and the cap are formed of the conductive resin or a metal.

Description

프리 볼 베어링 및 지지 테이블{FREE BALL BEARING AND SUPPORTING TABLE} FREE BALL BEARING AND SUPPORTING TABLE}

본 발명은, 모든 방향으로 회전가능한 1개의 볼로 하중을 받는 구조로, 적재물의 반송(搬送)·위치결정 테이블 등의 지지 테이블에 이용하기 적합한 프리 볼 베어링(free ball bearing)에 관한 것이며, 특히, 적재물에 정전기 장해를 발생시키지 않는 프리 볼 베어링 및 이것을 이용한 지지 테이블에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a free ball bearing suitable for use in a support table such as a conveyance and positioning table of a load in a structure that receives a load by one ball that can rotate in all directions. The present invention relates to a free ball bearing which does not cause static interference on a load and a support table using the same.

본원은, 2003년 10월 17일에 출원된 일본 특허 출원 제2003-358532호에 대하여 우선권을 주장하고 그 내용을 여기에 원용한다. This application claims priority about Japanese Patent Application No. 2003-358532 for which it applied on October 17, 2003, and uses the content here.

생산공장 등에서 피가공물의 반송·위치결정 등을 위한 장치로서, 모든 방향으로 회전가능하고 적재물에 직접 접촉되는 1개의 볼을 구비한 구조의 프리 볼 베어링을 베이스 상에 다수 배치하고, 적재물의 원활한 이동을 가능하게 하는 반송·위치결정 테이블 등의 지지 테이블을 구성할 경우가 있다. Apparatus for conveying and positioning workpieces in production plants, etc., which has a large number of pre-ball bearings with a structure that is rotatable in all directions and has one ball directly in contact with the load, and moves the load smoothly. There may be a case where a support table such as a conveyance / positioning table that enables the operation is configured.

상기 프리 볼 베어링의 구조는, 외관으로서는 도 1에 도시한 본 발명의 일 실시예의 것과 기본적으로는 동일한 형태지만, 본체에 형성한 반구형(半球牀) 오목면에 다수의 작은 볼을 배치하고, 그 위에 1개의 큰 볼을 실어서 이 큰 볼을 모든 방향으로 회전가능하게 유지하고, 상기 큰 볼 및 작은 볼의 점핑(jumpping)을 방지 하는 캡을 설치한 구조이다. The structure of the free ball bearing is basically the same as that of the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, but a large number of small balls are arranged on a hemispherical concave surface formed in the main body. One large ball is placed on the top to keep the large ball rotatable in all directions, and a cap is installed to prevent jumping of the large ball and the small ball.

이 프리 볼 베어링을 이용한 반송 테이블은, 임의의 방향으로 이동가능하거나 자세 전환이 가능한 동시에, 적재물에 대한 마찰 저항이 매우 작기 때문에, 까다로운 흠집의 방지 혹은 높은 위치결정 정밀도의 확보를 필요로 하는 제조라인 등에 채용되고, 예를 들면, 유리판 가공 라인에서의 유리판의 반송 테이블이나, 액정 패널 등의 FPD(플랫 패널 디스플레이) 제조라인에서의 유리 기판의 반송·위치결정 테이블 등에도 이용되고 있다. The conveying table using this free ball bearing can be moved in any direction or can be changed in posture, and since the frictional resistance to the load is very small, it is a production line requiring the prevention of difficult scratches or securing high positioning accuracy. It is employ | adopted for the conveyance table of the glass plate in a glass plate processing line, etc., and the conveyance and positioning table of glass substrates in FPD (flat panel display) manufacturing lines, such as a liquid crystal panel, for example.

이러한 종류의 종래의 프리 볼 베어링은 일반적으로는 큰 볼, 작은 볼, 본체, 캡이 모두 금속제이다. 그러나, 적재물에 따라서는 금속과 접촉하여 흠집이 나기 쉽기 때문에, 흠집방지의 목적으로 주로 큰 볼을 합성수지로 구성한 것도 있다(특허문헌 2 참조). Conventional free ball bearings of this kind generally have a large ball, a small ball, a main body and a cap all made of metal. However, depending on the load, it is easy to be damaged by contact with metal, so that a large ball is mainly composed of synthetic resin for the purpose of preventing scratches (see Patent Document 2).

특허문헌1 : 특허 제2641187호 공보 Patent Document 1: Patent Publication No. 26160187

특허문헌2 : 특허공개 평7-164078호 공보 Patent Document 2: Korean Patent Publication No. Hei 7-164078

그런데, 예를 들면 FPD 제조라인에서, 액정용 유리판 등의 유리 기판이 정전기를 띠면, 탑재한 설비(device)에 소위 정전기 파괴가 발생할 우려가 있고 수율 저하를 초래한다. 이 때문에, 유리 기판의 대전을 피하는 것이 요구되고, 제조라인의 각 공정에서 다양한 정전기 장해 대책이 채용되고 있는데, 종래에는 FPD 제조라인의 각 공정에서 정전기 장해 대책을 실시하는 것이 주이고, 각 공정간의 반송 도중에서의 정전기 장해 대책에 대해서는, 예를 들면 유리 기판을 수용하여 반송되는 저장 선반에 대하여 대책을 실시하는 정도이며, 반송 장치 자체의 정전기 장해 대책은 그다지 고려되고 있지 않았다. By the way, in a FPD manufacturing line, when glass substrates, such as a liquid crystal glass plate, are electrostatically charged, there exists a possibility that what may be called electrostatic destruction may generate | occur | produce in the mounted device, and a yield falls. For this reason, it is required to avoid the charging of the glass substrate, and various countermeasures against electrostatic disturbance have been adopted in each step of the manufacturing line. Conventionally, the countermeasures against electrostatic disturbance are mainly performed at each step of the FPD manufacturing line. About the countermeasure against static electricity in the middle of conveyance, the countermeasure is carried out about the storage shelf which accommodates and conveys a glass substrate, for example, and the countermeasure against electrostatic interference of the conveying apparatus itself was not considered very much.

합성수지로 구성한 종래의 프리 볼 베어링의 경우, 흠집방지의 점에서는 유효하지만, 일반적으로 절연체인 합성수지는 정전기를 띠기 쉽기 때문에, 프리 볼 베어링 및 이것에 접촉되는 유리 기판이 대전하여 유리 기판 상의 설비에 정전기 장해가 발생할 우려가 있다. Conventional free ball bearings composed of synthetic resins are effective in preventing scratches, but synthetic resins, which are generally insulators, tend to be electrostatically charged. There is a risk of failure.

또한, 일반적인 금속제의 프리 볼 베어링의 경우, 프리 볼 베어링 자체가 대전한다는 문제는 없지만, 이미 대전하고 있는 유리 기판에 접촉했을 때에 유리 기판의 전하를 순간적으로 이동시켜서 설비의 정전 파괴가 발생할 우려가 있다. In addition, in the case of a general metal free ball bearing, there is no problem in that the free ball bearing itself charges, but when it comes into contact with a glass substrate that is already charged, there is a possibility that the charge of the glass substrate is instantaneously moved to cause electrostatic breakdown of the equipment. .

상기한 바와 같이, 종래의 FPD 제조라인 등에서는 반송장치 자체의 정전기 장해 대책은 그다지 고려되고 있지 않지만, 최근, 더욱 엄격한 정전기 장해 대책이 요구되어 한층 더 발전된 정전기 장해 대책이 기대되고 있다. As mentioned above, in the conventional FPD production line, the countermeasure against static electricity of the conveying apparatus itself is not considered much, but in recent years, more strict countermeasures against electrostatic disturbance have been demanded, and thus further antistatic measures have been expected.

본 발명은 상기 배경하에 이루어진 것으로, 적재물에 정전기 장해를 발생시키지 않는 지지 테이블을 구성할 수 있는 프리 볼 베어링 및 이것을 이용한 지지 테이블을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made under the above-mentioned background, and an object of the present invention is to provide a free ball bearing and a support table using the same, which can constitute a support table that does not cause electrostatic interference to a load.

상기 과제를 해결하는 본 발명은, 반구형 오목면을 갖는 본체와, 이 본체의 상기 반구형 오목면에 배치된 다수의 작은 볼과, 상기 다수의 작은 볼 위에 실은 1개의 큰 볼과, 상기 큰 볼 및 작은 볼의 점핑을 방지하는 캡을 구비한 프리 볼 베어링이며, 적어도 상기 큰 볼을 도전성 수지로 구성하고, 상기 작은 볼, 상기 본체 및 상기 캡을 도전성 수지 또는 금속으로 구성한 프리 볼 베어링을 제공한다. The present invention for solving the above problems is a main body having a hemispherical concave surface, a plurality of small balls arranged on the hemispherical concave surface of the main body, one large ball mounted on the plurality of small balls, the large ball and It is a free ball bearing provided with the cap which prevents the jumping of a small ball, Comprising: At least the said big ball is comprised by electroconductive resin, The free ball bearing which comprised the said small ball, the said main body, and the said cap is comprised by electroconductive resin or metal.

이 경우, 큰 볼만 도전성 수지로 구성하고 작은 볼, 본체 및 캡을 금속으로 할 수 있다. 또한, 큰 볼, 본체 및 캡을 도전성 수지로 구성하고 작은 볼을 금속으로 할 수 있다. 또한, 큰 볼, 작은 볼, 본체 및 캡 전부를 도전성 수지로 구성할 수 있다. In this case, only a big ball can be comprised by electroconductive resin, and a small ball, a main body, and a cap can be made into metal. Moreover, a large ball, a main body, and a cap can be comprised by electroconductive resin, and a small ball can be made into a metal. Moreover, a big ball, a small ball, a main body, and all the cap can be comprised by electroconductive resin.

또한, 본체의 하면에 부착용 나사 축을 일체로 설치하고, 이 나사 축을 도전성 수지 또는 금속으로 구성할 수도 있다. The screw shaft for attachment may be integrally provided on the lower surface of the main body, and the screw shaft may be made of conductive resin or metal.

상기 큰 볼 등을 구성하는 도전성 수지로서는 1O3 ~ 1O10Ω/□의 표면 저항율을 갖는 도전성 수지(도전성 수지 성형품)가 적합하다. As the conductive resin constituting the large ball or the like, a conductive resin (conductive resin molded article) having a surface resistivity of 10 3 to 10 10 Ω / square is suitable.

여기서, 도전성 수지란 절연성 수지와 대비된 넓은 의미이며, 소위 반도전성(半導電性) 수지와 협의의 도전성 수지를 포함한다. Here, a conductive resin is a broad meaning compared with insulating resin, and contains what is called semiconductive resin and conductive resin of consultation.

일반적으로 체적 저항율이 1O13Ωcm 정도 이하의 합성수지는 절연성 수지와 대비시킨 넓은 의미로는 도전성 수지라고 할 수 있다. 그 중에서 체적 저항율이 1O5 ~ 1O13Ωcm 정도의 것은 반도전성 수지라고 할 수 있으며, 또한, 체적 저항율이 1O5 ~ 1010Ωcm 정도의 것은 정전기 장해를 제어하는 데 적합한 반도전성 수지로서 제전성(制電性) 수지라고도 불린다. 이 의미에서, 본 발명의 프리 볼 베어링에서 큰 볼 등을 구성하는 도전성 수지(도전성 수지 성형품)는 도전성 내지 제전성 수지라고 할 수 있다. In general, a synthetic resin having a volume resistivity of about 10 13 Ωcm or less may be referred to as a conductive resin in a broad sense compared with an insulating resin. Among them it may be that the volume resistivity is about 5 ~ 1O 1O 13 Ωcm semi-conductive resin, and, the volume resistivity 1O 5 10 to 10 is also known as the degree of Ωcm antistatic (制電性) resin is used as the semi-conductive resin suitable to control the static interference. In this sense, the conductive resin (conductive resin molded article) constituting a large ball or the like in the free ball bearing of the present invention can be said to be conductive to antistatic resin.

본 발명은 또한, 상기 프리 볼 베어링의 복수 개를 수평의 베이스(基台, base)에 분포시켜 부착하고, 적재물을 수평면 내의 임의의 방향으로 이동가능하게 받는 지지 테이블로서, 상기 베이스 중 적어도 해당 프리 볼 베어링에 접촉되는 부분이 접지된 양도체인 지지 테이블을 제공한다. The present invention also provides a support table in which a plurality of the free ball bearings are distributed and attached to a horizontal base to receive a load movably in an arbitrary direction in the horizontal plane, wherein at least one of the bases is free. A support table is provided where the portion in contact with the ball bearing is a grounded good conductor.

본 발명의 프리 볼 베어링 혹은 지지 테이블에 의하면, 적재물에 직접 접촉하는 큰 볼이 수지로 이루어지기 때문에 적재물의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 그 수지는 절연성 수지가 아니라 도전성 수지(협의의 도전성 수지) 내지 반도전성 수지이기 때문에, 적재물에 접촉됨으로써 적재물을 대전시키는 일은 없다. 또한, 적재물이 이미 대전하고 있는 경우에는, 높은 도전성의 금속으로 구성되어 있는 경우와는 달리 적재물의 전하가 비교적 느린 전하 이동 속도로 제전(除電)된다. 이와 같이, 대전 방지가 도모되고 대전 자체에 따른 장해 혹은 급격한 제전에 따른 정전 파괴 등의 정전기 장해를 방지할 수 있다. According to the free ball bearing or the support table of the present invention, since a large ball that directly contacts the load is made of resin, damage to the load can be prevented. In addition, since the resin is not an insulating resin but a conductive resin (a narrowly conductive conductive resin) or a semiconductive resin, the resin does not charge the load by being in contact with the load. In addition, when the load has already been charged, the charge of the load is discharged at a relatively slow charge transfer rate, unlike when the load is already made of a highly conductive metal. In this way, antistatic protection is attained and electrostatic disturbances such as electrostatic breakdown due to sudden static elimination can be prevented.

이 경우, 용도 내지 적재물의 성질에 따라서 표면 저항율의 값을 적절하게 선택하면 된다. 반도체 설비에 접촉하는 경우에는, 예를 들면 1O6 ~ 1O10Ω/□의 표면 저항율이 바람직하다. FPD의 유리 기판에 접촉하는 경우이면 그 범위를 넓게 할 수 있다. In this case, what is necessary is just to select the value of surface resistivity suitably according to a use or the property of a load. When in contact with the semiconductor equipment includes, for this 1O 6 ~ 1O 10 Ω / □ in surface resistivity is preferred for example. If it contacts with the glass substrate of FPD, the range can be widened.

이 경우, 제전 성능은 주로 도전성 내지 반도전성 수지의 특성(표면 저항율)에 크게 좌우되는데, 또한, 큰 볼만 도전성 내지 반도전성 수지로 하는 경우, 큰 볼, 본체부 및 캡만 도전성 내지 반도전성 수지로 하는 경우, 큰 볼, 작은 볼, 본체부 및 캡 전부를 도전성 내지 반도전성 수지로 하는 경우(어느 것이나 나머지 부품은 금속)를 적절하게 선택함으로써, 제전 성능을 적절하게 설정할 수 있다. In this case, the antistatic performance is largely dependent on the characteristics (surface resistivity) of the conductive to semiconductive resin, and in the case of using only the large ball only conductive or semiconductive resin, the large ball, the main body, and the cap only constitute conductive or semiconductive resin. In this case, the static elimination performance can be appropriately set by appropriately selecting the case where all of the large balls, the small balls, the main body portion, and the cap are made of conductive or semiconductive resin (all of which are metal parts).

또한, 본체의 하면에 부착용 나사 축을 일체로 설치한 경우, 본체의 하면 자체와 나사축의 양쪽이 전하 이동 경로가 되어 제전 성능에 유효하다. In addition, when the mounting screw shaft is integrally provided on the lower surface of the main body, both the lower surface itself and the screw shaft of the main body become charge transfer paths, which is effective for antistatic performance.

또한, 큰 볼뿐만 아니라 작은 볼, 본체 및 캡도 포함시켜 모든 부품을 동일한 재료로 구성한 경우에는, 엄격한 크린 룸(clean room)에서 사용하는 경우에 이점이 있다. 즉, 반송·위치결정 테이블을 구성하는 이 프리 볼 베어링으로부터 마모 등에 의해 먼지가 발생하여도, 동일한 재료라면 1종류의 먼지가 발생하게 되기때문에, 그 먼지의 특정(그것이 어떤 재료인지의 특정)이 용이하고, 따라서, 크린 룸으로부터 먼지를 배출하는 처리도 용이하다. In addition, when all parts are made of the same material including not only a large ball but also a small ball, a main body, and a cap, there is an advantage when used in a strict clean room. In other words, even if dust is generated from the free ball bearing constituting the conveying and positioning table due to abrasion or the like, one kind of dust is generated if the same material is used. It is easy, and therefore, the process of discharging dust from a clean room is also easy.

도 1은 본 발명의 제1 실시예의 프리 볼 베어링을 정면도와 단면도로 2분하여 도시한 도면이다.  FIG. 1 is a view showing the free ball bearing according to the first embodiment of the present invention divided into two parts in front and sectional views.

도 2는 도 1의 프리볼 베어링을 이용한 반송·위치결정 테이블(지지 테이블)의 일부분을 나타낸 사시도이다. It is a perspective view which shows a part of conveyance and positioning table (support table) using the free ball bearing of FIG.

도 3은 제1 실시예의 프리 볼 베어링에 대하여 측정한 제전 특성도이다. 3 is an antistatic characteristic diagram measured for the free ball bearing of the first embodiment.

도 4는 제2 실시예의 프리 볼 베어링을 정면도와 단면도로 2분하여 도시한 도면이다. FIG. 4 is a view showing the free ball bearing of the second embodiment divided into two views, in front view and in sectional view. FIG.

부호의 설명Explanation of the sign

1,11 : 프리 볼 베어링1,11: Free Ball Bearing

2, 12: 본체2, 12: main body

2a,12a : 반구형 오목면2a, 12a: Hemispherical concave

3,13 : 작은 볼3,13: small ball

4,14: 큰 볼4,14: big ball

5,15 : 캡5,15: cap

5a,15a : 개구5a, 15a: opening

5b : 주위 홈5b: around home

15b : 플랜지부15b: flange

15c : 부착 구멍15c: mounting hole

7 : 베이스7: base

8 : 반송·위치결정 테이블(지지 테이블)8: conveying and positioning table (support table)

16 : 와셔 16: washer

이하, 본 발명을 실시한 프리 볼 베어링 및 지지 테이블에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the free ball bearing and the support table which implemented this invention are demonstrated with reference to drawings.

실시예 1Example 1

도 1은 본 발명의 일 실시예의 프리 볼 베어링(1)을 정면도와 단면도로 2분하여 도시한 도면이다. 이 프리 볼 베어링(1)의 본체(2)는, 상면측에 반구형 오목 면(2a)을 갖는 원통형을 이루고, 하면측에 후술하는 반송·위치결정 테이블에 부착하기 위한 나사 축(2b)을 일체로 구비하고 있다. 그리고, 상기 본체(2)의 반구형 오목면(2a)에 다수의 작은 볼(3)을 배치하고, 그 위에 1개의 큰 볼(4)을 실어서 이 큰 볼(4)을 모든 방향으로 회전가능하게 유지하고 있다. 또한, 상기 큰 볼(4)의 꼭대기부를 돌출시키는 개구(5a)를 갖는 캡(5)을 상기 본체(2)에 위에서부터 씌우도록 부착하여, 큰 볼(4) 및 작은 볼(3)의 점핑을 방지한다. 캡(5)은 본체(2)의 외주에 형성한 주위 홈(2c)에 결합되는 걸림 턱(5b)을 하단 끝에 구비하여 이탈 방지를 도모하고 있다. 1 is a view showing the free ball bearing 1 of an embodiment of the present invention divided into two, in front view and in cross section. The main body 2 of the free ball bearing 1 has a cylindrical shape having a hemispherical concave surface 2a on the upper surface side, and incorporates a screw shaft 2b for attaching to the conveying and positioning table described later on the lower surface side. Equipped with. Then, a large number of small balls 3 are arranged on the hemispherical concave surface 2a of the main body 2, and one large ball 4 is mounted thereon to rotate the large ball 4 in all directions. I keep it. In addition, a cap 5 having an opening 5a protruding from the top of the large ball 4 is attached to the main body 2 so as to be covered from above, so that the jumping of the large ball 4 and the small ball 3 is carried out. To prevent. The cap 5 is provided with the locking jaw 5b which engages in the circumferential groove 2c formed in the outer periphery of the main body 2 at the lower end, and aims at the detachment prevention.

이 프리 볼 베어링(1)은 외관으로서는 종래의 것과 동일하지만, 본 발명에서는 적어도 상기 큰 볼을 1O3 ~ 1O10Ω/□의 표면 저항율을 갖는 도전성(협의의 도전성) 내지 반도전성 수지로 구성한다. This free ball bearing 1 is the same as the conventional one in appearance, but in the present invention, at least the large ball is composed of conductive (negative conductivity) to semiconductive resin having a surface resistivity of 10 3 to 10 10 Ω / square. .

구체적으로는 예를 들면, 큰 볼(4)만 도전성 내지 반도전성 수지로 구성하고, 작은 볼(3), 본체(2) 및 캡(5)을 금속으로 구성할 수 있다. 또한, 큰 볼(4), 본체(2) 및 캡(5)을 도전성 내지 반도전성 수지로 구성하고, 작은 볼(3)을 금속으로 구성할 수도 있다. 또한, 큰 볼(4), 작은 볼(3), 본체(2) 및 캡(5) 전부를 도전성 내지 반도전성 수지로 구성할 수도 있다. Specifically, for example, only the large balls 4 may be made of conductive or semiconductive resin, and the small balls 3, the main body 2, and the cap 5 may be made of metal. In addition, the large ball 4, the main body 2, and the cap 5 may be made of conductive or semiconductive resin, and the small ball 3 may be made of metal. Moreover, the big ball 4, the small ball 3, the main body 2, and the cap 5 all can also be comprised with electroconductive to semiconductive resin.

실시예의 프리 볼 베어링(1)은, 본체(2)의 하면에 부착부로서의 나사 축(2b)을 일체로 성형하고 있다. 따라서, 나사 축(2b)은 본체(2)와 동일한 도전성 내지 반도전성 수지이지만, 나사 축을 별개의 부재로 구성하는 것도 가능하다. 그 경우 에는 나사 축의 부분을 금속으로 구성하는 것도 가능하다. The free ball bearing 1 of the embodiment is integrally formed with the screw shaft 2b as an attachment part on the lower surface of the main body 2. Therefore, although the screw shaft 2b is the same electroconductive or semiconductive resin as the main body 2, it is also possible to comprise a screw shaft as a separate member. In that case, it is also possible to configure the screw shaft part with metal.

본 발명에서, 도전성 내지 반도전성 수지를 얻는 수단, 즉 절연재료인 베이스 수지에 도전성을 부여하는 수단으로서는, 베이스 수지에 금속이나 탄소재료 등의 도전성 필러(filler)를 분산시키는 방법, 혹은, 베이스 수지에 대전 방지 폴리머를 첨가하는 방법 등이 있는데, 그 도전성 부여 수단은 임의이다. 다만, 표면에 대전 방지제를 코팅하는 방법은 적절하지 않다. 또한, 도전성을 부여하기 위한 상기 도전성 필러나 대전 방지 폴리머의 종류도 특별히 한정되지 않는다. 얻고자 하는 표면 저항율 값이나 사용하는 베이스 수지 그 외 여러가지의 조건에 따라서 적절한 것을 선정하면 된다. In the present invention, as a means for obtaining a conductive or semiconductive resin, that is, a means for imparting conductivity to a base resin that is an insulating material, a method of dispersing a conductive filler such as a metal or a carbon material in the base resin, or a base resin There is a method of adding an antistatic polymer to the method, and the conductivity providing means is arbitrary. However, the method of coating the antistatic agent on the surface is not appropriate. Moreover, the kind of said electrically conductive filler and antistatic polymer for providing electroconductivity is not specifically limited, either. What is necessary is just to select suitably according to the surface resistivity value to be obtained, the base resin to be used, and other various conditions.

도전성 내지 반도전성 수지의 베이스 수지로서는, PAI(폴리아미드이미드), PBI(폴리벤조이미다졸), PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌), PEEK(폴리에테르에테르케톤), PEI(폴리에테르이미드), PI(폴리이미드), PPS(폴리페닐렌설파이드), 멜라민 수지, 방향족 폴리아미드 수지(아라미드 수지) 등을 이용할 수 있다. 또한, LCP(액정폴리머), PBT(폴리부틸렌테레프탈레이트), PES(폴리에테르설폰), 그 밖의 수지를 이용할 수도 있다. 또한, 프리 볼 베어링에 이용하는 수지로서는 베스펠(방향족 폴리이미드 수지인 듀퐁사의 등록상표)이나 PEEK가 적합하다. Examples of the base resin of the conductive to semiconductive resin include PAI (polyamideimide), PBI (polybenzoimidazole), PCTFE (polychlorotrifluoroethylene), PEEK (polyetheretherketone), PEI (polyetherimide), PI (polyimide), PPS (polyphenylene sulfide), melamine resin, aromatic polyamide resin (aramid resin), etc. can be used. Moreover, LCP (liquid crystal polymer), PBT (polybutylene terephthalate), PES (polyether sulfone), and other resin can also be used. As the resin used for the free ball bearing, Vespel (registered trademark of DuPont Co., Ltd., an aromatic polyimide resin) and PEEK are suitable.

또한, 작은 볼(3), 본체(2), 캡(5) 등은 경우에 따라서 금속으로 구성할 수 있지만, 금속으로 하는 경우에는 스테인레스강 혹은 스틸 등을 이용할 수 있다. In addition, although the small ball 3, the main body 2, the cap 5, etc. can be comprised with a metal depending on a case, when using a metal, stainless steel, steel, etc. can be used.

상기한 프리 볼 베어링(1)을 예를 들어 도 2와 같이, 그 다수개를 수평의 베이스(7)에 분포시켜 부착하여, 예를 들면 반송·위치결정 테이블(8)을 구성한다. 이 반송·위치결정 테이블(8)은, FPD 제조라인에서 유리 기판의 공정간의 반송 테이블로서 기능함과 동시에, 개개의 공정에 도달한 후에는 미소한 이동을 허용하는 위치결정 테이블로서 기능한다. 프리 볼 베어링(1)은 베이스(7)에 형성한 나사 구멍에 나사 축(2b)을 비틀어 넣어 베이스(7)에 부착하는데, 이 베이스(7) 중 적어도 해당 프리 볼 베어링(1)에 접촉하는 부분(즉, 나사 축(2b)이 비틀어 넣어지는 나사 구멍 부분, 또는, 본체(2)의 하면 부분, 또는 그 양방)은 금속의 양도체이며 접지되어 있다. For example, as shown in FIG. 2, the above-mentioned free ball bearing 1 is distributed and attached to the horizontal base 7, and the conveyance and positioning table 8 is comprised, for example. This conveyance / positioning table 8 functions as a conveyance table between processes of a glass substrate in a FPD manufacturing line, and functions as a positioning table which allows a small movement after reaching individual processes. The free ball bearing 1 is attached to the base 7 by screwing the screw shaft 2b into the screw hole formed in the base 7, which is in contact with at least the corresponding free ball bearing 1 of the base 7. The portion (that is, the screw hole portion into which the screw shaft 2b is twisted, or the lower surface portion of the main body 2 or both thereof) is a metal conductor and is grounded.

상기한 바와 같이 구성한 반송·위치결정 테이블(8)에서, 프리 볼 베어링(1)의 큰 볼(4)은 다수의 작은 볼(3) 위에서 임의의 방향으로 또한 매우 작은 마찰 저항으로 전동가능(轉動可能)하고, 그 위에 점접촉으로 실은 유리 기판(도 1에 부호 9로 나타냄) 등의 적재물을, 수평면 내의 임의의 방향으로 또한 매우 작은 마찰 저항으로 이동시킬 수 있다. 그리고, 적재물에 접촉하는 큰 볼(4)이 수지로 이루어지기 때문에 적재물이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 적어도 큰 볼(4)을 도전성 내지 반도전성 수지로 구성하고 있음으로써, 다음에 진술하는 제전 특성의 측정 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 적재물의 정전기 장해의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다. In the conveying / positioning table 8 configured as described above, the large ball 4 of the free ball bearing 1 can be rolled on any number of small balls 3 in any direction and with very small frictional resistance. It is possible to move a load such as a glass substrate (indicated by reference numeral 9 in Fig. 1) and the like loaded on the point contact thereon in any direction in the horizontal plane and with a very small frictional resistance. And since the large ball 4 which contacts the load is made of resin, the load can be prevented from being damaged. And since the at least big ball 4 is comprised from electroconductive or semiconductive resin, generation | occurrence | production of the electrostatic interference of a load can be prevented effectively, as can be seen from the measurement result of the antistatic characteristic mentioned next.

도 1에 도시한 구조에서, 큰 볼(4)을 1O4 ~ 1O5Ω/□의 표면 저항율의 수지 성형품(전술한 베스펠을 사용)으로 구성하고, 작은 볼(3), 본체(2) 및 캡(5)을 스테인레스강으로 구성한 본 발명의 일 실시예의 프리 볼 베어링과, 비교를 위해 모 두를 통상의 절연성 수지로 구성한 프리 볼 베어링에 대하여 다음과 같은 측정을 행하였다. 절연체의 베이스에 3개의 프리 볼 베어링을 부착하고 프리 볼 베어링의 본체를 접지하였다. 이들 프리 볼 베어링의 큰 볼(4) 위에 정전기 발생 장치에 의해 측정 직전에 1200V 정도로 대전시킨 50mm×50mm×0.7mm의 유리 기판을 싣고, 정전기 측정기를 유리판에 근접시켜서 유리판의 정전기 전압의 추이를 측정했다. In the structure shown in FIG. 1, the large ball 4 is composed of a resin molded article (using Vespel described above) having a surface resistivity of 10 4 to 10 5 Ω / □, and the small ball 3 and the main body 2 And free ball bearings of one embodiment of the present invention in which the cap 5 is made of stainless steel, and free ball bearings in which all are made of ordinary insulating resin for comparison. Three free ball bearings were attached to the base of the insulator and the body of the free ball bearing was grounded. On the large ball 4 of these free ball bearings, a 50 mm x 50 mm x 0.7 mm glass substrate charged at about 1200 V was immediately loaded by an electrostatic generator, and the electrostatic meter was placed close to the glass plate to measure the change in the electrostatic voltage of the glass plate. did.

그 측정 결과는 도 3의 제전 특성도에 도시한 바와 같으며, 횡축이 시간(초), 종축이 전압(V)이다. 동일 도면에서, ▲표시(B-2)는 절연성 수지를 이용한 종래의 프리 볼 베어링의 경우, 기호◆표시(B-1)는 본 발명의 프리 볼 베어링의 경우이다. 도 3으로부터 분명한 바와 같이, 절연성 수지로 이루어지는 종래의 프리 볼 베어링에서는 60초 경과 후에도 정전기 전압이 초기 전압의 90% 정도나 있어 거의 제전되어 있지 않지만, 본 발명의 도전성 내지 반도전성 수지로 이루어지는 프리 볼 베어링에서는 정전기 전압이 약 30초간 걸려서 천천히 저하하여 약 10% 정도로 되고 있다. 또한, 작은 볼(3), 본체(2) 및 캡(5)도 도전성 내지 반도전성 수지로 구성한 경우에는 더욱 천천히 제전되는 것이 추정된다. 따라서, 본 발명의 프리 볼 베어링에 의하면, 예를 들면 FPD 제조 라인에서 유리 기판의 반송 및 위치결정을 행할 때에 정전기 장해가 발생하는 것을 방지할 수 있다. The measurement results are as shown in the antistatic characteristic diagram of FIG. 3, with the horizontal axis representing time (seconds) and the vertical axis representing voltage (V). In the same drawing, the mark (B-2) is a conventional free ball bearing using an insulating resin, and the symbol? Mark (B-1) is a case of the free ball bearing of the present invention. As is apparent from Fig. 3, in the conventional free ball bearing made of an insulating resin, the static voltage is about 90% of the initial voltage even after 60 seconds has elapsed, and is almost not discharged. In the bearing, the electrostatic voltage takes about 30 seconds and slowly decreases to about 10%. In addition, when the small ball 3, the main body 2, and the cap 5 also consist of electroconductive or semiconductive resin, it is estimated that it discharges more slowly. Therefore, according to the free ball bearing of this invention, electrostatic interference can be prevented, for example, when carrying and positioning a glass substrate in a FPD manufacturing line.

실시예 2Example 2

본 발명에 있어서, 프리 볼 베어링의 구조는 상기 실시예의 것에 한하지 않고, 예를 들면 도 4와 같은 구조라도 좋다. 도시한 프리 볼 베어링(11)은, 기본적인 구조로서는 도 1의 것과 거의 동일하고, 반구형 오목면(12a)을 갖는 본체(12)의 상기 반구형 오목면(12a)에 다수의 작은 볼(13)을 배치하고, 그 위에 1개의 큰 볼(14)을 실어서 이 큰 볼(14)을 모든 방향으로 회전가능하게 유지하며, 큰 볼(4)의 꼭대기부를 돌출시키는 개구(15a) 및 부착용 플랜지부(15b)를 갖는 캡(15)을, 와셔(16)를 개재시켜 본체(12)에 위로부터 씌우고, 플랜지부(15b)에 뚫은 부착 구멍(15c)에 통과시킨 볼트를 베이스측의 나사 구멍에 체결하여 이 프리 볼 베어링(11)을 고정하는 구조이다. 와셔(16)는 작은 볼(13)의 점핑을 방지하고, 캡(15)은 큰 볼(14)의 점핑을 방지한다. In the present invention, the structure of the free ball bearing is not limited to that of the above embodiment, but may be, for example, the structure shown in FIG. The free ball bearing 11 shown is substantially the same as that of FIG. 1 as a basic structure, and many small balls 13 are attached to the said hemispherical concave surface 12a of the main body 12 which has the hemispherical concave surface 12a. An opening 15a and an attachment flange portion for arranging, carrying one large ball 14 thereon to keep the large ball 14 rotatable in all directions, and projecting the top of the large ball 4; The cap 15 having 15b) is covered from above by the washer 16 via the washer 16, and the bolt passed through the attachment hole 15c drilled through the flange portion 15b is fastened to the screw hole on the base side. To fix the free ball bearing 11. The washer 16 prevents the jumping of the small balls 13 and the cap 15 prevents the jumping of the large balls 14.

이 프리 볼 베어링(11)에 있어서도, 전술한 바와 마찬가지로, 적어도 큰 볼(14)은 도전성 내지 반 도전성 수지로 구성하고, 다른 부분은 도전성 내지 반 도전성 수지 또는 금속으로 구성한다. Also in this free ball bearing 11, similarly to the above-mentioned, the at least big ball 14 is comprised from electroconductive to semi-conductive resin, and the other part is comprised from electroconductive to semi-conductive resin or metal.

프리 볼 베어링의 구조 자체는 기타 여러 가지의 형태를 생각할 수 있고, 요컨대, 반구형 오목면을 갖는 본체와, 이 본체의 상기 반구형 오목면에 배치된 다수의 작은 볼과, 상기 다수의 작은 볼 위에 실은 1개의 큰 볼과, 상기 큰 볼 및 작은 볼의 점핑을 방지하는 캡을 구비한 구조이면 된다. 또한, 캡의 형상은 다양하게 생각할 수 있는데, 요컨대 큰 볼 및 작은 볼의 점핑을 방지할 수 있는 것이면 된다. 또한, 베이스로의 부착 수단은 다양하게 생각할 수 있다. 또한, 복수개의 프리 볼 베어링을 일체화한 구조, 예를 들면, 공통되는 1개의 본체에 복수의 반구형 오목면을 형성하여, 본체를 공통으로 하는 복수의 프리 볼 베어링을 구성한 것이라도 된다. The structure of the free ball bearing itself can be considered in various other forms, that is, a main body having a hemispherical concave surface, a plurality of small balls arranged on the hemispherical concave surface of the main body, and a plurality of small balls mounted on the plurality of small balls. What is necessary is just a structure provided with one big ball, and the cap which prevents the said big ball and the small ball jumping. In addition, the shape of the cap can be considered variously, that is, what is necessary is just to be able to prevent the jumping of a big ball and a small ball. In addition, the attachment means to a base can be considered variously. In addition, a structure in which a plurality of free ball bearings are integrated, for example, a plurality of hemispherical concave surfaces may be formed in a common main body, and a plurality of free ball bearings having a common body may be configured.

본 발명의 프리 볼 베어링은, FPD 제조 라인에서의 유리 기판의 반송·위치 결정 테이블에 이용하기에 적합하지만, 단순한 반송 테이블로서도 혹은 단순한 위치결정 테이블로서도 적용할 수 있으며, 기타, 적재물의 수평면에서의 원활한 이동을 필요로 하는 경우의 다양한 지지 테이블에 적용할 수 있다. Although the free ball bearing of this invention is suitable for using for the conveyance and positioning table of a glass substrate in a FPD manufacturing line, it can be applied also as a simple conveyance table or a simple positioning table, and also in the horizontal plane of a load It can be applied to various supporting tables when smooth movement is required.

또한, 적재물은 유리 기판에 한하는 것이 아니라, 정전기를 싫어하는 동시에 순간의 제전으로서는 부적합한 다양한 물품에 적용할 수 있으며, 예를 들면 반도체 웨이퍼의 반송 테이블이나, 기타, 전자기기 제조 설비에서의 다양한 지지 테이블에 적용할 수 있다.In addition, the load is not limited to the glass substrate, but can be applied to various articles which are not suitable for instant static elimination and which do not like static electricity. For example, the transfer table for semiconductor wafers and other various support tables in electronic equipment manufacturing facilities. Applicable to

또한, 적재물이 단순히 정전기를 싫어하는 것에 불과하고 순간의 제전을 문제로 하지 않는 것인 경우에는, 적어도 큰 볼을 1O3Ω/□ 이하의 낮은 표면 저항율을 갖는 도전성 수지로 구성하고, 작은 볼, 본체 및 캡 등의 다른 부품은 금속 또는 103Ω/□ 이하의 낮은 표면 저항율을 갖는 도전성 수지로 구성할 수 있다.In addition, when the load merely dislikes static electricity and does not cause an instantaneous static elimination problem, at least the large balls are made of a conductive resin having a low surface resistivity of 10 3 Ω / □ or less, and the small balls and the main body. And other parts such as a cap can be made of a metal or a conductive resin having a low surface resistivity of 10 3 Ω / □ or less.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 구성의 부가, 생략, 치환 및 그 밖의 변경이 가능하다. 본 발명은 전술한 설명에 의해서 한정되는 것이 아니라, 첨부의 청구항의 범위에 의해서만 한정된다.As mentioned above, although preferred Example of this invention was described, this invention is not limited to these Examples. Additions, omissions, substitutions, and other modifications can be made without departing from the spirit of the invention. The present invention is not limited by the above description, but only by the scope of the appended claims.

본 발명의 프리 볼 베어링 및 이것을 이용한 지지 테이블은, 적재물의 반송·위치결정 테이블 등의 지지 테이블에 적합하게 이용할 수 있다. 특히, 본 발명의 프리 볼 베어링 및 이것을 이용한 지지 테이블은 적재물의 정전기 장해를 방지하고자 할 경우에 적합하다.The free ball bearing of this invention and the support table using the same can be used suitably for support tables, such as a conveyance and positioning table of a load. In particular, the free ball bearing of the present invention and the support table using the same are suitable for the case where the static electricity of the load is to be prevented.

Claims (4)

반구형 오목면을 갖는 본체와, 이 본체의 상기 반구형 오목면에 배치된 다수의 작은 볼과, 상기 다수의 작은 볼 위에 실은 1개의 큰 볼과, 상기 큰 볼 및 작은 볼의 점핑을 방지하는 캡을 구비한 프리 볼 베어링으로서, A main body having a hemispherical concave surface, a plurality of small balls disposed on the hemispherical concave surface of the main body, one large ball mounted on the plurality of small balls, and a cap for preventing jumping between the large ball and the small ball. Free ball bearing with 적어도 상기 큰 볼을 도전성 수지로 구성하고, 상기 작은 볼, 상기 본체 및 상기 캡을 도전성 수지 또는 금속으로 구성한 프리 볼 베어링. A free ball bearing comprising at least the large ball made of conductive resin and the small ball, the main body, and the cap made of conductive resin or metal. 제1항에 있어서, 상기 본체의 하면에 부착용 나사 축을 일체로 설치하고, 이 나사 축을 도전성 수지 또는 금속으로 구성한 프리 볼 베어링. The free ball bearing according to claim 1, wherein a mounting screw shaft is integrally provided on the lower surface of the main body, and the screw shaft is made of a conductive resin or a metal. 제1항에 있어서, 상기 도전성 수지로 구성한 각 부품이 1O3 ~ 1O10Ω/□의 표면 저항율을 갖는 프리 볼 베어링. The free ball bearing according to claim 1, wherein each component made of the conductive resin has a surface resistivity of 10 3 to 10 10 Ω / square. 제1항의 프리 볼 베어링의 복수 개를 수평의 베이스에 분포시켜 부착하고, 적재물을 수평면 내의 임의의 방향으로 이동 가능하게 받는 지지 테이블이며, 상기 베이스 중 적어도 해당 프리 볼 베어링에 접촉하는 부분이 접지된 양도체인 지지 테이블.A support table for distributing and attaching a plurality of free ball bearings of claim 1 to a horizontal base and allowing the load to be movable in any direction in the horizontal plane, wherein at least a portion of the base contacting the free ball bearing is grounded. Transfer chain support table.
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