KR101698333B1 - Heavy Weight high-precision 4-axis alignment stage - Google Patents

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KR101698333B1
KR101698333B1 KR1020150132222A KR20150132222A KR101698333B1 KR 101698333 B1 KR101698333 B1 KR 101698333B1 KR 1020150132222 A KR1020150132222 A KR 1020150132222A KR 20150132222 A KR20150132222 A KR 20150132222A KR 101698333 B1 KR101698333 B1 KR 101698333B1
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한월숙
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Abstract

The present invention relates to a heavy weight high precision four-axis alignment stage, capable of being applicable to various kinds of industrial machines as well as semiconductor manufacturing equipment and testing devices, and flat display manufacturing equipment and testing devices, and improving wear resistance of a cross linear motor (LM) guide unit and adding a ball support means to properly distribute vertical load concentrated on the cross LM guide unit even if a heavy object is put on a table, so complex effect, such as durability enhancement, use life extension, high precision maintenance, etc., can be provided. According to the present invention, the stage comprises: a base, four cross LM guide units installed in four sides (cross direction) on an upper side of the base, installed in the base to support bearings, and operated by four driving motors rotated in a clockwise and an anticlockwise direction; four cross bearings combined with the four cross LM guide units, respectively; and a table combined with an upper part of the four cross bearings. A plurality of ball support means are installed on the upper side of the bearing to be placed between the cross LM guide units, so vertical load can be distributed. The ball support means comprises: a support member fixed to the base; a plurality of supporting small balls received inside a ball reception groove formed in the support member; and a grounding ball supported to the supporting small ball and making the upper part being in contact with a lower surface of the table to perform rolling motion. In configuration of the cross LM guide unit, an upper and a lower support are made of steel.

Description

고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지{Heavy Weight high-precision 4-axis alignment stage}[0001] Heavy weight high-precision 4-axis alignment stage [0002]

본 발명은 반도체 제조장비 및 검사장치, 평판디스플레이 제조장비 및 검사장치는 물론이고 각종 산업기계에 적용할 수 있는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 크로스 LM가이드유닛의 내마모성을 개선하고, 아울러 볼 받침수단을 부가하여 테이블에 중량물을 올리더라도 크로스 LM가이드유닛으로 집중되는 수직하중을 적절히 분산함으로 해서 내구성 향상과, 사용수명 연장, 고정밀도 유지 등의 복합적인 효과를 제공할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a high-precision, high-precision four-axis alignment stage that can be applied to various industrial machines as well as semiconductor manufacturing equipment and inspection apparatuses, flat panel display manufacturing equipment and inspection apparatuses. More specifically, Even when the weight is raised on the table by adding the ball support means, the vertical load concentrated on the cross LM guide unit is appropriately dispersed to provide a combined effect of improving durability, extending service life and maintaining high precision .

반도체 제조장비 및 검사장치, 평판디스플레이 제조장비 및 검사장치는 물론이고 각종 산업기계에는 다양한 구성의 얼라인 장치가 제안되고 있다. Aligning devices of various configurations have been proposed for various industrial machines as well as semiconductor manufacturing equipment and inspection devices, flat panel display manufacturing equipment and inspection devices.

대표적인 예로는 대한민국 공개특허공보(A)10-2010-0043327호(2010.04.29.)의 평판디스플레이 패널용 얼라인 장치, 적용할 수 있는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지에 관한 것으로서, 등록특허공보(B1)10-1353333호(2014.02.18.)의 기판 진공 합착 장치의 얼라인 장치 및 그 방법, 공개특허공보(A)10-2013-0051841호(2013.05.21.)의 얼라인 장치 및 그 방법 등 산업의 다양한 분야에서 제공되고 있다. A typical example is a high-precision, high-precision four-axis alignment stage that can be applied to an aligning apparatus for a flat panel display panel of Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2010-0043327 (Apr. 29, 2010) B1) 10-1353333 (2014.02.18.) Aligning apparatus and method for substrate vacuum lacquering apparatus, alignment apparatus and method therefor of A-10-2013-0051841 (May 31, 2013) And so on.

한편 본 발명에서 제공코자 하는 4축 얼라인 스테이지의 경우 삼익THK의 홈페이지( 제공하는 자료에서와 같이 베이스의 상측에 베어링 지지되도록 정역회전하는 4개의 구동모터에 의해 구동하는 볼스크루를 설치하고, 각각의 볼스크루에 크로스 LM가이드유닛을 결합하고, 크로스 LM가이드유닛에는 테이블과 결합되도록 크로스 베어링을 설치한 예를 제안하고 있다.On the other hand, in case of the four-axis alignment stage to be provided in the present invention, a ball screw driven by four driving motors rotating forward and backward so that the bearing is supported on the upper side of the base Of the cross LM guide unit and the cross LM guide unit is provided with a cross bearing to be coupled with the table.

그러나 상기한 4축 얼라인 스테이지는 고중량을 테이블에 안치하는 경우 크로스 LM가이드유닛에 수직하중이 집중되어 됨으로 해서, 비금속으로 구성되는 크로스 LM가이드유닛상의 하부받침과 상부받침이 변형되는 것은 물론이고, 수직하중에 의한 크로스 LM가이드유닛의 과압으로 작동성도 떨어지는 등의 문제점이 발생하고 있는 실정으로, 수직하중에 따른 제반 문제점을 해결할 수 있는 신규한 구성의 4축 얼라인 스테이지가 요구되고 있는 실정이다.However, in the above-described four-axis alignment stage, since the vertical load is concentrated on the cross LM guide unit when a heavy load is placed on the table, the lower pedestal and the upper pedestal on the cross LM guide unit made of non- There is a problem in that the operability is deteriorated due to the overpressure of the cross LM guide unit due to the vertical load. Therefore, there is a demand for a four-axis alignment stage of a novel configuration capable of solving all the problems due to the vertical load.

KR 1020100043327 A 2010.04.29.KR 1020100043327A 2010.04.29. KR 101353333 B1 2014.02.18.KR 101353333 B1 2014.02.18. KR 1020130051841 A 2013.05.21.KR 1020130051841 A 2013.05.21.

이에 본 발명자는 종래 4축 얼라인 스테이지를 대형화 하여 고중량 제품에 적용할 때 할 때 크로스 LM가이드유닛에 수직하중이 집중됨으로 해서 발생하는 제반 문제점을 일소코자 본 발명을 연구 개발한 것이다.Accordingly, the present inventors have researched the present invention in order to solve all the problems caused by the fact that the vertical load is concentrated on the cross LM guide unit when the four-axis alignment stage is enlarged and applied to a heavy-weight product.

즉, 본 발명에서는 크로스 LM가이드유닛에서의 상하부 LM가이드와 크로스 베어링을 연결하는 구성품을 스틸로 구성하여 수직하중에 의한 변형이 없도록 함으로 해서 내구성을 높일 수 있도록 하였으며, 테이블 하측으로 볼 받침수단을 더 부가하여 테이블의 작동에 영향을 주지 않으면서 크로스 LM가이드유닛으로 집중되는 수직하중을 분산할 수 있도록 하여 얼라인 스테이지의 내구성 향상과, 사용수명 연장, 고정밀도 유지 등의 복합적인 효과가 제공되도록 하였다.That is, in the present invention, the components connecting the upper and lower LM guides and the cross bearings in the cross LM guide unit are made of steel so as not to be deformed by the vertical load to improve the durability, In addition, it is possible to distribute the vertical load concentrated on the cross LM guide unit without affecting the operation of the table, thereby providing a combined effect of improving the durability of the alignment stage, extending service life and maintaining high precision .

과제 해결 수단으로 본 발명에서는 베이스와; 베이스의 상측에 상하좌우(열십자 방향)로 배치되며, 베이스에 베어링 지지되도록 설치되고 정역회전하는 4개의 구동모터에 의해 구동하는 볼스크루와 결합되어 작동하는 4개의 크로스 LM가이드유닛들과; 상기 4개의 크로스 LM가이드유닛들에 각각 결합된 4개의 크로스 베어링들과; 상기 4개의 크로스 베어링들의 상부에 결합되는 테이블을 포함하는 4축 얼라인 스테이지에 있어서; 상기 베이스의 상측에는 크로스 LM가이드유닛 사이에 위치하도록 복수의 볼 받침수단을 더 설치하여 수직하중을 분산할 수 있도록 하되; 상기 볼 받침수단은 베이스에 고정되는 지지체와, 상기 지지체에 형성되는 볼 내입홈과, 볼 내입홈에 내입되며 상부에 접지평면을 갖는 접지볼과, 상기 볼 내입홈에 내입된 접지볼을 고정하는 고정덮개를 포함하도록 구성하며;According to an aspect of the present invention, Four cross LM guide units arranged in an up, down, left and right (cross direction) on the upper side of the base and mounted to be supported by bearings on the base and operated by being combined with a ball screw driven by four drive motors rotating in normal and reverse directions; Four cross bearings respectively coupled to the four cross LM guide units; A four-axis alignment stage including a table coupled to an upper portion of the four cross bearings; A plurality of ball support means are further provided on the upper side of the base so as to be positioned between the cross LM guide units so that the vertical load can be dispersed; The ball holding means includes a support fixed to the base, a ball inner groove formed in the support, a ground ball penetrating the ball inner groove and having a ground plane at an upper portion thereof, and a ground ball fixed in the ball inner groove Comprising a fixed cover;

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상기 접지볼의 상부에 형성되어 있는 접지평면과 면접하는 테이블에 부착된 슬라이드패널에는 접지평면쪽으로 주입구가 형성된 그리스내입공간을 형성하여 접지평면 쪽으로 그리스가 공급될 수 있도록 하였다.The slide panel attached to the table which is in contact with the ground plane formed on the upper part of the ground ball has a grease interspace formed with an injection port toward the ground plane so that grease can be supplied toward the ground plane.

또한 상기 크로스 LM가이드유닛은 볼스크루와 직각으로 배치되며 레일이 베이스에 고정되는 하부 LM가이드의 레일과, 볼스크루에 조립되는 이동구와 함께 이동하며 하측으로 하부 LM가이드의 블록이 고정되는 하부받침과, 하부 LM가이드와 직각으로 상기 하부받침의 상부에 고정되는 상부 LM가이드의 레일과, 상부에 크로스 베어링이 조립되며 하측으로 상부 LM가이드의 블록이 고정되는 상부받침을 포함하는 구성으로 이루어지되; 상기 하부받침과 상부받침은, 수직하중이 제공된 상태에서도 상하부 LM가이드의 작동에 변형이 없도록 스틸로 구성하였다.The cross LM guide unit includes a rail of a lower LM guide disposed at right angles to the ball screw and fixed to the base of the ball, a lower plate that moves together with a moving member assembled to the ball screw, A rail of an upper LM guide fixed to the upper portion of the lower pedestal at a right angle to the lower LM guide, and a top pedestal to which a cross bearing is assembled on the upper side and a block of the upper LM guide is fixed on the lower side; The lower pedestal and the upper pedestal are made of steel so as not to deform the operation of the upper and lower LM guides even under a vertical load.

본 발명에서 제공하는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지를 사용할 경우 4축에 의해 얼라인 되는 테이블에 고중량이 제공되더라도 테이블의 하측으로 4개의 볼 받침수단이 더 부가되어 있어 수직하중을 분산할 수 있게 되는 것이다.When using the high-weight, high-precision four-axis alignment stage provided in the present invention, even though a high weight is provided to the table aligned by four axes, four ball support means are further added to the lower side of the table, will be.

이러한 구성은 종래 테이블상의 고하중이 크로스 LM가이드유닛에 집중되는 것과는 달리 크로스 LM가이드유닛과 볼 받침수단, 즉 8곳으로 분산되므로 고중량을 견딜 수 있는 내구성을 제공할 수 있는 것이다.Such a configuration can disperse the cross LM guide unit and the ball supporting means, that is, 8 places, in contrast to the high load on the conventional table being concentrated in the cross LM guide unit, so that durability capable of withstanding the heavy load can be provided.

또한 본 발명은 크로스 LM가이드유닛을 구성함에 있어, 종래 상하부받침을 비금속재질로 구성할 경우 테이블 측에서 수직하중이 제공될 때 이들 부품이 변형이 발생되고, 그로 인해 크로스 LM가이드유닛의 직직도 저하로 정밀도를 저하시키는 문제점이 발생하게 되는데, 본 발명에서는 이들 재품을 하중에 따른 변형을 최소화 할 수 있는 스틸로 구성하여 내구성을 향상시켜 상기 얼라인 스테이지의 정밀성을 보장할 수 있는 기능성을 제공하게 되는 것이다.Further, in the construction of the cross LM guide unit according to the present invention, when the conventional upper and lower supports are made of a nonmetallic material, when the vertical load is provided on the table side, these components are deformed, In the present invention, these products are made of steel capable of minimizing deformation due to the load, thereby improving the durability and providing the functionality to ensure the accuracy of the alignment stage will be.

도 1은 본 발명에서 제공하는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지의 일 실시례를 보인 외형 사시도
도 2는 도 1에서 상부의 테이블을 분리한 상태의 외형 사시도
도 3은 도 2의 평면도
도 4는 본 발명에 적용되는 볼 받침수단을 발췌한 분해사시도
도 5는 도 4의 단면도
도 6은 본 발명에 적용되는 볼 받침수단의 다른 실시례를 보인 분해사시도
도 7은 도 6의 단면도
도 8은 본 발명에 적용되는 크로스 LM가이드유닛의 분해사시도1 is an external perspective view showing an embodiment of a high-precision high-precision four-axis alignment stage provided in the present invention.
Fig. 2 is an external perspective view of the upper table in Fig. 1,
Fig. 3 is a plan view of Fig.
Fig. 4 is an exploded perspective view showing an example of a ball support means applied to the present invention. Fig.
5 is a cross-
6 is an exploded perspective view showing another embodiment of the ball receiving means applied to the present invention.
Figure 7 is a cross-
8 is an exploded perspective view of a cross LM guide unit according to the present invention.

이하 본 발명에서 제공하는 첨부 도면에 의거하여 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에서 제공하는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지의 일 실시례를 보인 외형 사시도를 도시한 것이고, 도 2는 도 1에서 상부의 테이블을 분리한 상태의 외형 사시도, 도 3은 도 2의 평면도를 각각 도시한 것이다.FIG. 1 is an external perspective view showing an embodiment of a high-precision, high-precision four-axis alignment stage provided in the present invention, FIG. 2 is an external perspective view of a state in which an upper table is separated in FIG. 1, Respectively.

본 발명에서 제공하는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지(1)은 도시된 바와 같이 사각판상의 베이스(2)가 구비되고, 베이스(2)의 상측으로는 상하좌우(열십자방향)로 4개의 크로스 LM가이드유닛(3)을 설치한다. The high-precision, high-precision four-axis alignment stage 1 provided in the present invention is provided with a base plate 2 in the form of a quadrangular plate as shown in the figure, and four cross- Install the LM guide unit (3).

상기 4개의 크로스 LM가이드유닛(3)은 개별 구동되며, 이를 위한 구성으로는 베이스(2)의 4변과 평형하게 4개의 볼스크루(31)를 베이스(2)에 베어링지지도록 설치하고, 각각의 볼스크루(31)에 정역회전하는 구동모터(32)를 결합하여 개별적으로 구동될 수 있도록 하고, 볼스크루(31)에 결합된 이동구(33)에 의해 크로스 LM가이드유닛(3)의 하부받침(34)이 이동될 수 있게 한다.The four cross LM guide units 3 are individually driven. In this configuration, four ball screws 31 are installed on the base 2 so as to bear against the four sides of the base 2, And a driving motor 32 for rotating the ball screw 31 of the cross LM guide unit 3 is coupled to the ball screw 31 so as to be individually driven. Thereby allowing the pedestal 34 to be moved.

그리고 상기 크로스 LM가이드유닛(3)의 상부에 조립되어 있는 크로스 베어링(35)을 테이블(4)에 결합하며, 베이스(2)쪽에는 상기 각각의 크로스 LM가이드유닛(3)의 이동을 감지하는 복수의 감지센서(36)를 설치하여 구동모터(32)와 연동하여 작동되게 한다.The cross bearing 35 assembled on the upper portion of the cross LM guide unit 3 is coupled to the table 4 and the movement of each of the cross LM guide units 3 is detected on the base 2 side A plurality of detection sensors 36 are installed to operate in conjunction with the drive motor 32.

이와 같은 구성은 기준점이 되는 적어도 1개소의 크로스 LM가이드유닛(3)을 정지시킨 상태에서 나머지 크로스 LM가이드유닛(3)의 구동모터(32)를 정회전 또는 역회전 구동하면 크로스 LM가이드유닛(3)이 이동하게 되는데, 이때 크로스 베어링(35)과 결합되어 있는 테이블(4)이 기준점인 크로스 LM가이드유닛(3)상의 크로스 베어링(35)을 중심으로 X축, Y축 또는 회동되는 이동이 이루어져 테이블(4) 상에 올린 제품을 얼라인(align)하게 되는 것이다.In this configuration, when the drive motor 32 of the remaining cross LM guide unit 3 is driven forward or reverse while at least one cross LM guide unit 3 as a reference point is stopped, the cross LM guide unit 3 or the table 4 connected to the cross bearing 35 moves at the X axis, the Y axis, or the rotation about the cross bearing 35 on the cross LM guide unit 3 as the reference point And aligns the products placed on the table 4.

상기한 4축 얼라인 스테이지(1)은 일반적으로 사용되고 있는 공지된 구성이므로, 4축 얼라인 스테이지(1)의 구체적인 구성 및 작용 등의 설명은 생략키로 한다.Since the above-described four-axis alignment stage 1 has a generally known configuration, description of the specific configuration and operation of the four-axis alignment stage 1 will be omitted.

본 발명에서는 상기한 공지된 4축 얼라인 스테이지(1)을 구성함에 있어서, 중대형으로 적용할 때 발생할 수 있는 수직하중에 따른 문제점을 일소하여 내구성 향상과, 사용수명 연장, 고정밀도 유지 등의 복합적인 효과를 제공할 수 있도록 한 것이다.In the present invention, in constructing the known four-axis alignment stage (1), it is possible to improve the durability, extend the service life and maintain a high precision by eliminating problems due to the vertical load that may occur when applying the middle- So that the effect can be provided.

즉, 본 발명에서는 베이스(2)와 테이블(4) 사이에 복수의 볼 받침수단(5)을 부가 구성하여 테이블(4)쪽에서 제공되는 수직하중에 또한 하중 분산이 이루어질 수 있도록 하고, 또한 크로스 LM가이드유닛(3)을 구성하는 부품의 일부 재질을 변경하여 수직하중으로 인한 변형이 없도록 한 것이다.That is, in the present invention, a plurality of ball receiving means 5 are additionally provided between the base 2 and the table 4 so that the load distribution can be made to the vertical load provided on the table 4 side, A part of the components constituting the guide unit 3 is changed so as not to be deformed due to the vertical load.

본 발명에서 제공하고 있는 볼 받침수단(5)의 구성은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 베이스(2)에 고정되는 지지체(51)와, 상기 지지체(51)에 형성된 볼 내입홈(52)에 내입되는 복수의 지지용 소형볼(53)과, 상기 지지용 소형볼(53)에 지지되며 상부가 테이블(4) 하부면과 접지되어 구름 운동하는 접지볼(54)을 포함하도록 구성한다.4 and 5, the ball receiving means 5 provided in the present invention includes a support body 51 fixed to the base 2 and a ball inner groove 52 formed in the support body 51 And a ground ball 54 which is supported by the small ball 53 for support and whose upper portion is grounded with respect to the lower surface of the table 4 and rolls in the ground ball 54 .

상기 볼 받침수단(5)은 테이블(4)의 4 모서리 하측에 위치하는 구성으로 제안되고 있으며, 4축 얼라인 스테이지(1)의 크기에 따라 개수를 더 추가할 수 있음은 당연하다.It is a matter of course that the ball receiving means 5 is proposed to be positioned below the four corners of the table 4 and the number can be further added according to the size of the four-axis alignment stage 1. [

상기와 같이 구성되는 볼 받침수단(5)은 베이스(2)에 고정된 상태로 테이블(4) 또는 테이블(4)에 부착된 슬라이드패널(41)과 접지볼(54)에 의해 점접촉 되는 구성인바, 상기에서와 같이 테이블(4) 쪽에서 가압되는 수직하중을 지지하면서도 크로스 LM가이드유닛(3)에 의해 테이블(4)이 전방위로 수평 이동하더라도 접지볼(54)이 테이블(4)의 하면에서 구름 되면서 테이블(4)의 이동성을 보장할 수 있게 되는 것이다. 또한 상기 접지볼(54)의 경우 지지체(51)의 볼 내입홈(52)에 안치되는 지지용 소형볼(53)에 올린 상태이므로 상기와 같이 테이블(4)의 이동으로 구름 운동할 때 볼 내입홈(52)과 넓게 면접촉되지 않고 복수의 지지용 소형볼(53)에 점접촉 상태로 지지되는 것으로, 접지볼(54)의 마모를 최소화 하면서도 구름성을 양호하게 유지할 수 있게 되는 것이다.The ball receiving means 5 configured as described above is configured such that it is in point contact with the slide panel 41 attached to the table 4 or table 4 by the ground ball 54 while being fixed to the base 2 Even if the table 4 is horizontally moved by the cross LM guide unit 3 in the horizontal direction while supporting the vertical load pressed by the table 4 as described above, And the mobility of the table 4 can be ensured by the cloud. The ground ball 54 is in a state of being raised on the small ball 53 for support which is placed in the ball inner groove 52 of the support body 51. Therefore, Contact with the plurality of small balls for support 53 in a point-contact state without being in wide contact with the groove 52, thereby minimizing wear of the ground ball 54 and maintaining good rolling property.

상기와 같이 구성되는 볼 받침수단의 경우 중하중에 비교적 안전성을 보장할 수 있는 것으로, 접지볼(54)에 가압력이 제공된 상태에서 전방위로 이송이 가능하다.In the case of the ball receiving means constructed as described above, relative safety can be ensured in the middle and lower loads, and the ball can be transported in all directions while the pressing force is applied to the ground ball 54.

도 6은 본 발명에 적용되는 볼 받침수단의 다른 실시례를 보인 분해사시도를 도시한 것이고, 도 7은 도 6의 단면도를 도시한 것이다.FIG. 6 is an exploded perspective view showing another embodiment of the ball support means applied to the present invention, and FIG. 7 is a sectional view of FIG.

도 6, 도 7에서 제공되는 볼 받침수단(5)의 경우 고하중에서도 지지 안전성을 보장할 수 있는 것으로, 그 구성은 베이스(2)에 고정되는 지지체(51)와, 상기 지지체(51)에 형성되는 볼 내입홈(52)과, 볼 내입홈(52)에 내입되며 상부에 접지평면(55)을 갖는 접지볼(54)과, 상기 볼 내입홈(52)에 내입된 접지볼(54)을 고정하는 고정덮개(56)를 포함하는 구성으로 이루어진다.The ball supporting means 5 provided in Figs. 6 and 7 can ensure the safety of the support in the high load. The structure of the ball supporting means 5 includes a support 51 fixed to the base 2, A ground ball 54 penetrating into the ball inner groove 52 and having a ground plane 55 at an upper portion thereof and a ground ball 54 inserted into the ball inner groove 52, And a fixed lid 56 for fixing.

또한 접지볼(54)의 상부에 형성되어 있는 접지평면(55)과 면접하는 테이블(4)에 부착된 슬라이드패널(41)에는 접지평면(55)쪽으로 주입구(58)가 형성된 그리스내입공간(57)을 형성하여 접지평면(55) 쪽으로 그리스를 공급하여 슬라이드 효율성을 높일 수 있도록 한다. The slide panel 41 attached to the table 4 which is in contact with the ground plane 55 formed on the upper part of the ground ball 54 is provided with a grease inserting space 57 in which an injection port 58 is formed toward the ground plane 55 So as to supply grease toward the ground plane 55, thereby enhancing the slide efficiency.

상기와 도 6, 7에 도시된 볼 받침수단(5)의 경우 상기에서 언급한 바와 같이 고하중용으로 얼라인 스테이지(1)를 제공할 때 사용함이 바람직하며, 특히 얼라인 후 수직하중이 제공되는 장치 등에서 넓은 접지평면(55)이 테이블(4) 또는 테이블(4)에 부착된 슬라이드패널(41)과 면접촉 상태를 유지하면서 테이블(4)을 안정적으로 지지할 수 있게 되는 것이다.In the case of the ball receiving means 5 shown in FIGS. 6 and 7, as mentioned above, it is preferable to use it when providing the alignment stage 1 for high load, and in particular, It is possible to stably support the table 4 while keeping the wide ground plane 55 in the apparatus or the like maintaining the surface contact state with the slide panel 41 attached to the table 4 or the table 4. [

한편 본 발명에서 제공하는 크로스 LM가이드유닛(3)은, 도 8에 도시된 바와 같이 볼스크루(31)와 직각으로 배치되며 레일이 베이스(2)에 고정되는 하부 LM가이드(37)의 레일과, 볼스크루(31)에 조립되는 이동구(33)와 함께 이동하며 하측으로 하부 LM가이드(37)의 블록이 고정되는 하부받침(34)과, 하부 LM가이드(37)와 직각으로 상기 하부받침(34)의 상부에 고정되는 상부 LM가이드(38)의 레일과, 상부에 크로스 베어링(35)이 조립되며, 하측으로 상부 LM가이드(38)의 블록이 고정되는 상부받침(39)을 포함하는 구성으로 이루어진다.8, the cross LM guide unit 3 provided in the present invention includes a rail of a lower LM guide 37 disposed at a right angle to the ball screw 31 and fixed to the base 2, A lower bearing 34 which is moved together with a moving tool 33 assembled to the ball screw 31 and to which a block of the lower LM guide 37 is fixed, A rail of the upper LM guide 38 fixed to the upper portion of the upper LM guide 34 and a lower bearing 39 to which a cross bearing 35 is assembled on the upper side and a block of the upper LM guide 38 is fixed on the lower side .

본 발명에서는 상기와 같이 구성되는 크로스 LM가이드유닛(3)에서 특정부품 즉, 하부받침(34)과 상부받침(39)은, 수직하중이 제공된 상태에서도 상하부 LM가이드(37)(38)의 작동에 변형이 없도록 스틸로 구성토록 한다.In the present invention, in the cross LM guide unit 3 constructed as described above, the specific parts, that is, the lower bearing 34 and the upper bearing 39, can be moved in the vertical direction even when the vertical loads are applied to the upper and lower LM guides 37, So as not to be deformed.

종래에는 상기 하부받침(34)과 상부받침(39)을 경량 소재인 알루미늄 프레임 등으로 구성하고 있으나, 이는 테이블(4) 측에서 제공되는 고하중에 의한 압축강도가 미약하여 변형이 발생하게 되는 문제점이 있었으나, 스틸로 구성할 경우 이와 같은 문제점을 해결할 수 있는 크로스 LM가이드유닛(3)을 제공할 수 있게 되는 것이다.The lower plate 34 and the upper plate 39 are formed of an aluminum frame or the like which is a lightweight material. However, this is a problem that the compression strength of the table 4 due to the high load is small, However, it is possible to provide a cross LM guide unit 3 which can solve such a problem when it is made of steel.

본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시례에 관해 설명하고 있으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 보호 범위는 설명된 실시례에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 청구범위 뿐만 아니라 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. Therefore, the scope of protection of the present invention should not be limited to the described embodiment, but should be determined by the equivalents as well as the claims that follow.

1:(고중량 고정밀 4축) 얼라인 스테이지
2:베이스 3:크로스 LM가이드유닛
31:볼스크루 32:구동모터
33:이동구 34:하부받침
35:크로스 베어링 36:감지센서
37:하부 LM가이드 38:상부 LM가이드
39:상부받침 4:테이블
41:슬라이드패드 5:볼 받침수단
51:지지체 52:볼 내입홈
53:지지용 소형볼 54:접지볼
55:접지평면 56:고정덮개
57:그리스 내입공간 58:주입구1: (high-precision, high-precision 4-axis) alignment stage
2: Base 3: Cross LM Guide Unit
31: ball screw 32: drive motor
33: Movement port 34:
35: Cross bearing 36: Sensing sensor
37: Lower LM Guide 38: Upper LM Guide
39: upper support 4: table
41: slide pad 5: ball support means
51: support body 52: ball inner groove
53: small ball for support 54: ground ball
55: ground plane 56: fixed cover
57: Grease intrusion space 58: Inlet port

Claims (4)

삭제delete 베이스(2)와; 베이스(2)의 상측에 상하좌우(열십자 방향)로 배치되며, 베이스(2)에 베어링 지지되도록 설치되고 정역회전하는 4개의 구동모터(32)에 의해 구동하는 볼스크루(31)와 결합되어 작동하는 4개의 크로스 LM가이드유닛(3)들과; 상기 4개의 크로스 LM가이드유닛(3)들에 각각 결합된 4개의 크로스 베어링(35)들과; 상기 4개의 크로스 베어링(35)들의 상부에 결합되는 테이블(4)을 포함하는 4축 얼라인 스테이지(1)에 있어서;
상기 베이스(2)의 상측에는 크로스 LM가이드유닛(3)들 사이에 위치하도록 복수의 볼 받침수단(5)을 더 설치하여 수직하중을 분산할 수 있도록 하되;
상기 볼 받침수단(5)은 베이스(2)에 고정되는 지지체(51)와, 상기 지지체(51)에 형성되는 볼 내입홈(52)과, 볼 내입홈(52)에 내입되며 상부에 접지평면(55)을 갖는 접지볼(54)과, 상기 볼 내입홈(52)에 내입된 접지볼(54)을 고정하는 고정덮개(56)를 포함하도록 구성하며;
상기 접지볼(54)의 상부에 형성되어 있는 접지평면(55)과 면접하는 테이블(4)에 부착된 슬라이드패널(41)에는 접지평면(55)쪽으로 주입구(58)가 형성된 그리스내입공간(57)을 형성하여 접지평면(55) 쪽으로 그리스가 공급될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지.
A base 2; Is coupled to a ball screw (31) driven by four drive motors (32) which are arranged on the upper side of the base (2) Four cross LM guide units 3 that operate; Four cross bearings (35) respectively coupled to the four cross LM guide units (3); A four-axis alignment stage (1) comprising a table (4) coupled to an upper portion of the four cross bearings (35);
A plurality of ball receiving means 5 are further provided on the upper side of the base 2 so as to be positioned between the cross LM guide units 3 so that the vertical load can be dispersed;
The ball receiving means 5 includes a support body 51 fixed to the base 2, a ball inner groove 52 formed in the support body 51, (56) for fixing the ground ball (54) having the ball insertion groove (55) and the ground ball (54) inserted in the ball inner groove (52);
The slide panel 41 attached to the table 4 which is in contact with the ground plane 55 formed on the upper part of the ground ball 54 is provided with a grease inserting space 57 in which an injection port 58 is formed toward the ground plane 55 ) So that grease can be supplied to the ground plane (55).
삭제delete 청구항 2에 있어서;
상기 크로스 LM가이드유닛(3)은 볼스크루(31)와 직각으로 배치되며 레일이 베이스(2)에 고정되는 하부 LM가이드(37)의 레일과, 볼스크루(31)에 조립되는 이동구(33)와 함께 이동하며 하측으로 하부 LM가이드(37)의 블록이 고정되는 하부받침(34)과, 하부 LM가이드(37)와 직각으로 상기 하부받침(34)의 상부에 고정되는 상부 LM가이드(38)의 레일과, 상부에 크로스 베어링(35)이 조립되며 하측으로 상부 LM가이드(38)의 블록이 고정되는 상부받침(39)을 포함하는 구성으로 이루어지되;
상기 하부받침(34)과 상부받침(39)은, 수직하중이 제공된 상태에서도 상하부 LM가이드(37)(38)의 작동에 변형이 없도록 스틸로 구성한 것을 특징으로 하는 고중량 고정밀 4축 얼라인 스테이지.The method of claim 2,
The cross LM guide unit 3 includes a rail of a lower LM guide 37 which is disposed at right angles to the ball screw 31 and whose rails are fixed to the base 2 and a moving hole 33 And an upper LM guide 38 fixed to the upper portion of the lower bearing 34 at right angles to the lower LM guide 37. The lower LM guide 37 And a top support 39 on which a cross bearing 35 is assembled on the upper side and a block of the upper LM guide 38 is fixed on the lower side.
Wherein the lower pedestal (34) and the upper pedestal (39) are made of steel so that the upper and lower LM guides (37) and (38) are not deformed even in a state where a vertical load is applied.
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