KR20060070920A - Plate transferring apparatus - Google Patents

Plate transferring apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20060070920A
KR20060070920A KR1020040109746A KR20040109746A KR20060070920A KR 20060070920 A KR20060070920 A KR 20060070920A KR 1020040109746 A KR1020040109746 A KR 1020040109746A KR 20040109746 A KR20040109746 A KR 20040109746A KR 20060070920 A KR20060070920 A KR 20060070920A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
shaft
conveying
conveying roller
ring portion
Prior art date
Application number
KR1020040109746A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100675641B1 (en
Inventor
윤성환
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020040109746A priority Critical patent/KR100675641B1/en
Publication of KR20060070920A publication Critical patent/KR20060070920A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100675641B1 publication Critical patent/KR100675641B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로, 본 발명의 기판 반송 장치는 상기 설치대의 측부에 형성되는 구동용 모터; 상기 모터로부터 구동력을 인가받는 샤프트; 및 상기 샤프트의 회전에 따라 상기 샤프트와 선접촉하며 회전되면서, 기판을 이송하는 반송 롤러를 포함하여 구성된다.The present invention relates to a substrate transfer device, the substrate transfer device of the present invention is a drive motor formed on the side of the mounting table; A shaft to which a driving force is applied from the motor; And a conveying roller for conveying a substrate while rotating in linear contact with the shaft according to the rotation of the shaft.

반송 롤러, 샤프트, 유리 기판Conveying roller, shaft, glass substrate

Description

기판 반송 장치{PLATE TRANSFERRING APPARATUS}Board conveying apparatus {PLATE TRANSFERRING APPARATUS}

도 1은 종래 기판 반송 장치의 주요부 측면을 나타내는 측면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The side view which shows the side surface of the principal part of the conventional substrate conveyance apparatus.

도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 구성을 나타내는 평면도.2 is a plan view showing a configuration of a substrate transfer device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 주요부 측면을 나타내는 측면도.3 is a side view showing the main part side surface of the substrate transfer device according to the present invention;

***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

101: 설치대 102: 모터101: mounting base 102: motor

103: 축부재 104: 지지대103: shaft member 104: support

109: 샤프트 111: 반송롤러109: shaft 111: conveying roller

111a: 내륜부 111b: 외륜부111a: inner ring portion 111b: outer ring portion

108: 베어링 107, 112: 나사톱니108: bearing 107, 112: screw tooth

110: 기판110: substrate

본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로, 특히, 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device, LCD)등에 사용되는 유리 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to a board | substrate conveying apparatus. Specifically, It is related with the board | substrate conveying apparatus which conveys the glass substrate used for a liquid crystal display device (LCD).

오늘날 정보기기의 발달과 더불어 영상표시장치의 개발이 활발히 이루어지고 있는데, 특히 영상표시장치 중에서 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)를 스위칭 소자로 채용하는 박막트랜지스터 액정표시장치의 개발이 주목을 받고 있다.Today, with the development of information devices, the development of image display devices has been actively conducted. Especially, the development of thin film transistor liquid crystal display devices employing thin film transistors (TFTs) as switching elements is drawing attention. .

박막트랜지스터 액정표시장치의 제조공정은 대부분 반도체 제조공정을 채용하므로 유리 기판상에 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide, ITO) 등의 박막이나 금속 배선의 형성을 위해 포토리소그래피(Photolithography) 공정을 사용한다. 포토리소그래피 공정은 포토레지스트(Photoresist) 도포공정, 노광공정, 현상공정 및 세정공정등으로 이루어지는데, 상기 일련의 공정들을 신속하게 처리하기 위해 유리 기판을 반송 장치에 의해 연속적으로 이동시키며 각 공정들을 진행한다.Since most of the manufacturing processes of the thin film transistor liquid crystal display device employ a semiconductor manufacturing process, a photolithography process is used to form a thin film or metal wiring such as indium tin oxide (ITO) on a glass substrate. The photolithography process consists of a photoresist coating process, an exposure process, a developing process, and a cleaning process. In order to rapidly process the series of processes, the glass substrate is continuously moved by a conveying apparatus and each process is performed. do.

상기 반송 장치는 진공 흡착에 의해 기판을 지지하는 반송 아암(ARM)을 사용하거나, 회전축을 구비하는 복수의 반송 롤러 상에 유리 기판의 양단을 로딩시키고 상기 반송 롤러의 회전에 의해 기판을 반송하는 롤러 반송을 사용한다.The said conveying apparatus uses the conveyance arm ARM which supports a board | substrate by vacuum adsorption, or loads the both ends of a glass substrate on the some conveyance roller provided with a rotating shaft, and conveys a board | substrate by rotation of the said conveying roller. Use return.

이중 반송 롤러를 이용하는 기판 반송 장치에는 설치대의 측부에 구동용 모터가 설치되고, 상기 모터에 의해 회전하는 복수의 샤프트가 설치대를 가로질러 형성되어 있다. 그리고 개별 샤프트에는 이송할 유리 기판을 지지하며, 상기 샤프트와 동시에 회전함으로써 상기 유리 기판을 반송하는 적어도 두 개의 반송 롤러가 부착되어 있다. 즉, 상기 모터의 구동에 따라 반송 롤러가 회전하여 기판을 반송하게 된다.In the board | substrate conveying apparatus using a double conveyance roller, a drive motor is provided in the side of a mounting stand, and the several shaft which rotates by the said motor is formed across a mounting stand. The individual shafts are attached with at least two conveying rollers which support the glass substrate to be conveyed and convey the glass substrate by rotating simultaneously with the shaft. That is, the conveyance roller rotates in accordance with the drive of the motor to convey the substrate.

도 1은 종래 기판 반송 장치의 주요부 측면을 나타내는 도면으로서, 샤프트(9)의 회전에 따라 복수의 반송 롤러(11) 상부로 유리 기판(10)이 반송되는 형상을 도시하고 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 종래 기판 반송 장치에서는 샤프트(9)와 반송 롤러(11)가 견고하게 접합할 수 있도록, 상기 샤프트(9)와 반송 롤러(11)의 사이에 고정부재(일명 록커(locker), 15)가 더 형성되어 샤프트(9)의 회전운동에너지를 반송 롤러(11)에 완전히 전달할 수 있게 한다. 따라서, 기판(10)을 이송하는 반송 롤러(11)는 고정부재(15)를 통해 샤프트(9)에 고정되어 정속의 샤프트(9) 회전에 따라 회전되며, 그 상부에 배치되는 기판(10)을 이송시키게 된다. 즉, 상기와 같은 종래 기판 이송 장치에서는 회전축인 샤프트(9)와 반송 롤러(11)가 고정되어 있어, 상기 반송 롤러(11)가 상기 샤프트의 회전 속도를 그대로 반영하는 것이다.FIG. 1: is a figure which shows the principal part side surface of the conventional board | substrate conveying apparatus, and has shown the shape which the glass substrate 10 conveys to the some conveyance roller 11 upper part with rotation of the shaft 9. As shown in FIG. As shown in the figure, in the conventional substrate conveying apparatus, a fixing member (also called a locker) is formed between the shaft 9 and the conveying roller 11 so that the shaft 9 and the conveying roller 11 can be firmly bonded. A locker, 15, is further formed to enable full transmission of the rotational kinetic energy of the shaft 9 to the conveying roller 11. Therefore, the conveying roller 11 for transporting the substrate 10 is fixed to the shaft 9 through the fixing member 15 and rotated according to the rotation of the shaft 9 at a constant speed, and the substrate 10 disposed thereon. Will be transferred. That is, in the above-mentioned conventional substrate transfer apparatus, the shaft 9 and the conveyance roller 11 which are the rotation shafts are being fixed, and the said conveyance roller 11 reflects the rotational speed of the said shaft as it is.

하지만, 이와 같은 종래의 반송 시스템은 실질적으로 다수의 기판 반송 장치가 연속적으로 연결되어 구성되며, 각각의 기판 반송 장치는 개별 모터에 의해 구동되므로, 기판 반송 장치 간 샤프트의 회전 속도에 미세한 차이가 발생할 수 있다. 따라서, 만일 특정 지점에서의 샤프트 회전수가 유리 기판의 평균 이동 속도를 넘어서는 현상이 나타나게 되면, 상기한 지점에서 반송 롤러와 그 상부에 위치하는 유리 기판 사이에 슬립(Slip) 현상이 나타나, 상기 기판 상에 롤러 얼룩이 남게 되는 오염이 발생하게 되었다.However, such a conventional conveying system is composed of substantially a plurality of substrate conveying apparatus connected in series, each substrate conveying apparatus is driven by a separate motor, so that a slight difference in the rotational speed of the shaft between the substrate conveying apparatus may occur Can be. Therefore, if a phenomenon in which the shaft rotation speed at a specific point exceeds the average moving speed of the glass substrate appears, a slip phenomenon occurs between the conveying roller and the glass substrate positioned thereon at that point, Contamination was left on the roller stains.

또한, 기판의 이동을 방해하는 외부 간섭 등이 발생할 경우에도 상기 샤프트의 회전에 구속되는 반송 롤러가 상기 샤프트와 동일한 정속 회전을 유지하게 되므로, 결국 반송 롤러와 기판 간의 마찰로 인해 박막의 기판이 반송로에서 이탈되거나, 파손되는 결과를 초래하게 되었다.In addition, even when an external interference or the like that interferes with the movement of the substrate occurs, the conveying roller, which is constrained by the rotation of the shaft, maintains the same constant speed rotation as the shaft. Thus, the thin film substrate is conveyed due to the friction between the conveying roller and the substrate. This could result in breakage or breakage of the furnace.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 반송 롤러와 샤프트가를 비고정 구조로 형성함으로써, 반송 롤러 상부의 기판 이동 속도와 샤프트의 회전수가 조화되지 않을 때, 상기 반송 롤러가 상기 샤프트로부터 전달되는 회전운동에너지를 차단할 수 있는 기판 반송 장치를 제공함에 그 목적이 있다. In order to solve the above problems, the present invention forms the conveying roller and the shaft value in a non-fixed structure, whereby the conveying roller is removed from the shaft when the substrate movement speed of the upper portion of the conveying roller and the rotation speed of the shaft are not balanced. It is an object of the present invention to provide a substrate transfer device capable of blocking the transmitted rotational kinetic energy.

또한, 본 발명은 상기와 같은 기판 반송 장치를 제공함으로써, 기판의 반송 과정 중 파손을 최소화하고, 기판 배면에서의 오염 방지 할 수 있는 기판 반송 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a substrate transfer system capable of minimizing damage during a substrate transfer process and preventing contamination on the substrate back surface by providing the substrate transfer apparatus as described above.

상기한 바와 같은 목적을 이루기 위해, 본 발명의 기판 반송 장치는 본 발명의 기판 반송 장치는 상기 설치대의 측부에 형성되는 구동용 모터; 상기 모터로부터 구동력을 인가받는 샤프트; 및 상기 샤프트의 회전에 따라 상기 샤프트와 선접촉하며 회전되면서, 기판을 이송하는 반송 롤러를 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the substrate transfer device of the present invention, the substrate transfer device of the present invention is a drive motor formed on the side of the mounting; A shaft to which a driving force is applied from the motor; And a conveying roller for conveying a substrate while rotating in linear contact with the shaft according to the rotation of the shaft.

상기 반송 롤러는 내륜부와 외륜부로 구분되는데, 상기 외륜부는 우레탄(Urethane) 수지로 형성되고, 내륜부는 서스(SUS) 재질 혹은 수지 계열로 형성될 수 있다.The conveying roller is divided into an inner ring portion and an outer ring portion. The outer ring portion may be formed of a urethane resin, and the inner ring portion may be formed of a sus material or a resin series.

그리고, 상기 반송 롤러와 상기 기판 사이의 정지 마찰력이 상기 반송 롤러와 상기 샤프트 간 이동 마찰력보다 크게 형성됨을 특징으로 한다.And, the static frictional force between the conveying roller and the substrate is characterized in that the greater than the moving friction between the conveying roller and the shaft.

또한, 상기 기판 반송 장치는 상기 모터에 의해 회전하며 기판 반송 방향을 따라 설치되는 축부재; 상기 설치대의 상부 좌우에 설치되어 상기 샤프트를 지지하는 지지부; 및 상기 샤프트와 지지부 사이에 형성되어 상기 샤프트와 지지부 사이 의 마찰을 방지하는 베어링을 더 포함하여 구성될 수 있다.The substrate conveying apparatus may further include a shaft member which is rotated by the motor and installed along the substrate conveying direction; Support parts installed on the upper left and right sides of the mount to support the shaft; And a bearing formed between the shaft and the support to prevent friction between the shaft and the support.

또한, 상기 기판은 두께가 1.1 mm 이하의 박막 유리 기판일 수 있다.In addition, the substrate may be a thin glass substrate having a thickness of 1.1 mm or less.

실질적으로 액정표시장치의 제조 공정은 다수의 박막을 형성하는 공정으로 이루어진다. 특히 박막트랜지스터 액정표시장치는 스위칭소자로 박막트랜지스터를 채용하기 때문에 박막트랜지스터를 형성하기 위해 반도체 제조기술을 채용한다. 반도체 기술 중에서도 특히 포토리소그래피 공정이 사용되는데, 상기 포토리소그래피 공정은 기판을 기판 반송 장치를 이용하여 이송하면서 연속적으로 이루어진다. 따라서, 액정표시장치의 제조 공정에 있어서, 기판의 배면 오염 및 파손 등을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것은 매우 중요한 과제이며, 이러한 이유로 본 발명은 상기한 바와 같은 목적을 이룰 수 있는 새로운 기판 반송 장치를 제안한다.Substantially, the manufacturing process of the liquid crystal display device includes a process of forming a plurality of thin films. In particular, since the thin film transistor liquid crystal display adopts a thin film transistor as a switching element, a semiconductor manufacturing technology is employed to form the thin film transistor. Among the semiconductor technologies, in particular, a photolithography process is used, which is continuously performed while transferring a substrate using a substrate transfer device. Therefore, in the manufacturing process of the liquid crystal display device, it is very important to provide a substrate transfer device capable of preventing the back contamination and damage of the substrate, and for this reason, the present invention provides a new method capable of achieving the above object. A substrate conveying apparatus is proposed.

이하, 도 2을 참조하여 본 발명의 기판 반송 장치를 설명한다.Hereinafter, the board | substrate conveyance apparatus of this invention is demonstrated with reference to FIG.

본 발명에 따른 기판 반송 장치는 반송 장치(100)가 설치되는 설치대(101)를 구비하며, 상기 설치대(101)의 일 측에 모터(102)를 포함한다. 상기 모터(102)는 기판(110)이 반송되는 방향으로 길게 형성되는 축부재(103)과 연결되어 상기 축부재(103)를 회전운동시킨다.The substrate conveying apparatus according to the present invention includes a mounting table 101 on which the conveying apparatus 100 is installed, and includes a motor 102 on one side of the mounting table 101. The motor 102 is connected to the shaft member 103 formed long in the direction in which the substrate 110 is conveyed to rotate the shaft member 103.

또한, 상기 설치대(101)의 상부에는 회전축인 다수의 샤프트(109)가 기판 이송로를 가로질러 기판 이송 방향에 대하여 수직으로 설치되어 있다. 상기 샤프트(109)는 상기 설치대(101) 상부에 형성되는 지지대(104)과 베어링(108)을 사이에 두고 서로 만나게 되는데, 상기 샤프트(109)는 상기 베어링(108)에 의해 지지대(104) 내에서 저항이 거의 없이 회전할 수 있다. 상기 지지대(104)은 기판 반송로 의 좌, 우측으로 하나씩 형성되며 상기 샤프트(109)의 양 끝과 만나게 된다. 또한 상기 샤프트(109)의 일단에는 톱니바퀴(107)가 구성되어 상기 축부재(103)에 형성되는 톱니바퀴(112)와 맞물려 모터(102)에서 발생하는 동력을 샤프트(109)로 전달한다.In addition, a plurality of shafts 109, which are rotational shafts, are disposed vertically with respect to the substrate transfer direction across the substrate transfer path. The shaft 109 meets each other with a support 104 and a bearing 108 interposed therebetween, and the shaft 109 is formed in the support 104 by the bearing 108. Can rotate with little resistance at. The support 104 is formed one by one to the left and the right of the substrate transport path and meets both ends of the shaft 109. In addition, one end of the shaft 109 has a cog wheel 107 is engaged with the cog wheel 112 formed in the shaft member 103 to transfer the power generated by the motor 102 to the shaft 109.

한편, 원기둥 형태를 갖는 상기 샤프트(109)의 외륜부에는 반송될 기판(110)과 직접 접하여 기판(110)을 지지하며 반송하는 복수의 반송 롤러(111)가 등간격으로 설치된다. 이때, 상기 반송 롤러(111)는 상기 샤프트(109)와 고정되지 않는 구조로 형성되어, 상기 반송 롤러(111)가 상기 샤프트(109)의 회전 운동 에너지는 전달받되, 외부 조건에 따라 상기 샤프트(109)의 회전 속도에 구속되지 않을 수도 있도록 형성한다.On the other hand, in the outer ring portion of the shaft 109 having a cylindrical shape, a plurality of conveying rollers 111 which support and convey the substrate 110 in direct contact with the substrate 110 to be conveyed are provided at equal intervals. At this time, the conveying roller 111 is formed in a structure that is not fixed to the shaft 109, the conveying roller 111 is the rotational kinetic energy of the shaft 109 is transmitted, but the shaft ( 109) so as not to be constrained by the rotational speed.

이하, 도 3을 참조하여, 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 반송 롤러-샤프트 비고정 구조 및 그 구동방식에 대하여 자세히 상술한다.Hereinafter, with reference to FIG. 3, the conveyance roller-shaft unfixed structure of the board | substrate conveying apparatus which concerns on this invention, and its drive system are explained in full detail.

먼저, 도 3a는 본 발명에 따른 기판 반송 장치(100)의 주요부 측면을 나타내는 측면도로서, 복수의 반송 롤러(111) 상부로 박막의 유리 기판(110)이 반송되는 것을 나타내고 있다. 반송 롤러(111)는 샤프트(109)의 회전력을 전달받아 도면에 도시된 상기 샤프트(109)의 회전 방향에 따라 회전하며, 기판(110)을 기판 반송 방향으로 이동시키게 된다.First, FIG. 3A is a side view showing the main part side surface of the substrate conveying apparatus 100 according to the present invention, showing that the thin glass substrate 110 is conveyed to the plurality of conveying rollers 111. The conveying roller 111 receives the rotational force of the shaft 109 and rotates according to the rotation direction of the shaft 109 shown in the drawing, thereby moving the substrate 110 in the substrate conveying direction.

한편, 본 발명에서는 반송 롤러(111)의 내륜을 샤프트(109)의 외륜보다 크게 형성함으로써, 도면에 도시된 것과 같이, 반송 롤러(111)가 샤프트(109)의 외륜에 걸쳐진 것과 같은 형상으로 끼워지도록 형성한다. 즉, 상기 반송 롤러(111)의 자체 하중에 의해 상기 샤프트(109)의 정상에서 상기 반송 롤러(111)와 상기 샤프트(109)가 선접촉하게 하고, 상기 접촉 영역을 통해 샤프트(109)의 회전력이 상기 반송 롤러(111)로 인가되도록 설계한 구조이다. 이는 종래 반송 롤러(111)가 샤프트(109) 회전에 구속되어 정속 구동을 하는 롤러 방식과 구별되어, 본 발명의 반송 롤러(111)는 회전축인 샤프트(109)와 사이에 고정부재를 포함하지 않는다.On the other hand, in the present invention, by forming the inner ring of the conveying roller 111 larger than the outer ring of the shaft 109, as shown in the drawing, the conveying roller 111 is sandwiched in the same shape as the outer ring of the shaft 109. To form. That is, the conveying roller 111 and the shaft 109 are in line contact at the top of the shaft 109 by the self load of the conveying roller 111, and the rotational force of the shaft 109 through the contact area. This structure is designed to be applied to the conveying roller 111. This is distinguished from the conventional roller method in which the conveying roller 111 is constrained to the shaft 109 rotation to perform constant speed driving, and thus the conveying roller 111 of the present invention does not include a fixing member between the shaft 109 which is the rotating shaft. .

한편, 본 발명의 반송 롤러(111)는 금속 재질의 샤프트(109)와 마찰력을 최소화하기 위해, 내륜부(111a)를 서스(SUS) 혹은 수지 계열로 형성하고, 외륜부(111b)는 우레탄(Urethane) 계열의 재료로 형성하여, 유리 기판(110)과 접촉하는 외륜부(111b)의 정지 마찰력이 상기 샤프트(109)와 내륜부(111a)의 이동 마찰력보다 커지도록 한다.On the other hand, the conveying roller 111 of the present invention, in order to minimize the friction force with the metal shaft 109, the inner ring portion 111a is formed of sus (SUS) or resin series, the outer ring portion 111b is urethane ( It is formed of a polyurethane-based material, such that the static frictional force of the outer ring portion 111b in contact with the glass substrate 110 is greater than the moving frictional force of the shaft 109 and the inner ring portion 111a.

이와 같은 구조는 기판 반송 과정에서 기판의 이동에 방해가 되는 외력이 발생하여 기판의 이동이 순간적으로 정지되는 경우, 회전 운동을 지속하는 샤프트와 반송 롤러 사이에 슬립(Slip) 현상을 유발한다. 다시 말해, 상기 샤프트(109)가 반송 롤러(111) 내에서 헛돌게 되는 것이다. 이는 상기 기판(110)과 반송 롤러(111) 외륜부(111b)의 마찰력에 비하여, 상기 샤프트(109)와 반송 롤러(111)의 내륜부(111a) 간의 마찰력이 크게 작용하기 때문이다.Such a structure causes a slip phenomenon between the shaft and the conveying roller, which continues the rotational movement, when an external force that interferes with the movement of the substrate is generated in the substrate conveyance process and the movement of the substrate is momentarily stopped. In other words, the shaft 109 is turned in the conveying roller 111. This is because the frictional force between the shaft 109 and the inner ring portion 111a of the conveying roller 111 is greater than the friction force between the substrate 110 and the outer ring portion 111b of the conveying roller 111.

종래 반송 롤러가 샤프트 회전에 구속되어 정속 구동을 하는 롤러 방식의 경우는 기판의 이동에 방해력이 발생할 때에도, 반송 롤러가 샤프트의 정속 회전을 그대로 반영하여, 기판이 반송로에서 이탈되거나, 반송 롤러와 박막의 기판 사이에 지속적인 슬립에 의한 기판의 배면 오염이 발생되었다.In the conventional roller system in which the conveying roller is constrained to shaft rotation to perform constant speed driving, even when a disturbing force occurs in the movement of the substrate, the conveying roller reflects the constant rotation of the shaft as it is, so that the substrate is removed from the conveying path, or the conveying roller Back contamination of the substrate was caused by continuous slip between the substrate and the thin film substrate.

반면, 본 발명의 기판 반송 장치에서는 이와 같은 상황에서 반송 롤러가 샤프트의 회전력을 흡수하여, 기판에 전달하지 않게 되므로 기판에 가해지는 손상을 최소화하게 된다.On the other hand, in the substrate conveying apparatus of the present invention, since the conveying roller absorbs the rotational force of the shaft in such a situation and does not transmit to the substrate, damage to the substrate is minimized.

실질적으로, 기판이 반송되는 과정에서 기판이 거치게 되는 공정은 동일한 조건의 공정이 아니다. 즉, 식각공정, 세정공정 및 노광공정 등 조건이 모두 상이한 공정을 거칠 수 있기 때문에 기판이 반송되는 속도나 반송 중의 기판이 격는 외부조건도 다르게 된다. 특히, 세정공정이나 식각공정에서 기판은 강하게 분사되는 가스를 만나게 되는데, 이때 기판의 오염이나 비틀림, 반송로 이탈 등의 경우가 종종 발생하였었다.Substantially, the process through which the substrate passes in the process of conveying the substrate is not a process under the same conditions. That is, since the conditions, such as an etching process, a washing process, and an exposure process, may all undergo different processes, the speed | rate with which a board | substrate is conveyed, or the external conditions with which the board | substrate during conveyance differs also differs. In particular, in the cleaning process or the etching process, the substrate encounters a strongly injected gas, and at this time, the substrate is often contaminated, torsioned, or the transfer path is removed.

한편, 상기한 바와 같이 박막트랜지스터 액정표시장치의 제조 공정에는 포토레지스트(Photoresist) 도포공정, 노광공정, 현상공정 및 세정공정 등의 포토리소그래피(Photolithography) 공정이 이용되는데, 상기 일련의 공정들은 신속한 처리를 위해 연속적으로 연결되는 복수의 기판 반송 장치 상에서 기판을 연속적으로 이동시키며 진행된다.As described above, a photolithography process such as a photoresist coating process, an exposure process, a developing process, and a cleaning process is used for the manufacturing process of the thin film transistor liquid crystal display device. It proceeds by continuously moving the substrate on a plurality of substrate transfer devices that are continuously connected for.

그런데, 상기 복수의 기판 반송 장치는 각각 개별적인 구동용 모터를 구비하게 되므로, 기판 반송 장치 별 샤프트 회전 속도에 미세한 차이가 발생할 수 있다. 따라서, 기판 반송 장치가 연결되는 연결부 상에서 샤프트의 회전력이 이송되는 유리 기판의 평균 이동 속도와 조화되지 않는, 예를 들어, 샤프트의 회전수가 유리 기판의 평균 이동 속도를 넘어서는 현상이 나타날 수 있는데, 본 발명의 반송 롤러는 이와 같은 경우 상기 샤프트의 회전력을 흡수하여, 기판의 비틀림이나 기판의 슬립에 의한 얼룩 등을 방지하게 된다.However, since the plurality of substrate transfer apparatuses are provided with respective driving motors, minute differences may occur in shaft rotational speeds of the substrate transfer apparatuses. Thus, a phenomenon may occur in which the rotational speed of the shaft does not match the average moving speed of the glass substrate, for example, the rotational speed of the shaft exceeds the average moving speed of the glass substrate, on the connection portion to which the substrate transfer device is connected. In such a case, the conveying roller of the invention absorbs the rotational force of the shaft, and prevents distortion of the substrate, unevenness due to slip of the substrate, and the like.

결과적으로, 본 발명의 기판 반송 장치는 기판 반송 장치의 반송 롤러와 샤프트를 고정시키지 않는 구조로 형성함으로써, 기판의 배면 오염을 방지하고, 안정적인 반송을 구현한다.As a result, the substrate conveying apparatus of the present invention is formed in a structure in which the conveying roller and the shaft of the substrate conveying apparatus are not fixed, thereby preventing back contamination of the substrate and achieving stable conveying.

본 발명은 상기한 바와 같이, 기판 반송 장치의 반송 롤러와 샤프트를 비고정 시스템으로 형성함으로써, 상기 반송 롤러 상부의 기판 이동 속도와 상기 샤프트의 회전수가 조화되지 않을 때, 상기 반송 롤러가 상기 샤프트의 회전운동에너지가 이송되는 기판에 전달되는 것을 차단할 수 있다.The present invention forms the conveying roller and the shaft of the substrate conveying apparatus in a non-fixed system, as described above, so that the conveying roller of the shaft when the substrate movement speed of the upper conveying roller and the rotation speed of the shaft are not balanced. It is possible to block the rotational kinetic energy from being transferred to the substrate to be transferred.

결과적으로, 기판의 반송 과정 중에 기판의 반송 속도와 샤프트의 회전 속도 차에 의해 발생할 수 있는 박형 유리 기판의 파손을 방지하고, 안정적인 반송을 구현하여, 생산성을 향상시키며, 기판과 반송 롤러 간의 슬립현상에 의한 기판의 배면 오염 최소화를 통해 제품의 품질을 향상시킨다.As a result, the breakage of the thin glass substrate, which may be caused by the difference between the substrate's conveying speed and the shaft's rotational speed during the substrate conveying process, prevents breakage of the thin glass substrate, realizes stable conveying, improves productivity, and slips between the substrate and the conveying roller Improve product quality by minimizing back contamination of substrate.

Claims (7)

반송 장치 설치대;Conveying device mounting stand; 상기 설치대의 측부에 형성되는 구동용 모터;A driving motor formed on the side of the mount; 상기 모터로부터 구동력을 인가받는 샤프트; 및A shaft to which a driving force is applied from the motor; And 상기 샤프트의 회전에 따라 상기 샤프트와 선접촉하며 회전되면서, 기판을 이송하는 반송 롤러를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 반송 장치.And a conveying roller for conveying the substrate while being rotated in linear contact with the shaft as the shaft is rotated. 제 1 항에 있어서, 상기 반송 롤러는 내륜부와 외륜부로 구분됨을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate conveying apparatus of claim 1, wherein the conveying roller is divided into an inner ring portion and an outer ring portion. 제 2 항에 있어서, 상기 외륜부는 우레탄(Urethane) 수지로 형성됨을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate transport apparatus of claim 2, wherein the outer ring portion is formed of a urethane resin. 제 2 항에 있어서, 상기 내륜부는 서스(SUS) 재질 또는 수지로 형성됨을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate transport apparatus of claim 2, wherein the inner ring portion is formed of a sus material or a resin. 제 1 항에 있어서, 상기 반송 롤러와 상기 기판 사이의 정지 마찰력이 상기 반송 롤러와 상기 샤프트 간 이동 마찰력보다 크게 형성됨을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate conveyance apparatus of Claim 1 in which the static frictional force between the said conveying roller and the said board | substrate is formed larger than the moving frictional force between the said conveying roller and the said shaft. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 두께가 1.1 mm 이하의 박막 유리 기판임을 특징으로 하는 기판 반송 장치.The substrate transport apparatus of claim 1, wherein the substrate is a thin glass substrate having a thickness of 1.1 mm or less. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 모터에 의해 회전하며 기판 반송 방향을 따라 설치되는 축부재;A shaft member which is rotated by the motor and installed along a substrate conveyance direction; 상기 설치대의 상부 좌우에 설치되어 상기 샤프트를 지지하는 지지부; 및Support parts installed on the upper left and right sides of the mount to support the shaft; And 상기 샤프트와 지지부 사이에 형성되어 상기 샤프트와 지지부 사이의 마찰을 방지하는 베어링을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 반송 장치.And a bearing formed between the shaft and the support to prevent friction between the shaft and the support.
KR1020040109746A 2004-12-21 2004-12-21 Plate transferring apparatus KR100675641B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040109746A KR100675641B1 (en) 2004-12-21 2004-12-21 Plate transferring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040109746A KR100675641B1 (en) 2004-12-21 2004-12-21 Plate transferring apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060070920A true KR20060070920A (en) 2006-06-26
KR100675641B1 KR100675641B1 (en) 2007-02-02

Family

ID=37164487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040109746A KR100675641B1 (en) 2004-12-21 2004-12-21 Plate transferring apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100675641B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100163406A1 (en) * 2008-12-30 2010-07-01 Applied Materials, Inc. Substrate support in a reactive sputter chamber
KR101131181B1 (en) * 2009-02-24 2012-03-28 (유)에스엔티 A substrate transfer apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR100675641B1 (en) 2007-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100835202B1 (en) Apparatus for transferring a substrate
KR100675641B1 (en) Plate transferring apparatus
KR20090111607A (en) Roller for transferring substrate and substrate transferring apparatus including of the same
US20030042115A1 (en) Conveyor, method for conveying a semiconductor wafer, and method for manufacturing a semiconductor device
KR20110058012A (en) Shaft apparatus for conveying substrate
KR101427281B1 (en) Apparatus for conveying substrate and method for conveying the same
KR20150090934A (en) Substrate transfer apparatus
KR100645801B1 (en) Shaft for moving glass panel and transfer using the same
KR101081514B1 (en) Apparatus for conveying substrate
JPH11130249A (en) Substrate carrying device and substrate processing device
KR100819039B1 (en) Apparatus for transferring a substrate and apparatus for treating the substrate including the same
WO2017145293A1 (en) Guide roller and substrate transfer apparatus
KR101044537B1 (en) Apparatus for transfering glass
KR20070002587A (en) Cassette transfer apperatus
KR20110056029A (en) Apparatus for conveying substrate
KR20080098239A (en) Substrate transfering apparatus for manufacturing flat panel display devices
KR100807250B1 (en) The substrate transfer
KR100783069B1 (en) Apparatus for transferring a substrate and apparatus for treating the substrate including the same
KR20070045537A (en) System for transfering substrates
KR100864948B1 (en) Apparatus for conveying substrate
KR101121199B1 (en) Apparatus for conveying substrate
KR20090125935A (en) Apparatus for transferring a glass and apparatus for processing a glass including the same
KR101040695B1 (en) Apparatus for transferring a substrate
KR100788385B1 (en) Apparatus For Conveying Substrate
KR20100051968A (en) Apparatus for conveying substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121228

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131227

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151228

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161214

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171218

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191212

Year of fee payment: 14