KR20060064638A - 적외선 및/또는 태양 복사선에서 반사 특성을 갖는 박층스택으로 덮인 투명 기판 - Google Patents

적외선 및/또는 태양 복사선에서 반사 특성을 갖는 박층스택으로 덮인 투명 기판 Download PDF

Info

Publication number
KR20060064638A
KR20060064638A KR1020067003228A KR20067003228A KR20060064638A KR 20060064638 A KR20060064638 A KR 20060064638A KR 1020067003228 A KR1020067003228 A KR 1020067003228A KR 20067003228 A KR20067003228 A KR 20067003228A KR 20060064638 A KR20060064638 A KR 20060064638A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
transparent substrate
multilayer
functional
substrate
Prior art date
Application number
KR1020067003228A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101128418B1 (ko
Inventor
로랭 라부루스
니꼴라스 나도
에릭 뻬띠뜨 쟝
Original Assignee
쌩-고벵 글래스 프랑스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쌩-고벵 글래스 프랑스 filed Critical 쌩-고벵 글래스 프랑스
Publication of KR20060064638A publication Critical patent/KR20060064638A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101128418B1 publication Critical patent/KR101128418B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10009—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the number, the constitution or treatment of glass sheets
    • B32B17/10036—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the number, the constitution or treatment of glass sheets comprising two outer glass sheets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10165—Functional features of the laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10174—Coatings of a metallic or dielectric material on a constituent layer of glass or polymer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B32B17/10761—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer containing vinyl acetal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/70—Properties of coatings
    • C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/913—Material designed to be responsive to temperature, light, moisture
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)

Abstract

본 발명은 박층 스택을 구비한 투명 기판에 관한 것으로, 이 박층 스택은, 예를 들어 은(銀)을 기초로 하고 적외선 및/또는 태양 복사선에 반사 특성을 갖는 적어도 하나의 기능성 금속층과, 상기 기능성 층과 접해 있는 적어도 하나의 금속 차단층과, 적어도 하나의 상부 유전체 층을 포함한다. 본 발명은, 적어도 하나의 차단층은 지르코늄을 기초로 하고, 상부 유전체 층은 기능성 층 또는 차단층 중 어느 하나와 접하고 있는 적어도 하나의 ZnO를 기초로 하는 층을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

적외선 및/또는 태양 복사선에서 반사 특성을 갖는 박층 스택으로 덮인 투명 기판{TRANSPARENT SUBSTRATE WHICH IS COVERED WITH A STACK OF THIN LAYERS HAVING REFLECTION PROPERTIES IN INFRARED AND/OR SOLAR RADIATION}
본 발명은 박막 다층을 구비한 투명 기판에 관한 것으로, 이 박막 다층은, 적외선 및/또는 태양 복사선 범위에서 반사 특성을 갖는 적어도 하나의 기능성 금속층, 특히 은(銀)을 기초로 한 층과, 상기 기능성 층과 접해 있는 적어도 하나의 금속 장벽 층과, 적어도 하나의 상부 유전체 층을 포함한다.
이러한 기판이 이미 알려져 있는데, 이러한 기판에서 다층을 구성하는 층은 태양 스펙트럼 또는 적외선의 특정 부분을 선택적으로 투과시키는 광학 간섭 시스템을 생성한다.
기판 위에 기능성 층으로 증착되어 있는 은(銀)은 화학적인 스트레스, 특히 산소에 의한 공격에 비교적 민감하고, 이후 다른 층을 증착하는 동안, 특히 다른 층이 산화물을 기초로 할 경우 열화(劣化)되기 쉬운 것으로 알려져 있다. 은 층을 산소에 의해 공격받는 것으로부터 보호하기 위해, 이에 따라 은 층은 일반적으로 그 윗면에 도포된 금속 박층에 의해 보호되고, 이 층을 산소에 대해 매우 친화성이 큰 "장벽 층(barrier layer)"이라 부른다.
이와 유사하게, 은 층을 다층의 하부로부터 나오는 산소 흐름(oxygen flux)으로부터 보호하기 위해 은 층 아래에 금속 장벽 층을 갖는 것이 적절할 수 있다.
이러한 유형의 다층은 예를 들어 문서 FR-A-2 641 271호에 기술되어 있는데, 이 문서는 주석 산화물, 티타늄 산화물, 알루미늄 산화물 및/또는 비스무트 산화물 하부층으로 이루어진 코팅과, 다음으로 두께가 15nm 이하인 아연 산화물 층과, 다음으로 은 층과, Ti, Al, 스테인리스강, Bi, Sn 및 이들의 혼합물로부터 선택되는 손실성 금속 산화물의 층을 갖는 투명한 피복 층과, 적어도 하나의 다른 Sn, Ti, Al 및/또는 Bi 산화물 층을 포함하는 창유리 유닛(glazing unit)에 통합되도록 의도된 기판에 관한 것으로, 이 손실성 금속 산화물은 손실성 금속을 2 내지 15nm의 두께로 초기 증착시킨 다음, 장벽 층을 생성하기 위해 이를 산화물로 변환시켜 형성된다.
이 구조는 코팅 기판을 제조하는 동안뿐만 아니라 제품의 수명 동안 은 층의 내부식성을 향상시키도록 돕는다.
실제로는, 손실성 금속의 예로 적어도 3.5nm의 두께를 갖는 티타늄과 스테인리스강만이 제공된다.
니켈-크롬은 또한 은을 기초로 한 다층에 장벽 층을 형성하기 위해 매우 흔히 사용되는 금속이다. 그러나, 이러한 다층의 광학 성능은 더욱 향상될 수 있는 광 투과와 에너지 성능 면에서 제한된다.
스퍼터링에 의한 저 방사율 코팅의 제조에 관한 문서 EP 104 870에서 알려진 다층에서, 은 이외의 하나 이상의 추가 금속이 은 층에 0.5 내지 10nm 두께의 층에 해당하는 양으로 스퍼터링된 다음, 산소 기체 또는 산화 기체의 존재 하에서, 추가 금속 또는 금속들의 부재시 최종 생성물의 실질적인 감소를 일으키는 조건 하에서 하나 이상의 반사방지 금속 산화물 층의 은과 추가 금속에 반응 스퍼터링을 수행한다.
구리는 그 내산화성과 저 방사율에 대한 그 기여 때문에 유리한 추가 금속으로 제공되지만, 다음 반응 스퍼터링 공정을 높은 광 투과에 유리한 무색 산화물로 산화시키는 다른 금속이 또한 생각된다. 이러한 금속 중에는, 알루미늄, 티타늄 및 지르코늄이 언급된다. 다른 바람직한 금속은 Bi, In, Pb, Mn, Fe, Cr, Ni, Co, Mo, W, Pt, Au, Vd, Ta과 스테인리스강 및 황동과 같은 합금이다. 다음으로 여러 금속 산화물이 결합되어 우수한 반사방지 코팅을 생성한다.
예 19는, 특히, 아래에 48nm의 두께와 위에 43nm의 두께를 각각 갖는 두 개의 SnO2 산화물 코팅과 결합된 10nm 두께의 은 층 위에 2.7nm 두께를 갖는 추가 금속으로 지르코늄을 사용할 수 있는 가능성을 나타낸다.
제시된 예 중에서, 이 구조는 84%의 유리한 광 투과를 얻을 수 있도록 한다.
그러나, 출원인은 이러한 다층의 기계적인 완전성이 보통이고 기판을 창유리 유닛에 결합시키는데 필요한 작업과 처리를 충분히 견딜 수 없기 때문에, 그 특성, 특히 그 방사율과 광 투과가 물론 이에 의해 손상되는 것을 발견했다.
본 발명의 목적은, 우수한 기계 저항성을 나타내면서, 광 투과, 외부 반사 컬러 및 방사율 면에서 높은 성능을 나타내는 앞에서 명시한 유형의 박막 다층을 구비한 기판을 제안하는 것이다.
본 발명에 따른 기판은 적외선 및/또는 태양 복사선 범위에서 반사 특성을 갖는 적어도 하나의 기능성 층, 특히 은(銀)을 기초로 한 층과, 상기 기능성 층과 접해 있는 적어도 하나의 금속 장벽 층과, 적어도 하나의 상부 유전체 층을 포함하는 박막 다층을 구비하고, 적어도 하나의 장벽 층은 Zr을 기초로 하고, 상부 유전체 층은 기능성 층 또는 장벽 층과 접하고 있는 적어도 하나의 ZnO를 기초로 하는 층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 명세서의 의미 내에서, "하부"와 "상부"라는 용어는, 층과 기능성 층 사이에 임의의 접촉이 반드시 있을 필요 없이, 기능성 층에 대한 층의 상대적인 위치를 정의한다.
또한 본 명세서의 의미 내에서, "금속 장벽(metal barrier)"이라는 용어는 금속 형태로 증착된 장벽을 의미하는 것으로 이해해야 한다. 그러나, 이 층은 증착 중 (그 자체 증착 중, 그러나 무엇보다 다음 층의 증착 중) 또는 열 처리 중 부분적인 산화를 거칠 수 있다.
그래서, 지르코늄 금속은 기능성 금속 층을 포함하는 다층을 형성하는데 일반적으로 사용되는 대부분의 유전체와 일종의 비상화성(非相化性)을 나타내는 것으로 증명되었다. 이러한 비상화성의 성질은 분명하게 확인되지 않고, 층 사이의 층간 접착(interlaminar adhesion)을 손상시킬 수 있었다. 지르코늄을 아연 산화물과 결합한 다층의 내긁힘성과 내마모성은 사실상 만족스러운 반면, 다른 다층은 허용되지 않는 단점을 갖는다.
본 발명은 적어도 하나의 금속 기능성 층, 특히 은, 금 또는 구리를 기초로 하고, 은의 경우 티타늄 또는 팔라듐과 같은 적어도 하나의 추가 금속으로 선택적으로 도핑된 적어도 하나의 금속 기능성 층을 포함하는 다층에 관한 것이다.
본 발명에 따라, 지르코늄을 기초로 한 장벽 층은 기능성 금속 층의 아래 및/또는 위에 위치할 수 있다. ZnO를 기초로 한 유전체 층은 Zr을 기초로 한 상부 장벽과 직접 접하거나, 기능성 층과 직접 접하거나, 지르코늄 하부 장벽 층이 존재하면 임의의 상부 장벽과 직접 접할 수 있다.
그래서 본 발명에 따른 구조는 다음 순서, 즉 기능성 금속 층/Zr/ZnO 등을 기초로 할 수 있고, 여기서 ZnO 층은 지르코늄과 직접 접해 있다.
이 경우, 다층의 높은 기계적 안정성은 지르코늄 층 위에 박막으로 증착된 아연 산화물의 우수한 접착에 의한 것인 반면, 알려진 다른 산화물은 Zr에 잘 접착되지 않는데, 이는 박막 증착 중 지르코늄 위 산화물의 불충분한 적심 때문이다.
다음으로 다층은 은 아래에 티타늄, 니켈-크롬, 니오븀, 지르코늄 등으로부터 선택된 금속을 기초로 하는 하부 장벽 층을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 구조는 또한 다음 순서, 즉 Zr/기능성 금속 층/ZnO 등을 기초로 할 수 있다.
이 경우, 다층의 높은 기계적 안정성은, 지르코늄이 하부 장벽으로 사용되기 때문에 산화 플라즈마(oxidizing plasma)에 노출되지 않고, 상부에 산화물이 증착되지 않아서 결과적으로 미리 증착된 층에 의해 아주 약간만 산화된다는 사실 때문이다.
상부 장벽은 선택적으로 기능성 금속 층과 아연 산화물 사이에 삽입될 수 있고, 이는 니켈-크롬, 티타늄, 니오븀 및 지르코늄으로부터 선택될 수 있다.
본 발명에 따른 구조 다음에 본 발명에 따른 다른 구조가 올 수 있는데, 이는 하나의 서로 동일한 다층에서 서로 같거나 다를 수 있다.
기능성 층 위에 증착된 엄밀하게 하부 및/또는 상부 층의 본 발명에 따른 구조 때문에, 매우 만족스러운 광 투과, 외부 반사 컬러 및 방사율 값을 갖는 다층이 얻어질 뿐만 아니라, 다층은 놀라울 정도로 우수한 기계적 저항성과 또한, 적절한 경우 화학적 저항성을 나타낸다.
장벽 층(들), 특히 Zr을 기초로 한 층(들)의 두께는 산화물의 후속 증착 동안 또는 강인화 처리와 같이 산화 대기에서 열 처리 동안 은 층을 손상시키지 않으면서 층이 부분적으로만 또는 실제 완전하게 산화되도록 충분한 값으로 선택되는 것이 유리하다. 이 두께는 6nm 이하, 유리하게는 적어도 0.2nm, 특히 0.4 내지 6nm, 그리고 특히 0.6 내지 2nm인 것이 바람직하다.
본 발명에 따라, Zr을 기초로 하는 장벽 층은 지르코늄 금속 타깃을 사용하는 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)에 의해 증착되는 것이 바람직하고, 이 지르코늄 금속 타깃은 타깃 중 1 내지 10 중량%의 비율로 Ca, Y, 또는 Hf과 같은 추가 원소를 선택적으로 함유할 수 있다.
기능성 금속 층 또는 각각의 기능성 금속 층은 은 층인 것이 일반적이지만, 본 발명은 동일한 방식으로 은 합금과 같이 특히 티타늄 또는 팔라듐을 함유한 다른 반사 금속 층 또는 금이나 구리를 기초로 하는 층에도 적용된다. 각 기능성 층의 두께는 특히 5 내지 18nm, 바람직하게는 약 6 내지 15nm이다.
본 발명에 따른 기판은 각각의 두께가 앞에서 명시한 범위 내에 있는 하나 이상의 기능성 금속 층, 특히 두 개 또는 세 개의 기능성 금속 층을 포함할 수 있다. 적어도 하나의 기능성 층은 지르코늄을 기초로 한 장벽 층과 결합되고, 바람직하게 각각의 기능성 금속 층은 지르코늄을 기초로 한 장벽 층과 결합된다. 기능성 금속 층에 대한 지르코늄을 기초로 한 층의 위치는 다층 내에 있는 다른 기능성 금속 층 또는 층들과 반드시 같을 필요는 없다.
아연 산화물 상부 유전체 층의 기능은 기판의 광학 특성에 기여하면서 특히 아래에 위치한 기능성 금속 층을 보호하는 것이다.
이 층은 일반적으로 적어도 5nm, 특히 약 5 내지 25nm, 보다 구체적으로 5 내지 10nm의 두께로 증착될 수 있다.
다층은 또한 산화물 또는 질화물을 기초로 하는 하부 유전체 층을 포함할 수 있고, 특히 순서 SnO2/TiO2/ZnO 또는 순서 Si3N4/ZnO를 포함한다.
다층은 그 기능이 다층의 기계 저항성, 특히 내긁힘성 또는 내마모성을 향상시키는 것인 상부의 기계적인 보호 층을 또한 포함할 수 있다.
이는 산화물, 질화물 및/또는 옥시질화물을 기초로 하고, 특히 티타늄, 아연, 주석, 안티몬, 규소의 적어도 하나의 산화물 또는 그 혼합물을 기초로 하며, 선택적으로 질화되고, 또는 질화물을 기초로 하고, 특히 규소 질화물 또는 알루미늄 질화물을 기초로 한 선택적으로 도핑된 층일 수 있다. 보다 구체적으로, TiO2, SnO2, 및 Si3N4, 또는 아연과 주석을 기초로 하고 (ZnSnOx), Sb와 같은 다른 원소로 선택적으로 도핑되거나, 아연과 티타늄을 기초로 하거나 (ZnTiOx), 또는 이와 달리 아연과 지르코늄을 기초로 한 (ZnZrOx) 혼합 산화물을 언급할 수 있다.
이는 또한 앞에서 명시한 물질을 기초로 한 층의 조합, 특히 Si3N4/SnZnOx 또는 Si3N4/TiO2일 수 있다.
이러한 화합물 중에, 기판이 산화 열 처리를 거치도록 의도될 때 추가 이점을 갖는다. 이는 고온을 포함해서 다층 안으로 산소의 확산을 차단하기 때문이다. 질화물은 산화 공격에 대해 대부분 불활성이기 때문에, 강인화 유형의 열 처리 동안 상당한 화학적 (산화성) 또는 구조적인 변형을 거치지 않는다. 따라서, 이것은 열 처리 경우, 특히 광 투과 레벨에 관해서 실제 다층의 광학 변형을 일으키지 않는다. 이 층은 유리로부터 이동하는 종, 특히 알칼리 금속의 확산에 대한 장벽으로 또한 작용할 수 있다. 또한, 2에 인접한 그 굴절률 때문에, 광학 특성을 조절하는 관점에서 저 방사율 유형의 다층에 쉽게 수용된다.
이러한 보호 층은 일반적으로 적어도 10nm, 예를 들어 15 내지 50nm, 특히 약 25 내지 45nm의 두께로 증착될 수 있다.
본 발명에 따른 다층은 적어도 500℃의 온도에서 열 처리 후 (이것이 예를 들어 강인화 작업, 어닐링 작업 또는 굽힘 작업인 것에 관계없이) 그 특성, 특히 광학 특성을 실질적으로 보존한다.
본 발명은 또한 상술된 적어도 한 장의 기판을 결합한 저 방사율 또는 태양광선 차단 창유리와 특히 적층 창유리 또는 이중 창유리에 관한 것이다.
이는, 코팅 기판이 이중 창유리로 사용될 수 있기 때문으로, 다층은 적층 조립체 내에서 외부에 면하거나 (면 2) 내부에 면한 (면 3) 삽입 필름(insert film)에 고정될 수 있다. 이러한 창유리에서, 특히 다층을 갖는 적어도 한 장의 기판이 강인화되거나 경화될 수 있다. 코팅 기판은 절연 다중 창유리 유닛 (이중 창유리)를 형성하기 위해 적어도 기체 충전 공동을 통해 다른 유리에 접합될 수 있다. 이러한 경우, 다층은 중간 기체 충전 공동 (면 2 및/또는 면 3)에 면하는 것이 바람직하다. 본 발명에 따른 이중 창유리 유닛은 적어도 한 장의 적층 유리를 결합할 수 있다.
본 발명에 따른 창유리가 다른 기판과 이중 창유리로 설치되면, 조립체는 40 내지 90%의 광 투과를 갖는 것이 유리하다.
또한, 본 발명에 따른 창유리는 1.1 내지 2.1의 광 투과 대 태양 인자(solar factor)의 비(TL/SF)로 정의된 선택성을 갖는 것이 유리하다.
본 발명은 또한 적외선 및/또는 태양 복사선 범위에서 반사 특성을 갖는 적어도 하나의 기능성 금속 층, 특히 은(銀)을 기초로 한 층과, 상기 기능성 층과 접해 있는 적어도 하나의 금속 장벽 층과, 적어도 하나의 상부 유전체 층을 포함하는 박막 다층을 구비한 투명한 기판, 특히 유리의 기계 강도를 향상시키는 방법에 관한 것으로, 적어도 하나의 기능성 금속 층과, 각각 상기 기능성 금속 층의 위 및/또는 아래에 있는 Zr을 기초로 하는 하부 및/또는 상부 장벽 층과, ZnO를 기초로 한 상부 유전체 층이 스퍼터링에 의해 기판 위에 증착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 비교예와 본 발명에 따른 예를 통해 이후 예시되고, 이 예에서 여러 장벽과 유전체 층이 조사될 것이다.
다르게 표시되지 않으면, 비교예의 창유리와 기판의 두께는 비교되는 본 발명에 따른 예의 창유리와 기판의 두께와 같다.
다음의 광학 특성, 즉 광 투과와, 다층 면에서의 광 반사와, L* a* b* 시스템에서 반사 컬러가 평가된다.
기판의 한 면 또는 다른 면에서 모든 방향의 광 플럭스(light flux)를 측정하는 적분구 측정 장치(integrating-sphere measurement apparatus)를 사용해서 광 투과와 광 반사가 측정되었다.
열 특성은 전기 표면 저항과 방사율에 의해 측정되었다.
다음의 기계적인 저항 특성이 또한 평가되었다.
- 에릭슨 세탁 브러시 시험(Erichsen scrubbing brush test)에서 얻은 다층의 전단 내마모성. 이 시험에서는 다층은 중합체 물질로 만들어진 강모(剛毛)를 갖는 브러시로 문질러지고, 다층은 물로 덮이는 것이 상기될 것이다.
- 에릭슨 철필 시험(Erichsen stylus test)의 내긁힘성. 이 시험에서는 추(錘)로 하중을 받은 철필(鐵筆)이 기판 위를 주어진 속도로 움직이는 것이 상기될 것이다. 철필이 다층을 눈에 보일 정도로 긁게 하는데 필요한 하중(뉴턴 단위)이 기록된다.
- 테이버 시험(Taber test)의 압입 저항성(indentation resistance). 테이버시험에서는 시험편이 주어진 시간 동안 연마 롤러를 거치고 250g의 하중에서 20회 회전 후 찢어지지 않은 다층 시스템 표면의 비율(% 단위)이 측정되는 것이 상기될 것이다.
비교예 1
이 비교예에서, 니켈-크롬 장벽과 주석 산화물 상부 유전체 층을 갖는 종래 기술에 따른 은을 기초로 한 다층이 4mm 두께의 유리 기판 위에 증착되었다. 다음 유형의 다층, 즉 기판/SnO2/TiO2/ZnO/Ag/NiCr/SnO2가 얻어졌다.
이 기판은 금속 층을 증착시키기 위해 아르곤 대기에서, 산화물을 증착시키기 위해 아르곤/산소 대기에서 기판이 금속 타깃을 지나 챔버(chamber)를 통과하게 해서 스퍼터링에 의해 제조되었다.
광학 및 에너지 측정 결과는 아래 표 1에 나타나 있다.
90% 아르곤으로 충전된 15mm 두께의 중간 공동과 4mm 두께의 제 2 창유리 요소를 갖는 이중 창유리 배열에 기판이 설치되고, 투과, 광 반사, 반사 컬러, 태양 인자 및 계수(U)가 다시 측정되었다.
이 결과는 아래 표 2에 나타나 있다.
기계적인 측정 결과는 아래 표 3에 나타나 있다.
비교예 2
이 비교예에서는, 비교예 1의 다층과 실질적으로 동일한 다층이 사용되었다. 비교예 2는 니켈-크롬 장벽이 지르코늄으로 치환된다는 사실만 차이가 있다. 다음유형의 스택, 즉 기판/SnO2/TiO2/ZnO/Ag/Zr/SnO2가 얻어졌다.
광학 측정 결과는 단일층 형태로 표 1에, 이중 창유리 형태로 표 2에 나타나 있고, 기계적인 측정 결과는 아래 표 3에 나타나 있다.
예 TL 반사(다층 면)
장벽 유형 RL L* a* b*
비교예 1 NiCr 4.5 4.8 86.2 4.4 25.0 4.0 -9.9
비교예 2 Zr 3.8 3.8 88.3 4.8 26.2 3.4 -8.3
예 장벽 유형 TL 외부 반사 SF (CEN) U (W.m-2.K-1)
RL L* a* b*
비교예 1 NiCr 77.5 11.6 40.6 0.9 -4.9 62 1.19
비교예2 Zr 79.5 12.0 41.2 0.7 -4.4 61 1.15
이는 NiCr 장벽을 Zr 장벽으로 치환하는 것이 다층 면에서 반사 컬러를 향상시키고 (보다 더 중간 컬러), 투과를 증가시키며, 단일층 형태에서 스퀘어당 저항을 감소시키는 것을 보여준다.
이것은 외부 반사가 또한 약간 더 중간이고, 이중 창유리 형태에서 투과가 더 크고 더 우수한 단열 특징을 갖는 이중 창유리를 생성한다 (Zr 장벽의 경우 U = 1.15 W.m-2.K-1와 비교해서, NiCr 장벽의 경우에 U = 1.19 W.m-2.K-1).
예 장벽의 성질 에릭슨 브러시 에릭슨 철필 테이버
긁기 위한 하중 잔여 다층의 양(%)
비교예 1 NiCr 거의 전혀 열화되지 않은 다층 2N 53
비교예 2 Zr 크게 열화된 다층 1N 80
다층에서 NiCr 장벽을 Zr으로 치환해서, Zr 장벽을 이용한 에릭슨 세탁 브러시 시험에서 다층의 기계적인 완전성은 대실패였고, 이 시험 후 다층의 심각한 박리(delamination)가 관찰되었다.
내긁힘성 또한 줄어들었다.
오직 테이버 시험에 대한 저항성만이 향상되었는데, 이는 마모와 비교해서 압입에 대한 특별한 거동을 나타낸다.
예 1
이 예에서, 비교예 1과 동일한 유형의 유리 기판 위에 다음 유형의 다층, 즉 기판 / SnO2 (22nm) / TiO2 (8nm) / ZnO (8nm) / Ag (10nm) / Zr (0.6nm) / ZnO (21nm) / SnO2 (22nm)이 증착되었다.
광학 측정 결과는 단일층 형태는 표 4에, 이중 창유리 형태는 표 5에 나타나 있고, 기계적인 측정 결과는 아래 표 6에 나타나 있다.
예 2
이 예는 SnO2의 최종 층이 Si3N4로 치환된 사실만 예 1과 다르다. 다음 유형의 스택이 얻어졌다. 기판 / SnO2 (22nm) / TiO2 (8nm) / ZnO (8nm) / Ag (10nm) / Zr (0.6nm) / ZnO (21nm) / Si3N4 (22nm).
비교예 1a와 2a
이러한 비교예는 다층 두께가 예 1의 상응하는 다층 두께와 동일하도록 조절된 예 1 및 예 2와 유사하다.
실제, 두께는 다음과 같다.
비교예 1a
기판 / SnO2 (22nm) / TiO2 (8nm) / ZnO (8nm) / Ag (10nm) / NiZr (0.6nm) / SnO2 (43nm).
비교예 2a
기판 / SnO2 (22nm) / TiO2 (8nm) / ZnO (8nm) / Ag (10nm) / Zr (0.6nm) / SnO2 (43nm).
광학 측정 결과는 단일층 형태는 표 4에, 이중 창유리 형태는 표 5에 나타나 있고, 기계적인 측정 결과는 아래 표 6에 나타나 있다.
예 장벽/ 상부층(들) R□ (Ω/□) εn(%) TL 반사 (다층면)
RL L* a* b*
비교예 1a NiCr/SnO2 5.3 5.8 84.8 4.1 24.0 3.2 -5.5
비교예 2a Zr/SnO2 4.6 5.0 88.5 4.6 25.5 -0.2 -6.7
1 Zr/ZnO/SnO2 4.8 5.3 86.8 4.3 24.7 1.6 -7.1
2 Zr/ZnO/Si3N4 4.9 5.4 86.3 4.5 25.2 1.5 -8.3
예 장벽/ 상부층(들) TL 외부 반사 SF (CEN) U (W.m-2.K-1)
RL L* a* b*
비교예 1a NiCr/SnO2 76.2 11.4 40.2 0.5 -2.7 62 1.22
비교예 2a Zr/SnO2 79.5 11.8 40.9 -0.9 -3.3 63 1.19
1 Zr/ZnO/SnO2 78.0 11.6 40.5 -0.3 -3.5 62 1.20
2 Zr/ZnO/Si3N4 77.5 11.7 40.7 -0.2 -4.1 63 1.21
비교예 1a와 2a는 또한 NiCr 장벽을 Zr 장벽으로 치환하는 것이 단일층 형태에서 광 투과의 증가와 방사율의 감소를 일으키는 것을 보여준다. 이중 창유리 형태에서, 광 투과가 또한 증가하고 장벽이 NiCr보다 지르코늄으로 되어있을 때 동일한 은 두께에 대해 인자 U가 더 낮다.
예 1과 2에 의해 이루어진 레벨은 NiCr 장벽을 이용한 것보다 더 우수한 광 투과와 더 중간의 반사 컬러(more neutral color in reflection)를 증명한다.
예 장벽의 성질 에릭슨 브러시 에릭슨 철필 테이버
긁기 위한 하중 잔여 다층의 양(%)
비교예 1a NiCr/SnO2 거의 전혀 열화되지 않은 다층 1.5N 53
비교예 2a Zr/SnO2 거의 전혀 열화되지 않은 다층 1N 80
1 Zr/ZnO/SnO2 거의 전혀 열화되지 않은 다층 2N 79
2 Zr/ZnO/Si3N4 거의 전혀 열화되지 않은 다층 3N 88
예 1은, Zr 층과 SnO2 층 사이에 ZnO 층을 삽입하는 것이 아주 약간 테이버 시험의 거동을 향상시키지만, 특히 가장 에릭슨 시험의 거동을 NiCr 장벽을 갖는 다층과 유사하게 하는 것을 보여준다.
에릭슨 브러시 시험에서 Zr/SnO2 순서를 갖는 비교예 2의 다층은 매우 좋지 않은 접착성을 나타내기 때문에 이 결과는 매우 의외이다.
예 2로부터, 최종 Si3N4 층을 갖는 다층의 거동은 SnO2 최종 층을 갖는 다층의 거동보다 더욱 우수하고, 에릭슨 철필 시험과 테이버 시험에 대해 더 우수한 저항성을 갖는다는 것을 주목해야 한다.
높은 습도에서 (5일 동안 40℃, 90% 습도) HCl 및 HH 시험에서 본 발명에 따른 다층의 거동은, NiCr을 기초로 한 장벽을 갖는 다층으로 이미 얻어진 것과 매우 유사하거나, 또는 심지어 약간 더 우수하다.
예 3
이 예는 지르코늄 하부 장벽 층을 갖는 두 개의 은 층을 포함하는 다음 유형, 즉 Si3N4(22nm) / ZnO(10nm) / Zr(0.5nm) / Ag(8.2nm) / ZnO(10nm) / Si3N4(69nm) / ZnO(10nm) / Zr(0.5nm) / Ag(10nm) / ZnO(10nm) / Si3N4(28nm)의 다층을 갖는다.
다층은 두께가 1.6mm인 유리판으로 이루어진 기판 위에 증착되었다.
다층의 기계적인 특성은 테이버 시험과, 접착 테이프가 다층에 부착되고, 테이프를 떼어 내어 다층의 완전성이 평가되는 박리 시험에 의해 측정되었다. 기계적인 측정 결과는 아래 표 7에 나타나 있다.
이 기판은 640℃ 이상에서 6분 동안 굽힘 유형의 열 처리를 거친 다음, 공기 냉각되고, 열 처리 후 광학 변화가 측정되었다. 기판은 열 처리 후 동일한 광학 품질을 가졌다.
이 기판은 두께가 0.76mm인 PVB 삽입물 필름을 사용하는 적층 창유리 유닛에서 두께가 2.1mm인 유리 기판에 접합되었고, 다층은 적층물의 안쪽을 향해 면한다.
다층의 광학 특성은 이전과 같이 측정되었고, 광학 측정 결과는 아래 표 8에 나타나 있다.
비교예 3a
이 비교예는 지르코늄 장벽 층이 니켈-크롬 층으로 치환된 예 3과 유사하다. 다음 유형의 다층이 얻어졌다.
Si3N4(22nm) / ZnO(10nm) / NiCr(0.7nm) / Ag(8.2nm) / ZnO(10nm) / Si3N4(69nm) / ZnO(10nm) / Zr(0.7nm) / Ag(10nm) / ZnO(10nm) / Si3N4(28nm).
이 기판은 예 3에서와 동일한 열 처리를 거쳤다. 열 처리 후, 이 기판은 흐려졌고, 피팅(pitting)이 관찰되었다.
광학 및 기계적인 측정 결과는 표 7과 8에 나타나 있다.
예 장벽 박리 테이버
잔여 다층의 양(%)
비교예 3 NiCr 다층은 그대로 67
3 Zr 다층은 그대로 70
예 장벽 TL 반사(다층면) 열 저항성
RE RL L* a* b*
비교예 3 NiCr 74.2 30.1 11.4 41.5 -2.9 -4.1 불량:흐림, 피팅
3 Zr 76.1 30.0 10.9 -4.0 -2.0 우수:광학적인 변화 없음
상술한 바와 같이, 본 발명은, 우수한 기계 저항성을 나타내면서, 광 투과, 외부 반사 컬러 및 방사율 면에서 높은 성능을 나타내는 앞에서 명시한 유형의 박막 다층을 구비한 기판을 제조하는데 사용된다.

Claims (17)

  1. 박막 다층을 구비한 투명 기판으로서,
    상기 박막 다층은, 적외선 및/또는 태양 복사선 범위에서 반사 특성을 갖는 적어도 하나의 기능성 금속층, 특히 은(銀)을 기초로 한 층과, 상기 기능성 층과 접해 있는 적어도 하나의 금속 장벽 층과, 적어도 하나의 상부 유전체 층을 포함하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판에 있어서,
    적어도 하나의 장벽 층은 지르코늄을 기초로 하고, 상기 상부 유전체 층은 상기 기능성 층 또는 상기 장벽 층과 접하고 있는 적어도 하나의 ZnO를 기초로 하는 층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 기능성 층은 적어도 ZnO를 기초로 한 유전체 층으로 덮인 지르코늄을 기초로 한 상부 장벽 층으로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 기판은 상기 은 아래에, 티타늄, 니켈-크롬, 니오븀, 지르코늄 등과 같은 금속을 기초로 한 하부 장벽 층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 기판은 지르코늄을 기초로 한 하부 장벽 층과, 상기 기능성 금속 층과 직접 접해 있는 ZnO를 기초로 한 상부 유전체 층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판은 산화물, 질화물 및/또는 옥시질화물을 기초로 하고, 특히 SnO2, TiO2, ZnSnOx, ZnTiOx, ZnZrOx 및/또는 Si3N4를 기초로 한 상부의 기계적인 보호 층을 포함하고, 상기 상부 층은 선택적으로 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 장벽 층의 두께는 6nm 이하, 특히 0.2 내지 6nm인 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기능성 층의 두께는 5 내지 18nm인 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체 층의 두께는 적어도 5nm, 특히 5 내지 25nm인 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다층은 적어도 500℃의 온도에서 열 처리 후 그 특성, 특히 광학 특성을 실질적으로 유지하는 것을 특징으 로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  10. 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서, Zr을 기초로 한 적어도 하나의 층은 1 내지 10 중량%의 Ca, Y, 또는 Hf과 같은 추가 원소를 선택적으로 함유할 수 있는 지르코늄 금속 타깃을 사용해서 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  11. 제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다층은 산화물 또는 질화물을 기초로 한 하부 유전체 층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 하부 유전체 층은 순서 SnO2/TiO2/ZnO를 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  13. 제 11항에 있어서, 상기 하부 유전체 층은 순서 Si3N4/ZnO를 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명 기판.
  14. 제 1항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 기재된 적어도 한 장의 기판을 결합한, 저 방사율 또는 태양광선 차단 창유리, 및 특히 적층 창유리 또는 이중 창유 리.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 창유리는 이중 창유리로 다른 기판과 설치된 본 발명에 따른 적어도 한 장의 기판을 포함하고, 상기 조립체는 40 내지 90%의 광 투과를 갖는 것을 특징으로 하는, 창유리.
  16. 제 14항 또는 제 15항에 있어서, 상기 창유리는 광 투과 대 태양 인자의 비 (TL/SF)로 정의된 1.1 내지 2.1의 선택성을 갖는 것을 특징으로 하는, 창유리.
  17. 박막 다층을 구비한 투명한 기판의 기계 강도를 향상시키는 방법으로서,
    상기 박막 다층은, 적외선 및/또는 태양 복사선 범위에서 반사 특성을 갖는 적어도 하나의 기능성 금속 층, 특히 은(銀)을 기초로 한 층과, 상기 기능성 층과 접해 있는 적어도 하나의 금속 장벽 층과, 적어도 하나의 상부 유전체 층을 포함하는, 박막 다층을 구비한 투명한 기판의 기계 강도를 향상시키는 방법에 있어서,
    적어도 하나의 기능성 금속 층과, 각각 상기 기능성 금속 층의 위 및/또는 아래에 있는 Zr을 기초로 하는 하부 및/또는 상부 장벽 층과, ZnO를 기초로 한 상부 유전체 층은 스퍼터링에 의해 상기 기판 위에 증착되는 것을 특징으로 하는, 박막 다층을 구비한 투명한 기판의 기계 강도를 향상시키는 방법.
KR1020067003228A 2003-08-20 2004-08-19 적외선 및/또는 태양 복사선에서 반사 특성을 갖는 박층 스택으로 덮인 투명 기판 KR101128418B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0310045A FR2858975B1 (fr) 2003-08-20 2003-08-20 Substrat transparent revetu d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire
FR0310045 2003-08-20
PCT/FR2004/002164 WO2005019126A1 (fr) 2003-08-20 2004-08-19 Substrat transparent revetu d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060064638A true KR20060064638A (ko) 2006-06-13
KR101128418B1 KR101128418B1 (ko) 2012-03-23

Family

ID=34112831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020067003228A KR101128418B1 (ko) 2003-08-20 2004-08-19 적외선 및/또는 태양 복사선에서 반사 특성을 갖는 박층 스택으로 덮인 투명 기판

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7981516B2 (ko)
EP (1) EP1663895B1 (ko)
JP (1) JP4988342B2 (ko)
KR (1) KR101128418B1 (ko)
CN (1) CN1871181A (ko)
BR (1) BRPI0413655B1 (ko)
FR (1) FR2858975B1 (ko)
MX (1) MXPA06001956A (ko)
PL (1) PL1663895T3 (ko)
WO (1) WO2005019126A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140139965A (ko) * 2013-05-28 2014-12-08 삼성전자주식회사 전자 장치의 운용 방법 및 장치

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7645487B2 (en) 2006-07-20 2010-01-12 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with zinc-doped zirconium based layer(s) in coating
DE102006037912B4 (de) * 2006-08-11 2017-07-27 Von Ardenne Gmbh Temperbares Solar-Control-Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102006037909A1 (de) * 2006-08-11 2008-02-14 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Temperbares, Infrarotstrahlung reflektierendes Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung
FR2911130B1 (fr) 2007-01-05 2009-11-27 Saint Gobain Procede de depot de couche mince et produit obtenu
DE202008018513U1 (de) 2008-01-04 2014-10-31 Saint-Gobain Glass France Dispositif
FR2931147B1 (fr) * 2008-05-19 2010-11-19 Saint Gobain Vitrage muni d'un empilement de couches minces
FR2949775B1 (fr) 2009-09-10 2013-08-09 Saint Gobain Performance Plast Substrat de protection pour dispositif collecteur ou emetteur de rayonnement
FR2949776B1 (fr) 2009-09-10 2013-05-17 Saint Gobain Performance Plast Element en couches pour l'encapsulation d'un element sensible
FR2950878B1 (fr) 2009-10-01 2011-10-21 Saint Gobain Procede de depot de couche mince
US9932267B2 (en) * 2010-03-29 2018-04-03 Vitro, S.A.B. De C.V. Solar control coatings with discontinuous metal layer
CN101830643B (zh) * 2010-05-28 2012-05-23 中航三鑫股份有限公司 一种双银镀膜玻璃及其制造方法
EP2663537A1 (fr) * 2011-01-11 2013-11-20 AGC Glass Europe Vitrage de controle solaire
US8574728B2 (en) 2011-03-15 2013-11-05 Kennametal Inc. Aluminum oxynitride coated article and method of making the same
FR2973940A1 (fr) * 2011-04-08 2012-10-12 Saint Gobain Element en couches pour l’encapsulation d’un element sensible
FR2973939A1 (fr) 2011-04-08 2012-10-12 Saint Gobain Element en couches pour l’encapsulation d’un element sensible
GB201106788D0 (en) * 2011-04-21 2011-06-01 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
FR2981346B1 (fr) * 2011-10-18 2014-01-24 Saint Gobain Procede de traitement thermique de couches d'argent
KR101951290B1 (ko) * 2012-04-18 2019-02-22 롯데정밀화학 주식회사 필름 및 그의 제조방법
US8900729B2 (en) 2012-11-19 2014-12-02 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating including zinc oxide inclusive layer(s) with additional metal(s)
US9138864B2 (en) 2013-01-25 2015-09-22 Kennametal Inc. Green colored refractory coatings for cutting tools
US9017809B2 (en) 2013-01-25 2015-04-28 Kennametal Inc. Coatings for cutting tools
US9790127B2 (en) 2013-03-14 2017-10-17 Intermolecular, Inc. Method to generate high LSG low-emissivity coating with same color after heat treatment
US9427808B2 (en) 2013-08-30 2016-08-30 Kennametal Inc. Refractory coatings for cutting tools
FR3013043B1 (fr) * 2013-11-08 2015-11-20 Saint Gobain Substrat revetu d'un empilement a couches fonctionnelles presentant des proprietes mecaniques ameliorees
CN107933033A (zh) * 2017-12-29 2018-04-20 常州山由帝杉防护材料制造有限公司 具有隔热节能作用的窗膜及包含其的玻璃制品
FR3088636B1 (fr) * 2018-11-16 2022-09-09 Saint Gobain Materiau traite thermiquement a proprietes mecaniques ameliorees
FR3101278B1 (fr) * 2019-09-30 2023-11-24 Saint Gobain Vitrage feuillete a basse transmission lumineuse et haute selectivite
JP7057865B2 (ja) * 2019-11-26 2022-04-20 日東電工株式会社 反射防止フィルムおよびその製造方法、ならびに画像表示装置
CN115845830A (zh) * 2022-08-30 2023-03-28 宁夏大学 一种掺杂In元素的固溶体In-ZnZrOx催化剂的制备及其应用

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3750823C5 (de) * 1986-01-29 2006-01-26 Pilkington Plc, St. Helens Beschichtetes Glas.
GB8900166D0 (en) 1989-01-05 1989-03-01 Glaverbel Glass coating
US5942338A (en) * 1996-04-25 1999-08-24 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated articles
US5821001A (en) * 1996-04-25 1998-10-13 Ppg Industries, Inc. Coated articles
FR2766174B1 (fr) * 1997-07-21 1999-08-20 Saint Gobain Vitrage Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince
FR2818272B1 (fr) * 2000-12-15 2003-08-29 Saint Gobain Vitrage muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire et/ou l'isolation thermique

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140139965A (ko) * 2013-05-28 2014-12-08 삼성전자주식회사 전자 장치의 운용 방법 및 장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN1871181A (zh) 2006-11-29
EP1663895B1 (fr) 2016-11-09
US20070104965A1 (en) 2007-05-10
EP1663895A1 (fr) 2006-06-07
US7981516B2 (en) 2011-07-19
PL1663895T3 (pl) 2017-04-28
JP2007507404A (ja) 2007-03-29
WO2005019126A1 (fr) 2005-03-03
BRPI0413655B1 (pt) 2014-01-07
JP4988342B2 (ja) 2012-08-01
FR2858975A1 (fr) 2005-02-25
MXPA06001956A (es) 2006-05-17
BRPI0413655A (pt) 2006-10-24
FR2858975B1 (fr) 2006-01-27
KR101128418B1 (ko) 2012-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101128418B1 (ko) 적외선 및/또는 태양 복사선에서 반사 특성을 갖는 박층 스택으로 덮인 투명 기판
EP3004015B1 (en) Low-emissivity glazing
KR100726878B1 (ko) 저 방사 층 스택을 구비한 창유리
EP3004014B1 (en) Low-emissivity and anti-solar glazing
US10227690B2 (en) Coated article with low-E coating having multilayer overcoat and method of making same
US7582356B2 (en) Glazing provided with stacked thin layers which reflect infrared rays and/or solar radiation
EP2903946B1 (en) Coated article with low-e coating having low visible transmission
EP2173677B1 (en) Heat treatable coated glass pane
KR101116795B1 (ko) 투명 기판, 글레이징 조립체, 투명 기판의 기계적인 저항성을 향상시키는 방법
US7846549B2 (en) Transparent substrate coated with a silver layer
KR101890968B1 (ko) Ｎｉ 및/또는 Ｔｉ를 포함하는 배리어층, 배리어층을 함유하는 코팅된 물품, 및 이를 제조하는 방법
EP2231540B1 (en) Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties
US7527868B2 (en) Transparent substrate coated with at least one thin layer
KR101358826B1 (ko) 열적 성질을 가진 스택을 구비한 기재
HU224415B1 (hu) Bevonatos üvegtábla, és eljárás annak előállítására
WO2013126224A1 (en) Coated articles with low-e coating having multilayer overcoat
RU2747376C2 (ru) Подложка, снабженная набором, обладающим тепловыми свойствами, ее применение и ее изготовление
JP2002528372A (ja) 透明基材のための積層体
KR20030075170A (ko) 창유리에 사용하고 예비 응력을 가할 수 있는 방사율이낮은 층 시스템
EP2102126B1 (en) Coated glass panes and process for their manufacture
EP4058417B1 (en) Coated glass substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150224

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160218

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170220

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180219

Year of fee payment: 7