KR20060049477A

KR20060049477A - 콜게이트형상 적층체 필터

Info

Publication number: KR20060049477A
Application number: KR1020050046986A
Authority: KR
Inventors: 다카시 다나하시; 마카히코 요네다; 가즈키 야마나
Original assignee: 니치아스 가부시키가이샤
Priority date: 2004-06-02
Filing date: 2005-06-02
Publication date: 2006-05-19
Also published as: JP2005342603A; TW200602118A

Abstract

파형상의 중심재(中芯材)와 평판형상의 라이너재를 적층하여 형성되는 콜게이트형상 적층체 필터에 있어서, 이 적층체는 깊이 방향으로 적어도 2분할되고, 이 분할된 각각의 분할체 중, 적어도 1개의 분할체의 중심재의 능선이, 깊이 방향에 대해서 15도∼50도의 각도를 갖는다. 이 콜게이트형상 적층체 필터에 의하면, 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율을 현저히 높이는 동시에, 컴팩트화가 가능해진다.

Description

콜게이트형상 적층체 필터{CORRUGATE TYPED LAMINATE FILTER}

도 1은 본 예의 콜게이트형상 적층체의 조감도,

도 2는 본 예의 콜게이트형상 적층체의 평면을 모식적으로 나타낸 도면,

도 3은 본 예의 콜게이트형상 적층체의 분할체의 구조를 설명하는 도면,

도 4는 본 예의 콜게이트형상 적층체의 다른 분할체의 구조를 설명하는 도면,

도 5는 본 예의 콜게이트형상 적층체의 통기 공동의 구조를 설명하는 도면,

도 6은 본 예의 케미컬 필터의 사시도,

도 7은 본 예의 다른 콜게이트형상 적층체의 평면을 모식적으로 나타낸 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10, 20 : 콜게이트형상 적층체 10a∼10e : 분할체

12a∼12e : 중심재 13a∼13e : 능선

14∼17 : 2점 쇄선 18, 19 : 개구면

19a∼19e : 통기 공동 20a, 20c, 20d, 20e : 분할체

30 : 필터 31 : 틀체

본 발명은, 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율을 높인 콜게이트형상 적층체 필터에 관한 것이다.

반도체 제조·액정 제조 등의 첨단 산업에서는, 제품의 수율이나 품질, 신뢰성을 확보하기 위해서, 클린룸 내에서의 공기나 제품 표면의 오염 제어가 중요해지고 있다. 특히 반도체 산업 분야에서는 제품의 고집적도화가 진행됨에 따라서, HEPA, ULPA 등을 이용한 입자형상 오염 물질의 제어에 더하여, 이온성 가스형상 오염 물질의 제어가 불가결하게 되어 있다.

이들 입자형상 오염 물질이나 이온성 가스형상 오염 물질을 제거하기 위해서, 이온 교환기 등의 기능재를, 케미컬 필터에 도입하는 것이 행해지고 있다. 예를 들면, 일본국 특개 2001-317243호 공보에는, 적어도, 이온 교환 섬유와 활성탄을 포함하는 여과지가 필터 여과재로서 틀재 내에 내장되어, 이온성 가스와 유기 가스를 동시에 흡착·제거하는 케미컬 필터가 개시되어 있다. 또, 일본국 특개평 10-165730호 공보에는, 대향하는 한 쌍의 공기의 유입구와 유출구에 형성된 외틀의 내부에, 파형판 또는 산형판의 형상을 한 가스형상 불순물을 흡착하는 성질이 있는 복수장의 흡착 시트를, 공기의 유통 방향과 평행하게 하여 서로 간격을 둔 상태로 포개어 배치한 가스형상 불순물 흡착 필터가 개시되어 있다.

이들 종래의 케미컬 필터는, 실제로는 높은 제거 효율과 낮은 압력 손실을 양립시키기 위해 콜게이트형상으로 적층된 구조체를 이용하는 것이다. 콜게이트형상 적층체는 파형상의 중심재와 평판형상의 라이너재를 적층하여 형성되는 유로가 똑바로 또한 피처리 가스가 유입하는 방향이 동일한 스트레이트류형과, 서로 이웃하는 중심재의 능선끼리가 소정의 각도를 갖고 교차하도록 배치된 사행류형이 있다. 스트레이트류형은 필터의 유입구 근방에서는 피처리 가스의 흐름이 난류(亂流) 또는 난류에 가까운 상태이고, 이 피처리 가스가 교반되기 위해 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율이 높지만, 피처리 가스가 콜게이트형상 적층체의 내부를 통과함에 따라서 피처리 가스의 흐름이 난류로부터 층류로 근접해 가서, 출구 근방에서는 대략 층류가 되어 접촉 효율이 저하한다. 이 때문에, 필터 전체로서는, 접촉 효율이 높다고는 말할 수 없고 피처리 가스로부터의 흡착 물질의 흡착 효율은 충분하지 않다는 문제가 있다. 또, 사행류형은, 콜게이트형상 적층체의 내부에서, 피처리 가스의 교반이나 혼합의 작용이 비약적으로 증대하고, 난류도 생기기 쉽게 되어 가스와 흡착제와의 접촉 기회가 증대하며, 피처리 가스로부터의 흡착 물질의 흡착 제거 효율도 증대하지만, 필터 단위 체적당의 기능재의 담지량(유효 표면적)을 크게 취할 수 없다는 문제가 있다.

한편, 일본국 특개평 10-128040호 공보에는, 콜게이트형상 적층체에 있어서, 이 적층체의 깊이 방향으로 2∼8분할하여, 그 각각에 대해서 중심재의 물결 부분에 0∼5도의 각도를 부여한 필터가 개시되어 있지만, 이 정도의 각도에서는 구조체 내부에서 피처리 가스의 교반은 충분하지 않고, 접촉 효율도 높지 않다는 문제가 있다. 특히, 피처리 가스를 저유량으로 흐르게 하는 경우, 스트레이트류형과 동일한 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율을 현저히 높이는 동시에, 컴팩트화된 유효 표면적이 큰 콜게이트형상 적층체 필터를 제공하는 데에 있다.

이러한 실정에서, 본 발명자들은 예의 검토를 행한 결과, 깊이 방향으로 적어도 2분할되고, 이 분할된 각각의 분할체 중, 적어도 1개의 분할체의 중심재의 능선이, 깊이 방향에 대해서 특정한 각도를 갖는 콜게이트형상 적층체 필터이면, 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율이 높아지는 동시에, 이 적층체는 컴팩트화할 수 있거나, 또는 유효 면적을 크게 취할 수 있는 것 등을 발견하여, 본 발명을 완성하는 데에 이르렀다.

즉, 본 발명 (1)은, 파형상의 중심재와 평판형상의 라이너재를 적층하여 형성되는 콜게이트형상의 적층체로서, 이 적층체는 깊이 방향으로 적어도 2분할되고, 이 분할된 각각의 분할체 중, 적어도 1개의 분할체의 중심재의 능선이, 깊이 방향에 대해서 15∼50도의 각도를 갖는 콜게이트형상 적층체 필터를 제공하는 것이다.

또, 본 발명 (2)는, 각각의 분할체의 중심재의 능선 방향의 경사를, 깊이 방향에 대해서 서로 엇갈리게 함으로써, 유로를 평면에서 볼 때 지그재그형상으로 형성하는 상기 콜게이트형상 적층체 필터를 제공하는 것이다.

또, 본 발명 (3)은, 이 적층체는 깊이 방향으로 2∼10분할되는 상기 콜게이트 형상 적층체 필터를 제공하는 것이다.

또, 본 발명 (4)는, 상기 중심재의 산 높이가, 0.7∼2.0㎜인 상기 콜게이트형상 적층체 필터를 제공하는 것이다.

또, 본 발명 (5)는, 탈취 필터, 제습 필터, 케미컬 필터 또는 유기용제 제거 필터인 상기 콜게이트형상 적층체 필터를 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율이 현저히 높아지는 동시에, 이 적층체는 컴팩트화할 수 있거나, 또는 유효 표면적을 크게 취할 수 있다.

본 발명의 콜게이트형상 적층체 필터(이하, 간단히「필터」라고도 한다)에 있어서, 콜게이트형상 적층체는 깊이 방향으로 적어도 2분할되어 있으면 되고, 바람직하게는 2∼10분할이다. 분할체가 1개에서는 종래의 스트레이트류형과 동일하고, 피처리 가스가 구조체의 내부에서 충분히 교반되지 않는다. 또 분할체가 10을 넘으면, 압력 손실이 현저해지는 동시에 깊이 방향의 치수가 커져서 컴팩트화를 도모할 수 없게 된다. 또, 분할체 중, 적어도 1개, 바람직하게는 분할체의 반분, 또한 전부의 분할체의 중심임의 능선이 깊이 방향에 대해서 소정의 각도(α)(이하,「능선 각도」라고도 한다)에 있는 것이 바람직하고, 특히 깊이 방향으로 서로 엇갈리게 경사져 유로가 지그재그형상인 것이 바람직하다. 또, 분할체의 적어도 2개가 능선 각도를 갖는 경우, 각각의 능선 각도는 각 분할체에서 동일해도 되고, 달라도 된다. 능선 각도(α)는 15∼50도, 바람직하게 20∼45도이다. 능선 각도가 15도 미만이면, 스트레이트류형에 가까워져서, 피처리 가스가 구조체의 내부에서 충분히 교반되지 않는다. 또, 능선 각도가 50도를 넘으면, 압력 손실이 너무 커져서 실용 에 견딜 수 없는 것이 된다.

본 발명의 콜게이트형상 적층체의 형상의 일례를 도 1∼도 5를 참조하여 설명한다. 또한, 도 1은 좌우 방향으로 연속하는 구조이고, 또 상하 방향으로 적층하는 구조이지만, 구조를 명확하게 하기 위해서 일부의 기재를 생략하였다. 도면 중, 콜게이트형상 적층체(10)는, 깊이 방향으로 5분할되고, 이 분할된 각각의 분할체(10a∼10e)의 중심재(12a∼12e)의 능선(13a∼13e)의 방향이, 깊이 방향에 대해서 서로 엇갈리게 또한 α도의 각도를 갖는 것이다. 이 때문에, 유로는 평면에서 볼 때 지그재그형상으로 되어 있다.

콜게이트형상 적층체(10)의 적층 구조는, 분할체의 일례인 도 3에 도시하는 바와 같이, 파형상의 중심재(12a)와 평판형상의 라이너재(11a)를 적층한 것으로서, 소위 허니콤 구조로 칭해지는 것이다. 상기 허니콤 구조는 공지의 방법에 의해서 제조할 수 있고, 예를 들면, 기능재가 담지된 파형상의 중심재의 상하의 산부와 기능재가 담지된 평탄한 형상의 라이너재를 접착제로 접착하여 일체화하거나, 접착 등을 행하지 않고 이들을 단지 적층하여 얻는 방법을 들 수 있다. 적층시에 접착제를 이용하는 경우, 접착제로서는, 예를 들면, 실리카졸 등의 무기계 접착제를 사용할 수 있다.

본 발명에서, 필터로서는, 특별히 제한되지 않고, 탈취 필터, 제습 필터, 케미컬 필터 또는 유기용제 제거 필터를 들 수 있다. 또, 기능재로서는, 특별히 제한되지 않고, 피처리 가스 중에서 제거하고 싶은 물질에 따라서 적절히 선택할 수 있다. 구체적으로는, 탈취 필터의 경우, 활성탄 및 제올라이트 등을 들 수 있고, 제습 필터의 경우, 실리카겔 및 분자체 등을 들 수 있으며, 케미컬 필터의 경우, 활성탄, 제올라이트, 이온 교환 수지 및 이온 교환 섬유 등을 들 수 있다. 케미컬 필터의 경우, 특히 산성 가스를 목적으로 한 경우에는 수산화 칼슘, 탄산 칼슘, 수산화 칼륨, 탄산 칼륨, 수산화 나트륨 및 탄산 나트륨 등을 이용하는 것도 유효하다. 또, 유기용제 제거 필터의 경우, 활성탄, 제올라이트를 들 수 있다. 이들 기능재는 1종 단독, 또는 2종 이상을 조합하여 이용할 수 있다. 이들 기능재를 중심재나 라이너재에 담지하는 방법으로서는, 특별히 제한되지 않고, 분말형상, 입자형상, 덩어리형상, 섬유형상 등을 접착재로 접착하는 방법, 기능재를 포함하는 현탁액을 도포하여 접착하는 방법 등을 들 수 있다. 또, 담지 순서로서는, 특별히 제한되지 않고, 콜게이트 성형 전의 페이퍼 단계에서 담지시키는 방법 및 콜게이트 성형 후, 기능재를 포함하는 현탁액에 이 콜게이트 적층체를 침지하여 담지하는 방법 등을 들 수 있다. 이들 기능재는 이온 교환 기능, 전하적 흡착 기능 혹은 마이크로포어 흡착 기능에 의해, 피처리 가스 중의 오염 물질을 제거하는 것이다.

본 발명에서의 분할체(10a)는, 파형상의 중심재(12a)와 평판형상의 라이너재(11a)를 적층한 적층체 중, 2점 쇄선(14, 15)을 따라서 절단된 것으로서, 2점 쇄선(14)을 따라서 절단된 절단면이 피처리 가스의 유입 개구면(18)이 되고, 2점 쇄선(15)을 따라서 절단된 절단면이 인접하는 다른 분할체(10b)의 개구면과의 접속면이 된다. 즉, 도 4에서 도시되는 분할체(10b)는 동일하게, 파형상의 중심재(12b)와 평판형상의 라이너재(11b)를 적층한 적층체 중, 2점 쇄선(16, 17)을 따라서 절단된 것으로서, 2점 쇄선(16)을 따라서 절단된 절단면이 분할체(10a)의 2점 쇄선(15)을 따라서 절단된 절단면과의 접속면이 된다. 또, 양측은, 수납되는 틀체(31)의 형상에 따른 치수로 절단된다(도 6 참조). 이하, 동일한 반복 구조에 의해, 도 1 및 도 2의 지그재그형상의 유로를 갖는 콜게이트형상 적층체를 제작할 수 있다.

하나의 분할체와 인접하는 다른 분할체와의 접합 방법으로서는, 특별히 제한되지 않고, 틀체(31) 내에서, 깊이 방향으로 인접만 하면 되고, 접착제 등은 특별히 필요로 하지 않는다. 또, 하나의 분할체의 접속면과 인접하는 다른 분할체의 접속면은 통기 공동끼리가 완전히 일치하고 있어도 되고(도 2 참조), 또 일치하고 있지 않아도 된다(도 7 참조). 접속면끼리가 서로 맞지 않은 경우, 상기 접속면에서 더욱 난류를 일으킬 수 있다.

도 5에서의 콜게이트형상 적층체의 통기 공동의 구조는, 피처리 가스가 유입되는 개구면(18)에서의 치수이다. 콜게이트형상 적층체 구조의 필터의 산 높이(h)는, 통상 0.7∼2.0㎜, 바람하게는 1.0∼1.8㎜이다. 또, 피치(p)는, 통상 1∼5㎜, 바람직하게는 1.9∼3.3㎜이다. 또, 중심재의 두께(b)는, 0.1∼0.4㎜, 라이너재의 두께(a)는 0.1∼0.5㎜이다. 또, 분할체의 깊이 길이(c)는 3∼25㎜, 바람직하게는 5∼20㎜이다. 각각의 분할체의 깊이 길이는 동일해도 되고, 달라도 된다. 본 발명에서, 산 높이 및 피치가 상기 범위 내에 있으면, 능선 각도의 경사와 더불어, 이온성 가스형상 오염 물질의 제거 효율이 한층 더 향상하기 때문에 바람직하다.

본 예의 콜게이트형상 적층체(10) 구조를 갖는 필터(30)는, 도 1∼도 6에 도시하는 바와 같이, 기능재가 담지된 평판형상의 라이너재(11a)와 기능재가 담지된 파형상의 중심재(12a)의 사이에, 중심재(12a)의 산부가 연속된 방향으로 연장된 대 략 반원주형상의 통기 공동(19a)이 형성된다. 이 때문에 개구면(18)으로부터 피처리 가스를 도입하면, 피처리 가스가 통기 공동(19a)을 통과할 수 있게 되어 있다. 본 예에서는, 피처리 가스는 개구면측에 설치된 분할체(10a)의 능선(13a)이 우측 경사 방향으로 배치된 통기 공동(19a)을 따라서 흐르고, 이어서 분할체(10a)에 인접하는 분할체(10b)의 능선(13b)이 좌측 경사 방향으로 배치된 통기 공동(19b)을 따라서 흐르며, 그 후 순차적으로 분할체(10c∼10e)의 통기 공동(19c∼19e) 내를 지그재그형상으로 흘러서, 후방 개구면(19)으로부터 배출된다. 또한, 도 2 중, 구조체 중, 피처리 가스의 흐름을 나타내는 화살표는 간략화를 위해서, 무수한 통기 공동 중의 하나에 대해서 나타내었다.

본 예의 필터(30)에 의하면, 압력 손실은 발생하지만, 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율이 현저히 높아지기 때문에, 피처리 가스 중에 포함되는 오염 물질의 제거 효율이 향상한다. 또, 스트레이트류형과 비교하여, 제거 효율을 동등하게 한 경우, 깊이의 치수는 25% 축소시킬 수 있고, 컴팩트화를 도모할 수 있다. 또, 본 예의 필터(30)는, 0.3∼1.5m/s, 바람직하게는 0.3∼0.8m/s와 같은 저풍량의 피처리 가스의 처리에서는, 압력 손실을 최소한으로 억제할 수 있는 점에서 바람직하다.

본 발명의 콜게이트형상 적층체의 형상의 다른 예를 도 7을 참조하여 설명한다. 도 7에서, 도 2와 동일 구성 요소에는 동일 부호를 붙이고 그 설명을 생략하며, 다른 점에 대해서 주로 설명한다. 즉, 도 7에서, 도 2와 다른 점은 피처리 가스가 유입되는 측으로부터 깊이 방향을 향해서, 제1 분할체(20a), 제3 분할체(20c) 및 제5 분할체(20e)를 스트레이트류형의 콜게이트형상 적층체로 한 점, 제4 분할체(20d)를 우측 경사의 통기 공동이 되는 콜게이트형상 적층체로 한 점, 및 각각의 분할체를 인접하는 분할체의 접속면에서의 통기 공동끼리를 서로 맞추지 않고 배치한 점에 있다. 콜게이트형상 적층체(20)는, 스트레이트류형의 제거 효율과 동등하게 한 경우, 깊이의 치수는 15% 축소시킬 수 있는 것 및 각각의 분할체의 접속면은 서로 맞춤을 행하고 있지 않으므로, 1개의 유로가 복수의 유로와 접하기 때문에 내부 교반 효과가 높아지는 것 이외는, 콜게이트형상 적층체(10)와 동일한 효과를 이룬다.

다음에, 실시예를 들어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명하지만, 이것은 단지 예시이며 본 발명을 제한하는 것이 아니다.

비교예 1

(스트레이트류형 콜게이트형상 적층체 필터의 제작)

평균 입자 직경이 20㎛이고, 이온 교환 용량이 5.0m당량/g의 강산성 양이온 교환 수지 분말(미쓰비시화학주식회사제 다이아이온)과, 실리카졸(접착제)을, 고형분의 중량비가 8 : 2가 되도록 혼합하여, 고형분 농도(슬러리 농도) 30중량%의 혼합 슬러리를 조제하였다.

실리카·알루미나 섬유(평균 섬유 직경 5㎛, 평균 섬유 길이 20㎜) 및 레이온 섬유를 70 : 30의 비율로 습식 초지하여 섬유간 공극율이 90%, 두께(t)가 0.2㎜인 평탄한 형상의 섬유질 페이퍼에, 상기 혼합 슬러리를 함침시켜서 건조시키고, 기능재가 담지된 평판형상의 라이너재를 얻었다.

다음에, 기능재가 담지된 평판형상의 라이너재의 일부에 대해서 상하 한 쌍의 파형 콜게이트의 사이를 통해서, 파형상의 이온 교환 수지 분말이 담지된 중심재를 제작하였다. 이 중심재의 산부에 접착제로서 실리카졸을 도포한 후, 상기 평판형상의 라이너재를 포개어 적층하였다. 이 중심재와 평판형상의 라이너재와의 적층을 중심재의 통기 방향이 동일 방향이 되도록 하여 반복하여 행하여, 스트레이트류형의 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(A)를 제작하였다.

상기 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(A)를, 세로 100㎜×가로 100㎜×두께 40㎜가 되도록 커트하고, 이것을 알루미늄제의 틀재에 끼워 넣었다. 상기 케미컬 필터의 단위 체적당의 이온 교환 용량은 500당량/㎥, 케미컬 필터의 단위 체적당의 이온 교환 수지 분말의 함유량은, 100㎏/㎥이었다. 또한, 단위 체적당의 이온 교환 용량은, 필터에 함유하고 있는 이온 교환 수지 분말의 중량에 이온 교환 수지 분말의 이온 교환 용량을 곱하여 산출한 것이다.

(실시예 1)

(능선 각도를 갖는 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터의 제작)

상기 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(A)를, 도 3 및 도 4의 2점 쇄선으로 나타내는 절단선에 따라서 절단하는 동시에, 양측을 절단하여 능선 각도가 우측 45도로 경사진 깊이 치수 8㎜의 분할체를 3개, 능선 각도가 좌측 45도로 경사진 깊이 치수 8㎜의 분할체를 2개 제작하였다. 이들 5개의 분할체를 도 2에 도시하는 바와 같은 지그재그 유로를 형성하도록 알루미늄제의 틀재에 끼워 넣어, 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(B)를 제작하였다. 이 케미컬 필터의 단위 체적당의 이온 교환 용량은 500당량/㎥, 케미컬 필터의 단위 체적당의 이온 교환 수지 분말의 함유량은, 100㎏/㎥이었다. 또한, 케미컬 필터의 피처리 가스가 유입되는 개구면에서의 각 부의 치수는 중심의 피치(p)가 3.0㎜, 산 높이(h)가 1.6㎜이었다.

(성능의 측정)

상기 케미컬 필터를 이용하여, 하기 조건으로 암모니아의 제거율을 측정하였다. 또한, 실제의 클린룸에서 문제가 되는 암모니아 농도는 수십 ㎍/㎥이지만, 가속 시험으로 하기 위해서 암모니아 농도를 240㎍/㎥로 하였다. 이 조건으로 케미컬 필터의 압력 손실을 측정한 바, 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(A)가 8㎩, 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(B)가 26㎩이었다. 결과를 표 1에 나타낸다.

<시험 조건>

·통기 가스의 조성 : 암모니아를 240㎍/㎥ 포함하는 공기

·통기 가스의 온도 및 습도 : 23℃, 50%RH

·제거 대상 가스 : 암모니아

·통기 풍속 : 0.5m/s

·케미컬 필터의 두께 : 40㎜

·시험 시간 : 740시간

비교예 2

능선 각도가 우측 45도로 경사진 깊이 치수 8㎜의 분할체를 3개, 능선 각도가 좌측 45도로 경사진 깊이 치수 8㎜의 분할체를 2개의 대신에, 능선 각도가 우측 5도로 경사진 깊이 치수 8㎜의 분할체를 3개, 능선 각도가 좌측 5도로 경사진 깊이 치수 8㎜의 분할체를 2개를 제작한 것 이외는, 실시예 1과 동일한 방법으로 행하여 지그재그 유로를 갖는 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(C)를 얻었다. 또, 동일하게 이 조건으로 케미컬 필터의 압력 손실을 측정한 바, 콜게이트형상 적층체 케미컬 필터(C)가 11㎩이었다. 결과를 표 1에 나타낸다.

(표 1)

	실시예 1	비교예 1	비교예 2
유효 표면적 ㎡/㎥	2,100	2,100	2,100
능선 각도(도)	45	0	5
악취 가스 제거 효율(%)	94.8	80.2	83.4

표 1의 결과로부터, 실시예 1의 케미컬 필터는 유효 표면적이 동일함에도 불구하고, 콜게이트형상 적층체 내에서, 피처리 가스와 기능재가 유효하게 접촉하기 때문에, 제거 효율이 95%로 저하할 때까지의 시간을 1.25배(비교예 1에 대해), 1.19배(비교예 2에 대해)로 할 수 있다.

산업상 이용 가능성

본 발명의 필터는, 피처리 가스 중에서 여러가지의 물질을 제거할 목적으로 사용되고, 예를 들면 반도체 제조·액정 제조 과정에서의 클린룸, 클린부스, 클린벤치 등에 부유하는 미량의 케미컬 오염 물질을 제거하는 데에 적합하다. 특히 피처리 가스를 흐르게 할 때, 압력 손실은 다소 희생하더라도, 현저한 제거 효율을 요망하는 경우나 컴팩트화를 도모하고 싶은 경우에 유효하다.

본 발명에 의하면, 피처리 가스와 콜게이트형상 적층체의 벽면에 담지된 기능재와의 접촉 효율이 현저히 높아지는 동시에, 이 적층체는 컴팩트화할 수 있거 나, 또는 유효 표면적을 크게 취할 수 있다.

Claims

파형상의 중심재와 평판형상의 라이너재를 적층하여 형성되는 콜게이트형상의 적층체에 있어서, 상기 적층체는 깊이 방향으로 적어도 2분할되고, 상기 분할된 각각의 분할체 중, 적어도 1개의 분할체의 중심재의 능선이, 깊이 방향에 대해서 15도∼50도의 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 콜게이트형상 적층체 필터.
제1항에 있어서, 각각의 분할체의 중심재의 능선 방향의 경사를, 깊이 방향에 대해서 서로 엇갈리게 함으로써, 유로를 평면에서 볼 때 지그재그형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 콜게이트형상 적층체 필터.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 적층체는 깊이 방향으로 2∼10분할되는 것을 특징으로 하는 콜게이트형상 적층체 필터.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중심재의 산 높이가, 0.7∼2.0㎜인 것을 특징으로 하는 콜게이트형상 적층체 필터.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 탈취 필터, 제습 필터, 케미컬 필터 또는 유기용제 제거 필터인 것을 특징으로 하는 콜게이트형상 적층체 필터.