KR20060047458A - Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and liquid crystal display panel - Google Patents

Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and liquid crystal display panel Download PDF

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KR20060047458A
KR20060047458A KR1020050034446A KR20050034446A KR20060047458A KR 20060047458 A KR20060047458 A KR 20060047458A KR 1020050034446 A KR1020050034446 A KR 1020050034446A KR 20050034446 A KR20050034446 A KR 20050034446A KR 20060047458 A KR20060047458 A KR 20060047458A
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사또꼬 아비꼬
시게루 아베
도미오 나가쯔까
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제이에스알 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 착색제, 알칼리 가용성 수지, 다관능성 단량체 및 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온과 같은 모르폴리노페닐 화합물의 감방사선성 중합 개시제를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 수지 조성물에 관한 것이다. The present invention relates to colorants, alkali soluble resins, polyfunctional monomers and morpholinophenyls such as 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one It relates to the radiation sensitive resin composition for colored layer formation containing the radiation sensitive polymerization initiator of a compound.

이 조성물은 감방사선성 중합 개시제 성분의 승화에 의한 소성로나 포토마스크 등의 오염을 억제할 수 있고, 또한 액중 이물이 생기는 일이 없고, 또한 현상성, 패턴 형상에도 우수하다. This composition can suppress the contamination of a kiln, a photomask, etc. by sublimation of a radiation sensitive polymerization initiator component, and it does not produce a foreign material in a liquid, and is excellent also in developability and a pattern shape.

Description

착색층 형성용 감방사선성 조성물, 칼라 필터 및 액정 표시 패널 {Radiation Sensitive Composition for Forming a Colored Layer, Color Filter and Liquid Crystal Display Panel}Radiation Sensitive Composition for Forming a Colored Layer, Color Filter and Liquid Crystal Display Panel}

본 발명은, 착색층 형성용 감방사선성 조성물, 칼라 필터 및 액정 표시 패널에 관한 것이며 보다 자세히는 투과형 또는 반사형의 칼라 액정 표시 장치, 칼라 촬상관 소자 등에 이용되는 칼라 필터의 착색층의 형성에 이용되는 감방사선성 조성물, 이 감방사선성 조성물로부터 형성된 착색층을 구비하는 칼라 필터 및 이 칼라 필터를 구비하는 액정 표시 패널에 관한 것이다. The present invention relates to a radiation-sensitive composition for forming a colored layer, a color filter, and a liquid crystal display panel, and more particularly, to the formation of a colored layer of a color filter used in a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, or the like. A color filter provided with the radiation sensitive composition used, the colored layer formed from this radiation sensitive composition, and the liquid crystal display panel provided with this color filter.

종래, 착색 감방사선성 조성물을 사용하여 칼라 필터를 제조하는 것에 있어서는, 기판 상 또는 미리 소정 패턴의 차광층을 형성한 기판 상에, 착색 감방사선성 조성물을 도포하여 건조한 후, 도막에 대하여 소정의 패턴 형상에 방사선을 조사 (이하, 「노광」이라고 한다)하여 현상함으로써, 각 색의 화소를 얻는 형성 방법 (일본 특허 공개 평 2-144502호 공보 및 일본 특허 공개 평 3-53201호 공보 참조)가 알려져 있다. Conventionally, in manufacturing a color filter using a colored radiation sensitive composition, after apply | coating a colored radiation sensitive composition on a board | substrate or the board | substrate in which the light shielding layer of a predetermined pattern was previously formed, and drying, a predetermined | prescribed thing with respect to a coating film The formation method (refer Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 2-144502 and Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 3-53201) by irradiating a pattern shape with radiation (hereinafter called "exposure"), and developing it, and developing each pixel of each color is developed. Known.

또한 최근, 액정 표시 패널의 대면적화나 생산성의 향상 등으로부터 마더 유리 기판의 크기가 종래의 680×880 mm 정도로부터 1,500×1,800 mm 정도로까지 대형화되고 있다. 그러나 기판의 대형화에 따라 칼라 필터의 형성 시에 감방사선성 조성물 중의 감방사선성 중합 개시제 성분이 승화하여 소성로 (燒成爐)나 포토마스크를 오염하는 문제가 발생하고, 생산 택트(tact)의 저하 및 생산 비용의 상승을 야기하는 것이 염려되고 있다. In recent years, the size of the mother glass substrate has been enlarged from about 680 × 880 mm to about 1,500 × 1,800 mm due to the larger area of the liquid crystal display panel, the improvement in productivity, and the like. However, as the size of the substrate increases, a problem arises in that the radiation sensitive polymerization initiator component in the radiation sensitive composition sublimes upon the formation of the color filter and contaminates the firing furnace or photomask, resulting in a decrease in production tact. And causing an increase in production costs.

또한 본 출원인은 일본 특허 공개 2001-235617호 공보에, 감방사선성 조성물의 감방사선성 중합 개시제로서 1-(2-브로모-4-모르폴리노페닐)-2-벤질-2-디메틸아미노부탄-1-온이나 1-(3-브로모-4-모르폴리노페닐)-2-벤질-2-디메틸아미노부탄-1-온 등의 브롬 치환 아세토페논계 화합물을 사용함으로써, 감방사선성 중합 개시제 성분의 승화에 의한 소성로나 배기 덕트의 오염, 현상액을 반복 사용하는 경우의 현상 라인 중에 설치된 필터의 막힘 등을 저감할 수 있는 것을 개시하였다. In addition, the present applicant discloses 1- (2-bromo-4-morpholinophenyl) -2-benzyl-2-dimethylaminobutane as a radiation sensitive polymerization initiator of a radiation sensitive composition in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-235617. Radiation-sensitive polymerization by using a bromine substituted acetophenone-based compound such as -1-one or 1- (3-bromo-4-morpholinophenyl) -2-benzyl-2-dimethylaminobutan-1-one It has been disclosed that contamination of a firing furnace or exhaust duct due to sublimation of the initiator component, clogging of a filter provided in a developing line when the developer is used repeatedly, and the like can be reduced.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 평 2-144502호 공보 Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-144502

특허문헌 2: 일본 특허 공개 평 3-53201호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-53201

특허문헌 3: 일본 특허 공개 2001-235617호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-235617

그러나, 일본 특허 공개 2001-235617호 공보에 기재된 것도 포함하여 칼라 필터의 형성에 이용되는 종래의 감방사선성 조성물로서는 감방사선성 중합 개시제 성분의 승화에 의한 소성로나 포토마스크 등의 오염 및 액중 이물의 발생을 방지한다는 면에서는 충분하다고는 말할 수 없고, 이들 특성도 함께 구비한 감방사선성 조성물의 개발이 강하게 요망되고 있었다. However, as a conventional radiation sensitive composition used for the formation of a color filter including the one disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2001-235617, contamination of a firing furnace, a photomask, or the like by sublimation of the radiation sensitive polymerization initiator component, and foreign matter in liquid It cannot be said that it is enough in terms of preventing generation | occurrence | production, and the development of the radiation sensitive composition also provided with these characteristics was strongly desired.

본 발명의 목적은 감방사선성 중합 개시제 성분의 승화에 의한 소성로나 포토마스크 등의 오염을 억제할 수 있고, 또한 액중 이물이 생기는 일이 없고, 또한 현상성, 패턴 형상 등에도 우수한, 착색층의 형성에 이용되는 감방사선성 조성물, 해당 감방사선성 조성물로부터 형성된 착색층을 구비하는 칼라 필터 및 해당 칼라 필터를 구비하는 액정 표시 패널을 제공하는 것에 있다. An object of the present invention is to suppress contamination of a firing furnace, a photomask, or the like by sublimation of a radiation-sensitive polymerization initiator component, and to prevent foreign substances from occurring in the liquid, and also to develop, to form a pattern, etc. It is providing the liquid crystal display panel provided with the color filter provided with the radiation sensitive composition used for formation, the colored layer formed from this radiation sensitive composition, and this color filter.

본 발명의 또 다른 목적 및 이점은 이하의 설명으로부터 명백할 것이다. 본 발명에 의하면 본 발명의 상기 목적 및 이점은, 첫째로, Still other objects and advantages of the invention will be apparent from the following description. According to the present invention, the above objects and advantages of the present invention, firstly,

(A) 착색제, (B) 알칼리 가용성 수지, (C) 다관능성 단량체 또는 그것과 단관능성 화합물이 조합 및 (D) 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 함유하고 착색층 형성에 이용되는 것을 특징으로 하는 감방사선성 수지 조성물에 의해 달성된다. (A) a coloring agent, (B) alkali-soluble resin, (C) polyfunctional monomer, or monofunctional compound with it, contains a combination and the compound represented by (D) following General formula (1), and is used for formation of a colored layer, It is characterized by the above-mentioned. It is achieved by a radiation sensitive resin composition.

화학식 1에 있어서, R1은 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기를 나타내고, R2 및 R3은 서로 독립적으로 수소 원자; 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 또는 벤질기를 나타내고, R4, R5, R7 및 R8은 서로 독립적으로 수소 원자; 할로겐 원자; 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 또는 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 나타내고, R6은 할로겐 원자; 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 수산기 및 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 포함하는 군으로부터 선택되는 치환기로 치환되는 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기; 또는 수산기 및 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 포함하는 군으로부터 선택되는 치환기로 치환된 탄소수 2 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 나타낸다.In formula (1), R 1 represents a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom; Linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms; Or a benzyl group, R 4 , R 5 , R 7 and R 8 are each independently a hydrogen atom; Halogen atom; Linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms; Or a linear or branched alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, R 6 is a halogen atom; Linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms; C1-C12 linear, branched, or cyclic alkyl group substituted by the substituent chosen from the group containing a hydroxyl group and a C1-C4 linear or branched alkoxyl group; Linear or branched alkoxyl groups having 1 to 4 carbon atoms; Or a straight or branched alkoxyl group having 2 to 4 carbon atoms substituted with a substituent selected from the group comprising a hydroxyl group and a straight or branched alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms.

본 발명에서 말하는 「방사선」이란 자외선, 원자외선, X선, 전자선, 분자선, γ선, 싱크로트론 방사선, 양성자 빔선 등을 포함하는 것을 의미한다. "Radiation" as used in the present invention means ultraviolet rays, far ultraviolet rays, X-rays, electron beams, molecular rays, gamma rays, synchrotron radiation, proton beam rays, and the like.

또한, 본 발명에서 말하는 「착색층」이란 화소 및(또는) 블랙 매트릭스를 포함하는 층을 의미한다. In addition, the "colored layer" used in this invention means the layer containing a pixel and / or a black matrix.

본 발명에 의하면 본 발명의 상기 목적 및 이점은, 제2로, According to the present invention, the above objects and advantages of the present invention are second,

상기 본 발명의 감방사선성 조성물로부터 형성된 착색층을 구비하여 이루어지는 칼라 필터에 의해 달성된다. It is achieved by the color filter which comprises the colored layer formed from the radiation sensitive composition of the said invention.

또한, 본 발명에 의하면 본 발명의 상기 목적 및 이점은, 제3으로, Moreover, according to this invention, the said objective and advantage of this invention are 3rd,

상기 칼라 필터를 구비하여 이루어지는 액정 표시 패널에 의해서 달성된다. It is achieved by the liquid crystal display panel provided with the said color filter.

이하, 본 발명에 대해서 상세히 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail.

(A) 착색제(A) colorant

본 발명에 있어서의 착색제는, 색조가 특히 한정되는 것이 아니고, 얻어지는 칼라 필터의 용도에 따라서 적절하게 선정되고, 안료, 염료 또는 천연 색소 중 어느 것일 수도 있다. The coloring agent in this invention is not specifically limited in color tone, According to the use of the color filter obtained, it is suitably selected, Any of a pigment, dye, or a natural pigment may be sufficient.

칼라 필터에는 고정밀한 발색과 내열성이 요구되는 것으로부터 본 발명에서의 착색제로서는 발색성이 높고, 또한 내열성이 높은 착색제, 특히 내열 분해성이 높은 착색제가 바람직하다. 안료가 바람직하게 사용되고, 특히 바람직하게는 유기안료, 카본 블랙이 사용된다. Since high color development and heat resistance are required for a color filter, as a coloring agent in this invention, the coloring agent which has high coloring property and high heat resistance, especially the coloring agent with high thermal decomposition resistance is preferable. Pigments are preferably used, particularly preferably organic pigments and carbon blacks.

상기 유기 안료로서는 예를 들면 칼라 인덱스 (C.I.; The Society of Dyer Sand Colourists사 발행)에 있어서 피그먼트 (Pigment)로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 하기와 같은 칼라 인덱스 (C. I.) 번호가 첨부되고 있는 것을 들 수 있다. Examples of the organic pigment include compounds classified as pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyer Sand Colourists), specifically, the following color index (CI) numbers. It can be mentioned.

C.I.피그먼트 옐로우 1, C.I. 피그먼트 옐로우 3, C.I. 피그먼트 옐로우 12, C.I.피그먼트 옐로우 13, C.I.피그먼트 옐로우 14, C.I.피그먼트 옐로우 15, C.I.피그먼트 옐로우 16, C.I.피그먼트 옐로우 17, C.I.피그먼트 옐로우 20, C.I.피그먼트 옐로우 24, C.I.피그먼트 옐로우 31, C.I.피그먼트 옐로우 55, C.I.피그먼트옐로우 60, C.I.피그먼트 옐로우 61, C.I.피그먼트 옐로우 65, C.I.피그먼트 옐로우 71, C.I.피그먼트 옐로우 73, C.I.피그먼트 옐로우 74, C.I.피그먼트 옐로우 81, C.I.피그먼트 옐로우 83, C.I.피그먼트 옐로우 93, C.I.피그먼트 옐로우 95, C.I.피그먼트 옐로우 97, C.I.피그먼트 옐로우 98, C.I.피그먼트 옐로우 100, C.I.피그먼트 옐로우 101, C.I.피그먼트 옐로우 1O4, C.I.피그먼트 옐로우 106, C.I.피그먼트 옐로우 108, C.I.피그먼트 옐로우 109, C.I.피그먼트 옐로우 110, C.I.피그먼트 옐로우 113, C.I.피그먼트 옐로우 114, C.I.피그먼트 옐로우 116, C.I. 피그먼트 옐로우 117, C.I.피그먼트 옐로우 119, C.I.피그먼트옐로우 120, C.I. 피그먼트 옐로우 126, C.I.피그먼트 옐로우 127, C.I.피그먼트 옐로우 128, C.I.피그먼트 옐로우 129, C.I.피그먼트 옐로우 138, C.I.피그먼트 옐로우 139, C.I.피그먼트 옐로우 150, C.I.피그먼트 옐로우 151, C.I.피그먼트 옐로우 152, C.I.피그먼트 옐로우 153, C.I.피그먼트 옐로우 154, C.I.피그먼트 옐로우 155, C.I.피그먼트 옐로우 156, C.I.피그먼트 옐로우 166, C.I.피그먼트 옐로우 168, C.I.피그먼트 옐로우 175, C.I.피그먼트 옐로우 180, C.I.피그먼트 옐로우 185; Pigment Yellow 1, C.I. Pigment Yellow 3, C.I. Pigment Yellow 12, CI Pigment Yellow 13, CI Pigment Yellow 14, CI Pigment Yellow 15, CI Pigment Yellow 16, CI Pigment Yellow 17, CI Pigment Yellow 20, CI Pigment Yellow 24, CI Pigment Yellow 31, CI Pigment Yellow 55, CI Pigment Yellow 60, CI Pigment Yellow 61, CI Pigment Yellow 65, CI Pigment Yellow 71, CI Pigment Yellow 73, CI Pigment Yellow 74, CI Pigment Yellow 81 CI Pigment Yellow 83, CI Pigment Yellow 93, CI Pigment Yellow 95, CI Pigment Yellow 97, CI Pigment Yellow 98, CI Pigment Yellow 100, CI Pigment Yellow 101, CI Pigment Yellow 1O4, CI Pigment Yellow 106, CI Pigment Yellow 108, CI Pigment Yellow 109, CI Pigment Yellow 110, CI Pigment Yellow 113, CI Pigment Yellow 114, CI Pigment Yellow 116, CI . Pigment Yellow 117, C.I. Pigment Yellow 119, C.I. Pigment Yellow 120, C.I. Pigment Yellow 126, CI Pigment Yellow 127, CI Pigment Yellow 128, CI Pigment Yellow 129, CI Pigment Yellow 138, CI Pigment Yellow 139, CI Pigment Yellow 150, CI Pigment Yellow 151, CI Pigment Yellow 152, CI Pigment Yellow 153, CI Pigment Yellow 154, CI Pigment Yellow 155, CI Pigment Yellow 156, CI Pigment Yellow 166, CI Pigment Yellow 168, CI Pigment Yellow 175, CI Pigment Yellow 180 CI pigment yellow 185;

C.I.피그먼트 오렌지 1, C.I.피그먼트 오렌지 5, C.I.피그먼트 오렌지 13, C.I.피그먼트 오렌지 14, C.I.피그먼트 오렌지 16, C.I.피그먼트 오렌지 17, C.I.피그먼트 오렌지 24, C.I.피그먼트 오렌지 34, C.I.피그먼트오렌지 36, C.I.피그먼트 오렌지 38, C.I.피그먼트 오렌지 40, C.I.피그먼트 오렌지 43, C.I.피그먼트 오렌지46, C.I.피그먼트 오렌지 49, C.I.피그먼트 오렌지 51, C.I.피그먼트 오렌지 61, C.I.피그먼트 오렌지 63, C.I.피그먼트 오렌지 64, C.I.피그먼트 오렌지 71, C.I.피그먼트 오렌지 73; CI Pigment Orange 1, CI Pigment Orange 5, CI Pigment Orange 13, CI Pigment Orange 14, CI Pigment Orange 16, CI Pigment Orange 17, CI Pigment Orange 24, CI Pigment Orange 34, CI Pigment Orange 36, CI Pigment Orange 38, CI Pigment Orange 40, CI Pigment Orange 43, CI Pigment Orange 46, CI Pigment Orange 49, CI Pigment Orange 51, CI Pigment Orange 61, CI Pigment Orange 63, CI pigment orange 64, CI pigment orange 71, CI pigment orange 73;

C.I.피그먼트 바이올렛 1, C.I.피그먼트 바이올렛 19, C.I.피그먼트 바이올렛 23, C.I.피그먼트 바이올렛 29, C.I.피그먼트 바이올렛 32, C.I.피그먼트 바이올렛 36, C.I.피그먼트 바이올렛 38; C.I. Pigment Violet 1, C.I.Pigment Violet 19, C.I.Pigment Violet 23, C.I.Pigment Violet 29, C.I.Pigment Violet 32, C.I.Pigment Violet 36, C.I.Pigment Violet 38;

C.I.피그먼트 레드 1, C.I.피그먼트 레드 2, C.I.피그먼트 레드 3, C.I.피그먼트 레드 4, C.I.피그먼트 레드 5, C.I.피그먼트 레드 6, C.I.피그먼트 레드 7, C.I.피그먼트 레드 8, C.I.피그먼트 레드 9, C.I.피그먼트 레드 10, C.I.피그먼트 레드 11, C.I.피그먼트 레드 12, C.I.피그멘트 레드 14, C.I.피그먼트 레드 15, C.I.피그먼트레드 16, C.I.피그먼트 레드 17, C.I.피그먼트 레드 18, C.I.피그먼트레드 19, C.I.피그먼트 레드 21, C.I.피그먼트 레드 22, C.I.피그먼트 레드 23, C.I.피그먼트 레드 30, C.I.피그먼트 레드 31, C.I.피그먼트 레드 32, C.I.피그먼트 레드 37, C.I.피그먼트 레드 38, C.I.피그먼트 레드 40, C.I.피그먼트 레드 41, C.I.피그먼트 레드 42, C.I.피그먼트 레드 48:1, C.I.피그먼트 레드 48:2, C.I.피그먼트 레드 48:3, C.I.피그먼트 레드 48:4, C.I.피그먼트 레드 49:1, C.I.피그먼트 레드 49:2, C.I.피그먼트 레드 50:1, C.I.피그먼트 레드 52:1, C.I.피그먼트 레드 53:1, C.I.피그먼트 레드 57, C.I.피그먼트 레드 57:1, C.I.피그먼트 레드 57:2, C.I.피그먼트 레드 58:2, C.I.피그먼트 레드 58:4, C.I.피그먼트 레드 60:1, C.I.피그먼트 레드 63:1, C.I.피그먼트 레드 63:2, C.I.피그먼트 레드 64:1, C.I.피그먼트 레드 81:1, C.I.피그먼트 레드 83, C.I.피그먼트 레드 88, C.I.피그먼트 레드 90:1, C.I.피그먼트 레드 97, C.I.피그먼트 레드 101, CI Pigment Red 1, CI Pigment Red 2, CI Pigment Red 3, CI Pigment Red 4, CI Pigment Red 5, CI Pigment Red 6, CI Pigment Red 7, CI Pigment Red 8, CI Pigment CI Pigment Red 9, CI Pigment Red 10, CI Pigment Red 11, CI Pigment Red 12, CI Pigment Red 14, CI Pigment Red 15, CI Pigment Red 16, CI Pigment Red 17, CI Pigment Red 18, CI Pigment Red 19, CI Pigment Red 21, CI Pigment Red 22, CI Pigment Red 23, CI Pigment Red 30, CI Pigment Red 31, CI Pigment Red 32, CI Pigment Red 37, CI Pigment Red 38, CI Pigment Red 40, CI Pigment Red 41, CI Pigment Red 42, CI Pigment Red 48: 1, CI Pigment Red 48: 2, CI Pigment Red 48: 3, CI Pigment CIment Red 48: 4, CI Pigment Red 49: 1, CI Pigment Red 49: 2, CI Pigment De 50: 1, CI Pigment Red 52: 1, CI Pigment Red 53: 1, CI Pigment Red 57, CI Pigment Red 57: 1, CI Pigment Red 57: 2, CI Pigment Red 58: 2 , CI Pigment Red 58: 4, CI Pigment Red 60: 1, CI Pigment Red 63: 1, CI Pigment Red 63: 2, CI Pigment Red 64: 1, CI Pigment Red 81: 1, CI Pigment Red 83, CI Pigment Red 88, CI Pigment Red 90: 1, CI Pigment Red 97, CI Pigment Red 101,

C.I.피그먼트 레드 102, C.I.피그먼트 레드 104, C.I.피그먼트 레드 105, C.I.피그먼트 레드 106, C.I.피그먼트 레드 108, C.I.피그먼트 레드 112, C.I.피그먼트 레드 113, C.I.피그먼트 레드 114, C.I.피그먼트 레드 122, C.I.피그먼트 레드 123, C.I.피그먼트 레드 144, C.I.피그먼트 레드 146, C.I.피그먼트 레드 149, C.I.피그먼트 레드 150, C.I.피그먼트 레드 151, C.I.피그먼트 레드 166, C.I.피그먼트 레드 168, C.I.피그먼트 레드 170, C.I.피그먼트 레드 171, C.I.피그먼트 레드 172, C.I.피그먼트 레드 174, C.I.피그먼트 레드 175, C.I.피그먼트 레드 176, C.I.피그먼트 레드 177, C.I.피그먼트 레드 178, C.I.피그먼트 레드 179, C.I.피그먼트 레드 180, C.I.피그먼트 레드 185, C.I.피그먼트 레드 187, C.I.피그먼트 레드 188, C.I.피그먼트 레드 190, C.I.피그먼트 레드 193, C.I.피그먼트 레드 194, C.I.피그먼트 레드 202, C.I.피그먼트 레드 206, C.I.피그먼트 레드 207, C.I.피그먼트 레드 208, C.I.피그먼트 레드 209, C.I.피그먼트 레드 215, C.I.피그먼트 레드 216, C.I.피그먼트 레드 220, C.I.피그먼트 레드 224, C.I.피그먼트 레드 226, C.I.피그먼트 레드 242, C.I.피그먼트 레드 243, C.I.피그먼트 레드 245, C.I.피그먼트 레드 254, C.I.피그먼트 레드 255, C.I.피그먼트 레드 264, C.I.피그먼트 레드 265; CI Pigment Red 102, CI Pigment Red 104, CI Pigment Red 105, CI Pigment Red 106, CI Pigment Red 108, CI Pigment Red 112, CI Pigment Red 113, CI Pigment Red 114, CI Pigment CI Pigment Red 122, CI Pigment Red 123, CI Pigment Red 144, CI Pigment Red 146, CI Pigment Red 149, CI Pigment Red 150, CI Pigment Red 151, CI Pigment Red 166, CI Pigment Red 168, CI Pigment Red 170, CI Pigment Red 171, CI Pigment Red 172, CI Pigment Red 174, CI Pigment Red 175, CI Pigment Red 176, CI Pigment Red 177, CI Pigment Red 178, CI Pigment Red 179, CI Pigment Red 180, CI Pigment Red 185, CI Pigment Red 187, CI Pigment Red 188, CI Pigment Red 190, CI Pigment Red 193, CI Pigment Red 194, CI Pigment Red 202, CI Pigman Red 206, CI Pigment Red 207, CI Pigment Red 208, CI Pigment Red 209, CI Pigment Red 215, CI Pigment Red 216, CI Pigment Red 220, CI Pigment Red 224, CI Pigment Red 226 CI Pigment Red 242, CI Pigment Red 243, CI Pigment Red 245, CI Pigment Red 254, CI Pigment Red 255, CI Pigment Red 264, CI Pigment Red 265;

C.I.피그먼트 블루 15, C.I.피그먼트 블루 15:3, C.I.피그먼트 블루 15:4, C.I.피그먼트 블루 15:6, C.I.피그먼트 블루 60; C.I. Pigment Blue 15, C.I. Pigment Blue 15: 3, C.I. Pigment Blue 15: 4, C.I. Pigment Blue 15: 6, C.I.Pigment Blue 60;

C.I.피그먼트 그린 7, C.I.피그먼트 그린 36,C.I. pigment green 7, C.I. pigment green 36,

C.I.피그먼트 브라운 23, C.I.피그먼트 브라운 25;C.I. Pigment Brown 23, C.I.Pigment Brown 25;

C.I.피그먼트 블랙 1, C.I.피그먼트 블랙 7. C.I. Pigment Black 1, C.I.Pigment Black 7.

또한, 이러한 유기 안료는 예를 들면 황산 재결정법, 용제 세정법이나 이들 조합 등에 의해 정제하여 사용할 수 있다. Moreover, such an organic pigment can be refine | purified and used, for example by the sulfuric acid recrystallization method, the solvent washing method, these combinations, etc.

또한, 상기 무기 안료로서는 예를 들면 산화 티탄, 황산 바륨, 탄산 칼슘, 아연화, 황산연, 황색연, 아연황, 철단 (적색 산화철 (III)), 카드뮴 적(赤), 군청, 감청, 산화 크롬 녹(綠), 코발트 녹(綠), 호박, 티탄 블랙, 합성 철흑, 카본 블랙 등을 들 수 있다. Examples of the inorganic pigments include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zincated, lead sulfate, yellow lead, zinc sulfur, iron group (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine blue, blue wire, and chromium oxide. Rust, cobalt rust, amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black, etc. are mentioned.

본 발명에 있어서, 유기 안료 및 무기 안료는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있고, 또한 유기 안료와 무기 안료를 병용할 수 있다. 화소를 형성할 때는 바람직하게는 1종 이상의 유기 안료가 사용된다. 또한 블랙 매트릭스를 형성할 때는 바람직하게는 2종 이상의 유기 안료 및(또는) 카본 블랙이 사용된다. In this invention, an organic pigment and an inorganic pigment can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively, and can also use an organic pigment and an inorganic pigment together. When forming a pixel, 1 or more types of organic pigments are used preferably. Also, when forming the black matrix, preferably two or more organic pigments and / or carbon blacks are used.

본 발명에 있어서, 상기 각 안료는 소망에 의해 그 입자 표면을 중합체로 개질하여 사용할 수 있다. 안료의 입자 표면을 개질하는 중합체로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 평 8-259876호 공보 등에 기재된 중합체나 시판된 각종 안료 분산용의 중합체 또는 올리고머 등을 들 수 있다. In the present invention, each of the pigments can be used by modifying the particle surface thereof with a polymer as desired. As a polymer which modifies the particle surface of a pigment, the polymer of Unexamined-Japanese-Patent No. 8-259876, etc., the polymer for various pigment dispersions, and oligomer etc. which are marketed are mentioned, for example.

또한, 본 발명에 있어서의 착색제는 소망에 의해, 분산제와 같이 사용할 수 있다. In addition, the coloring agent in this invention can be used like a dispersing agent as needed.

상기 분산제로서는, 예를 들면 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양쪽성, 실리콘계, 불소계 등의 계면활성제를 들 수 있다. As said dispersing agent, surfactant, such as a cationic type, an anionic type, nonionic type, amphoteric, silicone type, and fluorine type, is mentioned, for example.

상기 계면활성제의 예로서는 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르와 같은 폴리옥시에틸렌알킬에테르; 폴리옥시에틸렌 n-옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌 n-노닐페닐에테르와 같은 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르; 폴리에틸렌글리콜디라우레이트, 폴리에틸렌글리콜디스테아레이트와 같은 폴리에틸렌글리콜디에스테르; 소르비탄지방산에스테르; 지방산변성 폴리에스테르; 3급 아민 변성 폴리우레탄; 폴리에틸렌이민류 등 외, 이하 상품명으로 KP (신에츠 가가꾸 고교(주) 제조), 폴리플로우 (교에이샤 가가꾸(주) 제조), 에프톱 (토켐 프로덕츠사 제조), 메가팩 (다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주) 제조), 플로우라이드 (스미또모 쓰리엠(주) 제조), 아사히가드, 서프론 (이상, 아사히 가라스(주) 제조), Disperbyk (빅케미ㆍ저팬(주) 제조), 솔스파스 (세네카(주) 제조) 등을 들 수 있다. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and polyoxyethylene oleyl ether; Polyoxyethylene alkyl phenyl ethers such as polyoxyethylene n-octylphenyl ether and polyoxyethylene n-nonylphenyl ether; Polyethylene glycol diesters such as polyethylene glycol dilaurate and polyethylene glycol distearate; Sorbitan fatty acid esters; Fatty acid modified polyesters; Tertiary amine modified polyurethanes; In addition to polyethyleneimines, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), polyflow (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.), and MegaPak (Daintbone Ink) Kagaku Kogyo Co., Ltd.), Flowride (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Supron (above, Asahi Glass Co., Ltd.), Disperbyk (Bikkemi Japan Co., Ltd.), Sol spas (made by Seneca Co., Ltd.) etc. are mentioned.

이러한 계면활성제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. These surfactant can be used individually or in mixture of 2 or more types.

계면활성제의 사용량은 착색제 100 중량부에 대하여 바람직하게는 50 중량부 이하, 보다 바람직하게는 0 내지 30 중량부이다. The amount of the surfactant to be used is preferably 50 parts by weight or less, more preferably 0 to 30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the colorant.

(B) 알칼리 가용성 수지(B) alkali soluble resin

본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지로서는, 착색제에 대하여 결합제로서 작용하여, 또한 착색층을 형성할 때에, 그 현상 처리 공정에서 이용되는 현상액, 바람직하게는 알칼리 현상액에 대하여 가용성을 갖는 것이면, 특별히 한정되는 것이 아니다. 그 중에서도 카르복실기를 갖는 알칼리 가용성 수지가 바람직하고, 특히, 1 개 이상의 카르복실기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체 (이하, 「카르복실기 함유 불포화 단량체」라고 한다)와 다른 공중합 가능한 에틸렌성 불포화 단량체 (이하, 「공중합성 불포화 단량체」라고 한다)와의 공중합체 (이하, 「카르복실기 함유 공중합체」라고 한다)가 바람직하다. As alkali-soluble resin in this invention, when it acts as a binder with respect to a coloring agent, and also forms a colored layer, if it has solubility with respect to the developing solution used at the developing process process, Preferably alkaline developing solution, it will be specifically limited. It is not. Especially, alkali-soluble resin which has a carboxyl group is preferable, and ethylenically unsaturated monomer which can copolymerize another ethylenically unsaturated monomer (henceforth "carboxyl group-containing unsaturated monomer") which has one or more carboxyl groups (hereinafter, "copolymerization" Copolymer (hereinafter referred to as "carboxyl group-containing copolymer") is preferred.

카르복실기 함유 불포화 단량체로서는, 예를 들면 As a carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example

(메트)아크릴산, 크로톤산, α-클로로아크릴산, 신남산과 같은 불포화 모노 카르복실산; Unsaturated mono carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid and cinnamic acid;

말레산, 말레산 무수물, 푸마르산, 이타콘산, 이타콘산 무수물, 시트라콘산, 시트라콘산 무수물, 메사콘산과 같은 불포화 디카르복실산 또는 그 무수물; Unsaturated dicarboxylic acids or anhydrides thereof such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid;

3가 이상의 불포화 다가 카르복실산 또는 그 무수물; Trivalent or higher unsaturated polyvalent carboxylic acid or anhydrides thereof;

숙신산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸], 프탈산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]과 같은 2가 이상의 다가 카르복실산의 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르; Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] of a divalent or higher polyhydric carboxylic acid such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and mono phthalate [2- (meth) acryloyloxyethyl] ester;

ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트와 같은 양 말단에 카르복시기와 수산기를 갖는 중합체의 모노(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. and mono (meth) acrylates of polymers having a carboxyl group and a hydroxyl group at both terminals, such as? -carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.

이들 카르복실기 함유 불포화 단량체 중, 숙신산모노(2-아크릴로일옥시에틸) 및 프탈산모노(2-아크릴로일옥시에틸)은 각각 M-5300 및 M-5400 (도아 고세이(주)제조)의 상품명으로 시판되고 있다. Among these carboxyl group-containing unsaturated monomers, mono succinate (2-acryloyloxyethyl) and mono phthalate (2-acryloyloxyethyl) are trademarks of M-5300 and M-5400 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), respectively. It is commercially available.

상기 카르복실기 함유 불포화 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said carboxyl group-containing unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

또한 공중합성 불포화 단량체로서는 예를 들면 Moreover, as a copolymerizable unsaturated monomer, for example

스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-클로로스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르와 같은 방향족 비닐 화합물; Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl Aromatic vinyl compounds such as ether, m-vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, and p-vinyl benzyl glycidyl ether;

인덴, 1-메틸인덴, 아세나프틸렌과 같은 다른 중합성 방향족 화합물; Other polymerizable aromatic compounds such as indene, 1-methylindene and acenaphthylene;

메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-프로필(메트)아크릴레이트, i-프로필(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, i-부틸(메트)아크릴레이트, sec-부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 3-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 3-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 페닐(메트)아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타디에닐(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산에스테르; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate , 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (Meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (Meth) acrylate, methoxy propylene glycol (meth) acrylate, Toxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, dicyclopentadienyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth Unsaturated carboxylic acid esters such as acrylate;

2-아미노에틸(메트)아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸(메트)아크릴레이트, 2-아미노프로필(메트)아크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트, 3-아미노프로필(메트)아크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필(메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산아미노알킬에스테르; 2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylic Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as latex and 3-dimethylaminopropyl (meth) acrylate;

글리시딜(메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산글리시딜에스테르; 아세트산비닐, 프로피온산비닐, 부티르산비닐, 벤조산비닐과 같은 카르복실산비닐에스테르; Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate; Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate;

비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르와 같은 불포화 에테르; Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether and allyl glycidyl ether;

(메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화비닐리덴과 같은 시안화비닐 화합물; Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and vinylidene cyanide;

(메트)아크릴아미드, α-클로로아크릴아미드, N-2-히드록시에틸(메트)아크릴아미드와 같은 불포화 아미드; Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;

말레이미드, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드와 같은 불포화 이미드; Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;

1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌와 같은 지방족 공액 디엔; Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene;

폴리스티렌, 폴리메틸(메트)아크릴레이트, 폴리-n-부틸(메트)아크릴레이트, 폴리실록산과 같은 중합체 분자쇄의 말단에 모노(메트)아크릴로일기를 갖는 매크로단량체 등을 들 수 있다. The macromonomer which has a mono (meth) acryloyl group at the terminal of polymer molecular chains, such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane, etc. are mentioned.

이러한 공중합성 불포화 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. These copolymerizable unsaturated monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 있어서의 카르복실기 함유 공중합체로서는 (i) (메트)아크릴산을 필수 성분으로 하고, 경우에 따라 숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸] 및 ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트을 포함하는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 화합물을 또한 함유하는 카르복실기 함유 불포화 단량체 성분과, (ii) 스티렌, 아세나프틸렌, 메틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, N-페닐말레이미드, 폴리스티렌 매크로단량체 및 폴리메틸메타크릴레이트매크로 단량체를 포함하는 군으로부터 선택되는 1종 이상과의 공중합체 (이하, 「카르복실기 함유 공중합체 I」라고 한다)가 바람직하다. As a carboxyl group-containing copolymer in this invention, (i) (meth) acrylic acid is an essential component, and monosuccinate mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and (omega) -carboxypolycaprolactone mono (meth) A carboxyl group-containing unsaturated monomer component which also contains at least one compound selected from the group comprising acrylate; and (ii) styrene, acenaphthylene, methyl (meth) acrylate, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. At least one selected from the group consisting of allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, N-phenylmaleimide, polystyrene macromonomer and polymethylmethacrylate macromonomer Preferred is a copolymer with hereinafter (hereinafter referred to as "carboxyl group-containing copolymer I").

카르복실기 함유 공중합체 I의 구체적인 예로서는, As a specific example of the carboxyl group-containing copolymer I,

(메트)아크릴산/메틸(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/벤질(메트)아크릴레이트 공중합체, (Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate Copolymer,

(메트)아크릴산/메틸(메트)아크릴레이트/폴리스티렌매크로단량체 공중합체, (Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,

(메트)아크릴산/메틸(메트)아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트매크로 단량체 공중합체, (Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macro monomer copolymer,

(메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트/폴리스티렌매크로 단량체 공중합체, (Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,

(메트)아크릴산/벤질(메트)아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트매크로 단량체 공중합체, (Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macro monomer copolymer,

(메트)아크릴산/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/벤질(메트)아크릴레이트/폴리스티렌매크로 단량체 공중합체, (Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,

(메트)아크릴산/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/벤질(메트)아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트매크로 단량체 공중합체, (Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,

(메트)아크릴산/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (Meth) acrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer,

(메트)아크릴산/숙신산모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (Meth) acrylic acid / mono succinate mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer,

(메트)아크릴산/숙신산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]/스티렌/알릴(메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체 (메트)아크릴산/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/글리세롤모노(메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (Meth) acrylic acid / succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] / styrene / allyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer (meth) acrylic acid / styrene / benzyl (meth) acrylate / Glycerol mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer,

(메트)아크릴산/ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트/스티렌/벤질(메트)아크릴레이트/글리세롤모노(메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (Meth) acrylic acid / ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate / styrene / benzyl (meth) acrylate / glycerol mono (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer,

(메트)아크릴산/아세나프틸렌/벤질(메트)아크릴레이트/2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트/ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트 공중합체 등을 들 수 있다. (Meth) acrylic acid / acenaphthylene / benzyl (meth) acrylate / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate /?-Carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate copolymer and the like.

카르복실기 함유 공중합체에 있어서의 카르복실기 함유 불포화 단량체의 공중합 비율은 바람직하게는 5 내지 50 중량%, 보다 바람직하게는 10 내지 40 중량%이다. 카르복실기 함유 불포화 단량체의 공중합 비율이 5 중량% 미만이면 얻어지는 감방사선성 조성물의 알칼리 현상액에 대한 용해성이 저하하는 경향이 있다. 한편 50 중량%를 초과하면, 알칼리 현상액에 대한 용해성이 너무 커지고, 알칼리 현상액에 의해 현상할 때, 착색층의 기판으로부터의 탈락이나 착색층 표면의 막거칠음을 초래하기 쉽게 되는 경향이 있다. The copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer in the carboxyl group-containing copolymer is preferably 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight. When the copolymerization ratio of a carboxyl group-containing unsaturated monomer is less than 5 weight%, there exists a tendency for the solubility to the alkaline developing solution of the radiation sensitive composition obtained to fall. On the other hand, when it exceeds 50 weight%, the solubility with respect to an alkaline developing solution will become large too much, and when developing with an alkaline developing solution, there exists a tendency which becomes easy to cause the fall of the colored layer from the board | substrate and the film | membrane of the colored layer surface.

본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 겔 투과 크로마토그래피 (GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)으로 측정한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 (이하, 「Mw」라고 한다)는 바람직하게는 3,000 내지 300,000, 보다 바람직하게는 5,000 내지 100,000이다. The polystyrene reduced weight average molecular weight (hereinafter referred to as "Mw") measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is preferably 3,000 to 300,000, more preferably. Preferably 5,000 to 100,000.

또한, 본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 겔 투과 크로마토그래피 (GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)으로 측정한 폴리스티렌 환산 수평균 분자량 ( 이하, 「Mn」이라고 한다)는 바람직하게는 3,000 내지 60,000, 보다 바람직하게는 5,000 내지 25,000이다. Moreover, polystyrene conversion number average molecular weight (henceforth "Mn") measured by the gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of alkali-soluble resin in this invention becomes like this. Preferably it is 3,000-60,000, More preferably, it is 5,000-25,000.

본 발명에 있어서는 이러한 특정한 Mw 및 Mn을 갖는 알칼리 가용성 수지를 사용함으로써, 현상성이 우수한 감방사선성 조성물이 얻어진다. 또한, 그것을 이용함으로써 날카로운 패턴 엣지를 갖는 화소 패턴 및 블랙 매트릭스 패턴을 형성할 수 있음과 동시에, 현상 시에 미노광부의 기판 상 및 차광층 상에 잔사, 바탕의 오염, 막 잔기 등이 발생하기 어렵다. In this invention, the radiation sensitive composition excellent in developability is obtained by using alkali-soluble resin which has such specific Mw and Mn. In addition, by using it, a pixel pattern and a black matrix pattern having sharp pattern edges can be formed, and at the time of development, residues, background contamination, film residues, etc. are hardly generated on the substrate and the light shielding layer of the unexposed part. .

또한, 본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 Mw와 Mn의 비 (Mw/Mn)는 바람직하게는 1 내지 5, 특히 바람직하게는 1 내지 4이다. Moreover, ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of alkali-soluble resin in this invention becomes like this. Preferably it is 1-5, Especially preferably, it is 1-4.

본 발명에 있어서, 알칼리 가용성 수지는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. In this invention, alkali-soluble resin can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 사용량은 (A) 착색제 100 중량부에 대하여 바람직하게는 10 내지 1,000 중량부, 보다 바람직하게는 20 내지 500 중량부이다. 알칼리 가용성 수지의 사용량이 10 중량부 미만이면 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 오염이나 막 잔기 발생할 우려가 있다. 한편, 1,O00 중량부를 초과하면 상대적으로 착색제 농도가 저하되기 때문에, 박막으로서 목적하는 농도를 달성하는 것이 곤란해지는 경우가 있다. The usage-amount of alkali-soluble resin in this invention becomes like this. Preferably it is 10-1,000 weight part, More preferably, it is 20-500 weight part with respect to 100 weight part of (A) coloring agents. If the amount of the alkali-soluble resin is less than 10 parts by weight, for example, alkali developability may decrease or contamination or film residue may occur on the substrate or the light shielding layer of the unexposed part. On the other hand, when it exceeds 1,00 weight part, since a coloring agent density | concentration falls relatively, it may become difficult to achieve the target density | concentration as a thin film.

(C) 다관능성 단량체 또는 이와 단관능성 화합물의 조합(C) a polyfunctional monomer or a combination of a monofunctional compound

본 발명에 있어서의 다관능성 단량체는, 2 개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 단량체이다. The polyfunctional monomer in this invention is a monomer which has a 2 or more polymerizable unsaturated bond.

다관능성 단량체의 예로서는, As an example of a polyfunctional monomer,

에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜과 같은 알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트; Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;

폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜과 같은 폴리알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트; Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;

글리세린, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨과 같은 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트나 이들의 디카르복실산 변성물; Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, or modified dicarboxylic acids thereof;

폴리에스테르, 에폭시 수지, 우레탄 수지, 알키드 수지, 실리콘 수지, 스피란 수지 등의 올리고(메트)아크릴레이트; Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin and spiran resin;

양 말단 히드록시폴리-1,3-부타디엔, 양 말단 히드록시폴리이소프렌, 양 말단 히드록시폴리카프로락톤 등의 양 말단 히드록실화 중합체의 디(메트)아크릴레이트나, Di (meth) acrylates of both terminal hydroxylated polymers such as both terminal hydroxypoly-1,3-butadiene, both terminal hydroxypolyisoprene and both terminal hydroxypolycaprolactone,

트리스[2-(메트)아크릴로일옥시에틸]포스페이트 등을 들 수 있다. Tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate etc. are mentioned.

이들 다관능성 단량체 중, 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트나 이들의 디카르복실산 변성물, 구체적으로는 트리메티롤프로판트리아크릴레트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사메타크릴레이트, 하기 화학식 2 또는 화학식 3으로 표시되는 화합물 등이 바람직하다. Of these polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of trivalent or higher polyhydric alcohols and their dicarboxylic acid modified substances, specifically trimetholpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol Triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylic The rate, dipentaerythritol hexamethacrylate, the compound represented by the following formula (2) or formula (3), and the like are preferable.

특히, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트가, 착색층의 강도가 높고, 착색층의 표면 평활성이 우수하고, 또한 미노광부의 기판 상 및 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔기 등이 발생하기 어렵다는 점에서 바람직하다. In particular, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate have high strength of the colored layer, excellent surface smoothness of the colored layer, and further, on the substrate and the light shielding layer of the unexposed part. It is preferable in that it is difficult to generate background contamination, membrane residues, and the like.

본 발명에 있어서, 다관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. In this invention, a polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 있어서, 다관능성 단량체의 사용량은 (B) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 바람직하게는 5 내지 500 중량부, 보다 바람직하게는 20 내지 300 중량부이다. 다관능성 단량체의 사용량이 5 중량부 미만이면, 착색층의 강도나 표면 평활성이 저하되는 경향이 있다. 한편, 500 중량부를 초과하면 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔기 등이 발생하기 쉬운 경향이 있다. In the present invention, the amount of the polyfunctional monomer used is preferably 5 to 500 parts by weight, more preferably 20 to 300 parts by weight based on 100 parts by weight of the (B) alkali-soluble resin. When the usage-amount of a polyfunctional monomer is less than 5 weight part, there exists a tendency for the intensity | strength and surface smoothness of a colored layer to fall. On the other hand, when it exceeds 500 weight part, alkali developability will fall, for example, tends to generate background contamination, film | membrane residue, etc. on the board | substrate or light shielding layer of an unexposed part.

또한, 본 발명에 있어서는, 다관능성 단량체와 중합성 불포화 결합을 1 개 갖는 단관능성 단량체의 조합을 이용할 수 있다. In addition, in this invention, the combination of the polyfunctional monomer and the monofunctional monomer which has one polymerizable unsaturated bond can be used.

상기 단관능성 단량체로서는 예를 들면 상기 (B) 알칼리 가용성 수지에 대해서 예시한 카르복실기 함유 불포화 단량체나 공중합성 불포화 단량체와 동일한 단량체 이외에, N-(메트)아크릴로일모르폴린, N-비닐피롤리돈, N-비닐-ε-카프로락탐이나 시판품으로서 M-5600 (상품명, 도아 고세이(주) 제조) 등을 들 수 있다. As said monofunctional monomer, N- (meth) acryloyl morpholine and N-vinylpyrrolidone other than the monomer similar to the carboxyl group-containing unsaturated monomer and copolymerizable unsaturated monomer which were illustrated, for example with respect to said (B) alkali-soluble resin M-5600 (brand name, Toagosei Co., Ltd.) etc. are mentioned as N-vinyl- epsilon caprolactam and a commercial item.

이러한 단관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 상기 단관능성 단량체의 사용 비율은 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계에 대하여 바람직하게는 90 중량% 이하, 보다 바람직하게는 50 중량% 이하이다. 이 경우, 단관능성 단량체의 사용 비율이 90 중량%를 초과하면 착색층의 강도나 표면 평활성이 불충분해지는 우려가 있다. These monofunctional monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types. The use ratio of the said monofunctional monomer becomes like this. Preferably it is 90 weight% or less, More preferably, it is 50 weight% or less with respect to the sum total of a polyfunctional monomer and a monofunctional monomer. In this case, when the use ratio of a monofunctional monomer exceeds 90 weight%, there exists a possibility that the intensity | strength and surface smoothness of a colored layer may become inadequate.

(D) 감방사선성 중합 개시제(D) radiation sensitive polymerization initiator

본 발명에 있어서, 감방사선성 중합 개시제로서는, 상기 화학식 1로 표시되는 화합물 (이하, 「중합 개시제 (1)」이라고 한다)가 이용된다. 이 화합물은 노광에 의해 상기 (C) 다관능성 단량체 및 경우에 따라 사용되는 단관능성 단량체의 중합을 개시할 수 있는 활성종을 생기는 작용을 갖는다. In the present invention, as the radiation-sensitive polymerization initiator, a compound represented by the formula (1) (hereinafter referred to as "polymerization initiator (1)") is used. This compound has the effect | action which produces the active species which can start superposition | polymerization of the said (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer used optionally by exposure.

화학식 1에 있어서, R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7 및 R8의 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기로서는 예를 들면 메틸기, 에틸기,n-프로필기, i-프로필기,n-부틸기, i-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기,n-펜틸기,n-헥실기,n-헵틸기,n-옥틸기,n-노닐기,n-데실기,n-운데실기,n-도데실기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다.In the formula 1, R 1, R 2, R 3, R 4, R 5, R 6, R 7 , and a straight chain of R 8 having from 1 to 12, as a branched or cyclic alkyl group such as methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, etc. are mentioned.

또한, R4, R5, R6, R7 및 R8의 할로겐 원자로서는, 예를 들면 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자 등을 들 수 있다.Moreover, as a halogen atom of R <4> , R <5> , R <6> , R <7> and R <8> , a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. are mentioned, for example.

또한, R4, R5, R6, R7 및 R8의 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기로서는, 예를 들면 메톡시기, 에톡시기,n-프로폭시기, i-프로폭시기,n-부톡시기, i-부톡시기, sec-부톡시기, t-부톡시기 등을 들 수 있다.Moreover, as a C1-C4 linear or branched alkoxyl group of R <4> , R <5> , R <6> , R <7> and R <8> , For example, a methoxy group, an ethoxy group, n-propoxy group, i-prop An aoxy group, n-butoxy group, i-butoxy group, sec-butoxy group, t-butoxy group, etc. are mentioned.

또한, R6의 수산기 및 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 포함하는 군으로부터 선택되는 치환기로 치환된 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기에 있어서, 치환기의 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기로서는, 예를 들면 상기 R4, R5, R6, R7 및 R8에 대해서 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기로서 예시한 기와 동일한 것을 들 수 있다.Moreover, in the C1-C12 linear, branched, or cyclic alkyl group substituted by the substituent chosen from the group containing the hydroxyl group of R <6> and a C1-C4 linear or branched alkoxyl group, C1-C12 is carbon number of a substituent Examples of the linear or branched alkoxyl group of 1 to 4 include, for example, examples of the linear or branched alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms with respect to R 4 , R 5 , R 6 , R 7 and R 8 . The same thing as a group is mentioned.

상기 치환기로서는, 예를 들면 수산기, 메톡시기 등이 바람직하다. As said substituent, a hydroxyl group, a methoxy group, etc. are preferable, for example.

또한 상기 치환기는 1종 이상 또는 1 개 이상 존재할 수 있다. In addition, one or more substituents may be present.

R6의 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기로서는, 예를 들면 상기 R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7 및 R8의 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기에 대해서 예시한 기와 동일한 것을 들 수 있다.As the straight, branched or cyclic alkyl group of 1 to 12 carbon atoms R 6, for example, the R 1, R 2, R 3 , R 4, R 5, R 6, R 7 , and from 1 to 12 carbon atoms of R 8 The same thing as the group illustrated about the linear, branched, or cyclic alkyl group of is mentioned.

또한, R6의 수산기 및 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 포함하는 군으로부터 선택되는 치환기로 치환된 탄소수 2 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기에 있어서, 치환기의 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기로서는, 예를 들면 상기 R4, R5, R6, R7 및 R8의 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기에 대해서 예시한 기와 동일한 것을 들 수 있다.In addition, in the C2-C4 linear or branched alkoxyl group substituted by the substituent chosen from the group containing the hydroxyl group of R <6> and a C1-C4 linear or branched alkoxyl group, carbon number of a substituent As a 1-4 linear or branched alkoxyl group, the C1-C4 linear or branched alkoxyl group of said R <4> , R <5> , R <6> , R <7> and R <8> is illustrated, for example. The same thing as a group is mentioned.

이러한 치환기로서는, 예를 들면 수산기, 메톡시기 등이 바람직하다. 이러한 치환기는 1종 이상 또는 1 개 이상 존재할 수 있다. As such a substituent, a hydroxyl group, a methoxy group, etc. are preferable, for example. One or more such substituents may be present.

R6의 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기로서는, 예를 들면 에톡시기,n-프로폭시기, i-프로폭시기,n-부톡시기, i-부톡시기, sec-부톡시기, t-부톡시기 등을 들 수 있다.As a C1-C4 linear or branched alkoxyl group of R <6> , For example, an ethoxy group, n-propoxy group, i-propoxy group, n-butoxy group, i-butoxy group, sec-butoxy group and t-butoxy group.

화학식 1에 있어서, R1로서는, 예를 들면 메틸기, 에틸기,n-프로필기, i-프로필기,n-부틸기, i-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기,n-펜틸기,n-헥실기 등이 바람직하다.In the formula (I), examples of R 1, for example, methyl, ethyl, n- propyl, i- propyl, n- butyl, i- butyl, sec- butyl, t- butyl, n- pentyl , n-hexyl group and the like are preferable.

또한, R2 및 R3으로서는, 예를 들면 메틸기,에틸기,n-프로필기, i-프로필기,n-부틸기, i-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기,n-펜틸기,n-헥실기,n-헵틸기,n-옥틸기 등이 바람직하다.As R 2 and R 3 , for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group , n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group and the like are preferable.

또한, R4, R5, R7 및 R8로서는 수소 원자, 메틸기, 에틸기 등이 바람직하다.Moreover, as R <4> , R <5> , R <7> and R <8> , a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, etc. are preferable.

또한, R6으로서는 예를 들면 메틸기,에틸기,n-프로필기, i-프로필기,n-부틸기, i-부틸기, sec-부틸기, t-부틸기,n-펜틸기,n-헥실기,n-헵틸기,n-옥틸기,n-데실기,n-도데실기, 히드록시메틸기, 2-히드록시에틸기, 메톡시메틸기, 2-메톡시에틸기, 메톡시기, 에톡시기,n-프로폭시기, i-프로폭시기,n-부톡시기, 히드록시메톡시기, 2-히드록시에톡시기, 메톡시메톡시기, 2-메톡시에톡시기 등이 바람직하다.As R 6 , for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-pentyl group, n-hex Real group, n-heptyl group, n-octyl group, n-decyl group, n-dodecyl group, hydroxymethyl group, 2-hydroxyethyl group, methoxymethyl group, 2-methoxyethyl group, methoxy group, ethoxy group, n- Propoxy group, i-propoxy group, n-butoxy group, hydroxymethoxy group, 2-hydroxyethoxy group, methoxymethoxy group, 2-methoxyethoxy group, etc. are preferable.

본 발명에 있어서의 바람직한 중합 개시제 (1)의 구체적인 예로서는, As a specific example of the preferable polymerization initiator (1) in this invention,

2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-에틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-ethylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-i-프로필벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-i-propylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-n-부틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-n-butylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-i-부틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-i-butylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-n-도데실벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-n-dodecylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(3,4-디메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (3,4-dimethylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-메톡시벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-methoxybenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-에톡시벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-ethoxybenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-히드록시메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-hydroxymethylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-[4-(2-히드록시에톡시)벤질]-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- [4- (2-hydroxyethoxy) benzyl] -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-[4-(2-메톡시에톡시)벤질]-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- [4- (2-methoxyethoxy) benzyl] -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-i-프로필벤질)-2-[(n-부틸)(메틸)아미노]-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-i-propylbenzyl) -2-[(n-butyl) (methyl) amino] -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-n-부틸벤질)-2-[(n-부틸)(메틸)아미노]-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2- (4-n-butylbenzyl) -2-[(n-butyl) (methyl) amino] -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one,

2-(4-i-프로필벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)펜탄-1-온, 2- (4-i-propylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) pentan-1-one,

2-(4-i-부틸벤질)-2-[(n-부틸)(메틸)아미노)]-1-(4-모르폴리노페닐)펜탄-1-온, 2- (4-i-butylbenzyl) -2-[(n-butyl) (methyl) amino)]-1- (4-morpholinophenyl) pentan-1-one,

2-(4-n-부톡시벤질)-2-[(n-부틸)(메틸)아미노]-1-(4-모르폴리노페닐)펜탄-1-온, 2- (4-n-butoxybenzyl) -2-[(n-butyl) (methyl) amino] -1- (4-morpholinophenyl) pentan-1-one,

2-(4-메틸벤질)-2-[디(n-옥틸)아미노]-1-(4-모르폴리노페닐)헥산-1-온, 2- (4-methylbenzyl) -2- [di (n-octyl) amino] -1- (4-morpholinophenyl) hexan-1-one,

2-(4-n-도데실벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)옥탄-1-온 등을 들 수 있다. 2- (4-n-dodecylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) octan-1-one, etc. are mentioned.

이러한 중합 개시제 (1) 중, 특히 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-(4-에틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-(4-i-프로필벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 등이 바람직하다. Among these polymerization initiators (1), 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one and 2- (4-ethylbenzyl)-in particular 2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2- (4-i-propylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl ) Butan-1-one and the like are preferable.

본 발명에 있어서, 중합 개시제 (1)은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. In this invention, a polymerization initiator (1) can be used individually or in mixture of 2 or more types.

또한, 본 발명에 있어서는, 중합 개시제 (1)과 함께, 다른 감방사선성 중합 개시제 (이하, 「다른 중합 개시제」라고 한다)를 병용할 수 있다. In addition, in this invention, another radiation sensitive polymerization initiator (henceforth "other polymerization initiator") can be used together with a polymerization initiator (1).

다른 중합 개시제로서는, 예를 들면 하기 화학식 4, 화학식 5 및 화학식 6의 각각으로 표시되는 주요 골격을 1종 이상 갖는 비이미다졸계 화합물, 아세토페논계 화합물, 벤조페논계 화합물, 벤조인계 화합물, α-디케톤계 화합물, 다핵퀴논계 화합물, 크산톤계 화합물, 포스핀계 화합물, 트리아진계 화합물, 카르바졸계 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서 비이미다졸계 화합물, 아세토페논계 화합물 등이 바람직하다. As another polymerization initiator, for example, the biimidazole type compound, the acetophenone type compound, the benzophenone type compound, the benzoin type compound, (alpha) which has 1 or more types of main skeleton represented by each of following General formula (4), (5) and (6) -Diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, phosphine compounds, triazine compounds, carbazole compounds and the like. Among these, a biimidazole type compound, an acetophenone type compound, etc. are preferable.

상기 비이미다졸계 화합물의 구체적인 예로서는, As a specific example of the said biimidazole type compound,

2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,

2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(4-에톡시카르보닐페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole,

2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,

2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,

2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,

2,2'-비스(2-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,

2,2'-비스(2,4-디브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole,

2,2'-비스(2,4,6-트리브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 들 수 있다. 2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole etc. are mentioned.

이러한 비이미다졸계 화합물 중, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 및 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸이 바람직하다. 이들 중에서, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸이 특히 바람직하다. Among these biimidazole compounds, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis ( 2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4, Preference is given to 4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole. Among them, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole is particularly preferred.

상기 비이미다졸계 화합물은, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said biimidazole type compound can be used individually or in mixture of 2 or more types.

본 발명에 있어서는, 다른 중합 개시제로서 비이미다졸계 화합물을 병용할 경우, 하기에 오는 수소 공여체를 첨가하는 것이, 감도를 더욱 개량할 수 있다는 점에서 바람직하다. 여기서 말하는 「수소 공여체」란 노광에 의해 비이미다졸계 화합물로부터 발생한 라디칼에 대하여, 수소 원자를 공여할 수 있는 화합물을 의미한다. In this invention, when using a biimidazole type compound together as another polymerization initiator, it is preferable at the point which can improve a sensitivity further to add the hydrogen donor which follows. The "hydrogen donor" here means the compound which can donate a hydrogen atom with respect to the radical which generate | occur | produced from the biimidazole type compound by exposure.

이러한 수소 공여체로서는, 하기로 정의하는 머캅탄계 화합물, 하기에 정의하는 아민계 화합물 등이 바람직하다. As such a hydrogen donor, the mercaptan type compound defined below, the amine compound defined below, etc. are preferable.

상기 머캅탄계 화합물은, 벤젠환 또는 복소환을 모핵으로 하고, 상기 모핵에 직접 결합한 머캅토기를 1 개 이상, 바람직하게는 1 내지 3 개, 더욱 바람직하게는1 내지 2 개 갖는 화합물 (이하 「머캅탄계 수소 공여체」라고 한다)이다. The mercaptan compound is a compound having a benzene ring or a heterocycle as a mother nucleus and having one or more mercapto groups directly bonded to the mother nucleus, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 (hereinafter, "mercap" Carbon-based hydrogen donor.

또한, 상기 아민계 화합물은, 벤젠환 또는 복소환을 모핵으로 하고, 상기 모핵 중심으로 직접 결합한 아미노기를 1 개 이상, 바람직하게는 1 내지 3 개, 더욱 바람직하게는 1 내지 2 개 갖는 화합물 (이하 「아민계 수소 공여체」라고 한다)이다. In addition, the amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocycle as a parent nucleus and having at least one, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the center of the nucleus (hereinafter, Amine hydrogen donor).

또한, 이러한 수소 공여체는, 머캅토기와 아미노기를 동시에 가질 수 있다. In addition, such a hydrogen donor may have a mercapto group and an amino group simultaneously.

이하, 수소공여체에 관해서, 보다 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the hydrogen donor will be described in more detail.

머캅탄계 수소 공여체는, 벤젠환 또는 복소환을 각각 1개 이상 가질 수 있고, 또한 벤젠환과 복소환과의 양자를 가질 수 있다. 이러한 환을 2개 이상 갖는 경우, 축합환을 형성할 수도 형성하지 않을 수도 있다. The mercaptan-based hydrogen donor may have one or more benzene rings or heterocycles, and may have both a benzene ring and a heterocycle. In the case of having two or more such rings, a condensed ring may or may not be formed.

또한, 머캅탄계 수소 공여체는, 머캅토기를 2 개 이상 갖는 경우, 1 개 이상의 유리 머캅토기가 잔존하면 잔존하는 머캅토기의 1개 이상이 알킬기, 아랄킬기 또는 아릴기로 치환될 수도 있고, 또한 1 개 이상의 유리 머캅토기가 잔존하면, 2 개의 황 원자가 알킬렌기 등의 2가의 유기기를 개재하여 결합한 구조 단위, 또는 2 개의 황 원자가 디술피드의 형태로 결합한 구조 단위를 가질 수 있다. When the mercaptan-based hydrogen donor has two or more mercapto groups, when one or more free mercapto groups remain, one or more of the remaining mercapto groups may be substituted with an alkyl group, an aralkyl group or an aryl group, and also one When the above free mercapto group remains, it may have a structural unit in which two sulfur atoms are bonded via a divalent organic group such as an alkylene group, or a structural unit in which two sulfur atoms are bonded in the form of disulfide.

또한, 머캅탄계 수소 공여체는, 머캅토기 이외의 부분에서, 카르복실기, 치환 또는 비치환의 알콕시카르보닐기, 치환 또는 비치환의 페녹시카르보닐기, 니트릴기 등에 의해서 치환될 수도 있다. The mercaptan-based hydrogen donor may be substituted by a carboxyl group, a substituted or unsubstituted alkoxycarbonyl group, a substituted or unsubstituted phenoxycarbonyl group, a nitrile group, or the like in portions other than the mercapto group.

이러한 머캅탄계 수소 공여체의 구체적인 예로서는 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2-머캅토벤조이미다졸, 2,5-디머캅토-1,3,4-티아디아졸, 2-머캅토-2,5-디메틸아미노피리딘 등을 들 수 있다. Specific examples of such mercaptan-based hydrogen donors include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2 Mercapto-2,5-dimethylaminopyridine and the like.

이러한 머캅탄계 수소 공여체 중, 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸이 바람직하고, 특히, 2-머캅토벤조티아졸이 바람직하다. Among these mercaptan-based hydrogen donors, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

다음으로, 아민계 수소 공여체는 벤젠환 또는 복소환을 각각 1 개 이상 가질 수 있고 또한 벤젠환과 복소환의 양자를 가질 수 있고 이러한 환을 2 개 이상 갖는 경우, 축합환을 형성 또는 형성하지 않을 수도 있다. Next, the amine-based hydrogen donor may have one or more benzene rings or heterocycles, and may have both a benzene ring and a heterocycle, and in the case of having two or more such rings, it may or may not form a condensed ring. have.

또한, 아민계 수소 공여체는, 아미노기의 1 개 이상이 알킬기 또는 치환 알킬기로 치환될 수도 있고, 또한 아미노기 이외의 개소에서, 카르복실기, 치환 또는 비치환의 알콕시카르보닐기, 치환 또는 비치환의 페녹시카르보닐기, 니트릴기 등에 의해서 치환될 수도 있다. In the amine-based hydrogen donor, at least one amino group may be substituted with an alkyl group or a substituted alkyl group, and at a position other than the amino group, a carboxyl group, a substituted or unsubstituted alkoxycarbonyl group, a substituted or unsubstituted phenoxycarbonyl group, and a nitrile group Or the like.

이러한 아민계 수소 공여체의 구체적인 예로서는 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4-디에틸아미노아세토페논, 4-디메틸아미노프로피오페논, 4-디메틸아미노벤조산염에틸, 4-디메틸아미노벤조산 i-아밀, 4-디메틸아미노벤조산, 4-디메틸아미노벤조니트릴 등을 들 수 있다. Specific examples of such amine-based hydrogen donors include 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, and 4-dimethylaminopropiophenone. And 4-dimethylaminobenzoate ethyl, 4-dimethylaminobenzoic acid i-amyl, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like.

이러한 아민계 수소 공여체 중, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하고, 그 중에서 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 특히 바람직하다. 또한, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논이나 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논은 비이미다졸계 화합물이 존재하지 않는 경우라도 그것 단독으로 감방사선성 중합 개시제로서의 작용를 나타내는 것이다. Among these amine-based hydrogen donors, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4'-bis (diethylamino) is preferred therein. Benzophenone is particularly preferred. In addition, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone can act as a radiation sensitive polymerization initiator by itself even when a biimidazole type compound does not exist. To indicate.

본 발명에 있어서, 수소 공여체는, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 1종 이상의 머캅탄계 수소 공여체와 1종 이상의 아민계 수소 공여체를 조합하여 사용하면 형성된 착색층이 현상 시에 기판으로부터 탈락하기 어렵고, 또한 착색층의 강도 및 감도도 높다는 점에서 바람직하다. In the present invention, the hydrogen donor may be used alone or in combination of two or more thereof. When the combination of one or more mercaptan-based hydrogen donors and one or more amine-based hydrogen donors is used in combination, the formed colored layer is less likely to fall off the substrate during development, and the colored layer is preferably high in strength and sensitivity.

머캅탄계 수소 공여체와 아민계 수소 공여체의 바람직한 조합의 구체적인 예 로서는 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있다. Specific examples of preferred combinations of mercaptan-based hydrogen donors and amine-based hydrogen donors include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'- Bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzooxazole / 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzooxazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzo Phenone etc. are mentioned.

이들 중, 보다 바람직한 조합은 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-머캅토벤조옥사졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이고, 특히 바람직한 조합은 2-머캅토벤조티아졸/4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이다. Among these, more preferable combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzooxazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone And a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzothiazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.

머캅탄계 수소 공여체와 아민계 수소 공여체의 조합에 있어서 머캅탄계 수소 공여체와 아민계 수소 공여체의 중량비는 바람직하게는 1:1 내지 1:4, 보다 바람직하게는 1:1 내지 1:3이다. In the combination of the mercaptan-based hydrogen donor and the amine-based hydrogen donor, the weight ratio of the mercaptan-based hydrogen donor and the amine-based hydrogen donor is preferably 1: 1 to 1: 4, more preferably 1: 1 to 1: 3.

또한, 상기 아세토페논계 화합물의 구체적인 예로서는 2,2-디메톡시아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-(4-i-프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-[4-(메틸티오)페닐]-2-메틸-2-모르폴리노프로판-1-온, 4-(2-히드록시에톡시)페닐-(2-히드록시-2-프로필)케톤, 1-(4-모르폴리노페닐)-2-벤질-2-디메틸아미노부탄-1-온, 1-(2-브로모-4-모르폴리노페닐)-2-벤질-2-디메틸아미노부탄-1-온, 1-(4-모르폴리노페닐)-2-(2-브로모벤질)-2-디메틸아미노부탄-1-온, 1-(4-모르폴리노페닐)-2-(4-브로모벤질)-2-디메틸아미노부탄-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온 등을 들 수 있다. In addition, specific examples of the acetophenone-based compound include 2,2-dimethoxyacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl- 1-phenylpropan-1-one, 1- (4-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- [4- (methylthio) phenyl] -2-methyl- 2-morpholinopropane-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1- (4-morpholinophenyl) -2-benzyl- 2-dimethylaminobutan-1-one, 1- (2-bromo-4-morpholinophenyl) -2-benzyl-2-dimethylaminobutan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2- (2-bromobenzyl) -2-dimethylaminobutan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2- (4-bromobenzyl) -2-dimethylaminobutan-1- On, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, and the like.

이러한 아세토페논계 화합물 중, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 1-(4-모르폴리노페닐)-2-벤질-2-디메틸아미노부탄-1-온, 1-(2-브로모-4-모르폴리노페닐)-2-벤질-2-디메틸아미노부탄-1-온, 1-(4-모르폴리노페닐)-2-(4-브로모벤질)-2-디메틸아미노부탄-1-온 등이 바람직하다. Among these acetophenone compounds, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one and 1- (4-morpholinophenyl) -2-benzyl-2 -Dimethylaminobutan-1-one, 1- (2-bromo-4-morpholinophenyl) -2-benzyl-2-dimethylaminobutan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl)- 2- (4-bromobenzyl) -2-dimethylaminobutan-1-one and the like are preferable.

본 발명에 있어서는, 다른 중합 개시제로서 아세토페논계 화합물을 병용할 경우에도 상기 수소 공여체를 1종 이상 첨가할 수 있다. In this invention, even when using an acetophenone type compound together as another polymerization initiator, 1 or more types of said hydrogen donor can be added.

또한, 상기 벤조페논계 화합물의 구체적인 예로서는 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있다. Moreover, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone etc. are mentioned as a specific example of the said benzophenone type compound.

또한, 상기 벤조인계 화합물의 구체적인 예로서는, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르, 메틸-2-벤조일벤조에이트 등을 들 수 있다. Moreover, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, methyl-2-benzoyl benzoate etc. are mentioned as a specific example of the said benzoin type compound.

또한, 상기 α-디케톤계 화합물의 구체적인 예로서는 디아세틸, 디벤조일, 메틸벤조일포르메이트 등을 들 수 있다. Moreover, diacetyl, dibenzoyl, methyl benzoyl formate, etc. are mentioned as a specific example of the said (alpha)-diketone type compound.

또한, 상기 다핵 퀴논계 화합물의 구체적인 예로서는 안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 1,4-나프토퀴논 등을 들 수 있다. Moreover, anthraquinone, 2-ethyl anthraquinone, 2-t- butyl anthraquinone, 1, 4- naphthoquinone etc. are mentioned as a specific example of the said polynuclear quinone type compound.

또한, 상기 크산톤계 화합물의 구체적인 예로서는 크산톤, 티옥산톤, 2-클로로티옥산톤 등을 들 수 있다. Moreover, xanthone, a thioxanthone, 2-chloro thioxanthone etc. are mentioned as a specific example of the said xanthone type compound.

또한, 상기 포스핀계 화합물의 구체적인 예로서는 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)페닐포스핀옥시드, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥시드 등을 들 수 있다. Moreover, bis (2, 4, 6- trimethyl benzoyl) phenyl phosphine oxide, 2, 4, 6- trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide etc. are mentioned as a specific example of the said phosphine type compound.

또한, 상기 트리아진계 화합물의 구체적인 예로서는 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, In addition, specific examples of the triazine-based compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [ 2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4 , 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine,

하기 화학식 7, 화학식 8로 표시되는 화합물 등의 할로메틸기를 갖는 트리아진계 화합물 등을 들 수 있다. And triazine compounds having a halomethyl group, such as compounds represented by the following formulas (7) and (8).

또한, 상기 카르바졸계 화합물의 구체적인 예로서는 예를 들면 1-[9-에틸-6-벤조일-9.H.-카르바졸-3-일]노난-1,2-노난-2-옥심-0-벤조에이트, 1-[9-에틸-6-벤조일-9.H.-카르바졸-3-일]노난-1,2-노난-2-옥심-O-아세테이트, 1-[9-에틸-6-벤조일-9.H.-카르바졸-3-일]펜탄-1,2-펜탄-2-옥심-O-아세테이트, 1-[9-에틸-6-벤조일-9.H.-카르바졸-3-일]옥탄-1-온옥심-O-아세테이트, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9.H.-카르바졸-3-일]에탄-1-온옥심-O-벤조에이트, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9.H.-카르바졸-3-일]에탄-1-온옥심-O-아세테이트, 1-[9-에틸-6-(2,4,6-트리메틸벤조일)-9.H.-카르바졸-3-일]에탄-1-온옥심-O-벤조에이트, 1-[9-n-부틸-6-(2-에틸벤조일)-9.H.-카르바졸-3-일]에탄-1-온옥심-0-벤조에이트 등을 들 수 있다. As a specific example of the carbazole compound, for example, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] nonane-1,2-nonane-2-oxime-0- Benzoate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] nonane-1,2-nonane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6 -Benzoyl-9.H.-carbazol-3-yl] pentane-1,2-pentane-2-oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9.H.-carbazole- 3-yl] octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] ethane-1-one oxime- O-benzoate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] ethane-1-onoxime-O-acetate, 1- [9-ethyl -6- (2,4,6-trimethylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] ethane-1-onoxime-O-benzoate, 1- [9-n-butyl-6- ( 2-ethylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] ethane-1-one oxime-0-benzoate and the like.

이러한 카르바졸계 화합물 중, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9.H.-카르바졸-3-일]에탄-1-온옥심-O-아세테이트가 바람직하다. Among these carbazole compounds, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] ethane-1-one oxime-O-acetate is preferable.

이들의 다른 중합 개시제는, 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 다른 중합 개시제의 사용 비율은 중합 개시제 (1)과 다른 중합 개시제의 합계에 대하여 바람직하게는 80 중량% 이하, 더욱 바람직하게는 70 중량% 이하이다. 다른 중합 개시제의 사용 비율이 80 중량%를 초과하면 본 발명의 소기의 효과가 손상되는 우려가 있다. These other polymerization initiators can be used individually or in mixture of 2 or more types. The use ratio of the other polymerization initiator is preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less, based on the total of the polymerization initiator (1) and the other polymerization initiator. When the use ratio of another polymerization initiator exceeds 80 weight%, there exists a possibility that the desired effect of this invention may be impaired.

본 발명에 있어서의 중합 개시제의 사용량은 (C) 다관능성 단량체 또는 그것과 단관능성 단량체의 합계 100 중량부에 대하여 바람직하게는 0.01 내지 200 중량부, 보다 바람직하게는 1 내지 120 중량부, 특히 바람직하게는 1 내지 100 중량부이다. 중합 개시제의 사용량이 0.01 중량부 미만이면 노광에 의한 경화가 불충분 하고, 화소 패턴 또는 블랙 매트릭스 패턴이 소정의 서열에 따라서 배치된 패턴 어레이를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있다. 한편, 200 중량부를 초과하면 형성된 착색층이 현상 시에 기판으로부터 탈락하기 쉽고, 또한 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔기 등이 생기기 쉬워진다. The amount of the polymerization initiator used in the present invention is preferably 0.01 to 200 parts by weight, more preferably 1 to 120 parts by weight, particularly preferably based on 100 parts by weight of the total amount of the (C) polyfunctional monomer or monofunctional monomer. Preferably from 1 to 100 parts by weight. When the usage-amount of a polymerization initiator is less than 0.01 weight part, hardening by exposure may become inadequate and it may become difficult to obtain the pattern array in which the pixel pattern or the black matrix pattern was arrange | positioned according to the predetermined sequence. On the other hand, when it exceeds 200 weight part, the formed colored layer will fall easily from a board | substrate at the time of image development, and background contamination, a film | membrane residue, etc. will be easy to generate | occur | produce on the board | substrate or light shielding layer of an unexposed part.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 감방사선성 중합 개시제와 같이, 필요에 따라서, 증감제, 경화 촉진제 또는 고분자광 가교ㆍ증감제의 1종 이상을 병용할 수 있다. In addition, in this invention, like the said radiation sensitive polymerization initiator, 1 or more types of a sensitizer, a hardening accelerator, or a high molecular light crosslinking / sensitizer can be used together as needed.

첨가제additive

본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 조성물은, 필요에 따라서, 여러가지 첨가제를 함유할 수 있다. The radiation sensitive composition for colored layer formation of this invention can contain various additives as needed.

상기 첨가제로서는 착색층 형성용 감방사선성 조성물의 알칼리 현상액에 대한 용해 특성을 보다 개선하고, 또한 현상 후의 미용해물의 잔존을 보다 억제하는 작용 등을 나타내는 유기산 또는 유기 아미노 화합물 (단, 상기 수소 공여체를 제외한다) 등을 들 수 있다. As said additive, the organic acid or organic amino compound which exhibits the effect which further improves the dissolution characteristic with respect to the alkaline developing solution of the radiation sensitive composition for colored layer formation, and further suppresses the remainder of the undissolved matter after image development, but the said hydrogen donor And the like).

상기 유기산으로서는 분자 중에 1 개 이상의 카르복실기를 갖는, 지방족 카르복실산 또는 페닐기 함유 카르복실산이 바람직하다. As said organic acid, the aliphatic carboxylic acid or phenyl group containing carboxylic acid which has 1 or more carboxyl group in a molecule | numerator is preferable.

상기 지방족 카르복실산의 예로서는, As an example of the said aliphatic carboxylic acid,

포름산, 아세트산, 프로피온산, 부티르산, 발레르산, 피발산, 카프로산, 디에틸아세트산, 에난트산, 카프릴산과 같은 모노카르복실산; Monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethylacetic acid, enanthic acid, caprylic acid;

옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 피메린산, 수베르산, 아젤라산, 세박산, 브라실산, 메틸말론산, 에틸말론산, 디메틸말론산, 메틸숙신산, 테트라메틸숙신산, 시클로헥산디카르복실산, 이타콘산, 시트라콘산, 말레산, 푸마르산, 메사콘산과 같은 디카르복실산; Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimeric acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brasyl acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methyl succinic acid, tetramethylsuccinic acid Dicarboxylic acids such as cyclohexanedicarboxylic acid, itaconic acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid and mesaconic acid;

트리카르바릴산, 아코니트산, 캄포론산과 같은 트리카르복실산 등을 들 수 있다. And tricarboxylic acids such as tricarbaric acid, aconitic acid and camphoronic acid.

또한, 상기 페닐기 함유 카르복실산으로서는, 예를 들면 카르복실기가 직접페닐기에 결합한 화합물, 카르복실기가 탄소쇄를 통하여 페닐기에 결합한 카르복실산 등을 들 수 있다. Moreover, as said phenyl group containing carboxylic acid, the compound which the carboxyl group couple | bonded with the direct phenyl group, the carboxylic acid which the carboxyl group couple | bonded with the phenyl group through a carbon chain, etc. are mentioned, for example.

페닐기 함유 카르복실산의 예로서는, As an example of a phenyl group containing carboxylic acid,

벤조산, 톨루일산, 쿠민산, 헤메리트산, 메시틸렌산과 같은 방향족 모노 카르복실산; Aromatic mono carboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemeric acid, mesitylene acid;

프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산과 같은 방향족 디카르복실산; Aromatic dicarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid;

트리멜리트산, 트리메신산, 멜로판산, 피로멜리트산과 같은 3가 이상의 방향족 폴리카르복실산이나, Trivalent or higher aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, melanoic acid, pyromellitic acid,

페닐아세트산, 히드로아트로프산, 히드로신남산, 만델산, 페닐숙신산, 아트로프산, 신남산, 신나밀리덴산, 쿠말산, 움벨산 등을 들 수 있다. And phenylacetic acid, hydroatroic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atroic acid, cinnamic acid, cinnamiledic acid, cumalic acid, and umbelic acid.

이들 유기산 중, 알칼리 용해성, 후술하는 용매에 대한 용해성, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 있어서의 바탕 오염이나 막 잔기의 방지 등의 관점에서, 지방족 카르복실산으로서는 지방족 디카르복실산이 바람직하고, 특히 말론산, 아디프산, 이타콘산, 시트라콘산, 푸마르산, 메사콘산 등이 특히 바람직하다. 또한, 페닐기 함유 카르복실산으로서는 방향족 디카르복실산이 바람직하고, 그 중에서도 프탈산이 특히 바람직하다. Among these organic acids, as the aliphatic carboxylic acid, an aliphatic dicarboxylic acid is preferable in view of alkali solubility, solubility in a solvent to be described later, prevention of background contamination on a substrate or a light shielding layer of an unexposed part, and prevention of film residues. In particular, malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, mesaconic acid and the like are particularly preferable. Moreover, as phenyl group containing carboxylic acid, aromatic dicarboxylic acid is preferable and phthalic acid is especially preferable.

상기 유기산은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said organic acid can be used individually or in mixture of 2 or more types.

유기산의 사용량은 감방사선성 조성물 전체에 대하여, 바람직하게는 15 중량% 이하, 보다 바람직하게는 10 중량% 이하이다. 유기산의 사용량이 15 중량%를 초과하면 착색층의 기판에 대한 밀착성이 저하되는 경향이 있다. The amount of the organic acid used is preferably 15% by weight or less, and more preferably 10% by weight or less based on the whole radiation-sensitive composition. When the usage-amount of an organic acid exceeds 15 weight%, there exists a tendency for adhesiveness with respect to the board | substrate of a colored layer to fall.

또한 상기 유기 아미노 화합물로서는, 분자 중에 1 개 이상의 아미노기를 갖는 지방족 아민 또는 페닐기 함유 아민이 바람직하다. Moreover, as said organic amino compound, the aliphatic amine or phenyl group containing amine which has 1 or more amino group in a molecule | numerator is preferable.

상기 지방족 아민의 예로서는, As an example of the said aliphatic amine,

n-프로필아민, i-프로필아민,n-부틸아민, i-부틸아민, sec-부틸아민, t-부틸아민,n-펜틸아민,n-헥실아민,n-헵틸아민,n-옥틸아민,n-노닐아민,n-데실아민,n-운데실아민,n-도데실아민, 시클로헥실아민, 2-메틸시클로헥실아민, 3-메틸시클로헥실아민, 4-메틸시클로헥실아민, 2-에틸시클로헥실아민, 3-에틸시클로헥실아민, 4-에틸시클로헥실아민과 같은 모노(시클로)알킬아민; n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine, n-heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine, cyclohexylamine, 2-methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine, 4-methylcyclohexylamine, 2-ethyl Mono (cyclo) alkylamines such as cyclohexylamine, 3-ethylcyclohexylamine, 4-ethylcyclohexylamine;

메틸에틸아민, 디에틸아민, 메틸n-프로필아민, 에틸n-프로필아민, 디-n-프로필아민, 디-i-프로필아민, 디-n-부틸아민, 디-i-부틸아민, 디-sec-부틸아민, 디-t-부틸아민, 디-n-펜틸아민, 디-n-헥실아민, 메틸시클로헥실아민, 에틸시클로헥실아민, 디시클로헥실아민와 같은 디(시클로)알킬아민; Methylethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, di-i-butylamine, di- di (cyclo) alkylamines such as sec-butylamine, di-t-butylamine, di-n-pentylamine, di-n-hexylamine, methylcyclohexylamine, ethylcyclohexylamine, dicyclohexylamine;

디메틸에틸아민, 메틸디에틸아민, 트리에틸아민, 디메틸n-프로필아민, 디에틸n-프로필아민, 메틸디-n-프로필아민, 에틸디-n-프로필아민, 트리-n-프로필아민, 트리-i-프로필아민, 트리-n-부틸아민, 트리-i-부틸아민, 트리-sec-부틸아민, 트리-t-부틸아민, 트리-n-펜틸아민, 트리-n-헥실아민, 디메틸시클로헥실아민, 디에틸시클로헥실아민, 메틸디시클로헥실아민, 에틸디시클로헥실아민, 트리시클로헥실아민과 같은 트리(시클로)알킬아민; Dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyldi-n-propylamine, ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri -i-propylamine, tri-n-butylamine, tri-i-butylamine, tri-sec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine, dimethylcyclo Tri (cyclo) alkylamines such as hexylamine, diethylcyclohexylamine, methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine;

2-아미노에탄올, 3-아미노-1-프로판올, 1-아미노-2-프로판올, 4-아미노-1-부탄올, 5-아미노-1-펜탄올, 6-아미노-1-헥산올, 4-아미노-1-시클로헥산올과 같은 모노(시클로)알칸올아민; 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, 6-amino-1-hexanol, 4-amino Mono (cyclo) alkanolamines such as -1-cyclohexanol;

디에탄올아민, 디-n-프로판올아민, 디-i-프로판올아민, 디-n-부탄올아민, 디-i-부탄올아민, 디-n-펜탄올아민, 디-n-헥산올아민, 디(4-시클로헥산올)아민과 같은 디(시클로)알칸올아민; Diethanolamine, di-n-propanolamine, di-i-propanolamine, di-n-butanolamine, di-i-butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-hexanolamine, di ( Di (cyclo) alkanolamines such as 4-cyclohexanol) amine;

트리에탄올아민, 트리-n-프로판올아민, 트리-i-프로판올아민, 트리-n-부탄올아민, 트리-i-부탄올아민, 트리-n-펜탄올아민, 트리-n-헥산올아민, 트리(4-시클로헥산올)아민과 같은 트리(시클로)알칸올아민; Triethanolamine, tri-n-propanolamine, tri-i-propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine, tri (4 Tri (cyclo) alkanolamines such as -cyclohexanol) amine;

3-아미노-1,2-프로판디올, 2-아미노-1,3-프로판디올, 4-아미노-1,2-부탄디올, 4-아미노-1,3-부탄디올, 4-아미노-1,2-시클로헥산디올, 4-아미노-1,3-시클로헥산디올, 3-디메틸아미노-1,2-프로판디올, 3-디에틸아미노-1,2-프로판디올, 2-디메틸아미노-1,3-프로판디올, 2-디에틸아미노-1,3-프로판디올와 같은아미노(시클로)알칸디올; 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 4-amino-1,2- Cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 3-dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3- Amino (cyclo) alkanediols such as propanediol, 2-diethylamino-1,3-propanediol;

1-아미노시클로펜탄메탄올, 4-아미노시클로펜탄메탄올, 1-아미노시클로헥산메탄올, 4-아미노시클로헥산메탄올, 4-디메틸아미노시클로펜탄메탄올, 4-디에틸아미노시클로펜탄메탄올, 4-디메틸아미노시클로헥산메탄올, 4-디에틸아미노시클로헥산메탄올와 같은 아미노기함유 시클로알칸메탄올; 1-aminocyclopentanmethanol, 4-aminocyclopentanmethanol, 1-aminocyclohexanemethanol, 4-aminocyclohexanemethanol, 4-dimethylaminocyclopentanmethanol, 4-diethylaminocyclopentanmethanol, 4-dimethylaminocyclo Amino group-containing cycloalkanethanols such as hexanemethanol and 4-diethylaminocyclohexanemethanol;

β-알라닌, 2-아미노부티르산, 3-아미노부티르산, 4-아미노부티르산, 2-아미노이소부티르산, 3-아미노이소부티르산, 2-아미노발레르산, 5-아미노발레르산, 6-아미노카프로산, 1-아미노시클로프로판카르복실산, 1-아미노시클로헥산카르복실산, 4-아미노시클로헥산카르복실산과 같은 아미노카르복실산 등을 들 수 있다. 또한, 상기 페닐기 함유 아민으로서는, 예를 들면 아미노기가 직접 페닐기에 결합한 화합물, 아미노기가 탄소쇄를 통하여 페닐기에 결합한 화합물 등을 들 수 있다. β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, 3-aminoisobutyric acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1 And aminocarboxylic acids such as aminocyclopropanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, and 4-aminocyclohexanecarboxylic acid. Moreover, as said phenyl group containing amine, the compound etc. which the amino group couple | bonded with the phenyl group directly, the compound which the amino group couple | bonded with the phenyl group through the carbon chain, etc. are mentioned, for example.

페닐기 함유 아민의 예로서는, As an example of a phenyl group containing amine,

아닐린, 2-메틸아닐린, 3-메틸아닐린, 4-메틸아닐린, 4-에틸아닐린, 4-n-프로필아닐린, 4-i-프로필아닐린, 4-n-부틸아닐린, 4-t-부틸아닐린, 1-나프틸아민, 2-나프틸아민, N,N-디메틸아닐린, N,N-디에틸아닐린, 4-메틸-N,N-디메틸아닐린과 같은 방향족 아민; Aniline, 2-methylaniline, 3-methylaniline, 4-methylaniline, 4-ethylaniline, 4-n-propylaniline, 4-i-propylaniline, 4-n-butylaniline, 4-t-butylaniline, Aromatic amines such as 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, 4-methyl-N, N-dimethylaniline;

2-아미노벤질알코올, 3-아미노벤질알코올, 4-아미노벤질알코올, 4-디메틸아미노벤질알코올, 4-디에틸아미노벤질 알코올과 같은 아미노벤질알코올; Aminobenzyl alcohols such as 2-aminobenzyl alcohol, 3-aminobenzyl alcohol, 4-aminobenzyl alcohol, 4-dimethylaminobenzyl alcohol, 4-diethylaminobenzyl alcohol;

2-아미노페놀, 3-아미노페놀, 4-아미노페놀, 4-디메틸아미노페놀, 4-디에틸아미노페놀과 같은 아미노페놀 등을 들 수 있다. And aminophenols such as 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, 4-dimethylaminophenol, and 4-diethylaminophenol.

이러한 유기 아미노 화합물 중, 후술하는 용매에 대한 용해성, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 있어서의 바탕 오염이나 막 잔기의 방지 등의 관점에서, 지방족 아민으로서는 모노(시클로)알칸올아민류 및 아미노(시클로)알칸디올이 바람직하고, 특히, 2-아미노에탄올, 3-아미노-1-프로판올, 5-아미노-1-펜탄올, 3-아미노-1,2-프로판디올, 2-아미노-1,3-프로판디올, 4-아미노-1,2-부탄디올 등이 특히 바람직하다. 또한, 페닐기 함유 아민으로서는 아미노페놀류가 바람직하고, 특히, 2-아미노페놀, 3-아미노페놀, 4-아미노페놀 등이 특히 바람직하다. Among these organic amino compounds, mono (cyclo) alkanolamines and amino () are used as aliphatic amines from the viewpoints of solubility in a solvent to be described later, prevention of background contamination on a substrate or a light shielding layer of an unexposed part, and prevention of film residues. Cyclo) alkanediols are preferred, and in particular 2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 5-amino-1-pentanol, 3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3 Propanediol, 4-amino-1,2-butanediol and the like are particularly preferred. Moreover, as a phenyl group containing amine, aminophenols are preferable and 2-aminophenol, 3-aminophenol, 4-aminophenol, etc. are especially preferable.

상기 유기 아미노 화합물은 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. The said organic amino compound can be used individually or in mixture of 2 or more types.

유기 아미노 화합물의 사용량은, 감방사선성 조성물 전체에 대하여, 바람직하게는 15 중량% 이하, 보다 바람직하게는 10 중량% 이하이다. 유기 아미노 화합물의 사용량이 15 중량%를 초과하면, 착색층의 기판에 대한 밀착성이 저하되는 경향이 있다. The usage-amount of an organic amino compound becomes like this. Preferably it is 15 weight% or less with respect to the whole radiation sensitive composition, More preferably, it is 10 weight% or less. When the usage-amount of an organic amino compound exceeds 15 weight%, there exists a tendency for adhesiveness with respect to the board | substrate of a colored layer to fall.

또한, 상기 이외의 첨가제로서는, 예를 들면 In addition, as an additive other than the above, for example,

구리프탈로시아닌 유도체와 같은 청색 안료 유도체나 황색 안료 유도체 등의 분산 조제; 유리, 알루미나 등의 충전제; Dispersion aids such as blue pigment derivatives such as copper phthalocyanine derivatives and yellow pigment derivatives; Fillers such as glass and alumina;

폴리비닐알코올, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리(플루오로알킬아크릴레이트) 등의 고분자 화합물; Polymer compounds such as polyvinyl alcohol, polyethylene glycol monoalkyl ether, and poly (fluoroalkyl acrylate);

비이온계, 양이온계, 음이온계 등의 계면활성제; Surfactants such as nonionic, cationic and anionic systems;

비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등의 밀착 촉진제; Vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclo Adhesion promoters such as hexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane ;

2,2'-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸페놀 등의 산화 방지제; Antioxidants such as 2,2'-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol) and 2,6-di-t-butylphenol;

2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논류 등의 자외선 흡수제; Ultraviolet absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones;

폴리아크릴산나트륨 등의 응집 방지제; Aggregation inhibitors such as sodium polyacrylate;

1,1'-아조비스(시클로헥산-1-카르보니트릴), 2-페닐아조-4-메톡시-2,4-디메틸발레로니트릴 등의 열라디칼 발생제 등을 들 수 있다. And thermal radical generators such as 1,1'-azobis (cyclohexane-1-carbonitrile) and 2-phenylazo-4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile.

용매menstruum

본 발명의 감방사선성 조성물은, 상기 (A) 내지 (D) 성분을 필수 성분으로 하고, 경우에 따라 상기 첨가제 성분을 함유하고, 바람직하게는 용매를 배합하여 액상 조성물로서 제조된다. The radiation sensitive composition of this invention makes the said (A)-(D) component an essential component, contains the said additive component as needed, and preferably mix | blends a solvent and is manufactured as a liquid composition.

상기 용매로서는 감방사선성 조성물을 구성하는 각 성분을 분산 또는 용해하고, 또한 이러한 성분과 반응하지 않고, 적합한 휘발성을 갖는 것이면, 적당히 선택하여 사용할 수 있다. As said solvent, if the components which comprise a radiation sensitive composition are disperse | distributed or melt | dissolved, and it does not react with such a component and has suitable volatility, it can select suitably and can use.

이러한 용매로서는 예를 들면 As such a solvent, for example

메탄올, 에탄올, 벤질 알코올과 같은 알코올; Alcohols such as methanol, ethanol, benzyl alcohol;

에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노에틸에테르와 같은(폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르; Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n -Propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether and tripropylene glycol monoethyl ether;

에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트와 같은 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트; Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-propyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, (Poly) alkylene glycols such as diethylene glycol mono-n-propyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate Monoalkyl ether acetates;

디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라히드로푸란과 같은 다른 에테르; Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methylethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;

메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논, 디아세톤알코올(4-히드록시-4-메틸펜탄-2-온), 4-히드록시-4-메틸헥산-2-온과 같은 케톤; Methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, diacetone alcohol (4-hydroxy-4-methylpentan-2-one), 4-hydroxy-4-methylhexan-2-one Ketones such as;

락트산메틸, 락트산에틸과 같은 락트산알킬에스테르; Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;

아세트산에틸, 아세트산n-프로필, 아세트산i-프로필, 아세트산n-부틸, 아세트산i-부틸, 포름산 n-펜틸, 아세트산 i-펜틸, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 프로피온산 n-부틸, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 부티르산 에틸, 부티르산 n-프로필, 부티르산 i-프로필, 부티르산 n-부틸, 히드록시아세트산 에틸, 에톡시아세트산 에틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 피루브산 메틸, 피루브산 에틸, 피루브산 n-프로필, 아세토아세트산 메틸, 아세토아세트산 에틸, 2-히드록시-2-메틸프로피온산 에틸, 2-히드록시-3-메틸포름산메틸, 2-옥소부티르산에틸과 같은 다른 에스테르; Ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, n-butyl propionate, 3 -Methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl butyrate, butyric acid n-propyl, butyric acid i-propyl, butyric acid n-butyl, ethyl hydroxyacetic acid, ethyl ethoxyacetic acid, methyl 3-methoxypropionate, 3-meth Ethyl oxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetic acid, ethyl acetoacetic acid, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, 2- Other esters such as methyl hydroxy-3-methyl formate and ethyl 2-oxobutyrate;

톨루엔, 크실렌과 같은 방향족 탄화수소; Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;

N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세토아미드와 같은 아미드 등을 들 수 있다. Amides such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetoamide, and the like.

이러한 용매 중, 용해성, 안료 분산성, 도포성 등의 관점에서, 벤질알코올, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논, 아세트산n-부틸, 아세트산i-부틸, 포름산n-펜틸, 아세트산i-펜틸, 3-메톡시부틸아세테이트, 프로피온산n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산i-프로필, 부티르산n-부틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 피루브산에틸 등이 바람직하다. Among these solvents, benzyl alcohol, ethylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, and ethylene glycol from the viewpoint of solubility, pigment dispersibility, and applicability. Mono-n-butyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-propyl butyrate, N-butyl butyrate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl-3-methoxybutyl Etc. propionate, ethyl pyruvate, is preferred.

상기 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

또한, 상기 용매와 함께, 벤질에틸에테르, 디헥실에테르, 아세토닐아세톤, 이소포론, 카프로산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 아세트산벤질, 벤조산염에틸, 옥살산디에틸, 말레산디에틸, γ-부티로락톤, 탄산에틸렌, 탄산프로필렌, 에틸렌글리콜모노페닐에테르아세테이트 등의 고비점 용매를 병용할 수 있다. In addition, with the solvent, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, High boiling point solvents, such as diethyl maleate, (gamma) -butyrolactone, ethylene carbonate, a propylene carbonate, and ethylene glycol monophenyl ether acetate, can be used together.

상기 고비점 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. The said high boiling point solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

용매의 사용량은 특별히 한정되는 것이 아니지만 얻어지는 감방사선성 조성물의 도포성, 보존 안정성 등의 관점에서 해당 조성물의 용매를 제외한 각 성분의 합계 농도가 바람직하게는 5 내지 50 중량%, 더욱 바람직하게는 10 내지 40 중량%가 되는 양이 바람직하다. Although the usage-amount of a solvent is not specifically limited, From the viewpoint of the applicability | paintability, storage stability, etc. of the radiation sensitive composition obtained, the total concentration of each component except the solvent of the said composition becomes like this. Preferably it is 5-50 weight%, More preferably, 10 The amount is preferably from 40% by weight.

착색층의Colored layer 형성 방법 Formation method

다음으로, 본 발명의 감방사선성 조성물을 이용하여 착색층을 형성하는 방법에 대하여 설명한다. Next, the method of forming a colored layer using the radiation sensitive composition of this invention is demonstrated.

우선, 기판의 표면 상에, 필요에 따라서, 화소를 형성하는 부분을 구획하도록 차광층을 형성하고, 이 기판 상에, 예를 들면 적색의 안료가 분산된 감방사선성 조성물의 액상 조성물을 도포한 후, 프레 베이크(pre-bake)를 하고 용제를 증발시켜 도막을 형성한다. 계속해서, 이 도막에 포토마스크를 통하여 노광한 후, 현상액, 바람직하게는 알칼리 현상액을 이용하여 현상하고, 도막의 미노광부를 용해 제거하여 그 후 포스트 베이크함으로써 적색의 화소 패턴이 소정의 서열로 배치된 화소 어레이를 형성한다. First, a light shielding layer is formed on the surface of a substrate so as to partition a portion forming a pixel, if necessary, and a liquid composition of a radiation-sensitive composition in which, for example, a red pigment is dispersed, is coated on the substrate. After that, pre-bake is performed and the solvent is evaporated to form a coating film. Subsequently, after exposing through a photomask to this coating film, it develops using a developing solution, Preferably, an alkaline developing solution, dissolves and removes the unexposed part of a coating film, and post-bakes thereafter, and arranges a red pixel pattern in predetermined sequence. The formed pixel array.

그 후, 녹색 또는 청색의 안료가 분산된 각 감방사선성 조성물의 액상 조성물을 이용하여 상기와 같이 하고, 각 액상 조성물의 도포, 프레 베이크, 노광, 현상 및 포스트 베이크를 행하여, 녹색의 화소 어레이 및 청색의 화소 어레이를 동일 기판 상에 차례로 형성함으로써, 적색, 녹색 및 청색의 3 원색의 화소 어레이가 기판 상에 배치된 칼라 필터를 얻을 수 있다. 단, 본 발명에 있어서는 각 색의 화소 어레이를 형성하는 순서는 상기 것에 한정되지 않는다. Thereafter, using the liquid composition of each radiation-sensitive composition in which green or blue pigments are dispersed, the liquid composition is applied as described above, prebaked, exposed to light, developed, and postbaked to form a green pixel array and By sequentially forming a blue pixel array on the same substrate, it is possible to obtain a color filter in which pixel arrays of three primary colors of red, green and blue are arranged on the substrate. However, in this invention, the order which forms the pixel array of each color is not limited to the said thing.

화소를 형성할 때 사용되는 기판으로서는, 예를 들면 유리, 실리콘, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 방향족 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드 등을 들 수 있다. As a board | substrate used when forming a pixel, glass, silicone, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, etc. are mentioned, for example.

또한, 이러한 기판에는, 소망에 따라, 실란 커플링제 등에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온 플레이팅, 스퍼터링, 기상 반응법, 진공 증착 등의 적절한 전 처리를 미리 실시할 수 있다. In addition, such a substrate can be previously subjected to a suitable pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating, sputtering, vapor phase reaction method, vacuum deposition, or the like as desired.

감방사선성 조성물의 액상 조성물을 기판에 도포할 때는, 분무법, 롤 코트법, 회전 도포법 (스핀 코팅법), 슬릿 다이 도포법, 바 도포법, 잉크 젯트법 등의 적절한 도포법을 채용할 수 있다. 이 중, 스핀 코팅법, 슬릿 다이 도포법이 특히 바람직하다. When applying the liquid composition of a radiation sensitive composition to a board | substrate, the appropriate coating methods, such as the spraying method, the roll coating method, the spin coating method (spin coating method), the slit die coating method, the bar coating method, the ink jet method, can be employ | adopted. have. Among these, the spin coating method and the slit die coating method are particularly preferable.

도포 두께는 건조 후의 막 두께로서 바람직하게는 O.1 내지 1O ㎛, 보다 바람직하게는 0.2내지 8.0㎛, 특히 바람직하게는 0.2 내지 6.0 ㎛이다. The coating thickness is preferably 0.1 to 10 mu m, more preferably 0.2 to 8.0 mu m, and particularly preferably 0.2 to 6.0 mu m as the film thickness after drying.

노광에 사용되는 방사선으로서는 예를 들면 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 사용할 수 있지만 파장이 190 내지 450 nm의 범위에 있는 방사선이 바람직하다. As the radiation used for exposure, for example, visible rays, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like can be used, but radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.

방사선의 노광량은 바람직하게는 1O 내지 1O,OOO J/m2 정도이다.The exposure dose of radiation is preferably about 10 to 10, OO J / m 2 .

또한, 상기 알칼리 현상액으로서는, 예를 들면 탄산나트륨, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 테트라메틸암모늄히드록시드, 콜린, 1,8-디아자비시클로-[5.4.0]-7-운데센, 1,5-디아자비시클로-[4.3.0]-5-노넨 등의 수용액이 바람직하다. As the alkaline developer, for example, sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5- Aqueous solutions, such as diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene, are preferable.

상기 알칼리 현상액에는 예를 들면 메탄올, 에탄올 등의 수용성 유기 용제나 계면활성제 등을 적량 첨가할 수 있다. A suitable amount of water-soluble organic solvents such as methanol and ethanol, surfactants, and the like can be added to the alkaline developer.

현상 처리법으로서는, 샤워 현상법, 분무 현상법, 딥 (침지) 현상법, 패들 현상법 등을 적용할 수 있다. 현상 조건은 상온에서 5 내지 300 초 정도가 바람직하다. 또한, 알칼리 현상액으로 현상 후는 통상 수세한다. As the developing treatment method, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a paddle developing method, and the like can be applied. As for image development conditions, about 5 to 300 second is preferable at normal temperature. Moreover, after image development with alkaline developing solution, it washes with water normally.

또한, 블랙 매트릭스의 형성도, 상기 화소 어레이를 형성하는 방법과 같이 하여 실시할 수 있다. The black matrix can also be formed in the same way as the pixel array.

칼라color 필터 filter

본 발명의 칼라 필터는, 상술한 바와 같이 하여 형성된 화소 및(또는) 블랙 매트릭스를 포함하는 착색층을 구비하는 것으로, 예를 들면 투과형 또는 반사형의 칼라 액정 표시 장치, 칼라 촬상관 소자, 칼라 센서 등에 매우 유용하다. The color filter of this invention is equipped with the colored layer containing the pixel and / or black matrix formed as mentioned above, for example, a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, a color sensor, etc. Very useful.

액정 표시 패널Liquid crystal display panel

본 발명의 액정 표시 패널은, 상기 칼라 필터를 구비하는 것이다. The liquid crystal display panel of this invention is equipped with the said color filter.

또한, 본 발명의 액정 표시 패널의 1 개의 실시의 형태로서, 본 발명의 감방사선성 조성물을 사용하여, 박막 트랜지스터 (TFT) 기판 어레이 상에, 상술한 바와 같이하여 착색층을 형성함으로써, 특히 우수한 특성을 갖는 액정 표시 패널을 제조할 수 있다. Moreover, as one Embodiment of the liquid crystal display panel of this invention, using the radiation sensitive composition of this invention, forming a colored layer as mentioned above on a thin-film transistor (TFT) substrate array is especially excellent. The liquid crystal display panel which has a characteristic can be manufactured.

본 발명의 감방사선성 조성물은 상기 (A) 내지 (D) 성분을 필수 성분으로서 함유하는 것이고, 바람직한 조성물을 보다 구체적으로 예시하면, 하기 (가) 내지 (바)와 같다. The radiation sensitive composition of this invention contains the said (A)-(D) component as an essential component, and when a preferable composition is illustrated more concretely, it is as follows (a)-(bar).

(가) (B) 알칼리 가용성 수지가 카르복실기 함유 공중합체 (I)을 포함하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (A) The radiation sensitive composition for colored layer formation in which (B) alkali-soluble resin contains a carboxyl group-containing copolymer (I).

(나) (C) 다관능성 단량체가 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트를 포함하는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 상기 (가)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (B) Coloring of the above-mentioned (A) containing (C) the polyfunctional monomer containing 1 or more types chosen from the group containing trimethylol propane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and dipentaerythritol hexaacrylate. Radiation-sensitive composition for layer formation.

(다) (D) 감방사선성 중합 개시제가 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온을 포함하는 상기 (가) 또는 (나)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (C) Said (A) (D) in which a radiation sensitive polymerization initiator contains 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one Or (b) The radiation sensitive composition for forming a colored layer.

(라) (D) 감방사선성 중합 개시제가 또한 비이미다졸계 화합물 및(또는) 아세토페논계 화합물을 포함하는 상기 (가), (나) 또는 (다)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (D) The radiation-sensitive composition for forming a colored layer of (A), (B) or (C), wherein the radiation-sensitive polymerization initiator (D) further comprises a biimidazole-based compound and / or an acetophenone-based compound. .

(마) (D) 감방사선성 중합 개시제가 또한 수소 공여체를 1종 이상 포함하는 상기 (라)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (E) The radiation sensitive composition for colored layer formation of said (D) in which (D) radiation sensitive polymerization initiator contains 1 or more types of hydrogen donors further.

(바) (A) 착색제가 유기 안료 및(또는) 카본 블랙을 포함하는 상기 (가), (나), (다), (라) 또는 (마)의 착색층 형성용 감방사선성 조성물. (F) The radiation sensitive composition for colored layer formation of said (A), (B), (C), (D) or (E) whose (A) colorant contains an organic pigment and / or carbon black.

또한, 본 발명이 바람직한 칼라 필터는 하기 (사)의 칼라 필터를 포함한다. Moreover, the color filter with which this invention is preferable includes the color filter of the following (g).

(사) 상기 (가), (나), (다), (라), (마) 또는 (바)의 감방사선성 조성물로부터 형성된 화소 및(또는) 블랙 매트릭스를 구비한 칼라 필터. (G) The color filter provided with the pixel and / or black matrix formed from the radiation sensitive composition of said (a), (b), (c), (d), (e) or (f).

이상과 같이, 본 발명의 감방사선성 조성물에 의하면 감방사선성 중합 개시제 성분의 승화에 의한 소성로나 포토마스크 등의 오염을 억제할 수 있고, 액 중 이물이 생기는 일이 없고, 또한 화소 패턴 및 블랙 매트릭스 패턴의 엣지에 찌꺼기가 생기게 하는 일이 없고, 또한 언더 컷트가 없는 양호한 화소 패턴 및 블랙 매트릭스 패턴을 형성할 수 있다. As described above, according to the radiation sensitive composition of the present invention, contamination of a firing furnace, a photomask, or the like due to sublimation of the radiation sensitive polymerization initiator component can be suppressed, and foreign substances are not generated in the liquid, and the pixel pattern and black It is possible to form a satisfactory pixel pattern and a black matrix pattern without causing debris on the edges of the matrix pattern and without undercuts.

따라서, 본 발명의 감방사선성 조성물은, 전자 공업 분야에서의 칼라 액정 표시 패널용의 칼라 필터를 비롯하는 각종의 칼라 필터 및 액정 표시 패널의 제조에 매우 바람직하게 사용할 수 있다. Therefore, the radiation sensitive composition of this invention can be used very suitably for manufacture of various color filters and liquid crystal display panels including the color filter for color liquid crystal display panels in the electronic industry.

<실시예><Example>

이하, 실시예를 들어, 본 발명의 실시의 형태를 더욱 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은, 하기 실시예에 한정되는 것이 아니다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment is given and embodiment of this invention is described more concretely. However, this invention is not limited to the following Example.

<합성예 1>Synthesis Example 1

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 1 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하고, 계속해서 메타크릴산 15 중량부, 스티렌 15 중량부, 벤질메타크릴레이트 35 중량부, 글리세롤모노메타크릴레이트 10 중량부, N-페닐말레이미드 25 중량부 및 연쇄 이동제 α-메틸스티렌다이머 2.5 중량부를 투입하여 질소 치환한 후, 완만히 교반하여 반응 용액의 온도를 80 ℃로 승온하여, 이 온도를 유지하여 3 시간 중합하였다. 그 후, 반응 용액의 온도를 100 ℃로 승온하고, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 0.5 중량부를 가하고, 또한 1 시간 중합함으로써 (B) 알칼리 가용성 수지의 용액 (고형분 농도=33.0 중량%)을 얻었다. 1 part by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid. 15 parts by weight of styrene, 35 parts by weight of benzyl methacrylate, 10 parts by weight of glycerol monomethacrylate, 25 parts by weight of N-phenylmaleimide and 2.5 parts by weight of a chain transfer agent α-methylstyrene dimer were substituted with nitrogen. It stirred gently, the temperature of the reaction solution was heated up at 80 degreeC, this temperature was maintained, and it superposed | polymerized for 3 hours. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and further polymerized for 1 hour, thereby (B) a solution of alkali-soluble resin ( Solid content concentration = 33.0 wt%).

이 (B) 알칼리 가용성 수지는 Mw=17,000, Mn=8,000이었다. 이 (B) 알칼리 가용성 수지를 「수지 (B-1)」로 한다. This (B) alkali-soluble resin was Mw = 17,000 and Mn = 8,000. Let this (B) alkali-soluble resin be "resin (B-1)."

<합성예 2>Synthesis Example 2

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 1 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하고, 계속해서 메타크릴산 15 중량부, 스티렌 15 중량부, 벤질메타크릴레이트 30 중량부, 글리세롤모노메타크릴레이트 15 중량부, N-페닐말레이미드 25 중량부 및 연쇄 이동제 α-메틸스티렌다이머 2.5 중량부를 투입하여 질소 치환한 후, 완만히 교반하여, 반응 용액의 온도를 80 ℃로 승온하고, 이 온도를 유지하여 3 시간 중합하였다. 그 후, 반응 용액의 온도를 100 ℃로 승온하고, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 0.5 중량부를 가하고, 또한 1 시간 중합함으로써 (B) 알칼리 가용성 수지의 용액 (고형분 농도=32.9 중량%)를 얻었다. 1 part by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid. 15 parts by weight of styrene, 30 parts by weight of benzyl methacrylate, 15 parts by weight of glycerol monomethacrylate, 25 parts by weight of N-phenylmaleimide and 2.5 parts by weight of a chain transfer agent α-methylstyrene dimer were substituted with nitrogen. The mixture was stirred gently, the temperature of the reaction solution was raised to 80 ° C., maintained at this temperature, and polymerized for 3 hours. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and further polymerized for 1 hour, thereby (B) a solution of alkali-soluble resin ( Solid content concentration = 32.9% by weight).

이 (B) 알칼리 가용성 수지는 Mw=19,000, Mn=9,000이었다. 이 (B) 알칼리 가용성 수지를 「수지 (B-2)」로 한다. This (B) alkali-soluble resin was Mw = 19,000 and Mn = 9,000. Let this (B) alkali-soluble resin be "resin (B-2)."

<합성예 3>Synthesis Example 3

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 1 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하고, 계속해서 메타크릴산 15 중량부, 스티렌 15 중량부, 벤질메타크릴레이트 30 중량부, 글리세롤모노메타크릴레이트 10 중량부, N-페닐말레이미드 30 중량부 및 연쇄 이동제 α-메틸스티렌다이머 2.5 중량부를 투입하여 질소 치환한 후, 완만히 교반하여, 반응 용액의 온도를 80 ℃로 승온하고 이 온도를 유지하여 3 시간 중합하였다. 그 후, 반응 용액의 온도를 100 ℃로 승온하고, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 0.5 중량부를 가하고, 또한 1 시간 중합함으로써 (B) 알칼리 가용성 수지의 용액 (고형분 농도=33.2 중량%)을 얻었다. 1 part by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid. 15 parts by weight of styrene, 30 parts by weight of benzyl methacrylate, 10 parts by weight of glycerol monomethacrylate, 30 parts by weight of N-phenylmaleimide, and 2.5 parts by weight of a chain transfer agent α-methylstyrene dimer were substituted with nitrogen. The mixture was stirred gently, and the temperature of the reaction solution was raised to 80 ° C. and maintained at this temperature to polymerize for 3 hours. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and further polymerized for 1 hour, thereby (B) a solution of alkali-soluble resin ( Solid content concentration = 33.2% by weight).

이 (B) 알칼리 가용성 수지는 Mw=15,000, Mn=7,000이었다. 이 (B) 알칼리 가용성 수지를 「수지 (B-3)」이라 한다. This (B) alkali-soluble resin was Mw = 15,000 and Mn = 7,000. This (B) alkali-soluble resin is called "resin (B-3)."

<합성예 4>Synthesis Example 4

냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 3 중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하고, 계속해서 메타크릴산 15 중량부, 아세나프틸렌 30 중량부, 벤질메타크릴레이트 35 중량부, 2-히드록시에틸메타크릴레이트 10 중량부, ω-카르복시폴리카프로락톤모노아크릴레이트 10 중량부 및 연쇄 이동제 α-메틸스티렌다이머 5 중량부를 투입하여 질소 치환한 후, 완만히 교반하여, 반응 용액의 온도를 80 ℃에 승온하여, 이 온도를 유지하여 3 시간 중합하였다. 그 후, 반응 용액의 온도를 100 ℃로 승온하고, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 0.5 중량부를 가하고, 또한 1 시간 중합함으로써 (B) 알칼리 가용성 수지의 용액 (고형분 농도=31.0 중량%)을 얻었다.  In a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 3 parts by weight of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid. Parts, 30 parts by weight of acenaphthylene, 35 parts by weight of benzyl methacrylate, 10 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate, 10 parts by weight of ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate and a chain transfer agent α-methylstyrene dimer 5 After weight part was added and nitrogen-substituted, it stirred gently, the temperature of the reaction solution was heated up to 80 degreeC, this temperature was hold | maintained, and it superposed | polymerized for 3 hours. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by weight of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and further polymerized for 1 hour, thereby (B) a solution of alkali-soluble resin ( Solid content concentration = 31.0 wt%).

이 (B) 알칼리 가용성 수지는 Mw=10,000, Mn=6,000이었다. 이 (B) 알칼리 가용성 수지를 「수지 (B-4)」로 한다. This (B) alkali-soluble resin was Mw = 10,000 and Mn = 6,000. Let this (B) alkali-soluble resin be "resin (B-4)."

<실시예 1><Example 1>

(A) 착색제로서 C.I.피그먼트 레드 254와 C.I.피그먼트 레드 177과의 80/20 ( 중량비) 혼합물 85 중량부, (B) 알칼리 가용성 수지로서 수지 (B-1) 70 중량부, (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 80 중량부, (D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 (상품명 이루가큐어 379, 치바ㆍ스페셜티ㆍ케미칼사 제조. 이하 동일) 50 중량부 및 용매로서 3-에톡시프로피온산에틸과 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트와의 70/30 (중량비) 혼합물 1,000 중량부를 혼합하고, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (R1)을 제조하였다. (A) 85 parts by weight of an 80/20 (weight ratio) mixture of CI Pigment Red 254 and CI Pigment Red 177 as a coloring agent, (B) 70 parts by weight of resin (B-1) as an alkali-soluble resin, (C) a multi-pipe 80 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as the functional monomer, (D) 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butane as the radiation-sensitive polymerization initiator -1-one (trade name Irugacure 379, manufactured by Chiba Specialty Chemical Co., Ltd. as follows.) 70/30 (weight ratio) mixture of ethyl 3-ethoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate as 50 parts by weight and solvent 1,000 parts by weight were mixed to prepare a liquid composition (R1) of the radiation sensitive composition.

<칼라 필터의 형성><Formation of color filter>

액상 조성물 (R1)을, 표면에 나트륨 이온의 용출을 방지하는 SiO2막이 형성된 소다 유리 기판에, 스핀 코팅을 이용하여 도포한 후, 90 ℃의 핫 플레이트 상에서 2 분간 프레 베이크를 행하고, 막 두께 1.7 ㎛의 도막을 형성하였다.The liquid composition (R1) a, a soda glass substrate, SiO 2 film is formed to prevent the elution of sodium ions on the surface, was applied using a spin coating, it is performed for 2 minutes pre-baking on a hot plate at 90 ℃, thickness 1.7 A coating film of 탆 was formed.

이어서, 이 기판을 실온으로 냉각한 후, 고압 수은 램프를 이용하여, 포토마스크 (슬릿 폭 30 미크론)을 통하여, 도막에 365 nm, 405nm 및 436 nm의 각 파장을 포함하는 자외선을 5,O0O J/m2의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 기판을 23 ℃의 0.04 중량% 수산화 칼륨 수용액에 1 분간 침지하여, 현상한 후, 초순수로 세정하여 풍건하였다. 그 후, 220 ℃의 크린 오븐 내에서 30 분간 포스트베이크를 행하여, 기판 상에 적색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하였다.Subsequently, after cooling the substrate to room temperature, using a high-pressure mercury lamp, ultraviolet light containing each wavelength of 365 nm, 405 nm and 436 nm in the coating film through a photomask (slit width of 30 microns) was added to the 5, OO J / m was exposed with an exposure amount of the second. Then, the board | substrate was immersed in 23 degreeC 0.04 weight% potassium hydroxide aqueous solution for 1 minute, and developed, and it washed with ultrapure water and air-dried. Then, 30 minutes post-baking was performed in the 220 degreeC clean oven, and the pixel array containing red stripe pixel was formed on the board | substrate.

현상성의Developing 평가 evaluation

화소 어레이를 광학 현미경으로 관찰하였더니 미노광부의 기판 상에 현상 잔기가 확인 되지 않고 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 80 %로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. When the pixel array was observed with an optical microscope, no developing residue was observed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 80%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), undercut was not confirmed.

승화성의 평가Sublimation Evaluation

액상 조성물 (R1)을 기판 상에 도포한 후 건조하고, 막 두께 1.7 ㎛의 도막을 형성하였다. 그 후, 이 도막에 대해서 표준 물질로서 n-옥탄 (비중=0.701, 주입량=0.02 ㎕)를 이용하여 퍼지 조건을 100 ℃/10 분으로 하여, 헤드 스페이스 샘플러로서 JHS-100 A (상품명, 니혼 분세끼 고교(주) 제조)를 이용하여 가스 크로마토그래피/질량 분석 장치로서 JEOL JMS-AX505W 형 질량 분석계 (상품명, 니혼 분세끼 고교(주)제)를 이용하여, 헤드 스페이스 가스 크로마토그래피/질량 분석을 하여, (D) 감방사선성 중합 개시제 성분에 유래하는 피크 면적 A를 구하여, 하기 계산식에 의해 n-옥탄 환산에 의한 휘발량을 산출하였더니 휘발량은 0 μg이었다. After apply | coating a liquid composition (R1) on a board | substrate, it dried and formed the coating film with a film thickness of 1.7 micrometers. Subsequently, purge conditions were set to 100 ° C / 10 minutes using n-octane (specific gravity = 0.170, injection amount = 0.02 µl) as a standard substance for this coating film, and JHS-100A (trade name, Nihon powder) as a head space sampler. Head Space Gas Chromatography / Mass Spectrometry is performed using JEOL JMS-AX505W type mass spectrometer (trade name, manufactured by Nihon Bunsei Kogyo Co., Ltd.) as a gas chromatography / mass spectrometer. The peak area A derived from the radiation-sensitive polymerization initiator component (D) was obtained, and the volatilization amount in terms of n-octane was calculated by the following formula, and the volatilization amount was 0 µg.

(n-옥탄 환산에 의한 휘발량의 계산식)(Calculation formula of volatilization amount by n-octane conversion)

휘발량 (μg)=A×(n-옥탄의 양)(μg)/(n-옥탄의 피크 면적)Volatilization (μg) = A × (amount of n-octane) (μg) / (peak area of n-octane)

액중Underwater 이물의 평가 Evaluation of foreign objects

액상 조성물 (R1)을 5 ℃에서 7 일간 보존한 후, (D) 감방사선성 중합 개시제 성분의 재결정 화물의 유무를 육안으로 확인함으로 관찰하였다. 또한, 보존 후의 액상 조성물 (R1)의 온도를 5 ℃에서 23 ℃로 올렸을 때, 액상 조성물 (R1) 1 밀리리터 중에 재용해하지 않고 잔존하는 0.5 ㎛ 이상의 크기의 고형물 (액중 이물)의 수를, 광산란식 액중 입자 검출기 (상품명 KS-28 B, 리온(주) 제조)를 이용하여 측정하였더니 고형물은 확인되지 않았다. After storing a liquid composition (R1) for 7 days at 5 degreeC, it observed by visually confirming the presence or absence of the recrystallization cargo of the (D) radiation sensitive polymerization initiator component. In addition, when the temperature of the liquid composition (R1) after storage was raised from 5 ° C to 23 ° C, the number of solids (foreign matter in liquid) having a size of 0.5 µm or more remaining without re-dissolving in 1 milliliter of the liquid composition (R1) was determined by using When measured using the submerged particle detector (trade name KS-28B, manufactured by Leon Co., Ltd.), solids were not confirmed.

<실시예 2><Example 2>

(D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 20 중량부, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온 (상품명 이루가큐어 907, 치바ㆍ스페셜티ㆍ케미칼사 제조. 이하 동일 ) 20 중량부 및 아민계 수소 공여체로서 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 4 중량부를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (R2)를 제조하였다. (D) 20 parts by weight of 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one as a radiation-sensitive polymerization initiator, 2-methyl-1- 20 parts by weight of [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (trade name Irugacure 907, manufactured by Chiba Specialty Chemical Co., Ltd. below) and 4,4 as an amine hydrogen donor A liquid composition (R2) of the radiation sensitive composition was produced in the same manner as in Example 1 except that 4 parts by weight of '-bis (diethylamino) benzophenone was used.

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (R2)를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 적색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used liquid composition (R2) instead of liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, formed the pixel array containing red stripe pixel on the board | substrate, and evaluated.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 85 %로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 O μg이고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 85%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), no undercut was confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was O μg, and no foreign matter was found in the liquid.

<비교예 1>Comparative Example 1

감방사선성 중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 50 중량부를 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (r1)을 제조하였다. A radiation sensitive composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 50 parts by weight of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one was used as the radiation sensitive polymerization initiator. Liquid composition (r1) was prepared.

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (r1)을 사용한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 적색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used the liquid composition (r1) instead of the liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, and formed the pixel array containing the red stripe pixel on the board | substrate, and evaluated.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 화소 어레이의 잔막률은 79 %이고, 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았지만 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐이 확인되고, 또한 도막의 휘발량은 1.0 μg이었다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, the residual film ratio of the pixel array was 79%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), the undercut was not confirmed. No foreign matter was found in the liquid, but residue or crack was observed at the edge of the pixel pattern, and the volatilization amount of the coating film was 1.0 μg.

<실시예 3><Example 3>

(A) 착색제로서 C.I.피그먼트 그린 36과 C.I.피그먼트 옐로우 150의 60/40 (중량비) 혼합물 95 중량부, (B) 알칼리 가용성 수지로서 수지 (B-2) 70 중량부, (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 80 중량부, (D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 50 중량부, 첨가제로서 말론산 1 중량부 및 용매로서 3-메톡시부틸아세테이트와 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트와의 50/50 (중량비) 혼합물 900 중량부를 혼합하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (G1)을 제조하였다. (A) 95 weight part of 60/40 (weight ratio) mixture of CI pigment green 36 and CI pigment yellow 150 as a coloring agent, (B) 70 weight part of resin (B-2) as alkali-soluble resin, (C) polyfunctionality 80 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as a monomer, and (D) 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butane- as a radiation sensitive polymerization initiator 50 parts by weight of 1-one, 1 part by weight of malonic acid as an additive, and 900 parts by weight of a 50/50 (weight ratio) mixture of 3-methoxybutyl acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent were mixed to prepare a radiation-sensitive composition. Liquid composition (G1) was prepared.

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (G1)을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 녹색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used liquid composition (G1) instead of liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, formed the pixel array containing the green stripe pixel on the board | substrate, and evaluated.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 80 %과 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니, 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 0 μg이고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, when the residual film ratio of the pixel array was 80% and good, and the cross section of the pixel pattern was observed with the scanning electron microscope (SEM), undercut was not confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was 0 µg, and no foreign matter was found in the liquid.

<실시예 4><Example 4>

(D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 20 중량부, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 12 중량부, 아민계 수소 공여체로서 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 12 중량부 및 머캅탄계 수소 공여체로서 2-머캅토벤조티아졸 6 중량부를 사용한 것 이외에는 실시예 3과 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (G2)를 제조하였다. (D) 20 parts by weight of 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one as a radiation sensitive polymerization initiator, 2,2'-bis 12 parts by weight of (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone as an amine hydrogen donor A liquid composition (G2) of the radiation sensitive composition was prepared in the same manner as in Example 3 except that 12 parts by weight and 6 parts by weight of 2-mercaptobenzothiazole were used as the mercaptan-based hydrogen donor.

계속해서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (G2)을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하고, 기판상에 녹색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Subsequently, it carried out similarly to Example 1 except having used liquid composition (G2) instead of liquid composition (R1), and formed the pixel array containing the green stripe pixel on the board | substrate, and evaluated.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 87 %로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 0 μg이고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 87%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), no undercut was confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was 0 µg, and no foreign matter was found in the liquid.

<비교예 2>Comparative Example 2

감방사선성 중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 50 중량부를 사용한 것 이외에는 실시예 3과 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (g1)을 제조하였다. Liquid phase of the radiation-sensitive composition was carried out in the same manner as in Example 3 except that 50 parts by weight of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one was used as the radiation-sensitive polymerization initiator. Composition (g1) was prepared.

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (g1)을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 녹색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used the liquid composition (g1) instead of the liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, the pixel array containing the green striped pixel was formed on the board | substrate, and evaluation was performed.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않았고, 화소 어레이의 잔막률은 79 %이고, 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니, 언더 컷트는 확인되지 않았고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았지만 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐이 확인되고, 또한 도막의 휘발량은 1.0 μg이었다. As a result, no developing residue was observed on the substrate of the unexposed portion, the residual film ratio of the pixel array was 79%, and the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM). Undercut was not confirmed. In addition, foreign matter in the liquid was not confirmed, but residues and cracks were observed at the edge of the pixel pattern, and the volatilization amount of the coating film was 1.0 μg.

<실시예 5>Example 5

(A) 착색제로서 C.I.피그먼트블루 15:6과 C.I.피그먼트바이올렛 23과의 95/5 (중량비) 혼합물 70 중량부, (B) 알칼리 가용성 수지로서 수지 (B-3) 60 중량부, (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 90 중량부, (D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 50 중량부, 첨가제로서 비이온계 계면활성제 A-60 (상품명, 카오(주) 제조) 5 중량부 및 용매로서 3-에톡시프로피온산에틸과 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 60/40 (중량비) 혼합물 900 중량부를 혼합하고, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (B1)을 제조하였다. (A) 70 weight part of 95/5 (weight ratio) mixture of CI pigment blue 15: 6 and CI pigment violet 23 as a coloring agent, (B) 60 weight part of resin (B-3) as alkali-soluble resin, (C ) 90 parts by weight of dipentaerythritol hexaacrylate as the polyfunctional monomer, (D) 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl as the radiation-sensitive polymerization initiator 50 parts by weight of butan-1-one, 5 parts by weight of nonionic surfactant A-60 (trade name, manufactured by Cao) as an additive, and 60 parts of 3-ethoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate as solvents. 900 parts by weight of the / 40 (weight ratio) mixture was mixed to prepare a liquid composition (B1) of the radiation sensitive composition.

계속해서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (B1)을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 청색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Subsequently, except having used the liquid composition (B1) instead of the liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, the pixel array containing the blue striped pixel was formed on the board | substrate, and evaluation was performed.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 85 %로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 O μg에서 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 85%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), no undercut was confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was not confirmed at O μg or foreign matter in the liquid.

<실시예 6><Example 6>

(D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 15 중량부, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 6 중량부, 아민계 수소 공여체로서 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 9 중량부, 머캅탄계 수소 공여체로서 2-머캅토벤조티아졸 3 중량부 및 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온 15 중량부를 사용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (B2)를 제조하였다. (D) 15 parts by weight of 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one as a radiation sensitive polymerization initiator, 2,2'-bis 6 parts by weight of (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone as an amine hydrogen donor 9 parts by weight, 3 parts by weight of 2-mercaptobenzothiazole and 15 parts by weight of 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one as mercaptan-based hydrogen donors A liquid composition (B2) of the radiation sensitive composition was produced in the same manner as in Example 5 except for the above.

계속해서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (B2)를 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 청색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Subsequently, except for using the liquid composition (B2) instead of the liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, the pixel array containing the blue striped pixel was formed on the board | substrate, and evaluation was performed.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 90 %로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 O μg이고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 90%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), no undercut was confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was O μg, and no foreign matter was found in the liquid.

<비교예 3>Comparative Example 3

감방사선성 중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부타논-1 50 중량부를 사용한 것 이외에는 실시예 5와 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (b1)을 제조하였다. Liquid composition of a radiation sensitive composition in the same manner as in Example 5 except that 50 parts by weight of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 was used as the radiation sensitive polymerization initiator. (b1) was prepared.

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (b1)을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 청색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used the liquid composition (b1) instead of the liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, and formed the pixel array containing a blue striped pixel on a board | substrate, and evaluated.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않고, 화소 어레이의 잔막률은 84 %이고, 도막의 휘발량은 O μg이고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았지만, 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로 관찰하였더니 언더 컷트가 확인되었다. As a result, no developing residue was observed on the substrate of the unexposed portion, no residue or cracking was observed at the edge of the pixel pattern, the residual film ratio of the pixel array was 84%, the volatilization amount of the coating film was 0 μg, and in the liquid. Although no foreign matter was observed, the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), and undercut was confirmed.

<실시예 7><Example 7>

(A) 착색제로서 카본 블랙 (미쿠니 색소(주) 제조) 250 중량부, (B) 알칼리 가용성 수지로서 수지 (B-4) 75 중량부, (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 75 중량부, (D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 50 중량부 및 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트와 시클로헥사논과의 50/50 (중량비) 혼합물 1,000중량부를 혼합하여 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (BK1)을 제조하였다. (A) 250 parts by weight of carbon black (manufactured by Mikuni Dyestuffs Co., Ltd.) as the colorant, (B) 75 parts by weight of the resin (B-4) as the alkali-soluble resin, and (C) dipentaerythritol hexaacrylate as the polyfunctional monomer. 75 parts by weight, (D) 50 parts by weight of 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one as a radiation sensitive polymerization initiator and a solvent 1,000 parts by weight of a 50/50 (weight ratio) mixture of propylene glycol monomethyl ether acetate and cyclohexanone was mixed to prepare a liquid composition (BK1) of a radiation sensitive composition.

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (BK1)을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 흑색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used liquid composition (BK1) instead of liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, formed the pixel array containing black stripe pixel on a board | substrate, and evaluated.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 80 %로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 0 μg이고, 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. 또한, 화소의 기판과의 밀착성도 우수하였다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 80%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), no undercut was confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was 0 µg, and no foreign matter was found in the liquid. Moreover, the adhesiveness with the board | substrate of the pixel was also excellent.

<실시예 8><Example 8>

(A) 착색제로서 카본 블랙 (미쿠니 색소(주) 제조) 250 중량부, (B) 알칼리 가용성 수지로서 수지 (B-4) 75 중량부, (C) 다관능성 단량체로서 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 75 중량부, (D) 감방사선성 중합 개시제로서 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 20 중량부 및 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9.H.-카르바졸-3-일]에탄-1-온옥심-O-아세테이트 (상품명 CGI-242, 치바ㆍ스페셜티ㆍ케미칼사 제조) 20 중량부 및 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트와 시클로헥사논과의 50/50 (중량비) 혼합물 1,000 중량부를 혼합하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (BK2)을 제조하였다. (A) 250 parts by weight of carbon black (manufactured by Mikuni Dyestuffs Co., Ltd.) as the colorant, (B) 75 parts by weight of the resin (B-4) as the alkali-soluble resin, and (C) dipentaerythritol hexaacrylate as the polyfunctional monomer. 75 parts by weight, (D) 20 parts by weight of 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one as a radiation sensitive polymerization initiator and 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9.H.-carbazol-3-yl] ethane-1-onoxime-O-acetate (trade name CGI-242, manufactured by Chiba Specialty Chemicals Co., Ltd.) 20 parts by weight and 1,000 parts by weight of a 50/50 (weight ratio) mixture of propylene glycol monomethyl ether acetate and cyclohexanone as a solvent were mixed to prepare a liquid composition (BK2) of the radiation-sensitive composition.

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (BK2)을 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 흑색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used the liquid composition (BK2) instead of the liquid composition (R1), it carried out similarly to Example 1, and formed the pixel array containing black stripe pixel on a board | substrate, and evaluated.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 85 %로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 0 μg이고 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. 또한, 화소의 기판과의 밀착성도 우수하였다. As a result, the developing residue was not confirmed on the substrate of the unexposed portion, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 85%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), no undercut was confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was 0 μg, and no foreign matter was found in the liquid. Moreover, the adhesiveness with the board | substrate of the pixel was also excellent.

<비교예 4><Comparative Example 4>

감방사선성 중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 30 중량부, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 12 중량부, 아민계 수소 공여체로서 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 12 중량부 및 머캅탄계 수소 공여체로서 2-머캅토벤조티아졸 6 중량부를 사용한 것 이외에는 실시예 7과 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (bk1)을 제조하였다. 30 parts by weight of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one as a radiation sensitive polymerization initiator, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 12 parts by weight of ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 12 parts by weight of 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone as an amine hydrogen donor and 2 as mercaptan-based hydrogen donor A liquid composition (bk1) of the radiation sensitive composition was produced in the same manner as in Example 7 except that 6 parts by weight of mercaptobenzothiazole was used.

이어서, 액상 조성물 (BK1) 대신에 액상 조성물 (bk1)을 사용한 것 이외에는 실시예 7과 동일하게 하여, 기판 상에 흑색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여 평가를 행하였다. Next, except having used the liquid composition (bk1) instead of the liquid composition (BK1), it carried out similarly to Example 7, the pixel array containing the black striped pixel was formed on the board | substrate, and evaluation was performed.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기가 확인되지 않고, 화소 어레이의 잔막률은 83 %이고, 또한 도막의 휘발량은 0 μg이지만, 화소 패턴의 엣지에는 찌꺼기나 깨짐이 확인되고, 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로써 관찰하였더니 언더 컷트가 확인되고, 또한 액중 이물이 5개 확인되었다. As a result, no developing residue was observed on the substrate of the unexposed portion, the residual film ratio of the pixel array was 83%, and the volatilization amount of the coating film was 0 μg, but residue and cracks were observed at the edge of the pixel pattern. When the cross section of was observed with the scanning electron microscope (SEM), the undercut was confirmed, and five foreign matters in the liquid were also confirmed.

<실시예 9>Example 9

용매로서 3-에톡시프로피온산에틸과 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 70/30 (중량비) 혼합물 1,500 중량부를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 감방사선성 조성물의 액상 조성물 (R3)을 제조하였다. A liquid composition of a radiation sensitive composition (R3) was prepared in the same manner as in Example 1 except that 1,500 parts by weight of a 70/30 (weight ratio) mixture of ethyl 3-ethoxypropionate and propylene glycol monomethyl ether acetate was used as a solvent. .

이어서, 액상 조성물 (R1) 대신에 액상 조성물 (R3)을 사용하고, 스핀 코팅 대신에 슬릿 다이 코터를 사용하여 도포한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 기판 상에 적색의 스트라이프상 화소를 포함하는 화소 어레이를 형성하여, 평가를 행하였다. Subsequently, a red stripe-like pixel was included on the substrate in the same manner as in Example 1 except that the liquid composition (R3) was used instead of the liquid composition (R1) and applied using a slit die coater instead of spin coating. A pixel array was formed and evaluation was performed.

그 결과, 미노광부의 기판 상에 현상 잔기는 확인되지 않았고, 또한 화소 패턴의 엣지에 찌꺼기나 깨짐은 확인되지 않았다. 또한, 화소 어레이의 잔막률은 85%로 양호하고, 또한 화소 패턴의 단면을 주사형 전자 현미경 (SEM)으로 관찰하였더니 언더 컷트는 확인되지 않았다. 또한, 도막의 휘발량은 0 μg이고 또한 액중 이물도 확인되지 않았다. As a result, the developing residue was not confirmed on the unexposed part of the substrate, and no residue or crack was found at the edge of the pixel pattern. In addition, the remaining film ratio of the pixel array was good at 85%, and when the cross section of the pixel pattern was observed with a scanning electron microscope (SEM), no undercut was confirmed. In addition, the volatilization amount of the coating film was 0 μg, and no foreign matter was found in the liquid.

이와 같이, 이 조성물은 감방사선성 중합 개시제 성분의 승화에 의한 소성로나 포토마스크 등의 오염을 억제할 수 있고, 또한 액중 이물이 생기는 일이 없고, 또한 현상성, 패턴 형상에도 우수한 이점이 있다. Thus, this composition can suppress the contamination of a kiln, a photomask, etc. by sublimation of a radiation sensitive polymerization initiator component, and also has the advantage that a foreign material does not produce in a liquid, and is excellent also in developability and a pattern shape.

Claims (3)

(A) 착색제, (B) 알칼리 가용성 수지, (C) 다관능성 단량체 또는 이와 단관능성 화합물의 조합, 및 (D) 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 함유하고, 착색층 형성에 사용되는 것을 특징으로 하는 감방사선성 수지 조성물. (A) a coloring agent, (B) alkali-soluble resin, (C) polyfunctional monomer or a combination of monofunctional compound, and (D) the compound represented by following formula (1), and used for formation of a colored layer, It is characterized by the above-mentioned. A radiation sensitive resin composition. <화학식 1><Formula 1> 화학식 1에 있어서, R1은 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기를 나타내고, R2 및 R3은 서로 독립적으로 수소 원자; 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 또는 벤질기를 나타내고, R4, R5, R7 및 R8은 서로 독립적으로 수소 원자; 할로겐 원자; 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 또는 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 나타내고, R6은 할로겐 원자; 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 수산기 및 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기로 이루어진 군으로부터 선택되는 치환기로 치환되는 탄소수 1 내지 12의 직쇄상, 분지상 또는 환상 알킬기; 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기; 또는 수산기 및 탄소수 1 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기로 이루어진 군으로부터 선택되는 치환기로 치환된 탄소수 2 내지 4의 직쇄상 또는 분지상의 알콕실기를 나타낸다.In formula (1), R 1 represents a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom; Linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms; Or a benzyl group, R 4 , R 5 , R 7 and R 8 are each independently a hydrogen atom; Halogen atom; Linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms; Or a linear or branched alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, R 6 is a halogen atom; Linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms; Linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms substituted with a substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group and a linear or branched alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms; Linear or branched alkoxyl groups having 1 to 4 carbon atoms; Or a straight or branched alkoxyl group having 2 to 4 carbon atoms substituted with a substituent selected from the group consisting of a hydroxyl group and a straight or branched alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms. 제1항에 기재된 감방사선성 조성물로부터 형성된 착색층을 구비한 칼라 필터. The color filter provided with the colored layer formed from the radiation sensitive composition of Claim 1. 제2항에 기재된 칼라 필터를 구비하여 형성되는 액정 표시 패널. The liquid crystal display panel provided with the color filter of Claim 2.
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