KR20060044746A - 레귤레이터 - Google Patents

Abstract

콤팩트하게 액압측정를 포함한 설치스페이스가 적고, 정확한 액압측정이 가능하고, 오조작의 우려가 없는 액압조정용의 레귤레이터를 제공하는 것을 과제로 한다.

내부를 관통하는 메인유로(2)와 연통하고 있고, 각각 라인에 접속되는 입구측 접속구(3)와 출구측 접속구(4)를 반대방향으로 향하여 돌출설치한 베이스(1)를 설치하고, 상기 베이스(1)에 레귤레이터부(5)와 액압측정부(6)를 설치하여 이루어진다. 상기 액압측정부(6)는, 출구측에 배치되는 것이 바람직하다.

Description

레귤레이터{FLUID PRESSURE REGULATOR}

도 1은, 본 발명의 일실시형태의 정면도이다.

도 2는, 도 1에 나타내는 실시형태의 정면종단면도이다.

도 3은, 본 발명의 다른 실시형태의 정면도이다.

도 4는, 도 3에 나타내는 실시형태의 정면단면도이다.

도 5는, 도 3에 나타내는 실시형태의 평면도이다.

도 6은, 본 발명의 다른 실시형태의 평면도이다.

도 7은, 도 6에 나타내는 실시형태의 정면도이다.

도 8은, 본 발명의 또 다른 실시형태의 평면도이다.

[도면의 부호의 설명]

1 : 베이스 2 : 메인유로

3 : 입구측 접속구 4 : 출구측 접속구

5 : 레귤레이터 6 : 프레셔게이지

7 : 분기로 8 : 게이지 설치대

9 : 받는구멍 10 : 압력도입부

11 : 캡형상 핸들 21 : 액압센서

22 : 격막 23 : 압력센서

24 : 센서케이스 25 : 코드

27 : 포트 28 : 튜브

본 발명은 레귤레이터, 보다 상세하게는, 예를 들면 반도체 제조과정에서 사용되는 약액을, 탱크에서 공출하여 액체이송라인을 통해 보내는 때에, 그 이송액압을 소정의 것으로 하기 위해서 해당 라인에 조립되는 레귤레이터에 관한 것이다.

상기 레귤레이터는, 통상, 액체이송라인에 인라인 접속되고, 매뉼얼조작 또는 에어 오퍼레이트등의 기계적 조작에 의해서 액압을 조정하는 것이지만, 그 조작에 있어서는, 액압을 확인해야 한다. 그 때문에, 레귤레이터와 함께, 그의 상류측 또는 하류측에 액압게이지, 또는, 액압센서등의 액압측정장치가 부설된다.

상기 종래의 레귤레이터의 경우는, 그 자체 인라입 접속하기 때문에 라인에 대한 조인트가 필요로 할 뿐 아니라, 또한 액압게이지 또는 액압센서를 인라인 접속하기 위한 조인트도 필요하게 되고, 그 만큼 스페이스가 필요해진다.

또한, 액압측정장치는, 레귤레이터의 상류측 또는 하류측의, 레귤레이터로부터 조금 떨어진 위치에 설치되기 때문에, 그 사이의 압력손실의 영향을 받아, 레귤레이터의 위치에서 정확한 액압측정을 하는 것은 기대할 수 없다.

또한, 같은 라인에 레귤레이터와 액압측정장치가 각각 복수병설되어 있는 경우, 그 조합을 오인하여, 다른 조의 액압측정장치에 기초하여 레귤레이터를 오조작 하여 버리고 마는 우려도 있다.

[특허문헌 1]

일본국 특허제 3323513 호 공보

[특허문헌 2]

일본국 특개평 8-192091 호 공보

[특허문헌 3]

일본국 실개평 3-97639 호 공보

본 발명은, 상기 종래의 레귤레이터에 있어서의 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 콤팩트하게 액압측정장치를 포함한 설치공간이 적게 끝나고, 정확한 액압측정이 가능하며, 오조작의 우려가 없는 액압조정용의 레귤레이터를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은, 내부를 관통하는 메인유로와 연통하고 있고, 각각 라인에 접속되는 입구측 접속구와 출구측 접속구를 반대방향으로 향하여 돌출설치한 베이스를 설치하고, 상기 베이스에 레귤레이터부와 액압측정부를 설치하여 이루어지는 레귤레이터로써 상기 과제를 해결하였다. 상기 액압측정부는, 출구측에 배치되는 것이 바람직하다.

본 발명은 또한, 내부를 관통하는 메인유로와 연통하고 있고, 각각 라인에 접속되는 입구측 접속구와 출구측 접속구를 반대방향으로 향하여 돌출설치한 베이 스를 설치하고, 상기 베이스에 레귤레이터부를 설치함과 함께, 액압측정부를 접속하기 위한, 상기 베이스의 메인유로에 연이어 통하는 포트를 설치하여 이루어지는 레귤레이터에 의하여 상기 과제를 해결하였다.

상기 액압측정부로서는, 프레셔게이지, 또는, 액압 센서가 사용된다. 바람직하게는, 상기 메인유로로부터 분기하여 상기 액압측정부로 뻗은 분기로가, 상기 메인유로보다도 가는 직경으로 된다.

(실시예)

본 발명의 바람직한 실시의 형태에 관하여, 첨부 도면에 의거하여 설명한다. 본 발명에 관한 레귤레이터의 첫 번째는, 내부를 관통하는 메인유로(2)와 연이어 통하고 있고, 각각 라인에 접속되는 입구측 접속구(3)와 출구측 접속구(4)를 반대방향으로 향하여 돌출설치한 베이스(1)를 설치하고, 베이스(1)에 레귤레이터부와 액압측정부를 설치하여 이루어진다.

도 1 및 도 2 에 나타내는 실시형태는, 액압측정부로서 프레셔 게이지(6)를 사용한 것이다. 이 경우는, 메인유로(2)로부터 베이스(l)의 윗면에 빠지는 분기로(7)가 형성되고, 이 분기로(7)상에, 중앙부에 윗쪽으로 돌출하는 받는구멍(9)을 구비한 게이지설치대(8)가 고정된다.

바람직하게는 분기로(7)는, 메인유로(2)보다도 가는 직경으로 된다. 이것은, 메인유로(2)에 생기는 소위 워터해머나 맥동등의 충격으로부터 프레셔 게이지(6)등의 액압측정수단을 보호하기 위해서이다.

프레셔 게이지(6)는, 불던관식 고리형 지시압력계등이 일반적인 것도 좋고, 그 하부에, 받는구멍(9)과 같은 크기의 압력도입부(10)를 구비하고 있다. 프레셔게이지(6)는, 이 압력도입부(l0)을 받는구멍(9)에 맞대어 접합하는 것에 의하여, 베이스(1)상에 고정된다. 받는구멍(9)과 압력도입부(10)의 접합은, 예를 들면 용착 또는 접착에 의한다. 프레셔게이지(6)는, 레귤레이터(5)의 상류측 (입구측)에 배치하여도 좋으나, 바람직하게는, 하류측(출구측)에 배치한다.

도시한 레귤레이터(5)는, 그의 로렛을 형성한 캡형상 핸들(11)을 수동조작에 의하여 회전시킴으로써, 메인유로(2)를 흐르는 액압을 조정하는 타입의 것이지만, 이것을 에어 오퍼레이트등의 기계조작에 의해서 행하도록 하는 것도 가능하다.

레귤레이터(5)에 의한 액압조정은, 프레셔 게이지(6)의 눈금을 확인하면서 행하지만, 프레셔게이지(6)는 레귤레이터(5)에 인접하고 있기 때문에, 그 확인은 용이하고, 또한 다른 레귤레이터(5)의 프레셔 게이지(6)와 오인할 우려가 없다.

도 3 내지 5에 나타낸 실시형태는, 액압측정부로서, 액압센서(21)를 사용한 것이다. 이 경우는, 분기로(7)상에 센서케이스(24)가 고정된다. 센서케이스(24)는, 액체와 접하는 격막(22)을 통해 압력센서(23)를 배치한 계측부를 구비한다. 이 경우도 상기와 같은 이유로, 분기로(7)의 지름을 메인유로(2)의 지름보다 가늘게 하는 것이 바람직하다.

압력센서(23)로부터의 액압에 대응하는 신호는, 코드(25)를 통해 센서케이스(24)밖의 모니터(도시하지 않음)로 보내어지고, 디지털표시된다. 레귤레이터(5)에 의한 액압조정은, 모니터를 참조하면서, 상기 실시형태의 경우와 마찬가지로 하여 행한다.

본 발명에 관한 액압조정용 레귤레이터의 두 번째는, 내부를 관통하는 메인유로(2)와 연통하고 있고, 각각 라인에 접속되는 입구측 접속구(3)와 출구측 접속구(4)를 반대방향으로 향하여 돌출설치한 베이스(1)를 설치하고, 베이스(1)에 레귤레이터(5)를 설치함과 함께, 액압측정부를 접속하기위한, 메인유로(2)에 연이어 통하는 포트(27)를 설치하여 이루어진다.

도 6및 도 7은 그 한 실시형태를 나타내는 것으로, 베이스(1)의 측면에, 그 메인유로(2)에 연이어통하는 포트(27)가 돌출설치된다. 액압측정부로서는, 프레셔게이지(6) 또는 액압 센서(2l)가 사용된다.

이 경우, 프레셔게이지(6) 및 액압센서(21)는, 튜브(28)를 이음에 의하여, 레귤레이터(5)로부터 떨어진 거추장스럽지 않은 임의의 장소에 배치할 수가 있다. 프레셔 게이지(6) 및 액압센서(21)는, 튜브(28)를 통해 메인유로(2)내의 액압을 측정하고 표시한다.

도 8에 나타낸 실시형태는, 튜브(28)를 사용하지 않고, 프레셔게이지(6) 또는 액압센서(21)를 직접 포트(27)에 접속하도록 한 것이다. 이 구성은, 레귤레이터(5)의 주위에 충분한 공간이 있는 경우에 채용된다.

도 6 내지 도 8에 나타낸 실시형태에 있어서도, 웨터해머나 맥동등의 충격으로부터 프레셔게이지(6)나 액압센서(21)를 보호하기 위해서, 포트(27)내의 유로 및 튜브(28)의 지름을 메인유로(2)보다도 가늘게 하는 것이 바람직하다.

본 발명을 어느 정도 상세하게 그의 가장 바람직한 실시형태에 관해서 설명하여 왔지만, 본 발명의 정신과 범위에 반하는 일없이 광범위하게 다른 실시형태를 구성하는 것이 가능한 것임은 명백하기때문에, 본 발명은 첨부한 청구의 범위에 있어서 한정한 것 이외는 그 특정한 실시형태에 제약되는 것이 아니다.

본 발명에 관한 레귤레이터에 있어서는, 액압측정부 또는 액압측정부 포트가 레귤레이터부와 공통의 베이스에 일체화되어 있기 때문에, 콤팩트하게 설치공간이 적게 끝나고, 인라인접속에 있어서 접속의 수고가 감소되며, 더우기, 액압측정부 또는 액압측정부 접속포트가 레귤레이터부의 바로 가까이에 배치되기 때문에, 압력손실의 영향을 받는 일없이 정확하고 적절한 측정이 가능하게 되고, 또한 레귤레이터부를 오조작할 우려가 없다고 하는 효과가 있다.

청구항 9 내지 15에 기재한 발명에 있어서는, 상기의 효과외에, 액압측정부를 거추장스럽지 않은 임의의 위치에 배치할 수 있다고 하는 효과가 있으며, 또한, 청구항 8 및 13에 기재한 발명에 있어서는, 액압측정부가, 워터해머나 맥동등의 충격으로부터 보호되는 효과가 있다.

Claims (15)

1. 내부를 관통하는 메인유로와 연통하고 있고, 각각 라인에 접속되는 입구측 접속구와 출구측 접속구를 반대방향으로 향하여 돌출설치한 베이스를 설치하고, 상기 베이스에 레귤레이터부와 액압측정부를 설치하여 이루어지는 레귤레이터.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 액압측정부는, 레귤레이터부로부터 출구측에 배치되는 레귤레이터.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 액압측정부는, 프레셔 게이지인 레귤레이터.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 액압측정부는, 액압센서인 레귤레이터.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 레귤레이터부는, 수동조작되는 것인 레귤레이터.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 레귤레이터부는, 기계조작되는 것인 레귤레이터.
7. 제 3 항에 있어서, 상기 프레셔 게이지는, 하단에 압력도입부를 구비하고 있고, 이 압력도입부가, 상기 베이스의 메인유로로부터 분기하는 분기로상에 돌출설치되는 받는구멍에 용착 또는 접착되는 것에 의하여, 상기 프레셔게이지가 상기 베 이스상에 고정되는 레귤레이터.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 분기로를 상기 메인유로보다 가는 지름으로 한 레귤레이터.
9. 내부를 관통하는 메인유로와 연통하고 있고, 각각 라인에 접속되는 입구측 접속구와 출구측 접속구를 반대방향으로 향하여 돌출설치한 베이스를 설치하고, 상기 베이스에 레귤레이터부를 설치함과 함께, 액압측정부를 접속하기 위한, 상기 베이스의 메인유로에 연이어 통하는 포트를 설치하여 이루어지는 레귤레이터.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 액압측정부는, 튜브를 통하여 상기 포트에 접속되는 레귤레이터.
11. 제 9 항에 있어서, 상기 액압측정부는, 프레셔 게이지인 레귤레이터.
12. 제 9 항에 있어서, 상기 액압측정부는, 액압센서인 레귤레이터.
13. 제 9 항에 있어서, 상기 분기로를 상기 메인유로보다 가는 지름으로 한 레귤레이터.
14. 제 9 항에 있어서, 상기 레귤레이터부는, 수동조작되는 것인 레귤레이터.
15. 제 1 항에 있어서, 상기 레귤레이터부는, 기계조작되는 것인 레귤레이터.

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