JP2005276101A - レギュレータ - Google Patents

レギュレータ Download PDF

Info

Publication number
JP2005276101A
JP2005276101A JP2004092085A JP2004092085A JP2005276101A JP 2005276101 A JP2005276101 A JP 2005276101A JP 2004092085 A JP2004092085 A JP 2004092085A JP 2004092085 A JP2004092085 A JP 2004092085A JP 2005276101 A JP2005276101 A JP 2005276101A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
regulator
hydraulic pressure
flow path
main flow
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004092085A
Other languages
English (en)
Inventor
Hironori Igarashi
裕規 五十嵐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Surpass Industry Co Ltd
Original Assignee
Surpass Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Surpass Industry Co Ltd filed Critical Surpass Industry Co Ltd
Priority to JP2004092085A priority Critical patent/JP2005276101A/ja
Priority to EP20050006548 priority patent/EP1580635A3/en
Priority to KR1020050024874A priority patent/KR20060044746A/ko
Priority to US11/090,023 priority patent/US20050211309A1/en
Publication of JP2005276101A publication Critical patent/JP2005276101A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/04—Control of fluid pressure without auxiliary power
    • G05D16/06—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule
    • G05D16/063—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane
    • G05D16/0644—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator
    • G05D16/0663—Control of fluid pressure without auxiliary power the sensing element being a flexible membrane, yielding to pressure, e.g. diaphragm, bellows, capsule the sensing element being a membrane the membrane acting directly on the obturator using a spring-loaded membrane with a spring-loaded slideable obturator
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E01—CONSTRUCTION OF ROADS, RAILWAYS, OR BRIDGES
    • E01C—CONSTRUCTION OF, OR SURFACES FOR, ROADS, SPORTS GROUNDS, OR THE LIKE; MACHINES OR AUXILIARY TOOLS FOR CONSTRUCTION OR REPAIR
    • E01C15/00—Pavings specially adapted for footpaths, sidewalks or cycle tracks
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E01—CONSTRUCTION OF ROADS, RAILWAYS, OR BRIDGES
    • E01C—CONSTRUCTION OF, OR SURFACES FOR, ROADS, SPORTS GROUNDS, OR THE LIKE; MACHINES OR AUXILIARY TOOLS FOR CONSTRUCTION OR REPAIR
    • E01C11/00—Details of pavings
    • E01C11/22—Gutters; Kerbs ; Surface drainage of streets, roads or like traffic areas
    • E01C11/221—Kerbs or like edging members, e.g. flush kerbs, shoulder retaining means ; Joint members, connecting or load-transfer means specially for kerbs
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E01—CONSTRUCTION OF ROADS, RAILWAYS, OR BRIDGES
    • E01C—CONSTRUCTION OF, OR SURFACES FOR, ROADS, SPORTS GROUNDS, OR THE LIKE; MACHINES OR AUXILIARY TOOLS FOR CONSTRUCTION OR REPAIR
    • E01C2201/00—Paving elements
    • E01C2201/10—Paving elements having build-in shock absorbing devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
    • Y10T137/8326—Fluid pressure responsive indicator, recorder or alarm

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

【課題】コンパクトで液圧測定装置を含めての設置スペースが少なくて済み、精確な液圧測定が可能で、誤操作のおそれのない液圧調整用のレギュレータを提供することを課題とする。
【解決手段】内部を貫通するメイン流路２と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口３と出口側接続口４とを反対方向に向けて突設したベース１を設け、前記ベース１にレギュレータ部５と液圧測定部６とを設置して成る。前記液圧測定部６は、出口側に配置されることが好ましい
【選択図】図２

Description

本発明はレギュレータ、より詳細には、例えば半導体製造過程において用いられる薬液を、タンクから供出して送液ラインを介して送るに際し、その送液圧を所定のものとするために当該ラインに組み込まれるレギュレータに関するものである。
上記レギュレータは、通例、送液ラインにインライン接続され、マニュアル操作又はエアオペレート等の機械操作によって液圧を調整するものであるが、その操作に当たっては、液圧を確認する必要がある。そのため、レギュレータと共に、その上流側又は下流側に液圧ゲージ、あるいは、液圧センサー等の液圧測定装置が付設される。
上記従来のレギュレータの場合は、それ自体インライン接続するためにラインに対する継手が必要となるだけでなく、更に液圧ゲージ又は液圧センサーをインライン接続するための継手も必要となり、その分のスペースが必要となる。
また、液圧測定装置は、レギュレータの上流側又は下流側の、レギュレータから少し離れた位置に設置されるため、その間の圧力損失の影響を受け、レギュレータの位置において精確な液圧測定を行なうことは期待できない。
更に、同じラインにレギュレータと液圧測定装置がそれぞれ複数並設されている場合、その組み合わせを誤認して、他の組の液圧測定装置に基いてレギュレータを誤操作してしまうおそれもある。
特許第３３２３５１３号公報 特開平８−１９２０９１号公報 実開平３−９７６３９号公報
本発明は、上記従来のレギュレータにおける問題点を解決するためになされたもので、コンパクトで液圧測定装置を含めての設置スペースが少なくて済み、精確な液圧測定が可能で、誤操作のおそれのない液圧調整用のレギュレータを提供することを課題とする。
本発明は、内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部と液圧測定部とを設置して成るレギュレータ、を以て上記課題を解決した。前記液圧測定部は、出口側に配置されることが好ましい。
本発明はまた、内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部を設けると共に、液圧測定部を接続するための、前記ベースのメイン流路に連通するポートを設けて成るレギュレータ、を以て上記課題を解決した。
前記液圧測定部としては、プレッシャーゲージ、あるいは、液圧センサーが用いられる。好ましくは、前記メイン流路からの前記液圧測定部への流路は、前記メイン流路よりも細径にされる。
本発明に係るレギュレータにおいては、液圧測定部又は液圧測定部ポートがレギュレータ部と共通のベースに一体化されるため、コンパクトで設置スペースが少なくて済み、インライン接続において接続の手間が減り、しかも、液圧測定部又は液圧測定部接続ポートがレギュレータ部の直近に配置されるため、圧力損失の影響を受けることなく精確で適切な測定が可能となり、また、レギュレータ部を誤操作するおそれがないといった効果がある。
請求項３に記載の発明においては、上記効果の外に、液圧測定部を邪魔にならない任意の位置に配置し得るという効果があり、また、請求項７に記載の発明においては、液圧測定部が、ウォーターハンマーや脈動等の衝撃から保護される効果がある。
本発明の好ましい実施の形態につき、添付図面に依拠して説明する。本発明に係るレギュレータの第１は、内部を貫通するメイン流路２と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口３と出口側接続口４とを反対方向に向けて突設したベース１を設け、ベース１にレギュレータ部と液圧測定部とを設置して成る。
図１及び図２に示す実施形態は、液圧測定部としてプレッシャーゲージ６を用いたものである。この場合は、メイン流路２からベース１の上面に抜ける分岐路７が形成され、この分岐路７上に、中央部に上方に突出する受口９を備えたゲージ設置台８が固定される。
好ましくは分岐路７は、メイン流路２よりも細径とされる。これは、メイン流路２に生ずる所謂ウォーターハンマーや脈動等の衝撃から、プレッシャーゲージ６等の液圧測定手段を保護するためである。
プレッシャーゲージ６は、ブルドン管式丸形指示圧力計等の一般的なものでよく、その下部に、受口９と同じサイズの圧力導入部１０を備えている。プレッシャーゲージ６は、この圧力導入部１０を受口９に突合わせ接合することにより、ベース１上に固定される。受口９と圧力導入部１０の接合は、例えば溶着又は接着による。プレッシャーゲージ６は、レギュレータ５の上流側（入口側）に配置してもよいが、好ましくは、下流側（出口側）に配置する。
図示したレギュレータ５は、そのローレットを形成したキャップ状ハンドル１１を手動操作によって回転させることによって、メイン流路２を流れる液圧を調整するタイプのものであるが、これをエアオペレート等の機械操作によって行なうようにすることもできる。
レギュレータ５による液圧調整は、プレッシャーゲージ６の目盛を確認しながら行なうが、プレッシャーゲージ６はレギュレータ５に隣接しているため、その確認は容易であり、且つ、他のレギュレータ５のプレッシャーゲージ６と誤認するおそれはない。
図３乃至図５に示す実施形態は、液圧測定部として、液圧センサー２１を用いたものである。この場合は、分岐路７上に、接液する隔膜２２を介して圧力センサー２３を配置した計測部を備えたセンサーケース２４が固定される。この場合も上記と同じ理由で、分岐路７の径をメイン流路２の径よりも細くすることが好ましい。
圧力センサー２３からの液圧に対応する信号は、コード２５を介してセンサーケース２４外のモニター（図示していない）に送られ、デジタル表示される。レギュレータ５による液圧調整は、モニターを参照しながら、上記実施形態の場合と同様にして行なう。
本発明に係る液圧調整用レギュレータの第２は、内部を貫通するメイン流路２と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口３と出口側接続口４とを反対方向に向けて突設したベース１を設け、ベース１にレギュレータ５を設けると共に、液圧測定部を接続するための、メイン流路２に連通するポート２７を設けて成る。
図６及び図７はその一実施形態を示すもので、ベース１の側面に、そのメイン流路２に連通するポート２７が突設される。液圧測定部としては、プレッシャーゲージ６又は液圧センサー２１が用いられる。
この場合、プレシャーゲージ６及び液圧センサー２１は、チューブ２８を延ばすことにより、レギュレータ５から離れた邪魔にならない任意の場所に配置することができる。プレッシャーゲージ６及び液圧センサー２１は、チューブ２８を介してメイン流路２内の液圧を測定して表示する。
図８に示す実施形態は、チューブ２８を用いることなく、プレッシャーゲージ６又は液圧センサー２１を直接ポート２７に接続するようにしたものである。この構成は、レギュレータ５の周囲に十分スペースがある場合に採用される。
図６乃至図８に示す実施形態においても、ウォーターハンマーや脈動等の衝撃からプレッシャーゲージ６や液圧センサー２１を保護するため、ポート２７内の流路及びチューブ２８の径をメイン流路２よりも細くすることが好ましい。
この発明をある程度詳細にその最も好ましい実施形態について説明してきたが、この発明の精神と範囲に反することなしに広範に異なる実施形態を構成することができることは明白なので、この発明は添付請求の範囲において限定した以外はその特定の実施形態に制約されるものではない。
本発明の一実施形態の正面図である。 図１に示す実施形態の正面縦断面図である。 本発明の他の実施形態の正面図である。 図３に示す実施形態の正面縦断面図である。 図３に示す実施形態の平面図である。 本発明の更に他の実施形態の平面図である。 図６に示す実施形態の正面図である。 本発明の更に他の実施形態の平面図である。
符号の説明
１ ベース
２ メイン流路
３ 入口側接続口
４ 出口側接続口
５ レギュレータ
６ プレッシャーゲージ
７ 分岐路
８ ゲージ設置台
９ 受口
１０ 圧力導入部
１１ キャップ状ハンドル
２１ 液圧センサー
２２ 隔膜
２３ 圧力センサー
２４ センサーケース
２５ コード
２７ ポート
２８ チューブ

Claims (7)

  1. 内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部と液圧測定部とを設置して成るレギュレータ。
  2. 前記液圧測定部が、出口側に配置された請求項１に記載のレギュレータ。
  3. 内部を貫通するメイン流路と連通していて、それぞれラインに接続される入口側接続口と出口側接続口とを反対方向に向けて突設したベースを設け、前記ベースにレギュレータ部を設けると共に、液圧測定部を接続するための、前記メイン流路に連通するポートを設けて成るレギュレータ。
  4. 前記液圧測定部は、チューブを介して前記ポートに接続される請求項３に記載のレギュレータ。
  5. 前記液圧測定部がプレッシャーゲージである請求項１又は３に記載のレギュレータ。
  6. 前記液圧測定部が液圧センサーである請求項１又は３に記載のレギュレータ。
  7. 前記メイン流路からの前記液圧測定部への流路を前記メイン流路よりも細径にした請求項１乃至６のいずれかに記載のレギュレータ。
JP2004092085A 2004-03-26 2004-03-26 レギュレータ Pending JP2005276101A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004092085A JP2005276101A (ja) 2004-03-26 2004-03-26 レギュレータ
EP20050006548 EP1580635A3 (en) 2004-03-26 2005-03-24 Fluid pressure regulator
KR1020050024874A KR20060044746A (ko) 2004-03-26 2005-03-25 레귤레이터
US11/090,023 US20050211309A1 (en) 2004-03-26 2005-03-28 Fluid pressure regulator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004092085A JP2005276101A (ja) 2004-03-26 2004-03-26 レギュレータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005276101A true JP2005276101A (ja) 2005-10-06

Family

ID=34858500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004092085A Pending JP2005276101A (ja) 2004-03-26 2004-03-26 レギュレータ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20050211309A1 (ja)
EP (1) EP1580635A3 (ja)
JP (1) JP2005276101A (ja)
KR (1) KR20060044746A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151260A (ja) * 2006-12-18 2008-07-03 Ckd Corp 流体制御用バルブユニット及び流体圧力検出機器

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004046547A1 (de) * 2004-09-20 2006-04-06 Festo Ag & Co. Fluidtechnisches Gerät mit Druckregler
LU91808B1 (en) * 2011-04-15 2012-10-16 Ipalco Bv System for delivering pre-conditioned air to an aircraft on the ground

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4174733A (en) * 1977-09-19 1979-11-20 Fischer & Porter Company Process gas flow control module
DE3839146A1 (de) * 1988-11-19 1990-05-23 Gok Gmbh & Co Kg Pilotgesteuertes gasdruckregelgeraet
FR2658579B1 (fr) * 1990-02-22 1992-04-30 Soudure Autogene Francaise Detendeur.
US5282493A (en) * 1993-01-07 1994-02-01 Contemporary Products, Inc. High pressure fluid valve
US5279326A (en) * 1993-01-21 1994-01-18 Lin Chi San Safety valve
US5303733A (en) * 1993-02-08 1994-04-19 Robertshaw Controls Company Pressure regulating unit for beverage dispensing system
US5529096A (en) * 1994-12-12 1996-06-25 International Safety Instruments, Inc. Air tank filling system
US5704589A (en) * 1995-10-12 1998-01-06 Victor Equipment Company Yoke for mounting on a gas tank
IL121601A (en) * 1997-08-21 2000-06-29 Eilat Divers Supply Ltd Filling yoke for compressed gas cylinders
US6003555A (en) * 1998-10-30 1999-12-21 Sheng; Chih-Sheng Structure of a pressure regulator
WO2000031462A1 (en) * 1998-11-20 2000-06-02 Mykrolis Corporation System and method for integrating gas components
US20020108654A1 (en) * 2001-02-12 2002-08-15 Vreeland Thomas A. Filter arrangement at a pressure regulator
US6530396B1 (en) * 2001-05-11 2003-03-11 Donald D. Frey Valve coupler for delivering air into a propane tank
CA2412695C (en) * 2002-11-26 2007-07-24 Andrew S. Douglas Gas delivery system and pneumatic yoke for a pressurized gas reservoir

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008151260A (ja) * 2006-12-18 2008-07-03 Ckd Corp 流体制御用バルブユニット及び流体圧力検出機器
JP4672643B2 (ja) * 2006-12-18 2011-04-20 シーケーディ株式会社 流体制御用バルブユニット及び流体圧力検出機器

Also Published As

Publication number Publication date
EP1580635A2 (en) 2005-09-28
EP1580635A3 (en) 2008-05-21
KR20060044746A (ko) 2006-05-16
US20050211309A1 (en) 2005-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7163024B2 (en) Flow control valve and flow control device
CN102027356A (zh) 用于热水系统的高温度和压力的氧化还原电位测量和监控装置
TW200600990A (en) System and method for flow monitoring and control
WO2008058872A3 (fr) Dispositif de mesure de la pression totale d'un ecoulement et procede mettant en oeuvre le dispositif
TW201417893A (zh) 噴嘴流體流量指示器系統
CN102460149A (zh) 用于气体分析仪校准的按需气体调节器
JP2005276101A (ja) レギュレータ
JP2017138201A (ja) 圧力検出装置
JP2005010078A (ja) インライン型圧力センサ
JPH102770A (ja) 一体形差圧式流量計
JP5162593B2 (ja) 渦センサ交換のための漏れ点検装置
JP2018077066A (ja) サドル型超音波流速計及び流速計測方法
US10636596B2 (en) Flow sensor module and controller
JP2007038179A (ja) ガス混合装置
EP3583897A1 (en) Breath measurement device
JP4634251B2 (ja) 指示計及びガス流体の供給装置
JP6037383B2 (ja) 面積式流量計の取付機構及び面積式流量計の取付方法
KR101391131B1 (ko) 압력감지 일체형 압력계
JP5237682B2 (ja) 圧力測定デバイス
ATE451822T1 (de) Flüssigkeitsströmungssensor für röntgenröhren
CN212007367U (zh) 一体式流量压力测量水表
JP2002139365A (ja) 流量計の取り付け方法及び装置
KR101751738B1 (ko) 차압식 유량계
JP2008207056A (ja) オゾン水製造装置
JP2003270010A (ja) 流量設定装置及び流量計測器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080806

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081006

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081107

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090218