KR20060030584A - Apparatus for manufacturing fpd - Google Patents

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Abstract

본 발명은 그 내부를 진공분위기로 형성시키고 평판표시소자 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus which can form a vacuum atmosphere therein and perform a predetermined process on a flat panel display device substrate.

본 발명은, 진공 상태의 챔버 내부에서 플라즈마를 발생시켜서 기판에 소정의 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 챔버는 하부 챔버와 상기 하부 챔버 상에 개폐가능하게 배치되는 상부 챔버로 이루어지되, 상기 하부 챔버와 상부 챔버의 각 결합면은 상기 상부 챔버의 출입방향을 따라 하향 경사진 경사면으로 마련되며, 상기 상부 챔버를 수평방향으로 이동가능하게 지지하는 수평방향 구동기구 및 상기 상부 챔버를 회전가능하게 지지하는 회전기구가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display device manufacturing apparatus that generates a plasma in a vacuum chamber and performs a predetermined process on a substrate, wherein the chamber includes a lower chamber and an upper chamber that is opened and closed on the lower chamber. Each coupling surface of the lower chamber and the upper chamber is provided with an inclined surface inclined downward along the entry and exit direction of the upper chamber, and the horizontal driving mechanism and the upper chamber supporting the upper chamber to be movable in a horizontal direction. Provided is a flat panel display device manufacturing apparatus, characterized in that a rotation mechanism for rotatably supporting is further provided.

평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 상부 챔버, 상부 챔버 개폐Flat panel display device, flat panel display device manufacturing device, upper chamber, upper chamber opening and closing

Description

평판표시소자 제조장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING FPD}Flat panel display device manufacturing device {APPARATUS FOR MANUFACTURING FPD}

도 1은 평판표시소자 제조장치의 내부 구조를 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing the internal structure of a flat panel display device manufacturing apparatus.

도 2는 종래의 상부 챔버 개폐장치의 구조를 보여주는 사시도이다. Figure 2 is a perspective view showing the structure of a conventional upper chamber opening and closing device.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 구조를 보여주는 측면도이다. 3 is a side view showing the structure of a flat panel display device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밀봉부재 구동부의 구동모습을 나타내는 부분 단면도이다. Figure 4 is a partial cross-sectional view showing the driving appearance of the sealing member drive unit according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 밀봉부재 구동부의 구동모습을 나타내는 부분 단면도이다. 5 is a partial cross-sectional view showing a driving pattern of the sealing member driving unit according to another embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 밀봉부재의 구동모습을 나타내는 부분 단면도이다. 6 is a partial cross-sectional view showing a driving appearance of the sealing member according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치의 상부 챔버를 개폐하는 과정을 설명하는 도면이다. 7 is a view for explaining a process of opening and closing the upper chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus according to this embodiment.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치100: flat panel display device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention

110 : 하부 챔버 120 : 상부 챔버110: lower chamber 120: upper chamber

130 : 수평방향 구동기구 140 : 회전기구130: horizontal drive mechanism 140: rotating mechanism

150 : 밀봉부재 160 : 밀봉부재 배치홈150: sealing member 160: sealing member arrangement groove

170 : 밀봉부재 구동부 172 : 전달판170: sealing member drive unit 172: transfer plate

본 발명은 그 내부를 진공분위기로 형성시키고 평판표시소자 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display device manufacturing apparatus which can form a vacuum atmosphere therein and perform a predetermined process on a flat panel display device substrate.

평판표시소자 제조장치는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는 데 사용된다. 이때 평판표시소자는, LCD, PDP, OLED 등을 말하며, 이러한 평판표시소자 제조장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다. A flat panel display device manufacturing apparatus is used to carry a flat panel display substrate into an inside and to perform an etching process using plasma or the like. In this case, the flat panel display device refers to LCD, PDP, OLED, and the like, and the vacuum processing apparatus of the flat panel display device manufacturing apparatus generally includes three vacuum chambers of a loadlock chamber, a transfer chamber, and a process chamber.

여기서 로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아 들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다. Here, the load lock chamber serves to accept the unprocessed substrate from the outside or to take out the processed substrate to the outside, and the transfer chamber is provided with a robot for transferring the substrate between the chambers. It transfers the processed substrate from the load lock chamber to the process chamber, or transfers the processed substrate from the process chamber to the load lock chamber, and the process chamber forms a film or etches a film on the substrate by using plasma or thermal energy in vacuum. It plays a role.

이때, 공정 챔버 내에서는 여러가지 공정가스나 플라즈마를 이용하므로 많은 수의 공정을 반복하는 경우에는 상기 공정 챔버 내의 장비들이 손상되거나 오염되 어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다. 따라서, 공정 챔버는 도 1에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(1)의 내부를 유지 보수할 수 있도록 하부 챔버(10)와 상부 챔버(20)로 이루어지고, 공정챔버(1)의 상부 챔버(20)를 개폐 가능하게 구성되는 것이 일반적이다. 이때 상부 챔버(20)를 개폐시키는 방식으로는 공정 챔버(1)가 설치된 클린룸의 천장에 크레인을 마련하고, 그 크레인을 이용하여 상부 챔버를 개폐하는 방식과, 공정 챔버에 개폐수단을 구비시키고, 그 개폐수단에 의하여 상부 챔버를 개폐하는 방식이 있다. In this case, since various process gases or plasmas are used in the process chamber, when a large number of processes are repeated, equipment in the process chamber may be damaged or contaminated, and replacement or maintenance thereof may be necessary periodically. Therefore, the process chamber is composed of a lower chamber 10 and an upper chamber 20 to maintain the interior of the process chamber 1, as shown in Figure 1, the upper chamber ( 20) generally configured to be openable and openable. At this time, the method of opening and closing the upper chamber 20 is provided with a crane in the ceiling of the clean room in which the process chamber 1 is installed, the method of opening and closing the upper chamber using the crane, and the opening and closing means in the process chamber There is a method of opening and closing the upper chamber by the opening and closing means.

종래에 상부 챔버(20)를 개폐하기 위한 일 례로는 도 2에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(1)의 외부에 상부 챔버(20)를 개폐할 수 있는 개폐수단(50)을 구비하고, 그 개폐수단(50)에 의하여 상부 챔버(20)를 개폐한다. 이때 이 개폐수단(50)에는 상부 챔버(20)를 수직방향으로 들어 올릴 수 있는 수직방향 구동기구와, 상부 챔버(20)를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 수평방향 구동기구와, 상부 챔버(20)를 회전시킬 수 있는 회전기구가 마련되고, 이와 별도로 수평방향 구동기구의 이동 경로를 제공하는 수평이동 가이드(60)가 마련된다. As an example for opening and closing the upper chamber 20 conventionally, as shown in FIG. 2, an opening and closing means 50 capable of opening and closing the upper chamber 20 is provided outside the process chamber 1, and The upper chamber 20 is opened and closed by the opening and closing means 50. In this case, the opening and closing means 50 includes a vertical driving mechanism capable of lifting the upper chamber 20 in a vertical direction, a horizontal driving mechanism capable of moving the upper chamber 20 in a horizontal direction, and an upper chamber 20. ) Is provided with a rotating mechanism capable of rotating, and a horizontal movement guide 60 for providing a movement path of the horizontal drive mechanism is provided separately.

이러한 개폐수단(50)을 사용하여 상부 챔버(20)를 개폐하는 상부 챔버(20)의 개폐 과정을 살펴보면 다음과 같다. 먼저 개폐수단(50)에 구비되어 있는 수직 방향 구동기구에 의하여 상기 상부 챔버(20)를 소정 간격 만큼 수직 방향으로 들어 올린 후, 상부 챔버(20)가 들어 올려진 상태에서 수평 이동 가이드(60)를 이용하여 상부 챔버를 수평방향으로 이동시킨다. 그리고 상부 챔버(20)가 완전히 수평방향으로 이동되면 상부 챔버(20)를 회전 기구에 의하여 180°회전시킨다. 이렇게 하여 공정 챔버(1)의 하부와 상부를 모두 개방시켜 공정 챔버(1) 내부의 각 장비를 교환하거나 보수하는 작업을 한다. Looking at the opening and closing process of the upper chamber 20 for opening and closing the upper chamber 20 by using the opening and closing means 50 as follows. First, the upper chamber 20 is lifted in the vertical direction by a predetermined interval by the vertical direction driving mechanism provided in the opening and closing means 50, and then the horizontal movement guide 60 in the state where the upper chamber 20 is lifted up. Use to move the upper chamber in the horizontal direction. When the upper chamber 20 is completely moved in the horizontal direction, the upper chamber 20 is rotated 180 ° by the rotating mechanism. In this way, the lower and upper portions of the process chamber 1 are opened to replace or repair the equipment inside the process chamber 1.

그러나 최근 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리되는 기판이 대형화되면서 평판표시소자 제조장치의 진공챔버의 크기가 급격하게 대형화되고 있다. 따라서 최근의 진공 챔버에 있어서, 그 상부 챔버(20)는 그 크기가 가로, 세로 3, 4m에 이를 뿐만아니라, 그 무게도 3, 4 톤이 넘는 상황이다. 그러므로 이렇게 무거운 대형 진공 챔버의 상부 챔버를 상하 방향으로 들어올리기 위해서는 상하 방향 구동기구에 매우 큰 용량의 에어 실린더 등이 필요하고, 부피가 큰 대형 챔버의 상부 챔버를 들어 올릴때 그 불안정성이 증가하여 진공 챔버 내부의 유지, 보수 작업이 매우 어려워지는 문제점이 있으며, 개폐장치의 구조가 복잡해지는 문제점이 있다. However, as the substrate processed by the flat panel display device manufacturing apparatus has recently increased in size, the vacuum chamber of the flat panel display device manufacturing apparatus has rapidly increased in size. Therefore, in the recent vacuum chamber, the upper chamber 20 is not only the size of the horizontal, vertical 3, 4m, but also the weight is more than 3, 4 tons. Therefore, in order to lift the upper chamber of such a heavy large vacuum chamber in the up and down direction, a very large capacity air cylinder is required in the up and down driving mechanism, and the instability increases when lifting the upper chamber of the large large chamber. There is a problem that the internal maintenance, repair work is very difficult, there is a problem that the structure of the switchgear is complicated.

본 발명의 목적은 상부 챔버를 용이하게 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다. An object of the present invention is to provide a flat panel display device manufacturing apparatus that can easily open and close the upper chamber.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 진공 상태의 챔버 내부에서 플라즈마를 발생시켜서 기판에 소정의 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 챔버는 하부 챔버와 상기 하부 챔버 상에 개폐가능하게 배치되는 상부 챔버로 이루어지되, 상기 하부 챔버와 상부 챔버의 각 결합면은 상기 상부 챔버의 출입방향을 따라 하향 경사진 경사면으로 마련되며, 상기 상부 챔버를 수평방향으로 이동가능하게 지지하는 수평방향 구동기구 및 상기 상부 챔버를 회전가능하게 지지 하는 회전기구가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a flat panel display device manufacturing apparatus that performs a predetermined process on a substrate by generating a plasma inside a chamber in a vacuum state, wherein the chamber can be opened and closed on the lower chamber and the lower chamber. It consists of an upper chamber which is arranged so that each coupling surface of the lower chamber and the upper chamber is provided with an inclined surface inclined downward along the entry and exit direction of the upper chamber, the horizontal direction for supporting the upper chamber to be movable in a horizontal direction A driving mechanism and a rotating mechanism for rotatably supporting the upper chamber are provided.

이때 하부 챔버와 상부 챔버의 결합면 중 적어도 한 결합면에는 밀봉부재 배치홈이 형성되고, 하부 챔버와 상부 챔버 사이에는 밀봉 부재가 개재되어 마련되는 것이 챔버 내부의 기밀을 확실하게 유지할 수 있어서 바람직하다. In this case, at least one of the coupling surfaces of the lower chamber and the upper chamber is provided with a sealing member arrangement groove, and a sealing member is interposed between the lower chamber and the upper chamber, so that the airtightness inside the chamber can be reliably maintained. .

그리고 이 밀봉부재 배치홈에는, 배치된 밀봉부재를 상하 방향으로 구동시킬 수 있는 밀봉부재 구동부가 더 마련되는 것이 상부 챔버의 개폐에 대응하여 밀봉부재의 위치를 변경하여 상부 챔버의 개폐과정에서 밀봉부재가 손상되는 것을 방지할 수 있어서 바람직하다. The sealing member arranging groove is further provided with a sealing member driving part capable of driving the arranged sealing member in the up and down direction to change the position of the sealing member in response to the opening and closing of the upper chamber to seal the sealing member in the opening and closing process of the upper chamber. Is preferable because it can prevent the from being damaged.

이때 밀봉부재 구동부는, 밀봉부재 배치홈에 상기 밀봉부재와 접촉되어 마련되며, 공기압에 의하여 상기 밀봉부재를 밀봉부재 배치홈 밖으로 밀어내는 구조로 마련되는 것이, 간단한 구조로 밀봉부재를 용이하게 구동시킬 수 있어서 바람직하다. In this case, the sealing member driving unit is provided in contact with the sealing member in the sealing member arrangement groove, and is provided with a structure for pushing the sealing member out of the sealing member arrangement groove by air pressure, so that the sealing member can be easily driven with a simple structure. It is preferable to be able.

또한 본 발명에서는, 밀봉부재를, 내부에 공기가 주입될 수 있는 공기 통로가 마련되고, 상기 공기 통로에 주입되는 공기의 압력에 의하여 신축가능한 구조로 마련함으로써 별도의 밀봉부재 구동부 없이도 밀봉부재의 부피를 변화시켜 상부 챔 버의 개폐과정에서 밀봉부재가 손상되지 않도록 할 수도 있다. In addition, in the present invention, the sealing member is provided with an air passage through which air can be injected, and is provided in a structure that can be stretched by the pressure of the air injected into the air passage so that the volume of the sealing member without a separate sealing member driving unit is provided. It can be changed so that the sealing member is not damaged during the opening and closing of the upper chamber.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치(100)는 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)로 이루어지며, 수평방향 구동기구(130) 및 회전기구(140)가 더 마련되는 구조이다. 이때 본 실시예에 따른 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)는 도 3에 도시된 바와 같이, 각 결합면이 상부 챔버(120)의 출입방향을 따라 하향 경사지는 경사면으로 마련된다. 즉, 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)가 결합되는 결합면이 바닥면에 수평으로 형성되는 것이 아니라, 특정한 방향으로 기울어진 경사면으로 마련되는 것이다. 이때 경사지는 방향은 상부 챔버(120)가 출입되는 방향으로 하향 경사진다. 이렇게 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)의 결합면을 경사지게 하면, 상부 챔버(120)를 수평이동시킬 때, 상부 챔버(120)와 하부 챔버(110)의 결합면이 상부 챔버(120)의 수평 이동과 함께 분리되므로 상부 챔버(120)의 수평 이동과정에서 하부 챔버(110)와의 마찰이 발생하지 않는 장점이 있다. 따라서 상부 챔버(120)의 개폐 과정에서 하부 챔버(110)와의 마찰 발생을 방지하기 위하여 상부 챔버(120)를 소정 높이 만큼 들어올릴 필요가 없고, 따라서 별도의 수직방향 구동기구가 마련될 필요가 없으므로 평판표시소자 제조장치의 구조가 간단해지고, 제조단가가 낮아지는 장점이 있다. The flat panel display device manufacturing apparatus 100 according to the present exemplary embodiment includes a lower chamber 110 and an upper chamber 120, and further includes a horizontal driving mechanism 130 and a rotating mechanism 140. In this case, as shown in FIG. 3, the lower chamber 110 and the upper chamber 120 according to the present exemplary embodiment are provided as inclined surfaces inclined downward along the entrance direction of the upper chamber 120. That is, the coupling surface to which the lower chamber 110 and the upper chamber 120 are coupled is not formed horizontally on the bottom surface, but is provided as an inclined surface inclined in a specific direction. At this time, the inclined direction is inclined downward in the direction in which the upper chamber 120 enters and exits. When the coupling surface of the lower chamber 110 and the upper chamber 120 is inclined as described above, when the upper chamber 120 is horizontally moved, the coupling surface of the upper chamber 120 and the lower chamber 110 is the upper chamber 120. Since the separation with the horizontal movement of the upper chamber 120 has the advantage that the friction with the lower chamber 110 does not occur in the horizontal movement process. Therefore, in order to prevent the friction with the lower chamber 110 in the opening and closing process of the upper chamber 120, it is not necessary to lift the upper chamber 120 by a predetermined height, so there is no need to provide a separate vertical drive mechanism The structure of the flat panel display device manufacturing apparatus is simplified, and the manufacturing cost is lowered.

그리고 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)의 결합면에는 밀봉부재(150)가 개재되어 마련되는 것이 챔버 내부의 기밀을 확실하게 유지할 수 있어서 바람직하다. 따라서 하부 챔버(110)와 상부 챔버(120)의 결합면 중 어느 하나의 결합면에는 밀봉부재(150)가 배치될 수 있도록 밀봉부재 배치홈(160)이 형성된다. 이 밀봉부재 배치홈(160)은 도 4 또는 5에 도시된 바와 같이, 배치된 밀봉부재(150)가 용이하게 이탈되지 않도록 입구보다 내부 공간이 넓은 구조를 가진다. 따라서 신축성을 가지는 밀봉부재(150)가 외력에 의하여 변형되면서 이 밀봉부재 배치홈(160)에 삽입된 후에는 용이하게 이탈되지 못하는 것이다. In addition, the sealing member 150 is provided on the coupling surface of the lower chamber 110 and the upper chamber 120 because it is possible to reliably maintain the airtight inside the chamber. Therefore, the sealing member arrangement groove 160 is formed on the coupling surface of any one of the coupling surfaces of the lower chamber 110 and the upper chamber 120 so that the sealing member 150 may be disposed. As shown in FIG. 4 or 5, the sealing member arrangement groove 160 has a structure in which the inner space is wider than the inlet so that the disposed sealing member 150 is not easily separated. Therefore, the elastic sealing member 150 is deformed by the external force and is not easily separated after being inserted into the sealing member arrangement groove 160.

이때 본 실시예에서는 이 밀봉부재(150)의 결합면에 대한 상대적인 위치가 변경될 수 있도록 마련되는 것이 바람직하다. 즉, 밀봉부재(150) 중 밀봉부재 배치홈(160) 밖으로 돌출되는 부분이, 밀봉부재 배치홈(160) 내에서의 밀봉부재(150)의 위치에 따라 달라지게 하여 상부 챔버(160)의 개폐과정에 따라 밀봉부재(150)의 상대적인 위치를 변경시키는 것이다. 본 실시예에서는 상부 챔버(120)를 개폐하는 과정에서 상부 챔버(120)를 수직방향으로 들어올리지 않고, 바로 수평방향으로 이동시키므로 밀봉부재(150)가 결합면 밀봉부재 배치홈(160) 상측으로 돌출되어 있는 경우에는 상부 챔버(120)의 수평방향 이동에 의하여 밀봉부재(150)가 손상될 수 있다. 따라서 상부 챔버(120)가 수평으로 이동되는 동안에는 밀봉부재(150)가 밀봉부재 배치홈(160) 내부로 완전히 내려가 있다가 챔버 내부에 진공을 형성하는 동안에는 다시 밀봉부재 배치홈(160) 외부로 돌출되어 챔버 내부의 기밀을 유지하는 것이 바람직한 것이다. In this embodiment, it is preferable that the relative position with respect to the coupling surface of the sealing member 150 is provided to be changed. That is, the portion of the sealing member 150 protruding out of the sealing member arrangement groove 160 is changed depending on the position of the sealing member 150 in the sealing member arrangement groove 160 to open and close the upper chamber 160. According to the process to change the relative position of the sealing member 150. In the present embodiment, since the upper chamber 120 is not lifted in the vertical direction in the process of opening and closing the upper chamber 120, the upper chamber 120 is directly moved in the horizontal direction, so that the sealing member 150 is located above the coupling surface sealing member arrangement groove 160. When protruding, the sealing member 150 may be damaged by the horizontal movement of the upper chamber 120. Therefore, while the upper chamber 120 is moved horizontally, the sealing member 150 is completely lowered into the sealing member disposing groove 160 and again protrudes out of the sealing member disposing groove 160 while forming a vacuum in the chamber. It is desirable to maintain the airtight inside the chamber.

본 실시예에서는 세가지 방식으로 밀봉부재의 상대적 위치를 변경시킨다. In this embodiment, the relative position of the sealing member is changed in three ways.

첫번째 방식은, 먼저 도 4에 도시된 바와 같이, 밀봉부재(150)에 기구적인 힘을 가하여 밀봉부재의 상대적 위치를 변경시키는 밀봉부재 구동부(170)를 마련하는 것이다. 이 밀봉부재 구동부(170)는 밀봉부재 배치홈(160) 내부에 마련되며, 밀봉부재(150) 보다 안쪽에 배치된다. 이 밀봉부재 구동부(170)는 밀봉부재 배치홈(160) 안쪽에서 밀봉부재(150)를 외부쪽으로 밀어 낼 수 있는 피스톤 구조로 마련된다. 그리고 밀봉부재(150)의 위치가 변경될 때는 밀봉재의 모든 부분이 동일한 크기의 힘에 의하여 동시에 이동되는 것이 챔버 내부의 기밀을 확실하게 유지할 수 있어서 바람직하므로, 밀봉부재 구동부(170)에서 전달되는 힘을 밀봉부재(150)에 균일하게 전달하기 위한 매개체로 밀봉부재(150)와 밀봉부재 구동부(170) 사이에 전달판(172)이 개재되어 마련된다. First, as shown in FIG. 4, the sealing member driving unit 170 is provided to change the relative position of the sealing member by applying mechanical force to the sealing member 150. The sealing member driving unit 170 is provided inside the sealing member disposing groove 160 and is disposed inward of the sealing member 150. The sealing member driving unit 170 is provided with a piston structure that can push the sealing member 150 outward from the inside of the sealing member arrangement groove 160. And when the position of the sealing member 150 is changed, it is preferable that all parts of the sealing material are moved at the same time by a force of the same size, so that it is preferable to ensure the airtight inside the chamber, the force transmitted from the sealing member drive unit 170 The transfer plate 172 is provided between the sealing member 150 and the sealing member driving unit 170 as a medium for uniformly transmitting the sealing member 150 to the sealing member 150.

이 방식에 의하면, 도 4a에 도시된 바와 같이, 피스톤이 수축되어 있는 동안에는 밀봉부재(150)가 밀봉부재 배치홈(160) 안쪽에 위치되어 있다가, 피스톤이 신장되어 밀봉부재(150)를 밀어내면 밀봉부재(150)가 도 4b에 도시된 바와 같이 밀봉부재 배치홈(160) 밖으로 밀려나와서 챔버의 기밀을 유지한다. According to this method, as shown in FIG. 4A, while the piston is retracted, the sealing member 150 is positioned inside the sealing member placing groove 160, and the piston is extended to push the sealing member 150. The inner surface sealing member 150 is pushed out of the sealing member disposing groove 160 as shown in FIG. 4B to maintain the airtightness of the chamber.

두번째 방식은 도 5에 도시된 바와 같이, 밀봉부재 배치홈(160)의 안쪽에 공기압에 의하여 구동되는 밀봉부재 구동부(170a)를 마련하는 방식이다. 이 경우 밀봉부재 구동부(170a)는 그 내부에 공기가 주입되면 팽창되고, 공기가 배출되면 수축되는 구조를 가지며, 외부의 공기펌프(도면에 미도시)와 연결되어 마련된다. 그리고 이방식에서도 밀봉부재(150)와 밀봉부재 구동부(170a) 사이에는 전달판(172a) 이 개재되어 마련되는 것이 바람직하다. As shown in FIG. 5, the sealing member driving unit 170a driven by air pressure is provided inside the sealing member arranging groove 160. In this case, the sealing member driving unit 170a expands when air is injected therein and contracts when the air is discharged, and is connected to an external air pump (not shown). And also in this method, it is preferable that the transfer plate 172a is provided between the sealing member 150 and the sealing member drive unit 170a.

따라서 챔버 내부의 기밀을 유지하는 동안에는 공기 펌프에 의하여 밀봉부재 구동부(170a) 내부로 공기를 주입하여 밀봉부재 구동부(170a)를 팽창시킨다. 그러면 밀봉부재(150)는 도 5a에 도시된 바와 같이, 이 밀봉부재 구동부(170a)에 의하여 밖으로 밀려나와서 챔버 내부의 기밀을 유지한다. 그리고 상부 챔버(120)를 개폐하는 동안에는 공기펌프에 의하여 밀봉부재 구동부(170a) 내부의 공기를 배출하여 밀봉부재 구동부(170a)를 수축시킨다. 그러면 밀봉부재(150)는 도 5b에 도시된 바와 같이, 다시 밀봉부재 배치홈(160) 내부로 내려오게 된다. Therefore, while maintaining the airtight inside the chamber by injecting air into the sealing member drive unit 170a by an air pump to expand the sealing member drive unit 170a. Then, as shown in FIG. 5A, the sealing member 150 is pushed out by the sealing member driving unit 170a to maintain the airtight inside the chamber. During the opening and closing of the upper chamber 120, the air inside the sealing member driving unit 170a is discharged by an air pump to shrink the sealing member driving unit 170a. Then, the sealing member 150 is lowered back into the sealing member arrangement groove 160, as shown in Figure 5b.

세번째 방식은, 도 6에 도시된 바와 같이 밀봉 부재 자체를 공기압에 의하여 수축 및 팽창이 가능하도록 내부에 공기통로(152a)가 형성되는 구조로 마련하는 것이다. 이 경우에는 밀봉 부재(150a) 자체가 외부에 마련된 공기펌프(도면에 미도시)와 연결되어 팽창 수축이 가능하도록 마련된다. 따라서 챔버 내부의 기밀을 유지하는 동안에는 공기펌프에 의하여 밀봉 부재(150) 내부에 공기를 주입하여 도 6a에 도시된 바와 같이, 밀봉 부재(150a)가 밀봉부재 배치홈(160) 밖으로 돌출되게 한다. 그리고 상부 챔버(120)를 개폐하는 동안에는 공기펌프에 의하여 밀봉부재 내부(150a)의 공기를 배출시켜 도 6b에 도시된 바와 같이, 밀봉부재(150a0가 밀봉부재 배치홈(160) 안쪽으로 수축되게 한다. The third method is to provide a structure in which the air passage 152a is formed therein so that the sealing member itself can be contracted and expanded by air pressure as shown in FIG. 6. In this case, the sealing member 150a itself is connected to an air pump (not shown in the drawing) provided outside so that expansion and contraction is possible. Therefore, while maintaining the airtight inside the chamber by injecting air into the sealing member 150 by an air pump, as shown in Figure 6a, the sealing member 150a protrudes out of the sealing member arrangement groove 160. During the opening and closing of the upper chamber 120, the air inside the sealing member 150a is discharged by an air pump so that the sealing member 150a0 is contracted into the sealing member arrangement groove 160 as shown in FIG. 6B. .

다음으로 수평방향 구동기구(130)는 상부 챔버(120)를 횡방향으로 이동시키는 구성요소이다. 이 수평방향 구동기구(130)는 상부 챔버(120)를 지지하고 있다가 상부 챔버(120)를 분리시키는 과정에서 구동되어 상부 챔버(120)를 수평방향으로 이동시킨다. 본 실시예에서 이 수평방향 구동기구(130)는 도 3에 도시된 바와 같이, 횡방향 이동 경로를 제공하는 수평방향 이동 가이드(132)와, 이 수평방향 이동 가이드(132)를 따라 이동하는 수평방향 구동모터(134)로 구성된다. 이 수평방향 구동모터(134)는 수평방향 이동 가이드(132)와 결합된 상태로 이동할 수 있는 바퀴구조를 가진다. Next, the horizontal drive mechanism 130 is a component that moves the upper chamber 120 in the lateral direction. The horizontal driving mechanism 130 supports the upper chamber 120 and is driven in the process of separating the upper chamber 120 to move the upper chamber 120 in the horizontal direction. In this embodiment, the horizontal drive mechanism 130 is a horizontal movement guide 132 that provides a lateral movement path, as shown in Figure 3, and the horizontal movement along the horizontal movement guide 132 The direction drive motor 134 is comprised. The horizontal drive motor 134 has a wheel structure that can move in a state coupled with the horizontal movement guide 132.

그리고 회전기구(140)는 상부 챔버(120)를 회전시키는 구성요소이다. 이 회전기구(140)는 상부 챔버(120)의 측벽 중앙 영역에 결합되어 마련되며, 회전운동이 가능한 회전모터가 마련되어 상부 챔버를 회전시킬 수 있는 것이다. 본 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 이 회전기구(140)가 수평방향 구동기구(130)와 일체로 마련된다. 따라서 수평방향 구동기구(130)와 함께 이동되며, 상부 챔버(120)가 수평방향 구동기구(130)에 의하여 완전히 하부 챔버(110)를 벗어나도록 이동된 후 상부 챔버를 회전시킨다. The rotating mechanism 140 is a component that rotates the upper chamber 120. The rotary mechanism 140 is provided to be coupled to the central region of the side wall of the upper chamber 120, the rotary motor capable of rotating movement is provided to rotate the upper chamber. In this embodiment, as shown in FIG. 3, the rotating mechanism 140 is provided integrally with the horizontal driving mechanism 130. Accordingly, the upper chamber 120 is moved together with the horizontal driving mechanism 130, and the upper chamber 120 is moved out of the lower chamber 110 by the horizontal driving mechanism 130 to rotate the upper chamber.

이하에서는 도 7을 참조하여 본 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치(100)의 상부 챔버(120)의 개폐과정을 설명한다. Hereinafter, the opening and closing process of the upper chamber 120 of the flat panel display device manufacturing apparatus 100 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 7.

우선 도 7a에 도시된 바와 같이, 상부 챔버(120)를 수평방향으로 이동시킨다. 이때 상부 챔버(120)의 수평방향 이동이 시작되기 전에 밀봉부재 구동부(170)를 이용하여 밀봉부재(150)를 하강시켜 밀봉부재(150)가 상부 챔버(120)와 접촉되지 않도록 한다. 그리고 나서 수평방향 구동기구(130)가 상부 챔버(120)를 회전반 경이 충분히 확보되는 위치까지 이동시킨다. First, as shown in FIG. 7A, the upper chamber 120 is moved in a horizontal direction. In this case, before the horizontal movement of the upper chamber 120 starts, the sealing member 150 is lowered by using the sealing member driving unit 170 so that the sealing member 150 does not come into contact with the upper chamber 120. Then, the horizontal drive mechanism 130 moves the upper chamber 120 to a position where the rotation radius is sufficiently secured.

그리고 나서 도 7b에 도시된 바와 같이, 상부 챔버(120)를 회전시킨다. 즉, 회전기구(140)가 구동되어 상부 챔버(120)를 180°회전시켜서 상부 챔버(120) 내부에 마련되어 있는 각종 구성요소들이 상측으로 오픈되도록 한다. Then, as shown in FIG. 7B, the upper chamber 120 is rotated. That is, the rotary mechanism 140 is driven to rotate the upper chamber 120 by 180 ° so that various components provided in the upper chamber 120 open upward.

이렇게 하여 상부 챔버(120) 내부가 오픈되면 그 내부에 대한 유지 보수작업을 실시한다. 그리고 유지 보수작업이 완료되면 상부 챔버의 개방의 역순으로 상부 챔버를 닫는다. In this way, when the inside of the upper chamber 120 is opened, maintenance work on the inside is performed. When the maintenance work is completed, the upper chamber is closed in the reverse order of opening the upper chamber.

본 발명에 따르면 상부 챔버의 개폐과정에서 상부 챔버를 수직방향으로 들어올릴 필요가 없으므로 대형 평판표시소자 제조장치에서 대용량의 에어 실린더가 필요하지 않아서 장치의 구조가 간단해지고, 단가가 낮아지는 장점이 있다. 그리고 유지보수 작업시 상부 챔버를 수직방향으로 들어올리는 과정이 필요없어서, 상부 챔버의 개폐과정이 단순해지므로 상부 챔버의 유지 보수작업에 소요되는 시간이 감소되는 장점이 있다. According to the present invention, there is no need to lift the upper chamber in the vertical direction during the opening and closing process of the upper chamber, so the large structure of the flat display device does not require a large-capacity air cylinder, thereby simplifying the structure of the apparatus and lowering the unit cost. . And there is no need to lift the upper chamber in the vertical direction during the maintenance work, the opening and closing process of the upper chamber is simplified, there is an advantage that the time required for the maintenance work of the upper chamber is reduced.

Claims (5)

진공 상태의 챔버 내부에서 플라즈마를 발생시켜서 기판에 소정의 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, A flat panel display device manufacturing apparatus for generating a plasma inside a chamber in a vacuum state to perform a predetermined treatment on a substrate. 상기 챔버는 하부 챔버와 상기 하부 챔버 상에 개폐가능하게 배치되는 상부 챔버로 이루어지되, 상기 하부 챔버와 상부 챔버의 각 결합면은 상기 상부 챔버의 출입방향을 따라 하향 경사지는 경사면으로 마련되며, The chamber is composed of a lower chamber and the upper chamber is arranged to be opened and closed on the lower chamber, each coupling surface of the lower chamber and the upper chamber is provided as an inclined surface inclined downward along the entry direction of the upper chamber, 상기 상부 챔버를 수평방향으로 이동가능하게 지지하는 수평방향 구동기구 및 A horizontal driving mechanism for supporting the upper chamber to be movable in a horizontal direction; 상기 상부 챔버를 회전가능하게 지지하는 회전기구가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.And a rotating mechanism for rotatably supporting the upper chamber. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 하부 챔버와 상부 챔버의 결합면 중 적어도 한 결합면에는 밀봉부재 위치홈이 형성되고, 상기 하부 챔버와 상부 챔버 사이에는 밀봉 부재가 개재되어 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치. And at least one coupling surface of a coupling surface of the lower chamber and the upper chamber is formed with a sealing member position groove, and a sealing member is interposed between the lower chamber and the upper chamber. 제2항에 있어서, 상기 밀봉부재 위치홈에는, The method of claim 2, wherein the sealing member position groove, 상기 밀봉부재를 상하 방향으로 구동시키는 밀봉부재 구동부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.And a sealing member driving unit for driving the sealing member in the vertical direction. 제3항에 있어서, 상기 밀봉부재 구동부는, The method of claim 3, wherein the sealing member drive unit, 상기 밀봉부재 위치홈에 상기 밀봉부재와 접촉되어 마련되며, 공기압에 의하여 상기 밀봉부재를 구동시키는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.And the sealing member is provided in contact with the sealing member in the sealing member position groove, and drives the sealing member by air pressure. 제2항에 있어서, 상기 밀봉부재는, The method of claim 2, wherein the sealing member, 내부에 공기가 주입될 수 있는 공기 통로가 마련되고, 상기 공기 통로에 주입되는 공기의 압력에 의하여 신축가능한 구조인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치. An air passage through which air can be injected is provided, and the flat display device manufacturing apparatus, characterized in that the structure is stretchable by the pressure of the air injected into the air passage.
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