KR20060029451A - 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기 - Google Patents

가변형 블레이즈 회절격자 광변조기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기에 관한 것으로서, 특히 회절부재를 압전력에 의해 회전시켜 반사면이 기울어지게 하는 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 기판; 상기 기판위에 놓여 있으며 이격되어 있는 한 쌍의 지지부재; 양끝단이 각각 지지부재에 고정되어 상기 기판으로부터 부유하여 있고, 서로 평행하게 배열되어 있으며, 배열방향으로 구부러져 있는 복수의 회절부재; 상기 복수의 회절부재의 상면에 하면이 각각 부착되어 있고, 상면이 반사면으로 형성되어 있으며, 상기 반사면이 인접하는 반사면과 평행한 복수의 반사판; 및 상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 평면거울이 되도록 하는 제1 위치와 상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 입사광을 회절시키는 제2 위치가 되도록 상기 회절부재들을 압전재료를 이용한 회전력에 의해 안쪽 보다 바깥쪽이 더 많이 회전하도록 소정 각도 범위에서 회전시키는 복수의 구동체를 포함하여 이루어진 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기가 제공된다.
회절격자, 광변조기, 블레이즈, 정전기력

Description

가변형 블레이즈 회절격자 광변조기{Optical modulator with variable blaze grating}
도 1은 종래 기술의 정전기 방식 격자 광 변조기를 도시하는 도면.
도 2는 종래 기술의 정전기 방식 격자 광 변조기가 변형되지 않는 상태에서 입사광을 반사시키는 것을 도시하는 도면.
도 3은 종래 기술의 격자 광 변조기가 정전기력에 의해 변형된 상태에서 입사광을 회절시키는 것을 도시하는 도면.
도 4는 종래 기술에 따른 블레이즈 격자 광밸브(GLV)에 대한 사시도.
도 5는 종래 기술에 따른 블레이즈 격자 광밸브의 하나의 기다란 부재와 하부 기판에 대한 사시도.
도 6은 종래 기술에 따른 선택적인 제2 격자 광밸브를 도시한 도면.
도 7a 는 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기의 사시도이고, 도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기의 평면도이고, 도 7c는 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기의 정면도이다.
도 8은 도 7a의 회절부재의 분해 사시도.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절 격자의 회절현상을 설명하기 위한 개념도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
410 : 기판 420, 420' : 지지부재
430 : 회절부재 431 : 중심부
432 : 외부 440 : 압전체
441 : 하부 전극층 442 : 압전 재료층
443 : 상부 전극층 450 : 반사판
본 발명은 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기에 관한 것으로서, 특히 회절부재를 압전력에 의해 회전시킴으로 반사면이 기울어지도록 하는 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기에 관한 것이다.
일반적으로, 광신호처리는 많은 데이타 양과 실시간 처리가 불가능한 기존의 디지탈 정보처리와는 달리 고속성과 병렬처리 능력, 대용량의 정보처리의 장점을 지니고 있으며, 공간 광변조이론을 이용하여 이진위상 필터 설계 및 제작, 광논리 게이트, 광증폭기 등과 영상처리 기법, 광소자, 광변조기 등의 연구가 진행되고 있다.
이중 공간 광변조기는 광메모리, 광디스플레이, 프린터, 광인터커넥션, 홀로그램 등의 분야에 사용되며, 이를 이용한 표시장치의 개발 연구가 진행되고 있다.
이러한 공간 광변조기로는 일예로 도 1에 도시된 바와 같은 반사형 변형 가능 격자 광변조기(10)이다. 이러한 변조기(10)는 블룸 등의 미국특허번호 제 5,311,360호에 개시되어 있다. 변조기(10)는 반사 표면부를 가지며 기판(16) 상부에 부유(suspended)하는 복수의 일정하게 이격하는 변형 가능 반사형 리본(18)을 포함한다. 절연층(11)이 실리콘 기판(16)상에 증착된다. 다음으로, 희생 이산화실리콘 막(12) 및 질화실리콘 막(14)의 증착이 후속한다.
질화물 막(14)은 리본(18)으로부터 패터닝되고 이산화실리콘층(12)의 일부가 에칭되어 리본(18)이 질화물 프레임(20)에 의해 산화물 스페이서층(12)상에 유지되도록 한다.
단일 파장 λ0를 가진 광을 변조시키기 위해, 변조기는 리본(18)의 두께와 산화물 스페이서(12)의 두께가 λ0/4가 되도록 설계된다.
리본(18)상의 반사 표면(22)과 기판(16)의 반사 표면 사이의 수직 거리 d로 한정된 이러한 변조기(10)의 격자 진폭은 리본(18)(제 1 전극으로서의 역할을 하는 리본(16)의 반사 표면(22))과 기판(16)(제 2 전극으로서의 역할을 하는 기판(16) 하부의 전도막(24)) 사이에 전압을 인가함으로써 제어된다. 변형되지 않은 상태에 서, 즉, 어떠한 전압도 인가되지 않은 상태에서, 격자 진폭은 λ0/2와 같고, 리본과 기판으로부터 반사된 광 사이의 전체 경로차는 λ0와 같아서, 이러한 반사광에 위상을 보강시킨다.
따라서, 변형되지 않은 상태에서, 변조기(10)는 평면거울로서 광을 반사한다. 변형되지 않은 상태가 입사광과 반사광을 도시하는 도 2에 20으로서 표시된다.
적정 전압이 리본(18)과 기판(16) 사이에 인가될 때, 정전기력이 리본(18)을 기판(16) 표면 방향으로 다운(down) 위치로 변형시킨다. 다운 위치에서, 격자 진폭은 λ0/4와 같게 변한다. 전체 경로차는 파장의 1/2이고, 변형된 리본(18)으로부터 반사된 광과 기판(16)으로부터 반사된 광이 상쇄 간섭을 하게 된다.
이러한 간섭의 결과, 변조기는 입사광(26)을 회절시킨다. 변형된 상태가 +/- 회절모드(D+1, D-1)로 회절된 광을 도시하는 도 3에 각각 28과 30으로 표시된다.
그러나, 블룸의 광변조기는 마이크로 미러의 위치 제어를 위해서 정전기 방식을 이용하는데, 이의 경우 동작 전압이 비교적 높으며(보통 20V 내외) 인가전압과 변위의 관계가 선형적이지 않은 등의 단점이 있어 결과적으로 광을 조절하는데 신뢰성이 높지 않는 단점이 있다.
한편, 실리콘 라이트 머신사에서는 대한민국 공개번호 2004-32908에서 블레이즈 회절을 형성하여 빛의 양을 조절하는 블레이즈 광밸브 장치를 제안하였다.
종래 기술에 따른 바람직한 블레이즈 격자 광 밸브가 도 4에 사시도로 도시되어 있다. 바람직한 블레이즈 격자 광 밸브(120)는 기판(122), 기다란 부재(124), 제 1 포스트(126)(하나만 도시됨), 및 제 2 포스트(128)(하나만 도시됨)를 포함한다.
기판(122)은 제 1도전체(130)를 포함한다. 바람직하게 기다란 부재(124)는 모두 반사형인 제 1 표면(132) 및 제 2 표면(134)을 각각 포함한다. 제 1 및 제 2 표면(132,134)은 각각의 기다란 부재(124)를 위한 블레이즈 프로파일(136)을 형성한다. 제 1 포스트(126)들 중 하나와 제 2 포스트(128)들중 하나는 각각의 기다란 부재(124)를 기판(122)에 결합시킨다. 또한 각각의 기다란부재(124)는 기다란 부재(124)의 제 1 및 제 2 단부(도시안됨)에서 기판(122)에 결합되어 있다.
기다란 부재(124)들중 하나와 기판(122)의 일부가 도 5에 사시도로 도시되어 있다. 기다란 부재(124)는 모두 반사형인 제 1 및 제 2 표면(132,134)을 포함한다. 제 1 및 제 2 표면(132,134)은 블레이즈 프로파일(136)을 형성한다.
기다란 부재(124)는 제 1 및 제 2 포스트(126,128)에 의해 제 1 및 제 2 단부(도시안됨)에서 기판에 결합되어 있다. 바람직하게, 기다란 부재(124), 제 1 포스트(126), 및 제 2 포스트(128)는 탄성 물질로 형성된다. 바람직하게, 탄성 물질은 실리콘 니트라이드를 포함한다.
바람직하게, 제 1 및 제 2 표면(132,134)은 반사기를 포함한다. 바람직하게, 반사기는 알루미늄 층을 포함한다. 선택적으로, 반사기는 다른 금속이다. 선택적으로, 반사기는 다층 유전체 반사기이다. 기판(122)은 제 1 도전체(130)를 포함한다. 바람직하게, 기판(122)은 실리콘을 포함하고 제 1 도전층은 도핑된 폴리-실리콘이다. 가시 스펙트럼이 제공되는 경우에, 기다란 부재(124)는 제 1 포스트(126)로부터 제 2 포스트(128)까지의 길이가 약 200㎛이며 폭은 약 4.25㎛이다.
종래 기술에 따른 제 2 선택 블레이즈 격자 광 밸브는 도 6에 도시되어 있다. 제 2 선택 블레이즈 격자 광 밸브(120B)는 바람직한 블레이즈 격자 광 밸브(120)의 기다란 부재(124)를 제 2 선택의 기다란 부재(124C)로 대체한다. 제 2 선택의 기다란 부재(124C)는 기다란 부재(124)의 스텝 프로파일(150)을 블레이즈 각도(γ)에서 플랫 표면(226)으로 대체한다.
한편, 종래의 미국 특허 5,311,360에서도 정전력을 이용하여 반사면을 기울여 회절광을 형성하는 블레이즈 회절격자에 대하여 한 실시예(해당 특허의 도 7)에서 개시하고 있다. 그러나, 개시된 블레이즈 회절격자는(미국 특허 5,311,360 뿐만 아니라 실리콘 라이트 머신사의 특허출원에서도 동일하게) 정전력을 이용하기 때문에 체적당 발생력이 부족하므로 입력 대비 회전 변위의 효율이 적다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 입력 대비 회전 변위의 효율이 좋은 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 기판; 상기 기판위에 놓여 있으며 이격되어 있는 한 쌍의 지지부재; 양끝단이 각각 지지부재에 고정되어 상기 기판으로부터 부유하여 있고, 서로 평행하게 배열되어 있으며, 배열방향으로 구부러져 있는 복수의 회절부재; 상기 복수의 회절부재의 상면에 하면이 각각 부착되어 있고, 상면이 반사면으로 형성되어 있으며, 상기 반사면이 인접하는 반사면과 평행한 복수의 반사판; 및 상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 평면거울이 되도록 하는 제1 위치와 상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 입사광을 회절시키는 제2 위치가 되도록 상기 회절부재들을 압전재료를 이용한 회전력에 의해 안쪽 보다 바깥쪽이 더 많이 회전하도록 소정 각도 범위에서 회전시키는 복수의 구동체를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이제, 도 7a 이하의 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히설명하면 다음과 같다.
도 7a 는 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기의 사시도이고, 도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기의 평면도이고, 도 7c는 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기의 정면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기는, 기판(410), 좌측 지지부재(420), 우측 지지부재(420'), 회절부재 (430a~430d), 좌측 압전체(440a~440d), 우측 압전체(440a'~440d')을 포함하고 있다.
좌측 지지부재(420)와 우측 지지부재(420b)는 단면이 장방형으로 서로 평행하게 대향하여 기판(410)에 부착되어 있으며(도 7b를 참조하면 그 점이 명확하다), 회절부재(430a~430d)의 양측단이 각각 부착되어 기판(410)으로부터 회절부재(430a~430d)가 부유하도록 한다.
회절부재(430a~430d)는 중심부(431a~431d), 좌측 외부(432a~432d), 우측 외부(432a'~432d')로 구성되어 있다. 회절부재(430a~430d)를 구성하는 재료로는 Si 산화물(일예로 SiO2 등), Si 질화물 계열(일예로 Si3N4 등), 세라믹 기판(Si, ZrO2, Al2O3 등), Si 카바이드 등이 될 수 있다.
중심부(431a~431d)의 상면에는 입사광을 반사할 수 있는 반사판(450a~450d)가 구비되어 있다. 그리고, 좌측 외부(432a~432d)의 좌측 끝단은 좌측 지지부재(420)의 우측 끝단에 부착되어 있으며, 다른 쪽 끝단은 중심부(431a~431d)에 절곡지게 결합되어 있다. 또한, 우측 외부(432a'~432d')은 우측 끝단이 우측 지지부재(420')의 좌측 끝단에 부착되어 있으며, 다른 쪽 끝단은 중심부(431a~431d)에 절곡지게 결합되어 있다.
좌측 압전체(432a~432d)는 좌측 외부(432a~432d)의 상면에 각각 적층되어 있으며, 일끝단은 좌측 지지부재(420)에 위치하고 있고, 타측 끝단은 좌측 외부(432a~432d)의 우측 끝단 가까이 위치하고 있다. 우측 압전체(432a'~432d')는 우측 외부(432a'~432d')의 상면에 각각 적층되어 있으며, 일끝단은 우측 지지부재(420')에 위치하고 있고, 타측 끝단은 우측 외부(432a'~432d')의 좌측 끝단 가까이 위치하고 있다.
좌측 압전체(432a~432d)는 도 7a 및 도 7c를 참조하면 하부 전극층(441a~441d), 압전 재료층(442a~442d), 상부 전극층(443a~443d)로 이루어져 있다. 여기에서 압전 재료층(442a~442d)는 하부 전극층(441a~441d)와 상부 전극층(443a~443d)에 전압이 인가되면 수축 팽창하여 상하 구동력을 발생시킨다.
또한, 우측 압전체(432a'~432d')는 도 7a 및 도 7c를 참조하면 하부 전극층(441a'~441d'), 압전 재료층(442a'~442d'), 상부 전극층(443a'~443d')로 이루어져 있다. 여기에서 압전 재료층(442a'~442d')는 하부 전극층(441a'~441d')와 상부 전극층(443a'~443d')에 전압이 인가되면 수축 팽창하여 상하 구동력을 발생시킨다.
이때, 하부 전극층(441a~441d, 441a'~441d')의 전극재료로는 Pt, Ta/Pt, Ni, Au, Al, RuO2 등이 사용될 수 있으며, 압전재료층(442a~442d, 442a'~442d')는 상하 압전재료와 좌우 압전 재료를 모두 사용가능하며, PZT, PNN-PT, PLZT, AlN, ZnO 등의 압전재료를 사용할 수 있으며, Pb, Zr, Zn 또는 타이타늄등을 최소 한개 이상의 원소를 포함하는 압전 전해 재료를 대상으로 한다.
다음으로, 상부 전극층(443a~443d, 443a'~443d')에 사용되는 전극재료는 Pt, Ta/Pt, Ni, Au, Al, Ti/Pt, IrO2, RuO2 등이 사용될 수 있다.
한편, 도 7a 내지 도 7c 그리고 도 9를 참조하여 본 발명의 일실시예에 따 른 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기의 동작과 회절 현상을 살펴보면 다음과 같다.
도면에서 좌측 압전체(440a~440d)중 압전 전압이 인가되면 압전체-도 9를 참조하면 도면부호 440c, 440d-은 압전력이 발생하여 수축하게 되고 그에 따라 양끝단에서 위로 올라가려는 힘이 발생한다. 이때, 도면부호 440c, 440d의 압전체의 좌측 끝단이 지지부재(420)에 고정되어 있어 위로 들어올리려는 힘이 지지부재(420)에 작용하지만 지지부재(420)은 고정되어 있어 움직이지 않는다. 이때, 도면부호 440c, 440d의 압전체의 우측 끝단은 회절부재(430c, 430d)의 좌측 외부(432c, 432d)의 우측끝단에 부착되어 있어 위로 들어올리려는 힘이 좌측 외부(432c, 432d)의 우측 끝단에 작용하여 좌측 외부(432c, 432d)의 우측 끝단은 위로 올라가게 된다.
하지만 이때 좌측 외부(432c, 432d)와 중심부(431c, 431d)가 절곡되어 있어 좌측 외부(432c, 432d)의 위로 들어 올려지는 힘은 중심부(431c, 431d)의 회전력으로 작용하게 된다. 이때, 회절부재(430a~430d)가 절곡되어 있기 때문에 중심부(431c, 431d)의 안쪽 보다 바깥쪽이 더 크게 회전하게 되며 결과적으로 중심부(431c, 431d)는 기울어지게 된다.
한편, 우측 압전체(440a'~440d')중 압전 전압이 인가된 압전체-도 9를 참조하면 도면부호 440c', 440d'-은 압전력이 발생하여 수축하게 되고 그에 따라 양끝단에서 위로 올라가려는 힘이 발생한다. 이때, 도면부호 440c', 440d'의 압전체의 우측 끝단이 지지부재(420')에 고정되어 있어 위로 들어올리려는 힘이 지지부재 (420')에 작용하지만 지지부재(420')은 고정되어 있어 움직이지 않는다. 이때, 도면부호 440c', 440d'의 압전체의 좌측 끝단은 회절부재(430c, 430d)의 우측 외부(432c', 432d')의 좌측 끝단에 부착되어 있어 위로 들어올리려는 힘이 우측 외부(432c', 432d')의 좌측 끝단에 작용하여 우측 외부(432c', 432d')의 좌측 끝단은 위로 올라가게 된다.
하지만 이때 우측 외부(432c', 432d')와 중심부(431c, 431d)가 절곡되어 있어 우측 외부(432c', 432d')의 위로 들어 올려지는 힘은 중심부(431c, 431d)의 회전력으로 작용하게 되며, 회절부재(430c, 430d)가 절곡되어 있기 때문에 회절부재(430c, 430d)의 중심부(431c, 431d)의 안쪽 보다 바깥쪽이 더 크게 회전하게 되며 결과적으로 중심부(431c, 431d)는 기울어지게 된다.
이와 같이 좌측 및 우측 압전체(440a~440d, 440a'~440d')의 양측에 전압이 인가되는 경우에는 두 압전력의 합력에 의해 회절부재(430a~430d)가 회전하게 되며, 반사면은 기울어지게 된다.
이때, 도 9에 도시된 바와 같이 회절부재-도면부호 430c, 430d-가 기울어져 인접한 회절부재의 반사판(450c, 450d)이 서로 평행하게 되고 또한 단차가 입사광의 파장이 λ일 때 λ/4의 배수배가 되면 회절된다.
도면에서 입사광 1은 도면부호 450c, 450d의 단차가 λ/4의 배수가 되어 회절광 3, 3'이 발생된다. 하지만 입사광1이 도면부호 450a, 450b이 λ/4의 배수의 단차가 되지 않기 때문에 반사광 2가 생성된다.
한편, 도 8은 회절부재의 분래 사시도인데, 좌측 외부와 중심부, 그리고 우 측 외부와 중심부가 절곡되어 있지만, 이와 같은 모양은 아니고 아크형인 경우도 가능하다.
기존의 정전형 비틀림 변위 발생 블레이즈 회절 격자는 정전 구동력의 한계로 충분한 회전력을 발생시키면서 소형의 고해상도 광변조기에 적용하기에 제약이 있다.
본 발명에 따르면, 가변형 마이크로 블레이즈 회절 격자 PZT 등의 압전 소자를 이용하여 구동하므로 체적당 발생력이 크므로 소형의 다픽셀, 즉 고해상도 광 변조기의 개발이 가능하다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 가변형 블레이드 회절격자 광변조기를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (6)

  1. 기판;
    상기 기판위에 놓여 있으며 이격되어 있는 한 쌍의 지지부재; 양끝단이 각각 지지부재에 고정되어 상기 기판으로부터 부유하여 있고, 서로 평행하게 배열되어 있으며, 배열방향으로 구부러져 있는 복수의 회절부재;
    상기 복수의 회절부재의 상면에 하면이 각각 부착되어 있고, 상면이 반사면으로 형성되어 있으며, 상기 반사면이 인접하는 반사면과 평행한 복수의 반사판; 및
    상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 평면거울이 되도록 하는 제1 위치와 상기 하나의 반사판의 반사면과 그에 인접한 다른 하나의 반사판의 반사면이 입사광을 회절시키는 제2 위치가 되도록 상기 회절부재들을 압전재료를 이용한 상하 구동력에 의해 안쪽 보다 바깥쪽이 더 많이 회전하도록 소정 각도 범위에서 회전시키는 복수의 구동체
    를 포함하여 이루어진 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 회절부재는,
    상기 기판으로부터 이격되어 있고, 상면에 상기 반사판이 형성되어 있으며, 제1 위치와 제2위치 사이를 회전하는 중심부; 및
    일측단이 상기 지지부재의 일측에 부착되어 있으며, 타측이 상기 중심부에 절곡되어 결합되어 있고 상기 구동체에 의해 발생된 상하 구동력을 회전력으로 변화시켜 상기 중심부에 전달하는 한 쌍의 외부를 포함하여 이루어진 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 구동체는,
    한쪽 끝단이 상기 좌측 외부의 좌측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 좌측 외부의 중앙 부위로부터 좌측으로 이격되어 위치하며, 압전재료층을 포함하여 상기 압전재료층에 전압이 인가되면 수축 및 팽창하여 상기 좌측 외부에 상하 구동력을 제공하는 제 1 압전층; 및
    한쪽 끝단이 상기 우측 외부의 우측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 우측 외부의 중앙 부위로부터 우측으로 이격되어 위치하며, 압전재료층을 포함하여 상기 압전재료층에 전압이 인가되면 수축 및 팽창하여 상기 우측 외부에 상하 구동력을 제공하는 제 2 압전층을 포함하여 이루어진 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 압전층은,
    밴드 형상을 하고 있으며, 한쪽 끝단이 상기 좌츠 외부의 좌측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 좌측 외부의 중앙 부위로부터 좌측으로 이격되어 위치하며, 압전 전압을 제공하기 위한 제 1 하부 전극층;
    상기 제 1 하부 전극층위에 적층되어 있으며, 양면에 전압이 인가되면 수축 및 팽창하여 구동력을 발생시키는 제 1 압전 재료층; 및
    상기 제1 압전 재료층위에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 제 1 상부 전극층을 포함하며,
    상기 제 2 압전층은,
    밴드 형상을 하고 있으며, 한쪽 끝단이 상기 우측 외부의 우측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 우측 외부의 중앙 부위로부터 우측으로 이격되어 위치하며, 압전 전압을 제공하기 위한 제 2 하부 전극층;
    상기 제 2 하부 전극층위에 적층되어 있으며, 양면에 전압이 인가되면 수축 및 팽창 구동력을 발생시키는 제 2 압전 재료층; 및
    상기 제 2 압전 재료층위에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 제2 상부 전극층을 포함하여 이루어진 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 압전층은,
    밴드 형상을 하고 있으며, 한쪽 끝단이 상기 좌측 외부의 좌측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 좌측 외부의 중앙 부위로부터 좌측으로 이격되어 위치하며, 압전 전압을 제공하기 위한 제 1 하부 전극층;
    상기 제1 하부전극층에 적층되어 있으며, 양면에 전압이 인가되면 수축 및 팽창 구동력을 발생시키는 복수의 제 1 압전 재료층;
    상기 복수의 제 1 압전 재료층 사이에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 복수의 제1 상부 전극층; 및
    상기 복수의 제1 압전 재료층의 최상측 위에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 제2 상부 전극층을 포함하며,
    상기 제 2 압전층은,
    밴드 형상을 하고 있으며, 한쪽 끝단이 상기 우측 외부의 우측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 우측 외부의 중앙 부위로부터 우측으로 이격되어 위치하며, 압전 전압을 제공하기 위한 제 2 하부 전극층;
    상기 제 2 하부 전극층위에 적층되어 있으며, 양면에 전압이 인가되면 수축 및 팽창 구동력을 발생시키는 복수의 제 2 압전 재료층;
    상기 복수의 제 2 압전 재료층 사이에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 복수의 제3 상부 전극층; 및
    상기 복수의 제2 압전 재료층의 최상측 위에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 제4 상부 전극층을 포함하여 이루어진 가변형 블레이드 회절격자 광 변조기.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동체는,
    한쪽 끝단이 상기 회절부재의 좌측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 회절부재의 중앙 부위로부터 좌측으로 이격되어 위치하며, 압전재료층을 포함하여 상기 압전재료층에 전압을 인가하여 상기 회절부재의 좌측에 상하 구동력을 제공하여 상기 회절부재의 중심부가 회전되도록 하는 제 1 압전층; 및
    한쪽 끝단이 상기 회절부재의 우측 끝단에 위치하고, 다른쪽 끝단이 상기 회절부재의 중앙 부위로부터 우측으로 이격되어 위치하며, 압전재료층을 포함하여 상기 압전재료층에 전압이 인가하여 상기 회절부재의 우측에 상하 구동력을 제공하여 상기 회절부재의 중심부가 회전되도록 하는 제 2 압전층을 포함하여 이루어진 가변형 블레이즈 회절격자 광변조기.
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