KR20060021105A - System and method for recycling chemical, and apparatus for treating a substrate using the system - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약액 재생 시스템에 관한 것으로, 시스템은 처리부로부터 약액이 회수되는 제 1하우징과 약액을 혼합탱크로 공급하고 순환시키는 제 2하우징을 가진다. 약액이 제 2하우징에서 순환되고 혼합탱크로 공급되는 동안에서 처리부로부터 약액의 회수가 가능하므로 약액의 회수율이 매우 높다.The present invention relates to a chemical liquid regeneration system, the system having a first housing for recovering the chemical liquid from the processing unit and a second housing for supplying and circulating the chemical liquid to the mixing tank. The recovery rate of the chemical liquid is very high since the chemical liquid can be recovered from the processing unit while the chemical liquid is circulated in the second housing and supplied to the mixing tank.

약액, 재생, 회수, 순환, 하우징Chemical, regeneration, recovery, circulation, housing

Description

약액 재생 시스템 및 약액 재생 방법, 그리고 상기 시스템을 가지는 기판 처리 설비{SYSTEM AND METHOD FOR RECYCLING CHEMICAL, AND APPARATUS FOR TREATING A SUBSTRATE USING THE SYSTEM}TECHNICAL AND METHOD FOR RECYCLING CHEMICAL, AND APPARATUS FOR TREATING A SUBSTRATE USING THE SYSTEM

도 1은 일반적인 약액 재생 시스템을 개략적으로 보여주는 도면;1 schematically shows a general chemical liquid regeneration system;

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 약액 재생 시스템이 적용된 기판 처리 설비를 개략적으로 보여주는 도면; 2 schematically shows a substrate processing apparatus to which a chemical liquid regeneration system according to an exemplary embodiment of the present invention is applied;

도 3은 도 2의 기판 처리 설비의 변형된 예를 개략적으로 보여주는 도면; 그리고3 is a schematic illustration of a modified example of the substrate processing equipment of FIG. 2; And

도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 재생 방법을 순차적으로 보여주는 플로우차트이다.4 is a flowchart sequentially showing a method of regenerating a substrate according to an exemplary embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 처리부 20 : 약액 공급부10: processing unit 20: chemical liquid supply unit

30 : 약액 재생부 182 : 회수라인30: chemical regeneration unit 182: recovery line

220 : 혼합 탱크 240 : 버퍼 탱크220: mixing tank 240: buffer tank

320 : 제 1하우징 340 : 제 2하우징320: first housing 340: second housing

360 : 약액 회수 부재 382 : 순환라인360: chemical liquid recovery member 382: circulation line

384 : 공급라인 386 : 이송라인384: supply line 386: transfer line

386 : 배출라인 394 : 필터386: discharge line 394: filter

400 : 농도 조절부400: concentration control unit

본 발명은 기판을 제조하는 설비 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 기사용된 약액을 재생하는 시스템 및 방법, 그리고 이를 이용하여 기판을 처리하는 설비에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for manufacturing a substrate, and more particularly, to a system and method for regenerating a used chemical solution, and an apparatus for treating a substrate using the same.

반도체 기판을 제조하기 위해서는 다양한 공정이 요구된다. 이들 중 습식 식각이나 세정 등과 같은 공정에서는 다양한 종류의 약액이 사용되고 있다. 약액은 매우 고가이며, 폐기시 환경을 오염시키는 등의 문제가 있다. 따라서 일반적인 설비에서는 기사용된 약액을 회수하여 다시 사용하고 있다. 도 1은 일반적인 설비에서의 약액 재생 시스템을 개략적으로 보여주는 도면이다.Various processes are required to manufacture a semiconductor substrate. Among them, various kinds of chemical liquids are used in processes such as wet etching and washing. The chemical liquid is very expensive, and there is a problem such as polluting the environment during disposal. Therefore, in a typical facility, the engineered chemicals are collected and used again. 1 is a view schematically showing a chemical liquid regeneration system in a typical installation.

도 1을 참조하면, 약액 재생 시스템(2)은 하나의 하우징(920)을 가진다. 처리 장치에서 사용된 약액은 회수 라인(922)을 통해서 하우징(920) 내로 공급되고, 하우징(920)의 바닥면에는 배출라인(926)과 순환라인(924)이 연결된다. 순환라인(924)에는 필터(940)가 설치되어 약액 내 불순물을 제거한다. 순환라인(924)으로부터 이송라인(928)이 분기되며, 약액은 이송라인(928)을 통해 재사용을 위한 공간으 로 공급된다. 하우징(920)에는 하우징(920) 내부를 감압하기 위한 진공라인(960)이 설치된다. 하우징(920) 내부가 감압됨으로써 하우징(920)과 처리장치간에 압력차가 발생하고, 압력차에 의해 처리장치로부터 하우징(920)으로 약액이 회수된다. Referring to FIG. 1, the chemical liquid regeneration system 2 has one housing 920. The chemical liquid used in the processing apparatus is supplied into the housing 920 through the recovery line 922, and the discharge line 926 and the circulation line 924 are connected to the bottom surface of the housing 920. A filter 940 is installed in the circulation line 924 to remove impurities in the chemical liquid. The transfer line 928 is branched from the circulation line 924, and the chemical liquid is supplied to the space for reuse through the transfer line 928. The housing 920 is provided with a vacuum line 960 for depressurizing the inside of the housing 920. When the inside of the housing 920 is depressurized, a pressure difference is generated between the housing 920 and the processing apparatus, and the chemical liquid is recovered from the processing apparatus to the housing 920 by the pressure difference.

상술한 일반적인 약액 재생 시스템(2) 사용시 다음과 같은 문제가 있다. 약액이 회수되는 동안 하우징(920) 내부는 감압되어야 하므로, 하우징(920) 내에서 약액의 순환이 이루어질 수 없다. 또한, 약액이 순환되는 동안과 약액을 재사용하기 위해 소정 공간으로 이송하는 동안 약액의 회수가 이루어지지 않으므로, 처리장치로부터 배출되는 약액이 회수되지 않는다.The use of the general chemical regeneration system 2 described above has the following problems. Since the inside of the housing 920 needs to be depressurized while the chemical liquid is recovered, the circulation of the chemical liquid cannot be made in the housing 920. In addition, since the chemical liquid is not recovered during the circulation of the chemical liquid and during the transfer to the predetermined space for reuse, the chemical liquid discharged from the processing apparatus is not recovered.

본 발명은 처리 장치로부터 약액의 회수율을 증대시키고, 약액의 회수 및 약액의 순환과 이송라인으로부터 공급이 계속적으로 이루어질 수 있는 약액 재생 시스템 및 방법, 그리고 위 시스템을 이용한 기판 처리 설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a chemical liquid regeneration system and method for increasing the recovery rate of a chemical liquid from a processing apparatus, the chemical liquid recovery and the circulation of the chemical liquid, and a continuous supply of the chemical liquid, and a substrate processing facility using the system. It is done.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 기판 처리 설비는 기판에 대해 소정 공정을 수행하는 처리부, 상기 처리부로 약액을 공급하는 약액 공급부, 그리고 상기 처리부로부터 약액을 회수하고, 회수된 약액을 상기 약액 공급부로 공급하는 약액 재생부를 포함한다. 상기 약액 재생부는 상기 처리부로부터 약액을 회수하는 제 1하우징과 상기 제 1하우징으로부터 약액을 공급받는 제 2하우징을 가진다. 상기 제 2하우징에는 약액이 순환되는 순환라인과 약액을 상기 약액 공급부로 공급 되는 이송라인이 제공된다. 상기 회수라인에는 약액으로부터 불순물을 제거하는 필터가 설치될 수 있다.In order to achieve the above object, the substrate processing equipment of the present invention is a processing unit performing a predetermined process for the substrate, a chemical liquid supply unit for supplying a chemical liquid to the processing unit, and recovers the chemical liquid from the processing unit, the recovered chemical liquid is the chemical liquid supply unit It includes a chemical liquid regeneration unit for supplying. The chemical liquid regeneration unit has a first housing for recovering the chemical liquid from the processing unit and a second housing supplied with the chemical liquid from the first housing. The second housing is provided with a circulation line through which the chemical liquid is circulated and a transfer line for supplying the chemical liquid to the chemical liquid supply unit. The recovery line may be provided with a filter for removing impurities from the chemical liquid.

상기 약액은 회수라인을 통해 상기 처리부로부터 상기 제 1하우징으로 공급되고, 상기 약액 재생부는 상기 처리부로부터 약액을 상기 제 1하우징으로 유도하는 약액 회수 부재를 더 포함한다. 일 예에 의하면, 상기 약액 회수 부재는 상기 회수라인에 설치된 펌프를 가진다. 다른 예에 의하면, 상기 약액 회수 부재는 상기 제 1하우징 내부의 기체가 배기되는 진공라인과 상기 진공라인에 설치되어 상기 제 1하우징 내부를 감압하는 진공펌프를 가진다. 상기 제 1하우징 내부는 진공으로 유지되고, 상기 제 2하우징 내부는 상압으로 유지될 수 있다. The chemical liquid is supplied from the processing unit to the first housing through a recovery line, and the chemical liquid regeneration unit further includes a chemical liquid recovery member for guiding the chemical liquid from the processing unit to the first housing. According to one example, the chemical liquid recovery member has a pump installed in the recovery line. According to another example, the chemical liquid recovery member has a vacuum line through which the gas inside the first housing is exhausted and a vacuum pump installed in the vacuum line to depressurize the inside of the first housing. The inside of the first housing may be maintained in a vacuum, and the inside of the second housing may be maintained at an atmospheric pressure.

일 예에 의하면, 상기 제 1하우징으로부터 약액은 공급라인을 통해 상기 제 2하우징으로 공급되고, 상기 공급라인은 상기 순환라인으로부터 분기되어 상기 제 1하우징과 연결되며, 상기 공급라인에는 내부를 개폐하는 밸브가 설치된다. 상기 이송라인은 상기 순환라인으로부터 분기되어 상기 약액 공급부와 연결되고, 상기 약액 재생부는 상기 순환라인으로부터 분기되며 상기 제 1하우징 또는 상기 제 2하우징 내 약액을 배출하는 배출라인을 가질 수 있다.According to one example, the chemical liquid from the first housing is supplied to the second housing through a supply line, the supply line is branched from the circulation line is connected to the first housing, the supply line to open and close the inside The valve is installed. The transfer line may be branched from the circulation line and connected to the chemical liquid supply unit, and the chemical liquid regeneration unit may branch from the circulation line and have a discharge line for discharging the chemical liquid in the first housing or the second housing.

또한, 상기 약액 공급부는 약액 공급라인 및 탈이온수 공급라인으로부터 약액과 탈이온수를 공급받고, 상기 이송라인을 통해 약액을 공급받는 혼합 탱크를 포함할 수 있다. 상기 기판 처리 설비는 상기 혼합 탱크 내 약액의 농도를 조절하는 농도 조절부를 더 포함할 수 있다. 일 예에 의하면, 상기 농도 조절부는 상기 이송라인을 통해 상기 혼합 탱크로 공급되는 약액의 농도를 측정하는 검출기와 상기 검 출기로부터 검출 신호를 전송받아 약액의 농도를 측정하고 상기 약액 공급라인에 설치된 밸브와 상기 탈이온수 공급라인에 설치된 밸브를 제어하는 제어기를 가진다.In addition, the chemical liquid supply unit may include a mixing tank receiving the chemical liquid and deionized water from the chemical liquid supply line and the deionized water supply line, the chemical liquid through the transfer line. The substrate processing facility may further include a concentration controller for adjusting the concentration of the chemical liquid in the mixing tank. In one embodiment, the concentration adjusting unit is a detector for measuring the concentration of the chemical liquid supplied to the mixing tank through the transfer line and receiving a detection signal from the detector to measure the concentration of the chemical liquid and a valve installed in the chemical liquid supply line And a controller controlling a valve installed in the deionized water supply line.

또한, 본 발명의 약액 재생 시스템은 기판에 대해 공정을 수행하는 처리부로부터 회수라인을 통해 공정에 사용된 약액을 공급받는 공간을 제공하는 제 1하우징과 상기 제 1하우징과 분리된 공간을 제공하며 상기 제 1하우징으로부터 약액을 공급받는, 그리고 약액을 순환시키고 필터가 설치된 순환라인과 재생을 위한 탱크로 약액을 공급하는 이송라인을 가지는 제 2하우징을 가진다.In addition, the chemical liquid regeneration system of the present invention provides a first housing and a space separated from the first housing to provide a space for receiving the chemical liquid used in the process through a recovery line from the processing unit performing a process for the substrate and the And a second housing having a chemical liquid supplied from the first housing and having a circulating line for circulating the chemical liquid and a filter line for supplying the chemical liquid to the tank for regeneration.

상기 약액 재생 시스템은 상기 처리부로부터 약액을 상기 제 1하우징으로 유도하는 약액 회수 부재를 더 포함한다. 일 예에 의하면, 상기 약액 회수 부재는 상기 회수라인에 설치된 펌프를 가진다. 다른 예에 의하면, 상기 약액 회수 부재는 상기 제 1하우징 내부의 기체가 배기되는 진공라인과 상기 진공라인에 설치되어 상기 제 1하우징 내부를 감압하는 펌프를 가진다. 상기 제 1하우징 내부는 진공으로 유지되고, 상기 제 2하우징 내부는 상압으로 유지된다.The chemical liquid regeneration system further includes a chemical liquid recovery member for guiding the chemical liquid from the processing unit to the first housing. According to one example, the chemical liquid recovery member has a pump installed in the recovery line. According to another example, the chemical liquid recovery member has a vacuum line through which the gas inside the first housing is exhausted and a pump installed in the vacuum line to depressurize the inside of the first housing. The inside of the first housing is maintained in a vacuum, and the inside of the second housing is maintained in a normal pressure.

또한, 본 발명의 약액 재생 방법은 처리부에서 공정에 사용된 약액이 제 1하우징으로 회수되는 단계, 상기 제 1하우징으로부터 약액이 상기 제 1하우징과 분리된 제 2하우징으로 공급되는 단계, 상기 제 2하우징 내의 약액이 필터가 설치된 순환라인을 통해 순환되는 단계, 그리고 상기 처리부로 약액을 공급하는 약액 공급부로 상기 제 2하우징 내의 약액을 공급하는 단계를 포함한다.In addition, the chemical liquid regeneration method of the present invention is the step of recovering the chemical liquid used in the process in the processing unit to the first housing, the step of supplying the chemical liquid from the first housing to the second housing separated from the first housing, the second The chemical liquid in the housing is circulated through a circulation line provided with a filter, and supplying the chemical liquid in the second housing to the chemical liquid supply unit for supplying the chemical liquid to the processing unit.

일 예에 의하면, 상기 제 1하우징으로부터 약액이 상기 제 1하우징과 분리된 제 2하우징으로 공급되는 단계는 상기 회수라인에 설치된 펌프의 작동에 의해 상기 제 1하우징으로부터 상기 제 2하우징으로 약액이 공급되는 단계를 포함한다. 다른 예에 의하면, 상기 제 1하우징으로부터 약액이 상기 제 1하우징과 분리된 제 2하우징으로 공급되는 단계는 상기 제 1하우징 내부를 감압하는 단계를 포함한다.According to an example, the step of supplying the chemical liquid from the first housing to the second housing separated from the first housing may include supplying the chemical liquid from the first housing to the second housing by an operation of a pump installed in the recovery line. The steps are as follows. In another example, supplying the chemical liquid from the first housing to the second housing separated from the first housing includes depressurizing the inside of the first housing.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조하여 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 4. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 처리 설비(1)를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 처리부(10), 약액 공급부(20), 그리고 약액 재생부(30)(청구범위에는 약액 재생 시스템 또는 약액 재생부(30)로 기재됨)를 가진다. 처리부(10)는 약액을 사용하여 기판 상에 소정의 공정을 수행한다. 예컨대, 처리부(10)는 식각액을 사용하여 기판을 식각하는 장치일 수 있다. 또한, 처리부(10)는 세정액을 사용하여 기판을 세정하는 장치일 수 있다. 처리부(10)는 약액이 배출되는 배출구 및 탈이온수가 배출되는 배출구가 각각 형성된 챔버(120)를 가진다. 챔버(120)는 기판을 지지 또는 회전시키는 지지대(140)를 가지며, 지지대(140) 상부에는 기판 상으로 약액을 공급하는 노즐(160)이 설치된 다. 기판은 집적회로 제조를 위해 사용되는 기판으로 반도체 웨이퍼(W) 또는 유리기판 등일 수 있다. 2 schematically shows a substrate processing apparatus 1 according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2, the substrate processing apparatus 1 includes a processing unit 10, a chemical liquid supply unit 20, and a chemical liquid regeneration unit 30 (described in the claims as a chemical liquid regeneration system or a chemical liquid regeneration unit 30). Have The processor 10 performs a predetermined process on the substrate using the chemical liquid. For example, the processor 10 may be an apparatus for etching a substrate using an etchant. In addition, the processing unit 10 may be an apparatus for cleaning a substrate using a cleaning liquid. The processing unit 10 has a chamber 120 in which a discharge port through which chemical liquid is discharged and a discharge port through which deionized water is discharged, respectively. The chamber 120 has a support 140 for supporting or rotating the substrate, and a nozzle 160 for supplying a chemical liquid onto the substrate is installed on the support 140. The substrate may be a semiconductor wafer W or a glass substrate, which is used for fabricating integrated circuits.

약액 공급부(20)는 노즐(160)로 약액을 공급한다. 약액 공급부(20)는 혼합 탱크(220)와 버퍼 탱크(280)를 가진다. 혼합 탱크(220)에서 처리부(10)로 공급되는 약액은 탈이온수와 혼합된다. 약액은 약액 저장부(240)로부터 약액 공급라인(242)을 통해 혼합 탱크(220)로 공급되고, 탈이온수는 탈이온수 저장부(260)로부터 탈이온수 공급라인(262)을 통해 혼합 탱크(220)로 공급된다. 또한, 후술하는 바와 같이 약액 재생부(30)로부터 재생된 약액이 이송라인(386)을 통해 혼합 탱크(220)로 공급된다. 약액 공급라인(242), 탈이온수 공급라인(262), 그리고 이송라인(386)에는 각각 그 내부 통로를 통해 흐르는 액체의 유량을 조절하는 유량 조절 부재가 설치된다. 유량 조절 부재로는 밸브(244, 264, 377) 또는 질량유량계(mass flow controller) 등이 사용될 수 있다. 혼합 탱크(220)에서 탈이온수와 일정 비율로 혼합된 약액은 배관을 통해 버퍼 탱크(280)로 공급된다. 버퍼 탱크(280)에 저장된 약액은 하나 또는 복수의 처리부(10)로 약액을 공급한다. 선택적으로 공정의 종류에 따라 탈이온수의 공급없이 처리부(10)로 약액만 공급될 수 있다.The chemical liquid supply unit 20 supplies the chemical liquid to the nozzle 160. The chemical liquid supply unit 20 has a mixing tank 220 and a buffer tank 280. The chemical liquid supplied from the mixing tank 220 to the treatment unit 10 is mixed with deionized water. The chemical liquid is supplied from the chemical liquid storage unit 240 to the mixing tank 220 through the chemical liquid supply line 242, and the deionized water is mixed from the deionized water storage unit 260 through the deionized water supply line 262. Is supplied. In addition, as described later, the chemical liquid regenerated from the chemical liquid regeneration unit 30 is supplied to the mixing tank 220 through the transfer line 386. The chemical liquid supply line 242, the deionized water supply line 262, and the transfer line 386 are each provided with a flow rate adjusting member for controlling the flow rate of the liquid flowing through the inner passage. As the flow regulating member, a valve 244, 264, 377 or a mass flow controller may be used. The chemical liquid mixed with deionized water in a predetermined ratio in the mixing tank 220 is supplied to the buffer tank 280 through a pipe. The chemical liquid stored in the buffer tank 280 supplies the chemical liquid to one or more processing units 10. Optionally, only the chemical liquid may be supplied to the treatment unit 10 without supplying deionized water according to the type of process.

약액 재생부(30)는 처리부(10)에서 사용된 약액을 여과한 후 이를 다시 혼합 탱크(220)로 공급한다. 약액 재생부(30)는 제 1하우징(320)과 제 2하우징(340)을 가진다. 제 1하우징(320)과 제 2하우징(340)에는 각각 내부에 약액에 저장되는 공간(328, 348)이 형성되며, 제 1하우징(320)에 의해 제공되는 공간(328)과 제 2하우징(340)에 의해 제공되는 공간(348)은 분리된다. 도 2에 도시된 바와 같이 제 1하 우징(320)과 제 2하우징(340)은 일체로 제조될 수 있으며, 선택적으로 제 1하우징(320)과 제 2하우징(340)은 각각 제조되어 일정거리 이격된 상태로 배치될 수 있다. 처리부(10)에서 사용된 약액은 회수라인(182)을 통해 제 1하우징(320)으로 회수되거나 배출라인(184)을 통해 외부로 배출된다. 회수라인(182)은 처리부(10)의 배출구와 제 1하우징(320)을 연결하고, 배출라인(184)은 회수라인(182)으로부터 분기될 수 있다. 회수라인(182)과 배출라인(184)에는 각각 내부 통로를 개폐하는 밸브가 설치된다. 선택적으로 회수라인(182)과 배출라인(184)은 각각 독립적으로 처리부(10)와 연결될 수 있다. The chemical liquid regeneration unit 30 filters the chemical liquid used in the processing unit 10 and supplies it to the mixing tank 220 again. The chemical regeneration unit 30 has a first housing 320 and a second housing 340. In the first housing 320 and the second housing 340, spaces 328 and 348 are formed inside the first housing 320 and the second housing 340, respectively. The spaces 328 and the second housings provided by the first housing 320 are formed. The space 348 provided by 340 is separated. As shown in FIG. 2, the first housing 320 and the second housing 340 may be manufactured integrally. Optionally, the first housing 320 and the second housing 340 may be manufactured, respectively, for a predetermined distance. It may be placed in a spaced state. The chemical liquid used in the processing unit 10 is recovered to the first housing 320 through the recovery line 182 or discharged to the outside through the discharge line 184. The recovery line 182 may connect the discharge port of the processing unit 10 and the first housing 320, and the discharge line 184 may branch from the recovery line 182. Each of the recovery line 182 and the discharge line 184 is provided with a valve for opening and closing the internal passage. Optionally, the recovery line 182 and the discharge line 184 may be independently connected to the treatment unit 10.

약액의 회수를 위해 약액 회수 부재(360)가 제공된다. 일 예에 의하면, 약액의 회수는 제 1하우징(320)과 처리부(10) 간의 압력차에 의해 이루어진다. 제 1하우징(320) 내의 공간(328)은 외부로부터 밀폐되고, 약액 회수 부재(360)는 제 1하우징(320)의 상부면을 통해 제 1하우징(320) 내 상부까지 삽입되는 진공라인(362)을 가진다. 진공라인(362)에는 진공펌프(366)가 결합된다. 즉, 제 1하우징(320) 내부는 진공으로 유지되고, 제 2하우징(340) 내부는 상압으로 유지된다. 다른 예에 의하면, 도 3에 도시된 바와 같이 약액 회수 부재는 회수라인(182) 상에 설치되는 펌프(368)를 가지고, 회수라인(182)을 통해 흐르는 약액은 펌프(368)의 유동압에 의해 제 1하우징(320)으로 제공될 수 있다. 처리부(10)로부터 회수되는 약액의 량이 적은 경우에는 진공라인(362) 상에 진공펌프(366)를 설치하여 사용하는 것이 바람직하다. A chemical liquid recovery member 360 is provided for the recovery of the chemical liquid. According to one example, the recovery of the chemical is made by the pressure difference between the first housing 320 and the processing unit 10. The space 328 in the first housing 320 is sealed from the outside, and the chemical liquid recovery member 360 is inserted into the upper portion of the first housing 320 through the upper surface of the first housing 320. ) A vacuum pump 366 is coupled to the vacuum line 362. That is, the inside of the first housing 320 is maintained at a vacuum, and the inside of the second housing 340 is maintained at an atmospheric pressure. In another example, as shown in FIG. 3, the chemical liquid recovering member has a pump 368 installed on the recovery line 182, and the chemical liquid flowing through the recovery line 182 is applied to the flow pressure of the pump 368. It may be provided to the first housing 320 by. When the amount of the chemical liquid recovered from the processing unit 10 is small, it is preferable to install and use the vacuum pump 366 on the vacuum line 362.

제 1하우징(320)에 저장된 약액은 공급라인(384)을 통해 제 2하우징(340)으 로 공급된다. 제 2하우징(340)으로 공급된 약액은 순환라인(382)을 통해 복수회 순환된다. 순환라인(382)에는 그 내부를 흐르는 약액에 유동압을 제공하는 펌프(392)와 약액으로부터 불순물을 여과시키는 필터(394)가 설치된다. 여과가 완료된 약액은 이송라인(386)을 통해 상술한 혼합 탱크(220)로 공급된다. The chemical liquid stored in the first housing 320 is supplied to the second housing 340 through the supply line 384. The chemical liquid supplied to the second housing 340 is circulated a plurality of times through the circulation line 382. The circulation line 382 is provided with a pump 392 for providing a flow pressure to the chemical liquid flowing therein and a filter 394 for filtering impurities from the chemical liquid. The filtered chemical liquid is supplied to the above-mentioned mixing tank 220 through the transfer line 386.

일 예에 의하면, 순환라인(382)의 일단은 제 2하우징(340)의 바닥면과 연결되고, 순환라인(382)의 타단은 제 2하우징(340)의 상부면을 통해 제 2하우징(340) 내 상부까지 삽입된다. 공급라인(384)은 순환라인(382)의 제 1지점(352)에서 분기되어 제 1하우징(320)의 바닥면과 연결된다. 공급라인(384)에는 내부 통로를 개폐하는 제 1밸브(371)가 설치되고, 순환라인(382)의 일단과 제 1지점(352) 사이에는 내부 통로를 개폐하는 제 2밸브(372)가 설치된다. 제 1하우징(320)으로부터 제 2하우징(340)으로 약액이 공급되는 동안 제 1밸브(371)는 열리고, 제 2밸브(372)는 닫힌다. 제 2하우징(340)으로부터 약액이 순환되는 동안 제 1밸브(371)는 닫히고, 제 2밸브(372)는 열린다. 이송라인(386)은 순환라인(382)의 제 2지점(354)으로부터 분기되어 혼합 탱크(220)와 연결된다. 제 2지점(354)은 제 1지점(352)과 순환라인(382)의 타단 사이에 위치된다. 이송라인(386)에는 그 내부 통로를 개폐하는 제 3밸브(373)가 설치되고, 제 2지점(354)과 순환라인(382)의 타단 사이에는 그 내부 통로를 개폐하는 제 4밸브(374)가 설치된다. 제 2하우징(340) 내 약액이 순환되는 동안 제 3밸브(373)는 닫히고 제 4밸브(374)는 열린다. 제 2하우징(340) 내 약액이 혼합 탱크(220)로 공급되는 동안 제 3밸브(373)는 열리고 제 4밸브(374)는 닫힌다. 하나의 펌프에 의해 약액의 순환과 혼합 탱크(220)로 의 공급이 이루어지도록 펌프 (392)는 제 1지점(352)과 제 2지점(354) 사이에 설치되는 것이 바람직하다. 또한, 제 2지점(354)으로부터 배출라인(375)이 분기될 수 있다. 배출라인(375)에는 그 내부 통로를 개폐하는 제 5밸브(375)가 설치된다. 제 1하우징(320) 또는 제 2하우징(340) 내 약액을 폐기할 때에는 제 3밸브(373)와 제 4밸브(374)는 닫히고 제 5밸브(375)가 열린다. 이와 달리 공급라인(384), 순환라인(382), 배출라인(375), 그리고 이송라인(386)은 독립적으로 제 1하우징(320) 또는 제 2하우징(340)에 연결될 수 있다. According to an example, one end of the circulation line 382 is connected to the bottom surface of the second housing 340, and the other end of the circulation line 382 is connected to the second housing 340 through the upper surface of the second housing 340. ) Is inserted to the top of the inside. The supply line 384 branches at the first point 352 of the circulation line 382 and is connected to the bottom surface of the first housing 320. The supply line 384 is provided with a first valve 371 for opening and closing the inner passage, and a second valve 372 for opening and closing the inner passage is installed between one end of the circulation line 382 and the first point 352. do. The first valve 371 is opened and the second valve 372 is closed while the chemical liquid is supplied from the first housing 320 to the second housing 340. The first valve 371 is closed and the second valve 372 is opened while the chemical liquid is circulated from the second housing 340. The transfer line 386 is branched from the second point 354 of the circulation line 382 and connected to the mixing tank 220. The second point 354 is located between the first point 352 and the other end of the circulation line 382. The transfer line 386 is provided with a third valve 373 for opening and closing the inner passage, and the fourth valve 374 for opening and closing the inner passage between the second point 354 and the other end of the circulation line 382. Is installed. The third valve 373 is closed and the fourth valve 374 is opened while the chemical liquid in the second housing 340 is circulated. The third valve 373 is opened and the fourth valve 374 is closed while the chemical liquid in the second housing 340 is supplied to the mixing tank 220. The pump 392 is preferably installed between the first point 352 and the second point 354 so that the circulation of the chemical liquid and the supply to the mixing tank 220 by one pump. In addition, the discharge line 375 may branch from the second point 354. The discharge line 375 is provided with a fifth valve 375 for opening and closing the inner passage. When the chemical liquid in the first housing 320 or the second housing 340 is discarded, the third valve 433 and the fourth valve 374 are closed and the fifth valve 375 is opened. Alternatively, the supply line 384, the circulation line 382, the discharge line 375, and the transfer line 386 may be independently connected to the first housing 320 or the second housing 340.

상술한 구조를 가지는 본 발명의 장치에 의하면, 처리부(10)로부터 회수되는 약액이 저장되는 공간(328)과 혼합 탱크(220)로 공급되거나 순환되는 약액이 저장되는 공간(348)이 독립적으로 제공된다. 따라서 약액이 순환되고 혼합 탱크(220)로 공급되는 동안에도 처리부(10)로부터 약액의 회수가 가능하다. 따라서 일반적인 장치에 비해 처리부(10)로부터 약액의 회수율을 향상시킬 수 있다. According to the apparatus of the present invention having the above-described structure, the space 328 for storing the chemical liquid recovered from the processing unit 10 and the space 348 for storing the chemical liquid supplied or circulated to the mixing tank 220 are independently provided. do. Therefore, the chemical liquid can be recovered from the processing unit 10 while the chemical liquid is circulated and supplied to the mixing tank 220. Therefore, the recovery rate of the chemical liquid from the processing unit 10 can be improved as compared with the general apparatus.

제 1하우징(320)과 제 2하우징(340)에는 각각 그 내부에 채워진 약액의 수위를 측정하는 수위측정부(350)가 설치될 수 있다. 수위측정부(350)는 복수의 센서들을 가진다. 예컨대, 수위측정부(350)는 각각의 하우징 내 상부에 위치되며, 약액의 수위가 하우징(320, 340)으로부터 약액의 배출이 시작되는 위치까지 도달하였는지 여부를 측정하는 센서와 각각의 하우징(320, 340) 내 하부에 위치되며, 약액의 수위가 약액의 배출을 중단하는 위치까지 도달하였는지 여부를 측정하는 센서를 가질 수 있다. The first housing 320 and the second housing 340 may be provided with a level measuring unit 350 for measuring the level of the chemical liquid filled therein, respectively. The water level measuring unit 350 has a plurality of sensors. For example, the water level measuring unit 350 is positioned above each housing, and each sensor 320 and a sensor for measuring whether the level of the chemical liquid reaches the position where the discharge of the chemical liquid from the housings 320 and 340 starts. Located in the lower portion of the, 340, it may have a sensor for measuring whether the level of the chemical liquid reaches to the position to stop the discharge of the chemical liquid.

본 발명의 설비에는 농도 조절부(400)가 제공될 수 있다. 약액 재생부(30)로 부터 이송라인(386)을 통해 혼합 탱크(220)로 공급되는 약액은 처리부에서 웨이퍼와의 반응으로 인해 농도가 저하된다. 농도 조절부(400)는 처리부(10)로 공급되는 약액이 정해진 농도를 가지도록 혼합부로 공급되는 약액과 탈이온수의 량을 조절한다. 농도 조절부(400)는 검출기(420)와 제어기(440)를 가진다. 검출기(420)는 이송라인(386)을 통해 혼합 탱크(220)로 공급되는 약액의 농도를 측정한다. 검출기(420)로부터 검출된 신호는 제어기(440)로 전송된다. 제어기(440)는 전송받은 신호로부터 약액의 농도를 측정하고, 탈이온수 공급라인(262)과 약액 공급라인(242)에 설치된 밸브의 개폐정도 또는 개방시간 등을 조절한다. 검출기(420)는 순환라인(382) 상에 설치된다. 선택적으로 검출기(420)는 이송라인(386)이나 제 2하우징(340) 내에 설치될 수 있다.The concentration control unit 400 may be provided in the facility of the present invention. The chemical liquid supplied from the chemical liquid regeneration unit 30 to the mixing tank 220 through the transfer line 386 is lowered due to the reaction with the wafer in the processing unit. The concentration adjusting unit 400 adjusts the amount of the chemical liquid and deionized water supplied to the mixing unit so that the chemical liquid supplied to the processing unit 10 has a predetermined concentration. The concentration controller 400 has a detector 420 and a controller 440. The detector 420 measures the concentration of the chemical liquid supplied to the mixing tank 220 through the transfer line 386. The signal detected from the detector 420 is sent to the controller 440. The controller 440 measures the concentration of the chemical liquid from the received signal, and adjusts the opening and closing degree or opening time of the valve installed in the deionized water supply line 262 and the chemical liquid supply line 242. The detector 420 is installed on the circulation line 382. Optionally, the detector 420 may be installed in the transfer line 386 or the second housing 340.

다음에는 도 4를 참조하여 본 발명의 약액 재생 방법을 설명한다. 처음에 처리부(10)에서 공정에 사용된 약액이 제 1하우징(320)으로 회수된다(스텝 S10). 제 1하우징(320)에서 약액이 정해진 수위에 도달하면 제 1하우징(320)으로부터 제 2하우징(340)으로 약액이 공급된다. 약액이 정해진 수위에 도달하면 제 1하우징(320)으로부터 제 2하우징(340)으로 약액의 공급이 중단된다(스텝 S20). 제 2하우징(340)에 채워진 약액이 순환라인(382)을 통해 순환되면서 필터(394)에 의해 약액 내 불순물이 제거된다(스텝 S30). 일정시간이 경과되면 제 2하우징(340)에 채워진 약액을 이송라인(386)을 통해 혼합 탱크(220)로 공급한다(스텝 S40). 제 2하우징(340)에 채워진 약액이 순환되거나 혼합 탱크(220)로 공급되는 동안 처리부(10)로부터 제 1하우징(320)으로 약액의 회수는 계속적으로 이루어진다.Next, the chemical liquid regeneration method of the present invention will be described with reference to FIG. Initially, the chemical liquid used for the process in the processing unit 10 is recovered to the first housing 320 (step S10). When the chemical liquid reaches a predetermined level in the first housing 320, the chemical liquid is supplied from the first housing 320 to the second housing 340. When the chemical liquid reaches a predetermined level, the supply of the chemical liquid from the first housing 320 to the second housing 340 is stopped (step S20). As the chemical liquid filled in the second housing 340 is circulated through the circulation line 382, impurities in the chemical liquid are removed by the filter 394 (step S30). When a predetermined time elapses, the chemical liquid filled in the second housing 340 is supplied to the mixing tank 220 through the transfer line 386 (step S40). The recovery of the chemical liquid from the processing unit 10 to the first housing 320 is continuously performed while the chemical liquid filled in the second housing 340 is circulated or supplied to the mixing tank 220.

본 발명에 의하면, 약액 재생부는 처리부로부터 약액 회수를 위한 공간과 약액이 혼합탱크로의 공급 또는 순환을 위한 공간을 각각 가진다. 따라서 약액이 혼합탱크로 공급되거나 순환되는 동안에도 처리부로부터 약액이 계속적으로 회수될 수 있으므로 약액의 회수율이 매우 높다.According to the present invention, the chemical liquid regeneration unit has a space for recovering the chemical liquid from the processing unit and a space for supply or circulation of the chemical liquid to the mixing tank, respectively. Therefore, the recovery rate of the chemical liquid is very high because the chemical liquid can be continuously recovered from the processing unit while the chemical liquid is supplied or circulated to the mixing tank.

Claims (16)

기판에 대해 소정 공정을 수행하는 처리부와;A processing unit which performs a predetermined process on the substrate; 상기 처리부로 약액을 공급하는 약액 공급부와; 그리고A chemical liquid supply unit supplying the chemical liquid to the processing unit; And 상기 처리부로부터 약액을 회수하고, 회수된 약액을 상기 약액 공급부로 공급하는 약액 재생부를 포함하되,Recovering the chemical liquid from the processing unit, and includes a chemical liquid regeneration unit for supplying the recovered chemical liquid to the chemical liquid supply unit, 상기 약액 재생부는,The chemical liquid regeneration unit, 상기 처리부로부터 약액을 회수하는 제 1하우징과;A first housing for recovering the chemical liquid from the processing unit; 상기 제 1하우징으로부터 약액을 공급받는 제 2하우징과; A second housing supplied with the chemical liquid from the first housing; 상기 제 2하우징 내의 약액이 순환되는 순환라인과; 그리고A circulation line through which the chemical liquid in the second housing is circulated; And 상기 제 2하우징 내의 약액이 상기 약액 공급부로 공급되는 이송라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a transfer line through which the chemical liquid in the second housing is supplied to the chemical liquid supply part. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 약액은 회수라인을 통해 상기 처리부로부터 상기 제 1하우징으로 공급되고,The chemical liquid is supplied from the processing unit to the first housing through a recovery line, 상기 약액 재생부는 상기 처리부로부터 약액을 상기 제 1하우징으로 유도하는 약액 회수 부재를 더 포함하되,The chemical liquid regeneration unit further includes a chemical liquid recovery member for guiding the chemical liquid from the processing unit to the first housing, 상기 약액 회수 부재는 상기 회수라인에 설치된 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.The chemical liquid recovery member includes a pump installed in the recovery line. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 약액은 회수라인을 통해 상기 처리부로부터 상기 제 1하우징으로 공급되고,The chemical liquid is supplied from the processing unit to the first housing through a recovery line, 상기 약액 재생부는 상기 처리부로부터 약액을 상기 제 1하우징으로 유도하는 약액 회수 부재를 더 포함하되,The chemical liquid regeneration unit further includes a chemical liquid recovery member for guiding the chemical liquid from the processing unit to the first housing, 상기 약액 회수 부재는,The chemical liquid recovery member, 상기 제 1하우징 내부의 기체가 배기되는 진공라인과;A vacuum line through which gas inside the first housing is exhausted; 상기 진공라인에 설치되어 상기 제 1하우징 내부를 감압하는 진공펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a vacuum pump installed in the vacuum line to reduce the pressure inside the first housing. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 1하우징 내부는 진공으로 유지되고, 상기 제 2하우징 내부는 상압으로 유지되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And the inside of the first housing is maintained at a vacuum, and the inside of the second housing is maintained at a normal pressure. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 약액 재생부는 상기 순환라인에 설치되어 약액 내 불순물을 제거하는 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.The chemical processing unit further comprises a filter installed in the circulation line to remove impurities in the chemical solution. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1하우징으로부터 약액은 공급라인을 통해 상기 제 2하우징으로 공급되고,The chemical liquid from the first housing is supplied to the second housing through a supply line, 상기 공급라인은 상기 순환라인으로부터 분기되어 상기 제 1하우징과 연결되며, 상기 공급라인에는 내부를 개폐하는 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.The supply line is branched from the circulation line is connected to the first housing, substrate supply equipment, characterized in that the supply line is provided with a valve for opening and closing the inside. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 이송라인은 상기 순환라인으로부터 분기되어 상기 약액 공급부와 연결되고,The transfer line is branched from the circulation line is connected to the chemical liquid supply, 상기 약액 재생부는 상기 순환라인으로부터 분기되며 상기 제 1하우징 또는 상기 제 2하우징 내 약액을 배출하는 배출라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And the chemical liquid regeneration unit is branched from the circulation line and includes a discharge line for discharging the chemical liquid in the first housing or the second housing. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 약액 공급부는 약액 공급라인 및 탈이온수 공급라인으로부터 약액과 탈이온수를 공급받고, 상기 이송라인을 통해 약액을 공급받는 혼합 탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.The chemical liquid supplying unit includes a chemical tank and a deionized water supplied from the chemical liquid supply line and the deionized water supply line, and a mixing tank receiving the chemical liquid through the transfer line. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 기판 처리 설비는 상기 혼합 탱크 내 약액의 농도를 조절하는 농도 조 절부를 더 포함하되,The substrate processing apparatus further includes a concentration adjusting unit for adjusting the concentration of the chemical liquid in the mixing tank, 상기 농도 조절부는,The concentration control unit, 상기 이송라인을 통해 상기 혼합 탱크로 공급되는 약액의 농도를 측정하는 검출기와;A detector for measuring the concentration of the chemical liquid supplied to the mixing tank through the transfer line; 상기 검출기로부터 검출 신호를 전송받아 약액의 농도를 측정하고, 상기 약액 공급라인에 설치된 밸브와 상기 탈이온수 공급라인에 설치된 밸브를 제어하는 제어기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a controller for receiving a detection signal from the detector, measuring a concentration of the chemical liquid, and controlling a valve installed in the chemical liquid supply line and a valve installed in the deionized water supply line. 기판에 대해 공정을 수행하는 처리부로부터 회수라인을 통해 공정에 사용된 약액을 공급받는 공간을 제공하는 제 1하우징과;A first housing providing a space for receiving a chemical liquid used in the process through a recovery line from a processing unit performing a process on the substrate; 상기 제 1하우징과 분리된 공간을 제공하며 상기 제 1하우징으로부터 약액을 공급받는, 그리고 약액을 순환시키고 필터가 설치된 순환라인과 재생을 위한 탱크로 약액을 공급하는 이송라인을 가지는 제 2하우징을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재생 시스템.A second housing providing a space separated from the first housing and receiving a chemical liquid from the first housing, and having a circulation line for circulating the chemical liquid and a filter line and a transfer line for supplying the chemical liquid to a tank for regeneration. Chemical liquid regeneration system, characterized in that. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 약액 재생 시스템은 상기 처리부로부터 약액을 상기 제 1하우징으로 유도하는 약액 회수 부재를 더 포함하되,The chemical liquid regeneration system further includes a chemical liquid recovery member for guiding the chemical liquid from the processing unit to the first housing, 상기 약액 회수 부재는 상기 회수라인에 설치된 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재생 시스템.The chemical liquid recovery member comprises a pump installed in the recovery line. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 약액 재생 시스템은 상기 처리부로부터 약액을 상기 제 1하우징으로 유도하는 약액 회수 부재를 더 포함하되,The chemical liquid regeneration system further includes a chemical liquid recovery member for guiding the chemical liquid from the processing unit to the first housing, 상기 약액 회수 부재는,The chemical liquid recovery member, 상기 제 1하우징 내부의 기체가 배기되는 진공라인과;A vacuum line through which gas inside the first housing is exhausted; 상기 진공라인에 설치되어 상기 제 1하우징 내부를 감압하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재생 시스템.And a pump installed in the vacuum line to reduce the pressure inside the first housing. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제 1하우징 내부는 진공으로 유지되고, 상기 제 2하우징 내부는 상압으로 유지되는 것을 특징으로 하는 약액 재생 시스템.And the inside of the first housing is maintained at a vacuum, and the inside of the second housing is maintained at a normal pressure. 처리부에서 공정에 사용된 약액이 제 1하우징으로 회수되는 단계와;Recovering the chemical liquid used in the process from the treatment unit to the first housing; 상기 제 1하우징으로부터 약액이 상기 제 1하우징과 분리된 제 2하우징으로 공급되는 단계와;Supplying the chemical liquid from the first housing to a second housing separated from the first housing; 상기 제 2하우징 내의 약액이 필터가 설치된 순환라인을 통해 순환되는 단계와; 그리고Circulating a chemical liquid in the second housing through a circulation line in which a filter is installed; And 상기 처리부로 약액을 공급하는 약액 공급부로 상기 제 2하우징 내의 약액을 공급하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재생 방법.And supplying the chemical liquid in the second housing to the chemical liquid supply unit supplying the chemical liquid to the processing unit. 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 제 1하우징으로부터 약액이 상기 제 1하우징과 분리된 제 2하우징으로 공급되는 단계는,The step of supplying the chemical liquid from the first housing to the second housing separated from the first housing, 상기 회수라인에 설치된 펌프의 작동에 의해 상기 제 1하우징으로부터 상기 제 2하우징으로 약액이 공급되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재생 방법.And a chemical liquid is supplied from the first housing to the second housing by an operation of a pump installed in the recovery line. 제 14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 제 1하우징으로부터 약액이 상기 제 1하우징과 분리된 제 2하우징으로 공급되는 단계는,The step of supplying the chemical liquid from the first housing to the second housing separated from the first housing, 상기 제 1하우징 내부를 감압하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 재생 방법.A method of regenerating a chemical liquid, comprising the step of depressurizing the inside of the first housing.
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