KR20060020032A - 레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를이용한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 - Google Patents

레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를이용한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를 이용한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공한다. 상기 레이저 전사용 도너 기판은 도너 기판의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층이 각각 적어도 2 이상 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 상기 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법은 도너 기판 상에 제 1 발광층, 제 2 발광층 및 제 3 발광층을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법은 화소전극이 형성된 기판 상에 제 1, 제 2 및 제 3 발광층이 형성된 도너 기판을 라미네이션(lamination)한 후 레이저를 조사하여 제 1 발광층 패턴, 제 2 발광층 패턴 및 제 3 발광층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
도너 기판, LITI, 발광층

Description

레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를 이용한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 {Donor substrate for Laser Induced Thermal Imaging and method of fabricating thereof, and method of fabricating full color OLED using the same}
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 기판을 설명하는 평면도 및 정면도,
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법을 설명하는 공정도,
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법을 설명하는 공정도,
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도,
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정순서도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110, 220, 330, 420, 520 : 레이저 전사용 도너 기판
121, 241, 361, 431, 531 : 제 1 발광층
122, 242, 362, 432, 532 : 제 2 발광층
123, 243, 363, 433, 533 : 제 3 발광층
210, 310 : 진공 챔버
231, 351 : 제 1 증착 장치
232, 352 : 제 2 증착 장치
233, 353 : 제 3 증착 장치
451, 551 : 제 1 발광층 패턴
452, 552 : 제 2 발광층 패턴
453, 553 : 제 3 발광층 패턴
본 발명은 레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를 이용한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도너 기판의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층이 각각 적어도 하나 이상 형성되어 있는 레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를 이용하여 유기 전계 발광 소자를 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시 소자인 유기 전계 발광 소자는 애노드전극과 캐소드전극 그리고, 상기 애노드전극과 캐소드전극 사이에 개재된 유기막층들을 포함한다.
상기 유기막층들은 최소한 발광층을 포함하며, 상기 발광층외에도 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층을 더욱 포함할 수 있다. 이러한 유기 전계 발광 소자는 상기 유기막층 특히, 상기 발광층을 이루는 물질과 공정에 따라서 고분자 유기 전계 발광 소자와 저분자 유기 전계 발광 소자로 나뉘어진다.
이러한 유기 전계 발광 소자에 있어 풀칼라화를 구현하기 위해서는 상기 발광층을 패터닝해야 하는데, 상기 발광층을 패터닝하기 위한 방법으로 잉크-젯 프린팅(ink-jet printing) 또는 레이저에 의한 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging; 이하 LITI라 한다)이 있고, 이 중에서 상기 LITI는 상기 발광층을 미세하게 패터닝할 수 있고, 대면적에 사용할 수 있으며 고해상도에 유리하다는 장점이 있을 뿐만 아니라, 상기 잉크-젯 프린팅이 습식 공정인데 반해 이는 건식 공정이라는 장점이 있다.
이러한 LITI에 의한 발광층 패턴의 형성 방법은 적어도 광원, 유기 전계 발광 소자 기판 및 도너 기판을 필요로 한다. 상기 기판 상에 발광층을 패터닝하는 것은 상기 광원에서 나온 빛이 상기 도너 기판의 광-열 변환층에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 상기 열에너지에 의해 발광층을 이루는 물질이 상기 기판 상으로 전사되면서 수행된다. 이는 한국 특허 출원 제 1998-51844호 및 미국 특허 제 5,998,085호, 6,214,520호 및 6,114,088호에 개시되어 있다.
종래에는 상기 LITI에 의해 풀칼라 유기 전계 발광 소자를 제조 하는 경우, 적색, 녹색 및 청색 중 한가지 색상으로만 이루어진 적색, 녹색 또는 청색 발광층을 갖는 각각의 도너 기판을 사용하여 기판 상에 발광층 패턴을 형성하였다. 따라서, 풀칼라를 구현하기 위해서는 하나의 색상을 갖는 발광층을 형성한 후 기판을 이동시켜 다른 색상을 갖는 발광층을 형성하여야 한다. 또한, 각각의 색상을 갖는 발광층을 형성하기 위한 전사 공정이 필요하므로 장비가 많이 필요하며 전사 공정에 걸리는 시간도 많다는 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, LITI에 의해 풀칼라 유기 전계 발광 소자를 제조 하는 경우 도너 기판의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층을 각각 적어도 하나 이상 형성함으로써, 하나의 도너 기판으로 적색, 녹색 및 청색 발광층을 기판 상에 모두 전사시킬 수 있고, 공정 장비도 간단해지며 또한, 기판 이동에 따른 공정 시간을 줄일 수 있는 레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를 이용한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 레이저 전사용 도너 기판을 제공한다. 상기 레이저 전사용 도너 기판은 도너 기판의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층이 각각 적어도 2 이상 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 또한 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법을 제공한다. 상기 방법은 도너 기판을 투입하는 단계, 상기 도너 기판 상에 제 1 발광층을 형성하는 단계, 상기 도너 기판의 동일 평면 상에 제 2 발광층을 형성하는 단계 및 상기 도너 기판의 동일 평면 상에 제 3 발광층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명은 또한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공한다. 상기 방법은 화소전극이 형성된 기판을 제공하는 단계, 상기 기판 전면에 상기 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법으로 제조된 제 1, 제 2 및 제 3 발광층이 형성된 도너 기판을 라미네이션(lamination)하는 단계, 상기 도너 기판의 제 1 발광층의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 1 발광층 패턴을 형성하는 단계, 상기 도너 기판의 제 2 발광층의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 2 발광층 패턴을 형성하는 단계 및 상기 도너 기판의 제 3 발광층의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 3 발광층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층은 각각 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질로 이루어질 수 있다.
상기 발광층은 습식 코팅법에 의해 형성될 수 있다.
상기 도너 기판 상에 형성되는 발광층은 고분자 또는 저분자 물질로 이루어진 것일 수 있다.
상기 도너 기판은 진공 챔버 내부를 인-라인으로 이동하여 통과하고, 상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층은 상기 진공 챔버 내에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치에 의해 각각 상기 도너 기판 상에 형성될 수 있다. 상기 진공 챔버는 적어도 세개 이상의 진공 챔버가 일렬로 결합된 것일 수 있으며 또한, 상기 진공 챔버는 세개의 진공 챔버가 일렬로 결합되어 있고, 상기 증착 장치는 세개의 진공 챔버 중 가운데 진공 챔버 내에 형성되어 있는 것일 수 있다.
상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성하는 단계는 진공 챔버 내에 형성된 언와인딩 롤러에 의해 도너 기판을 풀어주는 단계, 상기 도너 기판이 상기 진공 챔버 내에서 이동하는 단계, 상기 진공 챔버 내에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치가 상기 도너 기판 상에 각각 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성하는 단계 및 상기 진공 챔버 내에 형성된 와인딩 롤러에 의해 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 발광층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 단계를 포함할 수 있다.
상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 사용할 수 있다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 레이저 전사용 도너 기판을 설명하는 평면도 및 정면도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 레이저 전사용 도너 기판(110)의 동일 평면 상에 제 1 발광층(121), 제 2 발광층(122) 및 제 3 발광층(123)이 형성되어 있다. 상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층은 각각 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질 중 어느 하 나의 물질로 이루어질 수 있으며, 각각 적어도 하나 이상 형성되어 있다. 즉, 상기 레이저 전사용 도너 기판(110)의 동일 평면 상에는 적색, 녹색 또는 청색 발광층이 각각 적어도 하나 이상 형성되어 있다. 따라서, 하나의 상기 도너 기판(110)만으로도 LITI에 의해 풀칼라 유기 전계 발광 소자를 제조할 수 있다.
이때, 상기 레이저 전사용 도너 기판(110) 상으로 도포되는 제 1 발광층(121), 제 2 발광층(122) 및 제 3 발광층(123)은 용매에 용해하여 용액 상태로 도포하는 습식 코팅법에 의해 형성할 수 있다. 상기 습식 코팅법으로는 스핀 코팅법, 딥 코팅법, 스프레이법, 스크린 인쇄법 및 잉크젯 프린팅법 등이 사용될 수 있으며, 이 외에도 이 분야에서 사용되는 통상적인 방법이 가능하다.
또한, 상기 제 1 발광층(121), 제 2 발광층(122) 및 제 3 발광층(123)은 진공 증착에 의해서 형성될 수도 있다. 상기 진공 증착이란, 진공으로 된 챔버 내에서 증착하고자 하는 물질을 가열하여 증기압을 상승시켜 기판 위에 증착되게 하는 방법을 말한다. 증착 방법으로는 저항가열식 증착, 전자빔 증착 및 유도가열 증착등이 있다. 상기 저항가열식 증착이란, 증착 장치에 포함되어 있는 발광 물질을 상기 증착 장치가 250℃ 이상의 온도에서 가열하여 증기 상태로 만들어줌으로써 도너 기판 상에 상기 발광층을 증착시키는 방법을 말한다.
상기 도너 기판 상에 형성된 발광층은 고분자 또는 저분자 물질로 이루어진 것일 수 있다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법을 설명하는 공정도로서, 진공 증착에 의해 제 1, 제 2 및 제 3 발광 층을 형성하는 방법에 관한 것이다.
도 2a를 참조하면, 진공 챔버(210) 내에 증착 장치가 형성되어 있다. 상기 진공 챔버(210)는 고진공 유지를 위하여 적어도 세개 이상의 진공 챔버들이 일렬로 결합할 수 있다. 본 실시예에서는 제 1 진공 챔버(211), 제 2 진공 챔버(212) 및 제 3 진공 챔버(213)가 일렬로 결합되어 있는 진공 챔버(210)를 사용하고 있다. 상기 진공 챔버(210) 내부를 고진공으로 유지하기 위하여 펌프(도면에 도시되지 않음)를 사용하는바, 상기 진공 챔버(210) 내의 공기를 배기함으로써 고진공을 유지할 수 있다. 후술할 증착 장치에 의한 전사층을 형성함에 있어서, 불순물의 증착을 방지하는 등 고진공이 유리한바, 10-4torr 이하의 진공도를 유지하여 전사층을 형성하는 것이 바람직하다.
상기 제 2 진공 챔버(212) 내에는 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치(231, 232, 233)가 형성되어 있으며, 상기 증착 장치들은 저항가열식 증착 장치이다.
먼저, 상기 진공 챔버(210) 내로 도너 기판(220)이 투입된다. 상기 투입된 도너 기판(220)은 도너 기판 이송 롤러(250)에 의해 인-라인으로 이동하면서 제 1 진공 챔버(211) 내부를 통과한다. 제 1 진공 챔버(211) 내부를 통과한 상기 도너 기판(220)은 제 2 진공 챔버(212) 내로 이동한 후 정지한다. 상기 도너 기판(220)은 플렉시블(flexible)한 성질을 갖는 것을 사용할 수 있다.
제 2 진공 챔버(212) 내에서 상기 도너 기판(220) 하부에 고정되어 있는 제 1 증착 장치(231)를 이용하여 상기 도너 기판(220) 상에 제 1 발광층(241)을 형성 한다. 이때, 제 2 및 제 3 증착 장치(232, 233)는 셔터로 막아주어 발광층을 형성할 수 없도록 조절한다.
도 2b를 참조하면, 상기 제 1 발광층(241)을 형성한 후, 제 2 증착 장치(232)를 이용하여 상기 도너 기판(220) 상에 제 2 발광층(242)을 형성한다. 이때, 제 1 및 제 3 증착 장치(231, 233)는 셔터로 막아주어 발광층을 형성할 수 없도록 조절한다.
도 2c를 참조하면, 상기 제 2 발광층(242)을 형성한 후, 제 3 증착 장치(233)를 이용하여 상기 도너 기판(220) 상에 제 3 발광층(243)을 형성한다. 이때, 제 1 및 제 2 증착 장치(231, 232)는 셔터로 막아주어 발광층을 형성할 수 없도록 조절한다.
상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층은 각각 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것일 수 있으며 또한, 고분자 또는 저분자 물질일 수 있다.
상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층이 형성된 도너 기판(220)은 제 2 진공 챔버(212)를 통과하여 제 3 진공 챔버(213)로 이동한 후 상기 진공 챔버(210) 외부로 통과한다. 이때, 상기 제 2 진공 챔버(212) 내에서는 제 1, 제 2 및 제 3 발광층 형성 공정이 다시 진행된다. 상기 발광층 형성 공정을 반복하여 진행함으로써 도너 기판의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층이 각각 적어도 하나 이상 형성되어 있는 레이저 전사용 도너 기판을 완성할 수 있다.
본 실시예에서는 상기 도너 기판(220)을 상기 제 2 진공 챔버(212) 내에서 정지한 상태에서 발광층을 형성하는 경우를 예시하였으나, 상기 도너 기판(220)을 상기 제 2 진공 챔버(212) 내에서 연속하여 이동하는 중에 상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성할 수도 있다.
또한, 본 실시예에서는 상기 증착 장치가 상기 제 2 진공 챔버(212) 내에서 고정되어 있는 것을 예시하고 있으나, 상기 제 2 진공 챔버(212) 내에 고정되어 있지 않고 왕복 이동하면서 상기 증착 공정을 수행할 수도 있다.
상기한 진공 증착에 의한 발광층 형성 방법 이외에도 상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 상기한 습식 코팅법에 의해 형성할 수도 있다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법을 설명하는 공정도이다.
도 3a를 참조하면, 단일의 진공 챔버(310) 내에 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치(351, 352, 353)가 형성되어 있다. 상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치이다.
상기 진공 챔버(310) 내에 형성되어 있는 언와인딩 롤러(320)가 도너 기판(330)을 풀어준다. 풀어진 상기 도너 기판(330)은 상기 도너 기판 이송 롤러(370)에 의해 상기 진공 챔버(310) 내의 상부에서 이동한 후 정지한다. 이때, 상기 진공 챔버(310) 내에서 상기 도너 기판(330) 하부에 고정되어 있는 제 1 증착 장치(351)를 이용하여 상기 도너 기판(330) 상에 제 1 발광층(361)을 형성한다. 이때, 제 2 및 제 3 증착 장치(352, 353)는 셔터로 막아주어 발광층을 형성할 수 없도록 조절한다.
상기 발광층을 형성하는 중에 발광 물질이 상기 언와인딩 롤러(320) 및 와 인딩 롤러(340)에 증착될 수 있는바, 이를 방지하기 위하여 증착 물질 방지판(380)을 상기 언와인딩 롤러(320) 및 와인딩 롤러(340) 하부에 설치할 수 있다.
도 3b를 참조하면, 상기 제 1 발광층(361)을 형성한 후, 제 2 증착 장치(352)를 이용하여 상기 도너 기판(330) 상에 제 2 발광층(362)을 형성한다. 이때, 제 1 및 제 3 증착 장치(351, 353)는 셔터로 막아주어 발광층을 형성할 수 없도록 조절한다.
도 3c를 참조하면, 상기 제 2 발광층(362)을 형성한 후, 제 3 증착 장치(353)를 이용하여 상기 도너 기판(330) 상에 제 3 발광층(363)을 형성한다. 이때, 제 1 및 제 2 증착 장치(351, 352)는 셔터로 막아주어 발광층을 형성할 수 없도록 조절한다.
상기 발광층이 형성된 상기 도너 기판(330)은 상기 도너 기판 이송 롤러(370)에 의해 다시 이동하고, 와인딩 롤러(340)에 의해서 감기게 된다.
이후, 상기 도너 기판(330)에 발광층이 형성되지 않은 부분이 상기 증착 장치 상부에 위치하게 되면, 상기 도너 기판(330)이 다시 정지하여 상기 도너 기판(330) 상에 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성한다. 상기 과정을 반복함으로써 상기 도너 기판(330)의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층이 각각 적어도 하나 이상 형성되어 있는 레이저 전사용 도너 기판을 완성한다.
상술한 것을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법과 동일하다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정도로서, 도너 기판 상에 형성된 발광층이 진공 증착에 의해 형성된 경우를 설명한다.
도 4를 참조하면, 화소전극이 형성된 기판(410)이 LITI 설비(400) 내부로 제공된다. 상기 LITI 설비(400)에서 전사 공정이 이루어지며, 진공 상태를 이루고 있다. 상기 기판(410) 전면에 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예에 따른 레이저 전사용 도너 기판(420)이 도입된다. 즉, 상기 도너 기판(420)의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층이 각각 적어도 하나 이상 형성되어 있는 레이저 전사용 도너 기판이 상기 기판(410) 전면에 도입된다.
먼저, 제 1 발광층(431)이 상기 기판(410) 전면을 덮을 수 있도록 상기 도너 기판(420)을 상기 기판(410) 상에 라미네이션한다. 상기 제 1 발광층(431)의 소정의 영역에 레이저(440)를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 1 발광층 패턴(451)을 형성한다.
이어서, 상기 기판(410)은 그대로 있고, 상기 제 2 발광층(432)이 상기 기판(410) 전면을 덮을 수 있도록 상기 도너 기판(420)을 이동한 후 상기 기판(410) 전면에 라미네이션한다. 상기 제 2 발광층(432)의 소정의 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 2 발광층 패턴(452)을 형성한다.
계속하여, 상기 기판(410)은 그대로 있고, 상기 제 3 발광층(433)이 상기 기판(410) 전면을 덮을 수 있도록 상기 도너 기판(420)을 이동한 후 상기 기판(410) 전면에 라미네이션한다. 상기 제 3 발광층(433)의 소정의 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 3 발광층 패턴(453)을 형성한다.
따라서, 본 발명에서는 하나의 도너 기판으로 적색, 녹색 및 청색 발광층을 모두 형성시킬 수 있으며, 전사 공정시 기판의 이동이 필요 없으므로 기판 이동에 따른 공정 시간을 단축할 수 있다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 공정순서도로서, 도너 기판 상에 형성된 발광층이 습식 코팅법에 의해 형성된 경우를 설명한다.
도 5a를 참조하면, LITI 설비(500)는 상압 상태를 유지하고 있으며, 화소전극(515)이 형성된 기판(510)이 LITI 설비(500) 내부로 제공된다. 상기 도너 기판(520) 상에는 제 1 습식 코팅 장치(541), 제 2 습식 코팅 장치(542) 및 제 3 습식 코팅 장치(543)에 의해 각각 제 1 발광층(531), 제 2 발광층(532) 및 제 3 발광층(533)이 형성되어 있다. 상기 도너 기판(520)은 도너 기판 이송 롤러(560)에 의해 이동하며, 상기 화소전극(515)이 형성된 기판(510) 전면에 도입된다.
도 5b를 참조하면, 제 1 발광층(531)이 상기 기판(510) 전면을 덮을 수 있도록 상기 도너 기판(520)을 상기 기판(510) 상에 라미네이션한다. 상기 제 1 발광층(531)의 소정의 영역에 레이저(540)를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 1 발광층 패턴(551)을 형성한다.
도 5c를 참조하면, 상기 기판(510)은 그대로 있고, 상기 제 2 발광층(532)이 상기 기판(510) 전면을 덮을 수 있도록 상기 도너 기판(520)을 이동한 후 상기 기판(510) 전면에 라미네이션한다. 상기 제 2 발광층(532)의 소정의 영역에 레이저(540)를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 2 발광층 패턴(552)을 형성한다.
도 5d를 참조하면, 상기 기판(510)은 그대로 있고, 상기 제 3 발광층(533)이 상기 기판(510) 전면을 덮을 수 있도록 상기 도너 기판(520)을 이동한 후 상기 기판(510) 전면에 라미네이션한다. 상기 제 3 발광층(533)의 소정의 영역에 레이저(540)를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 3 발광층 패턴(553)을 형성한다.
상술한 것을 제외하고는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법과 동일하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, LITI에 의해 풀칼라 유기 전계 발광 소자를 제조 하는 경우 도너 기판의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층을 각각 적어도 하나 이상 형성함으로써, 하나의 도너 기판으로 적색, 녹색 및 청색 발광층을 기판 상에 모두 전사시킬 수 있고, 공정 장비도 간단해지며 또한, 기판 이동에 따른 공정 시간을 줄일 수 있는 레이저 전사용 도너 기판과 그의 제조 방법 및 그를 이용한 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공하는 이점이 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.

Claims (28)

  1. 도너 기판의 동일 평면 상에 적색, 녹색 및 청색 발광층이 각각 적어도 2 이상 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 발광층은 습식 코팅법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 발광층은 진공 증착에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 도너 기판 상에 형성된 발광층은 고분자 또는 저분자 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판.
  5. 도너 기판을 투입하는 단계;
    상기 도너 기판 상에 제 1 발광층을 형성하는 단계;
    상기 도너 기판의 동일 평면 상에 제 2 발광층을 형성하는 단계; 및
    상기 도너 기판의 동일 평면 상에 제 3 발광층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 3 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 발광층은 습식 코팅법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  10. 제 5 항에 있어서,
    상기 도너 기판 상에 형성되는 발광층은 고분자 또는 저분자 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 도너 기판은 진공 챔버 내부를 인-라인으로 이동하여 통과하고,
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층은 상기 진공 챔버 내에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치에 의해 각각 상기 도너 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 적어도 세개 이상의 진공 챔버가 일렬로 결합된 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 세개의 진공 챔버가 일렬로 결합되어 있고, 상기 증착 장치는 세개의 진공 챔버 중 가운데 진공 챔버 내에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  15. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성하는 단계는
    진공 챔버 내에 형성된 언와인딩 롤러에 의해 도너 기판을 풀어주는 단계;
    상기 도너 기판이 상기 진공 챔버 내에서 이동하는 단계;
    상기 진공 챔버 내에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치가 상기 도너 기판 상에 각각 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성하는 단계; 및
    상기 진공 챔버 내에 형성된 와인딩 롤러에 의해 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 발광층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 특징으로 하는 레이저 전사용 도너 기판의 제조 방법.
  17. 화소전극이 형성된 기판을 제공하는 단계;
    상기 기판 전면에 제 5 항의 방법으로 제조된 제 1, 제 2 및 제 3 발광층이 형성된 도너 기판을 도입하는 단계;
    상기 도너 기판의 제 1 발광층의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 1 발광층 패턴을 형성하는 단계;
    상기 도너 기판의 제 2 발광층의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소전극 상에 제 2 발광층 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 도너 기판의 제 3 발광층의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 화소 전극 상에 제 3 발광층 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제 1 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 제 2 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질인 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 제 3 발광층은 적색, 녹색 또는 청색 발광 물질인 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  21. 제 17 항에 있어서,
    상기 발광층은 습식 코팅법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  22. 제 17 항에 있어서,
    상기 도너 기판 상에 형성되는 발광층은 고분자 또는 저분자 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  23. 제 17 항에 있어서,
    상기 도너 기판은 진공 챔버 내부를 인-라인으로 이동하여 통과하고,
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층은 상기 진공 챔버 내에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치에 의해 각각 상기 도너 기판 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 적어도 세개 이상의 진공 챔버가 일렬로 결합된 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  25. 제 23 항에 있어서,
    상기 진공 챔버는 세개의 진공 챔버가 일렬로 결합되어 있고, 상기 증착 장치는 세개의 진공 챔버 중 가운데 진공 챔버 내에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  26. 제 23 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  27. 제 17 항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성하는 단계는
    진공 챔버 내에 형성된 언와인딩 롤러에 의해 도너 기판을 풀어주는 단계;
    상기 도너 기판이 상기 진공 챔버 내에서 이동하는 단계;
    상기 진공 챔버 내에 형성된 제 1, 제 2 및 제 3 증착 장치가 상기 도너 기판 상에 각각 제 1, 제 2 및 제 3 발광층을 형성하는 단계; 및
    상기 진공 챔버 내에 형성된 와인딩 롤러에 의해 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 발광층이 형성된 상기 도너 기판을 감아주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 증착 장치는 저항가열식 증착 장치인 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
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