KR20060012304A - 배선 기판의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 절연층을 통해 배선 패턴이 적층하여 형성되는 빌드업층과, 코어 기판을 각각 개별적으로 작성하고, 이들 빌드업층과 코어 기판을 조합하여 배선 기판을 작성하는 배선 기판의 제조 방법으로서,평판형으로 형성된 지지체 상에, 지지체로부터 분리 가능하게 빌드업층을 형성하고,상기 코어 기판을, 상기 빌드업층에 형성된 배선 패턴과 전기적으로 접속하여, 상기 지지체 상에 형성된 빌드업층에 접합한 후,상기 빌드업층을 상기 지지체로부터 분리함으로써 코어 기판에 빌드업층이 접합된 기판을 형성하여, 배선 기판으로 하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 지지체 상에 금속층을 진공 흡착하여 상기 금속층 상에 빌드업층을 형성하고,코어 기판을 상기 빌드업층에 접합한 후 상기 금속층과 지지체와의 진공을 깨트림으로써, 상기 지지체로부터 상기 금속층과 함께 코어 기판에 빌드업층이 접합된 기판을 분리하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 지지체 상에 접착층을 통해 제1 금속층을 접착하여, 이 제1 금속층에 제2 금속층을 진공 흡착하고,상기 제2 금속층 상에 빌드업층을 형성하고,코어 기판을 빌드업층에 접합한 후 상기 제1 금속층과 제2 금속층 사이의 진공을 깨트림으로써, 상기 제1 금속층으로부터 상기 제2 금속층과 함께 코어 기판에 빌드업층이 접합된 기판을 분리하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
- 제3항에 있어서, 제1 금속층보다도 큰 사이즈로 형성된 제2 금속층을 사용하여, 제1 금속층에 제2 금속층을 진공 흡착하는 동시에, 제2 금속층의 외주연부를 접착층을 통해 지지판에 접착하고,상기 제2 금속층 상에 빌드업층을 형성하고,코어 기판을 빌드업층에 접합하여 적층체를 형성한 후,상기 제1 금속층의 외주연보다도 내측 위치에서 상기 적층체를 절단하여, 상기 제1 금속층과 제2 금속층 사이의 진공을 깨트림으로써, 상기 제1 금속층으로부터 상기 제2 금속층과 함께 코어 기판에 빌드업층이 접합된 기판을 분리하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 전기적 절연성을 갖는 필름에 관통 구멍이 형성되고, 이 관통 구멍에 도전재가 충전된 접착용 필름을 이용하여, 상기 코어 기판을 상기 지지체 상에 형성된 빌드업층에 접합함으로써,상기 코어 기판과 상기 빌드업층을 전기적으로 접속하여 접합하는 것을 특징 으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 빌드업층을 사이에 두고 반도체 칩의 탑재 위치에 대향하는 위치에 회로 부품을 탑재하는 소자 탑재 구멍이 형성된 코어 기판을 이용하는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
- 코어 기판의 양면에 빌드업층을 형성하여 이루어지는 배선 기판의 제조 방법에 있어서,상기 빌드업층을 형성할 때에, 구리보다도 작은 열팽창 계수를 갖는 금속박을, 빌드업층에 형성되는 배선 패턴과 간섭되지 않는 배치로 빌드업층에 집어넣는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
- 제7항에 있어서, 금속박의 한쪽 면에 접착제층이 피착된 접착제를 지닌 금속박을 빌드업층에 적층함으로써, 빌드업층에 금속박을 집어넣는 것을 특징으로 하는 배선 기판의 제조 방법.
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