KR20060010769A - 탈기 기구 부착 필터 유닛 - Google Patents

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KR20060010769A
KR20060010769A KR1020057020629A KR20057020629A KR20060010769A KR 20060010769 A KR20060010769 A KR 20060010769A KR 1020057020629 A KR1020057020629 A KR 1020057020629A KR 20057020629 A KR20057020629 A KR 20057020629A KR 20060010769 A KR20060010769 A KR 20060010769A
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요시끼 노무라
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마이크롤리스 코포레이션
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Abstract

탈기용 장치와 고형 입자용 필터 장치를 별도로 필요로 한 종래의 처리액 여과 장치의 공간 절약화와 저비용화를 도모한다. 피처리액의 도입구(5), 여과액의 토출구(7) 및 탈기용 흡인구(9)를 갖는 헤드부(3), 상기 헤드부에 일체 또는 탈착 가능하게 기밀 결합된 하우징(1), 상기 하우징 내의 상류측에 수용된 복수의 탈기용 중공사(33) 및 상기 하우징 내에 있어서 상기 탈기용 중공사의 하류측에 수납된 필터 엘리멘트(13)로 이루어지고, 상기 도입구(5)는 상기 중공사(33)의 외면측에 연통하고, 상기 토출구(7)는 상기 필터 엘리멘트(13)의 하류측에 연통하고, 상기 흡인구(9)는 상기 중공사(33)의 내부 통로에 연통하고 있는 필터 유닛이다.
탈기 기구, 필터 유닛, 하우징, 헤드부, 흡인구, 중공사, 여과재, 다공 외통, 덮개

Description

탈기 기구 부착 필터 유닛 {FILTER UNIT WITH DEAERATING MECHANISM}
본 발명은 과산화수소 등의 기포를 포함한 액체를 여과할 때에 탈기를 동시에 필요로 하는 여과 장치에 부착되어 사용되고, 여과와 탈기 처리를 함께 행하는 단일의 필터 유닛에 관한 것이다.
반도체 공업에 있어서 포토레지스트 공정 등, 약액(藥液)이나 순수(純水) 세정액 등의 처리액을 공급하여 현상, 도포, 세정 등의 공정에서, 입자나 불순물 및 과산화수소, 산소탄산 등의 용존 기체 또는 기포를 제거하는 것이 종종 필요하게 된다. 기포가 존재하면 처리 불량이 발생되므로, 일반적으로 입자 등의 고형분(固形分)을 제거하는 필터 장치 외에 기체를 흡인 여과하는 탈기 장치가 사용된다(예를 들어, 밀리포어사 일본 특허 공개 평5-192658호, 기꾸찌 일본 특허 공개 2000-1524호, 후지 필름사 일본 특허 공개 평11-47508호, 구리따 고교샤 일본 특허 공개 평9-29251호).
이들 기술에 있어서는, 별도의 탈기 장치와 필터 장치가 직렬로 접속되어 사용되는 것이고, 탈기 장치에는 기체 투과성막의 한 쪽 면에 따라 가압된 처리액이 흐르고, 다른 쪽 면측이 흡인 펌프 등의 저압원에 접속되어 기포 또는 용존 기체가 탈기되어 탈기된 처리액은 필터 장치에 공급되어 고형 압지 분리용 필터막에 의해 여과된다.
특허 문헌1 : 일본 특허 공개 평5-192658호 공보
특허 문헌2 : 일본 특허 공개 2000-15246호 공보
특허 문헌3 : 일본 특허 공개 평11-47508호 공보
특허 문헌4 : 일본 특허 공개 평9-29251호 공보
상기 종래 기술에서는 별도의 탈기 장치와 필터 장치를 직렬로 접속하여 사용하기 때문에, 제조 비용이 높아지고, 부착 공간이 커지고, 게다가 보수에 필요한 비용도 커지는 문제가 있었다.
본 발명은 이상과 같은 사정에 비추어 이루어진 것으로, 탈기 부분과 필터 부분을 한 개의 하우징 내에 수납함으로써, 장치의 제조 비용을 감소시키고 공간을 절약하고 장치의 교환에 필요한 노력과 시간을 절약한다.
즉, 본 발명은 처리액의 도입구, 여과액의 토출구 및 탈기용 흡인구를 갖는 헤드부, 상기 헤드부에 일체 또는 탈기 가능하게 액밀 결합된 하우징, 상기 하우징 내에 수용된 복수 개의 탈기용 중공사를 포함하는 탈기부 및 상기 하우징 내에 있어서 상기 탈기부의 상류측 또는 하류측에 수납된 필터 엘리멘트로 이루어지고, 상기 도입구는 상기 하우징의 상류측에 연통하고, 상기 토출구는 상기 하우징의 하류측에 연통하고, 상기 흡인구는 상기 중공사의 내부 통로에 연통하고 있는 필터 유닛에 의해 과제를 해결한다.
본 발명의 필터 유닛에서는, 가압된 처리액은 헤드부의 도입구로부터 하우징의 상류측으로 흐르고, 계속해서 탈기용 중공사가 상류측에 있는 경우에는 중공사의 주위를 흐른다. 중공사의 내부는 흡인구를 통해 흡인 펌프 등의 저압원에 접속되어 있기 때문에, 처리액 중에 용존하고 있는 기체 및 기포는 탈기용 중공사의 막을 투과하여 중공사의 내부 통로로부터 유닛의 외부로 발출된다. 기체가 제거된 처리액은 계속해서 입자 등의 고형분을 분리하기 위한 필터 엘리멘트에 의해 여과되고, 고형분은 필터 엘리멘트의 여과 부재의 상류측의 면에 포착되어 보유 지지되고, 투과된 액은 여과액으로서 헤드부의 토출구로 나온다.
혹은, 본 발명의 필터 유닛에서는, 가압된 처리액은 헤드부의 토입구로부터 하우징의 상류측으로 흐르고, 계속해서 필터 엘리멘트가 상류측에 있는 경우에는 입자 등의 고형분을 분리하기 위한 필터 엘리멘트에 의해 투과되고, 고형분은 필터 엘리멘트의 여과재의 상류측의 면에 포착되어 보유 지지되고, 투과된 액은 여과액으로서 탈기용 중공사의 주변으로 흐르고, 중공사의 내부는 흡인구를 통해 흡인 펌프 등의 저압원에 접속되어 있기 때문에, 여과액 중에 용존하고 있는 기체 및 기포는 탈기용 중공사의 막을 투과하여 중공사의 내부 통로로부터 유닛 외부로 발출된다. 기체가 제거된 여과액은 계속해서 헤드부의 토출구로 나온다.
이와 같이, 본 발명에서는 처리액의 탈기와 여과를 별개의 장치에 의해 실시하지 않고 단일의 하우징 내에서 실시하는 것을 가능하게 하였다. 그로 인해 장치가 콤팩트한 것에 상관없이 효율이 좋은 필터 유닛을 제공할 수 있고, 제조, 교환 및 보수에 필요한 노력이나 시간을 절약하는 것이 가능하게 되었다.
발명의 효과
이와 같이, 본 발명에서는 탈기와 여과를 단일의 하우징 내에서 실시하는 것을 가능하게 하였다. 이로 인해, 장치는 콤팩트한 것에 상관없이 여과 작업 및 탈기 작업이 연속적으로 행해지기 때문에, 효율이 좋은 필터 유닛을 제공할 수 있다.
바람직한 형태에서는, 중공사는 지주 및 상하 대경부에 의해 고정적으로 지지되므로 취급이 용이하고, 조립 작업도 단순히 탈기부를 필터 유닛의 내부에 삽입하는 것만으로 좋고, 또는 중공사 다발은 상하 대경부의 외주보다도 내측에 위치하므로 공정 시의 중공사가 손상될 기회를 감소시킨다.
바람직한 다른 형태에서는, 지주의 상단부측에는 헤드부의 처리액 도입 유로에 정렬한 세로 통로, 그곳으로부터 방사 형상으로 연장되어 지주의 주위면으로 개구되는 복수의 가로 통로가 설치되어 있고, 처리액을 중공사의 전체에 공급하는 것이 가능하게 되어 탈기의 효율화가 가능하게 된다.
바람직한 또 다른 형태에서는, 상기 복수의 중공사의 하단부는 상기 하단부의 대경부에 매립되어 밀봉되고, 중공사의 상단부는 상기 상단부의 대경부에 관통 상태로 매립되고, 상기 중공사의 내부 구멍은 상기 흡인구에 통과하고, 이에 의해 처리액과 중공사의 내부 통로와의 흐름 방향이 반대가 되어 보다 능률적으로 탈기가 가능하게 된다.
바람직한 다른 형태에서는, 중공사의 주변에는 상기 지주와 상기 중공사 사이에 처리액을 위한 유로를 형성하는 원통이 설치되어 있고, 상기 원통의 하단부에는 탈기된 처리액을 필터 유닛으로 유도하기 위한 복수의 개구가 설치되고, 또한 상기 원통의 외면은 탈기 후의 처리액을 상기 필터 엘리멘트의 상류측의 면으로 유도하는 격자 형상으로 배치된 분배 통로를 갖는다. 이것에 따르면, 처리액은 중공사의 주위면에 구속된 흐름이 되어 중공사의 상단부로부터 하단부까지 접촉을 유지하고, 그것에 의해 충분히 탈기되고, 계속해서 하류측의 필터 엘리멘트로 유도된다. 또한, 상기 원통은 탈기부의 유로를 형성할 뿐만 아니라, 여과부로의 처리액 분배 통로로서도 유용하게 쓰이며, 또한 여과재에 대한 지지체로서도 유용하게 쓰인다. 필터 엘리멘트에 의한 여과부가 상류측에, 중공사에 의한 탈기부가 하류측에 있어 흐름이 역방향으로 되는 경우에도 동일한 작용 효과가 달성되는 것이 명백하다.
바람직한 형태에서는, 탈기부는 하우징의 축선에 따라 수직으로 연장된 지주와, 상기 지주의 상하단부에 각각 일체로 형성된 대경부와, 상기 상하 대경부에 지지되어 상기 지주에 따라 연장하는 복수의 중공사로 구성되어 있다.
그것에 따르면, 중공사는 지주 및 상하 대경부에 의해 고정적으로 지지되므로 취급이 용이하고, 조립 작업도 단순히 탈기부를 필터 유닛의 내부에 삽입하는 것만으로도 좋고, 또한 중공사는 상하 대경부의 외주보다도 내측에 위치하므로 조립 공정 중에 중공사가 손상될 기회도 감소된다.
바람직하게는, 지주의 상단부측에는 헤드부의 처리액 도입 유로에 정렬한 세로 통로 및 이 통로의 하단부로부터 방사 형상으로 연장되어 지주의 주위면에 개구되는 복수의 가로 통로가 설치되어 있다. 이에 의해, 처리액을 중공사의 상방단부로부터 중공사를 따라 흐르게 하는 것이 가능하게 되고, 처리액과 중공사의 접촉하는 시간을 길게 할 수 있으므로 탈기가 효율화된다.
바람직하게는, 상기 복수의 중공사의 하단부는 상기 하단부의 대경부에 매립되어 밀봉되고, 중공사의 상단부는 상기 상단부의 대경부에 관통 상태로 매립되고, 상기 중공사의 내경은 상기 흡인구에 통하고 있다. 이것에 따르면, 처리액과 중공사의 내부 통로의 기체의 흐름이 서로를 향한 흐름의 방향으로 되고, 능률적인 탈기가 가능해진다.
바람직하게는, 중공사의 주위에는 상기 지주와 상기 중공사 사이에 처리액을 위한 유로를 형성하는 원통이 설치되어 있고, 상기 원통의 하단부에는 탈기된 처리액을 필터 엘리멘트로 유도하기 위한 복수의 개구가 설치되고, 또한 상기 원통의 외면은 탈기 후의 처리액을 상기 필터 엘리멘트의 상류측의 면으로 유도하는 격자 형상으로 배치된 분배 통로를 갖는다. 그것에 따르면, 처리액은 중공사의 주위면에 구속되면서 중공사의 상단부로부터 하단부까지 접촉을 유지하고, 그것에 의해 효율적으로 탈기되고, 계속해서 하류측의 필터 엘리멘트로 유도된다.
입상물 등의 고형분을 제거하기 위한 필터 엘리멘트는 원통의 외주면에 배치된 주름식 절첩된 여과재와, 그 주위에 배치된 다공 외통과, 여과재의 상하단부를 액밀 봉착하는 상부 덮개 및 하부 덮개로 구성되어 있고, 상기 여과재의 내면은 처리액을 위한 유로를 형성하는 상기 원통의 외주면에 의해 지지되어 있다. 이에 따르면, 상기 원통은 탈기부의 유로를 형성할 뿐만 아니라, 여과재로의 처리액 분배 통로로서도 유용하고, 또한 여과재에 대한 지지체로서도 유용하다.
상기와 같이, 본 발명의 실시 형태에서는 상류측에 중공사에 의한 탈기부를 하류측에 필터 엘리멘트에 의한 여과부를 설치해도 좋고, 상류측에 필터 엘리멘트에 의한 여과부를, 하류측에 중공사에 의한 탈기부를 설치해도 마찬가지로 동작한다.
따라서, 상기 실시 형태에 있어서, 상기 도입구 및 상기 토출구를 역으로 접속시켜 상기 도입구를 토출구로, 상기 토출구를 도입구로 하면 그 실시 형태로 할 수 있다.
도1은 본 발명의 중공사에 의해 탈기부와 입자 등의 고형분의 분리용 필터 엘리멘트를 구비한 필터 유닛의 중앙 종단면도이다.
도2는 본 발명의 복수의 중공사를 주체로 하는 탈기부의 구조를 도시하는 단면도이다.
도3은 도3의 탈기부의 평면도이다.
도4는 도2의 Ⅳ-Ⅳ 단면도이다.
도5는 본 발명에서 사용하는 원통부의 정면도이다.
도6은 도5의 원통부의 평면도이다.
도7은 도6의 Ⅶ-Ⅶ 단면도이다.
도8은 도5의 Ⅷ-Ⅷ 단면도이다.
도9는 도5의 Ⅸ-Ⅸ 단면도이다.
도10은 도1의 주요부를 확대한 도식적인 단면도이다.
<부호의 설명>
1 : 하우징
2 : 헤드부
5 : 처리액의 도입구
7 : 여과액의 토출구
9 : 흡인구
11 : 용착부
13 : 필터 엘리멘트(여과부)
15 : 중공사 탈기부
17 : 원통
19 : 여과재
21 : 다공 외통
23 : 상부 덮개
25 : 하부 덮개
27 : 지주
29, 31 : 대경부
32 : 복수의 통로
33 : 중공사
34 : 도입 통로
35 : 처리액용 유로
36, 37 : 기체 유로
41 : 여과액용 유로
45, 47 : 분배 통로
49 : 견부
51 : 원통 내면
본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도1은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 탈기 및 여과 일체형의 필터 유닛의 단면도이다. 본 실시예에서는 필터 유닛의 내측에 탈기용 중공사를 배치하고, 그 외측에 고형분 제거용 필터 엘리멘트를 배치하고 있지만, 외주부에 탈기용 중공사를 배치하고 그 내측에 그 고형분 제거용 필터 엘리멘트를 배치하여도 좋다는 것은 당업자에게는 명백하다. 이 경우에 처리액의 도입구, 토출구 및 흡인구의 위치는 적당하게 수정할 수 있다.
또한, 이하의 실시예에서는 상류측에 중공사에 의한 탈기부를 하류측의 필터 엘리멘트에 의한 여과부를 설치하였지만, 상류측에 필터 엘리멘트를, 하류측에 중공사에 의한 탈기부를 설치하는 것도 좋은 것은 상기 설명한 바와 같다.
도1을 참조하여 필터 유닛은 하우징(1)과 헤드부(3)로 이루어지는 액밀 용기부를 구비하고, 하우징(1)과 헤드부(3)는 이들이 합성 수지제인 경우에는 양부재의 맞대어진 주연부를 서로 용착시켜 용착부(11)에서 일체로 결합하는지, 또한 합성 수지 또는 스텐레스강 등의 금속 하우징을 사용하는 경우에는 적당한 밀봉 부재를 개재한 상태로 양주연부를 서로 접착하는 것이 가능하다. 하우징(1)의 내부에는 중앙에 탈기용 중공사 탈기부(15)가, 그 외주에 필터 엘리멘트(여과부; 13)가 배치 된다.
(헤드부)
헤드부(3)의 중앙에는 처리액의 도입구(5), 외측부에는 여과액의 토출구(7) 및 흡인 펌프 등의 외부의 감압원에 접속되는 흡인구(9)가 형성되어 있다. 처리액을 가압하는 경우에는 흡인구는 감압원에 접속되어 있어도, 있지 않아도 좋다. 헤드부(3)의 하면측에는 처리액 도입구(5)로부터 중공사 탈기부(15)를 구성하는 중공사(후술)의 외측에 연통하는 처리액용 유로(35), 필터 엘리멘트(13)의 외주부와 하우징(1) 사이에 형성된 여과액용 유로를 여과액 토출구(7)에 연통시키는 여과액용 유로(41) 및 중공사의 내부 통로를 흡인구(9)에 연통시키는 기체 유로(37)가 형성되어 있다.
(중공사 탈기부)
도1 내지 도4를 참조하여 하우징(1)의 중앙부에 수납되는 중공사 탈기부 (15)의 상세를 설명하는 것으로, 중공사 탈기부(15)는 하우징(1)의 축선에 따라 수직으로 연장된 지주(27)를 구비하고 있다. 지주의 상하단부에는 대경부(29, 31)가 각각 설치되어 있고, 지주(27)의 상단부에는 헤드부(3)의 처리액용 유로(35)에 정렬된 통로(34), 그 통로의 하단부로부터 방사 형상으로 연장되어 지주(27)의 주위면으로 개구되는 복수의 통로(32)가 설치되어 있다.
지주(27)의 주위에는 지주에 따라 연장되는 복수의 중공사(중공사 묶음; 33)가 배치되어 있다. 중공사(33)의 하단부는 대경부(31)에 매립되고, 중공사의 내부 통로는 밀봉에 의해 폐색되어 있다. 중공사(33)의 상단부는 대경부(29)에 관통 상 태로 매립되고, 중공사의 내부 통로는 개구부(30)로부터 기체 유로(36)로 통과되어 있고, 유로(36)는 헤드부의 유로(37)를거쳐 흡인구(9)에 연통되어 있다. 중공사(33)로서는 가압 하에 처리액에 용존된 기체 또는 기포를 구성하는 기체의 여과를 가능하게 하는 막을 사용한다. 예를 들면, PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌) 등을 사용할 수 있다.
(유로 형성용 원통)
중공사 탈기부(15)의 주위에는 유로를 형성하기 위한 원통(17)이 설치되어 있다. 도1, 도5 내지 도9에 도시한 바와 같이, 원통(17)의 내면(51)은 지주(27)의 외주면과 함께 중공사 탈기부(15)의 주위에 처리액이 흐르는 유로를 형성하고, 원통(17)의 외면은 탈기 후의 처리액을 필터 엘리멘트(13)의 내측으로 유도하는 격자 형상으로 배치된 분배 통로(45; 수평, 47; 수직)를 갖는다. 원통(17)의 하단부에는 탈기된 처리액을 필터 엘리멘트(13)측의 분배 통로(45, 7)로 유도하기 위한 복수의 개구(43)가 설치되어 있다.
그 원통(17)은 다음에 서술하는 바와 같이 필터 엘리멘트(13)를 위한 내측 지지 부재를 함께 갖는다.
(필터 엘리멘트)
도1과 같이, 입상물 등의 고형분을 제거하기 위한 필터 엘리멘트(13)는 원통(17)의 외주면에 배치된 주름형 여과재(19)와, 그 주위에 배치된 다공 외통(21)과, 여과재(19)의 상하단부를 액밀 밀봉하는 상부 덮개(23) 및 하부 덮개(25)로 구성되어 있다. 여과재(19)로서는 PTFE, 폴리에틸렌 그 외에 일반적인 필터 요소로 이루 어지는 미세 구멍 필터막의 양면에 유로를 형성하기 위한 네트 또는 부직포를 따르게 하여 주름 형상으로 절곡하여 환형이고, 그리고 양측 모서리를 중첩시켜 서로 밀봉시킨 것이고, 또한 여과재(19) 상하 모서리를 상하 덮개(23, 25)에 대하여 열밀봉함으로써 형성된다. 내측의 원통(17)과 다공 외통(21)은 유로를 제공하는 동시에, 허리가 약한 여과재(19)에 대한 보강과 지지를 행한다.
본 발명의 필터 엘리멘트의 조립의 일예는 다음과 같다. 하우징(1), 헤드부(3), 중공사 탈기부(15) 및 필터 엘리멘트(13)[단, 상부 덮개(23)의 밀봉 전의 상태]가 각각 제조된 상태인 것으로 한다.
우선, 필터 엘리멘트(13)의 일부를 구성하고 있는 유로 형성용 원통(17)의 내공에 중공사 탈기부(15)를 위로부터 삽입한다. 중공사 탈기부(15)의 지주(27)의 하단부의 대경부(31)의 외경은 원통(17)의 내경보다 약간만 작게 설계해 둔다. 상측의 대경부(29)는 원통(17)의 상단부에 설치한 견부(49)에 의해 위치 결정된다.
계속해서, 상부 덮개(23)에 여과재(19)의 상부 모서리를 밀봉함으로써, 중공사 탈기부(15)와 필터 엘리멘트(13)는 일체 구조가 된다. 이 구조체를 하우징(1)에 삽입하고, 헤드부(3)를 열밀봉 또는 접착 수단에 의해 하우징(1)에 고정함으로써 필터 유닛을 완성한다.
(동작)
도1 및 도10을 참조하여 작동을 설명한다. 가압된 처리액은 도입구(5)로부터 처리액용 유로(35), 계속해서 통로(34)를 경유하여 방사 형상 통로(32)로부터 지주(27)와 원통(17)의 내면(51) 사이에 형성되는 환상 유로의 상단부로 들어간다. 처리액은 각 중공사(33)의 외면과 접촉하면서 하방으로 흐르는 동안에 천천히 탈기된다. 여과된 기체는 도10의 백색 원과 같이 중공사(33)의 내부 통로를 상방으로 흡인되어 통로(36, 37)를 경유하여 흡인구(9)로부터 인출된다. 한편, 탈기된 처리액은 중공사(33)의 하단부에 있어서 원통(17)의 개구(43)를 경유하여 원통(17)의 외주면에 형성되어 있는 안내 홈(45, 47)에 의해 여과재(19)의 상류측의 면에 분포되어 여과재(19)에 의해 여과된다. 도10의 흑색 원은 입자 등의 고형물을 나타낸다. 한 쪽 여과액은 다공 외통(21)의 다공을 경유하여 하우징(1)과 필터 엘리멘트(13)의 외주부 사이에 형성된 유로를 상방으로 흘러 탈기된 여과액으로서 유로(41)를 경유하여 토출구(7)로 유출된다.
상기한 실시예에는 헤드의 중앙부의 도입구로부터 처리액을 넣고, 헤드의 주변부에 설치된 토출구로부터 처리된 여과액을 토출하도록 하였지만, 이 구조 그대로 역으로 주변부의 토출구를 도입구로 하여 처리액을 넣고, 여과된 후에 탈기 기구부를 통하여 탈기를 하고, 그 후에 중앙의 도입구로부터 토출시킬 수 있다. 이 경우, 종래부터 중앙으로부터 처리된 액을 취출시키기 때문에 위화감 없이 사용할 수 있다.
또한, 다른 실시예로서, 상기한 실시예와 같이, 필터 엘리멘트의 내부에 탈기 기구를 설치하는 구성과는 반대로, 엘리멘트의 외부에 탈기 기기부를 설치하여 통상 사용하는 엘리멘트를 그대로 또는 동일한 구조로 사용할 수도 있다. 즉, 종래의 필터 엘리멘트를 둘러싸도록 중공사에 의해 탈기 기구부를 설치함으로써, 용이하게 본 발명을 다른 실시예로서 구성할 수 있다.

Claims (8)

  1. 처리액의 도입구, 여과액의 토출구 및 탈기용 흡인구를 갖는 헤드부, 상기 헤드부에 일체 또는 착탈 가능하게 액밀 결합된 하우징, 상기 하우징 내에 수용된 복수개의 탈기용 중공사를 포함하는 탈기부 및 상기 하우징 내에 있어서 상기 탈기부의 상류측 또는 하류측에 수납된 필터 엘리멘트로 이루어지고, 상기 도입구는 상기 하우징의 상류측에 연통하고, 상기 토출구는 상기 하우징의 하류측에 연통하고, 상기 흡인구는 상기 중공사의 내부 통로에 연통하고 있는 필터 유닛.
  2. 처리액의 도입구, 여과액의 토출구 및 탈기용 흡인구를 갖는 헤드부, 상기 헤드부에 일체 또는 착탈 가능하게 액밀 결합된 하우징, 상기 하우징 내의 상류측에 수용된 복수개의 탈기용 중공사를 포함하는 탈기부 및 상기 하우징 내에 있어서 상기 탈기부의 하류측에 수납된 필터 엘리멘트로 이루어지고, 상기 도입구는 상기 중공사의 외면측에 연통하고, 상기 토출구는 상기 필터 엘리멘트의 하류측에 연통하고, 상기 흡인구는 상기 중공사의 내부 통로에 연통하고 있는 필터 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 탈기부는 하우징의 축선에 따라 수직으로 연장된 지주와, 상기 지주의 상하단부에 각각 일체로 형성된 대경부와, 상기 대경부에 지지된 상기 지주에 따라 연장되는 복수의 중공사로 구성되어 있는 필터 유닛.
  4. 제3항에 있어서, 지주의 상단부측에는 헤드부의 처리액 도입 유로에 정렬된 세로 통로 및 이 통로의 하단부로부터 방사 형상으로 연장되어 지주의 주위면으로 개구되는 복수의 가로 통로가 설치되어 있는 필터 유닛.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 복수의 중공사의 하단부는 상기 하단부의 대경부에 매립되어 밀봉되고, 중공사의 상단부는 상기 상단부의 대경부에 관통 상태로 매립되고, 상기 중공사의 내공은 상기 흡인구에 통과하고 있는 필터 유닛.
  6. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 중공사부의 주위에는 상기 지주와 상기 중공사 사이에 처리액을 위한 유로를 형성하는 원통이 설치되어 있고, 상기 원통의 하단부에는 탈기된 처리액을 필터 엘리멘트로 유도하기 위한 복수의 개구가 설치되고, 또한 상기 원통의 외면은 탈기 후의 처리액을 상기 필터 엘리멘트의 상류측의 면으로 유도하여 격자 형상으로 배치된 분배 통로를 갖는 필터 유닛.
  7. 제6항에 있어서, 입상물 등의 고형분을 제거하기 위한 필터 엘리멘트는 원통의 외주면에 배치된 주름식 절곡된 여과재와, 그 주위에 배치된 다공 외통과, 여과재의 상하단부를 액밀 밀봉하는 상부 덮개 및 하부 덮개로 구성되어 있고, 상기 여과재의 내면은 처리액을 위한 통로를 형성하는 상기 원통의 외주면에 의해 지지되어 있는 필터 유닛.
  8. 제2항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도입구 및 상기 토출구를 역으로 접속하여 상기 도입구를 토출구로, 상기 토출구를 도입구로 한 필터 유닛.
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