CN100402123C - 带脱气机构的过滤单元 - Google Patents

带脱气机构的过滤单元 Download PDF

Info

Publication number
CN100402123C
CN100402123C CNB2004800116464A CN200480011646A CN100402123C CN 100402123 C CN100402123 C CN 100402123C CN B2004800116464 A CNB2004800116464 A CN B2004800116464A CN 200480011646 A CN200480011646 A CN 200480011646A CN 100402123 C CN100402123 C CN 100402123C
Authority
CN
China
Prior art keywords
filter element
doughnut
degassing
fluid
shell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2004800116464A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1780675A (zh
Inventor
野村芳城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Entegris Inc
Original Assignee
Mykrolis Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mykrolis Corp filed Critical Mykrolis Corp
Publication of CN1780675A publication Critical patent/CN1780675A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100402123C publication Critical patent/CN100402123C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D36/00—Filter circuits or combinations of filters with other separating devices
    • B01D36/001—Filters in combination with devices for the removal of gas, air purge systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
    • B01D29/13—Supported filter elements
    • B01D29/23—Supported filter elements arranged for outward flow filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/50—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition
    • B01D29/56—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition in series connection
    • B01D29/58—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition in series connection arranged concentrically or coaxially
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
    • B01D29/88—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices
    • B01D29/90—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for feeding
    • B01D29/902—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor having feed or discharge devices for feeding containing fixed liquid displacement elements or cores
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
    • B01D2201/04—Supports for the filtering elements
    • B01D2201/0407—Perforated supports on both sides of the filtering element
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
    • B01D2201/04—Supports for the filtering elements
    • B01D2201/0415—Details of supporting structures

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)

Abstract

通过解决现有的分别需要脱气装置和固体微粒过滤装置的处理流体过滤装置的问题，以节约空间和降低成本。一种过滤单元包括：具有处理流体入口5、已过滤流体输出口7和脱气吸气口9的头部3；以流体密封方式与头部成一体或可拆卸地连接的外壳1；多个脱气中空纤维33，容纳在外壳的上游侧；以及容纳在外壳中位于脱气部分下游侧的过滤元件33。入口5与中空纤维33的外表面侧连通；输出口与过滤元件13的下游侧连通；而吸气口9与中空纤维33的内部通道连通。

Description

带脱气机构的过滤单元
技术领域
本发明涉及一种通过连接在过滤装置上使用的单一过滤单元，当包含过氧化氢等的气泡的液体被过滤时需要同步脱气，同时进行过滤和脱气的处理。
背景技术
在半导体工业的光致抗蚀工艺中或者是通过设置如化学或纯水清洗液等处理流体而进行的显影、涂覆、清洗等工艺中，常常需要移除微粒、杂质和溶解气体，例如过氧化氢和氧化碳酸或气泡。如果存在气泡，就会产生不良处理。因此，除了用来移除如微粒等固态物质的过滤装置外，使用用于吸附和过滤气体的脱气装置(例如，Millipore Corp.的日本专利申请公开文献(KOKAI)No.5-192658，Kikuchi的日本专利申请公开文献(KOKAI)No.2000-15246，Fuji Photo Film Co，Ltd.的日本专利申请公开文献(KOKAI)No.11-47508，以及Kurita WaterIndustrics Ltd.的日本专利申请公开文献(KOKAI)No.9-29251)。
在这些技术中，是将单独的脱气装置和过滤装置串连连接使用。在脱气装置中，受压的处理流体沿着可透气薄膜的一个表面流动，而另一个表面侧连接到减压源，例如抽吸泵，从而可以移除气泡和溶解气体。将已脱气的处理流体设置给过滤装置，通过固体微粒分离过滤薄膜进行过滤。
专利文献1：日本专利申请公开文献(KOKAI)No.5-192658
专利文献2：日本专利申请公开文献(KOKAI)No.2000-15246
专利文献3：日本专利申请公开文献(KOKAI)No.11-47508
专利文献4：日本专利申请公开文献(KOKAI)No.9-29251
发明内容
在上述现有技术中，由于将单独的脱气装置和过滤装置串连连接使用，出现的问题是制造成本高、安装空间大、而且维护所需的成本很高。
鉴于上述情况提出了本发明，因此其目的是降低装置的制造成本、减小安装空间、以及节约装置更换所需的劳动和时间。
为了达到上述目的，本发明设置了一种过滤单元，包括具有处理流体入口、已过滤流体输出口和脱气吸气口的头部；以流体密封方式与头部成一体地或可拆卸地连接的外壳；包括多个脱气中空纤维、并且固定安装的脱气部分，脱气部分容纳在外壳中；以及容纳在外壳中位于脱气部分上游或下游侧、并且固定安装的过滤元件，其中，入口与外壳的上游侧连通；输出口与外壳的下游侧连通；而吸气口与中空纤维的内部通道连通。
在本发明的过滤单元中，受压的处理流体从头部中的入口流向外壳的下游侧，并且在脱气中空纤维设置在上游侧的情况下，它在中空纤维周围流动。由于中空纤维的内部通过吸气口连接到如抽吸泵的减压源，溶解在处理溶液中的气体和气泡透过脱气中空纤维的薄膜，并通过中空纤维的内部通道抽出到单元的外面。从其中移除了气体的处理流体随后被用于过滤如微粒等固态物质的过滤元件过滤。固态物质被过滤元件的过滤材料的上游侧表面俘获并保留，渗透流体作为已过滤流体在头部中的输出口流出。
替代地，在本发明的过滤单元中，受压的处理流体从头部中的入口流向外壳的下游侧，并且在过滤元件设置在上游侧的情况下，它被用于过滤如微粒等固态物质的过滤元件过滤。固态物质被过滤元件的过滤材料的上游侧表面俘获并保留，渗透流体作为已过滤流体在脱气中空纤维周围流动。由于中空纤维的内部通过吸气口连接到如抽吸泵的减压源，溶解在处理溶液中的气体和气泡透过脱气中空纤维的薄膜，并通过中空纤维的内部通道抽出到单元的外面。从其中移除了气体的处理流体随后在头部中的输出口流出。
因此，在本发明中，处理流体的脱气和过滤可以在单一的外壳中进行而不需使用分别的设备。因此，不仅可以设置紧凑的设备、高效率的过滤单元，并且可以节约制造、更换和维持所需要的劳动和时间。
如上所述，本发明可以在单一外壳中进行脱气和过滤。因此，不仅设备紧凑，还可以连续进行过滤工作和脱气工作，从而提供高效的过滤单元。
在一个优选形式中，中空纤维被柱以及上下大直径部分固定地支撑。因此，易于处理，装配工作也只需将脱气部分插入到过滤单元中，而且中空纤维束位于上下大直径部分外围的内侧上，从而降低了装配过程中中空纤维损坏的可能。
在另一优选形式中，在柱的上端侧，设置了与头部中的处理流体进入流动路径对齐的纵向通道，以及从纵向通道径向延伸并通向柱外表面的多个横向通道。因此，处理流体可以供应给整个中空纤维，从而增加了脱气的效率。
在另一优选形式中，中空纤维的下端部被密封地嵌入下端的大直径部分中；中空纤维的上端部以穿透状态被嵌入上端的大直径部分中；而中空纤维的内部孔与吸气口连通。因此，处理流体和中空纤维内部通道中的气体沿着相反方向流动，因此可以进行高效的脱气。
在一个优选形式中，在中空纤维周围，在柱与中空纤维之间设置了形成处理流体流动路径的圆筒；在圆筒的下端部，设置了多个开口以将已脱气的处理流体引导至过滤元件；另外圆筒的外表面具有格子状布置的分配通道，以将已脱气的处理流体引导至过滤元件上游侧的表面。根据这种结构，处理流体从上端至下端与中空纤维保持接触，同时受中空纤维的外表面限制，因此可有效的脱气，随后被引导至下游侧的过滤器元件。另外，圆筒不仅形成了脱气部分的流动路径，还作为处理流体通向过滤部分的分配通道。圆筒还作为过滤材料的支撑体。很显然，即使是在上游侧设置由过滤元件形成的过滤部分，而在下游侧设置由中空纤维形成的脱气部分，从而使得流动颠倒，也可获得同样的操作和效果。
附图说明
图1是本发明过滤单元的中心纵向截面图，包括由中空纤维形成的脱气部分以及用来分离如微粒等固态物质的过滤元件；
图2是截面图，显示了根据本发明的主要由多个中空纤维构成的脱气部分的结构；
图3是图2所示脱气部分的俯视图；
图4是沿图2中IV-IV线的截面图；
图5是本发明所使用的圆筒部件的正视图；
图6是图5中所示圆筒部件的俯视图；
图7是沿图6中VII-VII线的截面图；
图8是沿图5中VIII-VIII线的截面图；
图9是沿图5中IX-IX线的截面图；以及
图10是图1主要部分的示意性放大截面图。
具体实施方式
在优选实施例中，脱气部分包括沿着外壳轴线垂直延伸的柱，在柱上部和下部整体形成的大直径部分，以及由上下大直径部分支撑并沿着柱延伸的多个中空纤维。
根据这种构造，易于处理中空纤维，因为它们被柱和上下大直径部分固定支撑，只要将脱气部分插入过滤单元就可以完成装配工件，而中空纤维位于上下大直径部分外围的内侧上。因此，降低了装配过程中中空纤维损坏的可能性。
最好在柱的上端侧，设置与头部中的处理流体入口流动路径对齐的纵向通道，以及从纵向通道径向延伸并开口至柱外表面的多个横向通道。因此，处理流体可以从空心的上端部沿着中空纤维流动，这样延长了处理流体与中空纤维相接触的时间，从而增加了脱气的效率。
最好将中空纤维的下端部嵌入下端的大直径部分中并密封；将中空纤维的上端部在穿透状态嵌入上端的大直径部分中；中空纤维的内部孔与吸气口连通。根据这种构造，处理流体和中空纤维内部通道中的气体向着相反方向流动，因此可以进行高效的脱气。
最好在中空纤维周围，在柱和中空纤维之间设置圆筒形成处理流体的流动路径；在圆筒的下端部，设置多个开口将已脱气的处理流体通向过滤元件；另外圆筒的外表面具有格子状布置的分配通道，用来将已脱气的处理流体通向过滤元件的上游侧表面。根据这种构造，处理流体从上端至下端与中空纤维保持接触，同时受中空纤维的外表面限制，因此可有效的脱气，然后在下游侧通向过滤器元件。
移除如微粒物质等固态物的过滤元件包括布置在圆筒外围表面上的折叠的过滤材料；布置在过滤材料周围的多孔的外部圆筒；以及分别流体密封密封过滤材料上下端的上盖和下盖，并且过滤材料的内表面由圆筒的外围表面支撑形成了处理流体的流动路径。根据这种构造，圆筒不仅形成了脱气的流动路径，还作为处理流体通向过滤材料的分配通道。圆筒还作为过滤材料的支撑体。
如上所述，在本发明的具体实施例中，其构造可以是在上游侧设置由中空纤维形成的脱气部分，在下游侧设置由过滤元件形成的过滤部分。但即使是在上游侧设置由过滤元件形成的过滤部分，而在下游侧设置由中空纤维形成的脱气部分，该过滤单元也同样工作。
因此，如果入口和输出口相反连接，从而使得上述实施例中的入口用作输出口而输出口用作入口，该实施例也可以执行。
示例
下面将参考附图详细叙述本发明的优选示例。
图1是根据本发明优选示例的脱气和过滤的整体型的过滤单元的截面图。在该示例中，脱气中空纤维布置在过滤单元的内侧，而用于移除固态物质的过滤元件布置在中空纤维的外侧。然而，对于熟悉本领域的技术人员来说，显然可以将脱气中空纤维布置在外周部分，而用于移除固态物质的过滤元件可以布置在中空纤维的内侧。在这种情况下，处理流体入口、输出口和吸气口的位置可以适当校正。
同样，在下面叙述的示例中，在上游侧设置了由中空纤维形成的脱气部分，而在下游侧设置了由过滤元件形成的过滤部分。然而，如上所述，可以在上游侧设置过滤元件，而在下游侧设置由中空纤维形成的脱气部分。
参考图1，过滤单元包括由外壳1和头部3构成的流体密封容器部分。在外壳1和头部3由合成树脂制成的情况下，这些元件彼此相互抵靠并且其外缘部分相互焊接，从而使得这些元件通过焊接部11而成整体。或者，在使用由合成树脂或不锈钢制成的金属外壳的情况下，其外缘部分可以靠其间适合的密封元件固定在一起。在外壳1中，在中心布置了由脱气中空纤维形成的脱气部分15，而在脱气部分15的外围布置了过滤元件(过滤部分)13。
(头部)
在头部3的中心，形成了处理流体入口5，而在其外侧部分形成了已过滤流体输出口7以及连接到外面的减压源例如抽吸泵的吸气口9。当对处理流体施压时，吸气口不需要连接减压源。在头部3的下表面侧，形成了从处理流体入口5通向构成中空纤维脱气部分15的中空纤维外侧(下面叙述)的处理流体流动路径35、使得在过滤元件13外围部分与外壳1之间形成已过滤流体流动路径以与已过滤流体输出口7相连通的已过滤流体流动路径41、以及使得中空纤维的内部通道与吸气口9相连通的气体流动路径37。
(中空纤维脱气部分)
参考图1至4解释容纳在外壳1中心部分的中空纤维脱气部分15的细节。中空纤维脱气部分15包括沿着外壳1轴线延伸的柱27。在柱上、下端部分别设置了大直径部分29和31，并且在柱27的上端侧设置了与头部3中的处理流体入口流动路径35对齐的通道34、以及从通道34的下端径向延伸并通至柱27外表面的多个通道32。
在柱27的周围，布置了沿着柱延伸的多个中空纤维(中空纤维束)33。中空纤维33的下端部被嵌入大直径部分31，并且中空纤维33的内部通道通过密封关闭。中空纤维33的上端部以穿透的状态被嵌入大直径部分29中，且中空纤维的内部通道从开口30通向气体流动路径36。气体流动路径36通过头部中的流动路径37与吸气口9相连通。使用允许在压力作用下形成溶解在处理流体中的气体的气体或者气泡渗透的薄膜作为中空纤维33。例如，可以使用PTFE(聚四氟乙烯)。
(形成液体路径的圆筒)
在中空纤维脱气部分15的周围，设置了形成流动路径的圆筒17。如图1和5至9所示，圆筒17的内表面51与柱27的外表面一起形成了流动路径，处理流体在其中围绕中空纤维脱气部分15流动，圆筒17的外表面具有布置成格子形的分配通道45(水平的)和47(垂直的)，以引导已脱气的处理流体到达过滤元件13的内侧。在圆筒17的下端部，设置了多个开口43，用以将已脱气的处理流体引导到过滤元件13侧的分配通道45和47。
圆筒17也用作过滤元件13的内部支撑元件，如下所述。
(过滤元件)
如图1所示，用于移除如微粒等固态物质的过滤元件13包括布置在圆筒17外围表面上的打褶过滤材料19、布置在过滤材料19周围的多孔的外部圆筒21、以及分别以流体密封方式密封过滤材料19上下端的上盖23和下盖25。过滤材料19是这样形成的：沿着微孔过滤膜的两个表面放置形成流动路径的网或无纺织布，微孔过滤膜由通常的过滤材料诸如PTFE或聚乙烯构成；将其弯曲成褶状以形成环形；并将两侧边缘搭接密封。另外，过滤材料19的上下边缘分别相对上下盖23和25热密封。内侧的圆筒17和多孔外部圆筒21提供了流动路径，也加强并支撑着易于弯曲的过滤材料19。
下面叙述装配根据本发明的过滤单元的一个示例。假定外壳1、头部3、中空纤维脱气部分15以及过滤元件13(在上盖23密封结合之前的状态)处于已经制造好的状态。
首先，将中空纤维脱气部分15从上面插入构成过滤元件13一部分、形成流动路径的圆筒17的内部孔中。设计使得在中空纤维脱气部分15的柱27下端部中的大直径部分31的外径略微小于圆筒17的内径。上部大直径部分29靠设置在圆筒17上端的肩部49定位。
接下来，过滤材料19的上边缘密封连接到上盖23，这样中空纤维脱气部分15和过滤元件13就形成了整体结构。将这个结构插入外壳1。头部3通过热密封或紧固装置固定在外壳1上，从而完成了过滤单元。
(操作)
参考图1和10解释操作。通过入口5供应的受压处理流体通过处理流体流动路径35、通道34以及径向通道32流进柱27与圆筒17内表面51之间形成的环形流动通道的上端部。在处理流体向下游流动的过程中，处理流体与中空纤维33外表面接触时被逐渐脱气。渗透的气体如图10中白圈所示在中空纤维33的内部通道中向上吸引，并且在通过通道36和37之后通过吸气口9抽出。另一方面，已脱气的处理流体经过中空纤维33下端部的圆筒17的开口43，由在圆筒17外表面上形成的导向槽45和47分配至过滤材料19的上游表面，并由过滤材料19过滤。图10中的黑圈表示固态物质例如微粒。另一方面，已过滤流体经过多孔外部圆筒21上的孔，在外壳1与过滤元件13的外周部分之间形成的流动路径中向上流动，并且在流过流动路径41之后通过输出口7作为已脱气过滤液体流出。
在上述示例中，处理流体通过头部中心部分入口引入，并通过设置在头部外围部的输出口排出已处理和过滤的流体。然而，相反地，处理流体也可以通过设置在头部外围部的输出口引入，在这种情况下输出口作为入口，在过滤之后再通过脱气机构进行脱气，并可通过中心部分的入口排出。这种情况下，由于已处理的流体可以如现有示例中那样从中心放出，可以毫不奇异地使用过滤单元。
另外，作为另一示例，与上述示例中在过滤元件中设置脱气机构的结构不同，其结构可以是在过滤元件外侧上设置脱气机构，而正常使用的过滤元件可以象原来一样使用或者具有类似的结构。具体地，设置了由中空纤维形成的脱气机构部分以围绕着现有的过滤元件，这样本发明可以很容易地构造成另一个示例。
附图标记描述
1外壳
3头部
5处理流体入口
7已过滤流体输出口
9吸气口
11焊接部
13过滤元件(过滤部分)
15中空纤维脱气部分
17圆筒
19过滤材料
21多孔外部圆筒
23上盖
25下盖
27柱
29，31大直径部分
32多个通道
33中空纤维
34入口通道
35处理流体流动路径
36，37气体流动路径
41已过滤流体流动路径
45，47分配通道
49肩部
51圆筒内表面

Claims (8)

1.一种过滤单元，包括具有处理流体入口、已过滤流体输出口和脱气吸气口的头部；以流体密封方式与头部成一体或可拆卸地连接的外壳；包括多个脱气中空纤维、并且固定安装的脱气部分，脱气部分容纳在外壳中；以及容纳在外壳中位于脱气部分上游或下游侧、并且固定安装的过滤元件，其中，入口与外壳的上游侧连通；输出口与外壳的下游侧连通；吸气口与中空纤维的内部通道连通。
2.一种过滤单元，包括具有处理流体入口、已过滤流体输出口和脱气吸气口的头部；以流体密封方式与头部成一体或可拆卸地连接的外壳；包括多个脱气中空纤维、并且固定安装的脱气部分，脱气部分容纳在外壳的上游侧；以及容纳在外壳中位于脱气部分下游侧、并且固定安装的过滤元件，其中，入口与中空纤维的外表面侧连通；输出口与过滤元件的下游侧连通；吸气口与中空纤维的内部通道连通。
3.如权利要求2所述的过滤单元，其特征在于，脱气部分包括沿着外壳轴线垂直延伸的柱；在柱的上端部和下端部整体地形成的大直径部分；以及由大直径部分支撑并沿着柱延伸的多个中空纤维。
4.如权利要求3所述的过滤单元，其特征在于，在柱的上端侧，设置有与头部中的处理流体进入流动路径对齐的纵向通道、以及从纵向通道下端径向延伸并通向柱外表面的多个横向通道。
5.如权利要求3或4所述的过滤单元，其特征在于，多个中空纤维的下端部被嵌入下端的大直径部分中并且被密封；中空纤维的上端部以穿透状态被嵌入上端的大直径部分中；并且中空纤维的内部孔与吸气口连通。
6.如权利要求3所述的过滤单元，其特征在于，围绕中空纤维在柱与中空纤维之间设置形成处理流体流动路径的圆筒；在圆筒的下端部，设置多个开口以将已脱气的处理流体引导至过滤元件；以及圆筒的外表面具有格子状布置的分配通道，以将已脱气的处理流体引导至过滤元件上游侧的表面。
7.如权利要求6所述的过滤单元，其特征在于，用于移除如微粒物质的固态物的过滤元件包括布置在圆筒外围表面上的打褶的过滤材料；围绕过滤材料布置的多孔外部圆筒；以及分别以流体密封方式密封过滤材料上下端的上盖和下盖，并且过滤材料的内表面由形成处理流体流动路径的圆筒外围表面支撑。
8.如权利要求2所述的过滤单元，其特征在于，入口和输出口被相反地连接，使得入口用作输出口，而输出口用作入口。
CNB2004800116464A 2003-05-01 2004-04-30 带脱气机构的过滤单元 Expired - Fee Related CN100402123C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003126461 2003-05-01
JP126461/2003 2003-05-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1780675A CN1780675A (zh) 2006-05-31
CN100402123C true CN100402123C (zh) 2008-07-16

Family

ID=33410294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004800116464A Expired - Fee Related CN100402123C (zh) 2003-05-01 2004-04-30 带脱气机构的过滤单元

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20070131604A1 (zh)
EP (1) EP1629875A4 (zh)
JP (1) JPWO2004096410A1 (zh)
KR (1) KR20060010769A (zh)
CN (1) CN100402123C (zh)
TW (1) TW200510048A (zh)
WO (1) WO2004096410A1 (zh)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100729985B1 (ko) * 2006-11-28 2007-06-20 최진열 탈기 기능을 가지는 폐압연유 재생장치
US8629970B2 (en) * 2008-01-23 2014-01-14 Asml Netherlands B.V. Immersion lithographic apparatus with immersion fluid re-circulating system
WO2011102934A1 (en) 2010-01-22 2011-08-25 Donaldson Company, Inc. Pulse jet air cleaner systems; evacution valve arrangements; air cleaner components; and, methods
DE102010013507A1 (de) * 2010-03-31 2011-10-06 Gkn Sinter Metals Holding Gmbh Filtersystem, insbesondere für die Viskosefiltration
US20130087499A1 (en) * 2010-06-18 2013-04-11 Nitto Denko Corporation Spiral separation membrane element, perforated hollow tube, and method of producing the same
US8540081B2 (en) * 2011-03-16 2013-09-24 Markel Corporation Fluoropolymer hollow fiber membrane with fluoro-copolymer and fluoro-terpolymer bonded end portion(s) and method to fabricate
US9028702B2 (en) 2011-09-20 2015-05-12 Baldwin Filters, Inc. Fuel filter with snorkel vent
JP5741549B2 (ja) * 2012-10-09 2015-07-01 東京エレクトロン株式会社 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体
US10507419B2 (en) 2013-01-14 2019-12-17 Cummins Filtration Ip, Inc. Cleanable filter
CN105517693B (zh) * 2013-07-24 2018-03-06 三菱化学株式会社 外部灌注型中空纤维膜组件及具有所述组件的喷墨打印机
US10121685B2 (en) * 2015-03-31 2018-11-06 Tokyo Electron Limited Treatment solution supply method, non-transitory computer-readable storage medium, and treatment solution supply apparatus
JP5991403B2 (ja) * 2015-04-21 2016-09-14 東京エレクトロン株式会社 フィルタウエッティング方法、フィルタウエッティング装置及び記憶媒体
MX2018015366A (es) * 2016-06-09 2019-11-08 Amtrol Inc Separador de aire y particulas.
US10029191B2 (en) * 2016-09-15 2018-07-24 Hamilton Sundstrand Corporation Liquid-dissolved gas separators
MY195496A (en) * 2018-09-27 2023-01-26 Dainippon Ink & Chemicals Degasification System, Liquid Degasification Method, Degasification Module, Method for Manufacturing Degasification System, and Method for Producing Natural Resources
DE102018009171A1 (de) * 2018-11-22 2020-05-28 Bb Engineering Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Recyceln von Kunststoffen
MX2021007730A (es) * 2018-12-28 2021-08-24 Dainippon Ink & Chemicals Sistema de desgasificacion, metodo para desgasificar liquidos, unidades de desgasificacion, modulo de desgasificacion y metodo de fabricacion de sistema de desgasificacion y metodo de produccion a partir de recursos naturales.
CN118751067A (zh) * 2019-06-28 2024-10-11 Dic株式会社 中空纤维脱气组件、喷墨打印机和液体的脱气方法
CN110642291A (zh) * 2019-09-29 2020-01-03 湖南辰州矿业有限责任公司 锑白粉脱气装置
US11946396B2 (en) * 2020-09-09 2024-04-02 Lubrication Technologies, Inc. Liquid filter arrangement for no-mess liquid change
CN114591769B (zh) * 2020-12-04 2023-11-10 中国石油化工股份有限公司 一种用于天然气脱除硫化氢的膜系统结构
CN112706525B (zh) * 2020-12-25 2021-11-30 镭德杰标识科技武汉有限公司 一种止泡装置和供墨系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0768103A (ja) * 1993-09-06 1995-03-14 Toray Ind Inc 膜脱気方法
JPH08323105A (ja) * 1995-06-06 1996-12-10 Fujitsu Ltd 脱泡ろ過装置とその方法および電子デバイスの製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB550358A (en) * 1941-07-30 1943-01-05 Evan Lovell Widdrington Byrne Multiple unit filter
JPS6071014A (ja) * 1983-09-29 1985-04-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 濾過装置
AU5433690A (en) * 1989-04-07 1990-11-05 Baxter International Inc. Gas separating and venting filter and method of making same
JPH057391U (ja) * 1991-07-04 1993-02-02 株式会社ロキテクノ 浄水器
AU2001290593A1 (en) * 2000-08-31 2002-03-13 Millipore Corporation Gas vent filter construction incorporating a hollow fiber membrane assembly
AU2003231002B2 (en) * 2002-04-19 2008-07-24 3M Innovative Properties Company Encapsulated filter cartridge
US7635428B2 (en) * 2003-08-05 2009-12-22 Toyo Boseki Kabushiki Kaisha Hollow fiber membrane submodule and module including the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0768103A (ja) * 1993-09-06 1995-03-14 Toray Ind Inc 膜脱気方法
JPH08323105A (ja) * 1995-06-06 1996-12-10 Fujitsu Ltd 脱泡ろ過装置とその方法および電子デバイスの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1629875A4 (en) 2007-12-05
JPWO2004096410A1 (ja) 2006-07-13
EP1629875A1 (en) 2006-03-01
CN1780675A (zh) 2006-05-31
KR20060010769A (ko) 2006-02-02
TW200510048A (en) 2005-03-16
US20070131604A1 (en) 2007-06-14
WO2004096410A1 (ja) 2004-11-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100402123C (zh) 带脱气机构的过滤单元
CA2230590C (en) An in-line blood filtration device
CN101287538B (zh) 使用歧管以减少回洗的水过滤装置
CN100363083C (zh) 采用从外向内流的发动机和变速器滤油器及其方法
CN101316645B (zh) 中空丝膜组件
KR101940471B1 (ko) 액체 회수 필터
KR20010087356A (ko) 유체 처리 요소, 유체 처리 요소 세척 방법 및 유체 처리방법
JP2002524227A5 (zh)
JP2001506536A (ja) カプセルに封入されたレンズ状のフィルタカートリッジ
US7270757B1 (en) High capacity gravity feed filter for filtering blood and blood products
CN104136091B (zh) 过滤系统
CN210367217U (zh) 一种复合滤芯组件和净水系统
CN210367218U (zh) 一种复合滤芯组件和净水系统
CN210367222U (zh) 一种复合滤芯组件和净水系统
CN110255748B (zh) 一种复合滤芯组件和净水系统
CN216677204U (zh) 一种双层袋式过滤器
CN110255750B (zh) 一种复合滤芯组件和净水系统
CN210874400U (zh) 一种用于光刻胶的过滤装置
CN211536725U (zh) 一种纯化样品的过滤装置
CN216972084U (zh) 一种污水处理厂外压超滤膜装置
CN219209538U (zh) 反渗透膜滤芯和净水器
JP3239922B2 (ja) 固液分離装置
CN221287039U (zh) 一种溶解性物质深度过滤装置
CN212790093U (zh) 新型纯水机纯化柱滤筒
CN202715293U (zh) 电镀过滤机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20060526

Address after: Minnesota, USA

Applicant after: MYKROLIS Corp.

Address before: Massachusetts, USA

Applicant before: Mykrolis Corp.

C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20080716

Termination date: 20100430