KR20060008000A - Mother glass and fabricating method of organic electro luminescence device using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비어레이영역을 감소시켜 생산성을 늘릴 수 있는 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mother substrate capable of increasing productivity by reducing the vialay region and a method of manufacturing an organic light emitting display device using the same.

본 발명에 따른 모기판은 스캔패드 및 데이터패드를 가지는 다수의 유기 전계발광어레이를 포함하는 모기판에 있어서, 상기 다수의 유기 전계발광어레이들이 매트릭스 형태로 배열되고 상기 매트릭스 형태로 배열된 유기 전계발광어레이들 사이에 비어레이영역이 배치되고 상기 매트릭스 형태의 배열 외각에 위치하는 가장자리 영역과; 상기 가장자리 영역에 형성되어 정극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 정극성 쇼트바와; 상기 가장자리 영역에 형성되어 부극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 부극성 쇼트바와; 상기 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 데이터패드와 상기 정극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제1 배선과; 상기 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 스캔패드와 상기 부극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제2 배선을 구비한다. A mother substrate according to the present invention is a mother substrate comprising a plurality of organic electroluminescent arrays having a scan pad and a data pad, wherein the plurality of organic electroluminescent arrays are arranged in a matrix form and the organic electroluminescence is arranged in the matrix form. An edge region disposed between the arrays and positioned at an outer edge of the matrix array; At least one positive short bar formed in the edge region and supplied with a positive voltage; At least one negative short bar formed in the edge region and supplied with a negative voltage; A first wiring formed in the via region and electrically connecting the data pad and the positive short bar formed in each of the plurality of organic electroluminescent arrays; And a second wiring formed in the via region and electrically connecting the scan pad and the negative short bar formed on each of the organic electroluminescent arrays.

Description

모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법{ Mother Glass and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same } Mother Glass and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same}             

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자의 하나의 유기 전계발광 셀을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing one organic electroluminescent cell of a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 종래의 유기 전계발광표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어그램이다. 2 is a diagram for explaining a light emission principle of a conventional organic light emitting display device.

도 3은 종래 다수의 유기 전계발광어레이가 형성된 모기판(Mother Glass)을 나타내는 도면이다. FIG. 3 is a view illustrating a mother glass on which a plurality of organic electroluminescent arrays are formed.

도 4는 종래의 다른 다수의 유기 전계발광어레이가 형성된 모기판(Mother Glass)을 나타내는 도면이다. FIG. 4 is a view illustrating a mother glass on which a plurality of conventional organic electroluminescent arrays are formed.

도 5는 본 발명의 유기 전계발광표시소자의 유기 전계발광어레이를 개략적으로 나타내는 도면이다. 5 is a view schematically showing an organic electroluminescent array of an organic electroluminescent display device of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광어레이가 형성된 모기판을 나타낸 도면이다. 6 is a diagram illustrating a mother substrate on which a plurality of organic electroluminescent arrays are formed according to an embodiment of the present invention.

도 7은 도 6에 도시된 C영역을 구체적으로 나타내는 도면이다. FIG. 7 is a diagram illustrating region C illustrated in FIG. 6 in detail.

도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다수의 유기 전계발광어레이가 형성 된 모기판을 나타낸 도면이다. 8 is a diagram illustrating a mother substrate on which a plurality of organic electroluminescent arrays are formed according to another embodiment of the present invention.

도 9는 도 6에 도시된 D영역을 구체적으로 나타내는 도면이다. FIG. 9 is a view illustrating region D in FIG. 6 in detail.

도 10은 도 6에 도시된 D영역의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절단하여 도시한 단면도이다. FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line II ′ of the region D illustrated in FIG. 6.

도 11a 내지 도 11e는 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타내는 도면이다. 11A through 11E are steps illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 >     <Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

6 : 절연막 26 : 더미절연막6 insulating film 26 dummy insulating film

12 : 캐소드전극 22 : 제1 금속패턴12 cathode electrode 22 first metal pattern

54 : 데이터라인 55 : 스캔라인54: data line 55: scan line

56 : 데이터패드 57 : 스캔패드56: data pad 57: scan pad

61 : 정극성 쇼트바 62 : 부극성 쇼트바61: positive short bar 62: negative short bar

63 : 제1 배선 64 : 제2 배선63: first wiring 64: second wiring

65 : 제1 공통배선 66 : 제2 공통배선65: first common wiring 66: second common wiring

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히 모기판의 정극성 및 부극성 쇼트바의 구조와 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것 이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to a structure of positive and negative short bars of a mother substrate and a method of manufacturing an organic electroluminescent display device using the same.

최근 들어, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-luminescence:이하 "EL "이라 함)표시장치 등이 있다. 이와 같은 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such flat panel displays include liquid crystal displays (hereinafter referred to as "LCDs"), field emission displays (FEDs), plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs), and electroluminescence. Nessence ("EL") display device, etc. There are active researches to improve the display quality of such a flat panel display device and attempt to enlarge the screen.

이들 중 PDP는 구조와 제조 공정이 단순하기 때문에 경박 단소 하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 적용된 액티브 매트릭스 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어렵고 백라잇 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있고, 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 특성이 있다. Among them, PDP is attracting attention as a display device which is light and small and is most advantageous for large screen because of its simple structure and manufacturing process. However, PDP has low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. On the other hand, an active matrix LCD having a thin film transistor (TFT) as a switching element has a disadvantage in that it is difficult to make a large screen because of the semiconductor process, and power consumption is large due to the backlight unit. Optical elements such as a filter, a prism sheet, and a diffusion plate have a large optical loss and a narrow viewing angle.

이에 비하여, EL소자는 발광층의 재료에 따라 무기 EL소자와 유기 EL소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기 EL소자는 유기 EL소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기EL소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지 고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다. On the other hand, EL devices are classified into inorganic EL devices and organic EL devices according to the material of the light emitting layer. The EL devices are self-luminous devices that emit light by themselves, and have a fast response speed and high luminous efficiency, luminance, and viewing angle. Inorganic EL devices have higher power consumption and higher luminance than organic EL devices, and cannot emit various colors of R, G, and B. On the other hand, the organic EL device is driven at a low DC voltage of several tens of volts, has a fast response speed, obtains high luminance, and emits various colors of R, G, and B, which is suitable for next-generation flat panel display devices. .

도 1은 종래의 유기 EL표시소자의 하나의 유기 EL 셀을 나타내는 단면도이고, 도 2는 유기 EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어그램이다. 1 is a cross-sectional view showing one organic EL cell of a conventional organic EL display element, and FIG. 2 is a diagram for explaining the light emission principle of the organic EL display element.

도 1에 도시된 EL 셀(3)은 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12) 사이에 형성된 유기발광층(10)을 포함하고, 유기발광층(10)에는 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)이 구비한다. The EL cell 3 shown in FIG. 1 includes an organic light emitting layer 10 formed between the first electrode (or anode electrode) 4 and the second electrode (or cathode electrode) 12, and the organic light emitting layer 10 ) Is provided with an electron injection layer 10a, an electron transport layer 10b, a light emitting layer 10c, a hole transport layer 10d, and a hole injection layer 10e.

EL 셀(3)의 제1 전극(4)과 제2 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 도 2에 도시된 바와 같이 제2 전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자주입층(10a) 및 전자수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다, 또한, 제1 전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공주입층(10d) 및 정공수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함으로써 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 제1 전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 된다. When a voltage is applied between the first electrode 4 and the second electrode 12 of the EL cell 3, electrons generated from the second electrode 12 are transferred to the electron injection layer 10a as shown in FIG. 2. And holes toward the light emitting layer 10c through the electron transport layer 10b. Further, holes generated from the first electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10d and the hole transport layer 10d. . Accordingly, in the light emitting layer 10c, light is generated by collision and recombination of electrons and holes supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the light is emitted to the outside through the first electrode 4. The image is displayed.

도 3은 종래 모기판의 어레이영역(P1)과 비어레이영역(P2)을 나타내는 도면이다. 3 is a diagram illustrating an array region P1 and a vialay region P2 of a conventional mother substrate.

도 3을 참조하면, 어레이영역(P1)에는 다수의 EL 셀을 포함하는 유기 EL어레이가 형성되어 유기발광시 화상이 구현되는 표시영역(A)과, 표시영역(A)의 유기 EL어레이에서 신장된 데이터라인들(54)과 스캔라인들(55)이 위치하는 비표시영역(B) 을 포함하고, 비어레이영역(P2)은 유기 EL소자의 안정화 공정인 에이징공정과 점등검사시 이용되는 정극성 및 부극성 쇼트바(53)와 스크라이빙 공정시 이용되는 얼라인마크(미도시)가 형성된다. Referring to FIG. 3, an organic EL array including a plurality of EL cells is formed in the array region P1 to extend the display region A in which an image is realized when the organic light is emitted, and the organic EL array in the display region A. And a non-display area B in which the data lines 54 and the scan lines 55 are positioned, and the via region P2 is a positive electrode used for the aging process and the lighting test, which are stabilization processes of the organic EL device. Polar and negative short bars 53 and alignment marks (not shown) used in the scribing process are formed.

정극성 및 부극성 쇼트바(53)는 어레이영역(P1)의 비표시영역(B)의 데이터라인들(54)과 접속되는 데이터패드(56)와 스캔라인들(55)과 접속되는 스캔패드(57)와 각각 전기적으로 접속된다. 이러한, 정극성 및 부극성 쇼트바(53)는 에이징공정과 점등검사시 검사장비의 니들핀과 접속됨으로써 어레이영역(P1)의 데이터패드(56) 및 스캔패드(57)에 전압을 전달하는 역할을 한다. The positive and negative short bars 53 are connected to the data pads 56 connected to the data lines 54 of the non-display area B of the array area P1 and the scan pads connected to the scan lines 55. And 57 are electrically connected to each other. The positive and negative short bars 53 transmit voltages to the data pads 56 and the scan pads 57 of the array region P1 by being connected to the needle pins of the inspection equipment during the aging process and the lighting test. Do it.

얼라인마크(미도시) 및 정극성 및 부극성 쇼트바(53)가 형성되는 비어레이영역(P2)은 스크라이빙공정시 제거되게 된다. The vialay region P2 in which the alignment marks (not shown) and the positive and negative short bars 53 are formed is removed during the scribing process.

이러한 정극성 및 부극성 쇼트바(53)는 검사장비의 니들핀과의 접촉을 위해 약 2000㎛ 정도 이상의 선 폭(d1)을 갖게 됨으로써 모기판의 비어레이영역(P2)을 증대시키는 요인이 되고 있다. The positive and negative short bars 53 have a line width d1 of about 2000 μm or more for contact with the needle pin of the inspection equipment, thereby increasing the vialay region P2 of the mother substrate. have.

예를 들어, 모기판 상에 유기 EL어레이가 10 라인이 형성될 경우, 전체 모기판 중 약 20mm 정도를 정극성 및 부극성 쇼트바(53)가 차지하게 된다. 이와 같이, 쇼트바가 차지하는 영역이 크면 그만큼 모기판의 어레이영역(P1)이 차지하는 비율이 작아지게 됨으로써 유기 EL표시소자의 생산성이 저하되게 된다. For example, when 10 lines of organic EL arrays are formed on a mother substrate, the positive and negative short bars 53 occupy about 20 mm of the entire mother substrate. As described above, when the area occupied by the short bar is large, the proportion of the array area P1 of the mother substrate becomes smaller, thereby lowering the productivity of the organic EL display device.

이러한 문제를 해결하기 위하여, 도 4에 도시된 바와 같이 정극성 및 부극성 쇼트바(53)가 축소된 구조가 제안된 바 있다. In order to solve this problem, a structure in which the positive and negative short bars 53 are reduced as shown in FIG. 4 has been proposed.

그러나, 도 4에 도시된 모기판은 생산성을 향상시킬 수 있는 장점은 있으나, 비어레이영역(P2)의 정극성 및 부극성 쇼트바(53) 선 폭(d2)을 줄이게 되면, 에이징공정과 점등검사시 검사장비의 니들핀과 접촉하는 공간이 줄어들어 정극성 및 부극성 쇼트바(53)가 아닌 어레이영역(P1)의 데이터패드(56)와 스캔패드(57)에 니들핀이 접촉되는 경우가 생긴다. However, although the mother substrate shown in FIG. 4 has an advantage of improving productivity, when the positive and negative short bar 53 line widths d2 of the vialay region P2 are reduced, the aging process and lighting are turned on. In the case of inspection, the space of contact with the needle pin of the inspection equipment is reduced so that the needle pin is in contact with the data pad 56 and the scan pad 57 of the array region P1 instead of the positive and negative short bars 53. Occurs.

이에 따라, 니들핀에 의해 데이터패드(56) 및 스캔패드(57)에 스크래치가 발생하여, 니들핀이 접촉된 데이터패드(56)나 스캔패드(57)와 직접적으로 연결된 EL셀과 그렇지 않은 EL셀과의 휘도 차이가 발생하게 된다. As a result, scratches are generated on the data pad 56 and the scan pad 57 by the needle pins, and the EL cells directly connected to the data pad 56 or the scan pad 57 to which the needle pins are contacted are not. The luminance difference with the cell occurs.

또한, 각각의 유기 EL어레이와 대응되도록 형성된 쇼트바(53) 각각에 니들핀이 접촉됨으로써 다른 크기의 유기 EL 소자가 제안될 때마다 검사장비를 새로 제작해야 하므로 유기 EL표시소자의 제조비용이 증가하는 문제가 발생된다. In addition, since the needle pins are in contact with each of the short bars 53 formed to correspond to the respective organic EL arrays, a new inspection equipment must be manufactured every time an organic EL element having a different size is proposed, thereby increasing the manufacturing cost of the organic EL display element. The problem arises.

따라서, 본 발명의 목적은 모기판의 비어레이영역을 감소시켜 생산성을 향상시킴과 아울러 별도의 검사장비 제작이 필요없게 됨으로써 제조비용을 절감할 수 있는 모기판을 제공함에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a mother substrate that can reduce manufacturing costs by reducing the vialay area of the mother substrate, thereby improving productivity and eliminating the need for a separate inspection equipment.

본 발명의 다른 목적은 상기 모기판을 이용한 유기 EL표시소자의 제조방법을 제공함에 있다.
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic EL display device using the mother substrate.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 모기판은 스캔패드 및 데이터패드를 가지는 다수의 유기 전계발광어레이를 포함하는 모기판에 있어서, 상기 다수의 유기 전계발광어레이들이 매트릭스 형태로 배열되고 상기 매트릭스 형태로 배열된 유기 전계발광어레이들 사이에 비어레이영역이 배치되고 상기 매트릭스 형태의 배열 외각에 위치하는 가장자리 영역과; 상기 가장자리 영역에 형성되어 정극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 정극성 쇼트바와; 상기 가장자리 영역에 형성되어 부극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 부극성 쇼트바와; 상기 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 데이터패드와 상기 정극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제1 배선과; 상기 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 스캔패드와 상기 부극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제2 배선을 구비한다. In order to achieve the above object, a mother substrate according to an embodiment of the present invention is a mother substrate including a plurality of organic electroluminescent array having a scan pad and a data pad, the plurality of organic electroluminescent array is arranged in a matrix form An edge region disposed between the organic electroluminescent arrays arranged in the matrix form and positioned at an outer edge of the matrix form; At least one positive short bar formed in the edge region and supplied with a positive voltage; At least one negative short bar formed in the edge region and supplied with a negative voltage; A first wiring formed in the via region and electrically connecting the data pad and the positive short bar formed in each of the plurality of organic electroluminescent arrays; And a second wiring formed in the via region and electrically connecting the scan pad and the negative short bar formed on each of the organic electroluminescent arrays.

상기 제1 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 데이터패드와 공통으로 접속되는 제1 공통배선과; 상기 제2 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 스캔패드와 공통으로 접속되는 제2 공통배선을 더 구비한다.First common wiring connected to the first wiring and commonly connected to the respective data pads; A second common wiring further connected to the second wiring and commonly connected to the respective scan pads is further provided.

상기 제1 배선과 제2 배선이 교차되는 영역에 형성되어 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 절연시키는 더미절연막을 더 구비한다. And a dummy insulating film formed in an area where the first wiring and the second wiring cross each other to electrically insulate the first wiring and the second wiring.

상기 더미절연막 상에 형성되어 상기 제1 배선 및 제2 배선 중 적어도 어느 하나를 전기적으로 연결시키는 제1 금속패턴을 더 구비한다. And a first metal pattern formed on the dummy insulating layer to electrically connect at least one of the first wiring and the second wiring.

상기 제1 및 제2 배선의 선 폭은 40 ~ 60㎛ 정도인 것을 특징으로 한다. The line width of the first and second wirings is characterized in that about 40 ~ 60㎛.

상기 제1 및 제2 공통배선의 선 폭은 90 ~ 110㎛ 정도인 것을 특징으로 한다. The line width of the first and second common wirings is characterized in that about 90 ~ 110㎛.

상기 가장자리 영역의 제1 점은 상기 가장자리 영역의 좌측이며, 상기 제1 점에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 좌측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하고, 상기 가장자리 영역의 제2 점은 상기 가장자리 영역의 우측이며, 상기 제2 점에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 우측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하는 것을 특징으로 한다. The first point of the edge area is the left side of the edge area, and the negative short bar formed at the first point applies a negative voltage to the left scan pad of the plurality of organic electroluminescent arrays, and the second point of the edge area. The point is to the right of the edge region, and the negative short bar formed at the second point is characterized by applying a negative voltage to the right scan pad of the plurality of organic electroluminescent arrays.

상기의 정극성 쇼트바 및 부극성 쇼트바는 상기 모기판의 가장자리 영역의 상하좌우에 각각 형성되는 것을 특징으로 한다. The positive short bar and the negative short bar may be formed on the top, bottom, left and right sides of the edge region of the mother substrate, respectively.

상기 모기판의 가장자리 영역의 상부좌측에 형성된 부극성 쇼트바와 모기판의 가장자리 영역의 하부우측에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 좌측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하고, 상기 모기판의 가장자리 영역의 상부우측에 형성된 부극성 쇼트바와 하부좌측에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 우측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하는 것을 특징으로 한다. The negative short bar formed on the upper left side of the edge region of the mother substrate and the negative short bar formed on the lower right side of the edge region of the mother substrate apply a negative voltage to the left scan pads of the plurality of organic electroluminescent arrays. The negative short bar formed on the upper right side of the edge region of the plate and the negative short bar formed on the lower left side are characterized by applying a negative voltage to the right scan pad of the plurality of organic electroluminescent arrays.

본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 스캔패드 및 데이터패드를 가지는 다수의 유기 전계발광어레이와 상기 다수의 유기 전계발광어레이들이 매트릭스 형태로 배열되고 상기 매트릭스 형태로 배열된 유기 전계발광어레이들 사이에 비어레이영역이 배치되고 상기 매트릭스 형태의 배열 외각에 위치하는 가장자리 영역을 포함하는 모기판을 마련하는 단계와; 상기 모기판의 가장자리 영역에 형성되어 정극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 정극성 쇼트바 및 상기 가장자리 영역에 형성되어 부극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 부극성 쇼트바를 형성하는 단계와; 상기 모기판의 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 데이터패드와 상기 정극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제1 배선 및 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 스캔패드와 상기 부극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제2 배선을 형성하는 단계를 포함한다. In the method of manufacturing an organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention, a plurality of organic electroluminescent arrays having a scan pad and a data pad and the plurality of organic electroluminescent arrays are arranged in a matrix form and the organic form is arranged in the matrix form. Providing a mother substrate including a via region disposed between electroluminescent arrays and an edge region positioned at an outer edge of the matrix array; Forming at least one positive short bar formed at an edge region of the mother substrate to supply a positive voltage and at least one negative short bar formed at the edge region to supply a negative voltage; First pads formed in the via array region of the mother substrate and electrically connecting the data pads formed in each of the plurality of organic electroluminescent arrays and the positive short bar, and the scan pads formed in each of the plurality of organic electroluminescent arrays. And forming a second wiring electrically connecting the negative short bar.

상기 비어레이영역에 형성되며 상기 제1 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 데이터패드와 공통으로 접속되는 제1 공통배선 및 상기 제2 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 스캔패드와 공통으로 접속되는 제2 공통배선을 형성하는 단계를 더 포함한다. A second common line formed in the via area and connected to the first wiring and commonly connected to the respective data pads and connected to the second wiring and commonly connected to the respective scan pads; The method may further include forming a common wiring.

상기 제1 배선과 제2 배선이 교차되는 영역에 형성되어 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 절연시키는 더미절연막을 형성하는 단계와; 상기 더미절연막 상에 형성되어 상기 제1 및 제2 배선 중 적어도 어느 하나를 전기적으로 연결시키는 제1 금속패턴을 형성하는 단계를 더 포함한다. Forming a dummy insulating film formed in a region where the first wiring and the second wiring cross each other to electrically insulate the first wiring and the second wiring; The method may further include forming a first metal pattern formed on the dummy insulating layer to electrically connect at least one of the first and second wires.

상기 유기 전계발광어레이는 제1 전극과; 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막과; 상기 발광영역에 형성된 제2 전극을 포함하며, 상기 더미절연막은 상기 절연막과 동일물질로 동시에 형성되고, 상기 제1 금속패턴은 상기 제2 전극과 동일물질로 동시에 형성되는 것을 특징으로 한다. The organic electroluminescent array includes a first electrode; An insulating film partially defining the light emitting area by partially exposing the first electrode; And a second electrode formed in the emission area, wherein the dummy insulating layer is formed of the same material as the insulating layer and the first metal pattern is formed of the same material as the second electrode.

이하 도 5 내지 도 11e를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 through 11E.

도 5는 본 발명의 유기 전계발광표시소자의 유기 EL어레이를 개략적으로 나타내는 도면이다. 5 is a diagram schematically showing an organic EL array of an organic electroluminescent display device of the present invention.

도 5에 도시된 유기 EL표시소자의 유기 EL어레이는 기판(2) 상에 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The organic EL array of the organic EL display element shown in Fig. 5 is formed on the substrate 2 in the direction in which the anode electrode 4 and the cathode electrode 12 cross each other.

애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수 개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(E) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(미도시)이 형성된다. 절연막 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막 상에는 마스크를 이용하여 증착한 유기발광층(10)이 형성되며, 연이어, 캐소드전극(12)이 전면 증착을 통하여 형성된다. A plurality of anode electrodes 4 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. On the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed, an insulating film (not shown) having an opening for each EL cell E region is formed. On the insulating layer, a partition 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 to be formed thereon is positioned. The partition wall 8 is formed in a direction crossing the anode electrode 4 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. The organic light emitting layer 10 deposited using a mask is formed on the insulating film on which the partition 8 is formed, and the cathode electrode 12 is subsequently formed through full deposition.

도 6는 본 발명의 실시 예에 따른 다수의 유기 EL어레이가 형성된 모기판을 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6에 도시된 C영역을 구체적으로 나타내는 도면이다. FIG. 6 is a diagram illustrating a mother substrate on which a plurality of organic EL arrays are formed, and FIG. 7 is a diagram specifically illustrating region C of FIG. 6.

도 6 및 도 7을 참조하면, 모기판은 유기 EL어레이가 위치하는 어레이영역(P1)과 비어레이영역(P2)으로 대별된다. 어레이영역(P1)에는 다수의 EL 셀이 포함되고 유기 EL어레이가 형성되어 유기발광시 화상이 구현되는 표시영역(A)과, 표시영역(A)의 유기 EL어레이에서 신장된 데이터라인들(54)과 스캔라인들(55)이 위치하는 비표시영역(B)을 포함한다. 비어레이영역(P2)에는 유기 EL소자의 안정화 공정인 에이징공정과 불량을 검색하는 점등검사시 이용되는 정극성 쇼트바(61)와 부극성 쇼트바(62a, 62b)가 가장자리 영역 상부에 위치한다. 6 and 7, the mother substrate is roughly divided into an array region P1 and a vialay region P2 in which an organic EL array is located. The display area A includes a plurality of EL cells and an organic EL array is formed in the array area P1, and an image is realized when the organic light is emitted, and data lines 54 extended in the organic EL array of the display area A. FIG. ) And the non-display area B in which the scan lines 55 are positioned. In the via-lay region P2, the positive short bar 61 and the negative short bars 62a and 62b, which are used for the aging process, which is the stabilization process of the organic EL element, and the lighting test for detecting defects, are located above the edge region. .

비어레이영역(P2)은 정극성 쇼트바(61)로부터 각 유기 EL어레이의 데이터패 드(56)에 정극성 전압을 공급하는 제1 배선(63)과, 제1 배선(63)과 데이터패드(56)를 연결하는 제1 공통배선(65)을 구비한다. The via region P2 includes a first wiring 63 for supplying a positive voltage from the positive short bar 61 to the data pad 56 of each organic EL array, the first wiring 63 and the data pad. A first common wiring 65 connecting the 56 is provided.

또한, 비어레이영역(P2)은 부극성 쇼트바(62a, 62b)로부터 각 유기 EL어레이의 스캔패드(57)에 부극성 전압을 공급하는 제2 배선(64a, 64b)과, 제2 배선(64a, 64b)과 스캔패드(57)를 연결하는 제2 공통배선(66a, 66b)을 구비한다. In addition, the via region P2 includes second wirings 64a and 64b for supplying a negative voltage from the negative short bars 62a and 62b to the scan pads 57 of the organic EL arrays, and the second wiring ( Second common wirings 66a and 66b connecting 64a and 64b to the scan pad 57 are provided.

비어레이영역(P2)에 가장자리 영역의 상부에 위치한 정극성 쇼트바(61)와 제1 공통배선(65)을 연결시키는 제1 배선(63)은 서로 모두 연결된다. 에이징공정과 점등검사시 검사장비의 니들핀으로부터 정극성 전압이 정극성 쇼트바(61)에 인가되면, 제1 배선(63)을 통해 각 어레이영역(P1)의 데이터패드(56)와 연결된 제1 공통배선(65)에 정극성 전압이 인가된다. All of the first line 63 connecting the positive short bar 61 and the first common line 65 positioned at the upper portion of the edge region to the vialay region P2 are connected to each other. When the positive voltage is applied to the positive short bar 61 from the needle pin of the inspection equipment during the aging process and the lighting test, the first pad 63 is connected to the data pad 56 of each array area P1. One positive voltage is applied to the common wiring 65.

모기판의 가장자리 영역의 좌측 상부에 위치한 부극성 쇼트바(62a)와 제2 공통배선(66a)을 연결시키는 제2 배선(64a)은 에이징공정과 점등검사시 부극성 쇼트바(62a)에 부극성 전압이 인가되면, 각 어레이영역(P1)의 좌측에 위치한 스캔패드(57a)와 연결된 제2 공통배선(66a)에 부극성 전압을 인가한다. The second wiring 64a connecting the negative short bar 62a located at the upper left of the edge region of the mother substrate to the second common wiring 66a is attached to the negative short bar 62a during the aging process and the lighting test. When the polarity voltage is applied, the negative voltage is applied to the second common wiring 66a connected to the scan pad 57a located on the left side of each array region P1.

또한, 모기판의 가장자리 영역의 우측 상부에 위치한 부극성 쇼트바(62b)와 제2 공통배선(66b)을 연결시키는 제2 배선(64b)은 에이징공정과 점등검사시 부극성 쇼트바(62a)에 부극성 전압이 인가되면 각 어레이영역(P1)의 우측에 위치한 스캔패드(57b)와 연결된 제2 공통배선(66b)에 부극성 전압을 인가한다. Further, the second wiring 64b connecting the negative short bar 62b located at the upper right of the edge region of the mother substrate to the second common wiring 66b has a negative short bar 62a during the aging process and the lighting test. When the negative voltage is applied to the negative voltage, the negative voltage is applied to the second common wiring 66b connected to the scan pad 57b located on the right side of each array region P1.

이러한, 제1 배선(63) 및 제2 배선(64a, 64b)의 선 폭은 40㎛ ~ 60㎛로 형성되며, 제1 공통배선(65) 및 제2 공통배선(66a, 66b)의 선 폭은 90㎛ ~ 100㎛ 로 형 성된다. The line widths of the first wires 63 and the second wires 64a and 64b are 40 μm to 60 μm, and the line widths of the first common wire 65 and the second common wires 66a and 66b. Is formed from 90 μm to 100 μm.

이에 따라, 종래의 각 유기 EL 소자마다 정극성 및 부극성 쇼트바(53)를 구비하는 경우에 비해 모기판의 비어레이영역을 줄일 수 있어 모기판에 유기 EL어레이를 설계할 수 있는 공간이 늘어나고 이로 인한 원가절감 및 생산성이 향상된다. As a result, the vialay area of the mother substrate can be reduced compared to the case where each of the conventional organic EL elements includes the positive and negative short bars 53, thereby increasing the space for designing the organic EL array on the mother substrate. This reduces cost and improves productivity.

또한, 다른 크기의 유기 EL 소자가 제안될 때마다 검사장비를 새로 제작해야만 했던 종래에 비해, 모기판의 가장자리 영역의 상부에 정극성 쇼트바(61) 및 부극성 쇼트바(62a, 62b)를 위치시키게 되면 유기 EL어레이의 모델이 달라졌을 경우, 모기판의 가장자리 영역에 정극성 쇼트바(61) 및 부극성 쇼트바(62a, 62b)는 그대로 유지하고 유기 EL어레이의 크기에 맞춰 제1 배선(63) 및 제2 배선(64a, 64b)과 제1 공통배선(65) 및 제2 공통배선(66a, 66b)만이 변경되어 에이징공정과 점등검사 등을 할 수 있게 됨으로 인한 제조원가를 절감할 수 있다. In addition, compared with the conventional method of having to make a new inspection equipment every time an organic EL element of different size is proposed, the positive short bar 61 and the negative short bars 62a and 62b are placed on the edge region of the mother substrate. When the organic EL array model is positioned, the positive short bar 61 and the negative short bars 62a and 62b are maintained in the edge region of the mother substrate while the first wiring is aligned with the size of the organic EL array. Only the 63 and the second wiring 64a and 64b, the first common wiring 65 and the second common wiring 66a and 66b can be changed to reduce the manufacturing cost due to the aging process and the lighting test. have.

도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 다수의 유기 EL어레이가 형성된 모기판을 나타낸 도면이다. 8 is a diagram illustrating a mother substrate on which a plurality of organic EL arrays are formed according to another embodiment of the present invention.

도 8은 도 6의 모기판의 가장자리 영역의 상부에 위치하던 정극성 쇼트바(61)와 부극성 쇼트바(62a, 62b)를 모기판의 가장자리 영역의 상하부에 형성한 도면이다. FIG. 8 is a view in which the positive short bars 61 and the negative short bars 62a and 62b which are positioned above the edge regions of the mother substrate of FIG. 6 are formed above and below the edge regions of the mother substrate.

제1 배선(63a, 63b)과 제1 공통배선(65a, 65b)을 이용하여 다수의 유기 EL어레이의 모든 데이터패드(56)는 가장자리 영역의 상하부에 위치한 정극성 쇼트바(61a, 61b)는 연결되게 된다. 에이징공정과 점등검사시 검사장비의 니들핀으로부터 정극성 전압이 정극성 쇼트바(61a, 61b)에 인가되면, 제1 배선(63a, 63b)과 제1 공통배선(65a, 65b)을 통해 다수의 유기 EL어레이의 모든 데이터패드(56)에 정극성 전압이 인가된다. By using the first wirings 63a and 63b and the first common wirings 65a and 65b, all the data pads 56 of the plurality of organic EL arrays have the positive short bars 61a and 61b positioned above and below the edge region. Will be connected. When the positive voltage is applied to the positive short bars 61a and 61b from the needle pins of the inspection equipment during the aging process and the lighting test, a plurality of wires are connected through the first wires 63a and 63b and the first common wires 65a and 65b. A positive voltage is applied to all data pads 56 of the organic EL array of.

가장자리 영역의 상부에 위치한 정극성 쇼트바(61a)는 검사장비의 니들핀으로부터 정극성 전압이 인가되면, 상부 첫 번째 유기 EL어레이의 데이터패드(56)부터 n/2 번째 유기 EL어레이의 데이터패드(56)까지 순차로 정극성 전압을 인가하고, 하부에 위치한 정극성 쇼트바(61b)는 n 번째 유기 EL어레이의 데이터패드(56)부터 n/2 번째 유기 EL어레이의 데이터패드(54)까지 순차로 정극성 전압을 인가한다. The positive short bar 61a positioned above the edge region is a data pad of the n / 2th organic EL array from the data pad 56 of the upper first organic EL array when a positive voltage is applied from the needle pin of the inspection equipment. The positive voltage is sequentially applied up to (56), and the lower positive short bar 61b extends from the data pad 56 of the nth organic EL array to the data pad 54 of the n / 2th organic EL array. The positive voltage is applied sequentially.

가장자리 영역의 좌측 상부에 위치한 부극성 쇼트바(62aa) 및 우측 하부에 위치한 부극성 쇼트바(62bb)로부터 신장된 제2 배선(64aa, 64bb)과 제2 공통배선(66aa, 66bb)은 유기 EL어레이의 좌측에 위치한 스캔패드(57a)와 접속된다. The second wirings 64aa and 64bb and the second common wirings 66aa and 66bb extending from the negative short bar 62aa positioned at the upper left of the edge region and the negative short bar 62bb positioned at the lower right are organic EL. It is connected to a scan pad 57a located on the left side of the array.

또한, 가장자리 영역의 우측 상부에 위치한 부극성 쇼트바(62ba) 및 좌측 하부에 위치한 부극성 쇼트바(62ab)로부터 신장된 제2 배선(64ba, 64ab)과 제2 공통배선(66ba, 66ab)들은 각 유기 EL어레이의 우측에 위치한 스캔패드(57b)와 접속된다. In addition, the second wirings 64ba and 64ab and the second common wirings 66ba and 66ab extending from the negative short bar 62ba positioned at the upper right of the edge region and the negative short bar 62ab positioned at the lower left of the edge region. It is connected to the scan pad 57b located on the right side of each organic EL array.

가장자리 영역의 상부에 위치한 부극성 쇼트바(62aa, 62ba)는 상부 첫 번째 유기 EL어레이의 스캔패드(57)부터 n/2 번째 유기 EL어레이의 스캔패드(57)까지 순차로 부극성 전압을 인가하고, 하부에 위치한 부극성 쇼트바(62ab, 62bb)는 n 번째 유기 EL어레이의 스캔패드(57)부터 n/2 번째 유기 EL어레이의 스캔패드(57)까지 순차로 부극성 구동전압을 인가한다. The negative short bars 62aa and 62ba located at the top of the edge region sequentially apply the negative voltage from the scan pad 57 of the upper first organic EL array to the scan pad 57 of the n / 2th organic EL array. In addition, the negative short bars 62ab and 62bb disposed below sequentially apply the negative driving voltage from the scan pad 57 of the nth organic EL array to the scan pad 57 of the n / 2th organic EL array. .

부극성 쇼트바(62aa, 62ab, 62ba, 62bb)를 상하에 위치시켜 에이징공정과 점 등검사를 할 경우, 스캔라인의 전압강하를 방지하여 에이징공정과 점등검사의 안정성을 확보할 수 있다. When the negative short bars 62aa, 62ab, 62ba, and 62bb are positioned up and down to perform the aging process and the light inspection, the voltage drop of the scan line can be prevented to ensure the stability of the aging process and the lighting test.

제1 배선(63)과 제2 배선(64)은 도 6의 D영역에 도시된 바와 같이 서로 교차되는 방향으로 형성된다. The first wiring 63 and the second wiring 64 are formed in a direction crossing each other as shown in region D of FIG. 6.

따라서, 제1 배선(63)과 제2 배선(64)이 교차되는 위치에 제1 배선(63)과 제2 배선(64)이 쇼트되는 현상을 방지하기 위한 절연막이 형성된다. Therefore, an insulating film for preventing the short circuit between the first wiring 63 and the second wiring 64 is formed at the position where the first wiring 63 and the second wiring 64 intersect.

도 9는 도 6에 도시된 D영역을 구체적으로 나타내는 도면이며, 도 10은 도 6에 도시된 D영역의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 절단하여 도시한 단면도이다. FIG. 9 is a view specifically illustrating a region D shown in FIG. 6, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line II ′ of the region D shown in FIG. 6.

도 9와 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 배선(63)은 제2 배선(64)과 교차되는 영역에서 부분적으로 단선되게 형성되고, 제1 배선(63)과 제2 배선(64)사이에 더미절연막(26)이 형성된다. 더미절연막(26)상에는 단선된 제1 배선을 전기적으로 연결시키기 위한 제1 금속패턴(22)이 형성된다. As shown in FIGS. 9 and 10, the first wiring 63 is formed to be partially disconnected in an area intersecting the second wiring 64, and between the first wiring 63 and the second wiring 64. The dummy insulating film 26 is formed on the substrate. The first metal pattern 22 is formed on the dummy insulating layer 26 to electrically connect the disconnected first wires.

이에 따라, 제1 배선(63) 및 제2 배선(64)은 서로 전기적으로 분리될 수 있게 된다. Accordingly, the first wiring 63 and the second wiring 64 can be electrically separated from each other.

도 11a 내지 도 11e는 본 발명에 따른 유기 EL표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타내는 도면이다. 11A to 11E are diagrams each showing a manufacturing method of an organic EL display element according to the present invention step by step.

도 11a 내지 도 11e를 참조하여, 유기 EL표시소자의 제조방법에 관하여 설명하면 다음과 같다. Referring to Figs. 11A to 11E, the manufacturing method of the organic EL display element is as follows.

도 11a 내지 도 11e은 도 6에 도시된 D영역의 Ⅰ-Ⅰ'선 및 도 5의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단하여 도시한 단면이다. 11A to 11E are cross-sectional views taken along lines II ′ of line D shown in FIG. 6 and II-II ′ of FIG. 5.

어레이영역 및 비어레이영역을 구비한 기판(2) 상에 금속투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 11a에 도시된 바와 같이 유기 EL어레이(Ⅱ-Ⅱ')의 애노드전극(4)과 데이터라인 및 스캔라인(미도시)이 형성된다. An organic EL array (II-II ') is formed by depositing a metal transparent conductive material on a substrate 2 having an array region and a via-lay region and then patterning the photolithography and etching processes. An anode electrode 4 and a data line and a scan line (not shown) are formed.

애노드전극(4)과 데이터라인 및 스캔라인이 형성된 기판(2)의 스캔라인 상에 도전성금속층이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 11b에 도시된 바와 같이 비어레이영역(Ⅰ-Ⅰ')의 제1 배선(63) 및 제2 배선(64)과 제1 공통배선 및 제2 공통배선(미도시)이 형성된다. 또한, 이 때 모기판의 가장자리 영역의 상부에 정극성 및 부극성 쇼트바(미도시)가 함께 형성된다. A conductive metal layer is deposited on the anode electrode 4 and the scan line of the substrate 2 on which the data line and the scan line are formed, and then patterned by a photolithography process and an etching process. The first wiring 63 and the second wiring 64 and the first common wiring and the second common wiring (not shown) of I-I ') are formed. In this case, the positive and negative short bars (not shown) are formed together on the edge region of the mother substrate.

유기 EL 셀(Ⅱ-Ⅱ')의 애노드전극(4), 데이터라인 및 스캔라인과 비어레이영역(Ⅰ-Ⅰ')의 제1 배선(63)과 제2 배선(64)이 형성된 기판(2) 상에 감광성절연물질이 스핀코팅(Sp in-Coating)법에 의해 코팅된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 11c에 도시된 바와 같이 유기 EL어레이(Ⅱ-Ⅱ')의 발광영역이 노출되도록 절연막(6)이 형성됨과 아울러, 비어레이영역(Ⅰ-Ⅰ')에 제1 배선(63)과 제2 배선(64)의 교차영역에 유기 EL어레이(Ⅱ-Ⅱ')의 절연막(6)과 동일물질로 더미절연막(26)이 형성된다. A substrate 2 on which the anode electrode 4, the data line and the scan line of the organic EL cell II-II ', and the first wiring 63 and the second wiring 64 of the via-ray region I-I' are formed. After the photosensitive insulating material is coated by spin in-coating method and patterned by photolithography process, the light emitting region of organic EL array (II-II ') is exposed as shown in FIG. 11C. The insulating film 6 is formed as necessary, and the insulating film 6 of the organic EL array (II-II ') is formed at the intersection of the first wiring 63 and the second wiring 64 in the via region I-I'. ), A dummy insulating film 26 is formed of the same material.

유기 EL 셀(Ⅱ-Ⅱ')의 절연막(6) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 11d에 도시된 바와 같이 격벽(8)이 형성된다. The photosensitive organic material is deposited on the insulating film 6 of the organic EL cell (II-II '), and then patterned by a photolithography process or the like to form the partition 8 as shown in FIG. 11D.

격벽(8)이 형성된 기판(2) 상에 유기발광층(10)이 형성된다. The organic light emitting layer 10 is formed on the substrate 2 on which the partition 8 is formed.

유기발광층이 형성된 기판 상에 유기 EL어레이에 알루미늄 등의 도전성 물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 11e에 도시된 바와 같이 유기 EL 셀(Ⅱ-Ⅱ')의 캐소드전극(12)과, 비어레이영역(Ⅰ-Ⅰ')의 제1 배선(63)을 전기적으로 연결시키기 위한 유기 EL어레이(Ⅱ-Ⅱ')의 캐소드전극(12)과 동일물질로 제1 금속패턴(22)이 생성된다. 이를 통해 비어레이영역(Ⅰ-Ⅰ')에 연결되지 않았던 제1 배선(63)이 전기적으로 연결된다. A conductive material such as aluminum is deposited on the organic EL array on the substrate on which the organic light emitting layer is formed, and then patterned by a photolithography process or the like, so that the cathode electrode 12 of the organic EL cell II-II 'is shown in FIG. 11E. And the first metal pattern 22 made of the same material as the cathode electrode 12 of the organic EL array II-II 'for electrically connecting the first wiring 63 of the via region I-I'. Is generated. As a result, the first wiring 63 which is not connected to the via region I-I 'is electrically connected.

상술한 바에 따라, 모기판 상에 다수의 유기 EL어레이가 형성되고, 비어레이영역에 에이징검사 및 점등검사를 위한 정극성 및 부극성 쇼트바와 다수의 배선들이 형성된다. 이 후, 정극성 및 부극성 쇼트바에 검사장비의 니들핀을 접촉시켜 에이징검사, 점등검사 등을 실시하게 된다. 검사공정에 의해 정상구동 판정을 받은 모기판은 인캡슐레이션 공정이 실시된 후 스크라이빙 공정에 의해 다수의 유기 EL표시소자로 분할되게 된다. 이에 따라, 다수의 유기 EL표시소자가 형성된다. As described above, a plurality of organic EL arrays are formed on the mother substrate, and positive and negative short bars and a plurality of wirings for aging inspection and lighting inspection are formed in the vialay region. Thereafter, the needle pins of the inspection equipment are brought into contact with the positive and negative short bars to perform aging inspection, lighting inspection, and the like. After the encapsulation process is performed, the mother substrate which has been determined to be normally driven by the inspection process is divided into a plurality of organic EL display elements by the scribing process. As a result, a plurality of organic EL display elements are formed.

한편, 모기판의 비어레이영역의 쇼트바 및 각각의 배선들은 스크라이빙 공정 시 제거되게 된다. On the other hand, the short bar and the respective wirings of the vialay region of the mother substrate are removed during the scribing process.

이와 같이, 본 발명에 따른 모기판 및 이를 이용한 유기 EL표시소자의 제조방법은 모기판의 가장자리 영역에 적어도 하나 이상의 쇼트바가 형성되고, 각각의 유기 EL어레이와 모기판의 가장자리 영역에 형성된 쇼트바를 전기적으로 연결시키기 위한 배선이 형성된다. 이에 따라, 종래와 비교하여 모기판 상의 어레이영역이 상대적으로 증가됨으로써 유기 EL표시소자의 생산성이 향상된다. As described above, in the mother substrate and the method of manufacturing the organic EL display device using the same, at least one short bar is formed in the edge region of the mother substrate, and each of the organic EL array and the short bar formed in the edge region of the mother substrate is electrically connected. Wiring for connecting is formed. As a result, the area of the array on the mother substrate is relatively increased as compared with the related art, thereby improving the productivity of the organic EL display device.

또한, 모기판의 가장자리 영역에 형성된 쇼트바에 검사장비의 니들핀이 접 속됨으로써 다른 크기의 유기 EL표시소자의 검사공정을 위한 별도의 검사장비를 설계할 필요가 없게 된다. 이에 따라, 제조비용을 절감할 수 있다. In addition, the needle pin of the inspection equipment is connected to the short bar formed in the edge region of the mother substrate, it is not necessary to design a separate inspection equipment for the inspection process of the organic EL display element of different sizes. Accordingly, manufacturing cost can be reduced.

더 나아가, 종래 대비 검사장비의 니들핀에 의해 패드에 발생되는 스크래치를 방지할 수 있게 됨과 아울러 소자발광시 휘도 차를 방지할 수 있다. Furthermore, it is possible to prevent scratches generated on the pad by the needle pins of the conventional contrast inspection equipment and to prevent the luminance difference when the device emits light.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 모기판 및 이를 이용한 유기 EL표시소자의 제조방법은 모기판의 비어레이영역의 가장자리 영역에 형성한 정극성 쇼트바 및 부극성 쇼트바와 정극성 쇼트바에 연결된 제1 배선 및 제1 공통배선과 부극성 쇼트바에 연결된 제2 배선 및 제2 공통배선을 통하여 각 유기 EL어레이의 에이징검사나 점등검사를 한다. 이에 따라, 스크라이빙 공정을 통하여 절단되게 되는 모기판의 비어레이영역을 줄일 수 있어 모기판에 유기 EL어레이를 설계할 수 있는 공간이 늘어나고 이로 인한 원가절감 및 생산성을 향상시킬 수 있다. As described above, the mother substrate according to the present invention and a method of manufacturing the organic EL display device using the same according to the present invention, the positive short bar and the negative short bar formed in the edge region of the vialay region of the mother substrate and the first connected to the positive short bar An aging or lighting test of each organic EL array is performed through the wiring, the second common wiring connected to the first common wiring, and the negative short bar. Accordingly, the vialay area of the mother substrate to be cut through the scribing process can be reduced, thereby increasing the space for designing the organic EL array on the mother substrate, thereby improving cost and productivity.

뿐만 아니라, 에이징공정과 점등검사시 검사장비의 니들핀에 의해 발생할 수 있는 스크래치를 방지할 수 있고, 모기판의 가장자리 영역에 정극성 및 부극성 쇼트바를 위치시킴으로써 다른 크기의 유기 EL소자가 제안될 때마다 에이징공정이나 점등검사를 위한 새로운 검사장비를 설계할 필요가 없어짐으로 제조 원가를 낮출 수 있다.
In addition, it is possible to prevent scratches caused by the needle pins of the inspection equipment during the aging process and the lighting test, and organic EL devices of different sizes may be proposed by placing positive and negative short bars in the edge regions of the mother substrate. Each time, manufacturing costs can be lowered by eliminating the need to design new inspection equipment for the aging process or lighting inspection.

이상에서 설명한 내용을 통해 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발 명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다. From the above description, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (13)

스캔패드 및 데이터패드를 가지는 다수의 유기 전계발광어레이를 포함하는 모기판에 있어서,A mother substrate comprising a plurality of organic electroluminescent arrays having a scan pad and a data pad, 상기 다수의 유기 전계발광어레이들이 매트릭스 형태로 배열되고 상기 매트릭스 형태로 배열된 유기 전계발광어레이들 사이에 비어레이영역이 배치되고 상기 매트릭스 형태의 배열 외각에 위치하는 가장자리 영역과;An edge region in which the plurality of organic electroluminescent arrays are arranged in a matrix form and a via-lay region is disposed between the organic electroluminescent arrays arranged in the matrix form and positioned at an outer edge of the matrix form; 상기 가장자리 영역에 형성되어 정극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 정극성 쇼트바와; At least one positive short bar formed in the edge region and supplied with a positive voltage; 상기 가장자리 영역에 형성되어 부극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 부극성 쇼트바와;At least one negative short bar formed in the edge region and supplied with a negative voltage; 상기 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 데이터패드와 상기 정극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제1 배선과;A first wiring formed in the via region and electrically connecting the data pad and the positive short bar formed in each of the plurality of organic electroluminescent arrays; 상기 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 스캔패드와 상기 부극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제2 배선을 구비하는 것을 특징으로 하는 모기판.And a second wiring formed in the via region and electrically connecting the scan pad and the negative short bar formed in each of the organic electroluminescent arrays. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 데이터패드와 공통으로 접속되는 제1 공통배선과;First common wiring connected to the first wiring and commonly connected to the respective data pads; 상기 제2 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 스캔패드와 공통으로 접속되는 제2 공통배선을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 모기판.And a second common wiring connected to the second wiring and commonly connected to the respective scan pads. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 배선과 제2 배선이 교차되는 영역에 형성되어 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 절연시키는 더미절연막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 모기판.And a dummy insulating film formed in a region where the first wiring and the second wiring cross each other to electrically insulate the first wiring and the second wiring. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 더미절연막 상에 형성되어 상기 제1 배선 및 제2 배선 중 적어도 어느 하나를 전기적으로 연결시키는 제1 금속패턴을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 모기판.And a first metal pattern formed on the dummy insulating layer and electrically connecting at least one of the first wiring and the second wiring. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 배선의 선 폭은 40 ~ 60㎛ 정도인 것을 특징으로 하는 모기판.The mother substrate of claim 1, wherein the first and second wirings have a line width of about 40 μm to about 60 μm. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 및 제2 공통배선의 선 폭은 90 ~ 110㎛ 정도인 것을 특징으로 하는 모기판.The first and second common wiring line has a line width of about 90 ~ 110㎛. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 가장자리 영역의 제1 점은 상기 가장자리 영역의 좌측이며,The first point of the edge region is the left side of the edge region, 상기 제1 점에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 좌측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하고,The negative short bar formed at the first point applies a negative voltage to the left scan pad of the plurality of organic electroluminescent arrays, 상기 가장자리 영역의 제2 점은 상기 가장자리 영역의 우측이며,The second point of the edge region is the right side of the edge region, 상기 제2 점에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 우측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 모기판.The negative electrode short bar formed at the second point is a mother substrate, characterized in that to apply a negative voltage to the right scan pad of the plurality of organic electroluminescent array. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기의 정극성 쇼트바 및 부극성 쇼트바는 상기 모기판의 가장자리 영역의 상하좌우에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 모기판.The positive short bar and the negative short bar are formed on the top, bottom, left and right of the edge region of the mother substrate, respectively. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 모기판의 가장자리 영역의 상부좌측에 형성된 부극성 쇼트바와 모기판의 가장자리 영역의 하부우측에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 좌측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하고,The negative short bar formed on the upper left side of the edge region of the mother substrate and the negative short bar formed on the lower right side of the edge region of the mother substrate apply a negative voltage to the left scan pad of the organic electroluminescent array. 상기 모기판의 가장자리 영역의 상부우측에 형성된 부극성 쇼트바와 하부좌측에 형성된 부극성 쇼트바는 다수의 유기 전계발광어레이의 우측 스캔패드에 부극성 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 모기판.And a negative short bar formed at an upper right side of the edge region of the mother substrate and a negative short bar formed at a lower left side of the mother substrate to apply a negative voltage to the right scan pads of the plurality of organic electroluminescent arrays. 스캔패드 및 데이터패드를 가지는 다수의 유기 전계발광어레이와 상기 다수의 유기 전계발광어레이들이 매트릭스 형태로 배열되고 상기 매트릭스 형태로 배열된 유기 전계발광어레이들 사이에 비어레이영역이 배치되고 상기 매트릭스 형태의 배열 외각에 위치하는 가장자리 영역을 포함하는 모기판을 마련하는 단계와; A plurality of organic electroluminescent arrays having scan pads and data pads and the plurality of organic electroluminescent arrays are arranged in a matrix form, and via-ray regions are disposed between the organic electroluminescent arrays arranged in the matrix form, Providing a mother substrate including an edge region positioned at an outer edge of the array; 상기 모기판의 가장자리 영역에 형성되어 정극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 정극성 쇼트바 및 상기 가장자리 영역에 형성되어 부극성 전압이 공급되는 적어도 하나 이상의 부극성 쇼트바를 형성하는 단계와;Forming at least one positive short bar formed at an edge region of the mother substrate to supply a positive voltage and at least one negative short bar formed at the edge region to supply a negative voltage; 상기 모기판의 비어레이영역에 형성되며 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 데이터패드와 상기 정극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제1 배선 및 상기 다수의 유기 전계발광어레이들 각각에 형성된 스캔패드와 상기 부극성 쇼트바를 전기적으로 연결시키는 제2 배선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.First pads formed in the via array region of the mother substrate and electrically connecting the data pads formed in each of the plurality of organic electroluminescent arrays and the positive short bar, and the scan pads formed in each of the plurality of organic electroluminescent arrays. And forming a second wiring electrically connecting the negative short bar to each other. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 비어레이영역에 형성되며 상기 제1 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 데이터패드와 공통으로 접속되는 제1 공통배선 및 상기 제2 배선과 접속됨과 아울러 상기 각각의 스캔패드와 공통으로 접속되는 제2 공통배선을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.A second common line formed in the via area and connected to the first wiring and commonly connected to the respective data pads and connected to the second wiring and commonly connected to the respective scan pads; A method of manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that it further comprises forming a common wiring. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제1 배선과 제2 배선이 교차되는 영역에 형성되어 상기 제1 배선과 제2 배선을 전기적으로 절연시키는 더미절연막을 형성하는 단계와;Forming a dummy insulating film formed in a region where the first wiring and the second wiring cross each other to electrically insulate the first wiring and the second wiring; 상기 더미절연막 상에 형성되어 상기 제1 및 제2 배선 중 적어도 어느 하나를 전기적으로 연결시키는 제1 금속패턴을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.And forming a first metal pattern formed on the dummy insulating layer to electrically connect at least one of the first and second wires to each other. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 유기 전계발광어레이는The organic electroluminescent array is 제1 전극과;A first electrode; 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막과;An insulating film partially defining the light emitting area by partially exposing the first electrode; 상기 발광영역에 형성된 제2 전극을 포함하며,A second electrode formed in the light emitting area; 상기 더미절연막은 상기 절연막과 동일물질로 동시에 형성되고, 상기 제1 금속패턴은 상기 제2 전극과 동일물질로 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.And the dummy insulating film is formed of the same material as the insulating film and the first metal pattern is formed of the same material as the second electrode.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100717330B1 (en) * 2005-06-07 2007-05-15 엘지전자 주식회사 Aging method of electro luminescence display device
KR100786039B1 (en) * 2006-04-10 2007-12-17 네오뷰코오롱 주식회사 Mother board structure for manufacturing flat display panels and its manufacturing method
KR100853539B1 (en) * 2006-02-14 2008-08-21 삼성에스디아이 주식회사 Organic Electroluminescence Display Device
KR100864885B1 (en) * 2007-01-08 2008-10-22 삼성에스디아이 주식회사 Array substrate for organic light emitting diode display

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2795191B2 (en) * 1994-10-04 1998-09-10 株式会社デンソー Driving device for EL display device
JP2000221904A (en) 1999-02-01 2000-08-11 Fuji Electric Co Ltd Display device
JP4776812B2 (en) 2000-06-08 2011-09-21 株式会社半導体エネルギー研究所 Manufacturing method of semiconductor device
JP2003280025A (en) 2002-03-20 2003-10-02 Kyocera Corp Color liquid crystal display device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100717330B1 (en) * 2005-06-07 2007-05-15 엘지전자 주식회사 Aging method of electro luminescence display device
KR100853539B1 (en) * 2006-02-14 2008-08-21 삼성에스디아이 주식회사 Organic Electroluminescence Display Device
KR100786039B1 (en) * 2006-04-10 2007-12-17 네오뷰코오롱 주식회사 Mother board structure for manufacturing flat display panels and its manufacturing method
KR100864885B1 (en) * 2007-01-08 2008-10-22 삼성에스디아이 주식회사 Array substrate for organic light emitting diode display

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