KR20060006866A - 어닐 장치 및 어닐 방법 - Google Patents

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고로 후지타
다케시 미키
야스히토 다나카
데쓰히로 사카모토
가즈히코 후지이에
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소니 가부시끼 가이샤
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Abstract

본 발명은 광 대기 기록 매체에 대하여 어닐 처리를 행하는 어닐 장치이며, 레이저 광원(1)으로부터 출사된 광빔을 0차 회절 광속인 제1 광빔과, 1차 회절 광속인 제2 광빔 및 제3 광빔으로 분광하는 회절 광학부(3)와, 제1 광빔을 집광하여 안내홈 또는 안내홈의 양측을 이루는 랜드부의 자성층에 조사하고, 제2 광빔 및 제3 광빔을 집광하여 안내홈과 랜드부의 경계 근방 자성층에 조사하는 대물 렌즈(5)와, 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포에 따라 생성된 제1 트래킹 에러 신호의 선형 특성에 따라, 제1 광빔이 안내홈 또는 랜드부를 추종하도록 대물 렌즈(5)를 제어하는 2축 액추에이터(6)를 구비한다.
광자기 기록 매체, 어닐 처리, 레이저 광원, 자성층, 대물 렌즈.

Description

어닐 장치 및 어닐 방법 {ANNEALING DEVICE AND ANNEALING METHOD}
본 발명은 자기 초해상(MSR: Magnetically induced Super Resolution) 기술을 적용한 광자기 기록 매체에 관한 것이며, 보다 상세하게는, 자벽 이동 검출(DWDD: Domain Wall Displacement Detection) 방식을 적용한 광자기 기록 매체에 어닐 처리를 하는 어닐 장치 및 어닐 방법에 관한 것이다.
본 출원은 일본국에서 2003년 5월 21일에 출원된 일본 특허 출원 번호 2003-143872를 기초로 하여 우선권을 주장하는 것이며, 이 출원은 참조함으로써, 본 출원에 원용된다.
광자기 디스크는 선밀도(線密度) 방향의 기록 밀도를 높이는 초자기 해상(MSR: Magnetically induced Super Resolution) 기술을 사용함으로써, 재생 광 학계의 공간 주파수에 제한되지 않고 정보 기록 용량을 늘릴 수 있다. 특히, 자벽 이동 검출(DWDD: Domain Wall Displacement Detection) 방식은 가장 효과적으로 광자기 디스크의 기록 밀도를 높일 수 있는 방식이라고 생각되고 있다.
DWDD 방식의 광자기 디스크는 기록층과, 스위칭층과, 재생층으로 이루어지는 자성층을 구비하고 있다. 기록층에는, 재생광의 광빔 스폿 직경보다 작은 기록 마크가 기록되어 있고, 실온 상태에서는, 기록층의 기록 마크가 중간의 스위칭층을 통해 재생층에 교환 결합력에 의해 전사되고 있다.
재생광의 광빔 스폿을 정보가 기록된 트랙에 조사하면, 스위칭층의 퀴리 온도 이상의 영역에서는, 자화가 소멸되어 각층 사이에 작용하고 있던 교환 결합력이 해소된다. 교환 결합력이 해소되면, 재생층의 기록 마크를 형성하는 자구(磁區) 주위의 자벽이 이동하여 작은 기록 마크가 확대되기 때문에, 재생광에 의해 기록 마크를 재생할 수 있다.
DWDD 방식의 광자기 디스크는 정보를 기록하는 트랙(랜드) 옆의 자성체, 즉 안내홈(그루브)을 레이저 어닐 처리하여 수직 자기 이방성을 제거함으로써, 전술한 이동시키는 자벽을 랜드부와 수직 방향만으로 하고 있다. 이와 같이 레이저 어닐 처리를 하면, 일본국 특개평 6(1994)-290496호 공보에 기재된 바와 같이, 랜드부에 따른 자벽이 없으므로, 랜드부와 수직 방향의 자벽은 에너지의 변화없이 트랙 방향을 자유롭게 이동할 수 있다.
이 광자기 디스크에서의 수직 자기 이방성을 제거하기 위한 레이저 어닐 처리는 광자기 디스크의 제조 공정에서 성막 공정 후에 행해지는 매우 중요한 공정이다.
전술한 바와 같은 레이저 어닐 처리는 광자기 디스크의 자성층 모두에 대하여 행하지 않고, 안내홈만 1 디스크마다 행하기 때문에 매우 시간을 필요로 해 버린다.
또, 종래의 기술에서는, 광자기 디스크의 랜드에만 정보를 기록하고 있었지만, 더욱 대용량으로 하기 위해, 안내홈에도 정보를 기록하는 랜드/그루브 기록 방 식이 이용되고 있다.
따라서, 랜드/그루브 기록을 하는 광자기 디스크에서는, 레이저 어닐 처리를 하여 수직 자기 이방성을 제거할 필요가 있는 개소는 기록 트랙인 랜드와 그루브 경계 근방의 약간의 영역만이 되어 버린다. 이와 같은 좁은 영역을 정확하게 레이저 어닐 처리하는 것은 매우 곤란한 동시에, 제조 공정에서는 다대한 시간을 필요로 해 버린다.
본 발명의 목적은 종래의 기술이 가지는 문제점을 해소할 수 있는 신규의 어닐 장치 및 어닐 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 목적은 광자기 디스크의 제조 공정에서 실시되는 기록 트랙 사이의 수직 자기 이방성을 제거하는 레이저 어닐 처리를 정확 또한 단시간에 실행할 수 있는 어닐 장치 및 어닐 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은 광자기 기록 매체의 자성층을 어닐하는 어닐 장치로서, 소정 파장의 광빔을 출사하는 광원과, 광원으로부터 출사된 광빔을 0차 회절 광속인 제1 광빔과, 1차 회절 광속인 제2 광빔 및 제3 광빔으로 분광하는 동시에 제2 광빔 및 제3 광빔의 빔 출력을, 자성층을 어닐할 때 필요하게 되는 빔 출력으로 한 경우에, 제1 광빔의 빔 출력이 어닐할 때 필요하게 되는 빔 출력 이하가 되도록, 제1 광빔과 제2 광빔과 제3 광빔의 광량비를 조정하여 분광하는 회절 광학 수단과, 회절 광학 수단에 의해 분광된 제1 광빔을 집광하여, 광자기 기록 매체에 형성된 안내홈 또는 안내홈의 양측을 이루는 랜드부의 자성층에 조사하고, 제2 광빔 및 제3 광빔 을 집광하여, 안내홈과 랜드부의 경계 근방 자성층에 조사하는 조사 수단과, 안내홈의 자성층에 조사된 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포를 검출하는 제1 강도 분포 검출 수단과, 제1 강도 분포 검출 수단에 의해 검출된 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포에 따라, 제1 트래킹 에러 신호를 생성하는 제1 트래킹 에러 신호 생성 수단과, 제1 트래킹 에러 신호 생성 수단에 의해 생성된 제1 트래킹 에러 신호의 선형 특성에 따라, 제1 광빔이 안내홈 또는 랜드부를 추종하도록 조사 수단을 제어하는 제어 수단을 구비한다.
또, 본 발명은 광자기 기록 매체의 자성층을 어닐하는 어닐 방법으로서, 광원으로부터 출사된 광빔을 0차 회절 광속인 제1 광빔과, 1차 회절 광속인 제2 광빔 및 제3 광빔으로 분광하여 조사 수단에 입사하고, 조사 수단은 분광된 제1 광빔을 집광하여, 광자기 기록 매체에 형성된 안내홈 또는 안내홈의 양측을 이루는 랜드부의 자성층에 조사하고, 조사 수단은 분광된 제2 광빔 및 제3 광빔을 집광하여, 안내홈과 랜드부의 경계 근방 자성층에 조사하고, 안내홈의 자성층에 조사된 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포를 검출하고, 검출된 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포에 따라, 제1 트래킹 에러 신호를 생성하고, 생성된 제1 트래킹 에러 신호의 선형 특성에 따라, 제1 광빔이 안내홈 또는 랜드부를 추종하도록 상기 조사 수단을 제어한다.
본 발명의 또 다른 목적, 본 발명에 의해 얻어지는 구체적인 이점은 이하에서 도면을 참조하여 설명되는 실시예의 설명으로부터 한층 명백해질 것이다
도 1은 본 발명에 관한 레이저 어닐 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 2는 레이저 어닐 장치에서 레이저 어닐 처리가 행해지는 광자기 디스크의 구조를 나타낸 부분 단면도이다.
도 3은 레이저 어닐 장치가 구비하는 그레이팅(grating)을 나타낸 평면도이다.
도 4는 레이저 어닐 장치로부터 광자기 디스크에 조사하는 광빔의 빔 스폿을 나타낸 도면이다.
도 5는 레이저 어닐 장치로부터 광자기 디스크에 조사하는 광빔의 광량비를 나타낸 특성도이다.
도 6은 레이저 어닐 장치로부터 광자기 디스크에 조사하는 0차 회절 광속의 빔 스폿 직경을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 그루브의 폭과 랜드의 폭이 동일 비율인 광자기 디스크에 레이저 어닐 처리를 하는 모양을 나타낸 평면도이다.
도 8은 그루브의 폭과 랜드의 폭이 상이한 비율인 광자기 디스크에 레이저 어닐 처리를 하는 모양을 나타낸 평면도이다.
도 9는 그레이팅 조정을 설명하기 위해 사용하는 도면이다.
이하, 본 발명에 관한 어닐 장치 및 어닐 방법을 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
먼저, 본 발명에 관한 레이저 어닐 장치(20)를 도 1을 참조하여 설명하면, 이 레이저 어닐 장치(20)는 스핀들 모터(21)와 일체가 되어 회전하는 도시하지 않은 턴테이블 상에 탑재된 광자기 디스크(30)의 소정 영역을 레이저 어닐 처리한다.
여기에서, 본 발명에 관한 레이저 어닐 장치(20)에 의해 레이저 어닐 처리되는 광자기 디스크(30)에 대하여 설명한다.
광자기 디스크(30)는 도 2에 나타낸 바와 같이 안내홈(이하, 그루브라고 함)이 형성된 스탬퍼를 사용하여 사출 성형된 폴리카포네이트제의 기판(30a) 상에, 유전체층(30b), 재생층(30c), 컨트롤층(30d), 스위칭층(30e), 기록층(30f), 유전체층(30g)이 차례로 스퍼터링되어 성막되고 있다. 유전체층(30g)의 상층에는, 다시 자외선 경화 수지(30h)가 도포되어 있다.
레이저 어닐 장치(20)에 의한 레이저 어닐 처리는 자외선 경화 수지(30h)가 도포되기 전단계에서 실행된다.
광자기 디스크(30)는 기록 용량을 증가시키기 위해 랜드 외에 그루브에도 데이터를 기록하는 랜드/그루브 기록이 적용된다. 따라서, 본 발명에 관한 레이저 어닐 장치(20)에 의해, 수직 자기 이방성을 제거하기 위해 레이저 어닐 처리를 하는 영역은 랜드와 그루브의 경계 근방에 있는 약간의 영역이다. 이하의 설명에서는, 레이저 어닐 장치(20)에 의해 레이저 어닐 처리를 하는 광자기 디스크(30)의 랜드와 그루브의 경계 근방에 있는 약간의 영역을 슬로프라고 칭한다. 레이저 어닐 장치(20)는 광자기 디스크(30)의, 이 슬로프를 정확하게 레이저 어닐 처리하기 위해 랜드 또는 그루브에 따른 트래킹 제어를 실행하게 된다.
레이저 어닐 장치(20)에 의한 레이저 어닐 처리에서는, 광자기 디스크(30)의 기판(30a)과는 역(逆)의 유전체층(30g)측으로부터 레이저 어닐용 광빔을 조사한다. 따라서, 광자기 디스크(30)는 레이저 어닐 장치(20)의 도시하지 않은 턴테이블 상에 탑재하는 데 있어서, 기판(30a)을 상면으로 하여 탑재된다.|
본 발명에 관한 레이저 어닐 장치(20)를 도 1을 참조하여 구체적으로 설명하면, 이 레이저 어닐 장치(20)는 도시하지 않은 턴테이블이나, 스핀들 모터(21) 외에, 레이저 광원(1)으로부터 출사되는 레이저 빔으로부터 복수 개의 광학 부품을 통해 트래킹 제어용 광빔과, 레이저 어닐용 광빔을 생성하여 광자기 디스크(30)에 조사하는 광 픽업(10)을 구비하고 있다.
또, 레이저 어닐 장치(20)는 광자기 디스크(30)에 조사한 트래킹 제어용 광빔의 귀환광으로부터 검출되는 트래킹 에러 신호에 따라, 광 픽업(10)의 트래킹 제어를 하는 트래킹 서보계와, 레이저 광원(1)으로부터 출사되는 레이저 빔을 트래킹 제어용 광빔 및 레이저 어닐용 광빔으로 분광하는 그레이팅(3)의 각도를 조정하는 그레이팅 조정계를 구비하고 있다.
먼저, 레이저 어닐 장치(20)의 광 픽업(10)에 대하여 설명한다. 광 픽업(10)은 레이저 광원(1)과, 콜리메이터 렌즈(2)와, 그레이팅(3)과, 빔 스플리터(4)와, 대물 렌즈(5)와, 2축 액추에이터(6)와, 집광 렌즈(7)와, 포토디텍터(8)를 구비하고 있다.
레이저 광원(1)은 소정 파장의 레이저 빔을 발진하여 후단의 콜리메이터 렌즈(2)에 출사한다.
광 픽업(10)으로부터 광자기 디스크(30)에 조사하는 레이저 어닐용 광빔은 정보를 기록하는 랜드나, 그루브와 비교하여 미소한 영역에의 조사가 요구되기 때문에, 광자기 디스크(30)에 조사하는 광빔의 스폿 직경은 기록 재생할 때 광자기 디스크(30)에 조사하는 광빔의 스폿 직경보다 작게 할 필요가 있다. 따라서, 광자기 디스크(30)에 대한 정보 신호의 기록 재생을 행하기 위해 사용하는 레이저 빔의 파장을 650nm로 하면, 이 레이저 광원(1)에는, 예를 들면, 405nm 정도의 기록 재생에 사용하는 레이저 빔보다 짧은 파장의 레이저 빔을 발진하는 것으로 한다.
콜리메이터 렌즈(2)는 레이저 광원(1)의 후단에 배치되어, 레이저 광원(1)으로부터 출사된 레이저 빔을 소정 빔 직경의 평행 광속으로 하여 그레이팅(3)에 출사한다.
그레이팅(3)은 콜리메이터 렌즈(2)로부터 출사된 광빔을 3개의 광빔으로 분광하는 회절 격자이다. 그레이팅(3)은 도 3에 나타낸 바와 같이, 반경이 a인 원(3a)으로부터, 동심원인 반경 b의 원(3b)을 제거하여 생기는 영역 S가 격자 구조로 되어 있는 회절 격자이다. 그레이팅(3)의 원(3a)의 영역은 투명하게 되어 있고, 콜리메이터 렌즈(2)로부터 출사된 광빔의 일부가 투과하도록 되어 있다.
콜리메이터 렌즈(2)로부터, 이와 같은 그레이팅(3)에 출사된 광빔은 1개의 0차 회절 광속과, 2개의 1차 회절 광속으로 분광된다. 분광된 0차 회절 광속은 광자기 디스크(30)의 랜드 R 또는 그루브 G에 조사되어 트래킹 제어에 이용되는 광빔(이하, 메인 광빔 Lm이라고 함)이다. 한편, 분광된 2개의 1차 회절 광속은 광자기 디스크(30)의 슬로프 S에 조사되어 레이저 어닐 처리에 이용되는 광빔(이하, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2라고 함)이다.
그레이팅(3)에 의해 분광된 메인 광빔, 제1 서브 광빔, 제2 서브 광빔은 광자기 디스크(30)에, 후술하는 집광 렌즈(7)를 통해 도 4에 나타낸 바와 같이 조사되게 된다.
메인 광빔 Lm과, 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2의 광량 관계를 도 5에 나타낸다. 도 5 중 A는 메인 광빔 Lm의 광량의 강도 분포이며, B는 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2의 광량의 강도 분포이다. 메인 광빔 Lm과, 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2의 광량비는 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2가 레이저 어닐 처리를 하는 데 충분한 광량이 되도록 레이저 파워를 설정했을 때, 메인 광빔 Lm의 광량이 그것을 넘지 않는 광량비가 된다. 이 메인 광빔 Lm과, 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2의 광량비는 그레이팅(3)의 회절 격자의 격자 홈 깊이에 의해 결정되기 때문에, 그레이팅(3)은 전술한 광량비가 되도록 격자 홈의 깊이가 설계된다.
다음에, 메인 광빔 Lm, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2의 빔 스폿 직경에 대하여 설명한다. 도 4에 나타낸 바와 같이 메인 광빔 Lm의 빔 스폿 직경은 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2의 빔 스폿 직경과 비교하여 큰 빔 스폿 직경으로 되어 있다.
전술한 바와 같이, 레이저 어닐 장치(20)에서 레이저 어닐 처리하는 광자기 디스크(30)의 스폿은 랜드 R이나 그루브 G에 비해 매우 좁은 영역이기 때문에, 조사하는 광빔의 빔 스폿을 작게 하기 위해 레이저 광원(1)으로부터 출사되는 레이저 빔의 파장은 기록 재생에 사용하는 레이저 빔의 파장보다 짧아지고 있다. 또, 후술하는 바와 같이 대물 렌즈의 NA도 동일 이유 때문에 기록 재생용 광 픽업에서 사 용하는 대물 렌즈보다 높은 NA의 렌즈가 사용되고 있다. 이에 따라, 그레이팅(3)에서 분광된 제1 및 제2 서브 광빔의 빔 스폿 직경은 광자기 디스크(30)의 슬로프 영역을 넘어 레이저 어닐 처리를 하지 않는 크기가 된다.
그러나, 그레이팅(3)에서 분광된 광빔 중, 메인 광빔 Lm을 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2의 빔 스폿 직경과 동일 크기의 빔 스폿 직경으로 하면, 트래킹 에러 신호인 푸시풀 신호에 고조파 성분이 생겨 버려, 제어 목표 위치인 기록 트랙의 중심에서 트래킹 에러 신호의 선형성을 유지할 수 없게 되어 버린다. 그리고, 여기에서, 기록 트랙의 중심은 랜드/그루브 기록이므로 랜드 및 그루브의 중심 위치가 된다.
도 6 중의 a로 이상적인 트래킹 에러 신호를 나타내고, b로 메인 광빔 Lm의 빔 스폿 직경을 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2와 동일 빔 스폿 직경으로 한 경우에 취득되는 트래킹 에러 신호를 나타낸다. 도 6 중의 b에 나타낸 바와 같이, 트래킹 에러 신호의 제어 목표 위치인 기록 트랙의 중심 근방에서는, 안부(鞍部) E가 발생하여 선형성이 소실되어 있다. 이와 같은 트래킹 에러 신호에서는, 정확하게 트래킹 서보를 걸 수 없다. 그래서, 도 6 중의 a에 나타낸 바와 같이 제어 목표 위치에서 선형성이 있는 트래킹 에러 신호를 얻기 위해, 메인 광빔의 빔 스폿 직경을 랜드 또는 그루브의 폭에 준해, 제1 및 제2 서브 광빔 Ls1, Ls2의 빔 스폿 직경보다 크게 한다.
메인 광빔 Lm의 빔 스폿 직경은 도 3에 나타낸 그레이팅(3)의 원(3b)의 반경 b에 의해 조절할 수 있기 때문에, 그레이팅(3)의 설계 단계에서 조절이 행해진다.
그레이팅(3)에서 분광된 메인 광빔 Lm, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2는 빔 스플리터(4)에 입사된다.
다시, 도 1로 되돌아가 광 픽업(10)의 설명을 계속한다. 빔 스플리터(4)는 그레이팅(3)의 후단에 배치되고, 그레이팅(3)으로부터 출사되는 메인 광빔 Lm, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2를 투과하여 대물 렌즈(5)에 입사한다. 또, 빔 스플리터(4)는 광자기 디스크(30)에 대물 렌즈(5)를 통해 출사된 메인 광빔 Lm, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2의 귀환광을 각각 집광 렌즈(7)를 향해 반사한다.
대물 렌즈(5)는 빔 스플리터(4)에서 투과된 메인 광빔 Lm, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2를 각각 집광하여 광자기 디스크(30)에 조사한다. 또, 대물 렌즈(5)는 2축 액추에이터(6)에 의해 트래킹 방향, 포커스 방향으로 구동 변위된다.
집광 렌즈(7)는 대물 렌즈(5)를 통해 빔 스플리터(4)에서 반사된 메인 광빔 Lm, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2의 귀환광을 각각 포토디텍터(8)에 집광한다. 대물 렌즈(5)의 NA는 전술한 이유 때문에 기록 재생용 광빔을 출사하는 광 픽업에서 이용되는 집광 렌즈의 NA보다 높게 한다. 대물 렌즈(5)의 NA는, 예를 들면, NA = 0.85이다.
포토디텍터(8)는 광전 변환 소자이며, 집광 렌즈(7)에서 각각 집광된 메인 광빔 Lm의 귀환광, 제1 서브 광빔 Ls1의 귀환광, 제2 서브 광빔 Ls2의 귀환광을 수광하여, 광량의 강도 분포를 전류값으로서 검출한다. 포토디텍터(8)는, 예를 들 면, 메인 광빔 Lm의 귀환광, 제1 서브 광빔 Ls1의 귀환광, 제2 서브 광빔 Ls2의 귀환광 광량의 강도 분포를 각각 검출하는 3개의 4분할 디텍터로 구성되어 있다.
포토디텍터(8)는 4분할 디텍터에서 각각 검출된 메인 광빔 Lm의 귀환광 광량의 강도 분포로부터 메인 푸시풀 신호를 산출하고, 제1 서브 광빔 Ls1, 제2 서브 광빔 Ls2의 귀환광 광량의 강도 분포로부터 각각 제1 서브 푸시풀 신호, 제2 서브 푸시풀 신호를 산출한다.
포토디텍터(8)에서 산출된 메인 푸시풀 신호, 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호는 후술하는 트래킹 서보계에 공급되고, 특히, 메인 푸시풀 신호는 트래킹 제어에서의 트래킹 에러 신호로서 이용된다.
계속해서, 전술한 광 픽업(10)의 트래킹 제어를 하는 트래킹 서보계에 대하여 설명한다.
트래킹 서보계는 전류·전압(I-V) 변환부(11)와, 매트릭스(12)와, 위상 보상 회로(13)와, 2축 액추에이터 구동 회로(14)를 구비하고 있다.
전류·전압(I-V) 변환부(11)는 포토디텍터(8)로부터 공급되는 메인 푸시풀 신호, 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호를 전압값으로 변환하여 매트릭스(12)에 공급한다.
매트릭스(12)는 전류·전압(I-V) 변환부(11)로부터 공급된 메인 푸시풀 신호, 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호를 각각 위상 보상 회로(13)와, 후술하는 그레이팅 조정계의 최적각(最適角) 검출부(15)에 공급한다.
위상 보상 회로(13)는 트래킹 서보계에 있어서의 위상의 지연을 개선하기 위 한 회로이며, 매트릭스(12)로부터 공급된 메인 푸시풀 신호의 전압값 위상의 지연을 진행시켜 2축 액추에이터 구동 회로(14)에 공급한다.
2축 액추에이터 구동 회로(14)는 위상 보상 회로(13)로부터 공급되는 위상 보상 후의 메인 푸시풀 신호의 전압값을 2축 액추에이터(6)에 공급하여 2축 액추에이터(6)를 구동한다.
이와 같은 레이저 어닐 장치(20)는 광 픽업(10)으로부터 광자기 디스크(30)의 그루브 G 또는 랜드 R에 조사한 메인 광빔 Lm의 귀환광으로부터 검출된 메인 푸시풀 신호에 따라, 트래킹 서보계에 의해 광 픽업(10)의 대물 렌즈(5)를 트랙 방향으로 트래킹 제어함으로써, 그레이팅(3)에서 분광된 제1 서브 광빔 Ls1 및 제2 서브 광빔 Ls2를 광자기 디스크(30)의 슬로프 S에 각각 정확하게 조사할 수 있다.
계속해서, 그레이팅 조정계에 대하여 설명한다. 그레이팅 조정계는 최적각 검출부(15)와, 그레이팅 회전 구동부(16)와, 모터(17)를 구비하고 있고, 매트릭스(12)로부터 공급되는 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호에 따라, 그레이팅(3)을, 당해 그레이팅(3)에 레이저 광원(1)으로부터 출사되는 레이저 빔의 광축을 회전 중심으로 하여 소정 각도만큼 회전시켜, 그레이팅(3)에서 분광된 제1 서브 광빔 Ls1 및 제2 서브 광빔 Ls2의 광자기 디스크(30)에의 조사 위치 설정을 변경한다.
먼저, 그레이팅 조정계에 의해, 제1 서브 광빔 Ls1 및 제2 서브 광빔 Ls2의 광자기 디스크(30)에의 조사 위치 설정을 변경하는 이유에 대하여 설명한다.
광자기 디스크(30)에 형성되는 그루브 G의 폭은 그루브 G를 형성함으로써 생 기는 랜드 R의 폭과 아주 동일하다고는 한정하지 않는다.
예를 들면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 광자기 디스크(30)에 형성하는 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭을 1 : 1(듀티비 50% : 50%)이 되도록 하는 것도 있으면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 그루브의 폭과 랜드의 폭이 3 : 2(듀티비 60% : 40%)가 되도록 하는 것도 있다. 이와 같이, 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭은 제조하는 광자기 디스크(30)에 의해 상이하다.
도 7에 나타낸 바와 같이 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭이, 대략 1 : 1의 관계인 경우에, 레이저 어닐 장치(20)는 그레이팅(3)에 의해 분광된 제1 서브 광빔 Ls1 및 제2 서브 광빔 Ls2에 의해, 광자기 디스크(30)의 그루브 G와 랜드 R의 경계인 슬로프 S를 정확하게 레이저 어닐 처리할 수 있는 것으로 한다.
이 때 레이저 어닐 장치(20)의 설정을 바꾸지 않고, 도 8에 나타낸 바와 같이 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭이 대략 3 : 2의 관계인 광자기 디스크(30)를 레이저 어닐 처리한 경우, 그레이팅(3)에 의해 분광된 제1 서브 광빔 Ls1 및 제2 서브 광빔 Ls2는 슬로프 S에 조사되지 않고, 그루브 G 상을 레이저 어닐 처리해 버리게 된다.
이와 같이, 광자기 디스크(30)에 형성되는 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭과의 비율이 상이한 경우, 그레이팅(3)을 광축을 중심으로 회전시킴으로써 조정할 수 있다.
예를 들면, 전술한 바와 같이 광자기 디스크(30)의 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭이 1 : 1인 경우에, 제1 서브 광빔 Ls1와 제2 서브 광빔 Ls2의 슬로프 S에 조 사하도록 그레이팅(3)이 설정되어 있는 것으로 한다. 이와 같이 레이저 어닐 장치(20)의 그레이팅(3)이 설정되어 있는 경우에, 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭이 3 : 2인 광자기 디스크(30)의 슬로프 S에 제1 서브 광빔 Ls1과 제2 서브 광빔 Ls2를 조사시키려면, 그레이팅(3)을 광축을 중심으로 소정 각도만큼 회전시켜 다시 설정함으로써 해결할 수 있다.
구체적으로는, 그레이팅 조정계는 최적각 검출부(15)에 의해, 매트릭스(12)로부터 공급되는 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호를 참조하여, 광축을 중심으로 그레이팅(3)을 얼마만큼의 각도 회전시킬까를 결정하고, 그레이팅 회전 구동부(16)에 의해, 최적각 검출부(15)에서 검출된 최적각에 따라 모터(17)를 구동 제어하여 그레이팅(3)의 각도를 최적으로 한다.
도 9 중의 (a), (b), (c)에 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭과의 비율이 동일한 광자기 디스크(30)로부터 취득된 메인 푸시풀 신호, 제1 서브 푸시풀 신호, 제2 서브 푸시풀 신호를 각각 실선으로 나타낸다. 또, 도 9 중의 (b) 및 (c)에 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭과의 비율이 상이한 광자기 디스크(30)로부터 취득된 제1 서브 푸시풀 신호, 제2 서브 푸시풀 신호를 각각 점선으로 나타낸다.
도 9 중의 (b) 및 (c)에 실선으로 나타낸 바와 같이, 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호는 트래킹 제어에서의 제어 목표 위치, 즉 그루브 및 랜드의 중심 위치에서 최대값, 최소값을 나타낸다. 또, 도 9 중의 (b) 및 (c)에 점선으로 나타낸 바와 같이, 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호는 레이저 어닐 장치(20)의 그레이팅(3) 각도를 최적으로 조정하고 있지 않기 때문에, 그 최 대값과 최소값이 그루브 G, 랜드 R의 중심 위치로부터 어긋나 있는 것을 알 수 있다.
따라서, 최적각 검출부(15)는 매트릭스(12)로부터 공급되는 제1 서브 푸시풀 신호 및 제2 서브 푸시풀 신호를 참조하여, 그루브 G, 랜드 R의 중심 위치에서 최대값, 최소값이 되도록 그레이팅(3)을 회전시켜 최적각을 결정한다.
전술한 바와 같이, 레이저 어닐 장치(20)에서는, 그레이팅 조정계에 의해, 레이저 어닐 처리를 하는 광빔인 제1 서브 광빔 Ls1 및 제2 서브 광빔 Ls2의 조사 위치를 조정할 수 있기 때문에, 광자기 디스크(30)의 슬로프 S 이외의 부분에 제1 서브 광빔 Ls1 및 제2 서브 광빔 Ls2를 조사시킬 수 있다.
예를 들면, 광자기 디스크(30)의 슬로프 S뿐만 아니라 그루브 G 및 랜드 R도 약간 레이저 어닐 처리를 한 쪽이, 광자기 디스크(30)의 특성이 좋아질 가능성이 있는 경우 등, 그레이팅 조정계에 의해, 제1 푸시풀 신호 및 제2 푸시풀 신호의 최대값, 최소값을 참조하여 그레이팅(3)을 광축 중심으로 회전시켜 조정함으로써 대응할 수 있다.
이 그레이팅 조정계에 의한 그레이팅(3) 조정은 레이저 어닐 장치(20)에서 레이저 어닐 처리할 때 최초로 행해지는 조작이다. 광자기 디스크(30)의 그루브 G의 폭과 랜드 R의 폭과의 비율은 스탬퍼에 의해 결정되기 때문에, 광자기 디스크(30)의 제조 프로세스에서, 스탬퍼에 변경이 있는 경우만, 그레이팅 조정계에 의한 그레이팅(3)의 각도 조정이 실행된다.
그리고, 본 발명은 도면을 참조하여 설명한 전술한 실시예에 한정되지 않고, 첨부한 청구의 범위 및 그 주지를 일탈하지 않고, 여러 가지의 변경, 치환 또는 그 동등한 것을 행할 수 있는 당업자에 있어서 명백하다.
전술한 바와 같이, 본 발명은 분광된 0차 회절 광속을 트래킹 제어용 광빔으로 하고, 2개의 1차 회절 광속을 어닐 처리용 광빔으로 하고, 광자기 기록 매체에 조사된 0차 회절 광속의 귀환광으로부터 트래킹 에러 신호를 생성하여, 광자기 기록 매체의 안내홈 또는 랜드부를 추종하도록 트래킹 제어한다. 안내홈 또는 랜드부를 추종하도록 트래킹 제어함으로써, 회절 광학 수단에 의해 분광된 2개의 1차 회절 광속은 광자기 기록 매체의 안내홈과 랜드부의 경계 근방 자성층에 조사되어 어닐 처리가 이루어진다.
이에 따라, 트래킹 제어하면서, 동시에 2개의 레이저 어닐용 광빔으로 원하는 영역을 어닐 처리할 수 있으므로, 정확 또한 고속의 어닐 처리를 할 수 있다. 따라서, 광자기 기록 매체의 제조 공정이 단축되기 때문에, 기록 용량이 매우 높은 광자기 기록 매체를 저비용으로 제공하는 것을 가능하게 한다.
또, 광원으로부터 회절 광학 수단에 입사되는 광빔의 광축을 회전 중심으로 하여, 회절 격자를 회전시킴으로써, 광자기 기록 매체에 조사하는 제2 광빔 및 제3 광빔의 조사 위치를 변경할 수 있기 때문에, 안내홈과 랜드부의 비율이 어떠한 비율로 되어 있어도 정확하게 어닐 처리하는 것이 가능하게 된다.

Claims (14)

  1. 광자기 기록 매체의 자성층을 어닐하는 어닐 장치로서,
    소정 파장의 광빔을 출사하는 광원과,
    상기 광원으로부터 출사된 광빔을 0차 회절 광속(回折光束)인 제1 광빔과, 1차 회절 광속인 제2 광빔 및 제3 광빔으로 분광하는 동시에 상기 제2 광빔 및 제3 광빔의 빔 출력을, 상기 자성층을 어닐할 때 필요하게 되는 빔 출력으로 한 경우에, 상기 제1 광빔의 빔 출력이 상기 어닐할 때 필요하게 되는 빔 출력 이하가 되도록, 상기 제1 광빔과 상기 제2 광빔과 제3 광빔의 광량비를 조정하여 분광하는 회절 광학 수단과,
    상기 회절 광학 수단에 의해 분광된 상기 제1 광빔을 집광하여, 상기 광자기 기록 매체에 형성된 안내홈 또는 상기 안내홈의 양측을 이루는 랜드부의 자성층에 조사(照射)하고, 상기 제2 광빔 및 상기 제3 광빔을 집광하여 상기 안내홈과, 상기 랜드부의 경계 근방 자성층에 조사하는 조사 수단과,
    상기 안내홈의 자성층에 조사된 상기 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포를 검출하는 제1 강도 분포 검출 수단과,
    상기 제1 강도 분포 검출 수단에 의해 검출된 상기 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포에 따라, 제1 트래킹 에러 신호를 생성하는 제1 트래킹 에러 신호 생성 수단과,
    상기 제1 트래킹 에러 신호 생성 수단에 의해 생성된 제1 트래킹 에러 신호 의 선형(線形) 특성에 따라, 상기 제1 광빔이 상기 안내홈 또는 상기 랜드부를 추종하도록 상기 조사 수단을 제어하는 제어 수단
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 어닐 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회절 광학 수단에 의해 분광되는 상기 제1 광빔의 빔 직경은 상기 트래킹 에러 신호 생성 수단에 의해 생성되는 트래킹 에러 신호의 선형성을 유지하는 크기인 것을 특징으로 하는 어닐 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 광빔 및 상기 제3 광빔의 빔 직경은 상기 제1 광빔의 빔 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 어닐 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광빔 및 상기 제3 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포를 각각 검출하는 제2 강도 분포 검출 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 어닐 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 강도 분포 검출 수단에 의해 검출된 상기 제2 광빔 및 제3 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포에 따라, 제2 트래킹 에러 신호 및 제3 트래킹 에러 신호 를 생성하는 제2 트래킹 에러 신호 생성 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 어닐 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 회절 광학 수단을, 상기 광원으로부터 상기 회절 광학 수단에 출사되는 상기 광빔의 광축을 회전 중심으로 하여 회전시키는 회전 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 어닐 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 회전 수단에 의해 상기 회절 광학 수단을 회전시킨 각도에 의해 변화하는 상기 제2 트래킹 에러 신호 및 상기 제3 트래킹 에러 신호 각각의 최대값 및 최소값을 참조하고, 상기 제1 트래킹 에러 신호의 선형 특성에 따른 제어 수단에 의한 제어에 의해, 상기 조사 수단이 상기 안내홈 또는 상기 랜드부를 추종하고 있을 때의 상기 제2 광빔 및 제3 광빔의 상기 광자기 기록 매체에의 조사 위치를 결정하는 조사 위치 결정 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 어닐 장치.
  8. 광자기 기록 매체의 자성층을 어닐하는 어닐 방법으로서,
    광원으로부터 출사된 광빔을 0차 회절 광속인 제1 광빔과, 1차 회절 광속인 제2 광빔 및 제3 광빔으로 분광하여 조사 수단에 입사하고,
    상기 조사 수단은 분광된 상기 제1 광빔을 집광하여, 상기 광자기 기록 매체 에 형성된 안내홈 또는 상기 안내홈의 양측을 이루는 랜드부의 자성층에 조사하고,
    상기 조사 수단은 분광된 상기 제2 광빔 및 상기 제3 광빔을 집광하여 상기 안내홈과, 상기 랜드부의 경계 근방 자성층에 조사하고,
    상기 안내홈의 자성층에 조사된 상기 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포를 검출하고,
    상기 검출된 상기 제1 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포에 따라, 제1 트래킹 에러 신호를 생성하고,
    상기 생성된 제1 트래킹 에러 신호의 선형 특성에 따라, 상기 제1 광빔이 상기 안내홈 또는 상기 랜드부를 추종하도록 상기 조사 수단을 제어하는
    것을 특징으로 하는 어닐 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 분광된 상기 제1 광빔의 빔 직경은 상기 트래킹 에러 신호의 선형성을 유지하는 크기인 것을 특징으로 하는 어닐 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 및 제3 광빔의 빔 직경은 상기 제1 광빔의 빔 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 어닐 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 제2 광빔 및 상기 제3 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포를 추가로 검출하는 것을 특징으로 하는 어닐 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제2 광빔 및 상기 제3 광빔의 귀환광 광량의 강도 분포에 따라, 제2 트래킹 에러 신호 및 제3 트래킹 에러 신호를 추가로 생성하는 것을 특징으로 하는 어닐 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 광원으로부터 출사되고 상기 제1, 제2 및 제3 광빔이 분광되어 출사되는 상기 광빔의 광축을 회전 중심으로 하여 회전시키는 것을 특징으로 하는 어닐 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 광빔의 회전에 의해 회절 광학 수단을 회전시킨 각도에 의해 변화하는 상기 제2 트래킹 에러 신호 및 제3 트래킹 에러 신호 각각의 최대값 및 최소값을 참조하고, 상기 제1 트래킹 에러 신호의 선형 특성에 따른 제어에 의해, 상기 조사 수단이 상기 안내홈 또는 랜드부를 추종하고 있을 때의 상기 제2 광빔 및 제3 광빔의 상기 광자기 기록 매체에의 조사 위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 어닐 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101010600B1 (ko) * 2008-07-31 2011-01-24 주식회사 이오테크닉스 회절광학소자를 이용한 레이저 가공 장치

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7820936B2 (en) * 2004-07-02 2010-10-26 Boston Scientific Scimed, Inc. Method and apparatus for controlling and adjusting the intensity profile of a laser beam employed in a laser welder for welding polymeric and metallic components
CN101073118A (zh) * 2004-12-03 2007-11-14 富士通株式会社 光学存储介质、光学存储介质的制造方法以及光学存储装置
CN101034665B (zh) * 2007-04-13 2011-08-03 友达光电股份有限公司 激光退火装置及激光退火方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002319201A (ja) * 2001-04-19 2002-10-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光ディスク熱処理装置
JP2003317336A (ja) * 2002-04-24 2003-11-07 Canon Inc 光磁気記録媒体、および、その製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101010600B1 (ko) * 2008-07-31 2011-01-24 주식회사 이오테크닉스 회절광학소자를 이용한 레이저 가공 장치

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