KR20060002989A - 전기 계전기 및 스위칭 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 전기 계전기는 도전성 액체(126)를 지지하는 두 개의 습윤성 전기 접촉부(118, 120)를 포함한다. 비습윤성 스위치 핑거(114)는 액츄에이터(130, 132 또는 140)의 작동에 의해 전기 접촉부들 사이의 제 1 위치 및 제 2 위치 사이에서 이동한다. 제 1 위치에서, 스위치 핑거는 도전성 액체(126)가 접촉부(118, 120) 사이의 갭을 브리지하도록 허용하여 이들 접촉부 사이에 전기 회로를 완성한다. 제 2 위치에서, 스위치 핑거는 도전성 액체를 두 볼륨으로 분리시켜 접촉부들 간의 전기 회로를 차단한다. 스위치 핑거는 압전 소자(130, 132 또는 140)의 작용에 의해 편향되거나 휘어지는 빔(112)의 자유단에 위치할 수도 있다.
Description
본 출원은 하기의 미국 특허 출원과 관련이 있는데, 이들 특허 출원은 하기 열거된 식별자로 표시되어 있고, 문자 숫자 순서로 정렬되어 있으며, 소유권이 본 출원인에게 있고, 어느 정도까지는 본 출원과 관련이 있으며, 참조로서 본 명세서에 포함된다.
출원 10010448-1, 발명의 명칭 "Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Switch", 2002년 5월 2일 출원, 특허 출원번호 제 10/137,691 호.
출원 10010529-1, 발명의 명칭 "Bending Mode Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010531-1, 발명의 명칭 "High Frequency Bending Mode Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010570-1, 발명의 명칭 "Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Switch", 2002년 5월 2일 출원, 특허 출원번호 제 10/142,076 호;
출원 10010571-1, 발명의 명칭 "High-frequency, Liquid Metal, Latching Relay with Face Contact", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010572-1, 발명의 명칭 "Liquid Metal, Latching Relay with Face Contact", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010573-1, 발명의 명칭 "Insertion Type Liquid Metal Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
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출원 10010618-1, 발명의 명칭 "Insertion Type Liquid Metal Latching Relay Array", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010634-1, 발명의 명칭 "Liquid Metal Optical Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010640-1, 발명의 명칭 "A Longitudinal Piezoelectric Optical Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음. 2001년 10월 31일 출원, 미국 특허출원 제 09/999,590 호;
출원 10010643-1, 발명의 명칭 "Shear Mode Liquid Metal Switch", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010644-1, 발명의 명칭 "Bending Mode Liquid Metal Switch", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010656-1, 발명의 명칭 "A Longitudinal Mode Optical Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010663-1, 발명의 명칭 "Method and Structure for a Pusher-Mode Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Switch", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010664-1, 발명의 명칭 "Method and Structure for a Pusher-Mode Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Optical Switch", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10010790-1,. 발명의 명칭 "Switch and Production Thereof", 2002년 12월 12일 출원, 미국 특허출원 제 10/317, 597 호;
출원 10011055-1, 발명의 명칭 "High Frequency Latching Relay with Bending Switch Bar", 본 출원과 동일자로 출원했음.
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출원 10011064-1, 발명의 명칭 "High Frequency Push-mode Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10011065-1, 발명의 명칭 "Push-mode Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10011121-1, 발명의 명칭 "Closed Loop Piezoelectric Pump", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10011329-1, 발명의 명칭 "Solid Slug Longitudinal Piezoelectric Latching Relay", 2002년 5월 2일 출원, 미국 특허출원 제 10/137,692 호;
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출원 10011345-1, 발명의 명칭 "Method and Structure for a Slug Assisted Longitudinal Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Optical Switch", 본 출원과 동일자로 출원했음.
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출원 10011459-1, 발명의 명칭 "Damped Longitudinal Mode Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10020013-1, 발명의 명칭 "Switch and Method for Producing the Same", 2002년 12월 12일 출원, 미국 특허출원 제 10/317,963 호;
출원 10020027-1, 발명의 명칭 "Piezoelectric Optical Relay", 2002년 3월 28일 출원, 미국 특허출원 제 10/109, 309 호;
출원 10020071-1, 발명의 명칭 "Electrically Isolated Liquid Metal Micro- Switches for Integrally Shielded Microcircuits", 2002년 10월 8일 출원, 미국 특허출원 제 10/266,872 호;
출원 10020073-1, 발명의 명칭 "Piezoelectric Optical Demultiplexing Switch", 2002년 4월 10일 출원, 미국 특허출원 제 10/119,503 호;
출원 제 10020162-1, 발명의 명칭 "Volume Adjustment Apparatus and Method for Use", 2002년 12월 12일 출원, 미국 특허출원 제 10/317,293 호;
출원 10020241-1, 발명의 명칭 "Method and Apparatus for Maintaining a Liquid Metal Switch in a Ready-to-Switch Condition", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10020242-1, 발명의 명칭 "A Longitudinal Mode Solid Slug Optical Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10020473-1, 발명의 명칭 "Reflecting Wedge Optical Wavelength Multiplexer/Demultiplexer", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10020540-1, 발명의 명칭 "Method and Structure for a Solid Slug Caterpillar Piezoelectric Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10020541-1, 발명의 명칭 "Method and Structure for a Solid Slug Caterpillar Piezoelectric Optical Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10030440-1, 발명의 명칭 "Wetting Finger Liquid Metal Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10030521-1, 발명의 명칭 "Pressure Actuated Optical Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10030522-1, 발명의 명칭 "Pressure Actuated Solid Slug Optical Latching Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
출원 10030546-1, 발명의 명칭 "Method and Structure for a Slug Caterpillar Piezoelectric Reflective Optical Relay", 본 출원과 동일자로 출원했음.
본 발명은 전자 스위치용 마이크로 전자 기계 시스템(MEMS; micro-electromechanical system) 분야에 관한 것으로, 특히 가동 액체 금속 계전기에 관한 것이다.
수은과 같은 액체 금속은 두 도체 사이의 전기 경로를 제공하기 위한 전기 스위치에 사용되어 왔다. 그 일례로는 수은 서머스탯(thermostat) 스위치가 있는데, 여기서는 바이메탈 스트립 코일이 온도에 반응하여 수은을 포함하고 있는 긴 공동의 각을 변경시킨다. 공동 내의 수은은 높은 표면 장력으로 인해 하나의 방울을 형성한다. 중력은 공동의 각도에 따라서, 수은 방울을 전기 접촉부를 포함하는 공동의 단부 또는 반대쪽 단부로 이동시킨다. 수동의 액체 금속 스위치에서는, 수 은 방울을 공동 내에서 이동시키는데 영구 자석이 사용된다.
액체 금속은 또한 계전기(relay)에 사용된다. 액체 금속 방울은 정전기력, 열 팽창/수축으로 인한 가변 구조 및 자기 유체 역학 힘 등 다양한 기법으로 이동될 수 있다.
고 전류의 급속 스위칭이 많은 장치에서 사용되지만, 전류 흐름이 중단되는 경우에 아킹(arcing)으로 인해 고체 접촉 기반의 계전기에 문제가 발생한다. 아킹은 접촉부를 손상시키고 전극 표면의 피팅(pitting)으로 인해 전도도를 저하시킨다.
액체 금속을 이동시켜 스위칭 기능을 행하도록, 가열시에 기체의 팽창 및 스위칭 소자로서 액체 금속을 사용하는 마이크로 스위치가 개발되어 왔다. 액체 금속은 미세 용접 또는 스위치 메커니즘을 과가열시키지 않고 금속간 접촉을 이용하여 비교적 높은 전력(약 100 mW)을 스위치하는 능력과 같이, 다른 마이크로머신 기술에 비해 몇몇 이점을 갖고 있다. 그러나, 가열된 기체를 사용하면 몇 가지 문제점이 있다. 그것은 스위치의 상태를 변화시키기 위해 비교적 많은 양의 에너지를 필요로 하며, 스위칭 듀티 사이클이 높으면 스위칭에 의해 발생된 열이 효과적으로 방산되어야 한다. 또한, 가동 속도가 비교적 느리고, 최대 속도가 수백 헤르츠로 제한된다.
본 발명은 스위칭 메커니즘에서 도전성 액체를 사용하는 전기 계전기 어레이를 제시한다. 이 계전기는 압전 소자를 이용하여 스위치 핑거가 두 개의 고정된 전기 접촉부 사이에 도전성 액체 브리지를 형성하는 것을 방지 또는 허용하게 한다. 이 계전기 어레이는 마이크로머시닝 기법에 의해 제조될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 신규한 특징들을 개시한다. 그러나, 본 발명 그 자체 및 바람직한 이용 방법과, 추가적인 목적 및 그 이점은 첨부 도면과 함께 예시적인 실시예의 상세한 설명을 참고하면 가장 잘 이해될 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 측면도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 평면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 단면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 단면도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 닫힌 상태의 계전기의 평면도.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 개방 상태의 계전기의 평면도.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 개방 상태의 계전기의 단면도.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 회로 기판의 평면도.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 회로 기판의 측면도.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 닫힌 상태의 계전기의 평면도.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 단면도.
도 12는 본 발명의 일실시예에 따른 개방 상태의 계전기의 평면도.
도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 계전기의 회로 기판의 평면도.
본 발명은 여러 형태로 실시될 수 있지만, 하나 이상의 특정 실시예를 보다 상세히 설명하고 도면에 도시하며, 개시된 내용은 본 발명의 원리의 예로서 간주되어야 하며, 도시되고 설명된 특정 실시예로 본 발명을 한정해서는 안 된다. 이하의 설명에서, 유사 참조번호는 여러 도면에서 동일 또는 유사 또는 대응하는 부분을 나타내는데 이용된다.
본 발명은 두 고정 접촉부 사이의 도전성 액체 브리지의 형성이 비도전성 또는 비습윤성 핑거(non-wettable finger)의 작동에 의해 방지되거나 허용된다. 도전성 액체는 수은과 같은 액체 금속일 수도 있다. 핑거는 빔의 한 단부에 부착되고, 빔의 다른 단부는 계전기의 기판에 고정된다. 빔 및 부착된 핑거는 빔 상에서 동작하는 하나 이상의 압전 소자의 동작에 의해 이동한다. 압전 소자는 굽힘형 또는 확장형으로 동작할 수 있다. 압전 액츄에이터의 대안으로서, 자기장이 존재하는 경우에 변형되는 Terenol-D와 같은 자기 저항 액츄에이터가 사용될 수도 있다. 이하에서는, 압전 액츄에이터 및 자기저항 액츄에이터를 총괄하여 "압전 액츄에이터"라고 한다.
도 1은 본 발명의 계전기의 일실시예의 측면도이다. 계전기는 캡층(102), 압전층(104) 및 기판층(106)의 세 개의 층을 포함한다. 기판층(106)은 스위치에 대한 전기 접속부(108) 및 압전 액츄에이터 및 관련 회로에 대한 전기 접속부(110) 를 지지한다. 이들 세 층은 계전기 하우징을 형성한다.
도 2는 도 1의 계전기의 평면도이다. 점선은 이동 가능한 빔(112) 및 빔(112)의 자유단에 부착되는 스위치 핑거(114)를 포함하는 내부 구조물을 나타낸다. 이들 구성요소는 계전기의 압전층 내의 스위칭 공동(116) 내에 배치된다. 또한 도전성 액체의 습윤성(wettable) 표면 지지 방울을 갖는 두 개의 전기 접촉부(118, 120)가 도시되어 있다. 3-3 부분 및 4-4 부분은 도 3 및 4를 각각 참고하여 이하에 설명한다.
도 3은 도 2의 3-3 부분을 따라 절취한 단면도이다. 이동 가능한 빔(112)은 압전층(104)의 기판에 한 단부가 고정되어 있다. 빔 지지부의 자유단은 스위칭 핑거(114)를 지지한다. 이들 구성요소는 스위칭 공동(116) 내에 위치한다. 접촉부(120)는 비습윤성 패드(124)를 통해 기판(106)에 부착된다. 다른 접촉부(도 2의 118)는 비습윤성 패드(122)를 통해 기판(106)에 부착된다. 전기 접촉부는 스위칭 공동 내의 리세스 내에 배치된다. 접촉부는 도전성 액체(126)의 볼륨(volume)을 지지하는 습윤성 표면을 갖는다. 도전성 액체의 볼륨은 액체가 접촉부들 사이에서 브리지를 형성하도록 선택되며, 브리지는 액체의 표면 장력에 의해 유지된다. 접촉부는 접속부(108)에 전기 접속되어 계전기를 통해 신호를 라우팅한다. 빔(112)은 압전 액츄에이터의 작동에 의해 이동된다. 제어 신호는 커넥터(110)를 통해 액츄에이터에 결합되고, 커넥터(110)는 스위칭 공동 내의 접촉 패드(128)에 전기적으로 결합된다.
도 4는 도 2의 4-4 부분을 따라 절취한 단면도이다. 스위치 핑거(114)는 가 동 빔(112)의 자유단에 부착되고, 도전성 액체 볼륨(126) 내에 부분적으로 삽입된다. 도전성 액체(126)는 두 전기 접촉부 사이에 기체를 채우지만, 패드(124)를 적시지는 않는다. 이 실시예에서는, 빔(112)이 빔의 측면에 부착된 압전 소자(130)의 작동에 의해 이동되며 빔을 굽히도록 동작 가능하다.
도 5는 캡층(102)을 제거한 계전기의 평면도이다. 액체 금속이 전기 접촉부들 사이의 갭을 브리지하기 때문에, 스위치는 닫힌 상태이다. 이 실시예에서는, 가동 빔(112)이 빔의 측면에 부착된 하나 또는 두 개의 압전 소자(130, 132)에 의해 작동된다. 빔의 길이를 따른 압전 소자(130)의 팽창 또는 빔의 길이를 따른 압전 소자(132)의 수축으로 인해, 빔의 자유단 및 부착된 스위치 핑거가 화살표(134)로 나타낸 방향으로 이동하도록 빔이 휘어진다. 압전 소자들은 단독으로 또는 함께 사용될 수도 있다. 압전 소자로의 제어 신호는 접촉 패드(128)를 통해 제공된다.
도 6은 캡층(102)이 제거된 계전기의 평면도이다. 스위치는 개방 상태이다. 빔(112)은 압전 소자(130, 132)의 작동에 의해 휘어지며, 이로 인해 스위치 핑거(114)가 도전성 액체 볼륨 내부로 삽입되어 볼륨을 두 부분으로 분리시킨다. 이것은 두 전기 접촉부 사이의 전기 접속을 차단하여 회로를 개방시킨다. 스위치 핑거는 젖지 않거나 비전도성이다.
도 7은 도 6의 7-7 부분을 따라 절취한 단면도이다. 빔(112)의 자유단은 도 4의 위치에 비해 도면 내에서 수직으로 변위되었다. 스위치 핑거(114)는 도전성 액체 볼륨(126) 내에 완전히 삽입되어, 볼륨을 두 부분으로 분리시키고 전기 접속 을 차단한다.
본 발명의 이 실시예에서는, 액츄에이터가 작동하지 않으면 전기 접촉부 사이의 회로가 완료된다. 본 발명의 다른 실시예에서는, 압전 액츄에이터가 작동하지 않을 때 스위치 핑거가 도전성 액체 볼륨을 분리시키고, 액츄에이터가 작동하여 전기 회로를 완성하면 부분적으로 수축된다. 액츄에이터가 작동하지 않으면, 전기 접촉부 사이의 회로는 차단된다.
도 8은 계전기의 기판층(106)의 평면도이다. 두 전기 접촉부(118, 120)는 비습윤성 패드에 고정되고, 이들 패드는 기판(106)에 고정된다. 전기 패드(128)는 압전 소자에 전기 접속된다. 패드 및 접촉부는 기지의 마이크로머시닝 기법을 이용하여 기판 상에 형성될 수 있다.
회로 기판의 측면도가 도 9에 도시되어 있다. 전기 접촉부(118, 120)는 비습윤성 패드(122, 124)에 각각 고정되고, 이들 패드는 기판(106)에 다시 고정된다. 전기 접촉부(118, 120)는 기판의 외부 표면 상의 커넥터(108)에 전기적으로 결합된다. 전기 커넥터는 기판 상부의 트레이스를 통해 기판의 에지 상의 커넥터에 접속될 수도 있다. 전기 패드(128)는 압전 소자에 전기접속되고 기판의 외부 표면 상의 커넥터(110)에 전기적으로 결합된다.
도 10은 캡층(102)이 제거된 계전기의 다른 실시예의 평면도이다. 스위치는 닫힌 상태이다. 이 실시예에서, 가동 빔(112)은 스위칭 채널(116)의 측면에 부착된 압전 액츄에이터(140)에 의해 작동된다. 층의 평면 내에서 빔에 수직하는 방향으로 압전 소자(140)가 팽창하는 것에 의해 화살표(134)로 나타낸 방향으로 빔이 이동한다. 이 실시예에서, 압전 액츄에이터는 자유단보다는 빔의 고정된 단부에 더 가까이 위치한다. 이 구성에서, 빔은 압전 소자의 운동을 확대하며, 따라서 스위치 핑거(114)의 변위를 더 크게 한다. 기계적인 증폭의 다른 형태가 이용될 수도 있다. 제거 신호는 패드(128) 및 접촉부(142, 144)를 통해 압전 소자에 공급된다. 압전 액츄에이터(140)는 단일 압전 소자 또는 압전 소자의 스택을 포함할 수도 있다.
도 11은 도 10의 11-11 부분을 따라 절취한 단면을 도시한 도면이다. 압전 소자(140)는 접촉부(142)를 통해 기판(104)에 결합되고, 접촉부(144)를 통해 빔(112)에 결합된다. 전압이 압전 소자 양단에 인가되면, 이것은 팽창 모드(도면의 수직 방향)에서 변형시켜 빔(112)에 대해 측면으로 작용한다. 그 다음에 이것은 스위치 핑거(114)를 이동시킨다.
도 12는 개방 상태의 스위치를 나타내는, 도 10의 계전기의 평면도이다. 압전 소자(140)는 확대 도시되었으며, 빔(112)을 측면으로 변화시킨다. 이것은 스위치 핑거(114)를 도전성 유체(126)의 볼륨 내부로 이동시켜, 그것을 두 볼륨으로 분리시키고, 전기 접촉부 사이의 전기 회로를 차단한다.
도 13은 도 10, 11, 12에 도시된 계전기의 기판층(106)의 평면도이다. 두 개의 전기 접촉부(118, 120)가 비습윤성 패드에 고정되고, 이들 패드는 기판(106)에 고정된다. 전기 패드(128) 압전 소자의 두 단부에 전기 접속된다. 패드 및 접촉부는 공지되어 있는 마이크로머시닝 기법을 이용하여 기판 상에 형성될 수도 있다.
이상 본 발명을 특정 실시예와 함께 설명하였지만, 전술한 설명으로부터 당업자에게 자명하게 되는 많은 대안들, 변형들, 치환들 및 변경들이 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명은 첨부한 청구범위 내에 속하는 이러한 모든 대안들, 변형들 및 변경들을 포함한다.
Claims (10)
- 전기 계전기에 있어서,스위칭 공동(116)을 감싸는 계전기 하우징과,습윤성 표면을 갖는, 상기 스위칭 공동 내의 제 1 전기 접촉부(118)와,상기 제 1 전기 접촉부로부터 이격되어 있으며 습윤성 표면을 갖는, 상기 스위칭 공동 내의 제 2 전기 접촉부(120)와,상기 제 1 및 제 2 전기 접촉부와 습윤 접촉하는 도전성 액체(126)와,상기 스위칭 공동 내의 상기 계전기 하우징에 부착된 고정단 및 자유단을 포함하는 빔(112)과,상기 빔의 자유단에 부착되어 있으며 상기 제 1 및 제 2 전기 접촉부 사이에서 이동 가능한 비습윤성 스위치 핑거(114)와,상기 스위칭 핑거를 제 1 위치 및 제 2 위치 사이에서 이동시키도록, 측면 방향으로 상기 빔을 이동시키도록 동작 가능한 압전 액츄에이터(130, 132 또는 140)를 포함하고,상기 스위치 핑거(114)가 상기 제 1 위치에 있는 경우, 상기 도전성 액체(126)가 상기 제 1(118) 및 제 2(120) 접촉부 사이의 공간을 브리지하여 상기 제 1 및 제 2 접촉부 사이에 전기 회로를 완성하며, 상기 제 2 위치에 있는 경우, 상기 스위치 핑거(114)가 상기 도전성 액체를 두 볼륨으로 분리하여 상기 제 1 및 제 2 접촉부 사이의 전기 회로를 차단하는전기 계전기.
- 제 1 항에 있어서,상기 스위치 핑거(114)는, 상기 압전 액츄에이터(130, 132 또는 140)가 작동하는 경우에 상기 제 1 위치에 있고 압전 액츄에이터가 작동하지 않는 경우에 상기 제 2 위치에 있는전기 계전기.
- 제 1 항에 있어서,상기 스위치 핑거(114)는 상기 압전 액츄에이터(130, 132 또는 140)가 작동하는 경우에 상기 제 2 위치에 있고, 상기 압전 액츄에이터가 작동하지 않는 경우에 상기 제 1 위치에 있는전기 계전기.
- 제 1 항에 있어서,상기 압전 액츄에이터는 상기 빔(112)의 제 1 면에 부착된 제 1 압전 소자(130 또는 132)를 포함하고, 상기 제 1 압전 소자(130 또는 132)는 상기 빔에 평행 한 길이 형태로 변형되어 상기 빔(112)을 구브리도록 동작 가능한전기 계전기.
- 제 1 항에 있어서,상기 압전 액츄에이터는 상기 스위칭 공동의 벽과 상기 자유단과 상기 고정단 사이의 상기 빔(112)의 영역 사이에서 작동하는 압전 소자(140)를 포함하고, 상기 압전 소자(140)는 상기 빔에 실질적으로 수직인 팽창 모드로 변형되어 상기 빔을 편향시키도록 동작 가능한전기 계전기.
- 제 1 항에 있어서,상기 도전성 액체(126)는 액체 금속인전기 계전기.
- 제 1 항에 있어서,상기 계전기 하우징은제 1(118) 및 제 2(120) 전기 접촉부에 대한 전자 접속부(108) 및 상기 압전 액츄에이터(130, 132 또는 140)에 대한 전기 접속부(110)를 지지하는 기판층(106)과,캡층(102)과,상기 기판층(106)과 상기 캡층(102) 사이에 배치되며 그 내부에 상기 스위칭 공동이 형성되어 있는 압전층(104)을 포함하는전기 계전기.
- 전기 계전기 내의 제 1 습윤성 접촉부(118)와 제 2 습윤성 접촉부(120) 사이의 도전성 액체(126)의 브리지에 의해 형성된 전기 회로를 스위칭하는 방법에 있어서,비습윤성 핑거(114)를 상기 도전성 액체의 브리지가 완성되는 제 1 위치와 상기 도전성 액체의 브리지가 상기 비습윤성 핑거(114)에 의해 파괴되는 제 2 위치 사이에서 이동시키기 위해, 액츄에이터(130, 132 또는 140)를 가동시키는 단계를 포함하는스위칭 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 계전기는 고정단과 고정단을 갖는 빔(112)을 포함하고, 비습윤성 핑거 (114)는 상기 빔의 자유단에 부착되며,상기 압전 액츄에이터를 가동시키는 단계는, 상기 빔의 길이를 따른 길이 방향으로 변형되도록 상기 빔(112)의 측면에 부착된 압전 액츄에이터(130 또는 132)를 가동시켜, 상기 빔을 휘게 하고 상기 비습윤성 핑거(114)를 이동시키는 단계를 포함하는스위칭 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 계전기는 고정단과 고정단을 갖는 빔(112)을 포함하고, 상기 비습윤성 핑거(114)는 상기 빔의 자유단에 부착되며,상기 압전 액츄에이터를 가동시키는 단계는, 상기 빔의 길이에 대해 실직적으로 수직하는 방향으로 변형되도록 상기 빔 및 상기 계전기의 하우징과 접촉하는 압전 액츄에이터(140)를 가동시켜, 상기 빔(112)을 편향시키고 상기 비습윤성 핑거(114)를 이동시키는 단계를 포함하는스위칭 방법.
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