KR20050096423A

KR20050096423A - 검사 장비

Info

Publication number: KR20050096423A
Application number: KR1020040021623A
Authority: KR
Inventors: 이종철
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2004-03-30
Filing date: 2004-03-30
Publication date: 2005-10-06
Also published as: KR101009670B1

Abstract

본 발명은 기판에 소정 공정을 진행한 후, 기판의 상태를 검사하는 검사 장비에 관한 것으로, 석정반으로 이루어진 스테이지와, 석정반으로 이루어지며, 상기 스테이지 양측에 위치한 좌우 지지대와, 석정반으로 이루어지며, 상기 좌우 지지대를 가로질러 위치하며, 상기 좌우 지지대를 지나가는 헤드 지지대 및 최초 동작시 상기 헤드 지지대의 정중앙에 위치하고, 상기 스테이지에 유입된 기판의 소정 부위를 검사 또는 리페어(repair)하며, 상기 헤드 지지대에 구비된 레일을 지나가는 헤드를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.

Description

검사 장비{Equipment for Inspection}

본 발명은 표시 장치에 관한 것으로 특히, 기판에 소정 공정을 진행한 후, 기판의 상태를 검사하는 검사 장비에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시 장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시 장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비젼 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같은 액정 표시 장치가 일반적인 화면 표시 장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비 전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 액정 표시 장치 및 이의 검사 장비에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 일반적인 액정 표시 장치를 나타낸 분해사시도이다.

일반적인 액정표시장치는, 도 1과 같이, 일정 공간을 갖고 합착된 제 1 기판(1) 및 제 2 기판(2)과, 상기 제 1 기판(1)과 제 2 기판(2) 사이에 주입된 액정층(3)으로 구성되어 있다.

보다 구체적으로 설명하면, 상기 제 1 기판(1)에는 화소 영역(P)을 정의하기 위하여 일정한 간격을 갖고 일방향으로 복수개의 게이트 라인(4)과, 상기 게이트 라인(4)에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 복수개의 데이터 라인(5)이 배열된다. 그리고, 상기 각 화소 영역(P)에는 화소 전극(6)이 형성되고, 상기 각 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)이 교차하는 부분에 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 상기 박막트랜지스터가 상기 게이트 라인(4)의 신호에 응답하여 상기 데이터 라인(5)의 데이터 신호를 상기 각 화소 전극(6)에 인가한다.

그리고, 상기 제 2 기판(2)에는 상기 화소 영역(P)을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(7)이 형성되고, 상기 각 화소 영역에 대응되는 부분에는 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층(8)이 형성되고, 상기 칼라 필터층(8) 위에는 화상을 구현하기 위한 공통 전극(9)이 형성되어 있다.

상기와 같은 액정 표시 장치는 상기 화소 전극(6)과 공통 전극(9) 사이의 전계에 의해 상기 제 1, 제 2 기판(1, 2) 사이에 형성된 액정층(3)이 배향되고, 상기 액정층(3)의 배향 정도에 따라 액정층(3)을 투과하는 빛의 양을 조절하여 화상을 표현할 수 있다.

이하, 일반적인 액정 표시 장치의 제조방법을 자세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 일반적인 액정 표시 장치의 TFT 기판의 형성 공정을 나타낸 흐름도이다.

도 2와 일반적인 액정 표시 장치의 TFT 기판의 형성 공정은 먼저, 제 1 기판 (도 1의 1 참조)상에 금속 물질을 증착하고 이를 선택적으로 제거하여 게이트 라인(4) 및 상기 게이트 라인(4)에서 돌출된 게이트 전극을 형성한다(S1).

이어, 상기 게이트 라인(4) 및 게이트 전극을 포함한 게이트 절연막(미도시)을 상기 제 1 기판(1)의 전면에 증착한다(S2).

이어, 상기 게이트 절연막 상에 비정질 실리콘층, n+층을 전면 증착하고 이를 선택적으로 제거하여, 반도체층(미도시)을 형성한다(S2).

이어, 상기 반도체층을 포함한 제 1 기판(1) 전면에 금속 물질을 증착하고, 이를 선택적으로 제거하여 데이터 라인(5)과, 상기 데이터 라인에서 돌출된 소오스 전극 및 상기 소오스 전극과 소정 간격 이격된 드레인 전극을 형성한다(S3).

이어, 상기 데이터 라인(5) 등을 포함한 제 1 기판(1) 전면에 보호막을 증착하고, 상기 보호막을 선택적으로 제거하여 상기 드레인 전극이 소정 부분 노출되는 콘택 홀을 형성한다(S4).

이어, 상기 콘택 홀을 매립하며, 상기 보호막 전면에 투명 전극을 증착하고, 이를 선택적으로 제거하여 화소 전극을 형성한다(S5).

도 2와 같은 공정 순서로 형성된 TFT 기판에 대향된 칼라 필터 기판은 다음의 순서로 제조된다.

도 3은 일반적인 액정 표시 장치의 칼라 필터 기판의 형성 공정을 나타낸 흐름도이다.

도 3과 같이, 상기 제 2 기판(2) 상에 블랙 매트릭스 물질을 증착하고, 이를 선택적으로 제거하여 상기 제 1 기판(1)의 게이트 라인(4) 및 데이터 라인, 박막 트랜지스터(T) 부위에 대응하도록 블랙 매트릭스층(7)을 형성한다(S6).

이어, 상기 게이트 라인(4)과 데이터 라인(5)으로 정의되는 각 화소 영역에 대응되도록 R, G, B 칼라 필터층(8)을 차례로 형성한다(S7).

이어, 상기 블랙 매트릭스층(7) 및 칼라 필터층(8)을 포함한 제 2 기판 전면에 공통 전극을 형성한다(S8).

이와 같이, 상기 TFT 기판과 칼라 필터 기판의 어레이 공정을 완료한다.

액정표시장치는 크게 어레이 공정, 셀 공정, 모듈 공정 등으로 구분된다.

어레이 공정은, 도 2 및 도 3에 기하여 설명한 바와 같이, 진행한다.

한편, 일반적인 액정 표시 장치의 셀 공정은 제 1, 제 2 기판 사이에 액정층을 형성하는 방법에 따라 액정 주입 방식과 액정 적하 방식으로 구분할 수 있다.

도 4는 액정 주입형 액정 표시 장치의 제조 방법의 흐름도이다.

도 4와 같이, 액정 주입형 액정 표시 장치의 제조 방법은 먼저, 도 2 및 도 3과 같이, 어레이 공정을 진행한다. 즉, 제 1 기판(1)에 게이트 라인(4) 및 데이터 라인(5)과, 화소 전극(6)과, 박막 트랜지스터(T)를 구비한 TFT 어레이를 형성하고, 도 3과 같이, 제 2 기판(2)에 블랙 매트릭스층(7)과, 칼라 필터층(8)과, 공통 전극(8) 등을 구비한 칼라 필터 어레이를 형성한다.

이 때, 상기 어레이 공정은 하나의 기판에 하나의 액정 패널을 형성하는 것이 아니라, 하나의 대형 유리 기판에 액정 패널을 다수개 설계하여 각 액정 패널 영역에 각각 TFT 어레이 및 칼라 필터 어레이를 형성한다.

이와 같이 TFT 어레이가 형성된 TFT 기판과 칼라 필터 어레이가 형성된 칼라 필터 기판은 셀 공정 라인으로 이동된다.

이어, 상기 TFT 기판과 칼라 필터 기판상에 배향 물질을 도포하고 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하기 위한 배향 공정(러빙 공정)을 각각 진행한다(S10).

여기서, 상기 배향 공정(S10)은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 소성, 배향막 검사, 러빙 공정 순으로 진행된다.

이어, 상기 TFT 기판 및 칼라 필터 기판을 각각 세정한다(S20).

그리고, 상기 TFT 기판 또는 칼라 필터 기판 상에 셀 갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 볼 스페이서(Ball spacer)를 산포하고(S30), 상기 각 액정 패널 영역의 외곽부에 두 기판을 합착하기 위한 실 패턴(seal pattern)을 형성한다(S40). 이 때, 실 패턴은 액정을 주입하기 위한 액정 주입구 패턴을 갖도록 형성된다.

여기서, 볼 스페이서는 플라스틱 볼(plastic ball)이나 탄성체 플라스틱 미립자로 형성된 것이다.

상기 실 패턴이 대향되도록 TFT 기판과 칼라 필터 기판을 마부보도록 하여 두 기판을 합착하고 상기 실 패턴을 경화시킨다(S50).

그 후, 상기 합착 및 경화된 TFT 기판 및 칼라 필터 기판을 각 단위 액정 패널 영역 별로 절단하고 가공하여(S60)하여 일정 사이즈의 단위 액정 패널을 제작한다.

이후, 각각의 단위 액정 패널의 액정 주입구를 통해 액정을 주입하고, 주입 완료 후 상기 액정 주입구를 봉지(S70)하여 액정층을 형성한다. 그리고, 각 단위 액정 패널의 외관 및 전기적 불량의 검사(S80)를 진행함으로써 액정 표시 장치를 제작하게 된다.

여기서, 상기 액정주입공정을 간략히 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 주입하고자 하는 액정 물질이 담겨져 있는 용기와 액정을 주입할 액정 패널을 챔버(Chamber) 내부에 위치시키고, 상기 챔버의 압력을 진공 상태로 유지함으로써 액정 물질 속이나 용기 안벽에 붙어 있는 수분을 제거하고 기포를 탈포함과 동시에 상기 액정 패널의 내부 공간을 진공 상태로 만든다.

그리고, 원하는 진공 상태에서 상기 액정 패널의 액정 주입구를 액정 물질이 담아져 있는 용기에 담그거나 접촉시킨 다음, 상기 챔버 내부의 압력을 진공 상태로부터 대기압 상태로 만들어 상기 액정 패널 내부의 압력과 챔버의 압력 차이에 의해 액정 주입구를 통해 액정 물질이 상기 액정 패널 내부로 주입되도록 한다.

이러한 액정 주입 방식의 액정표시장치 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 단위 패널로 컷팅한 후, 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 주입구를 액정액에 담가 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다.

둘째, 대면적의 액정표시장치를 제조할 경우, 액정 주입식으로 액정을 주입하면 패널내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 된다.

셋째, 상기와 같이 공정이 복잡하고 시간이 많이 소요되므로 여러개의 액정 주입 장비가 요구되어 많은 공간을 요구하게 된다.

따라서, 이러한 액정 주입 방식의 문제점을 극복하기 위해 두 기판 중 하나의 기판에 액정을 적하시킨 후, 두 기판을 합착시키는 액정 적하형 액정 표시 장치의 제조 방법이 개발되었다.

도 5는 액정 적하형 액정 표시 장치의 제조 방법의 흐름도이다.

즉, 액정 적하 방식의 액정표시장치 제조 방법은, 두 기판을 합착하기 전에, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 적당량의 액정을 적하한 후, 두 기판을 합착하는 방법이다.

따라서, 액정 주입 방식과 같이 셀갭을 유지하기 위해 볼 스페이서를 사용하게 되면, 적하된 액정이 퍼질 때 상기 볼 스페이서가 액정 퍼짐 방향으로 이동되어 스페이서가 한쪽으로 몰리게 되므로 정확한 셀갭 유지가 불가능하게 된다.

그러므로, 액정 적하 방식에서는 볼 스페이서를 사용하지 않고 스페이서가 기판에 고정되는 고정 스페이서(컬럼 스페이서(column spacer) 또는 패턴드 스페이서(patterned spacer))를 사용해야 한다.

즉, 도 5와 같이, 어레이 공정에서, 칼라 필터 기판에 블랙 매트릭스층 및 칼라 필터층 및 공통 전극을 형성하고, 상기 공통 전극위에 감광성 수지를 형성하고 선택적으로 제거하여 상기 블랙 매트릭스층상에 컬럼 스페이서를 형성한다.

그리고, 상기 컬럼 스페이서를 포함한 TFT 기판 및 칼라 필터 기판 전면에 배향막을 도포하고 상기 배향막을 러빙 처리한다.

이와 같이, 배향 공정이 완료된 TFT 기판과 컬러필터 기판을 각각 세정(S101)한 다음, 상기 TFT 기판과 칼라 필터 기판 중 하나의 기판 상의 일정 영역에 액정을 적하하고(S102), 나머지 기판의 각 액정 패널 영역의 외곽부에 디스펜싱 장치를 이용하여 실 패턴을 형성한다(S103).

이 때, 상기 두 기판 중 하나의 기판에 액정도 적하하고 실 패턴도 형성하여도 된다.

그리고 상기 액정이 적하되지 않은 기판을 반전(뒤집어서 마주보게 함)시키고(S104), 상기 TFT 기판과 컬러필터 기판을 압력하여 합착하고 상기 실 패턴을 경화시킨다(S105).

이어, 단위 액정 패널별로 상기 합착된 기판을 절단 및 가공한다(S106).

그리고 상기 가공된 단위 액정 패널의 외관 및 전기적 불량의 검사(S107)를 진행함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다.

앞서 설명한 바와 같이, 대면적으로 액정 표시 장치가 발전할수록, 그 제조 공정의 용이로 액정 적하 방식을 주로 이용하며, 또한, 이 경우 볼 스페이서로는 균일한 산포가 어려워 소정 위치에 스페이서를 고정시키는 컬럼 스페이서를 주로 이용하고 있다.

한편, 이와 같이, 제조하는 액정 표시 장치의 제조 공정 사이사이에는, 각 공정을 진행한 후, 기판의 상태를 검사하기 위해 검사 장치를 구비하고, 이를 통해 기판 내의 불량을 감지하여야 한다.

도 6은 종래의 검사 장비를 나타낸 사시도이며, 도 7은 도 6의 평면도이다.

도 6 및 도 7과 같이, 종래의 검사 장비(20)는 스테이지(30)와, 상기 스테이지(20) 양측에 위치한 좌우 지지대(21a, 21b)와, 상기 좌우 지지대(21a, 21b)에 소정 간격 이격되어 상기 스테이지(30) 상에 형성된 제 1, 제 2 레일(22a, 22b)과, 상기 좌우 지지대(21a, 21b)에 가로지르는 방향으로 위치하며, 상기 좌우 지지대(21a, 21b) 사이를 지나가는 헤드 지지대(24)와, 상기 헤드 지지대(24)와 상기 좌우 지지대(21a, 21b)를 연결하는 접합부(26a, 26b) 및 최초 동작시 상기 헤드 지지대(24)의 X축 원점에 위치하고, 상기 스테이지(30)에 유입된 기판의 소정 부위를 검사 또는 리페어(repair)하며, 상기 헤드 지지대에 구비된 제 3 레일(25)을 지나가는 헤드(23)를 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 스테이지(30) 및 좌우 지지대(21a, 21b)는 석정반으로 이루어지며, 상기 헤드 지지대(24)는 알루미늄(Al) 성분으로 이루어진다.

그리고, 상기 헤드에는 CCD, 레이저, 광 센서 중 어느 하나를 구비하여, 상기 스테이지(30) 내에 유입된 기판(미도시)을 상기 헤드 지지대(24)를 상기 좌우 접합부(26a, 26b)를 통해 스테이지(30)의 제 1, 제 2 레일(22a, 22b) 상에서 Y축 방향으로 이동시키거나, 또는 상기 헤드 지지대(24) 내의 제 3 레일(25) 상에서 헤드(23)를 X축 방향으로 이동시켜, 기판의 소정 부위를 스캐닝하여 검사하거나 리페어 한다. 이 때, 검사(inspection)가 필요할 때는 상기 헤드(23) 내에 CCD(Charge Coupled Device)나 광 센서 등의 촬상 장치를 이용하여 검사하며, 리페어(repair)가 필요할 때는 레이저 또는 별도의 리페어 수단을 구비하여 리페어를 수행한다.

여기에서, 상기 제 1, 제 2 레일(22a, 22b)을 지나는 헤드 지지대(25) 및 상기 제 3 레일(25)을 지나는 헤드(23)는 일정한 속도로 이동된다.

이러한 종래의 검사 장비(20)의 구동은 다음과 같이 이루어진다.

종래의 검사 장비(20) 내의 스테이지(30)에 기판이 유입되면, 상기 스테이지(30)가 상기 기판을 진공으로 잡아주고, 상기 기판 상의 소정 부위에 헤드(23)가 대응되도록, 상기 헤드 지지대(24)를 상기 좌우 접합부(26a, 26b)를 통해 스테이지(30)의 제 1, 제 2 레일(22a, 22b) 상에서 Y축 방향으로 이동시키거나, 또는 상기 헤드 지지대(24) 내의 제 3 레일(25) 상에서 헤드(23)를 X축 방향으로 이동시켜, 기판의 소정 부위를 스캐닝하여 검사하거나 리페어하도록 한다.

도 6 및 도 7에서 소개된 검사 장비를, 그 형상이 양측의 두 지지대 사이를 헤드 지지대가 지나는 다리 형태라 하여, 갠트리 시스템(gantry system)이라 하며, 이러한 갠트리 시스템은 레일(rail) 형태의 리니어 가이드와 모터(motor, 미도시)를 구비하여 형성된다. 이 때, 모터는 스테이지 외측에 구비되며, 일정 속도로 헤드 지지대 또는 헤드가 이동되도록 조절하는 기능을 한다.

상술한 바와 같이, 이러한 종래의 검사 장비(20)는 헤드 지지대(24) 상의 헤드(23)가 X축의 "0"점 위치에 위치하여 동작되었다.

이러한 검사 동작으로 헤드(23) 또는 헤드 지지대(24)가 이동시, 상기 헤드 지지대(24)의 일측에 무거운 헤드(23)가 위치하여, 상기 헤드 지지대(24)가 휘는 현상이 발생하여, 정밀 제어 및 속도 향상에 한계가 많았다.

특히, 기판이 소규모일 때는 헤드 지지대(24)의 길이가 얼마 되지 않아 문제가 크게 발생하지 않았지만, 기판이 대면화할수록 헤드 지지대(24)의 길이가 상대적으로 더 길게 되었고, 또한, 상기 헤드 지지대(24)에서 긴 거리에 걸쳐 무거운 헤드(23)를 지탱하기 때문에, 알루미늄 재질의 헤드 지지대(24)의 휨 현상은 더욱 심화되었다.

상기와 같은 종래의 검사 장비는 다음과 같은 문제점이 있다.

첫째, 종래의 검사 장비는 무거운 헤드를 알루미늄 재질의 헤드 지지대가 지지하고 있어, 휨 현상이 발생하였다. 특히, 대면적화되는 추세에 있어, 헤드 지지대의 길이가 상대적으로 길어지고 있어, 이러한 휨 현상은 심화되었다.

둘째, 검사 또는 리페어 공정에서 헤드 또는 헤드 지지대의 이동 속도가 검사 또는 리페어 공정에 걸리는 시간을 좌우하는 데, 실제 휨 현상이 발생된 헤드 지지대로 인해 공정 시간이 저하되었고, 또한, 공정 정밀도가 떨어졌다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 기판에 소정 공정을 진행한 후, 기판의 상태를 검사하는 검사 장비를 제공하는 데, 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사 장비는 석정반으로 이루어진 스테이지와, 석정반으로 이루어지며, 상기 스테이지 양측에 위치한 좌우 지지대와, 석정반으로 이루어지며, 상기 좌우 지지대를 가로질러 위치하며, 상기 좌우 지지대를 지나가는 헤드 지지대 및 최초 동작시 상기 헤드 지지대의 정중앙에 위치하고, 상기 스테이지에 유입된 기판의 소정 부위를 검사 또는 리페어(repair)하며, 상기 헤드 지지대에 구비된 레일을 지나가는 헤드를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.

상기 헤드에는 CCD, 레이저, 광 센서 중 어느 하나를 구비한다.

상기 헤드 지지대 및 상기 헤드는 일정한 속도로 이동된다.

상기 스테이지에는 상기 좌우 지지대에 소정 간격 이격된 부위에 상기 헤드 지지대의 형성 방향에 수직인 방향으로 상기 헤드 지지대를 이동시키는 레일이 더 구비된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 검사 장비를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 8은 본 발명의 검사 장비를 나타낸 사시도이며, 도 9는 도 8의 평면도이다.

도 8 및 도 9와 같이, 본 발명의 검사 장비(100)는 스테이지(110)와, 상기 스테이지(110) 양측에 위치한 좌우 지지대(101a, 101b)와, 상기 좌우 지지대(101a, 101b)에 소정 간격 이격되어 상기 스테이지(110) 상에 형성된 제 1, 제 2 레일(102a, 102b)과, 상기 좌우 지지대(101a, 101b)에 가로지르는 방향으로 위치하며, 상기 좌우 지지대(101a, 101b) 사이를 지나가는 헤드 지지대(104)와, 상기 헤드 지지대(104)와 상기 좌우 지지대(101a, 101b)를 연결하는 접합부(106a, 106b) 및 최초 동작시 상기 헤드 지지대(104)의 X축 중앙에 위치하고, 상기 스테이지(110)에 유입된 기판의 소정 부위를 검사 또는 리페어(repair)하며, 상기 헤드 지지대(104)에 구비된 제 3 레일(105)을 지나가는 헤드(103)를 포함하여 이루어진다.

여기서, 상기 스테이지(110) 및 좌우 지지대(101a, 101b)는 석정반으로 이루어지며, 상기 헤드 지지대(104)도 이와 동일한 석정반으로 이루어진다. 이는 상기 헤드(103)를 상기 헤드 지지대(104)의 중심에 위치시킬 때, 휘는 현상을 방지하기 위함이고, 이 때, 상기 헤드 지지대(104)는 상기 접합부(106a, 106b)를 통해 상기 좌우 지지대(101a, 101b)에 연결되어 있다.

그리고, 상기 헤드 지지대(104)에 구비된 헤드(103)는 중심에 위치하는데, 이러한 구성을 취함으로써, 원점에 헤드가 위치하였을 때보다 검사가 필요한 기판(미도시)의 부위를 보다 빠르게 찾을 수 있다.

여기서, 상기 접합부(106, 106b)는 상기 제 1, 제 2 레일(102a, 102b)에 대응되는 부분에 자석 성분을 구비하여 형성한다.

그리고, 상기 헤드(103)에는 CCD, 레이저, 광 센서 중 어느 하나를 구비하여, 상기 스테이지(110) 내에 유입된 기판(미도시)을 상기 헤드 지지대(104)를 상기 좌우 접합부(106a, 106b)를 통해 스테이지(110)의 제 1, 제 2 레일(102a, 102b) 상에서 Y축 방향으로 이동시키거나, 또는 상기 헤드 지지대(104) 내의 제 3 레일(105) 상에서 헤드(103)를 좌 또는 우의 X축 방향으로 이동시켜, 기판의 소정 부위를 스캐닝하여 검사하거나 리페어 한다. 이 때, 검사(inspection)가 필요할 때는 상기 헤드(103) 내에 CCD(Charge Coupled Device)나 광 센서 등의 촬상 장치를 이용하여 검사하며, 리페어(repair)가 필요할 때는 레이저 또는 별도의 리페어 수단을 구비하여 리페어를 수행한다.

여기에서, 상기 제 1, 제 2 레일(102a, 102b)을 지나는 헤드 지지대(105) 및 상기 제 3 레일(105)을 지나는 헤드(103)는 일정한 속도로 이동된다.

이러한 본 발명의 검사 장비(100)의 구동은 다음과 같이 이루어진다.

본 발명의 검사 장비(100) 내의 스테이지(110)에 기판이 유입되면, 상기 스테이지(110)가 상기 기판을 진공으로 잡아주고, 상기 기판 상의 소정 부위에 헤드(103)가 대응되도록, 상기 헤드 지지대(104)를 상기 좌우 접합부(106a, 106b)를 통해 스테이지(110)의 제 1, 제 2 레일(102a, 102b) 상에서 Y축 방향으로 이동시키거나, 또는 상기 헤드 지지대(104) 내의 제 3 레일(105) 상에서 헤드(23)를 좌 또는 우의 X축 방향으로 이동시켜, 기판의 소정 부위를 스캐닝하여 검사하거나 리페어하도록 한다.

본 발명의 검사 장비(100)는 헤드 지지대(104) 상의 헤드(103)가 X축의 중심 위치에 위치하여 초기 동작이 시작된다. 또한, 상기 헤드 지지대(104)를 스테이지(110)와 동일 재질의 석정반으로 구성된다.

이러한 본 발명의 검사 장비를 이용한 검사 동작으로 헤드(103) 또는 헤드 지지대(104)가 이동시, 상기 헤드 지지대(104)의 중심에 무거운 헤드(103)가 위치하여도, 상기 헤드 지지대(104)를 경도가 높은 석정반으로 구성하여 휘는 현상을 방지하였고, 상기 휨 현상 방지로, 검사시의 정밀한 제어가 가능하였고, 속도를 향상시킬 수 있다.

이와 같이, 상기 헤드(103)의 위치를 X축 중심, 즉, 헤드 지지대(104)의 중심에 위치시킨 이유는, 상기 헤드 지지대(104)의 중심에 헤드(103)가 위치하였을 때, 검사가 필요한 영역으로 최적 거리를 갖고 상기 헤드(103)가 대응되어 이동할 수 있기 때문이다. 또한, 헤드(103)가 한 쪽에 치우쳐서 동작하게 되면 헤드의 무게가 적거나, 스테이지 자체 크기가 작을 때는 큰 문제가 되지 않으나, 기판이 점점 대면적화되어 사이즈가 커짐에 따라 상대적으로 헤드 지지대(104)가 길어져 휘는 정도가 커지고 휨에 의한 기능의 저하가 많이 발생할 소지가 있기 때문에 이를 개선하기 위함이다.

또한, 상기 헤드 지지부의 재질을 기존 알루미늄(Al)의 형에서 석정반 재질로 변경함으로써 헤드 무게에 의한 휨 현상을 최소화할 수 있다. 즉, 알루미늄은 일정 무게 이상의 헤드를 지지할 때, 휨이 발생할 가능성이 높다. 그러나, 본 발명의 검사 장치와 같이, 헤드 지지대(104)를 석정반을 사용할 때, 석정반 자체의 휨에 대한 성능이 우수함으로 구동시 휨이나 기타 속도 저하 등의 문제가 발생할 가능성이 줄어든다.

상기와 같은 본 발명의 검사 장비는 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명의 검사 장비는 헤드 지지대를 석정반으로 구성하고, 헤드를 X축 방향의 정 중앙에 위치하게 함으로써, 고속 동작시의 헤드의 치우침에 의한 속도 저하 및 휨을 방지하고 이로 인해 고속 동작을 보장할 수 있게 되었다.

도 1은 일반적인 액정 표시 장치를 나타낸 분해사시도

도 2는 일반적인 액정 표시 장치의 TFT 기판의 형성 공정을 나타낸 흐름도

도 3은 일반적인 액정 표시 장치의 칼라 필터 기판의 형성 공정을 나타낸 흐름도

도 4는 액정 주입형 액정 표시 장치의 제조 방법의 흐름도

도 5는 액정 적하형 액정 표시 장치의 제조 방법의 흐름도

도 6은 종래의 검사 장비를 나타낸 사시도

도 7은 도 6의 평면도

도 8은 본 발명의 검사 장비를 나타낸 사시도

도 9는 도 8의 평면도

*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명*

100 : 검사 장비 101a, 101b : 좌, 우 지지대

102a, 102b : 제 1, 제 2 레일 103 : 헤드(head)

104 : 헤드 지지부 105 : 제 3 레일

106a, 106b : 좌, 우 접합부 110 : 스테이지

Claims

석정반으로 이루어진 스테이지;

석정반으로 이루어지며, 상기 스테이지 양측에 위치한 좌우 지지대;

석정반으로 이루어지며, 상기 좌우 지지대를 가로질러 위치하며, 상기 좌우 지지대를 지나가는 헤드 지지대; 및

최초 동작시 상기 헤드 지지대의 정중앙에 위치하고, 상기 스테이지에 유입된 기판의 소정 부위를 검사 또는 리페어(repair)하며, 상기 헤드 지지대에 구비된 레일을 지나가는 헤드를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 검사 장비.
제 1항에 있어서,

상기 헤드에는 CCD, 레이저, 광 센서 중 어느 하나를 구비한 것을 특징으로 하는 검사 장비.
제 1항에 있어서,

상기 헤드 지지대 및 상기 헤드는 일정한 속도로 이동되는 것을 특징으로 하는 검사 장비.
제 1항에 있어서,

상기 스테이지에는 상기 좌우 지지대에 소정 간격 이격된 부위에 상기 헤드 지지대의 형성 방향에 수직인 방향으로 상기 헤드 지지대를 이동시키는 레일이 더 구비된 것을 특징으로 하는 검사 장비.