KR20050091013A - Adapter for testing conductor arrangements - Google Patents

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KR20050091013A
KR20050091013A KR1020057011514A KR20057011514A KR20050091013A KR 20050091013 A KR20050091013 A KR 20050091013A KR 1020057011514 A KR1020057011514 A KR 1020057011514A KR 20057011514 A KR20057011514 A KR 20057011514A KR 20050091013 A KR20050091013 A KR 20050091013A
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만프레드 프로코프
빅터 로마노프
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에이티지 테스트 시스템즈 지엠비에이취 코오아퍼레이션 케이지
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Abstract

The invention relates to an adapter (3, 5) for testing a conductor arrangement (2), especially for testing a chip carrier. One such conductor arrangement comprises contact sites on one side, which are not arranged according to a high density and are interspaced at a minimum distance of, for example, 0.5 mm. Said adapter has at least one contact field (17) provided with respectively one set of contact elements. The contact elements of the contact field enable contact to be made with the conductor arrangement contact sites arranged according to a low density. The contact elements of said contact field are electrically connected to respectively one contact element of said contact field or another contact field, such that the strip conductors of two conductor arrangements are electrically interconnected and can be simultaneously tested.

Description

도체장치 검사용 어댑터{Adapter For Testing Conductor Arrangements}Adapter for Testing Conductor Arrangements

본 발명은 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 회로기판 및 그 밖의 실질적으로 대략 기판과 같은 비구성부(non-componented)의 도체 어셈블리 검사용 어댑터에 관한 것이다. 이러한 도체 어셈블리로는 집적회로에 연결하기 위한 접점들이 제공되는 칩면과 또 다른 도체 어셈블리에 연결하기 위한 더 큰 접점들이 제공되는 연결면을 갖는, 예를 들어, 칩 캐리어(chip carriers)이다. 연결면상의 이들 접점들은 규칙적인 격자로 배열될 수 있다.The present invention relates to an adapter for inspecting one or more conductor assemblies. In particular, the present invention relates to adapters for inspecting non-componented conductor assemblies, such as circuit boards and other substantially substantially substrates. Such conductor assemblies are, for example, chip carriers having a chip face provided with contacts for connecting to an integrated circuit and a connection face provided with larger contacts for connecting to another conductor assembly. These contacts on the connection surface may be arranged in a regular grid.

비구성부 회로기판의 검사를 위한 공지의 장치는 원칙적으로 2 그룹으로 나누어질 수 있다. 첫번째 그룹은 회로기판의 모든 접점들이 어댑터를 사용하여 동시에 접촉될 수 있는, 소위 병렬 테스터(parallel testers)라고 하는 어댑터를 사용하는 장치를 포함한다. 두번째 그룹은 소위 핑거 테스터(finger testers)를 구비한다. 이들은 2 이상의 테스트 핑거를 사용하여 순차적으로 각각의 접점들을 스캔하는 장치이다.Known devices for the inspection of unconstituted circuit boards can in principle be divided into two groups. The first group includes devices using adapters called so-called parallel testers, in which all the contacts of the circuit board can be contacted simultaneously using the adapter. The second group has so-called finger testers. These are devices that sequentially scan each contact using two or more test fingers.

어댑터를 사용하는 테스터가, 예를 들어, DE 42 37 591 A1, DE 44 06 538 A1, DE 43 23 276 A, 및 EP 215 146 B1 및 DE 38 38 413 A1에 개시되어 있다.Testers using adapters are disclosed, for example, in DE 42 37 591 A1, DE 44 06 538 A1, DE 43 23 276 A, and EP 215 146 B1 and DE 38 38 413 A1.

이러한 어댑터는 기본적으로 피검사 회로기판의 접점들의 불규칙한 배열을 전기 테스터의 기 설정된 기본격자와 일치시키는데 사용된다. 현재의 피검사 회로기판에서, 검사점들은 더 이상 균일한 격자로 배열되지 않으므로, 접촉격자 및 접점들 사이의 연결을 이루는 어댑터내의 접촉바늘들이 경사지거나 편향되게 배열되거나, 소위 트랜지스터가 균일한 접촉그리드를 상기 접점들의 불규칙한 배열로 "이동"시키기 위해 제공된다. 따라서, 이들 어댑터는 또한 그리드 매칭 어댑터(grid matching adpaters)로서 알려져 있다.These adapters are basically used to match the irregular arrangement of the contacts on the circuit board under test with the preset basic grid of the electrical tester. In current circuit boards under test, the test points are no longer arranged in a uniform lattice, so that the contact needles in the adapter making the connection between the contact grid and the contacts are arranged to be inclined or deflected, or so-called transistors with a uniform contact grid. To "move" into an irregular arrangement of the contacts. Thus, these adapters are also known as grid matching adpaters.

장치의 타입에 무관하게, 비구성부 회로기판의 각각의 도체경로는 상기 도체경로에서의 단선("개방회로 검사") 및 다른 도체경로로의 전기연결("단락 검사")에 대해 검사된다. 단락 검사는 낮은 임피던스와 높은 임피던스 연결 모두의 검출을 포함할 수 있다.Each of the conductive path of the non-voice circuit board, regardless of the type of the device, is checked for disconnection ( "open circuit test") and the electrical connection to the other conductive path ( "short-circuit inspection") in the conductor path. Short checks may include detection of both low and high impedance connections.

다른 측정기술들이 개방회로 검사 및 단락 검사 모두에 대해 공지되어 있다. 이 기술은 단락에 대한 각 도체경로 검사 및 단선에 대한 도체경로의 각 분기 검사를 포함하므로, 다수의 도체경로를 갖는 현대식 회로기판에 대하여는, 이에 따른 많은 개별 측정동작이 수행되어야만 한다.Other measurement techniques are known for both open circuit inspection and short circuit inspection. Since this technique involves checking each conductor path for shorts and for each branch of the conductor path for disconnections, for modern circuit boards with multiple conductor paths, many individual measurement operations must be performed accordingly.

불균일한 전기장(inhomogeneous electrical field)이 피검사 회로기판에 가해지는 회로기판검사 방법이 EP 0 508 062 B1에 공지되어 있으며, 불균일한 전기장으로 인해 형성된 전위가 접점에 있는 측정 프로브에 의해 인출되고, 상기 전위는 다른 테스트 지점의 전위 및/또는 기준전위와 비교된다. 이 방법을 필드측정(field measurement)이라 한다.A circuit board inspection method in which a nonuniform electrical field is applied to a circuit board under test is known from EP 0 508 062 B1, in which a potential formed by the non-uniform electric field is drawn out by a measuring probe at a contact point, and The potential is compared with the potential and / or reference potential at other test points. This method is called field measurement.

이러한 필드측정의 또 다른 개량된 방법이 EP 0 772 054 A2에 설명되어 있다. 이러한 필드측정의 또 다른 방법에서, 제 1 회로기판 검사에서, 각각의 도체경로에 대해 필드측정으로써 단락을 그리고 저항측정으로써 단선을 검사한다. 결과적으로 측정된 값들로부터, 또 다른 회로기판 검사에서 기준 어드미턴스(admittances)로서 사용되는 어드미턴스가 계산된다. 또 다른 회로기판 검사에서 이들 기준 어드미턴스를 사용함으로써, 필드측정에 의해 단락 및 단선 모두에 대한 각각의 도체경로를 검사할 수 있다. Another improved method of this field measurement is described in EP 0 772 054 A2. In another method of such field measurement, in the first circuit board inspection, for each conductor path, a short circuit by field measurement and a disconnection by resistance measurement are checked. As a result, from the measured values, the admittance used as reference admittances in another circuit board inspection is calculated. By using these reference admittances in another circuit board inspection, each conductor path can be inspected for both short and broken lines by field measurements.

US 5,268,645는 EP 0 508 062 B1에 해당하고 US 5,903,160은 EP 0 772 054 A2에 해당한다. 이들 참조문헌의 개시가 모두 참조되고, 본 출원에 포함된다.US 5,268,645 corresponds to EP 0 508 062 B1 and US 5,903,160 corresponds to EP 0 772 054 A2. The disclosures of these references are all incorporated by reference.

DE 197 00 505 A1은 회로기판의 다수의 전원망(power nets) 및/또는 접지망(ground nets)이 단락되고, 높은 테스트 전압을 갖는 신호망(signal nets)이 이러한 네트들의 조합에 대한 단락회로에 대하여 검사되는 회로기판 검사방법을 개시하고 있다. 이 방법은 먼저 망들의 조합에 고전위를 제공하고 그런 후 이 조합에 대하여 각각의 신호망들을 검사하는 것을 포함한다. 이에 의해, 신호망이 각각의 전원망 및/또는 접지망에 대하여 개별적으로 검사될 필요가 없기 때문에, 수반된 고전압으로 인한 매우 시간소비적인 검사회수를 급격히 줄일 수 있다.DE 197 00 505 A1 has a short circuit for a plurality of power nets and / or ground nets on the circuit board, and signal nets with high test voltages for a combination of these nets. A circuit board inspection method for inspecting is disclosed. The method involves first providing a high potential to the combination of networks and then examining the respective signal networks for that combination. Thereby, since the signal network does not need to be individually inspected for each power supply network and / or the grounding network, it is possible to drastically reduce the time-consuming inspection count due to the high voltage involved.

소위 칩 캐리어의 검사에서, 검사장치에 대한 특정한 요구가 이루어진다. 칩 캐리어는 하나 이상의 집적회로가 케이싱(casing) 없이 직접 연결될 수 있고 본드(bonds)에 의해 칩 캐리어의 접점에 전기적으로 연결될 수 있는 접점을 일면상에, 즉, 칩면상에 갖는 작은 회로기판이거나 도체 어셈블리이다. 칩면상의 접점은 칩 캐리어의 대향면상에, 즉 연결면상에 해당하는 접점에 도체경로에 의해 각각 전기적으로 연결된다. 칩 캐리어는 3차원 구조를 가질 수 있다(US 5,006,093 참조).In the inspection of so-called chip carriers, certain demands are placed on the inspection apparatus. A chip carrier is a small circuit board or conductor having one or more contacts on one side, ie on the chip side, in which one or more integrated circuits can be directly connected without casing and electrically connected to the contacts of the chip carrier by bonds. Assembly. The contacts on the chip face are each electrically connected by conductor paths to the contacts corresponding to the chip carrier, ie on the connection face. The chip carrier may have a three-dimensional structure (see US 5,006,093).

칩면상의 접점은 일반적으로 작고 서로 매우 가까이 배열된다. 기술적 용어로 이를 "하이-피치(high-pitch)"라고 설명한다. 연결면상의 접점은 대개 크고 일반적으로 격자로 배열된다. 대표적으로 BGA 그리드(ball grid array)가 제공된다. 이러한 칩 캐리어는 예를 들어 MC2M®BGA Type Multi-Chip Modules에 설명되어 있다. 이 간행물은 www.valtronic.ch.의 인터넷을 통해 구할 수 있다. 또 다른 칩 캐리어가, 예를 들어, US 5,066,963에 개시되어 있다.The contacts on the chip surface are generally small and arranged very close to each other. In technical terms this is referred to as "high-pitch". The contacts on the connecting surface are usually large and usually arranged in a grid. Typically a ball grid array (BGA) is provided. The chip carrier may, for example, are described in the MC 2 M ® BGA Type Multi- Chip Modules. This publication is available on the Internet at www.valtronic.ch. Another chip carrier is disclosed, for example, in US Pat. No. 5,066,963.

칩 캐리어의 칩면상에 있는 접점은 매우 정교하게 구성되어 있고 서로 가까이 배열되어 있어 통상의 어댑터로는 접촉될 수 없다. 따라서, 병렬 테스터를 사용하여서는 이러한 칩 캐리어를 검사할 수 없다. 칩 캐리어는 매우 많은 양으로 대량 제조된다. 종래 핑거 테스터로, 칩면의 접점들이 접촉될 수 있으나, 종래 핑거 테스터를 사용한 검사는 경제적으로 실행될 수 없는데, 왜냐하면 칩 캐이러의 검사에서 모든 접점을 순차적으로 스캐닝하는데 너무 많은 시간이 걸리기 때문이다. 따라서, 칩 캐리어 검사용으로, 접촉면에 접촉하기 위해, 상기 접촉면상의 칩 캐리어의 접점과 일치하도록 배열된 접점소자를 갖는 어댑터를 구비하는 특정한 검사장치가 개발되었다. 대개 어댑터의 접촉소자는 소정의 그리드, 특히 BGA 그리드로 배열된다. 한편, 칩 캐리어의 칩면은 자유로이 이동하는 접촉핑거에 의해 접촉된다. 따라서, 칩 캐리어 검사장치는 조합된 병렬/핑거 테스터이다. 이러한 장치를 사용하면, 칩 캐리어의 검사에 있어 높은 처리율이 달성될 수 있다. 그러나, 병렬 테스터에 적합한 전자평가장치 뿐만 아니라 핑거 테스터에 적합한 전자평가장치를 제공하는 것이 필요하기 때문에, 이들 특정한 장치는 매우 값이 비싸며 한편, 상기 검사장치는 매우 특정한 도체 어셈블리, 즉 칩 캐리어에만 사용될 수 있다.The contacts on the chip face of the chip carrier are very precisely arranged and arranged close to each other so that they cannot be contacted with a conventional adapter. Therefore, such a chip carrier cannot be inspected using a parallel tester. Chip carriers are mass produced in very large quantities. With a conventional finger tester, the contacts on the chip surface can be contacted, but the inspection using the conventional finger tester cannot be economically performed because it takes too much time to sequentially scan all the contacts in the inspection of the chip caherer. Thus, for the chip carrier inspection, a specific inspection apparatus has been developed which includes an adapter having contact elements arranged to coincide with the contacts of the chip carrier on the contact surface, in order to contact the contact surface. Usually the contact elements of the adapter are arranged in a given grid, in particular in a BGA grid. On the other hand, the chip surface of the chip carrier is contacted by the contact finger moving freely. Thus, the chip carrier inspection device is a combined parallel / finger tester. Using such a device, high throughput can be achieved in the inspection of chip carriers. However, since it is necessary to provide electronic evaluation devices suitable for finger testers as well as electronic evaluation devices suitable for parallel testers, these specific devices are very expensive, while the inspection devices are only used for very specific conductor assemblies, i.e., chip carriers. Can be.

비구성부 회로기판 검사장치가 US 2001/013783 A1에 공지되어 있다. 이 장치는 어댑터와 비교될 수 있고 다수의 프로브가 제공되는 이른바 프로브부(probe section)를 갖는다. 피검사 회로기판이 이 프로브부에 위치된다. 피검사 회로기판상에는 절연박막(insulating film)이 있다. 상기 절연박막상에 프로브 팁을 갖는 테스트 헤드(test heads)가 제공되며, 상기 테스트 헤드가 상기 절연박막 위로 각각의 회로기판 검사지점과 접촉하도록 이동될 수 있다. 프로브부의 프로브는 스위칭 장치를 통해 전자평가장치에 연결된다. 상기 프로브부, 스위칭 전자장치 및 평가장치로 구성된 유닛이 병렬 테스터를 형성한다.An unconfigured circuit board inspection device is known from US 2001/013783 A1. The device has a so-called probe section that can be compared with an adapter and provided with a plurality of probes. The circuit board under test is placed in this probe section. There is an insulating film on the circuit board under test. Test heads having a probe tip are provided on the insulating thin film, and the test head can be moved to contact each circuit board inspection point over the insulating thin film. The probe of the probe unit is connected to the electronic evaluation device through a switching device. The unit consisting of the probe unit, the switching electronics and the evaluation device forms a parallel tester.

전자회로기판 검사장치가 DE 44 17 580 C2에 공지되어 있다. 이러한 검사장치는 전자부품이 제공된 회로기판 검사를 위해 설계되었다. 본 명세서에서 설명된 검사장치는 바늘방석(bed-of-nail) 형태의 어댑터를 가지며, 상기 어댑터상에 피검사 기판이 위치될 수 있다. 상기 전자부품을 포함하는 기판의 상부면이 기판위로 이동될 수 있는 접촉핀을 갖는 센서 어레이에 의해 접촉된다. 개개의 전자부품에 대한 기능검사가 상술한 조합된 병렬/핑거 테스터와 유사한 이러한 장치로 행해진다.Electronic circuit board inspection devices are known from DE 44 17 580 C2. These inspection devices are designed for inspection of circuit boards provided with electronic components. The inspection apparatus described herein has an adapter in the form of a bed-of-nail, on which the substrate under test can be placed. The top surface of the substrate containing the electronic component is contacted by a sensor array having contact pins that can be moved over the substrate. Functional testing of the individual electronic components is done with such a device similar to the combined parallel / finger tester described above.

접촉영역상에 전기 도전성 탄성 엘라스토머로 제조된 패드와 같은 플러그를 갖는 회로기판용 어댑터 또는 전자 테스터가 DE 38 38 413 A1에 공지되어 있다.Adapters or electronic testers for circuit boards with plugs such as pads made of electrically conductive elastic elastomer on the contact area are known from DE 38 38 413 A1.

EP 0 772 054 A2는 핑거 테스터와 연계하여 사용되는 방법에 관한 것이지만, 어댑터의 사용이 상기 문헌에서는 개시되지 않았다.EP 0 772 054 A2 relates to a method used in connection with a finger tester, but the use of an adapter is not disclosed in this document.

따라서, 본 발명은 종래 테스트장치를 사용하여 칩 캐리어 또는 칩 캐리어와 매우 유사한 매우 빠른 비구성부 도체 어셈블리 검사의 간단하고 비용효과적인 수단을 제공하는 문제에 기초한 것이다. Accordingly, the present invention is based on the problem of providing a simple and cost effective means of inspecting a chip carrier or a very fast non-component conductor assembly very similar to a chip carrier using conventional test apparatus.

상기 문제는 청구항 1의 특징을 갖는 어댑터에 의해 해결된다. 유리한 변형이 종속항들에 나타나 있다.The problem is solved by an adapter having the features of claim 1. Advantageous modifications are shown in the dependent claims.

핑거 테스터에서 다수의 도체경로를 갖는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사를 위한 본 발명에 따른 어댑터로서, 상기 도체 어셈블리는 최근접한 접점으로부터 적어도 소정의 간격으로 배열된 접점이 제공된 일면을 가지고 있어, 상기 도체 어셈블리의 일면이 어댑터에 의해 접촉될 수 있으며,An adapter according to the invention for inspecting one or more conductor assemblies having a plurality of conductor paths in a finger tester, the conductor assembly having one surface provided with contacts arranged at least at predetermined intervals from the nearest contact, One side can be contacted by the adapter,

상기 어댑터는 접촉소자 세트를 갖는 적어도 하나의 접촉필드를 구비하고, 상기 접촉필드의 상기 접촉소자는 상기 도체 어셈블리의 접점에 따른 배치로 배열되고,The adapter having at least one contact field with a set of contact elements, the contact elements of the contact field arranged in a configuration in accordance with the contacts of the conductor assembly,

상기 접촉필드의 접촉소자는 상기 도체 어셈블리의 도체경로가 어댑터에 의해 접촉되지 않는 적어도 한 면상에 하나 이상의 접점을 갖는 하나의 테스트 네트(test net)를 형성하도록 조합되게 또 다른 접촉소자(7,27)와 각각 전기적으로 연결된다.The contact elements of the contact field may be combined to form another test net having one or more contacts on at least one surface on which the conductor path of the conductor assembly is not contacted by an adapter. Are electrically connected to each other.

따라서, 본 발명은 일면상의 도체 어셈블리에 접촉하도록 사용될 수 있는 어댑터를 만들며, 상기 도체 어셈블리의 도체경로는 이러한 또는 또 다른 도체 어셈블리의 하나 이상의 다른 도체경로와 전기적으로 연결된다. 이에 따라 형성된 테스트 네트는 어댑터에 의해 접촉되지 않은 도체 어셈블리의 면상에 적어도 하나의 접점을 가지므로, 이들 테스트 네트는 핑거 테스터의 테스트 핑거에 의해 접촉될 수 있다. 모든 피검사 도체경로는 상기 어댑터에 의해 접촉될 수 없는 도체 어셈블리의 면상에 접촉될 수 있는 테스트 네트의 일부분이다. Accordingly, the present invention makes an adapter that can be used to contact a conductor assembly on one side, wherein the conductor path of the conductor assembly is electrically connected to one or more other conductor paths of this or another conductor assembly. The test nets thus formed have at least one contact on the face of the conductor assembly not contacted by the adapter, so that these test nets can be contacted by the test fingers of the finger tester. All conductor paths under test are part of the test net that can be contacted on the face of the conductor assembly that cannot be contacted by the adapter.

어댑터 및 하나 이상의 도체 어셈블리의 이러한 시스템이 핑거 테스터에 장착될 수 있고, 테스트 네트가 스캔될 수 있다. 어댑터를 통한 다수의 도체경로가 테스트 네트에 조합되는 사실로 인해, 개개의 측정동작은 각각 다수의 도체경로의 동시검사를 포함하며, 이는 검사속도가 핑거 테스터에서의 종래 검사에 비하여 상당히 증가된 것임을 의미한다.Such a system of adapters and one or more conductor assemblies can be mounted to the finger tester and the test net can be scanned. Due to the fact that the multiple conductor paths through the adapter are combined in the test net, each measuring operation involves simultaneous examination of multiple conductor paths, which means that the test speed is significantly increased compared to the conventional test in the finger tester. it means.

그러나, 어댑터 자체가 전자평가장치에 직접 연결되지 않기 때문에, 종래 병렬 테스터기의 경우에서 처럼, 쉽고 비용효과적으로 제조될 수 있다. 이는 특히 도체 어셈블리의 접점들이 소정의 바람직한 표준 그리드로 배열되는 경우에 적용된다. 이러한 도체 어셈블리에 대해, 소정의 조건하에서는, 심지어 표준화된 어댑터가 사용될 수 있어, 특히 당해 도체 어셈블리에 대해 설계될 필요가 없다.However, since the adapter itself is not directly connected to the electronic evaluation device, it can be manufactured easily and cost-effectively, as in the case of the conventional parallel tester. This applies in particular when the contacts of the conductor assembly are arranged in some desired standard grid. For such conductor assemblies, under certain conditions, even standardized adapters can be used, and do not need to be specifically designed for that conductor assembly.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 도체 어셈블리의 도체경로는 테스트 네트가 상기 어댑터에 의해 접촉되지 않은 도체 어셈블리의 면상에 적어도 2개의 접점을 갖도록 어댑터를 통해 전기적으로 연결되어 있다. 테스트 네트에서 적어도 2개의 접점의 제공으로 저항측정에 의한 테스트 네트의 개방회로 검사를 할 수 있다. 도체 어셈블리의 우수한 대량제조는 저항측정에 의해 도체 어셈블리의 도체경로가 단선에 대해 검사되는 것을 필요로 하는데, 왜냐하면 이러한 저항측정이 고임피던스 파열의 경우에도 가장 신뢰할 수 있다는 의견이 있기 때문이다.According to a preferred embodiment of the invention, the conductor path of the conductor assembly is electrically connected via the adapter such that the test net has at least two contacts on the face of the conductor assembly which are not in contact by the adapter. The provision of at least two contacts in the test net enables the open circuit inspection of the test net by resistance measurement. Good mass production of conductor assemblies requires that the conductor path of the conductor assembly be inspected for disconnection by resistance measurements, because there is an opinion that such resistance measurements are most reliable even in the case of high impedance rupture.

따라서, 이런 식으로 설계된 어댑터로, 도체 어셈블리의 도체경로가 저항측정을 사용하여 핑거 테스터에서의 단선에 대해 빠르고 쉽게 검사될 수 있다. 본 명세서에서, 어댑터는 자체적으로 전자평가장치에 연결되는 것이 아니라 테스터 핑거에만 연결된다. 따라서, 본 발명에 따른 어댑터는, 검사 시간이 줄어듦으로 인해, 병렬 테스터기 또는 특정하게 설계된 검사장치로만 앞서 검사되었던 소정의 도체 어셈블리를 핑거 테스터로 검사하는 이러한 어댑터를 사용하는 것이 경제적이므로, 핑거 테스트를 제조하고 사용분야를 확장시키는데 비용효과적이다.Thus, with an adapter designed in this way, the conductor path of the conductor assembly can be quickly and easily checked for disconnection in the finger tester using resistance measurements. In this specification, the adapter is not connected to the electronic evaluation device by itself, but only to the tester finger. Accordingly, the adapter according to the present invention is economical to use such an adapter to check any conductor assembly previously tested only with a parallel tester or a specially designed testing device with a finger tester due to the reduced test time, thus making it possible to perform a finger test. Cost effective to manufacture and expand the field of use.

본 발명에 따른 어댑터는 또한 2면상에 접점을 갖는 도체 어셈블리의 단일면 핑거 테스터에서의 검사를 허용한다. 따라서, 본 발명에 따른 어댑터로, 종래 단일면 핑거 테스터의 적용범위가 2면상에 접점을 갖는 도체 어셈블리에까지 확장될 수 있다. 본 발명에 따른 어댑터를 사용하여, 다른 도체 어셈블리의 도체경로도 하나의 테스트 네트에 함께 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 하나의 어댑터상에 다수의 도체 어셈블리가 제공될 수 있고, 하나의 도체 어셈블리내에 있는 도체경로가 상기 어댑터를 통해 서로 전기적으로 연결되고, 다른 도체 어셈블리의 도체경로가 상기 어댑터에 의해 하나의 테스트 네트를 형성하도록 연결된다.The adapter according to the invention also allows inspection in a single sided finger tester of the conductor assembly having contacts on two sides. Thus, with the adapter according to the invention, the scope of application of the conventional single-sided finger tester can be extended to conductor assemblies having contacts on two sides. Using the adapter according to the invention, the conductor paths of different conductor assemblies can also be electrically connected together in one test net. Furthermore, multiple conductor assemblies can be provided on one adapter, the conductor paths in one conductor assembly being electrically connected to one another via the adapter, and the conductor paths of the other conductor assembly being tested by the adapter. Are connected to form a net.

바람직하기로, 많은 도체경로들이 몇몇의 테스트 네트, 이상적으로는 2개의 테스트 네트를 형성하기 위해 어댑터에 의해 함께 전기적으로 연결된다. 본 명세서에서, 소위 차폐인접기준(Shielded Adjacency Criterion)이 편의상 고려된다: 즉, 도체 어셈블리에서의 위치를 고려하여 테스트 네트 부분이 아닌 또 다른 도체경로가 상기 도체경로 사이에 배열되거나, 상기 도체 어셈블리에서의 또 다른 위치에 경계층이 형성되기 때문에, 당해 테스트 네트의 다른 도체경로와 함께 단락을 형성할 수 없는 도체경로만이 어댑터에 의해 함께 연결된다. 몇몇의 테스트 네트로의 도체경로의 연결은 단락검사에서의 측정들을 단지 몇번의 측정동작으로 줄일 수 있게 할 수 있으며, 이러한 경우 개개의 테스트 네트만이 서로에 대하여 측정되어야만 한다.Preferably, many conductor paths are electrically connected together by an adapter to form several test nets, ideally two test nets. In the present specification, so-called shielded adjacency criterion is contemplated for convenience: that is, another conductor path that is not part of the test net, in view of its position in the conductor assembly, is arranged between the conductor paths, or in the conductor assembly. Since the boundary layer is formed at another position of, only the conductor path which cannot form a short circuit with the other conductor path of the test net is connected together by the adapter. The connection of conductor paths to several test nets can reduce the measurements in the short-circuit test to only a few measurement operations, in which case only individual test nets have to be measured against each other.

테스트 네트의 제한된 개수로 인해, 승압된 전압이 단지 몇번만 고조되어야만 하기 때문에, 테스트 네트의 최소 개수의 제공은 시간이 크게 손실됨이 없이 높은 테스트 전압의 사용을 가능하게 한다. 이 원리는 DE 197 00 505 A1에 설명되어 있고, 그 모든 내용이 참조된다.Due to the limited number of test nets, the provision of the minimum number of test nets allows the use of high test voltages without significant time loss, since the boosted voltage has to be raised only a few times. This principle is described in DE 197 00 505 A1, to which reference is made.

특히, 필드측정방법이 사용되는 경우, 테스트 네트들이 하나의 테스트 샘플에서 단락에 대해 검사될 수 있으며, 적절한 기준 어디미턴스가 이용가능한 경우, 상기 테스트 네트는 단선에 대해서도 검사될 수 있다.In particular, when a field measurement method is used, test nets can be inspected for shorts in one test sample, and the test net can also be inspected for disconnections if an appropriate reference spot is available.

이들 테스트 측정은 공지된 핑거 테스터로 이루어질 수 있으며, 특히 칩 캐리어의 검사를 위해 설계된 검사장치를 사용한 것보다 처리율이 떨어지지 않는다. 필드측정의 사용에서, 처리율이 심지어 증가될 수 있다.These test measurements can be made with known finger testers, and the throughput is not lower than using an inspection device designed specifically for the inspection of chip carriers. In the use of field measurement, the throughput can even be increased.

본 발명은 개략적으로 도시된 도면을 참조로 하기에 예로서 상세하게 설명된다:The invention is explained in detail by way of example with reference to the drawings schematically shown:

도 1은 칩면 및 연결면으로 각각 보이는 2개의 칩 캐리어의 사시도,1 is a perspective view of two chip carriers each viewed as a chip surface and a connection surface;

도 2는 에지 경계와 함께 도시된 접점, 도체경로 및 비아홀만을 갖는 도 1의 칩 캐리어,2 shows the chip carrier of FIG. 1 with only contacts, conductor paths and via holes shown with edge boundaries, FIG.

도 3은 도 1 및 도 2의 칩 캐리어를 갖는 본 발명에 따른 어댑터,3 shows an adapter according to the invention with the chip carrier of FIGS. 1 and 2,

도 4는 칩 캐리어와 함께 도 3의 어댑터의 접촉핀 어레이,4 is a contact pin array of the adapter of FIG. 3 with a chip carrier;

도 5는 본 발명에 따른 또 다른 어댑터의 사시도,5 is a perspective view of another adapter according to the present invention;

도 6은 어댑터의 각각의 도체경로를 도시한 도 5의 어댑터의 평면도,6 is a plan view of the adapter of FIG. 5 showing respective conductor paths of the adapter;

도 7은 본 발명에 따른 어댑터가 사용된 핑거 테스터,7 is a finger tester using the adapter according to the present invention,

도 8은 본 발명에 따른 또 다른 어댑터의 평면도,8 is a plan view of another adapter according to the invention,

도 9는 매우 간략화한 형태의 칩 캐리어의 상호연결된 도체경로의 배열, 그리고9 shows an arrangement of interconnected conductor paths of chip carriers in a very simplified form, and

도 10은 장착된 칩 캐리어를 갖는 어댑터의 사시도.10 is a perspective view of an adapter having a chip carrier mounted;

4개의 칩 캐리어(2) 검사를 위한 본 발명에 따른 어댑터(1)가 도 3에서 사시도로 개략적으로 도시되어 있다. 어댑터는 본 실시예에서 비도전성 재료로 된 플라스틱판인 어댑터 본체(3)를 갖는다. 어댑터 본체(3)에는 각각이 접촉핀(5)을 수용할 수 있는 수개의 관통구멍(4)이 있다. 관통구멍은 각각 10×10 관통구멍(4)을 갖는 2개의 매트릭스 형태로 배열된다. 각 경우, 2개의 인접한 관통구멍(4) 사이의 중심간 거리는 0.5-1㎜이다. 따라서, 관통구멍(4)은 볼 그리드 어레이(ball grid array, BGA)에 따른 규칙적인, 직사각형 그리드로 배치된다. The adapter 1 according to the invention for inspecting four chip carriers 2 is shown schematically in a perspective view in FIG. 3. The adapter has an adapter body 3 which in this embodiment is a plastic plate of non-conductive material. The adapter body 3 has several through holes 4 each of which can receive the contact pins 5. The through holes are arranged in the form of two matrices each having 10 × 10 through holes 4. In each case, the distance between the centers between two adjacent through holes 4 is 0.5-1 mm. Thus, the through holes 4 are arranged in a regular, rectangular grid according to a ball grid array (BGA).

각각의 두 단부에서 접촉핀(5)은 프로브 팁(probe tip)(6,7)을 갖는다. 도면을 간략하게 하기 위해, 관통구멍(4) 밖으로 소정 방식으로 돌출한 접촉핀(5)이 도 3에서 도시되어 있다. 특정한 실시예에서, 접촉핀(5)이 프로브 팁(6,7)과 함께 어댑터 본체(3)의 상단면(8) 또는 하단면(9) 위로 수십 ㎜ 만 뻗어있다. 접촉핀(5)은 바람직하게는 스프링 소자로 제조된 소위 스프링 접촉핀이므로, 접촉핀(5)은 스프링 수단에 의해 압축될 수 있다. 접촉핀에는 바람직하게는 상기 접촉핀(5)이 관통구멍(4)을 통해 빠지지 않게 보장하도록 대략 길이방향 중심 영역에 마찰방지 작용물(agent)이 제공된다. At each of the two ends the contact pins 5 have probe tips 6, 7. For the sake of simplicity, the contact pins 5 protruding in a predetermined manner out of the through holes 4 are shown in FIG. 3. In a particular embodiment, the contact pin 5 extends only tens of millimeters above the top surface 8 or bottom surface 9 of the adapter body 3 together with the probe tips 6, 7. Since the contact pin 5 is preferably a so-called spring contact pin made of a spring element, the contact pin 5 can be compressed by the spring means. The contact pin is preferably provided with an antifriction agent in the approximately longitudinal central region to ensure that the contact pin 5 does not fall through the through hole 4.

어댑터 본체(3)의 두 표면(8,9) 중 어느 한 영역에서 각각 접촉핀(5) 매트릭스의 프로브 팁(6 및 7)이 칩 캐리어(2)에 접촉하기 위한 접촉필드(17,18)를 각각 형성한다. Contact fields 17 and 18 for contacting the chip carrier 2 with the probe tips 6 and 7 of the matrix of contact pins 5 in either of the two surfaces 8, 9 of the adapter body 3, respectively. Form each.

본 실시예에서, 이러한 칩 캐리어(2)는 칩면(10) 및 연결면(11)을 갖는 작은회로기판이다(도 1 및 도 2). 평면도에서 4개의 만곡 세그먼트(curved segments)(13)의 링을 형성하는 작은 접촉패드(12)가 칩면(10)에 형성된다. 이들 접촉패드(12)는 집적회로(미도시)의 본딩(bonding)에 사용된다. 이들 접촉패드(12)의 일부로부터, 비아홀(via hole)(15)로 도체경로(14)가 안내된다. 통상적으로 모든 또는 적어도 실질적으로 모든 접촉패드(12)가 도체경로(14)에 의해 비아홀(15)로 연결된다. 도면에서, 표현을 간략하게 하기 위해, 단지 몇개의 도체경로(14)만이 도 1 내지 도 4에 도시되어 있다. 이들 비아홀(15)은 볼 그리드 어레이의 그리드에서 칩 캐리어(2)상에 형성되고, 각각의 경우 칩면(10)에서 연결면(11)까지 연장된다. 연결면(11)상에, 비아홀(15)이 접점(16)을 각각 형성한다. 비아홀(15)은 전기 도전성 재료로 완전히 코팅되거나 채워지는, 예를 들어, 직경이 0.1㎜ 미만인 관통홀이다. 접점(16) 영역에서, 전기 도전성 재료가 접촉패드(12)를 형성한다. 접점(16)의 직경은 칩면(10)상의 접촉패드(12)의 길이 또는 폭보다 상당히 더 크며, 예를 들면, 0.5㎜에 달한다. 접점(16)은 상술한 규칙적인 격자(BGA 격자)로 배열되므로, 칩면(10)의 접촉패드(12)에 비하여 상기 접점은 매우 넓게 이격되어 있으며 이에 따라 어댑터와의 접촉을 더 쉽게 한다. In this embodiment, this chip carrier 2 is a small circuit board having a chip face 10 and a connection face 11 (Figs. 1 and 2). A small contact pad 12 is formed on the chip surface 10 that forms a ring of four curved segments 13 in plan view. These contact pads 12 are used for bonding an integrated circuit (not shown). From some of these contact pads 12, the conductor path 14 is guided to via holes 15. Typically all or at least substantially all contact pads 12 are connected to via holes 15 by conductor paths 14. In the figures, only a few conductor paths 14 are shown in FIGS. 1 to 4 to simplify the representation. These via holes 15 are formed on the chip carrier 2 in the grid of the ball grid array, and in each case extend from the chip surface 10 to the connection surface 11. On the connection surface 11, via holes 15 form contacts 16, respectively. Via hole 15 is a through hole, for example less than 0.1 mm in diameter, completely coated or filled with an electrically conductive material. In the region of the contact 16, an electrically conductive material forms the contact pad 12. The diameter of the contact 16 is considerably larger than the length or width of the contact pad 12 on the chip surface 10, for example reaching 0.5 mm. Since the contacts 16 are arranged in a regular grating (BGA grating) as described above, the contacts are spaced far more widely than the contact pads 12 of the chip face 10, thus making contact with the adapter easier.

칩면상의 높은 접점밀도로 인해, 칩 캐리어는 일반적으로 적층(multi-layer) 회로기판으로 형성된다. 이런 이유로 인해, 이와 같은 칩 캐리어의 경우에, 비아홀이 상기 칩 캐리어의 전체를 통하여 항상 연장되지는 않는다. 도 1 내지 도 4가 이에 대해 개략적으로 간략화되었다.Due to the high contact density on the chip surface, the chip carriers are generally formed of multi-layer circuit boards. For this reason, in the case of such a chip carrier, the via hole does not always extend through the whole of the chip carrier. 1 to 4 are schematically simplified for this.

칩 캐리어의 일반적인 특징은 모든 또는 적어도 다수의 도체경로가 칩면에서 연결면으로 안내된다는 것이다. 본 실시예에서, 칩면에서 연결면로의 연결은 비아홀에 의해 달성된다. 복잡한 칩 캐리어의 경우에만, 칩면상에 있는 2개의 접점에만 연결되고 연결면에 안내되지 않는 도체경로가 제공된다. 그러나, 이러한 도체경로의 개수는 칩면에서 연결면으로 안내되는 도체경로에 비해 낮다.A general feature of chip carriers is that all or at least a plurality of conductor paths are guided from the chip surface to the connection surface. In this embodiment, the connection from the chip surface to the connection surface is achieved by via holes. Only in the case of complex chip carriers, a conductor path is provided which is connected only to two contacts on the chip face and is not guided to the connection face. However, the number of such conductor paths is lower than the conductor paths guided from the chip surface to the connection surface.

이와 같은 칩 캐리어(2)를 검사하기 위해, 접촉필드(17)를 각각 형성하는 프로브 팁(6) 세트상의 접점(16)들에 상기 칩 캐리어가 배치된다. 또 다른 접촉필드(18)를 형성하는 프로브 팁(7)상의 접점(16)들에 또 다른 칩 캐리어(2)가 배치된다. 접촉필드(17,18)의 프로브 팁(6,7)은 접촉핀(5)을 통해 쌍으로 서로 전기적으로 연결되어 있으므로, 2개의 칩 캐리어(2)의 접점(16)도 서로 쌍으로 전기 연결된다(도 4).To inspect such a chip carrier 2, the chip carrier is arranged at the contacts 16 on the set of probe tips 6 which respectively form the contact field 17. Another chip carrier 2 is arranged at the contacts 16 on the probe tip 7 forming another contact field 18. Since the probe tips 6 and 7 of the contact fields 17 and 18 are electrically connected to each other in pairs via the contact pins 5, the contacts 16 of the two chip carriers 2 are also electrically connected to each other in pairs. (FIG. 4).

본 실시예의 어댑터(1)상에, 2쌍의 칩 캐리어(2)를 장착할 수 있고, 상기 마주보는 칩 캐리어(2)의 접점(16)들은 서로 쌍으로 전기 연결되어 있다.On the adapter 1 of the present embodiment, two pairs of chip carriers 2 can be mounted, and the contacts 16 of the opposing chip carriers 2 are electrically connected in pairs with each other.

검사를 위해, 어댑터(1) 및 칩 캐리어(2)가 핑거 테스터(20)에 실장된다(도 7). 이러한 핑거 테스터(20)는 수개의 테스터 핑거(21)를 가지며, 상기 각각의 테스터 핑거에 테스트 전극(22)이 일체로 형성된다. 상기 테스트 전극(22)은 전자평가장치에 연결된다. 테스터 핑거(21)는 칩 캐리어(2)의 표면에 평행한 슬라이더(23)의 도움으로 어댑터의 상부면 및 하부면에 평행하게 이동할 수 있어, 상기 전극이 칩 캐리어(2)의 접촉패드(12)에 접촉될 수 있다. 이러한 핑거 테스트는 어댑터(1)의 양면상에 있는 칩 캐리어(2)가 접촉될 수 있도록, 예를 들어, 어댑터(1) 위아래로 8개씩 16개의 핑거 테스트(21)를 갖는다. 각각의 테스트 핑거(21)는 어댑터(1)의 표면에 평행한 면으로 이동될 수 있는 슬라이더(23)에 고정된다. 슬라이더(23)에는 수직 배열된 작동 실린더(actuating cylinder)(24)가 각각 제공되며, 상기 실린더에 의해 상기 테스트 핑거(21)가 수직축 주위로 회전될 수 있다. 테스트 핑거(21)는 또한 이동장치를 포함하며, 상기 이동장치에 의해 상기 테스트 핑거(21)가 칩 캐리어(2)의 표면에 직각으로 이동될 수 있어, 접촉패드(12)가 테스트 전극(22)에 의해 접촉될 수 있다.For inspection, an adapter 1 and a chip carrier 2 are mounted on the finger tester 20 (FIG. 7). The finger tester 20 has several tester fingers 21, and a test electrode 22 is integrally formed on each tester finger. The test electrode 22 is connected to the electronic evaluation device. The tester finger 21 can move parallel to the top and bottom surfaces of the adapter with the aid of a slider 23 parallel to the surface of the chip carrier 2, such that the electrodes are in contact pads 12 of the chip carrier 2. ) May be contacted. Such a finger test has, for example, sixteen finger tests 21, each eight up and down the adapter 1 so that the chip carrier 2 on both sides of the adapter 1 can be contacted. Each test finger 21 is fixed to a slider 23 that can be moved to a plane parallel to the surface of the adapter 1. Sliders 23 are each provided with actuating cylinders 24 arranged vertically, by which the test fingers 21 can be rotated about a vertical axis. The test finger 21 also includes a moving device, by which the test finger 21 can be moved at right angles to the surface of the chip carrier 2, such that the contact pads 12 have a test electrode 22. Can be contacted by

어댑터(1)에 의한 접점(16)들의 쌍 연결을 통해, 예를 들어, 각 경우에 2개의 칩 캐리어(2)의 2개의 도체경로(25)가 서로 전기적으로 연결되고 본 발명의 실시예(도 3 및 도 4)에서 접촉핀들(5) 중 하나를 구비하는 어댑터의 전기연결과 함께 테스트 네트(test net)를 형성한다. 각 경우, 이러한 테스트 네트의 단부는 접촉패드(12)에 의해 형성된다. 칩 캐리어의 도체경로(25)는 대체로 분기되지 않기 때문에, 이러한 테스트 네트는 통상적으로 단지 2개의 단부만을 갖는다. 이들 2개의 단부 및 해당하는 접촉패드(12)는 테스트 전극들(22) 중 하나에 의해 동시에 접촉될 수 있다. 테스트 전극(22)에 의해, 측정전류가 테스트 네트에 가해지고 상기 테스트 네트의 저항이 결정되면, 2개 칩 캐리어(2)의 2개 도체경로(25)가 단선되었는지 여부를 이 측정으로부터 결정할 수 있다. 이는 단선을 검사하기 위한 종래 저항측정을 나타낸다. 따라서, 어댑터에 의한 2개 칩 캐리어의 결합을 통해, 양 칩 캐리어상에 한번으로 측정으로 한 도체경로(25)상에 그리고 이에 따라 2개의 도체경로(25)상에 동시에 각 경우에서의 단선을 검사할 수 있다. 어댑터 자체는 전자평가장치와 연결되어 있지 않다. 검사동작동안, 테스트 네트가 테스트 핑거(21)를 통해서만 전자평가장치에 연결된다.By means of a pair connection of the contacts 16 by an adapter 1, for example, in each case two conductor paths 25 of two chip carriers 2 are electrically connected to one another and an embodiment of the invention ( 3 and 4 together with the electrical connection of the adapter with one of the contact pins 5 to form a test net. In each case, the end of this test net is formed by the contact pad 12. Since the conductor path 25 of the chip carrier is largely unbranched, such test nets typically have only two ends. These two ends and corresponding contact pads 12 may be contacted simultaneously by one of the test electrodes 22. By means of the test electrode 22, once the measurement current is applied to the test net and the resistance of the test net is determined, it can be determined from this measurement whether the two conductor paths 25 of the two chip carriers 2 are disconnected. have. This represents a conventional resistance measurement for inspecting disconnection. Thus, through the coupling of two chip carriers by an adapter, disconnection in each case simultaneously on the conductor path 25 and thus on the two conductor paths 25 measured once on both chip carriers. Can be checked The adapter itself is not connected to the electronic evaluation device. During the test operation, the test net is connected to the electronic evaluation device only through the test finger 21.

저항측정에 의한 단락 검사에 있어서, 각 경우, 인접한 테스트 네트는 테스트 전극(22)에 의해 접촉되고 이들 인접한 테스트 네트들 사이의 저항이 측정된다. 여기서, 2개의 각 경우에서, 2쌍의 도체경로(25)가 동시에 검사된다.In the short-circuit test by resistance measurement, in each case, adjacent test nets are contacted by the test electrode 22 and the resistance between these adjacent test nets is measured. Here, in each of the two cases, two pairs of conductor paths 25 are examined simultaneously.

본 발명에 따른 어댑터(1)를 사용하면, 종래 테스트 핑거로 칩 캐리어들을 검사할 수 있으며, 적어도 2개의 칩 캐리어가 한번의 테스트 동작으로 동시에 검사된다. 피검사 칩 캐리어의 처리율(throughput)은 어댑터 및 또한 테스트 핑거 모두를 갖는 초기에 설명된 특정한 테스트 장치의 처리율과 대등하다.With the adapter 1 according to the invention, it is possible to inspect the chip carriers with a conventional test finger, wherein at least two chip carriers are simultaneously tested in one test operation. The throughput of the chip carrier under test is comparable to that of the particular test device described earlier with both the adapter and also the test finger.

본 발명에 따른 어댑터의 또 다른 실시예가 도 5 및 도 6에 도시되어 있다. 이 어댑터(1)는 어댑터 본체(3)로서 적층 회로기판을 갖는다. 어댑터 본체(3)의 표면에는, 상술한 프로브 팁(6,7) 대신에, 전기 도전성 고무재료로 제조된 접촉꼭지(contact nipple)(26,27)가 접촉소자로서 제공된다. 이들 접촉꼭지(26,27)는 차례로 2개의 접촉필드(17,18)를 형성하고, 상기 접촉필드내의 상기 접촉꼭지(26,27)가 각 경우에 피검사 칩 캐리어(2)의 접점(16)에 대응하는 어레이에 위치되므로, 각 경우에서 각각의 접촉꼭지(26)가 접점(16)과 접촉하게 된다. 본 실시예에서, 2개의 접촉필드(17,18)의 접촉꼭지(26,27)는 BGA에 따른 매트릭스로 배열된다.Another embodiment of the adapter according to the invention is shown in FIGS. 5 and 6. This adapter 1 has a laminated circuit board as the adapter body 3. On the surface of the adapter body 3, instead of the probe tips 6 and 7 described above, contact nipples 26 and 27 made of an electrically conductive rubber material are provided as contact elements. These contact taps 26 and 27 form two contact fields 17 and 18 in turn, and the contact taps 26 and 27 in the contact field are in each case the contact 16 of the chip carrier 2 under test. In each case, each contact faucet 26 is in contact with the contact 16. In this embodiment, the contact faucets 26 and 27 of the two contact fields 17 and 18 are arranged in a matrix according to the BGA.

접촉필드(17)의 접촉꼭지(26)는 전기 도체경로(28)를 통해 접촉필드(18)의 접촉꼭지(27)에 쌍으로, 즉, 매트릭스의 동일한 행과 동일한 열에 연결된다. 바람직하게는, 각 경우에서, 각각의 접촉필드(17,18)의 동일한 위치에 제공된 접촉꼭지가, 예를 들어, 각 경우 도 6의 좌측하단이 서로 전기적으로 연결된다. 접촉필드(17,18)의 접촉소자의 이러한 쌍 연결은 2개의 동일한 칩 캐리어가 접촉필드(17,18)상에서 동일한 배열로 배치될 때, 각 경우, 칩 캐리어의 동일한 타입의 도체경로(14)가 서로 전기적으로 연결되는 효과를 갖는다. 이는, 예컨대, 개방회로 검사를 실행하기 위해 각 경우에 동일한 타입의 도체경로(14)가 함께 검사되기 때문에, 즉, 각 경우에 칩 캐리어(2)의 해당 접촉패드(12)가 접촉되기 때문에, 고려될 수 있는 테스트 알고리즘을 간략하게 한다. The contact nipples 26 of the contact field 17 are connected in pairs to the contact nipples 27 of the contact field 18 via the electrical conductor path 28, ie in the same row and the same column of the matrix. Preferably, in each case, the contact faucets provided at the same position in each of the contact fields 17, 18 are electrically connected to each other, for example the lower left end of FIG. 6 in each case. This pair connection of the contact elements of the contact fields 17, 18 results in the same type of conductor path 14 of the chip carrier, in each case, when two identical chip carriers are arranged in the same arrangement on the contact fields 17, 18. Has the effect of being electrically connected to each other. This is, for example, because the conductor paths 14 of the same type are examined together in each case in order to carry out an open circuit inspection, ie in each case the corresponding contact pads 12 of the chip carrier 2 are contacted, Simplify the test algorithm that can be considered.

접촉필드(17,18)의 접촉소자를 쌍으로 연결하기 위한 도체경로(28) 이외에, 어댑터는 필드측정 처리용 안테나(aerials)로서 역할을 하는 하나 이상의 도체경로(29)를 갖는다(도 6). 상기 필드측정 과정이 EP 508 062 B1 및 EP 772 054 A2에 상세하게 설명되어 있다. 상기 필드측정 과정을 실행하기 위해, 불균일한 전기장이 안테나(29)에 의해 발생되고, 그런 후 테스트 네트에서 결과적으로 발생한 전위가 테스트 핑거(21)에 의해 각각의 테스트 네트로부터 끌어내어 진다. 또 다른 테스트 네트의 전위 및/또는 기준값과의 비교를 통해, 테스트 네트가 단락되었는지 결정할 수 있다. 따라서, 이러한 필드 측정은 해당 테스트 네트로부터 단지 한번의 샘플 측정만으로 테스트 네트의 단락 검사를 하게 한다.In addition to the conductor paths 28 for pairing the contact elements of the contact fields 17 and 18, the adapter has one or more conductor paths 29 which serve as antennas for field measurement processing (FIG. 6). . The field measurement procedure is described in detail in EP 508 062 B1 and EP 772 054 A2. In order to carry out the field measurement procedure, a non-uniform electric field is generated by the antenna 29, and the resulting potential in the test net is then drawn from each test net by the test finger 21. Comparison with another test net's potential and / or reference value can determine if the test net is shorted. Thus, this field measurement allows a short test of the test net with only one sample measurement from that test net.

어드미턴스(admittance)가 각각의 테스트 네트에 대한 기준으로서 이용될 수 있는 경우에는, EP 0772 054 A2에 따른 방법에 따라, 단선도 또한 상기 테스트 네트로부터 단지 한번의 테스트 샘플만이 필요한, 이러한 필드측정방법에 의해 결정될 수 있다. In the case where admittance can be used as a reference for each test net, this field measuring method, in accordance with the method according to EP 0772 054 A2, also requires only one test sample from the test net. Can be determined by.

테스트 네트는 각 경우에 2개의 칩 캐리어(2)의 적어도 2개의 도체 경로를 포함하므로, 적어도 2개의 도체경로가 한번의 측정으로 동시에 검사된다. 상기 필드측정방법으로 단지 한번의 테스트 샘플만이 단선 및/또는 단락 검사에 필요하기 때문에, 수개의 도체경로가 동시에 각 테스트 샘플에 대해 검사된다. 이러한 수단에 의해, 피검사 칩 캐리어(2)의 처리율이 칩 캐리어 검사를 위한 기지의 특정한 장치와 비교할 때 상당히 증가된다.Since the test net comprises at least two conductor paths of two chip carriers 2 in each case, at least two conductor paths are simultaneously examined in one measurement. Since only one test sample is required for the disconnection and / or short-circuit inspection with the field measurement method, several conductor paths are simultaneously examined for each test sample. By this means, the throughput of the chip carrier 2 under test is significantly increased in comparison with a known specific device for chip carrier inspection.

본 발명에 따른 어댑터는, 각 경우, 접촉필드(17,18)의 접촉소자가 서로 쌍으로 연결되는 실시예를 참조하여 상술된다. 회로기판 형태로 된 칩 캐리어의 경우, 각각이 소위 유즈(use)를 나타내는, 한 회로기판상에 수개의 칩 캐리어를 제공하는 것이 제조상 관행이다. 예를 들어, 5 또는 10개의 이러한 유즈가 한 회로기판상에 제공될 수 있다. 이러한 경우, 회로기판 제조업체는 종종 단선을 검사하기 위해 저항측정을 필요로 하고, 실제로 가장 바람직한 방법은 단선을 검사하기 위한 저항측정과 단락을 검사하기 위한 필드측정을 포함하기 때문에, 각각의 유즈가 접촉필드에 할당되고 상기 각각의 접촉필드의 해당 접촉소자가 모두 상술한 방식으로 함께 전기적으로 접촉되는 어댑터를 제공하는 것이 적절하다. 각각의 유즈 또는 칩 캐리어상에서 다수의 도체경로를 동시에 검사하는 것이 가능하므로, 단선을 검사하기 위해, 테스트 네트의 모든 끝점들이 적어도 한번 접촉되어야만 하고, 단락을 검사하기 위해, 각 테스트 네트가 단지 한번만 검사되어야만 한다. The adapter according to the invention is described in detail with reference to the embodiment in which the contact elements of the contact fields 17, 18 are in each case connected in pairs. In the case of chip carriers in the form of circuit boards, it is a manufacturing practice to provide several chip carriers on one circuit board, each of which represents a so-called use. For example, five or ten such uses may be provided on one circuit board. In these cases, circuit board manufacturers often require resistance measurements to check for disconnections, and in practice the most preferred method includes resistance measurements to check for disconnections and field measurements to check for shorts, so that each use contact It would be appropriate to provide an adapter which is assigned to the field and in which the corresponding contact elements of the respective contact fields are all electrically contacted together in the manner described above. It is possible to inspect multiple conductor paths simultaneously on each use or chip carrier, so that in order to check for disconnection, all the end points of the test net must be contacted at least once, and in order to check for a short circuit, each test net is inspected only once. Should be.

도 8은 도 5 및 도 6에 도시된 어댑터와 유사한 설계의 또 다른 어댑터를 도시한 것이다. 이 어댑터(1)는 어댑터 본체(3)로서 회로기판을 갖는다. 전기 도전성 고무재료로 제조된 접촉꼭지(30)가 접촉소자로서 어댑터 본체(3)의 표면에 배열된다. 이들 접촉꼭지는 하나의 접촉필드(31)를 형성한다. 접촉꼭지는 각각 피검사 칩 캐리어(2)의 접점(16)의 배열과 일치하게 위치되므로, 각 경우, 접점(16)은 각각의 접촉꼭지(30)에 의해 접촉될 수 있다. 본 실시예에서, 접촉꼭지(30)는 BGA에 따른 10×10 매트릭스로 배열된다.FIG. 8 shows another adapter of similar design to the adapter shown in FIGS. 5 and 6. This adapter 1 has a circuit board as the adapter body 3. A contact nipple 30 made of an electrically conductive rubber material is arranged on the surface of the adapter body 3 as a contact element. These contact taps form one contact field 31. Since the contact taps are respectively located in accordance with the arrangement of the contacts 16 of the chip carrier 2 under test, the contacts 16 can be contacted by the respective contact taps 30. In this embodiment, the contact nipples 30 are arranged in a 10 × 10 matrix according to the BGA.

이러한 실시예에 있어, 매트릭스의 각 행에서, 접촉꼭지(30)는 도체경로(32)에 의해 서로 연결된다. 이 실시예에서, 도체경로(32)는 각 경우에서 행들 중 한 행에서 하나씩 거른 접촉꼭지(30)와 접촉한다. 각 경우, 2개의 도체경로(32)가 한 행의 접촉꼭지들에 대해 제공된다. 이러한 도체 어셈블리가 간단한 회로기판의 표면상에 직접 형성될 수 있으며, 어떠한 적층회로기판도 이런 목적을 위해 필요로 하지 않는다. In this embodiment, in each row of the matrix, the contact nipples 30 are connected to each other by conductor paths 32. In this embodiment, the conductor path 32 is in contact with the contact faucet 30, which in each case is filtered one in one of the rows. In each case, two conductor paths 32 are provided for a row of contact nipples. Such a conductor assembly can be formed directly on the surface of a simple circuit board, and no stacked circuit board is needed for this purpose.

본 실시예에서, 각 경우에, 5개의 접촉꼭지(30)가 서로 전기적으로 연결된다. 이는, 모든 접점들(16)이 도체경로(14)에 의해 연결되도록 의도되어 있는 한, 칩 캐리어(2)의 5개의 도체경로들도 서로 전기적으로 연결되는 것을 의미한다.In this embodiment, in each case, five contact faucets 30 are electrically connected to each other. This means that the five conductor paths of the chip carrier 2 are also electrically connected to each other, as long as all the contacts 16 are intended to be connected by the conductor path 14.

이러한 어댑터는 표준화된 그리드 배치로 배열되는 연결면(11)상에 접점(16)을 갖는 칩 캐리어(2)의 검사에 사용될 수 있다. 이는, 접점(16)의 그리드 패턴이 접촉꼭지(30)의 배치와 일치하는 한, 어댑터가 다른 칩 캐리어(2)에 사용될 수 있다는 것을 의미한다. 이는, 칩 캐리어(3)의 접점(16)의 배치가 표준화되고 어댑터(1)의 접촉꼭지(30)의 배치와 일치하는 한, 원칙적으로 핑거 테스터에 칩 캐리어가 검사되게 하기 위해 상기 칩 캐리어용의 새로운 어댑터를 설계할 필요가 없다는 것을 의미한다. This adapter can be used for the inspection of the chip carrier 2 with the contacts 16 on the connecting face 11 arranged in a standardized grid arrangement. This means that the adapter can be used for another chip carrier 2 as long as the grid pattern of the contacts 16 matches the arrangement of the contact tap 30. This is, in principle, for the chip carrier so that the chip carrier is inspected on the finger tester as long as the arrangement of the contacts 16 of the chip carrier 3 is standardized and is consistent with the arrangement of the contact tap 30 of the adapter 1. That means you don't have to design a new adapter.

물론, 접촉꼭지들(30)을 또한 다른 방식으로, 예를 들어, 다른 행들에 있는 접촉꼭지들이 서로 전기적으로 연결되거나, 서로 전기적으로 연결된 접촉꼭지의 개수가 더 많거나 더 작게 하는 방식으로 상호연결시킬 수 있다. Of course, the contact faucets 30 are also interconnected in other ways, for example, in which the contact faucets in different rows are electrically connected to one another, or in such a way that the number of contact faucets electrically connected to one another is greater or smaller. You can.

또한, 접촉필드내에 접촉소자(본 명세서에서는 접촉꼭지(30))가 서로 전기적으로 연결되어 있고, 다른 접촉필드의 개개의 접촉소자도 또한 서로 전기적으로 연결되어 있는 어댑터상에 수개의 접촉필드(31)를 제공하는 것이 유리할 수 있다. 예를 들어, 도 8에 도시된 어댑터의 경우, 개개의 도체경로(32)는 대응하는 다른 접촉필드에서 대응하는 도체 경로에 전기적으로 연결될 수 있다.In addition, several contact fields 31 on the adapter, in which contact elements (contact taps 30 in this specification) are electrically connected to each other, and individual contact elements in other contact fields are also electrically connected to each other. May be advantageous. For example, in the case of the adapter shown in FIG. 8, individual conductor paths 32 may be electrically connected to corresponding conductor paths in corresponding other contact fields.

도 9는 칩면에서 연결면으로 각각 안내되는 칩 캐리어(2)의 도체경로를 개략적으로 매우 간략한 형태로 도시한 것이다. 도 8의 어댑터에 의해, 한 행의 도체경로들 중 하나씩 거른 도체경로가 전기적으로 연결된다. 따라서, 2개의 테스트 네트(33,34)가 각각 행으로 형성된다. 따라서, 테스트 네트의 2개의 인접한 도체경로들 사이에, 각 경우, 다른 테스트 네트의 또 다른 도체경로가 있다. 이에 의해, 테스트 네트의 2개의 인접한 도체경로가 이들 2개의 도체경로 사이에 배열된 다른 테스트 네트의 다른 도체경로와 함께 단락을 만들지 않고는 단락을 형성할 수 없게 보장된다. 이는 차폐인접기준(Shielded Adjacency Criterion)으로 설명되는데, 왜냐하면 각각의 개별 도체경로는 동일한 테스트 네트의 최근접한 도체경로로부터 인접한 도체경로에 의해 차단되기 때문이다. 이런 식으로 형성된 테스트 네트를 사용하여, 칩 캐리어의 도체경로 사이에 임의의 단락이 다수의 도체경로를 각각 구비하는 관련된 테스트 네트들 사이의 단락 검사에 의해 검출될 수 있게 보장한다. 더욱이, 이러한 많은 도체경로의 상호연결은 테스트 네트의 개수를 현저히 줄이게 하고 이에 따라 측정동작들을 뚜렷히 줄이게 한다. 도 8에 따른 어댑터에서, 각 경우에, 5개의 도체경로가 서로 연결된다. 물론, 많은 다른 도체경로가 또한 서로 연결되게 할 수 있으므로, 50개의 도체경로까지 상호연결이 감지될 수 있다. 이상적으로는 모든 도체경로가 단지 2개의 테스트 네트만을 형성하도록 연결되기 때문에, 단락에 대한 칩 캐리어 검사를 위해 단지 한번의 측정만이 이루어져야 한다.FIG. 9 schematically shows in a very simplified form the conductor paths of the chip carriers 2 which are respectively guided from the chip surface to the connection surface. By way of the adapter of Fig. 8, the conductor paths filtered by one of the conductor paths in a row are electrically connected. Thus, two test nets 33 and 34 are formed in rows, respectively. Thus, between two adjacent conductor paths of the test net, in each case there is another conductor path of the other test net. This ensures that two adjacent conductor paths of the test net cannot form a short without creating a short with other conductor paths of another test net arranged between these two conductor paths. This is described by the Shielded Adjacency Criterion, because each individual conductor path is blocked by adjacent conductor paths from the nearest conductor path of the same test net. Using the test net formed in this manner, it ensures able to be detected by the short circuit test between any of the test net associated to a short circuit having a plurality of conductive paths, each conductive path between the chip carrier. Moreover, the interconnection of many of these conductor paths significantly reduces the number of test nets and thus significantly reduces measurement operations. In the adapter according to FIG. 8, in each case five conductor paths are connected to each other. Of course, many different conductor paths can also be connected to each other, so that up to 50 conductor paths can be sensed for interconnection. Ideally, because all conductor paths are connected to form only two test nets, only one measurement should be made to check the chip carrier for short circuits.

더 간단한 실시예에서, 다른 도체경로가 별개로 하나의 큰 테스트 네트에 대해 검사될 수 있게 하는, 더 긴 도체경로만을 서로 연결시키기 위해 칩 캐리어상에 상기 더 길고, 분기된 도체경로들, 예를 들어 전원 또는 접지 도체경로들을 제공하는 것이 의도라면 유리할 수 있다. 그런 후, 예를 들어, 이 테스트 네트에 큰 테스트 전압을 1회 인가할 수 있고, 모든 다른 도체경로가 짧은 주기시간내에 이러한 큰 테스트 전압에 대하여 검사될 수 있다. 이러한 연결에 있어, DE 197 00 505 A1이 참조된다. In a simpler embodiment, the longer, branched conductor paths on the chip carrier, e.g., to connect only the longer conductor paths to each other, allowing different conductor paths to be examined separately for one large test net. For example, it may be advantageous if the intention is to provide power or ground conductor paths. Then, for example, a large test voltage can be applied to this test net once, and all other conductor paths can be checked for this large test voltage in a short period of time. In this connection, reference is made to DE 197 00 505 A1.

도 10은 도 3에 도시된 어댑터와 설계가 유사한 본 발명에 따른 또 다른 어댑터를 도시한 것이다. 따라서, 동일한 부분은 동일한 참조번호가 주어진다.FIG. 10 shows another adapter according to the invention which is similar in design to the adapter shown in FIG. 3. Thus, identical parts are given the same reference numerals.

어댑터(1)는 각 경우에 접촉핀(5)을 각각 보유하는 10×10 관통구멍(4)을 각각 갖는 4개의 매트릭스를 구비한다. 따라서, 8개의 접촉필드가 8개의 칩 캐리어(2)를 보유하도록 형성된다. 에어리얼보드(aerial board)(35)가 각각의 어댑터 본체(3)에 인접해 있고, 상기 에어리얼보드에 형성된 안테나에 전위의 인가를 위한 케이블(36)이 상기 각각의 에어리얼보드 상에 제공된다. 에어리얼보드(35)에는 접촉핀(5)의 통과를 위한 관련된 관통구멍이 형성되어 있다. 안테나는 실제로 전체 에어리얼보드(35)에 걸쳐 연장되어 있는 접촉층으로서 에어리얼보드(35)에 형성될 수 있고, 접촉핀(5)을 수용하기 위한 관통구멍의 영역에만 절연될 수 있다. 그러나, 안테나는 또한 복잡한 구조를 가질 수 있다.The adapter 1 has four matrices, each with 10 x 10 through holes 4 each holding a contact pin 5 in each case. Thus, eight contact fields are formed to hold eight chip carriers 2. An aerial board 35 is adjacent to each adapter body 3, and a cable 36 for applying an electric potential to an antenna formed on the aerial board is provided on each aerial board. The aerial board 35 has an associated through hole for the passage of the contact pin 5. The antenna can in fact only be isolated as a contact layer that extends over the entire aerial board 35, the area of the through-hole for receiving the aerial board 35 may have, contact pins (5) to be formed on. However, the antenna can also have a complicated structure.

어댑터 본체(3) 및 에어리얼보드(35)와 동일한 외부치수를 갖는 2개의 정렬판(37)이 또한 제공된다. 이들 정렬판(37)은 피검사 칩 캐리어(2)의 외형보다 다소 작은 4개의 개구(38)를 각각 갖는다. 개구(38)는 약간 언더컷(undercut)되어 있어, 내부로 돌출한 연속적인 경계웹(boundary web)(29)이 각각의 개구(38)에 형성된다. 칩 캐리어가 각 개구(38)에 삽입될 수 있으며, 상기 칩 캐리어의 단부가 각 경우에 경계웹(39)에 대하여 끼워진다.Also provided are two alignment plates 37 having the same external dimensions as the adapter body 3 and the aerial board 35. These alignment plates 37 each have four openings 38 that are somewhat smaller than the outline of the chip carrier 2 under test. The opening 38 is slightly undercut, so that a continuous boundary web 29 projecting inward is formed in each opening 38. A chip carrier can be inserted in each opening 38, with the end of the chip carrier fitted in each case with respect to the boundary web 39.

정렬판(37), 에어리얼보드(35) 및 어댑터 본체(3)는 스크류 연결수단(41), 즉, 적절한 스크류 및 너트가 있는 대응하는 관통구멍(40)을 가지며, 이에 의해 정렬판(37)과 어댑터 본체 및 이들 사이에 위치된 에어리얼보드(35)가 유닛(unit)을 형성하도록 함께 고정되는 한편, 각각의 칩 캐리어가 정렬판(37)에 의해 대응하는 접촉필드상에 가압된다.The alignment plate 37, the aerial board 35 and the adapter body 3 have screw connection means 41, ie corresponding through holes 40 with appropriate screws and nuts, thereby aligning the plate 37. And the adapter body and the aerial board 35 located between them are fixed together to form a unit, while each chip carrier is pressed on the corresponding contact field by the alignment plate 37.

스크류 연결수단(41)은 클램핑 장치(clamping device)를 나타낸다. 명백히 이들 클램핑 장치는 어댑터(1)의 표면에 걸쳐 균일하게 분배되므로, 균일하게 분배된 부하가 어댑터(1)에 가해진다.The screw connection means 41 represents a clamping device. Apparently these clamping devices are evenly distributed over the surface of the adapter 1, so that a uniformly distributed load is applied to the adapter 1.

칩 캐리어가 정렬판(37)에 의해 고정되는 이 어댑터는 핑거 테스터에서 유닛으로서 장착되고 검사될 수 있다. 핑거 테스터 자체에는 어떠한 추가적인 고정물도 어댑터 및 칩 캐리어를 고정시키기 위해 필요하지 않다.This adapter, to which the chip carrier is fixed by the alignment plate 37, can be mounted and inspected as a unit in the finger tester. The finger tester itself does not need any additional fixture to secure the adapter and chip carrier.

상술한 스크류 연결수단(41) 대신에 빠르게 동작하는 클램핑 소자신속동작 클램프(quick-action clamping elements)가 또한 사용될 수 있다.Fast-acting clamp-action clamping elements may also be used instead of the screw connection means 41 described above.

물론, 어댑터에 직접 형성된 정렬판(37)과 스크류 연결수단(41)으로 구성된 위치고정 장치 대신에, 핑거 테스터에 대응하는 압력판을 갖는 프레스(press) 형태의 위치고정 장치를 제공할 수 있다.Of course, it is possible to provide, instead of the position fixing device consisting of alignment plate 37 and the screw connecting means 41 formed directly on the adapter, the position holding device of the press (press) type having the pressure plate corresponding to the finger tester.

어댑터에 도체 어셈블리를 고정시키는데 있어, 상당한 힘이 들어야만 하므로, 상기 어댑터와 함께 피검사 도체 어셈블리의 일부만이 고정되고 정렬되게 하고, 도체 어셈블리의 또 다른 그룹이 순차적으로 고정되고 검사되게 하는 것이 유리할 수 있다. 이는 특히 하나의 회로기판상에 형성된 유즈(uses)라고 하는 수개의 도체 어셈블리의 검사에 적용되는데, 왜냐하면 모든 유즈를 동시에 고정시키는데 큰 힘이 수반되므로 상당한 물리적 문제를 초래할 수 있기 때문이다. 따라서, 수개의 유즈를 갖는 회로기판의 검사에 있어, 정렬판 대신에 각각이 회로기판상의 유즈들의 행의 양측면에 인접 배열되고 어댑터 본체에 고정되는 2개의 클램핑 빔(clamping beam)이 제공되는 경우, 어댑터에 유즈 중 한 행만을 고정시키는 것이 유리할 수 있다.In securing the conductor assembly to the adapter, considerable force must be applied, so that only a part of the conductor assembly under test can be fixed and aligned with the adapter, and another group of conductor assemblies can be advantageously fixed and inspected sequentially. have. This applies in particular to the inspection of several conductor assemblies, called uses, formed on one circuit board, as this can entail significant physical problems, as it involves a great force to fix all the uses at the same time. Thus, in the inspection of a circuit board having several uses, when two clamping beams are provided instead of the alignment plate, each of which is arranged adjacent to both sides of a row of uses on the circuit board and fixed to the adapter body, It may be advantageous to secure only one row of uses to the adapter.

많은 유즈를 갖는 회로기판 검사의 또 다른 방법은 하나 또는 소수의 유즈만을 검사하는 어댑터를 제공한다. 즉, 이 어댑터는 단지 하나만 또는 소수의 접촉필드만을 갖는다. 이 어댑터는 적절한 장치에 의해 상기 어댑터에 의해 접촉될 수 있는 회로기판면에 가압되고 관련된 측정동작이 수행된다. 이러한 측정동작이 끝나면, 어댑터가 상기 장치에 의해 회로기판으로부터 단거리로 옮겨져 또 다른 유즈로 이동되고 이 유즈에 대하여 가압된다. 그런 후, 또 다른 테스트 측정동작이 수행될 수 있다. 따라서, 어댑터는 각 경우 각각의 유즈들 사이에 또는 소수의 유즈들의 그룹 사이로 옮겨진다. Another method of inspecting a circuit board with many uses provides an adapter to check only one or a few uses. That is, this adapter has only one or few contact fields. The adapter is pressed by a suitable device to the surface of the circuit board which can be contacted by the adapter and the associated measuring operation is carried out. After this measurement operation, the adapter is moved away from the circuit board by a short distance from the circuit board to another use and pressed against this use. Then another test measurement operation can be performed. Thus, the adapter is moved in each case between each use or between a few groups of uses.

본 발명의 범위내에서, 특히 어댑터에 제공된 안테나 대신에, 칩 캐리어상에 형성된 도체경로를 안테나로서 물론 사용할 수 있다. 이는 특히 칩 캐리어가 더 크고, 분기된 도체경로, 예를 들어 전원장치 또는 접지용 도체경로를 가질 때 적용된다.Within the scope of the present invention, in particular, instead of the antenna provided in the adapter, a conductor path formed on the chip carrier can of course be used as the antenna. This applies in particular when the chip carrier has a larger, branched conductor path, for example a power supply or a ground conductor path.

본 발명에 따른 어댑터는 칩 캐리어의 검사를 위한 실시예의 도움으로 설명되었다. 그러나, 본 발명에 따른 어댑터는 칩 캐리어의 검사 뿐만 아니라 서로 매우 가까이 배열되어 있지 않으며, 예를 들어 적어도 0.5㎜ 간격을 갖는 한 면상에 접점들을 갖는 임의의 종류의 도체 어셈블리 검사에도 사용될 수 있다. 타 면상의 접점들은 소정의 임의의 방식으로 형성될 수 있다. 접점들은 특히 매우 작고 서로 가까이 있을 수 있는데, 왜냐하면, 이러한 접점들은 어려움 없이 테스트 핑거에 의해 접촉될 수 있기 때문이다. 본 발명에 따른 어댑터와 핑거 테스트로, 칩면의 영역에서 3차원 윤곽을 갖는 칩 캐리어를 또한 검사할 수 있다.The adapter according to the invention has been described with the aid of an embodiment for the inspection of chip carriers. However, the adapter according to the invention is not only arranged very close to each other as well as inspection of the chip carrier, but can be used for inspection of any kind of conductor assembly with contacts on one side, for example at least 0.5 mm apart. The contacts on the other side may be formed in any arbitrary manner. The contacts are particularly small and can be close to each other, because these contacts can be contacted by the test finger without difficulty. With the adapter and finger test according to the invention, it is also possible to inspect chip carriers with three-dimensional contours in the area of the chip surface.

본 발명은 다음과 같이 요약될 수 있다:The invention can be summarized as follows:

본 발명은 도체 어셈블리를 검사하기 위한, 특히 칩 캐리어를 검사하기 위한 어댑터에 관한 것이다. 이러한 도체 어셈블리는 일면상에 고밀도로 배열되어 있지 않으며, 예를 들어, 0.5㎜의 최소 간격을 갖는 접촉소자를 구비한다. 어댑터는 각각이 한 세트의 접촉소자를 갖는 적어도 2개의 접촉필드를 가지며, 접촉필드의 접촉소자와 함께, 각 경우에, 한 도체 어셈블리가 매우 밀접하게 배열되어 있지 않는 접점들에 접촉될 수 있다. 접촉필드 중 하나에서 각각의 접촉소자는 또 다른 접촉필드의 접촉소자에 전기적으로 연결되므로, 2개의 도체 어셈블리의 도체경로가 서로 전기적으로 연결되고 동시에 검사될 수 있다.The present invention relates to an adapter for inspecting a conductor assembly, in particular for inspecting a chip carrier. This conductor assembly is not arranged at high density on one surface and has contact elements with a minimum spacing of, for example, 0.5 mm. The adapter has at least two contact fields, each with a set of contact elements, and together with the contact elements of the contact field, in each case can be contacted with contacts in which one conductor assembly is not arranged very closely. Since each contact element in one of the contact fields is electrically connected to the contact element of another contact field, the conductor paths of the two conductor assemblies can be electrically connected to each other and simultaneously examined.

참조번호 리스트Reference Number List

1: 어댑터 22: 테스트 전극1: adapter 22: test electrode

2: 칩 캐리어 23: 슬라이드2: chip carrier 23: slide

3: 어댑터 본체 24: 작동 실린더3: adapter body 24: working cylinder

4: 관통구멍 25: 도체경로4: through-hole 25: conductor path

5: 접촉핀 26: 접촉꼭지5: contact pin 26: contact tap

6: 프로브 팁 27: 접촉꼭지6: probe tip 27: contact tap

7: 프로브 팁 28: 도체경로7: probe tip 28: conductor path

8: 표면 29: 안테나8: surface 29: antenna

9: 표면 30: 접촉꼭지9: surface 30: contact tap

10: 칩면 31: 접촉필드10: chip face 31: contact field

11: 연결면 32: 도체경로11: connection surface 32: conductor path

12: 접촉패드 33: 테스트 네트12: contact pad 33: test net

13: 만곡 세그먼트 34: 테스트 네트13: curved segment 34: test net

14: 도체경로 35: 에어리얼보드14: Conductor path 35: Aerial board

15: 비아홀 36: 케이블15: via hole 36: cable

16: 접점 37: 정렬판16: contact 37: alignment plate

17: 접촉필드 38: 개구17: contact field 38: opening

18: 접촉필드 39: 경계웹18: Contact Field 39: Perimeter Web

19 40: 관통홀19 40: Through Hole

20: 핑거테스터 41: 스크류 연결수단20: finger tester 41: screw connection means

21: 테스트 핑거21: test finger

Claims (29)

핑거 테스터에서 다수의 도체경로를 갖는 하나 이상의 도체 어셈블리(2) 검사용 어댑터로서, Adapter for inspecting one or more conductor assemblies (2) with multiple conductor paths in a finger tester, 상기 도체 어셈블리는 최근접한 접점으로부터 적어도 소정의 간격으로 배열된 접점(16)이 제공된 일면(11)을 가지고 있어서, 상기 도체 어셈블리의 일면이 어댑터에 의해 접촉될 수 있으며,The conductor assembly has one surface 11 provided with contacts 16 arranged at least at predetermined intervals from the nearest contact so that one surface of the conductor assembly can be contacted by an adapter, 상기 어댑터(1)는 접촉소자(6,7;26,27) 세트를 갖는 적어도 하나의 접촉필드(17,18)를 구비하고, 상기 접촉필드(17,18)의 상기 접촉소자(6,7;26,27)는 상기 도체 어셈블리의 접점(16)에 따른 패턴으로 배열되며,The adapter 1 has at least one contact field 17, 18 with a set of contact elements 6, 7; 26, 27 and the contact elements 6, 7 of the contact field 17, 18. 26 and 27 are arranged in a pattern according to the contact 16 of the conductor assembly, 상기 접촉소자(6;26)는 상기 도체 어셈블리의 도체경로가 어댑터에 의해 접촉되지 않는 적어도 한 면상에 적어도 하나의 접점을 갖는 다수의 테스트 네트로 조합되게 또 다른 접촉소자(7,27)와 각각의 경우에 전기적으로 연결되도록 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The contact elements 6 and 26 are combined with each other contact element 7 and 27 such that the conductor path of the conductor assembly is combined into a plurality of test nets having at least one contact on at least one side not contacted by an adapter. Adapter for inspecting one or more conductor assemblies, in which case they are electrically connected. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 테스트 네트는 상기 어댑터에 의해 접촉되지 않은 도체 어셈블리의 면상에 적어도 2개의 접점을 갖는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.Wherein said test net has at least two contacts on the face of the conductor assembly not contacted by said adapter. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 어댑터(1)는 각각이 접촉소자(6,7;26,27) 세트를 갖는 적어도 2개의 접촉필드(17,18)를 포함하며, The adapter 1 comprises at least two contact fields 17, 18 each having a set of contact elements 6, 7; 26, 27. 상기 접촉필드(17) 중 하나에 대한 적어도 몇몇의 접촉소자(6;26)는 또 다른 접촉필드(18)의 한 접촉소자(7;27)와 각 경우에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.At least some of the contact elements 6; 26 for one of the contact fields 17 are in one case electrically connected with one contact element 7; 27 of another contact field 18. Adapter for inspecting conductor assemblies above. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 한 접촉필드(17)의 모든 접촉소자(6;26)들이 또 다른 접촉필드(18)의 접촉소자들(7;27)과 쌍으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.Adapter for inspection of at least one conductor assembly, characterized in that all the contact elements (6; 26) of the contact field (17) are paired with the contact elements (7; 27) of the other contact field (18). 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,The method according to claim 3 or 4, 개개의 접촉필드(17,18)의 접촉소자(26,27)는 각 경우 접촉필드(17)의 접촉소자(26)가 상기 접촉필드(17)에 있는 소정의 지점에서 또 다른 접촉필드(18)의 대응하는 지점에 있는 상기 접촉필드(18)의 접촉소자(27)와 전기적으로 연결되도록 함께 연결되는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The contact elements 26, 27 of the individual contact fields 17, 18 are in each case another contact field 18 at a point where the contact element 26 of the contact field 17 is in the contact field 17. Adapter for inspection of at least one conductor assembly, characterized in that it is connected together to be electrically connected to the contact element (27) of the contact field (18) at a corresponding point of 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 접촉필드(31)의 접촉소자(30)는 상기 접촉필드(31)의 또 다른 접촉소자(30)와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.Adapter for inspection of at least one conductor assembly, characterized in that the contact element (30) of the contact field (31) is electrically connected to another contact element (30) of the contact field (31). 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 접촉소자는 서로 쌍으로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.At least one conductor assembly inspection adapter, wherein the contact elements are electrically connected in pairs with each other. 제 1 항 내지 제 3 항, 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3 or 6, 상기 접촉필드의 다수의 접촉소자들이 서로 전기연결되어 있어, 피검사 도체 어셈블리의 다수의 도체경로들이 테스트 네트를 형성하도록 연결되는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리의 핑거 테스터에서의 검사용 어댑터.A plurality of electrical contact elements are connected to it, to be inspected in the inspection of the adapter for a conductor of one or more conductor assemblies are a number of conductor paths in the assembly, characterized in that connected to form a test net finger tester with each other in the contact field. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 8, 상기 도체 어셈블리는 또 다른 도체 어셈블리에 연결하기 위한 연결면(11)과 집적회로에 연결을 위한 접점(12)이 제공되는 칩면(10)을 갖는 칩 캐리어이며, 상기 연결면상의 접점들은 어댑터에 의해 접촉될 수 있는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The conductor assembly is a chip carrier having a connection surface 11 for connecting to another conductor assembly and a chip surface 10 provided with a contact 12 for connecting to an integrated circuit, the contacts on the connection surface being connected by an adapter. Adapter for inspection of at least one conductor assembly characterized in that it can be contacted. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 상기 접촉소자(6,7)는 각 경우에 접촉핀(5)의 팁에 의해 나타내지는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.Adapter for inspection of at least one conductor assembly, characterized in that the contact element (6,7) is in each case represented by the tip of the contact pin (5). 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 9, 상기 접촉소자(26,27)는 전기 도전성 고무재료로 된 꼭지(nipple) 형태인 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The at least one conductor assembly inspection adapter, characterized in that the contact element (26, 27) is in the form of a nipple of an electrically conductive rubber material. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 접촉핀들(5) 중 한 핀의 일단에서의 팁(6)은, 각 경우에, 한 접촉필드(17)의 접촉소자들 중 하나를 나타내고, 상기 접촉핀(5)의 타단에서의 팁(7)은 또 다른 접촉필드(18)의 접촉소자들 중 하나를 나타내는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The tip 6 at one end of one of the contact pins 5 represents in each case one of the contact elements of one contact field 17 and the tip at the other end of the contact pin 5. 7) adapter for inspecting one or more conductor assemblies, characterized in that it represents one of the contact elements of another contact field (18). 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 12, 상기 어댑터(1)는 도체경로(28)가 서로 전기적으로 접촉소자를 연결시키도록 제공되는 어댑터 본체(3)를 구비하는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The adapter (1) has at least one conductor assembly inspection adapter, characterized in that the conductor path (28) has an adapter body (3) provided to electrically connect the contact elements to each other. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 13, 어댑터에 의해 접촉될 수 있는 상기 접점(16)은 적어도 0.5㎜ 및 바람직하게는 1㎜의 거리로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.Adapter for inspection of at least one conductor assembly, characterized in that the contacts (16) which can be contacted by an adapter are spaced at a distance of at least 0.5 mm and preferably 1 mm. 제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 14, 어댑터에 의해 접촉될 수 있는 상기 접점(16)은 직경이 적어도 0.5㎜ 인 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.Adapter for inspection of at least one conductor assembly, characterized in that said contact (16) which can be contacted by an adapter is at least 0.5 mm in diameter. 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 15, 어댑터에 의해 접촉될 수 있는 상기 접점(16)은 예를 들어 볼 그리드 어레이(ball grid array)와 같은 규칙적인 그리드로 배열되는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.At least one conductor assembly inspection, characterized in that said contacts (16) which can be contacted by an adapter are arranged in a regular grid, for example a ball grid array. 제 1 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 16, 상기 어댑터는 불균일한 전기장을 만드는 안테나(29)를 갖는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.At least one conductor assembly inspection, characterized in that it has an antenna (29) which creates a non-uniform electric field. 제 1 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 17, 상기 어댑터(1)는 각 경우에 한 도체 어셈블리를 보유하기 위해 맞은편상에 접촉필드(17,18)를 갖는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The adapter (1) is one or more conductor assembly inspection adapters, characterized in that in each case there is a contact field (17, 18) on opposite sides to hold one conductor assembly. 제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 18, 상기 어댑터(1)는 하나 이상의 도체 어셈블리를 상기 어댑터(1)에 고정시키는 위치고정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The adapter (1) is one or more conductor assembly inspection adapter, characterized in that it has a positioning device for fixing the at least one conductor assembly to the adapter (1). 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 위치고정 장치는 체결장치(fastening device)에 의해 어댑터 본체에 고정될 수 있는 정렬판을 구비하고, 상기 위치고정 장치에는 피검사 도체 어셈블리의 윤곽보다 다소 작은 적어도 하나의 개구가 제공되므로, 도체 어셈블리가 개구영역에서 상기 어댑터 본체와 상기 정렬판 사이에 배열될 때, 상기 도체 어셈블리가 상기 어댑터에 고정되고 상기 어댑터 본체와 접촉되지 않는 도체 어셈블리(2)의 면이 접속될 수 있는 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The positioning device has an alignment plate which can be fixed to the adapter body by a fastening device, and the positioning device is provided with at least one opening which is somewhat smaller than the contour of the conductor assembly under test, so that the conductor assembly Is arranged between the adapter body and the alignment plate in the opening area, the face of the conductor assembly 2 fixed to the adapter and not in contact with the adapter body can be connected Adapter for inspecting conductor assemblies above. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 체결장치는 스크류 연결 형태인 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.The fastening device is one or more adapter assembly inspection adapter characterized in that the screw connection form. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 체결장치는 신속동작 클램프(quick-action clamp)의 형태인 것을 특징으로 하는 하나 이상의 도체 어셈블리 검사용 어댑터.Wherein said fastening device is in the form of a quick-action clamp. 일면이 어댑터에 의해 접촉될 수 있는 접점들을 갖는 적어도 하나의 도체 어셈블리(2)가 상기 어댑터(1)와 접촉되어지고, 상기 어댑터(1)의 접촉필드의 접촉소자(6,7;26,27)가 도체 어셈블리(2)의 해당하는 접점과 전기적으로 접촉되어지며,At least one conductor assembly 2 having contacts on one side thereof which can be contacted by the adapter is brought into contact with the adapter 1 and the contact elements 6, 7; 26, 27 in the contact field of the adapter 1. ) Is in electrical contact with the corresponding contact of the conductor assembly 2, 상기 도체 어셈블리(2) 및 상기 어댑터(1)를 구비하는 유닛은 상기 어댑터(1)가 전기평가장치에 직접 연결되지 않게 핑거 테스터에 배열되고,The unit with the conductor assembly 2 and the adapter 1 is arranged in a finger tester such that the adapter 1 is not directly connected to the electrical evaluation device, 단락 및/또는 단선에 대한 도체 어셈블리(2)의 도체경로(14)를 검사하기 위해 테스트 핑거(21)의 수단으로 상기 어댑터에 의해 접촉되는 면에 있지 않는 상기 도체 어셈블리의 접점(12)이 접촉되도록 하는, 제 1 항 내지 제 22 항에 따른 어댑터 수단에 의한 핑거 테스터에서의 도체 어셈블리 검사방법.The contact 12 of the conductor assembly, which is not on the side contacted by the adapter by means of a test finger 21, to check the conductor path 14 of the conductor assembly 2 for short circuits and / or breaks A method for inspecting conductor assemblies in a finger tester by means of an adapter means according to claim 1. 제 23 항에 있어서,The method of claim 23, wherein 상기 도체 어셈블리(2)의 도체경로(14)는 저항측정에 의해 단선이 검사되는 것을 특징으로 하는 어댑터 수단에 의한 도체 어셈블리 검사방법.Conductor assembly inspection method by the adapter means, characterized in that the conductor path (14) of the conductor assembly (2) is inspected for disconnection. 제 23 항에 있어서,The method of claim 23, wherein 상기 도체 어셈블리(2)의 도체경로(14)는 필드측정방법에 의해 단선이 검사되는 것을 특징으로 하는 어댑터 수단에 의한 도체 어셈블리 검사방법.Conductor assembly inspection method by the adapter means, characterized in that the conductor path (14) of the conductor assembly (2) is inspected for disconnection by the field measurement method. 제 23 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 23 to 25, 상기 도체 어셈블리(2)의 도체경로(14)는 저항측정에 의해 단락이 검사되는 것을 특징으로 하는 어댑터 수단에 의한 도체 어셈블리 검사방법.Conductor assembly inspection method by the adapter means, characterized in that the conductor path (14) of the conductor assembly (2) is short-circuited by resistance measurement. 제 23 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 23 to 25, 상기 도체 어셈블리(2)의 도체경로(14)는 필드측정방법에 의해 단락이 검사되는 것을 특징으로 하는 어댑터 수단에 의한 도체 어셈블리 검사방법.Conductor assembly inspection method by the adapter means, characterized in that the conductor path (14) of the conductor assembly (2) is short-circuited by a field measuring method. 제 25 항 또는 제 27 항에 있어서,The method of claim 25 or 27, 일체로 된 안테나(29)를 갖는 어댑터(1)가 상기 필드측정방법을 수행하기 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 어댑터 수단에 의한 도체 어셈블리 검사방법.A method for inspecting a conductor assembly by means of adapters, characterized in that an adapter (1) having an integrated antenna (29) is used to carry out the field measuring method. 제 25 항, 제 27 항 또는 제 28 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 25, 27 or 28, 각 경우에, 상기 피검사 도체 어셈블리(2)의 한 도체 경로(14)가 상기 필드측정방법을 실행하기 위해 안테나(aerial)(29)로서 사용되는 것을 특징으로 하는 어댑터에 의한 도체 어셈블리 검사방법.In each case, one conductor path (14) of the conductor assembly (2) under test is used as an antenna (29) to carry out the field measuring method.
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