KR20050089108A - 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 핸들러 본체에 선형 운동 장치에 의해 이동가능하게 설치되어 복수개의 반도체 소자가 안착된 트레이를 핸들러 본체의 일측에서 타측으로 이송하여 주는 트레이 이송장치에 있어서,핸들러 본체에 선형 이동 가능하게 설치된 가동판과;상기 가동판에 측방으로 신축 가능하게 설치되어 상기 가동판의 아래쪽에서 트레이의 양측부를 고정 및 해제하는 한 쌍의 그립퍼와;상기 그립퍼를 좌우로 신축시키기 위한 구동수단과;상기 가동판 하부에 탄력적으로 설치되어, 상기 그립퍼에 트레이가 고정되었을 때 트레이 상에 안착된 각 반도체 소자를 아래쪽으로 탄성적으로 가압하여 주는 가압부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 가압부재는 상기 가동판의 하부에 소정 간격으로 설치되며 내부에 탄성체가 내장된 복수개의 포고핀(pogo pin)인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 가압부재는, 상기 가동판의 하부에 복수의 열(列)을 이루며 배열된 탄성체와, 상기 각 탄성체의 하부에 결합되어 트레이 상의 반도체 소자를 가압하는 복수개의 푸쉬바아로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 가압부재는, 상기 가동판의 하부에 설치되는 적어도 1개의 탄성체와, 상기 탄성체의 하부에 결합되어 트레이 상의 반도체 소자를 가압하는 적어도 1개의 푸쉬플레이트로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
- 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 탄성체는 압축코일스프링으로 된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치.
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- 2004-03-03 KR KR10-2004-0014278A patent/KR100528706B1/ko active IP Right Grant
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