KR20050083538A - 이온주입방법 및 그 장치 - Google Patents
이온주입방법 및 그 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050083538A KR20050083538A KR1020040086146A KR20040086146A KR20050083538A KR 20050083538 A KR20050083538 A KR 20050083538A KR 1020040086146 A KR1020040086146 A KR 1020040086146A KR 20040086146 A KR20040086146 A KR 20040086146A KR 20050083538 A KR20050083538 A KR 20050083538A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- ion beam
- implantation
- speed
- scanning
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 92
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 title claims abstract description 61
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 228
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 121
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 71
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 62
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 36
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 36
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 30
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 26
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001802 infusion Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
- H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
- H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
- H01J37/3172—Maskless patterned ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20221—Translation
- H01J2237/20228—Mechanical X-Y scanning
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Claims (12)
- 이온빔을 전계 또는 자계에 의해 X방향으로 왕복주사하는 것과, 기판을 상기 X방향과 실질적으로 직교하는 Y방향으로 기계적으로 왕복구동하는 것을 병용하여 기판에 이온주입을 행하는 이온주입방법에 있어서,이온빔의 주사속도 및 기판의 구동속도 중 최소한 한쪽을 이온빔이 기판에 입사하는 영역내에서 변화시킴으로써 기판의 면내에서 일정하지 않은 도즈량 분포를 형성하는 것을 특징으로 하는 이온주입방법.
- 기판에 이온주입을 행하는 이온주입장치에 있어서,이온빔을 전계 또는 자계에 의해 X방향으로 왕복주사하는 주사장치와,기판을 상기 X방향과 실질적으로 직교하는 Y방향으로 기계적으로 왕복구동하는 구동장치와,상기 주사장치 및 상기 구동장치 중 최소한 한쪽을 제어하고 이온빔의 주사속도 및 기판의 구동속도 중 최소한 한쪽을, 이온빔이 기판에 입사하는 영역내에서 변화시키기 위해 상기 주사장치 및 상기 구동장치 중 최소한 한쪽을 제어하는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제1항에 있어서,기판을 그 중심부를 중심으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제2항에 있어서,상기 기판을 그 중심부를 중심으로 하여 회전시키는 회전장치를 더 포함하고,상기 제어장치는 상기 기판 그 중심부를 중심으로 회전하도록 상기 회전장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제3항에 있어서,한 이온빔 주입공정에서 기판의 구동속도를 이온빔의 빔전류밀도에 반비례하도록 제어하면서 이온빔의 주사속도 및 기판의 구동속도 중 최소한 한쪽을 스텝모양으로 변화시켜 기판에 이온주입을 행하는 주입공정을 다수회 실시함과 동시에 이 각 주입공정의 사이에서 기판을 그 중심부를 중심으로 하여 소정의 회전각도 만큼 회전시키는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제4항에 있어서,상기 제어장치는 상기 주사장치, 상기 구동장치를 제어하여 이온빔이 기판에 입사하는 영역내에서 기판의 구동속도를 이온빔의 빔전류밀도에 반비례하도록 제어하면서 이온빔의 주사속도 및 기판의 구동속도 중 최소한 한쪽을 스텝모양으로 변화시켜 기판에 이온주입을 행하는 주입공정을 다수회 실시함과 동시에 상기 회전장치를 제어하여 각 주입공정 사이에서 기판을 그 중심부를 중심으로 하여 소정의 회전각도 만큼 회전시키는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제 5항에 있어서,상기 주입공정으로서 이온빔의 주사속도를 기판의 일단으로부터 타단에 걸쳐 제 1주사속도, 이 제 1주사속도와는 다른 제 2주사속도 및 상기 제 1주사속도에 스텝모양으로 변화시키는 주입공정을 n회(n은 2이상의 정수) 실시함과 동시에 상기 회전공정으로서 기판을 360/n도씩 회전시키는 회전공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제 7항에 있어서,상기 중앙영역 및 외주영역의 목표도즈량을 각각 DA 및 DB로 하고, 1회의 주입공정에 의한 상기 제 1주사속도 및 제 2주사속도에 의한 설정도즈량을 각각 d1 및 d2로 했을 때,d1 = (2DB - DA)/n,또한 d2 = DA/n으로 설정하는 것을 특징으로 하는 이온주입방법.
- 제 6항에 있어서,상기 제어장치는 상기 주입공정으로서 이온빔의 주사속도를 기판의 일단으로부터 타단에 걸쳐 제 1주사속도, 이 제 1주사속도와는 다른 제 2주사속도 및 상기 제 1주사속도에 스텝모양으로 변화시키는 주입공정을 n회(n은 2이상의 정수) 실시함과 동시에 각 주입공정 사이에서 상기 회전공정으로서 기판을 360/n도씩 회전시키는 회전공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제 5항에 있어서,상기 주입공정으로서 기판의 구동속도를 이온빔이 기판에 입사하는 영역내에서 제 1구동속도, 이 제 1구동속도와는 다른 제 2구동속도 및 상기 제 1구동속도에 스텝모양으로 변화시키는 주입공정을 n회(n은 2이상의 정수) 실시함과 동시에 상기 회전공정으로서 기판을 360/n도씩 회전시키는 회전공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
- 제10항에 있어서,기판평면을 기준으로 상기 중앙영역 및 외주영역의 목표도즈량을 각각 DA 및 DB로 하고, 1회의 주입공정에 의한 상기 제 1구동속도 및 제 2구동속도에 의한 설정도즈량을 각각 d1 및d2로 했을 때,d1 = (2DB -DA)/n 그리고,d2 = DA/n으로 설정하는 것을 특징으로 하는 이온주입방법.
- 제 6항에 있어서,상기 제어장치는 상기 주입공정으로서 기판의 구동속도를 이온빔이 기판에 입사하는 영역내에서 제 1구동속도, 이 제 1구동속도와는 다른 제 2구동속도 및 상기 제 1구동속도에 스텝모양으로 변화시키는 주입공정을 n회(n은 2이상의 정수) 실시함과 동시에 각 이온주입공정 사이에서 상기 회전공정으로서 기판을 360/n도씩 회전시키는 회전공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2004-00046213 | 2004-02-23 | ||
JP2004046213A JP4251453B2 (ja) | 2004-02-23 | 2004-02-23 | イオン注入方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050083538A true KR20050083538A (ko) | 2005-08-26 |
KR100722159B1 KR100722159B1 (ko) | 2007-05-28 |
Family
ID=34858132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040086146A KR100722159B1 (ko) | 2004-02-23 | 2004-10-27 | 이온주입방법 및 그 장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8017922B2 (ko) |
EP (1) | EP1580789A3 (ko) |
JP (1) | JP4251453B2 (ko) |
KR (1) | KR100722159B1 (ko) |
CN (1) | CN100382226C (ko) |
TW (1) | TWI308354B (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100653995B1 (ko) * | 2005-03-17 | 2006-12-05 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체소자 제조를 위한 국부적 임플란트 방법 |
KR100699889B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-03-28 | 삼성전자주식회사 | 가변적인 이온주입 조건이 수반되는 반도체 소자의 제조방법 |
KR100914280B1 (ko) * | 2006-08-23 | 2009-08-28 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불균일이온주입을 이용한 반도체소자의 게이트 형성방법 |
KR101854215B1 (ko) * | 2011-03-28 | 2018-05-03 | 스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤 | 이온주입방법 및 이온주입장치 |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004063691B4 (de) | 2004-05-10 | 2019-01-17 | Hynix Semiconductor Inc. | Verfahren zum Implantieren von Ionen in einem Halbleiterbauelement |
US7208330B2 (en) * | 2005-01-12 | 2007-04-24 | Texas Instruments Incorporated | Method for varying the uniformity of a dopant as it is placed in a substrate by varying the speed of the implant across the substrate |
KR100675891B1 (ko) * | 2005-05-04 | 2007-02-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불균일 이온주입장치 및 불균일 이온주입방법 |
KR100668746B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-01-29 | 주식회사 하이닉스반도체 | 와이드빔을 이용한 불균일 이온주입장치 및 이온주입방법 |
JP5015464B2 (ja) * | 2006-01-30 | 2012-08-29 | 株式会社アルバック | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
US7544957B2 (en) * | 2006-05-26 | 2009-06-09 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Non-uniform ion implantation |
GB0617167D0 (en) | 2006-08-31 | 2006-10-11 | Cdt Oxford Ltd | Compounds for use in opto-electrical devices |
US7683347B2 (en) * | 2006-09-29 | 2010-03-23 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Technique for improving ion implantation throughput and dose uniformity |
JP2008166660A (ja) * | 2007-01-05 | 2008-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体製造装置 |
FR2920785B1 (fr) * | 2007-09-11 | 2010-02-26 | Quertech Ingenierie | Traitement de la porosite des metaux par bombardement ionique |
JP4471009B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2010-06-02 | 日新イオン機器株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
JP4471008B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2010-06-02 | 日新イオン機器株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
JP5311112B2 (ja) * | 2008-11-12 | 2013-10-09 | 日新イオン機器株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
WO2010120805A2 (en) | 2009-04-13 | 2010-10-21 | Applied Materials, Inc. | Modification of magnetic properties of films using ion and neutral beam implantation |
JP5448586B2 (ja) * | 2009-06-05 | 2014-03-19 | キヤノン株式会社 | 光学素子の製造方法 |
US8987691B2 (en) * | 2009-09-03 | 2015-03-24 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Ion implanter and ion implant method thereof |
US8669539B2 (en) * | 2010-03-29 | 2014-03-11 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Implant method and implanter by using a variable aperture |
JP2011233386A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン注入装置及びビーム電流密度分布調整方法 |
US20120196047A1 (en) * | 2011-01-28 | 2012-08-02 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Determining relative scan velocity to control ion implantation of work piece |
JP5211328B2 (ja) | 2011-02-02 | 2013-06-12 | 日新イオン機器株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
JP5575025B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2014-08-20 | 株式会社Sen | イオン注入方法及びイオン注入装置 |
US20120302049A1 (en) * | 2011-05-24 | 2012-11-29 | Nanya Technology Corporation | Method for implanting wafer |
JP5718169B2 (ja) | 2011-06-14 | 2015-05-13 | 株式会社Sen | イオン注入装置及びイオン注入方法 |
CN102629553B (zh) * | 2011-11-18 | 2014-07-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 离子注入方法 |
CN103367126B (zh) * | 2012-03-28 | 2016-03-09 | 无锡华润上华科技有限公司 | 离子注入方法 |
CN104701124B (zh) * | 2013-12-05 | 2017-05-03 | 和舰科技(苏州)有限公司 | 离子注入设备及控制离子注入角度的方法 |
US9218941B2 (en) | 2014-01-15 | 2015-12-22 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion implantation system and method with variable energy control |
JP6509089B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-05-08 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入装置 |
JP6588323B2 (ja) * | 2015-12-10 | 2019-10-09 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
CN110249405B (zh) * | 2017-01-09 | 2022-09-23 | Tel艾派恩有限公司 | 受补偿的位置特定处理设备和方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56126918A (en) * | 1980-03-11 | 1981-10-05 | Hitachi Ltd | Injecting device for ion |
US4449051A (en) * | 1982-02-16 | 1984-05-15 | Varian Associates, Inc. | Dose compensation by differential pattern scanning |
JPS62295347A (ja) * | 1986-04-09 | 1987-12-22 | イクリプス・イオン・テクノロジ−・インコ−ポレイテツド | イオンビ−ム高速平行走査装置 |
JPH0770298B2 (ja) | 1989-05-15 | 1995-07-31 | 日新電機株式会社 | イオン注入装置 |
JP2969788B2 (ja) | 1990-05-17 | 1999-11-02 | 日新電機株式会社 | イオンビームの平行度測定方法、走査波形整形方法およびイオン注入装置 |
US6055460A (en) | 1997-08-06 | 2000-04-25 | Advanced Micro Devices, Inc. | Semiconductor process compensation utilizing non-uniform ion implantation methodology |
US5898179A (en) | 1997-09-10 | 1999-04-27 | Orion Equipment, Inc. | Method and apparatus for controlling a workpiece in a vacuum chamber |
JP3567749B2 (ja) * | 1998-07-22 | 2004-09-22 | 日新電機株式会社 | 荷電粒子ビームの分布測定方法およびそれに関連する方法 |
JP2000150407A (ja) | 1998-11-06 | 2000-05-30 | Matsushita Electronics Industry Corp | 半導体装置の製造方法 |
US6207959B1 (en) | 1999-04-19 | 2001-03-27 | Applied Materials, Inc. | Ion implanter |
JP3414337B2 (ja) | 1999-11-12 | 2003-06-09 | 日新電機株式会社 | 電磁界レンズの制御方法およびイオン注入装置 |
KR100298587B1 (ko) | 1999-11-22 | 2001-11-05 | 윤종용 | 이온 주입 장치 |
JP3341749B2 (ja) | 1999-12-28 | 2002-11-05 | 日新電機株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
US6323497B1 (en) * | 2000-06-02 | 2001-11-27 | Varian Semiconductor Equipment Assoc. | Method and apparatus for controlling ion implantation during vacuum fluctuation |
US6657209B2 (en) * | 2000-09-20 | 2003-12-02 | Axcelis Technologies, Inc. | Method and system for determining pressure compensation factors in an ion implanter |
JP4867113B2 (ja) | 2001-09-11 | 2012-02-01 | ソニー株式会社 | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
JP4061044B2 (ja) | 2001-10-05 | 2008-03-12 | 住友重機械工業株式会社 | 基板移動装置 |
JP3692999B2 (ja) | 2001-10-26 | 2005-09-07 | 日新イオン機器株式会社 | イオン注入方法およびその装置 |
US7049210B2 (en) * | 2002-09-23 | 2006-05-23 | Applied Materials, Inc. | Method of implanting a substrate and an ion implanter for performing the method |
-
2004
- 2004-02-23 JP JP2004046213A patent/JP4251453B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-07 US US10/840,281 patent/US8017922B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-09-28 EP EP04023084A patent/EP1580789A3/en not_active Withdrawn
- 2004-10-01 TW TW093129822A patent/TWI308354B/zh active
- 2004-10-27 KR KR1020040086146A patent/KR100722159B1/ko active IP Right Review Request
- 2004-11-30 CN CNB200410098236XA patent/CN100382226C/zh active Active
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100653995B1 (ko) * | 2005-03-17 | 2006-12-05 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체소자 제조를 위한 국부적 임플란트 방법 |
US7662705B2 (en) | 2005-03-17 | 2010-02-16 | Hynix Semiconductor Inc. | Partial implantation method for semiconductor manufacturing |
US7939418B2 (en) | 2005-03-17 | 2011-05-10 | Hynix Semiconductor Inc. | Partial implantation method for semiconductor manufacturing |
KR100699889B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-03-28 | 삼성전자주식회사 | 가변적인 이온주입 조건이 수반되는 반도체 소자의 제조방법 |
KR100914280B1 (ko) * | 2006-08-23 | 2009-08-28 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불균일이온주입을 이용한 반도체소자의 게이트 형성방법 |
KR101854215B1 (ko) * | 2011-03-28 | 2018-05-03 | 스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤 | 이온주입방법 및 이온주입장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050184254A1 (en) | 2005-08-25 |
JP4251453B2 (ja) | 2009-04-08 |
TWI308354B (en) | 2009-04-01 |
KR100722159B1 (ko) | 2007-05-28 |
JP2005235682A (ja) | 2005-09-02 |
TW200529275A (en) | 2005-09-01 |
US8017922B2 (en) | 2011-09-13 |
EP1580789A3 (en) | 2010-12-08 |
CN100382226C (zh) | 2008-04-16 |
CN1661763A (zh) | 2005-08-31 |
EP1580789A2 (en) | 2005-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100722159B1 (ko) | 이온주입방법 및 그 장치 | |
KR100582783B1 (ko) | 이온주입방법 및 그 장치 | |
KR101454957B1 (ko) | 이온 주입 방법 및 이온 주입 장치 | |
TWI387993B (zh) | 用於離子植入器之裝置及用於實施離子植入之方法 | |
JP5373702B2 (ja) | イオンビームスキャン処理装置及びイオンビームスキャン処理方法 | |
CN102629543B (zh) | 离子注入方法和离子注入装置 | |
KR101502534B1 (ko) | 축내 틸트를 이용하여 개선된 높은 틸트 주입 각도 성능 | |
JP2017510023A (ja) | 可変エネルギー制御を伴うイオン注入システムおよび方法 | |
JP4155327B2 (ja) | イオン注入方法およびその装置 | |
KR101927784B1 (ko) | 개선된 균일도의 스캔된 이온 빔 | |
US6984832B2 (en) | Beam angle control in a batch ion implantation system | |
JP2007200896A (ja) | イオン注入システム及びこれを用いたイオン注入方法 | |
CN112349574A (zh) | 离子注入装置及离子注入方法 | |
CN112349573A (zh) | 离子注入装置及离子注入方法 | |
KR20050097395A (ko) | 이온 주입 설비의 스캔 시스템 및 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
J202 | Request for trial for correction [limitation] | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR CORRECTION REQUESTED 20070814 Effective date: 20081013 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130503 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140227 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150416 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160419 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170420 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180417 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190417 Year of fee payment: 13 |