KR20050082550A - Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same - Google Patents

Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20050082550A
KR20050082550A KR1020040011025A KR20040011025A KR20050082550A KR 20050082550 A KR20050082550 A KR 20050082550A KR 1020040011025 A KR1020040011025 A KR 1020040011025A KR 20040011025 A KR20040011025 A KR 20040011025A KR 20050082550 A KR20050082550 A KR 20050082550A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
cage
building
floor
moving
Prior art date
Application number
KR1020040011025A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
배수광
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020040011025A priority Critical patent/KR20050082550A/en
Publication of KR20050082550A publication Critical patent/KR20050082550A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 서로 다른 건물간의 카세트의 층간반송 시간을 줄일 수 있는 카세트 리프터 시스템 및 이를 이용한 층간 카세트 반송방법에 관한 것으로, 액정표시장치용 기판이 다수개 수납된 카세트를 층간 반송하기 위한 카세트 리프터 시스템에 있어서, 각 건물의 사이에 위치한 이동통로를 따라 각 건물의 층간을 승강하며, 내부에 카세트를 적재하여 상기 카세트를 상기 각 건물의 각 층에 반송하기 위한 케이지와; 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로의 사이에 형성되어, 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로간을 개폐하기 위한 다수개의 외부도어와; 각 건물 동일층의 각 외부도어와 상응하도록 상기 케이지에 구비되어, 상기 케이지의 내부를 개폐하기 위한 다수개의 내부도어를 포함하여 구성되는 것이다.The present invention relates to a cassette lifter system capable of reducing the inter-layer transfer time of cassettes between different buildings, and an interlayer cassette conveying method using the same. The present invention relates to a cassette lifter system for interlayer conveying a cassette containing a plurality of substrates for a liquid crystal display device. A cage for elevating the floors of each building along a moving passage located between each building, and carrying a cassette therein to convey the cassette to each floor of each building; A plurality of external doors formed between each floor of each building and the moving passages to open and close each floor of each building and the moving passages; It is provided in the cage to correspond to each exterior door of the same floor of each building, it is configured to include a plurality of inner doors for opening and closing the inside of the cage.

Description

카세트 리프터 시스템 및 이를 이용한 층간 카세트 반송방법{Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same}Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same

본 발명은 액정표시장치의 제반장비에 관한 것으로, 특히 상기 액정표시장치용 기판이 여러장 담긴 카세트의 층간 반송효율을 증대시킬 수 있는 카세트 리프터 시스템 및 이를 이용한 층간 카세트 반송방법에 대한 것이다.The present invention relates to various equipment of a liquid crystal display device, and more particularly, to a cassette lifter system and an interlayer cassette conveying method using the same, which can increase the interlayer conveyance efficiency of a cassette containing a plurality of liquid crystal display substrates.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELDs), and vacuum fluorescent displays (VFDs) have been developed. Various flat panel display devices have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for the use of mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption, and mobile type such as monitor of notebook computer. In addition, it is being developed in various ways, such as a television for receiving and displaying broadcast signals, and a monitor of a computer.

이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다.As described above, although various technical advances have been made in order for the liquid crystal display device to serve as a screen display device in various fields, the task of improving the image quality as the screen display device has many advantages and disadvantages.

따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.Therefore, in order to use a liquid crystal display device in various parts as a general screen display device, the key to development is how much high definition images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정패널과 상기 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 기판과, 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다. Such a liquid crystal display device may be broadly divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel includes a space between the first and second substrates, and It consists of the liquid crystal layer injected between the 1st, 2nd board | substrate.

여기서, 상기 제 1 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소 영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다. The first substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and the respective gates. A plurality of thin film transistors which are switched by signals of the gate line and a plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing a line and a data line, transmit a signal of the data line to each pixel electrode. Formed.

그리고, 제 2 기판(컬러필터기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R, G, B 컬러필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.In addition, the second substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G, and B color filter layers for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed.

이와 같은 상기 제 1, 제 2 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 시일재(sealant)에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정이 형성된다. The first and second substrates have a predetermined space by spacers and are bonded by a sealant to form a liquid crystal between the two substrates.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 크게 나눌 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device configured as described above can be roughly divided into three processes, a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process.

먼저, 상기 기판 제조공정은 세정된 제 1, 제 2 기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 제조 공정과 칼라필터 제조 공정으로 나눈다. 먼저, 상기 박막트랜지스터 제조 공정은 제 1 기판상에 복수의 박막트랜지스터와 화소전극을 제조하는 공정(박막트랜지스터 어레이 기판)을 말하는 것이며, 칼라필터 제조 공정은 차광막이 형성된 상부 제 2 기판상에 염료나 안료를 사용하여 R. G. B 색상의 칼라필터층을 형성하고 공통전극(ITO)을 형성하는 공정(컬러필터 기판)을 일컫는다.First, the substrate manufacturing process is divided into a thin film transistor manufacturing process and a color filter manufacturing process using the cleaned first and second substrates, respectively. First, the thin film transistor manufacturing process refers to a process of manufacturing a plurality of thin film transistors and pixel electrodes on the first substrate (thin film transistor array substrate), and the color filter manufacturing process is a dye or a thin film on the upper second substrate on which the light shielding film is formed. The process of forming a color filter layer of RG B color using a pigment and forming a common electrode (ITO) (color filter substrate).

또한, 셀 공정은 박막트랜지스터 공정이 완료된 상기 제 1 기판(박막트랜지스터 어레이 기판)과 칼라필터 공정이 완료된 상기 제 2 기판(컬러필터 기판)의 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정이며, 마지막으로 모듈 공정은 신호처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제조하는 공정이다.In addition, the cell process spreads and bonds a spacer so that a constant gap is maintained between the first substrate (thin film transistor array substrate) on which the thin film transistor process is completed and the second substrate (color filter substrate) on which the color filter process is completed. The process of manufacturing a cell of a liquid crystal display device by injecting the same, and finally, the module process is a process of manufacturing a module by manufacturing a circuit unit for signal processing and connecting the liquid crystal display panel and the signal processing circuit unit.

여기서, 상기 각 제조공정은 하나의 공장에서 이루어지는데, 일반적으로 상기 공장의 1층에서는 상기 제 1 기판에 대한 제조공정이 이루어지고, 2층에서는 상기 제 2 기판에 대한 제조공정이 이루어지며, 3층에서는 상기 제 1, 제 2 기판에 대한 합착 및 액정주입 공정이 이루어진다. 그리고, 4층에서는 상기 모듈공정이 이루어지게 된다.Here, each manufacturing process is performed in one factory, in general, the manufacturing process for the first substrate is made in the first floor of the plant, the manufacturing process for the second substrate is made in the second layer, 3 In the layer, bonding and liquid crystal injection processes to the first and second substrates are performed. In the fourth layer, the module process is performed.

여기서, 상기 제 1, 제 2 기판의 제조공정은 동일 층에서 이루어질 수도 있다.Here, the manufacturing process of the first and second substrate may be made in the same layer.

한편, 상기 1, 2 층에서 제조된 각 제 1, 제 2 기판은 다음 공정과정인 셀 공정 및 모듈 공정을 위해서 상기 3, 4 층으로 반송되어야 하는데, 상기 각 층간 기판의 반송을 원활하게 하기 위하여 일반적으로 승강기와 같은 리프터 시스템을 사용하게 된다.Meanwhile, each of the first and second substrates manufactured in the first and second layers should be conveyed to the third and fourth layers for the cell process and the module process, which are the next process. Generally, a lifter system such as an elevator is used.

여기서, 상기 각 기판은 상기 각 기판을 다수개 수납할 수 있는 카세트에 저장되어 상기 리프터 시스템에 의해 층간 반송되므로, 한번에 여러장의 기판이 층간 반송된다.Here, since each said board | substrate is stored in the cassette which can accommodate a plurality of said each board | substrate, and is interlayer conveyed by the said lifter system, several board | substrates are conveyed interlayer at once.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 카세트 리프터 시스템을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a conventional cassette lifter system will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 카세트 리프터 시스템에 대한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 케이지를 승강 및 하강하기 위한 구동제어부에 대한 개략적인 구성도이며, 도 3은 슬라이더 로봇에 대한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a conventional cassette lifter system, FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a drive control unit for lifting and lowering a cage of FIG. 1, and FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a slider robot. to be.

종래의 카세트 리프터 시스템은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 다수개의 기판이 수납된 카세트(20)가 안착되는 포트(11)와, 상기 포트(11)로부터 상기 카세트(20)를 케이지(70)로 전달하기 위한 이재 로봇(12)으로 구성된 카세트 로딩부와; 각 층에 해당하는 부분에 개폐가능한 외부도어(40)가 설치된 이동통로(80)와, 상기 이재 로봇(12)으로부터 카세트(20)를 전달받아 상기 이동통로(80)를 따라서 각 층으로 상기 카세트(20)를 반송하기 위한 케이지(70)로 구성된 리프터부를 구비하고 있다. In the conventional cassette lifter system, as shown in FIGS. 1 and 2, a port 11 on which a cassette 20 containing a plurality of substrates is accommodated is seated, and the cassette 20 is caged from the port 11. A cassette loading section composed of transfer robot 12 for delivery to 70; Receiving the cassette 20 from the transfer path 80 and the transfer door 80 is installed in the opening and closing the outer door 40 corresponding to each layer, the cassette along each of the floor along the mobile passage 80 The lifter part comprised of the cage 70 for conveying 20 is provided.

여기서, 상기 포트(11)는 몸체와, 상기 몸체의 상부면의 네 가장자리에 각각 형성되어 상기 카세트(20)가 안착되는 다수개의 돌출턱(11a)으로 구성되어 있다.Here, the port 11 is composed of a body, and a plurality of protruding jaws (11a) are formed on each of the four edges of the upper surface of the body, the cassette 20 is seated.

여기서, 상기 돌출턱(11a)은 상기 몸체와 상기 카세트(20)의 하부면 사이의 공간을 확보하기 위한 것이다.Here, the projection jaw (11a) is to ensure the space between the body and the lower surface of the cassette 20.

그리고, 상기 이재 로봇(12)은 몸체와, 상기 몸체의 상부면에 구비되는 계단형으로 펼쳐지거나 접혀질수 있는 다수개의 슬라이드(12a)로 구성되어 있으며, 상기 다수개의 슬라이드(12a) 중 최상부에 구비된 슬라이드(12a)에는 상기 카세트(20)가 안착되게 된다.In addition, the transfer robot 12 is composed of a body, a plurality of slides (12a) that can be expanded or folded in a step shape provided on the upper surface of the body, is provided on the top of the plurality of slides (12a) The cassette 20 is seated on the slide 12a.

여기서, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 이재 로봇(12)의 몸체의 중심부에는 상기 슬라이드(12a)를 상하로 움직이거나, 좌우로 회전시키기 위한 구동축이 더 포함되어 있다.Here, although not shown in the figure, a drive shaft for moving the slide 12a up and down or rotating left and right is further included in the center of the body of the transfer robot 12.

그리고, 상기 케이지(70)의 일측에는 개폐가능한 내부도어(50)가 구비되어 있으며, 상기 내부도어(50)는 상기 이동통로(80)의 외부도어(40)와 마주보도록 설치되어 있다.And, one side of the cage 70 is provided with an openable inner door 50, the inner door 50 is installed to face the outer door 40 of the mobile passage (80).

여기서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 케이지(70)의 상부에는 로프(41)가 연결되어 있으며, 상기 로프(41)는 구동모터(60)에 의해서 감아올려지거나 풀어지게 되어, 상기 케이지(70)는 상기 로프(41) 및 구동모터(60)의 회전에 의해 승강 및 하강하게 된다.Here, as shown in FIG. 2, a rope 41 is connected to an upper portion of the cage 70, and the rope 41 is wound up or unwound by the drive motor 60, and the cage ( 70 is raised and lowered by the rotation of the rope 41 and the drive motor 60.

또한, 상기 로프(41)의 타측에는 상기 케이지(70)의 무게와 비슷한 무게를 가지는 평형추(85)가 매달려 있어서, 상기 구동모터(60)가 좀 더 쉽게 상기 케이지(70)를 승강 및 하강시킬 수 있도록 하고 있다.In addition, since the counterweight 85 having a weight similar to that of the cage 70 is suspended on the other side of the rope 41, the drive motor 60 more easily lifts and lowers the cage 70. To make it possible.

한편, 상기 이동통로(80)의 외부에는 상기 이동통로(80)의 내부에 정화된 공기를 불어넣어 상기 이동통로(80) 내부의 이물질을 제거하기 위한 제 1 공기정화필터(30)가 구비되어 있으며, 상기 케이지(70)의 상측에는 상기 제 1 공기정화필터(30)로부터 정화된 공기를 받아 상기 케이지(70)의 내부로 불어넣어 상기 케이지(70) 내부의 공기를 정화하기 위한 제 2 공기정화필터(31)가 구비되어 있다.On the other hand, the outside of the moving passage 80 is provided with a first air purification filter 30 for blowing foreign matter inside the moving passage 80 to remove the foreign matter inside the moving passage (80). The upper side of the cage 70 receives the purified air from the first air purification filter 30 and blows it into the cage 70 to purify the air inside the cage 70. A purification filter 31 is provided.

여기서, 상기 제 1, 제 2 공기정화필터(30, 31)는 상기 케이지(70) 내부의 카세트(20)에 수납된 기판이 이물질에 의해 오염되는 것을 방지하는 역할을 한다.Here, the first and second air purification filters 30 and 31 serve to prevent the substrate accommodated in the cassette 20 inside the cage 70 from being contaminated by foreign matter.

그리고, 상기 케이지(70)의 내부에는 상기 카세트(20)가 놓여지는 슬라이더 로봇(61)이 구비되어 있으며, 상기 슬라이더 로봇(61)은 상기 카세트(20)가 안착되는 스테이지(61c)와, 상기 스테이지(61c)를 상기 이재 로봇(12)의 슬라이드(12a) 방향 또는 상기 슬라이드(12a)의 반대 방향으로 이동시키기 위한 벨트(61b) 및 상기 벨트(61b)를 구동시키기 위한 구동모터(61a)로 구성되어 있다.The cage 70 is provided with a slider robot 61 on which the cassette 20 is placed. The slider robot 61 includes a stage 61c on which the cassette 20 is seated, and A belt 61b for moving the stage 61c in the direction of the slide 12a of the transfer robot 12 or in a direction opposite to the slide 12a, and a drive motor 61a for driving the belt 61b. Consists of.

여기서, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 스테이지(61c)의 하부면과 상기 벨트(61b)는 서로 맞물리는 톱니모양을 가지고 있어서, 상기 구동모터(61a)에 의해 상기 벨트(61b)는 회전하게 되며, 상기 구동모터(61a)의 회전방향에 따라 상기 벨트(61b)와 맞물린 스테이지(61c)는 상기 이재 로봇(12)의 슬라이드(12a) 방향 또는 반대 방향으로 이동하게 된다.Here, although not shown in the drawing, the lower surface of the stage 61c and the belt 61b have a sawtooth shape that meshes with each other, so that the belt 61b is rotated by the driving motor 61a. The stage 61c engaged with the belt 61b moves in the direction of the slide 12a of the transfer robot 12 or in the opposite direction according to the rotational direction of the drive motor 61a.

여기서, 상기 슬라이더 로봇(61)의 스테이지(61c)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 중심부에 공간(90)을 가지고 있으며, 상기 공간(90)으로 상기 이재 로봇(12)의 슬라이드(12a)가 삽입되게 된다.Here, as shown in FIG. 3, the stage 61c of the slider robot 61 has a space 90 at a central portion thereof, and slides 12a of the transfer robot 12 into the space 90. Will be inserted.

그리고, 상기 이재 로봇(12)은 상기 슬라이드(12a)를 상방향 및 하방향으로 움직임으로써, 상기 스테이지(61c)에 놓여진 카세트(20)를 들어올리거나, 상기 슬라이드(12a)에 놓여진 카세트(20)를 상기 스테이지(61c)상에 안착시키게 된다.Then, the transfer robot 12 moves the slide 12a upward and downward to lift the cassette 20 placed on the stage 61c or the cassette 20 placed on the slide 12a. Is placed on the stage 61c.

이와 같은 상기 슬라이더 로봇(61)에 의해, 상기 카세트(20)는 상기 케이지(70)로부터 상기 이재 로봇(12)으로, 또는 상기 이재 로봇(12)으로부터 상기 케이지(70)의 내부로 좀 더 쉽게 이동될 수 있다.By this slider robot 61, the cassette 20 is more easily moved from the cage 70 to the transfer robot 12 or from the transfer robot 12 into the cage 70. Can be moved.

이하, 이와 같이 구성된 종래의 카세트 리프터 시스템을 이용한 카세트(20)의 층간 반송방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an interlayer conveying method of the cassette 20 using the conventional cassette lifter system configured as described above will be described in detail.

여기서, 상기 건물은 제 1, 제 2 층으로 구분되어 있다고 가정하고, 상기 카세트(20)를 상기 제 1 층에서 제 2 층으로 층간 반송하는 것을 예로 들어 설명하기로 한다.Here, it is assumed that the building is divided into first and second floors, and the cassette 20 will be described as an example of the interlayer conveyance from the first floor to the second floor.

먼저, 제 1 층의 AGV(Auto Guided Vehicle)(도시되지 않음)에 의해서 포트(11)에 카세트(20)가 안착되면, 이재 로봇(12)이 상기 포트(11)에 안착된 카세트(20)를 들어올려 리프터부로 이동한다.First, when the cassette 20 is seated in the port 11 by the AGV (Auto Guided Vehicle) (not shown) of the first layer, the transfer robot 12 is the cassette 20 seated in the port 11 Lift up and move to the lifter section.

이후, 상기 리프터부에 구비된 이동통로(80)의 외부도어(40) 및 케이지(70)의 내부도어(50)가 함께 열리게 되어 상기 케이지(70)의 내부가 노출되고, 상기 이재 로봇(12)은 슬라이드(12a)에 놓여진 카세트(20)를 상기 케이지(70)의 내부로 밀어넣는다. Thereafter, the outer door 40 and the inner door 50 of the cage 70 of the moving passage 80 provided in the lifter are opened together to expose the inside of the cage 70 and the transfer robot 12 ) Pushes the cassette 20 placed on the slide 12a into the cage 70.

이때, 상기 카세트(20)는 상기 케이지(70)의 내부에 구비된 슬라이더 로봇(61)의 스테이지(61c)상에 안착된다.In this case, the cassette 20 is mounted on the stage 61c of the slider robot 61 provided in the cage 70.

이어서, 상기 카세트(20)를 적재한 케이지(70)의 내부도어(50) 및 상기 이동통로(80)의 외부도어(40)가 닫히게 되고, 상기 케이지(70)는 로프(41) 및 구동모터(60)에 의해서 상기 이동통로(80)를 따라서 제 2 층으로 승강하게 된다.Subsequently, the inner door 50 of the cage 70 on which the cassette 20 is loaded and the outer door 40 of the moving passage 80 are closed, and the cage 70 has a rope 41 and a driving motor. By 60, the second floor is moved up and down along the moving passage 80.

그리고, 상기 케이지(70)가 제 2 층에 도착하면, 상기 이동통로(80)의 제 2 층의 외부도어(40) 및 상기 케이지(70)의 내부도어(50)가 함께 열리게 되고, 상기 2층의 카세트 로딩부에 구비된 이재 로봇(12)에 의해 상기 카세트(20)는 상기 제 2 층의 포트(11)에 안착되게 된다.When the cage 70 reaches the second layer, the outer door 40 of the second layer of the moving passage 80 and the inner door 50 of the cage 70 are opened together, and the two The cassette 20 is seated in the port 11 of the second layer by the transfer robot 12 provided in the cassette loading part of the layer.

그러나, 종래의 카세트 리프터 시스템에는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional cassette lifter system has the following problems.

종래의 카세트 리프터 시스템에서는 동일 건물의 층간 카세트의 반송은 가능하였지만, 한 건물(도 1의 이동통로의 오른쪽 건물)에서 다른 건물(도 1의 이동통로의 왼쪽 건물)로의 층간반송에는 많은 시간이 걸렸다.In the conventional cassette lifter system, the transfer of the interlayer cassette of the same building was possible, but it took a long time for the interlayer transfer from one building (the right building of the mobile passage of FIG. 1) to the other building (the left building of the mobile passage of FIG. 1). .

즉, 종래의 카세트 리프터 시스템을 이용하여 한 건물에서 다른 건물로 카세트를 층간 반송하기 위해서는, 먼저 상기 카세트를 한 건물에서 다른 건물로 수평 반송하고, 이어서, 다시 상기 카세트를 케이지를 이용하여 층간 반송하여야 하기 때문에 이에 따른 반송시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.That is, in order to carry a cassette between floors from one building to another building using a conventional cassette lifter system, first, the cassette is horizontally transported from one building to another building, and then the cassettes are carried back to another floor using a cage. Because of this, there was a problem that takes a lot of transport time.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 각 건물의 층과 이동통로의 사이에 각 건물과 상기 이동통로간을 개폐하기 위한 다수개의 외부도어와, 각 건물 동일층의 각 외부도어와 상응하도록 케이지에 설치되어 상기 케이지의 내부를 개폐하기 위한 다수개의 내부도어를 구비하여 각 건물간의 층간 카세트 반송 시간을 줄일 수 있는 카세트 리프터 시스템 및 이를 이용한 층간 카세트 반송방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, a plurality of external doors for opening and closing each building and the mobile passage between the floor of each building and the mobile passage, and each external door of the same floor of each building The present invention provides a cassette lifter system and an interlayer cassette conveying method using the same, which are installed in a cage and provided with a plurality of inner doors for opening and closing the inside of the cage to reduce the cassette conveying time between buildings. .

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 카세트 리프터 시스템은, 액정표시장치용 기판이 다수개 수납된 카세트를 층간 반송하기 위한 카세트 리프터 시스템에 있어서, 각 건물의 사이에 위치한 이동통로를 따라 각 건물의 층간을 승강하며, 내부에 카세트를 적재하여 상기 카세트를 상기 각 건물의 각 층에 반송하기 위한 케이지와; 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로의 사이에 형성되어, 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로간을 개폐하기 위한 다수개의 외부도어와; 각 건물 동일층의 각 외부도어와 상응하도록 상기 케이지에 구비되어, 상기 케이지의 내부를 개폐하기 위한 다수개의 내부도어를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.Cassette lifter system according to the present invention for achieving the above object, in the cassette lifter system for transporting a cassette containing a plurality of substrates for the liquid crystal display device, each along the moving passage located between each building A cage for lifting up and down the floors of buildings, and carrying cassettes therein to convey the cassettes to each floor of each building; A plurality of external doors formed between each floor of each building and the moving passages to open and close each floor of each building and the moving passages; It is characterized in that it comprises a plurality of inner doors provided in the cage to correspond to each outer door of the same floor of each building, for opening and closing the inside of the cage.

여기서, 상기 케이지의 내부에는 상기 카세트가 놓여지는 슬라이더 로봇이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.Here, the inside of the cage is characterized in that the slider robot is further provided with the cassette.

상기 슬라이더 로봇은 상기 카세트가 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지의 하부에 구비되어 상기 스테이지를 좌우로 이동시키기 위한 구동부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The slider robot is characterized in that it comprises a stage on which the cassette is seated, and a drive unit provided in the lower portion of the stage for moving the stage from side to side.

일측이 상기 케이지의 상부에 연결되어 상기 케이지를 상기 이동통로를 따라 승강 및 하강시키기 위한 로프가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.One side is connected to the upper portion of the cage is characterized in that the rope is further provided for lifting and lowering the cage along the movement passage.

상기 로프의 타측에는 상기 케이지의 무게에 해당하는 평형추가 더 구비되어 있으며, 상기 로프의 일측 및 타측의 중간부위에는 상기 로프를 감아 끌어올리거나 풀어 내리기 위한 구동모터가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.The other side of the rope is further provided with a counterweight corresponding to the weight of the cage, one side and the middle portion of the other side of the rope is characterized in that the drive motor for pulling up or pulling down the rope is further provided.

상기 구동모터를 조절하여 상기 케이지의 각 적재공간이 상기 이동통로의 각 층의 외부도어앞에 정확히 정지하도록 하기 위한 구동제어부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it further comprises a drive control unit for adjusting the drive motor so that each loading space of the cage stops in front of the outer door of each floor of the moving passage.

상기 각 건물의 각 층에는 상기 카세트가 안착되는 포트 및 상기 포트로부터 상기 케이지의 내부로 상기 카세트를 로딩하거나, 또는 상기 케이지의 내부로부터 상기 포트로 상기 카세트를 언로딩하기 위한 이재 로봇이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.Each floor of each building is further provided with a port on which the cassette is seated and a transfer robot for loading the cassette from the port into the cage or unloading the cassette from the cage to the port. It is characterized by.

상기 이동통로의 일측에는 상기 이동통로의 내부 공기를 정화시키기 위한 제 1 공기정화필터가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.One side of the moving passage is further characterized in that the first air purification filter for purifying the air inside the moving passage.

상기 케이지의 외측 상부면에는 상기 제 1 공기정화필터로부터 정화된 공기를 받아 상기 케이지의 내부로 전달하여 상기 케이지 내부의 공기를 정화하기 위한 제 2 공기정화필터가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.The outer upper surface of the cage is further characterized in that the second air purification filter for receiving the purified air from the first air purification filter to the inside of the cage to purify the air inside the cage.

또한, 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 카세트 리프터 시스템을 이용한 카세트의 층간 반송방법은, 각 건물의 사이에 위치한 이동통로를 따라 각 건물의 층간을 승강하는 케이지와; 상기 각 건물의 제 1 내지 제 n 층과 상기 이동통로의 사이에 형성되어, 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로간을 개폐하기 위한 다수개의 외부도어와; 상기 각 건물 동일층의 제 1 내지 제 n 외부도어와 상응하도록 상기 케이지에 구비되어, 상기 케이지의 내부를 개폐하기 위한 제 1 내지 제 n 내부도어를 포함하여 구성되는 카세트 리프터 시스템을 이용한 층간 카세트 반송방법에 있어서, 상기 케이지를 이동통로를 따라 이동시켜 각 건물 제 1 층의 제 1 내지 제 n 외부도어 사이에 위치시키는 단계와; 상기 제 1 건물 제 1 층의 제 1 외부도어 및 상기 제 1 외부도어와 마주보는 상기 케이지의 제 1 외부도어를 열고, 상기 케이지의 적재공간에 카세트를 로딩하는 단계와; 상기 케이지를 이동통로를 따라 이동시켜 각 건물 제 n 층의 제 1 내지 제 n 외부도어 사이에 위치시키는 단계와; 제 2 건물 제 n 층의 제 2 외부도어 및 상기 제 2 외부도어와 마주보는 상기 케이지의 제 2 외부도어를 열고, 상기 케이지의 적재공간으로부터 카세트를 상기 제 2 건물 제 n 층에 언로딩하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 그 특징으로 한다.In addition, the interlayer conveying method of the cassette using the cassette lifter system according to the present invention configured as described above, the cage for lifting up and down the floors of each building along the moving passage located between each building; A plurality of external doors formed between the first to nth floors of the buildings and the moving passages to open and close the floors of the respective buildings and the moving passages; Interlayer cassette conveyance using a cassette lifter system provided in the cage so as to correspond to the first through nth outer doors of the same floor of each building, and including first through nth inner doors for opening and closing the inside of the cage. CLAIMS 1. A method comprising: moving the cage along a moving passage and placing the cage between first to nth exterior doors of the first floor of each building; Opening a first outer door of the first floor of the first building and the first outer door of the cage facing the first outer door, and loading a cassette into a loading space of the cage; Moving the cage along a moving passage and placing the cage between the first to nth exterior doors of the nth floor of each building; Opening a second outer door of the second floor of the second floor of the second building and a second outer door of the cage facing the second outer door, and unloading a cassette to the second floor of the second building from the loading space of the cage; Characterized in that it comprises a.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 리프터 시스템을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a cassette lifter system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 리프터 시스템의 개략적인 구성도이다.4 is a schematic structural diagram of a cassette lifter system according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 카세트 리프터 시스템은, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1, 제 2 건물의 사이에 위치한 이동통로(180)를 따라 각 건물의 층간을 승강하며, 내부에 카세트(120)를 적재하여 상기 카세트(120)를 상기 각 건물의 제 1, 제 2 층에 반송하기 위한 케이지(170)와; 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로(180)의 사이에 형성되어, 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로(180)간을 개폐하기 위한 다수개의 제 1, 제 2 외부도어(140a, 140b)와; 각 건물 동일층의 제 1, 제 2 외부도어(140a, 140b)와 상응하도록 상기 케이지(170)에 구비되어, 상기 케이지(170)의 내부를 개폐하기 위한 제 1, 제 2 내부도어(150a, 150b)를 포함하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 4, the cassette lifter system according to the present invention lifts and lowers the floors of each building along the moving passage 180 located between the first and second buildings, and loads the cassette 120 therein. A cage 170 for conveying the cassette 120 to the first and second floors of each building; A plurality of first and second external doors 140a and 140b are formed between each floor of each building and the moving passage 180 to open and close each floor of the building and the moving passage 180. )Wow; It is provided in the cage 170 so as to correspond to the first and second outer doors 140a and 140b of the same floor of each building, and the first and second inner doors 150a to open and close the inside of the cage 170. 150b).

여기서, 상기 케이지(170)의 제 1 내부도어(150a)는 각 건물 동일 층의 제 1 외부도어(140a)와 마주보도록 설치되어 있으며, 상기 케이지(170)의 제 2 내부도어(150b)는 각 건물 동일 층의 제 2 외부도어(140b)와 마주보도록 설치되어 있다.Here, the first inner door 150a of the cage 170 is installed to face the first outer door 140a of the same floor of each building, and the second inner door 150b of the cage 170 is each It is installed to face the second exterior door 140b on the same floor of the building.

그리고, 상기 제 1 건물(이동통로(180)의 우측 건물) 및 제 2 건물(이동통로(180)의 좌측 건물)의 1, 2층에는 각각 AGV로부터 옮겨진 카세트(120)가 안착되는 포트(111)와, 상기 포트(111)에 안착된 카세트(120)를 상기 케이지(170) 내부로 로딩하거나 상기 케이지(170)로부터 상기 카세트(120)를 언로딩하기 위한 이재 로봇(112)이 구비되어 있다.In addition, ports 111 on which the cassettes 120 transferred from AGVs are seated on the first and second floors of the first building (the right building of the moving passage 180) and the second building (the left building of the moving passage 180). And a transfer robot 112 for loading the cassette 120 seated in the port 111 into the cage 170 or unloading the cassette 120 from the cage 170. .

여기서, 상기 포트(111)는 몸체와, 상기 몸체의 상부면의 네 가장자리에 각각 형성되어 상기 카세트(120)를 지지하는 돌출턱(111a)으로 구성되어 있으며, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 돌출턱(111a)으로 둘어싸인 몸체의 중심부에는 상기 돌출턱(111a)상에 안착되는 카세트(120)를 감지하기 위한 센서가 더 설치되어 있다.Here, the port 111 is composed of a body and the projection jaw (111a) is formed on each of the four edges of the upper surface of the body to support the cassette 120, although not shown in the figure, the projection jaw A sensor for detecting the cassette 120 seated on the protruding jaw 111a is further installed at the center of the body surrounded by 111a.

상기 돌출턱(111a)은 상기 몸체와 상기 카세트(120)의 하부면 사이의 공간을 확보하기 위한 것이다. The protruding jaw 111a is to secure a space between the body and the lower surface of the cassette 120.

그리고, 상기 이재 로봇(112)은 몸체와, 상기 몸체의 상부면에 구비되는 계단형으로 펼쳐지거나 접혀질 수 있는 다수개의 슬라이드(112a)로 구성되어 있으며, 상기 다수개의 슬라이드(112a) 중 최상부에 구비된 슬라이드(112a)에는 상기 카세트(120)가 안착되게 된다.In addition, the transfer robot 112 is composed of a body, a plurality of slides (112a) that can be expanded or folded in a step shape provided on the upper surface of the body, the top of the plurality of slides (112a) The cassette 120 is seated on the slide 112a.

여기서, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 이재 로봇(112)의 몸체의 중심부에는 상기 슬라이드(112a)를 상하로 움직이거나, 좌우로 회전시키기 위한 구동축이 더 포함되어 있다.Here, although not shown in the figure, a drive shaft for moving the slide 112a up and down or rotating left and right is further included in the center of the body of the transfer robot 112.

여기서, 상기 케이지(170)의 상부에는 로프(141)가 연결되어 있으며, 상기 로프(141)는 구동제어부의 구동모터에 의해서 감아올려지거나 풀어지게 되어, 상기 케이지(170)는 상기 로프(141) 및 구동모터의 회전에 의해 승강 및 하강하게 된다. Here, the rope 141 is connected to the upper portion of the cage 170, the rope 141 is wound or released by the drive motor of the drive control unit, the cage 170 is the rope 141 And it is raised and lowered by the rotation of the drive motor.

또한, 상기 로프(141)의 타측에는 상기 케이지(170)의 무게와 비슷한 무게를 가지는 평형추가 매달려 있어서, 상기 구동모터가 좀 더 쉽게 상기 케이지(170)를 승강 및 하강시킬 수 있도록 하고 있다.In addition, a counterweight having a weight similar to that of the cage 170 is suspended on the other side of the rope 141, so that the driving motor can lift and lower the cage 170 more easily.

일반적으로, 상기 평형추의 중량은 상기 케이지(170)의 중량의 약 80% 정도이다.Generally, the weight of the counterweight is about 80% of the weight of the cage 170.

한편, 상기 이동통로(180)의 외부에는 상기 이동통로(180)의 내부에 정화된 공기를 불어넣어 상기 이동통로(180) 내부의 이물질을 제거하기 위한 제 1 공기정화필터(130)가 구비되어 있으며, 상기 케이지(170)의 상측에는 상기 제 1 공기정화필터(130)로부터 정화된 공기를 받아 상기 케이지(170)의 내부로 불어넣어 상기 케이지(170) 내부의 공기를 정화하기 위한 제 2 공기정화필터(131)가 구비되어 있다. On the other hand, the outside of the moving passage 180 is provided with a first air purification filter 130 for blowing foreign matter inside the moving passage 180 to remove the foreign matter inside the moving passage 180. The upper side of the cage 170 receives the purified air from the first air purification filter 130 and blows it into the cage 170 to purify the air inside the cage 170. The purification filter 131 is provided.

여기서, 상기 제 1, 제 2 공기정화필터(130, 131)는 상기 케이지(170) 내부의 카세트(120)에 수납된 기판이 이물질에 의해 오염되는 것을 방지하는 역할을 한다.Here, the first and second air purification filters 130 and 131 serve to prevent the substrate accommodated in the cassette 120 inside the cage 170 from being contaminated by foreign matter.

그리고, 상기 케이지(170)의 내부에는 상기 카세트(120) 및 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)를 감지하기 위한 센서와, 상기 카세트(120)가 놓여지는 슬라이더 로봇(161)이 구비되어 있으며, 상기 슬라이더 로봇(161)은 상기 카세트(120)가 안착되는 스테이지(161c)와, 상기 스테이지(161c)를 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a) 방향 또는 상기 슬라이드(112a)의 반대 방향으로 이동시키기 위한 벨트(161b) 및 상기 벨트(161b)를 구동시키기 위한 구동모터(161a)로 구성되어 있다.The cage 170 is provided with a sensor for detecting the slide 112a of the cassette 120 and the transfer robot 112 and a slider robot 161 on which the cassette 120 is placed. The slider robot 161 may include a stage 161c on which the cassette 120 is seated, and the stage 161c in a direction of slide 112a of the transfer robot 112 or in a direction opposite to the slide 112a. The belt 161b for moving and the drive motor 161a for driving the belt 161b are comprised.

여기서, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 스테이지(161c)의 하부면과 상기 벨트(161b)는 서로 맞물리는 톱니모양을 가지고 있어서, 상기 구동모터(161a)에 의해 상기 벨트(161b)는 회전하게 되며, 상기 구동모터(161a)의 회전방향에 따라 상기 벨트(161b)와 맞물린 스테이지(161c)는 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a) 방향 또는 반대 방향으로 이동하게 된다.Here, although not shown in the drawing, the lower surface of the stage 161c and the belt 161b have a sawtooth shape that meshes with each other, such that the belt 161b is rotated by the driving motor 161a. The stage 161c engaged with the belt 161b moves in the direction of the slide 112a of the transfer robot 112 or in the opposite direction according to the rotational direction of the drive motor 161a.

여기서, 상기 스테이지(161c)는, 종래에서 상술한 바와 같이, 중심부에 공간을 가지고 있으며, 상기 공간으로 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)가 삽입되게 된다.Here, as described above, the stage 161c has a space in the center portion, and the slide 112a of the transfer robot 112 is inserted into the space.

그리고, 상기 이재 로봇(112)은 상기 슬라이드(112a)를 상방향 및 하방향으로 움직임으로써, 상기 스테이지(161c)에 놓여진 카세트(120)를 들어올리거나, 상기 슬라이드(112a)에 놓여진 카세트(120)를 상기 스테이지(161c)상에 안착시키게 된다.The transfer robot 112 moves the slide 112a upward and downward to lift the cassette 120 placed on the stage 161c, or the cassette 120 placed on the slide 112a. Is mounted on the stage 161c.

이와 같은 상기 슬라이더 로봇(161)에 의해, 상기 카세트(120)는 상기 케이지(170)로부터 상기 이재 로봇(112)으로, 또는 상기 이재 로봇(112)으로부터 상기 케이지(170)의 내부로 좀 더 쉽게 이동될 수 있다.By this slider robot 161, the cassette 120 is more easily from the cage 170 to the transfer robot 112, or from the transfer robot 112 to the interior of the cage 170. Can be moved.

이와 같이 구성된 카세트 리프터 시스템의 동작은 다수개의 제어부에 의해서 제어된다.The operation of the cassette lifter system configured as described above is controlled by a plurality of control units.

즉, 상기 제어부는 카세트(120)의 종류 및 상기 카세트(120)의 목적지에 대한 정보가 사용자에 의해서 입력되는 상위 제어부인 호스트(HOST)와, 상기 호스트로부터 제어신호를 전달받는 중간 제어부인 STC 및 LFC와, 상기 STC로부터 제어신호를 전달받는 하위 제어부인 AGVC와, 상기 LFC로부터 제어신호를 전달받는 PPC 및 LPLC로 구성되어 있다. That is, the controller includes a host (HOST), which is an upper controller in which information about the type of the cassette 120 and a destination of the cassette 120 is input by a user, an STC, which is an intermediate controller that receives a control signal from the host, It consists of an LFC, AGVC, which is a sub-controller that receives control signals from the STC, and a PPC and LPLC that receives control signals from the LFC.

상기 STC는 다수개의 카세트(120)가 저장된 스토커에 제어신호를 전달하여 상기 스토커로부터 어떤 카세트(120)가 AGV에 올려져야 하는지를 제어하는 제어부이고, 상기 AGVC는 상기 AVG로 제어신호를 전달하여 상기 AGV의 동작을 제어하는 제어부이며, 상기 PPC는 상기 이재 로봇(112)으로 제어신호를 전달하여 상기 이재 로봇(112)의 동작을 제어하는 제어부이며, 상기 LPLC는 상기 이동통로(180)의 제 1, 제 2 외부도어(140a, 140b) 및 상기 케이지(170)의 제 1, 제 2 내부도어(150a, 150b)의 개폐 동작 그리고, 구동제어부로 제이신호를 전달하여 상기 케이지(170)의 층간 이동을 제어하기 위한 제어부이다. The STC is a control unit for controlling which cassette 120 should be loaded on the AGV from the stocker by transmitting a control signal to a stocker having a plurality of cassettes 120 stored therein, and the AGVC transmits a control signal to the AVG to transmit the AGV. Control unit for controlling the operation of, the PPC is a control unit for controlling the operation of the transfer robot 112 by transmitting a control signal to the transfer robot 112, the LPLC is the first, Opening / closing operations of the second outer doors 140a and 140b and the first and second inner doors 150a and 150b of the cage 170, and the J-signal are transmitted to the driving control unit to perform the interlayer movement of the cage 170. It is a control unit for controlling.

따라서, 사용자가 상기 호스트에 원하는 카세트(120)의 종류 및 상기 카세트(120)를 이동경로에 대한 정보를 입력하게 되면, 상기 각 구성요소(AGV, 스토커, 케이지(170), 구동제어부, 이재 로봇(112))는 상기 각 제어부(STC, AGVC, LFC, PPC, LPLC)를 통해 호스트에 입력된 명령을 자동으로 수행하게 된다. Therefore, when the user inputs the type of the cassette 120 desired to the host and the information on the movement path of the cassette 120, the respective components (AGV, stocker, cage 170, drive control unit, transfer robot). 112 may automatically execute a command input to the host through each of the controllers STC, AGVC, LFC, PPC, and LPLC.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 카세트 리프터 시스템을 이용한 층간 카세트 반송방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an interlayer cassette conveying method using a cassette lifter system according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 리프터 시스템을 이용한 층간 카세트 반송방법을 설명하기 위한 도면이다.5 and 6 are views for explaining an interlayer cassette conveying method using a cassette lifter system according to an embodiment of the present invention.

여기서, 도 5를 참조하여, 제 1 건물의 제 1 층으로부터 제 2 건물의 제 2 층으로 카세트(120)를 반송하는 방법을 설명하기로 한다.Here, with reference to FIG. 5, the method of conveying the cassette 120 from the 1st floor of a 1st building to the 2nd floor of a 2nd building is demonstrated.

먼저, 사용자는 호스트에 카세트(120)의 종류 및 상기 카세트(120)의 이동경로에 대한 정보를 입력한다.First, a user inputs a type of cassette 120 and information about a movement path of the cassette 120 to a host.

여기서, 상기 카세트(120)의 종류는 제 1 기판이 수납된 카세트(120)의 정보를 입력하고, 상기 카세트(120)의 이동경로는 제 1 건물의 제 1 층에서 제 2 건물의 제 2 층으로 하기로 한다.Here, the type of the cassette 120 is to input the information of the cassette 120, the first substrate is accommodated, the movement path of the cassette 120, the first floor of the first building to the second floor of the second building It will be as follows.

그러면, 상기 호스트는 STC를 통해 상기 AGVC에 제어신호를 전달하며, 상기 AGVC의 제어신호에 의해 AGV는 다수개의 카세트(120)가 저장된 스토커로 이동하여 상기 스토커로부터 사용자가 호스트에 입력한 카세트(120)를 선택한다.Then, the host transmits a control signal to the AGVC through the STC, and the AGV moves to a stocker in which a plurality of cassettes 120 are stored by the control signal of the AGVC, and the cassette 120 input by the user to the host from the stocker. Select).

이후, 상기 AGV는 상기 카세트(120)를 운반하여 포트(111)의 돌축턱(111a)상에 올려놓는다. Thereafter, the AGV carries the cassette 120 and places it on the projection 111a of the port 111.

이때, 상기 포트(111)의 센서는 상기 카세트(120)가 상기 돌출턱(111a)상에 놓여진 것을 센싱하여 호스트로 피드백 신호를 전달한다.In this case, the sensor of the port 111 senses that the cassette 120 is placed on the protruding jaw 111a and transmits a feedback signal to the host.

여기서, 상기 호스트는 상기 피드백 신호를 분석하여 상기 포트(111)에 놓여진 카세트(120)가 제 1 카세트(120)가 맞는지 확인하고 이상이 없을 경우 LFC를 통해 PPC 및 LPLC로 제어신호를 동시에 전달하며, 이상이 있을 경우 에러신호를 호출하여 사용자에게 알린다.Here, the host analyzes the feedback signal and checks whether the cassette 120 placed on the port 111 is the first cassette 120, and if there is no error, simultaneously transmits a control signal to the PPC and LPLC through the LFC. In case of abnormality, call the error signal to inform the user.

이후, 카세트(120)에 이상이 없을 경우, 구동제어부는 상기 LPLC의 제어신호에 의해 구동모터를 조절하여, 상기 케이지(170)에 연결된 로프(141)를 감아올리거나 풀어서, 상기 케이지(170)가 각 건물 제 1 층의 제 1, 제 2 외부도어(140a, 140b) 사이에 정확히 멈춰서도록 상기 케이지(170)를 이동시킨다.Then, when there is no abnormality in the cassette 120, the drive control unit adjusts the drive motor according to the control signal of the LPLC, by winding or unwinding the rope 141 connected to the cage 170, the cage 170 The cage 170 is moved so as to accurately stop between the first and second outer doors 140a and 140b of the first floor of each building.

이어서, 상기 LPLC의 제어신호에 응답하여 상기 제 1 건물 제 1 층의 제 1 외부도어(140a) 및 상기 제 1 외부도어(140a)와 마주보는 상기 케이지(170)의 제 1 내부도어(150a)가 열리게 되어 상기 제 1 케이지(170)의 내부(적재공간)가 노출된다.Subsequently, the first inner door 150a of the cage 170 facing the first outer door 140a and the first outer door 140a of the first floor of the first building in response to the control signal of the LPLC. Is opened so that the inside (loading space) of the first cage 170 is exposed.

이와 동시에, 상기 호스트로부터 LPLC를 통해 제어신호를 전달받은 PPC는 이재 로봇(112)으로 제어신호를 전달하게 되며, 상기 제어신호에 응답하여 상기 이재 로봇(112)은 상기 포트(111)의 돌출턱(111a)과 상기 돌출턱(111a)상에 놓여진 카세트(120) 사이의 공간으로 슬라이드(112a)를 밀어넣고, 상기 슬라이드(112a)를 상승시켜 상기 카세트(120)를 들어올린다.At the same time, the PPC, which receives the control signal from the host through the LPLC, transfers the control signal to the transfer robot 112, and the transfer robot 112 protrudes from the port 111 in response to the control signal. The slide 112a is pushed into the space between the 111a and the cassette 120 placed on the protruding jaw 111a, and the slide 112a is raised to lift the cassette 120.

이후, PPC의 제어신호에 의해 상기 이재 로봇(112)은 상기 카세트(120)가 놓여진 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로 밀어넣는다.Subsequently, the transfer robot 112 pushes the slide 112a on which the cassette 120 is placed into the loading space of the cage 170 by the control signal of the PPC.

이때, 상기 케이지(170)의 적재공간에 구비되어 있는 슬라이더 로봇(161)은 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a) 방향으로 스테이지(161c)를 이동시킨다.At this time, the slider robot 161 provided in the loading space of the cage 170 moves the stage 161c in the direction of the slide 112a of the transfer robot 112.

즉, 상기 스테이지(161c)의 하부에 구비된 구동모터(161a)가 상기 LPLC의 제어신호에 의해 오른쪽으로 회전하게 되고, 이로 인해 상기 스테이지(161c)가 상기 슬라이드(112a) 방향으로 마중 나가게 되며, 결국, 상기 스테이지(161c)의 하부 공간으로 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)가 삽입되게 되어 상기 슬라이드(112a)에 안착된 카세트(120)는 상기 스테이지(161c)와 상기 슬라이드(112a)가 중첩된 부분에 위치하게 된다.That is, the drive motor 161a provided at the lower portion of the stage 161c rotates to the right by the control signal of the LPLC, which causes the stage 161c to meet in the slide 112a direction. As a result, the slide 112a of the transfer robot 112 is inserted into the lower space of the stage 161c so that the cassette 120 seated on the slide 112a is the stage 161c and the slide 112a. Will be placed in the overlapped part.

이어서, 상기 스테이지(161c)의 하부 공간에 삽입된 슬라이드(112a)가 하강하게 되면서, 상기 슬라이드(112a)에 안착되었던 카세트(120)는 자연스럽게 상기 스테이지(161c)의 가장자리에 걸쳐지면서 안착된다.Subsequently, as the slide 112a inserted into the lower space of the stage 161c descends, the cassette 120 that has been seated on the slide 112a naturally rests on the edge of the stage 161c.

다음으로, 상기 이재 로봇(112)은 상기 슬라이드(112a)를 접어서 상기 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로부터 이탈시키고, 이와 동시에 상기 슬라이더 로봇(161)은 상기 구동모터(161a)를 왼쪽으로 회전시켜 상기 카세트(120)가 안착된 스테이지(161c)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로 끌어들인다.Next, the transfer robot 112 folds the slide 112a to separate the slide 112a from the loading space of the cage 170, and at the same time, the slider robot 161 moves the drive motor 161a. Rotate to the left to draw the stage 161c on which the cassette 120 is seated into the loading space of the cage 170.

이후, 상기 케이지(170)의 제 1 내부도어(150a)가 닫히면서 상기 케이지(170)의 적재공간이 폐쇄된다.Thereafter, the first inner door 150a of the cage 170 is closed, and the loading space of the cage 170 is closed.

여기서, 상술한 바와 같이, 상기 케이지(170)의 내부에는 상기 카세트(120) 및 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)를 센싱하는 센서가 부착되어 있어서, 상기 센서는 상기 슬라이더 로봇(161)의 스테이지(161c)가 상기 케이지(170)의 적재공간으로 완전히 들어오고, 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)가 상기 케이지(170)의 적재공간으로부터 이탈되는 것을 감지하여 상기 케이지(170)의 제 1 내부도어(150a)가 닫히도록 한다.Here, as described above, a sensor for sensing the slide 112a of the cassette 120 and the transfer robot 112 is attached to the inside of the cage 170, the sensor is the slider robot (161) The stage 161c completely enters the loading space of the cage 170, and detects that the slide 112a of the transfer robot 112 is separated from the loading space of the cage 170. To close the first inner door (150a).

이와 함께, 상기 제 1 건물 제 1 층의 제 1 외부도어(140a)도 닫히게 된다.In addition, the first outer door 140a of the first floor of the first building is also closed.

이어서, 상기 LPLC의 제어신호를 전달받은 상기 구동제어부는 상기 구동모터를 구동하여, 상기 카세트(120)가 적재된 케이지(170)를 상기 이동통로(180)를 따라 각 건물의 제 2 층으로 이동시킨다.Subsequently, the driving control unit receiving the control signal of the LPLC drives the driving motor to move the cage 170 on which the cassette 120 is loaded to the second floor of each building along the moving passage 180. Let's do it.

이때, LPLC의 제어신호에 의해 상기 케이지(170)는 상기 각 건물의 제 2 층의 제 1, 제 2 외부도어(140a, 140b) 사이에 멈춰선다.At this time, the cage 170 is stopped between the first and second external doors 140a and 140b of the second floor of each building by the control signal of the LPLC.

이후, LPLC의 제어신호에 의해 상기 제 2 외부도어(140b) 및 상기 케이지(170)의 제 2 내부도어(150b)가 열리고 상기 케이지(170)의 적재공간이 노출된다.Thereafter, the second outer door 140b and the second inner door 150b of the cage 170 are opened by the control signal of the LPLC, and the loading space of the cage 170 is exposed.

이때, 상기 제 2 건물 제 2 층의 제 2 외부도어(140b)앞에서 대기하고 있던 이재 로봇(112)은 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로 밀어넣는다.At this time, the transfer robot 112 waiting in front of the second outer door 140b of the second floor of the second building pushes the slide 112a into the loading space of the cage 170.

이와 함께, 상기 케이지(170)의 적재공간에 안착된 슬라이더 로봇(161)의 스테이지(161c)가, 상술한 바와 같이, 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)를 향해 마중 나가게되어 상기 스테이지(161c)의 하부 공간에 상기 슬라이드(112a)가 삽입된다. 이로 인해 상기 카세트(120)는 상기 스테이지(161c)와 상기 슬라이드(112a)의 중첩 부분에 위치하게 된다. In addition, as described above, the stage 161c of the slider robot 161 seated in the loading space of the cage 170 is picked up toward the slide 112a of the transfer robot 112 and the stage ( The slide 112a is inserted into the lower space of 161c. As a result, the cassette 120 is positioned at an overlapping portion of the stage 161c and the slide 112a.

이상태에서, 상기 이재 로봇(112)은 슬라이드(112a)를 상승시켜 상기 스테이지(161c)에 안착된 카세트(120)를 상기 스테이지(161c)상에서 분리함게 동시에 상기 슬라이드(112a)상에 상기 카세트(120)를 안착시키게 된다.In this state, the transfer robot 112 raises the slide 112a to separate the cassette 120 seated on the stage 161c on the stage 161c and simultaneously release the cassette 120 on the slide 112a. ) Settled down.

이어서, 상기 이재 로봇(112)은 슬라이드(112a)를 접어 상기 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로부터 이탈시키고, 180도 회전하여 포트(111)의 돌출턱(111a) 사이에 상기 카세트(120)가 안착된 슬라이드(112a)를 위치시키고, 상기 슬라이드(112a)를 상기 돌출턱(111a)보다 아래로 하강함으로써 상기 카세트(120)를 상기 포트(111)의 돌출턱(111a)상에 안착시키게 된다.Subsequently, the transfer robot 112 folds the slide 112a to separate the slide 112a from the loading space of the cage 170, and rotates 180 degrees between the protruding jaws 111a of the port 111. Position the slide 112a on which the cassette 120 is seated, and lower the slide 112a below the protruding jaw 111a so that the cassette 120 is placed on the protruding jaw 111a of the port 111. Settled on.

이후, 상기 제 2 건물의 제 2 층에 위치한 AGV는 상기 포트(111)에 안착된 카세트(120)를 적재하여 다음 공정단계에 위치한 장비로 이동한다.Then, the AGV located on the second floor of the second building loads the cassette 120 seated in the port 111 and moves to the equipment located in the next process step.

지금까지, 제 1 기판이 담긴 카세트(120)를 제 1 건물의 제 1 층에서 제 2 건물의 제 2 층으로 층간 반송하는 방법에 대하여 설명하였다.The method of carrying out the interlayer conveyance of the cassette 120 containing the 1st board | substrate from the 1st floor of a 1st building to the 2nd floor of a 2nd building so far was demonstrated.

이어서, 제 2 기판이 담긴 카세트(120)를 제 2 건물의 제 1 층에서 제 1 건물의 제 2 층으로 층간 반송하는 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Next, a method of interlayer conveying the cassette 120 containing the second substrate from the first floor of the second building to the second floor of the first building will be described in detail as follows.

여기서는, 도 6을 참조하여 설명하기로 한다.Here, it will be described with reference to FIG.

먼저, 사용자는 호스트에 카세트(120)의 종류 및 상기 카세트(120)의 이동경로에 대한 정보를 입력한다.First, a user inputs a type of cassette 120 and information about a movement path of the cassette 120 to a host.

여기서, 상기 카세트(120)의 종류는 제 2 기판이 수납된 카세트(120)의 정보를 입력하고, 상기 카세트(120)의 이동경로는 제 2 건물의 제 1 층에서 제 1 건물의 제 2 층으로 하기로 한다. Here, the type of the cassette 120 is to input the information of the cassette 120 accommodated in the second substrate, the movement path of the cassette 120 from the first floor of the second building to the second floor of the first building It will be as follows.

그러면, 상기 호스트는 STC를 통해 상기 AGVC에 제어신호를 전달하며, 상기 AGVC의 제어신호에 의해 AGV는 다수개의 카세트(120)가 저장된 스토커로 이동하여 상기 스토커로부터 사용자가 호스트에 입력한 카세트(120)를 선택한다.Then, the host transmits a control signal to the AGVC through the STC, and the AGV moves to a stocker in which a plurality of cassettes 120 are stored by the control signal of the AGVC, and the cassette 120 input by the user to the host from the stocker. Select).

이후, 상기 AGV는 상기 카세트(120)를 운반하여 포트(111)의 돌출턱(111a)상에 올려놓는다.Thereafter, the AGV carries the cassette 120 and places it on the protruding jaw 111a of the port 111.

이때, 상기 포트(111)의 센서는 상기 카세트(120)가 상기 돌출턱(111a)상에 놓여진 것을 센싱하여 호스트로 피드백 신호를 전달한다.In this case, the sensor of the port 111 senses that the cassette 120 is placed on the protruding jaw 111a and transmits a feedback signal to the host.

여기서, 상기 호스트는 상기 피드백 신호를 분석하여 상기 포트(111)에 놓여진 카세트(120)가 올바른(상기 호스트에서 입력한 정보와 일치하는) 카세트(120)가 맞는지 확인하고 이상이 없을 경우 LFC를 통해 PPC 및 LPLC로 제어신호를 동시에 전달하며, 이상이 있을 경우 에러신호를 호출하여 사용자에게 알린다.Here, the host analyzes the feedback signal to check whether the cassette 120 placed in the port 111 is correct (matched with the information input from the host), and the cassette 120 is correct. The control signal is transmitted to PPC and LPLC at the same time. If there is a problem, an error signal is called to inform the user.

이후, 카세트(120)에 이상이 없을 경우, 구동제어부는 상기 LPLC의 제어신호에 의해 구동모터를 조절하여, 상기 각 케이지(170)에 연결된 로프(141)를 감아올리거나 풀어서, 상기 케이지(170)가 각 건물 제 1 층의 제 1, 제 2 외부도어(140a, 140b) 사이에 정확히 멈춰서도록 상기 케이지(170)를 이동시킨다.Then, when there is no abnormality in the cassette 120, the drive control unit adjusts the drive motor according to the control signal of the LPLC, by winding or loosening the rope 141 connected to each cage 170, the cage 170 The cage 170 is moved to stop exactly between the first and second outer doors 140a and 140b of each building's first floor.

이어서, 상기 LPLC의 제어신호에 응답하여 상기 제 2 건물의 제 2 외부도어(140b) 및 상기 제 2 외부도어(140b)와 마주보는 상기 케이지(170)의 제 2 내부도어(150b)가 열리게 되어 상기 케이지(170)의 적재공간이 노출된다.Subsequently, in response to the control signal of the LPLC, the second outer door 140b of the second building and the second inner door 150b of the cage 170 facing the second outer door 140b are opened. The loading space of the cage 170 is exposed.

이와 동시에, 상기 호스트로부터 LPLC를 통해 제어신호를 전달받은 PPC는 이재 로봇(112)으로 제어신호를 전달하게 되며, 상기 제어신호에 응답하여 상기 이재 로봇(112)은 상기 포트(111)의 돌출턱(111a)과 상기 돌출턱(111a)상에 놓여진 카세트(120) 사이의 공간으로 슬라이드(112a)를 밀어넣고, 상기 슬라이드(112a)를 상승시켜 상기 카세트(120)를 들어올린다.At the same time, the PPC, which receives the control signal from the host through the LPLC, transfers the control signal to the transfer robot 112, and the transfer robot 112 protrudes from the port 111 in response to the control signal. The slide 112a is pushed into the space between the 111a and the cassette 120 placed on the protruding jaw 111a, and the slide 112a is raised to lift the cassette 120.

이후, PPC의 제어신호에 의해 상기 이재 로봇(112)은 상기 카세트(120)가 놓여진 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로 밀어넣는다.Subsequently, the transfer robot 112 pushes the slide 112a on which the cassette 120 is placed into the loading space of the cage 170 by the control signal of the PPC.

이때, 상기 케이지(170)의 적재공간에 구비되어 있는 슬라이더 로봇(161)은 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a) 방향으로 스테이지(161c)를 이동시킨다.At this time, the slider robot 161 provided in the loading space of the cage 170 moves the stage 161c in the direction of the slide 112a of the transfer robot 112.

즉, 상기 스테이지(161c)의 하부에 구비된 구동모터(161a)가 상기 LPLC의 제어신호에 의해 왼쪽으로 회전하게 되고, 이로 인해 상기 스테이지(161c)가 상기 슬라이드(112a) 방향으로 마중 나가게 되며, 결국, 상기 스테이지(161c)의 하부 공간으로 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)가 삽입되게 되어 상기 슬라이드(112a)에 안착된 카세트(120)는 상기 스테이지(161c)와 상기 슬라이드(112a)가 중첩된 부분에 위치하게 된다.That is, the driving motor 161a provided at the bottom of the stage 161c rotates to the left by the control signal of the LPLC, which causes the stage 161c to meet in the slide 112a direction. As a result, the slide 112a of the transfer robot 112 is inserted into the lower space of the stage 161c so that the cassette 120 seated on the slide 112a is the stage 161c and the slide 112a. Will be placed in the overlapped part.

이어서, 상기 스테이지(161c)의 하부 공간에 삽입된 슬라이드(112a)가 하강하게 되면서, 상기 슬라이드(112a)에 안착되었던 카세트(120)는 자연스럽게 상기 스테이지(161c)의 가장자리에 걸쳐지면서 안착된다.Subsequently, as the slide 112a inserted into the lower space of the stage 161c descends, the cassette 120 that has been seated on the slide 112a naturally rests on the edge of the stage 161c.

다음으로, 상기 이재 로봇(112)은 상기 슬라이드(112a)를 접어서 상기 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로부터 이탈시키고, 이와 동시에 상기 슬라이더 로봇(161)은 상기 구동모터(161a)를 오른쪽으로 회전시켜 상기 카세트(120)가 안착된 스테이지(161c)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로 끌어들인다.Next, the transfer robot 112 folds the slide 112a to separate the slide 112a from the loading space of the cage 170, and at the same time, the slider robot 161 moves the drive motor 161a. Rotate to the right to draw the stage 161c on which the cassette 120 is seated into the loading space of the cage 170.

이후, 상기 케이지(170)의 제 2 내부도어(150b)가 닫히면서 상기 케이지(170)의 적재공간이 폐쇄되며, 제 2 외부도어(140b)도 닫히게 된다.Thereafter, while the second inner door 150b of the cage 170 is closed, the loading space of the cage 170 is closed, and the second outer door 140b is also closed.

여기서, 상술한 바와 같이, 상기 케이지(170)의 내부에는 상기 카세트(120) 및 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)를 센싱하는 센서가 부착되어 있어서, 상기 센서는 상기 슬라이더 로봇(161)의 스테이지(161c)가 상기 케이지(170)의 적재공간에 완전히 들어오고, 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)가 상기 케이지(170)의 적재공간으로부터 이탈되는 것을 감지하여 상기 케이지(170)의 제 2 내부도어(150b)가 닫히도록 한다.Here, as described above, a sensor for sensing the slide 112a of the cassette 120 and the transfer robot 112 is attached to the inside of the cage 170, the sensor is the slider robot (161) The stage 161c completely enters the loading space of the cage 170, and detects that the slide 112a of the transfer robot 112 is separated from the loading space of the cage 170. To close the second inner door (150b).

이어서, 상기 LPLC의 제어신호를 전달받은 상기 구동제어부는 상기 구동모터를 구동하여, 상기 카세트(120)가 적재된 케이지(170)를 상기 이동통로(180)를 따라 제 2층으로 이동시킨다.Subsequently, the driving control unit receiving the control signal of the LPLC drives the driving motor to move the cage 170 on which the cassette 120 is loaded to the second layer along the movement passage 180.

이때, LPLC의 제어신호에 의해 상기 케이지(170)는 상기 이동통로(180)의 제 2 층의 제 1, 제 2 외부도어(140b) 사이에 멈춰선다.At this time, the cage 170 is stopped between the first and second outer door 140b of the second layer of the movement passage 180 by the LPLC control signal.

이후, LPLC의 제어신호에 의해 제 2 층의 제 1 외부도어(140a) 및 상기 케이지(170)의 제 1 내부도어(150a)가 열리고 상기 케이지(170)의 적재공간이 노출된다.Thereafter, the first outer door 140a of the second layer and the first inner door 150a of the cage 170 are opened by the control signal of the LPLC, and the loading space of the cage 170 is exposed.

이때, 상기 제 1 건물 제 2 층의 제 1 외부도어(140a)앞에서 대기하고 있던 이재 로봇(112)은 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로 밀어넣는다.At this time, the transfer robot 112 waiting in front of the first outer door 140a of the second floor of the first building pushes the slide 112a into the loading space of the cage 170.

이와 함께, 상기 케이지(170)의 적재공간에 안착된 슬라이더 로봇(161)의 스테이지(161c)가, 상술한 바와 같이, 상기 이재 로봇(112)의 슬라이드(112a)를 향해 마중 나가게되어 상기 스테이지(161c)의 하부 공간에 상기 슬라이드(112a)가 삽입되며, 이로 인해 상기 카세트(120)는 상기 스테이지(161c)와 상기 슬라이드(112a)의 중첩 부분에 위치하게 된다.In addition, as described above, the stage 161c of the slider robot 161 seated in the loading space of the cage 170 is picked up toward the slide 112a of the transfer robot 112 and the stage ( The slide 112a is inserted into the lower space of the 161c, which causes the cassette 120 to be positioned at an overlapping portion of the stage 161c and the slide 112a.

이상태에서, 상기 이재 로봇(112)은 슬라이드(112a)를 상승시켜 상기 스테이지(161c)에 안착된 카세트(120)를 상기 스테이지(161c)상에서 분리함게 동시에 상기 슬라이드(112a)상에 상기 카세트(120)를 안착시키게 된다.In this state, the transfer robot 112 raises the slide 112a to separate the cassette 120 seated on the stage 161c on the stage 161c and simultaneously release the cassette 120 on the slide 112a. ) Settled down.

이어서, 상기 이재 로봇(112)은 슬라이드(112a)를 접어 상기 슬라이드(112a)를 상기 케이지(170)의 적재공간으로부터 이탈시키고, 180도 회전하여 포트(111)의 돌출턱(111a) 사이에 상기 카세트(120)가 안착된 슬라이드(112a)를 위치시키고, 상기 슬라이드(112a)를 상기 돌출턱(111a)보다 아래로 하강함으로써 상기 카세트(120)를 상기 포트(111)의 돌출턱(111a)상에 안착시키게 된다.Subsequently, the transfer robot 112 folds the slide 112a to separate the slide 112a from the loading space of the cage 170, and rotates 180 degrees between the protruding jaws 111a of the port 111. Position the slide 112a on which the cassette 120 is seated, and lower the slide 112a below the protruding jaw 111a so that the cassette 120 is placed on the protruding jaw 111a of the port 111. Settled on.

이후, 상기 제 1 건물의 제 2 층에 위치한 AGV는 상기 포트(111)에 안착된 카세트(120)를 적재하여 다음 공정단계에 위치한 장비로 이동한다.Then, the AGV located on the second floor of the first building loads the cassette 120 seated in the port 111 and moves to the equipment located in the next process step.

본 발명에서는 상기 카세트(120)를 제 1 건물의 제 1 층에서 제 2 건물의 제 2 층으로 층간 반송하는 방법 및 제 2 건물의 제 1 층에서 제 1 건물의 제 2 층으로 층간 반송하는 방법에 한하여 설명하였지만, 종래와 같이 카세트(120)를 제 1 건물의 제 1 층에서 동일 건물의 제 2 층으로, 또는 제 2 건물의 제 1 층에서 동일 건물의 제 2 층으로 층간반송하는 것도 가능하다.In the present invention, a method of interlayer conveying the cassette 120 from the first floor of the first building to the second floor of the second building and the method of interlayer conveying from the first floor of the second building to the second floor of the first building. As described above, it is also possible to carry the interlayer cassette 120 from the first floor of the first building to the second floor of the same building, or from the first floor of the second building to the second floor of the same building. Do.

이와 같이 본 발명에 따른 카세트 리프터 시스템을 이용하여 카세트(120)를 층간반송하게 되면, 수직적인 층간 반송 뿐만 아니라 타 건물간의 수평적인 층간 반송도 가능하게 되므로 카세트(120)의 반송시간을 획기적으로 줄일 수 있다.As such, when the cassette 120 is interlayer transported using the cassette lifter system according to the present invention, the transport time of the cassette 120 is drastically reduced since not only the vertical floor transport but also the horizontal floor transport between other buildings is possible. Can be.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 카세트 리프터 시스템 및 이를 이용한 층간 카세트 반송방법에는 다음과 같은 효과가 있다.The cassette lifter system and the interlayer cassette conveying method using the same according to the present invention described above have the following effects.

본 발명에 따른 카세트 리프터 시스템에는 각 건물과 상기 건물사이에 위치한 이동통로간을 개폐시키는 다수개의 외부도어가 구비되어 있으며, 상기 이동통로를 따라 이동하며 상기 각 외부도어에 상응하는 다수개의 내부도어가 설치된 케이지를 포함하여 구성되어 있어서, 하나의 건물에서 다른 건물로의 층간 카세트 반송이 용이하다.Cassette lifter system according to the present invention is provided with a plurality of external doors for opening and closing between each building and the moving passage located between the building, a plurality of inner doors moving along the moving passages and corresponding to the respective outer doors It is configured to include a cage installed, it is easy to convey the interlayer cassette from one building to another.

따라서, 건물간 수평 반송 및 층간 수직 반송으로 이루어지는 종래의 카세트 반송 방법에 비하여 반송 시간을 획기적으로 줄일 수 있다.Therefore, the conveying time can be drastically reduced as compared with the conventional cassette conveying method consisting of the inter-building horizontal conveyance and the inter-layer vertical conveying.

도 1은 종래의 카세트 리프터 시스템에 대한 개략적인 구성도 1 is a schematic configuration diagram of a conventional cassette lifter system

도 2는 도 1의 케이지를 승강 및 하강하기 위한 구동제어에 대한 개략적인 구성도FIG. 2 is a schematic configuration diagram of driving control for raising and lowering the cage of FIG.

도 3은 슬라이더 로봇에 대한 개략적인 구성도3 is a schematic configuration diagram of a slider robot

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 리프터 시스템의 개략적인 구성도4 is a schematic structural diagram of a cassette lifter system according to an embodiment of the present invention;

도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 리프터 시스템을 이용한 층간 카세트 반송방법을 설명하기 위한 도면5 and 6 are views for explaining an interlayer cassette conveying method using a cassette lifter system according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

111 : 포트 111a : 돌출턱111: Port 111a: Protruding Jaw

112 : 이재 로봇 112a : 슬라이드112: Lee Bok 112a: Slide

140a : 제 1 외부도어 140b : 제 2 외부도어140a: first external door 140b: second external door

150a : 제 1 내부도어 150b : 제 2 내부도어150a: first inner door 150b: second inner door

141 : 로프 180 : 이동통로141: rope 180: moving passage

130 : 제 1 공기정화필터 131 : 제 2 공기정화필터130: first air filter 131: second air filter

170 : 케이지 120 : 카세트 170: cage 120: cassette

161 : 슬라이더 로봇 161a : 구동모터161: slider robot 161a: drive motor

161b : 벨트 161c : 스테이지161b: Belt 161c: Stage

Claims (10)

액정표시장치용 기판이 다수개 수납된 카세트를 층간 반송하기 위한 카세트 리프터 시스템에 있어서,A cassette lifter system for interlayer conveying a cassette in which a plurality of substrates for a liquid crystal display device are housed, 각 건물의 사이에 위치한 이동통로를 따라 각 건물의 층간을 승강하며, 내부에 카세트를 적재하여 상기 카세트를 상기 각 건물의 각 층에 반송하기 위한 케이지와;A cage for lifting and lowering the floors of each building along a moving passage located between each building, and carrying a cassette therein to convey the cassette to each floor of each building; 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로의 사이에 형성되어, 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로간을 개폐하기 위한 다수개의 외부도어와;A plurality of external doors formed between each floor of each building and the moving passages to open and close each floor of each building and the moving passages; 각 건물 동일층의 각 외부도어와 상응하도록 상기 케이지에 구비되어, 상기 케이지의 내부를 개폐하기 위한 다수개의 내부도어를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.And a plurality of inner doors provided in the cage so as to correspond to the respective outer doors of the same floor of each building and configured to open and close the inside of the cage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 케이지의 내부에는 상기 카세트가 놓여지는 슬라이더 로봇이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.The cassette lifter system, characterized in that the inside of the cage is further provided with a slider robot on which the cassette is placed. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 슬라이더 로봇은 상기 카세트가 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지의 하부에 구비되어 상기 스테이지를 좌우로 이동시키기 위한 구동모터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.The slider robot is a cassette lifter system, characterized in that it comprises a stage on which the cassette is seated, and a drive motor provided in the lower portion of the stage for moving the stage from side to side. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 일측이 상기 케이지의 상부에 연결되어 상기 케이지를 상기 이동통로를 따라 승강 및 하강시키기 위한 로프가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.One side is connected to the upper portion of the cage is a cassette lifter system, characterized in that the rope is further provided for lifting and lowering the cage along the movement passage. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 로프의 타측에는 상기 케이지의 무게에 해당하는 평형추가 더 구비되어 있으며, 상기 로프의 일측 및 타측의 중간부위에는 상기 로프를 감아 끌어올리거나 풀어 내리기 위한 구동모터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.The other side of the rope is further provided with a counterweight corresponding to the weight of the cage, the middle portion of one side and the other side of the rope is characterized in that the cassette is further provided with a drive motor for pulling up or lifting the rope Lifter system. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 구동모터를 조절하여 상기 케이지의 각 적재공간이 상기 이동통로의 각 층의 외부도어앞에 정확히 정지하도록 하기 위한 구동제어부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.And a drive control unit for adjusting the drive motor so that each load space of the cage stops in front of the outer door of each floor of the moving passage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 각 건물의 각 층에는 상기 카세트가 안착되는 포트 및 상기 포트로부터 상기 케이지의 내부로 상기 카세트를 로딩하거나, 또는 상기 케이지의 내부로부터 상기 포트로 상기 카세트를 언로딩하기 위한 이재 로봇이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.Each floor of each building is further provided with a port on which the cassette is seated and a transfer robot for loading the cassette from the port into the cage or unloading the cassette from the cage to the port. Cassette lifter system, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이동통로의 일측에는 상기 이동통로의 내부 공기를 정화시키기 위한 제 1 공기정화필터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.One side of the movement passage is a cassette lifter system, characterized in that further provided with a first air purification filter for purifying the air inside the movement passage. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 케이지의 외측 상부면에는 상기 제 1 공기정화필터로부터 정화된 공기를 받아 상기 케이지의 내부로 전달하여 상기 케이지 내부의 공기를 정화하기 위한 제 2 공기정화필터가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템.A cassette lifter, characterized in that the outer upper surface of the cage is further provided with a second air purification filter for receiving the purified air from the first air purification filter to the inside of the cage to purify the air inside the cage. system. 각 건물의 사이에 위치한 이동통로를 따라 각 건물의 층간을 승강하는 케이지와; 상기 각 건물의 제 1 내지 제 n 층과 상기 이동통로의 사이에 형성되어, 상기 각 건물의 각 층과 상기 이동통로간을 개폐하기 위한 다수개의 외부도어와; 상기 각 건물 동일층의 제 1 내지 제 n 외부도어와 상응하도록 상기 케이지에 구비되어, 상기 케이지의 내부를 개폐하기 위한 제 1 내지 제 n 내부도어를 포함하여 구성되는 카세트 리프터 시스템을 이용한 층간 카세트 반송방법에 있어서,A cage for elevating the floors of each building along a moving passage located between each building; A plurality of external doors formed between the first to nth floors of the buildings and the moving passages to open and close the floors of the respective buildings and the moving passages; Interlayer cassette conveyance using a cassette lifter system provided in the cage so as to correspond to the first through nth outer doors of the same floor of each building, and including first through nth inner doors for opening and closing the inside of the cage. In the method, 상기 케이지를 이동통로를 따라 이동시켜 각 건물 제 1 층의 제 1 내지 제 n 외부도어 사이에 위치시키는 단계와;Moving the cage along a moving passage and placing the cage between the first to nth exterior doors of the first floor of each building; 상기 제 1 건물 제 1 층의 제 1 외부도어 및 상기 제 1 외부도어와 마주보는 상기 케이지의 제 1 외부도어를 열고, 상기 케이지의 적재공간에 카세트를 로딩하는 단계와;Opening a first outer door of the first floor of the first building and the first outer door of the cage facing the first outer door, and loading a cassette into a loading space of the cage; 상기 케이지를 이동통로를 따라 이동시켜 각 건물 제 n 층의 제 1 내지 제 n 외부도어 사이에 위치시키는 단계와;Moving the cage along a moving passage and placing the cage between the first to nth exterior doors of the nth floor of each building; 제 2 건물 제 n 층의 제 2 외부도어 및 상기 제 2 외부도어와 마주보는 상기 케이지의 제 2 외부도어를 열고, 상기 케이지의 적재공간으로부터 카세트를 상기 제 2 건물 제 n 층에 언로딩하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 리프터 시스템을 이용한 카세트의 층간 반송방법.Opening a second outer door of the second floor of the second floor of the second building and a second outer door of the cage facing the second outer door, and unloading a cassette to the second floor of the second building from the loading space of the cage; An interlayer conveying method of a cassette using a cassette lifter system, characterized in that comprises a.
KR1020040011025A 2004-02-19 2004-02-19 Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same KR20050082550A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040011025A KR20050082550A (en) 2004-02-19 2004-02-19 Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040011025A KR20050082550A (en) 2004-02-19 2004-02-19 Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20050082550A true KR20050082550A (en) 2005-08-24

Family

ID=37268941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040011025A KR20050082550A (en) 2004-02-19 2004-02-19 Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20050082550A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105035717A (en) * 2015-06-23 2015-11-11 合肥鑫晟光电科技有限公司 System for loading and unloading cassette and method for loading and unloading cassette
CN106276193A (en) * 2016-10-09 2017-01-04 金锋馥(滁州)输送机械有限公司 Reciprocating vertical transport system

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105035717A (en) * 2015-06-23 2015-11-11 合肥鑫晟光电科技有限公司 System for loading and unloading cassette and method for loading and unloading cassette
US9919878B2 (en) 2015-06-23 2018-03-20 Boe Technology Group Co., Ltd. System for loading and unloading cassette and method for loading and unloading cassette
CN105035717B (en) * 2015-06-23 2019-09-06 合肥鑫晟光电科技有限公司 Load and unload the system of cassette and the method for handling cassette
CN106276193A (en) * 2016-10-09 2017-01-04 金锋馥(滁州)输送机械有限公司 Reciprocating vertical transport system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7040525B2 (en) Stage structure in bonding machine and method for controlling the same
JP4084101B2 (en) Bonding device for liquid crystal display elements
KR20050082550A (en) Cassette lifter system and method for lifting the cassette using the same
US7494833B2 (en) Apparatus for stacking cassette and a method of fabricating a liquid crystal display device using the same
KR20050080885A (en) Cassette lifting system and the method for lifting the cassette using the same
KR100769188B1 (en) Stage of bonding device
KR100565747B1 (en) Stocker System And Operation Method thereof
KR101309859B1 (en) Stocker system and method for controlling the same
US7708515B2 (en) Apparatus for loading substrate of liquid crystal display
KR20080048364A (en) Inter stk conveyor for inter bay system using thereof
KR20060072943A (en) Automatic transfer system
KR101337029B1 (en) Elevator for delivering a cassette
KR20090024580A (en) Apparatus for transferring cassette and method thereby
CN107697121A (en) Polarizer feed supplement chassis and Polarizer feed process
KR101243799B1 (en) cassette transfer apparatus and controlling method thereof
KR20060072738A (en) Cassette for loading substrate and method for loading and unloading sunstrate into the cassette
KR20210010704A (en) Substrate supporting apparatus and substrate processing apparatus including the same
KR20050105599A (en) Stocker system
KR100983573B1 (en) Stalker system and cassette control method
KR20050022635A (en) The Automatic Guided Vehicle and the method for driving the same
KR100505183B1 (en) System for transporting glass
KR20060077301A (en) Stocker system
KR101303053B1 (en) Dispensing apparatus for fabricating the liquid crystal display device
KR101241127B1 (en) cassette transporting system and transporting method using the same
KR20070002675A (en) Cassette for loading glass

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination