KR101303053B1 - Dispensing apparatus for fabricating the liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 상승 및 하강 운동 및 회전운동이 가능한 제 1 스테이지와; 상기 제 1 스테이지 주변을 두르며 고정된 것을 특징으로 하는 제 2 스테이지를 포함하는 액정표시장치 제조용 디스펜싱 장비 및 이를 이용한 액정표시장치용 기판의 제조 방법을 제공한다.The present invention includes a first stage capable of raising and lowering movement and rotational movement; The present invention provides a dispensing device for manufacturing a liquid crystal display device including a second stage, which is fixed around the first stage, and a method of manufacturing a substrate for a liquid crystal display device using the same.
디스펜싱장비, 액정표시장치, 회전스테이지 Dispensing Equipment, Liquid Crystal Display, Rotating Stage
Description
도 1은 일반적인 액정표시장치의 분해사시도.1 is an exploded perspective view of a general liquid crystal display device.
도 2는 종래의 실란트 또는 액정을 디스펜싱하는 장비의 스테이지를 간략히 도시한 도면.2 is a simplified illustration of a stage of equipment for dispensing conventional sealants or liquid crystals.
도 3은 본 발명에 따른 실란트 또는 액정 디스펜싱 장치의 스테이지의 사시도.3 is a perspective view of a stage of a sealant or liquid crystal dispensing apparatus according to the present invention.
도 4a 와 도 4b는 각각 본 발명에 따른 실란트 또는 액정 디스펜싱 장치의 스테이지의 하강 및 상승된 상태의 단면도.4A and 4B are cross-sectional views of the lowered and raised states of the stage of the sealant or liquid crystal dispensing apparatus according to the present invention, respectively.
도 5는 본 발명에 따른 구성을 갖는 스테이지를 구비한 실란트 디스펜싱 장비를 간략히 도시한 평면도.5 is a plan view briefly showing a sealant dispensing equipment having a stage having a configuration in accordance with the present invention;
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
101 : (실란트 또는 액정의)디스펜싱 장비101: Dispensing Equipment (of Sealant or Liquid Crystal)
110 : 스테이지 110a : (스테이지의) 제 1 영역110:
110b : (스테이지의) 제 2 영역 113a, 113b :제 1, 2 흡착홀110b:
115 : 축 120 : 모터115: shaft 120: motor
125 : 홈부 160 : 기판125: groove 160: substrate
본 발명은 액정표시장치 제조용 장비에 관한 것으로, 중앙부 일부가 회전가능한 스페이지를 포함하는 액정표시장치 제조용 장비에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to equipment for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to equipment for manufacturing a liquid crystal display device including a rotatable swivel portion.
최근에 평판표시장치 중 하나인 액정표시장치가 해상도, 컬러표시, 화질 등이 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.Recently, the liquid crystal display, which is one of the flat panel display devices, has been actively applied to a notebook or a desktop monitor due to its excellent resolution, color display, and image quality.
일반적인 액정표시장치는 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 상기 두 전극이 서로 대향하도록 배치하고, 상기 두 기판 사이에 액정을 주입한 다음, 상기 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직여 빛의 투과율을 조절하여 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device arranges two substrates on which electrodes are formed so that the two electrodes face each other, injects a liquid crystal between the two substrates, and then applies a voltage to the two electrodes to form liquid crystal molecules. It is a device to express the image by adjusting the light transmittance by moving the.
좀 더 자세히, 액정표시장치의 구조에 대해 일반적인 액정표시장치의 분해사시도인 도 1을 참조하여 설명하면, 도시한 바와 같이, 액정층(30)을 사이에 두고 어레이 기판(10)과 컬러필터 기판(20)이 대면 합착된 구성을 갖는데, 이중 하부의 어레이 기판(10)은 투명한 기판(12)의 상면으로 종횡 교차 배열되어 다수의 화소영역(P)을 정의하는 복수개의 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16)을 포함하며, 이들 두 배선(14, 16)의 교차지점에는 박막트랜지스터(Tr)가 구비되어 각 화소영역(P)에 마련된 화소전극(18)과 일대일 대응 접속되어 있다.In more detail, the structure of the liquid crystal display will be described with reference to FIG. 1, which is an exploded perspective view of a general liquid crystal display. As shown in FIG. 1, the
또한, 상기 어레이 기판과 마주보는 상부의 컬러필터 기판(20)은 투명기판(22)의 배면으로 상기 게이트 배선(14)과 데이터 배선(16) 그리고 박막트랜지스터(Tr) 등의 비표시 영역을 가리도록 각 화소영역(P)을 테두리하는 격자 형상의 블랙매트릭스(25)가 형성되어 있으며, 이들 격자 내부에서 각 화소영역(P)에 대응되게 순차적으로 반복 배열된 적, 녹, 청색 컬러필터층(26)이 형성되어 있으며, 상기 블랙매트릭스(25)와 적, 녹 ,청색 컬러필터층(26)의 전면에 걸쳐 투명한 공통전극(28)이 구비되어 있다.Also, the upper
그리고, 도면상에 도시되지는 않았지만, 이들 두 기판(10, 20)은 그 사이로 개재된 액정층(30)의 누설을 방지하기 위하여 가장자리 따라 실링제(sealant) 등으로 봉함(封函)된 상태에서 각 기판(10, 20)과 액정층(30)의 경계부분에는 액정의 분자배열 방향에 신뢰성을 부여하는 상, 하부 배향막이 개재되며, 각 기판(10, 20)의 적어도 하나의 외측면에는 편광판이 구비되어 있다. Although not shown in the drawings, these two
또한, 어레이 기판의 외측면으로는 백라이트(back-light)가 구비되어 빛을 공급하는 바, 게이트 배선(14)으로 박막트랜지스터(T)의 온(on)/오프(off) 신호가 순차적으로 스캔 인가되어 선택된 화소영역(P)의 화소전극(18)에 데이터배선(16)의 화상신호가 전달되면 이들 사이의 수직전계에 의해 그 사이의 액정분자가 구동되고, 이에 따른 빛의 투과율 변화로 여러 가지 화상을 표시할 수 있다.A back-light is provided on the outer surface of the array substrate to supply light. An on / off signal of the thin film transistor T is sequentially scanned by the
이러한 액정표시장치는 화소전극과 스위칭 소자인 박막 트랜지스터가 각 화소별로 형성되는 어레이 기판을 제조하는 공정과, 상기 어레이 기판과 대향되어 공 통전극 및 적, 녹, 청색의 컬러가 각 화소에 대응하여 형성되는 되어 있는 컬러필터 기판을 제조하는 공정과, 상기 두 공정을 통해 제작된 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 액정층을 형성한 후, 합착하는 셀 공정을 진행하여 액정패널을 완성하고, 상기 액정패널에 편광판과 구동회로 기판 및 백라이트 유닛을 부착함으로써 완성된다. The liquid crystal display includes a process of manufacturing an array substrate in which a pixel electrode and a thin film transistor, which is a switching element, are formed for each pixel, and the common electrode and the colors of red, green, and blue correspond to each pixel so as to face the array substrate. After forming the formed color filter substrate, the liquid crystal layer between the array substrate and the color filter substrate produced through the two processes, and then proceeds to the cell process of bonding to complete the liquid crystal panel, the liquid crystal It is completed by attaching a polarizing plate, a driving circuit board, and a backlight unit to the panel.
한편, 셀 공정을 진행하는데 있어서 어레이 기판과 컬러필터 기판의 합착을 위해서는 접착물질인 실란트를 상기 어레이 기판 또는 컬러필터 기판 중 하나의 기판의 테두리를 따라 씰패턴을 형성하고, 연속하여 상기 씰패턴 내측으로 액정을 적하하는 공정을 진행해야 한다.Meanwhile, in the cell process, a sealant, which is an adhesive material, forms a seal pattern along an edge of one of the array substrate and the color filter substrate in order to bond the array substrate and the color filter substrate. The liquid crystal dropping process must be performed.
이러한 씰패턴 및 액정 디스펜싱 공정은 인라인 형태로 이들 두 단계의 공정을 연속적으로 진행하거나 또는 어레이 기판에 대해서는 씰 디스펜싱을 그리고 컬러필터 기판에 대해서는 액정 디스펜싱을 각각 진행하여 이들 두 기판을 합착 공정을 진행하고 있다.The seal pattern and the liquid crystal dispensing process are in-line, and the two-step process is continuously performed or the dispensing process is performed on the array substrate and the liquid crystal dispensing on the color filter substrate. Going on.
이때, 씰 및 액정 디스펜싱을 연속적으로 진행하는 공정을 예를들면, 상기 어레이 기판 또는 컬러필터 기판을 씰 디스펜싱 및 액정 디스펜싱을 위한 장비로 위치시켜야 하는데, 통상적으로 상기 씰 디스펜싱 장치와 상기 액정 디스펜싱 장치는 하나의 라인으로 엮여 있으며, 이들 두 장비 사이에 로봇이 위치하여 각각 장비의 스테이지로 이동시키며 진행되고 있다.In this case, for example, the array substrate or the color filter substrate should be positioned as equipment for seal dispensing and liquid crystal dispensing. For example, the seal dispensing apparatus and the liquid crystal dispensing process may be performed. The liquid crystal dispensing device is woven into a single line, and a robot is positioned between these two devices to move to the stage of each device.
이때, 상기 실란트를 디스펜싱하는 장비의 스테이지 및 상기 액정을 디스펜싱 하는 장비의 스테이지는 회전 등을 하지 않는 고정된 것으로, 기판을 고정하기 위한 흡착홀 등을 구비하고 있으며, 실란트 또는 액정을 구비한 디스펜서가 상기 기판이 안착된 스테이지 위에 위치하며, 기판 안착 후 상기 디스펜서가 정렬한 후 디스펜싱을 함으로써 씰패턴을 형성하거나 액정을 적정 위치에 디스펜싱 함으로써 공정 진행을 하고 있다.In this case, the stage of the equipment for dispensing the sealant and the stage of the equipment for dispensing the liquid crystal are fixed without rotation or the like, and include a suction hole for fixing the substrate, and the like. The dispenser is positioned on the stage on which the substrate is seated, and the process is performed by forming a seal pattern by dispensing after disposing the substrate after mounting the substrate or dispensing the liquid crystal at an appropriate position.
헌데, 이러한 실란트 또는 액정을 디스펜싱하는 장비에는 회전유닛이 구비되고 있지 않는 바, 종종 실험모델 등이 투입되거나 또는 일반적인 공정라인에서 벗어나 리페어 등을 실시한 어레이 또는 컬러필터 기판이 상기 실란트 또는 액정을 디스펜싱하는 장비로 투입되는 경우, 종종 그 기판의 위치가 180도 반전되어 투입되는 경우가 발생하고 있다. However, the equipment for dispensing such sealants or liquid crystals is not equipped with a rotating unit. Often, an array or a color filter substrate in which an experimental model or the like is put or repaired out of a general process line is used to dispense the sealant or liquid crystal. In the case of input into the fencing equipment, the position of the substrate is often inverted by 180 degrees.
이 경우, 도 2(종래의 실란트 또는 액정을 디스펜싱하는 장비의 스테이지를 간략히 도시한 도면)에 도시한 바와같이, 작업자가 일일이 상기 실란트 또는 액정 디스펜싱 장치의 스테이지(70) 상에 위치한 어레이 또는 컬러필터 기판(75)을 180도 회전시킨 후 공정을 진행해야 하는 바, 작업자 실수로 인한 기판(75) 파손이 종종 발생하며, 파손된 기판(75)의 파편 등의 의한 작업자의 안전사고가 발생하고 있다.In this case, as shown in Fig. 2 (schematic diagram of a stage of a device for dispensing a conventional sealant or liquid crystal), an array of workers placed on the
또한, 수작업 진행에 의한 공정시간 증가로 인한 생산성의 저하를 유발하고 있다. In addition, productivity is reduced due to an increase in process time due to manual progress.
따라서, 본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 기판의 반전 투입 시, 수작업 진행없이 상기 반전 투입된 기판을 자동적으로 180도 회전시키는 것을 특징으로 스테이지를 제공함으로써 작업자의 안전사고를 예방하고, 공정시간을 단축함으로써 생산성을 향상시키는 것을 그 목적으로 한다.Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and when the inversion of the substrate, by providing a stage characterized in that by automatically rotating the inverted substrate 180 degrees without manual operation to prevent the safety accident of the operator, It aims at improving productivity by shortening process time.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 실시예에 의한 액정표시장치 제조용 디스펜싱 장비는, 상승 및 하강 운동 및 회전운동이 가능하며 기판보다 작은 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 제 1 스테이지와; 상기 제 1 스테이지 주변을 두르며 위치하며, 상기 제 1 스테이지와는 별개로 운동을 통한 위치변화 없이 항상 동일한 위치를 유지하는 것을 특징으로 하는 제 2 스테이지와; 상기 제 1 또는 제 2 스테이지 상부에 위치하는 디스펜서와; 상기 제 2 스테이지 양측에 위치하는 제 1 및 제 2 로봇을 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 스테이지의 표면 각각에 상기 기판을 흡착 고정시키기 위한 수단으로서 서로 독립적으로 진공흡착을 실시하는 것을 특징으로 하는 다수의 제 1 흡착홀 및 제 2 흡착홀이 구비된다. Dispensing equipment for manufacturing a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention to achieve the above object, the first stage is characterized in that the lifting and lowering movement and rotational movement and has a smaller area than the substrate; A second stage positioned around the first stage, the second stage being always maintained in the same position without a change in position through movement separately from the first stage; A dispenser positioned above the first or second stage; And first and second robots positioned on both sides of the second stage, wherein vacuum suction is performed independently of each other as a means for adsorbing and fixing the substrate on surfaces of the first and second stages, respectively. A plurality of first adsorption holes and second adsorption holes are provided.
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또한, 상기 제 1 및 제 2 스테이지에는 연결된 상태의 다수의 홈부가 구성됨으로써 로봇 암의 출입구를 형성하는 것이 특징이다.In addition, the first and second stages are characterized in that a plurality of grooves in the connected state is formed to form the entrance and exit of the robot arm.
또한, 상기 제 1 스테이지는 상기 제 1 및 2 스테이지의 총 면적의 30% 내지 60%의 크기를 갖는 것이 특징이며, 상기 제 1 스테이지는 상기 제 1 및 2 스테이지의 총 하중의 30% 내지 60%의 크기를 갖는 것이 특징이다.In addition, the first stage is characterized in that the size of 30% to 60% of the total area of the first and second stage, the first stage is 30% to 60% of the total load of the first and second stage It is characterized by having the size of.
또한, 상기 제 1 스테이지의 회전운동은 180도 회전 운동인 것이 특징이다.In addition, the rotational motion of the first stage is characterized in that the rotational motion of 180 degrees.
또한, 상기 제 1 또는 제 2 스테이지 상부로 디스펜서와; 상기 제 2 스테이지 양측에 제 1 및 제 2 로봇을 더욱 포함하며, 상기 액정표시장치 제조용 디스펜 싱 장비는, 실란트 디스펜싱 장비 또는 액정 디스펜싱 장비인 것이 특징이다. And a dispenser over the first or second stage; Further comprising first and second robots on both sides of the second stage, wherein the dispensing equipment for manufacturing the liquid crystal display device is a sealant dispensing equipment or a liquid crystal dispensing equipment.
본 발명에 따른 액정표시장치용 기판의 제조 방법은, 상승, 하강 및 회전운동이 가능하며 기판보다 작은 면적을 갖는 제 1 영역과, 상기 제 1 영역의 주변을 두르며 위치하며 상기 제 1 영역과는 별개로 운동을 통한 위치변화 없이 항상 동일한 위치를 유지하는 것을 특징으로 하는 제 2 영역으로 구성되며, 상기 제 1 및 제 2 영역의 표면 각각에 상기 기판을 흡착 고정시키기 위한 수단으로서 서로 독립적으로 진공흡착을 실시하는 것을 특징으로 하는 다수의 제 1 흡착홀 및 제 2 흡착홀이 구비된 스테이지와, 상기 제 1 또는 제 2 영역 상부에 위치하는 디스펜서와, 상기 제 2 영역의 양측에 위치하는 제 1 및 제 2 로봇을 포함하는 액정표시장치 제조용 디스펜싱 장비에 상기 기판을 투입하는 단계와; 상기 기판을 상기 제 1 로봇을 통해 상기 스테이지 상에 안착시키는 단계와; 상기 제 1 영역에 구비된 상기 다수의 제 1 흡착홀을 통해 진공흡착을 실시함으로써 상기 기판을 상기 제 1 영역에 고정시키는 단계와; 상기 제 1 영역을 상승시키는 단계와; 상승된 상기 제 1 영역을 180도 회전시키는 단계와; 180도 회전한 상기 제 1 영역을 하강시키는 단계와; 상기 제 2 영역에 구비된 상기 다수의 제 2 흡착홀을 통해 진공흡착을 실시함으로써 상기 기판을 상기 스테이지 전면에 고정시키는 단계와; 상기 디스펜서를 이용하여 특정 물질을 상기 기판 상에 디스펜싱 하는 단계와; 상기 다수의 제 1 및 제 2 흡착홀의 진공흡착을 정지시킴으로써 상기 기판의 상기 스테이지에의 고정을 해제하는 단계와; 상기 제 2 로봇을 통해 상기 스테이지 상에 위치하는 상기 기판을 상기 스테이지로부터 제거하는 단계를 포함한다.In the method for manufacturing a substrate for a liquid crystal display device according to the present invention, the first region having a smaller area than the substrate, which is capable of raising, lowering and rotating movements, is positioned around the first region, Is composed of a second region, characterized in that it always maintains the same position without a change in position through movement separately, and vacuum means independent of each other as a means for adsorbing and fixing the substrate on each of the surfaces of the first and second regions. And a stage having a plurality of first and second adsorption holes, a dispenser located above the first or second area, and a first side located at both sides of the second area. And inserting the substrate into a dispensing device for manufacturing a liquid crystal display device comprising a second robot; Mounting the substrate on the stage via the first robot; Fixing the substrate to the first region by performing vacuum suction through the plurality of first adsorption holes provided in the first region; Raising the first region; Rotating the raised first region 180 degrees; Lowering the first region rotated by 180 degrees; Fixing the substrate to the front surface of the stage by performing vacuum suction through the plurality of second suction holes provided in the second area; Dispensing a specific material onto the substrate using the dispenser; Releasing the fixing of the substrate to the stage by stopping vacuum adsorption of the plurality of first and second adsorption holes; Removing from the stage the substrate located on the stage via the second robot.
이때, 상기 특정 물질은 실란트 또는 액정인 것이 특징이다.At this time, the specific material is characterized in that the sealant or liquid crystal.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 실란트 또는 액정 디스펜싱 장치의 스테이지의 사시도이며, 도 4a 와 도 4b는 각각 본 발명에 따른 실란트 또는 액정 디스펜싱 장치의 스테이지의 하강 및 상승된 상태의 단면도이다.3 is a perspective view of a stage of a sealant or liquid crystal dispensing apparatus according to the present invention, and FIGS. 4A and 4B are cross-sectional views of the stage of the sealant or liquid crystal dispensing apparatus of the present invention in a lowered and raised state, respectively.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 씰 및 액정 디스펜싱 장치(101)의 스테이 지(110)는 서로 분리된 제 1 및 제 2 영역(110a, 110b)으로 이루어지고 있는 것이 특징이다. 이때 그 중앙부가 제 1 영역(110a)이 되고, 상기 제 1 영역(110a)을 둘러싸는 부분이 제 2 영역(110b)이 된다. As shown, the
상기 스테이지(110)는 전체적으로는 사각 판 형태를 가지며, 그 중앙부의 제 1 영역(110a)은 그 하부에 실린더(미도시) 연결된 축(115)을 포함함으로써 상승 및 하강 기능을 가지며, 동시에 상기 축(115)은 회전운동이 가능하도록 기어(미도시) 및 모터(120) 등과 연결됨으로써 일방향으로 180도 회전하는 것을 특징으로 한다.The
이때 상기 제 1 영역(110a)은 그 크기가 상기 스테이지(110) 전체 면적의 30% 내지 60%로써 즉, 상기 스테이지(110)의 중앙부를 기준으로 상기 전체 크기의 스테이지(110)가 상기 30% 내지 60%의 크기를 가지고 축소되어 닮은꼴 형태를 갖는 것이 특징이다.In this case, the size of the
이는 통상적으로 기판(160)은 직사각형태를 가져 장축과 단축으로 이루어지며, 이러한 기판(160)의 전면적에 대응하지 않고 기판(160)의 중앙부에 대해서만 지지한 상태에서 상기 제 1 영역(110a)을 상승시키면 상기 기판(160)의 장축 방향으로 처짐이 발생하게 되는 바, 이러한 기판(160)의 장축 방향으로의 처짐을 어느 정도 방지할 수 있도록 하기 위함이다.In general, the
즉, 상기 제 1 영역(110a)을 기판(160)의 장축 방향으로는 더 긴 폭을 갖도록 형성함으로써 기판(160)의 장축 방향으로는 그 길이에 비례하여 지지되는 부분이 많아지도록 하기 위함이다. That is, the
한편, 상기 스테이지(110)의 제 1, 2 영역(110a, 110b) 전체의 표면에 있어 서는 제 1, 2 흡착홀(113a, 113b)이 다수 형성됨으로써 기판(160)이 상기 스테이지(110)에 안착되면 상기 다수의 제 1, 2 흡착홀(113a, 113b)을 통해 진공흡착하도록 함으로써 기판(160)을 상기 스테이지(110)의 표면에 고정시키는 역할을 하고 있다.On the other hand, on the surface of the entire first and
이때 상기 제 1 영역(110a)에 형성된 다수의 제 1 흡착홀(113a)과 상기 제 2 영역(110b)에 형성된 다수의 제 2 흡착홀(113b)은 각각 별도로 구동하도록 구성된 것이 특징이다.In this case, the plurality of
즉, 제 1 영역(110a)에 형성된 다수의 제 1 흡착홀(113a)과, 제 2 영역(110b)에 형성된 다수의 제 2 흡착홀(113b) 각각은 상기 스테이지(110) 내부에서 상기 각 흡착홀(113a, 113b)을 연결하는 배관을 서로 독립적으로 구성함으로써 서로 다른 구동이 가능하도록 설계된 것이 특징이다.That is, each of the plurality of
이는, 상기 스테이지(110) 중앙부의 제 1 영역(110a)은 기판(160)을 180도 회전시키기 위해 상승 및 하강운동을 해야하며, 상기 기판(160)의 회전을 위해 상스하는 동작을 실시하는 단계 진행중에도 상기 기판(160)의 고정을 위해 진공 흡착을 실시하여야 하지만, 상기 제 2 영역(110b)에 있어서는 실란트 또는 액정의 디스펜싱 공정을 진행하는 단계에서만 진공흡착을 실시하면 되기 때문이다. In this case, the
더욱이 상기 제 1 영역(110a)이 상승동작을 실시하는 시점에서는 상기 제 2 영역(110b)의 흡착홀이 진공흡입을 실시하게 되면, 제 1 영역(110a)이 상승하는 상태에서 기판(160)의 테두리는 제 2 영역(110b)의 표면에 흡착되는 현상이 발생하므로 기판(160)의 파손의 가능성이 있기 때문에 상기 제 1, 2 영역(110a, 110b)의 제 1, 2 흡착홀(113a, 113b)은 반드시 분리 구동하도록 형성되고 있는 것이 특징이다.In addition, when the suction hole of the
또한, 전술한 구조를 갖는 스테이지(110)는 그 표면에 홈부(125)를 갖는 부분이 형성되고 있는 것이 특징이며, 이러한 홈부(125)는 상기 기판(160)을 상기 스테이지(110) 상에 안착시킬 경우 로봇의 암의 출입을 위한 것이다. 따라서, 상기 스테이지(110)의 표면에 대해 서로 이격하여 적어도 2이상의 홈부(125)를 가지며 이러한 홈부(125)는 기판(160)이 안착된 상태에서 측면에서 바라볼 경우 사각형 형태의 홀을 형성하듯 형성된 것이 특징이다. In addition, the
한편, 본 발명에서와 같이 스테이지(110)의 중앙부 일부에 대해서만 상승, 하강 및 회전이 가능하도록 구성한 것은, 스테이지(110) 전체를 상승, 하강 및 회전시킬 경우, 상기 스테이지(110)는 텅스텐(SUS) 등의 금속재질로 이루어지게 되는 바, 자체의 하중이 매우 크므로 이러한 스테이지(110) 전체를 상승 및 하강시키거나 또는 회전시킬 경우, 이러한 큰 하중에 견딜 수 있는 모터(120) 및 축(115)을 형성해야 하는 바, 초기 설비 투자 측면에서 비용 상승을 초래하며, 또한 이러한 용량이 큰 모터(120)를 구동시키고 유지하는 것에 있어서도 상대적으로 더 큰 비용이 지출되며, 하중이 큰 스테이지(110) 자체를 회전운동 시킴으로써 장시간이 지나게 되면 장비 자체의 뒤틀림 등이 발생할 가능성도 있으며, 회전운동에 의한 스테이지(110) 자체가 정렬시 오차를 갖게 됨으로써 특히 실란트를 디스펜싱하여 씰패턴 형성 시 패터닝 불량 발생의 가능성이 증가하기 때문이다.On the other hand, as configured in such a way that only the central portion of the
하지만, 본 발명에 따른 스테이지(110)의 경우, 스테이지(110) 중앙부의 제 1 영역(110a)에 대해서만 상승, 하강운동 및 회전운동을 하며, 상기 제 1 영 역(110a) 이외의 스테이지(110) 자체는 고정된 상태가 되므로 스테이지(110)의 틀어짐 및 회전전에 의한 오차는 발생하지 않음을 알 수 있으며, 상기 중앙부 제 1 영역(110a)은 평면적으로 스테이지(110) 전체에 대해 30% 내지 60%의 면적을 가지며 형성되는 바, 그 하중에 있어서도 그 면적에 비례하여 전체 스테이지(110)의 30% 내지 60%가 되므로 모터(120) 용량을 줄일 수 있는 바, 투자 비용 및 유지 비용의 절감의 효과를 갖게 됨을 알 수 있다.However, in the case of the
이때 상기 스테이지(110) 내의 제 1 영역(110a)의 상승, 하강 및 회전은 반전된 모델의 기판(160) 투입되는 시점에서 상기 모델의 기판(160) 투입이 완료되는 시점까지 일괄적으로 처리되도록 할 수도 있고, 또는 작업자가 상기 스테이지(110)에 기판(160)이 안착되는 시점에서 상기 제 1 영역(110a)의 스테이지(110)의 상승, 회전 및 하강을 실시하도록 신호인가를 위한 버튼 등을 상기 스테이지(110) 외부에 구비함으로써 상기 버튼(미도시)을 통한 개별 신호 인가에 의해 진행할 수 있도록 구성된 것이 특징이다. At this time, the raising, lowering and rotation of the
이러한 특징을 갖는 스테이지(110)를 구비한 실란트 또는 액정 디스펜싱 장치를 이용한 공정 진행에 대해 간단히 설명한다. The process progress using the sealant or liquid crystal dispensing device having the
도 5는 본 발명에 따른 구성을 갖는 스테이지를 구비한 실란트 디스펜싱 장비를 간략히 도시한 평면도이다. 이때 액정 디스펜싱 장치도 상기 실란트 디스펜싱 장치와 동일한 동작을 하므로 이에 대해서는 설명을 생략한다.5 is a plan view briefly illustrating a sealant dispensing equipment having a stage having a configuration in accordance with the present invention. In this case, since the liquid crystal dispensing apparatus performs the same operation as the sealant dispensing apparatus, a description thereof will be omitted.
어레이 기판(160) 또는 컬러필터 기판(160)이 적재된 카세트(181)가 로더(LD)에 안착되며, 상기 로더(LD) 일측에 구성된 제 1 로봇(183)이 상기 카세 트(181)로부터 하나의 어레이 또는 컬러필터 기판(160)(이하 기판(160)이라 칭함)을 배출하여 상기 실라트 디스펜싱 장치의 스테이지(110) 상에 안착시킨다. The
이때, 만약 상기 안착된 기판(160)이 180도 반전되어 투입된 기판(160)이라 하면, 작업자의 기판(160) 회전신호 인가에 의해 또는 이러한 반전된 기판(160)의 투입전 일괄 기판(160) 회전신호 인가에 의해 상기 스테이지(110)의 제 1 영역(110a)에 대해서만 진공흡착이 실시되어 제 1 영역(110a)에 대응되는 부분의 기판(160)이 상기 1 영역에 대해서만 흡착된 상태가 된다.At this time, if the seated
이후 이러한 상태에서 상기 스테이지(110) 중 제 1 영역(110a)의 상승운동이 진행되며, 제 1 영역(110a)의 축(미도시)이 상기 제 2 영역(110b) 표면 상부로 노출 된 상태에서 상기 제 1 영역(110a) 및 그 상부에 위치한 기판(160)의 180도 회전이 실시되며, 이후 180도 회전한 상태에서 하강하여 상기 기판(160)을 상기 스테이지(110) 전면에 안착시킨 후, 이 상태에서 제 2 영역(110b)의 제 2 흡착홀까지도 진공흡착을 실시하도록 작동함으로서 상기 기판(160) 전면이 상기 스테이지(110)의 표면에 고정된 상태가 되도록 한다.Then, in this state, the upward movement of the
이후, 상기 스페이지(110) 상에 고정된 기판(160) 상에 디스페서(미도시)를 위치시키고 정렬을 한 후, 실란트를 디스펜싱함으로써 씰패턴(미도시)을 형성하게 되며, 씰 패턴(미도시) 형성이 완성된 후, 상기 제 1, 2 영역(110a, 110b)의 제 1, 2 흡착홀(도 3의 113a, 113b)의 진공흡착이 정지된 상태에서 상기 스테이지(110) 타측에 위치한 제 2 로봇(185)에 의해 기판(160)이 상기 스테이지(110)로부터 이후 공정 장비(미도시)로 이동됨으로써 씰패턴 공정을 완료하게 된다. Subsequently, after disposing a dispenser (not shown) on the
한편, 반전되지 않는 기판(160)이 상기 실란트 디스펜싱 장치(101)로 투입될 경우, 상기 제 1 영역(110a)의 상승, 회전 및 하강운동 진행없이 상기 기판(160)이 스테이지(110)에 안착됨과 동시에 제 1, 2 영역(110a, 110b)에 위치한 제 1, 2 흡착홀(도 3의 113a, 113b) 전체가 진공흡착이 실시되도록 하여 상기 기판(160)을 스테이지(110) 표면에 고정시키고, 바로 실란트 디스펜싱 공정을 실시하며 이후 전술한 반전된 기판(160)의 진행과 동일하게 진행됨으로써 씰패턴 공정을 완료하게 된다.On the other hand, when the
액정 디스펜싱 또한 전술한 씰패턴 형성 과정과 동일하게 진행되는 바, 설명은 생략한다.Liquid crystal dispensing also proceeds in the same manner as the seal pattern forming process described above, the description thereof will be omitted.
전술한 바와 같이, 본 발명에 액정표시장치 제조 용 스테이지는, 그 중앙부에 소정의 면적을 갖는 부분이 상승 및 하강 운동 및 180도 회전 운동이 가능하도록 구성됨으로써 반전된 기판 투입 시 수작업에 의한 기판의 180도 회전 진행을 하지 않는 바, 수작업에 의한 공정시간 증가를 방지함으로써 생산성을 향상시키는 효과가 있다.As described above, the stage for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is configured such that a portion having a predetermined area in the center thereof is capable of an up and down movement and a 180 degree rotational movement. Since it does not proceed 180 degrees rotation, there is an effect of improving the productivity by preventing the process time increase by manual labor.
또한, 스테이지 전체를 상승 및 하강 및 회전운동을 실시하지 않고 그 일부영역에 대해서만 상승 및 하강 및 회전운동이 가능하도록 구성됨으로써 용량이 적은 모터 사용으로 초기 설비 투자 비용을 절감하며 동시에 유지 비용 절감의 효과가 있다.In addition, it is possible to raise, lower, and rotate only a part of the stage without performing the whole up, down, and rotational movements of the stage. There is.
또한, 수작업의 배제로 인해 작업자의 안전사고를 예방하는 효과가 있다.In addition, there is an effect of preventing the accident of workers due to the exclusion of manual work.
Claims (11)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060135499A KR101303053B1 (en) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | Dispensing apparatus for fabricating the liquid crystal display device |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080060885A KR20080060885A (en) | 2008-07-02 |
KR101303053B1 true KR101303053B1 (en) | 2013-09-03 |
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
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KR (1) | KR101303053B1 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050069017A (en) * | 2003-12-30 | 2005-07-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
KR20060060569A (en) * | 2004-11-30 | 2006-06-05 | 가부시키가이샤 다이헨 | Substrate conveyance equipment |
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- 2006-12-27 KR KR1020060135499A patent/KR101303053B1/en active IP Right Grant
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