KR20050071205A - 웨이퍼 플랫존 정렬장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 카세트내에 수납된 웨이퍼들의 플랫존을 정렬 시키기 위한 웨이퍼 플랫존 정렬장치에 있어서, 웨이퍼를 적재하는 카세트의 앞쪽과 뒤쪽에 설치되고, 앞쪽의 장치는 두개의 롤러(roller)로 구성되어 있으며 뒤쪽의 장치는 정렬 스틱으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의해서 웨이퍼가 카세트에 위치한 상태에서 정렬함으로 장비에서 정렬불량에 의한 에러를 줄일 수 있다.

Description

웨이퍼 플랫존 정렬장치{Wafer flat zone aligner}
본 발명은 웨이퍼 플랫 존 정렬장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 생산공정에서 웨이퍼 플랫존을 일정하게 정렬시킬 수 있도록 정확한 제어가 가능한 웨이퍼 플랫존 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치의 제조시에 웨이퍼는 다수매씩 적재하기 편리하도록 슬롯(slot)을 가지고 있는 카세트(cassette)에 적재되어 현 공정에서 다음 공정으로 이송된다.
또한 반도체 장치의 제조를 위한 단위 공정 수행시에 상기 카세트에 적재된 상기 웨이퍼는 낱장 단위 또는 카세트 단위로 반도체 제조 장비에 적재되어 공정이 수행된다. 상기 카세트에 적재된 상기 웨이퍼는 반도체 단위 공정을 수행하기 이전에 장비내에서 얼라인(align) 불량을 방지하기 위해 상기 카세트 내에 적재된 상기 웨이퍼는 플랫존(Flat Zone)이 정렬되어 있어야 한다.
상기 플랫존이 정렬되어 있지 않을 경우 장비 얼라인 불량은 물론 단위 공정을 진행하는데 심각한 장애요소로 작용한다.
상기 카세트에 적재된 웨이퍼의 플랫존 정렬은 롤러(roller)를 이용하여 상기 웨이퍼를 회전하여 정렬한다. 종래에는 에어 실런더를 이용한 롤로의 상하 동작을 제어할 수 있는 시스템이 구축되어 있지 않아, 스톱퍼를 이용하여 강제로 멈추는 제어방식을 사용하고 있다. 따라서 실린더에 연결된 롤러가 2kgf/㎠ 압력의 힘으로 웨어퍼의 취약부분인 에지에 직접적으로 가함으로써 웨이퍼 에지의 브로큰(broken)이 유발된다.
이처럼, 종래에는 에어 실린더를 이용하여 롤러를 상하 동작시킴에 있어 거리 이동을 정밀하게 제어할 수 없었고, 따라서 롤러와 웨이퍼 에지와의 충돌로 인한 문제가 발생되어도 제어기능이 없어서 공정사고 위험성이 매우 높다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 반도체 생산공정에서 웨이퍼 플랫존을 일정하게 정렬시킬 수 있도록 정확한 제어가 가능한 웨이퍼 플랫존 정렬장치를 제공하는 데 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 카세트내에 수납된 웨이퍼들의 플랫존을 정렬 시키기 위한 웨이퍼 플랫존 정렬장치에 있어서, 웨이퍼를 적재하는 카세트의 앞쪽과 뒤쪽에 설치되고, 앞쪽의 장치는 두개의 롤러로 구성되어있으며 뒤쪽의 장치는 정렬 스틱으로 구성되는 것을 특징으로 하며, 상기 카세트 로딩 로더 밑부분에서 두개의 롤러와 1개의 정렬스틱이 올라오는 것을 특징으로 한다.
또한, 정렬스틱은 웨이퍼의 개수와 폭에 맞게 설계되며, 상기 두개의 롤러와 1개의 정렬장치가 웨이퍼를 앞뒤에서 적당한 힘으로 밀어주는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.
종래에는 웨이퍼 카세트의 밑에 정렬 롤러가 있었지만 본 발명에서는 웨이퍼를 로더(loader)에 올린 상태에서 도1과 같이 수평상태에서 웨이퍼의 플랫존을 정렬하게 된다.
이를 구체적으로 설명하면, 웨이퍼 로더에 웨이퍼 카세트를 로드하게 되면 로더 아래에 설치된 2개의 롤러를 이용하여 웨이퍼를 웨이퍼를 회전시킨다.
이후 웨이퍼 카세트의 뒷쪽에 설치된 정렬스틱이 웨이퍼 카세트 로딩 아랫부분에서 웨이퍼 카세트 높이까지 상승하게 되며, 2개의 롤러와 정렬 스틱이 웨이퍼 안쪽으로 서로 이동하여 웨이퍼에 접촉하게 되며, 이때 정렬막대는 웨이퍼의 플랫존이 걸릴 수 있도록 적당한 힘으로 밀어주게 되고, 회전 중인 웨이퍼의 플랫존의 위치가 정렬된 웨이퍼는 회전을 멈추고 정렬되지 않은 웨이퍼는 계속하여 회전하면서 정렬 위치를 찾게된다.
여기에서 웨이퍼 카세트 앞쪽에 설치된 2개의 롤러가 웨이퍼를 미는 힘은 뒤쪽에 설치된 정렬스틱의 힘보다는 약하게 구성하는 것이 바람직하다.
상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 플랫 존 정렬장치에 의해서, 웨이퍼가 카세트에 위치한 상태에서 정렬함으로 장비에서 정렬불량에 의한 에러를 줄일 수 있다.
도1은 본 발명에 의한 웨이퍼 카세트 로딩 방향 및 정렬장치의 구성.
도2는 본 발명에 의한 롤러 구조.
도3은 본 발명의 정렬스틱 구조.

Claims (4)

  1. 카세트 내에 수납된 웨이퍼들의 플랫존을 정렬시키기 위한 웨이퍼 플랫존 정렬장치에 있어서,
    웨이퍼를 적재하는 카세트의 앞쪽과 뒤쪽에 설치되고, 앞쪽의 장치는 두개의 롤러로 구성되어 있으며 뒤쪽의 장치는 정렬 스틱으로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 존 정렬장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 카세트 로딩 로더 밑부분에서 두개의 롤러와 1개의 정렬스틱이 올라오는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 존 정렬장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 정렬스틱은 웨이퍼의 개수와 폭에 맞게 설계되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 존 정렬장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 두개의 롤러가 웨이퍼를 미는 힘은 상기 정렬 스틱의 힘보다 약한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫 존 정렬장치.
KR1020030102184A 2003-12-31 2003-12-31 웨이퍼 플랫존 정렬장치 KR100871980B1 (ko)

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