KR20050067254A - 유기전계 발광소자와 그 제조방법 - Google Patents

유기전계 발광소자와 그 제조방법 Download PDF

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KR20050067254A
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오두환
정훈주
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로, 특히 균일한 화질특성을 구현할 수 있는 유기전계 발광소자의 구성과 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 전원 배선(VDD 배선, power line)을 구성할 때, 표시영역에 대해 격자 형상으로 구성하거나, 표시영역의 전면에 이와 동일한 면적으로 전원 배선을 형성하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성은 전원 배선의 저항을 낮추기 때문에 표시영역의 전체에서 화질이 고르게 구현되는 장점이 있다.
또한, 상기 표시 영역에 대응하는 면적으로 전원 배선을 형성할 경우에는, 유기전계 발광소자를 캡슐화 하는 공정에서, 자외선을 통해 실런트를 경화하는 공정시에 실런트 이외의 영역을 자외선으로부터 차폐하기 위한 차단 마스크를 별도로 사용할 필요가 없다. 따라서, 비용을 절감할 수 있는 장점 있다.

Description

유기전계 발광소자와 그 제조방법{The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same}
본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로 특히, 전원 배선의 저항을 낮추도록 새로이 설계된 어레이부를 포함하는 유기전계 발광소자의 구성과 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 유기전계 발광소자는 전자(electron) 주입전극(cathode)과 정공(hole) 주입전극(anode)으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 소자이다.
이러한 원리로 인해 종래의 박막 액정표시소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있다.
또한, 유기전계 발광소자는 고품위 패널특성(저전력, 고휘도, 고반응속도, 저중량)을 나타낸다. 이러한 특성 때문에 OELD는 이동통신 단말기, CNS, PDA, Camcorder, Palm PC등 대부분의 consumer전자 응용제품에 사용될 수 있는 강력한 차세대 디스플레이로 여겨지고 있다.
또한 제조 공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 LCD보다 많이 줄일 수 있는 장점이 있다.
이러한 유기전계 발광소자를 구동하는 방식은 수동 매트릭스형(passive matrix type)과 능동 매트릭스형(active matrix type)으로 나눌 수 있다.
상기 수동 매트릭스형 유기전계 발광소자는 그 구성이 단순하여 제조방법 또한 단순 하나 높은 소비전력과 표시소자의 대면적화에 어려움이 있으며, 배선의 수가 증가하면 할 수록 개구율이 저하되는 단점이 있다.
반면 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자는 높은 발광효율과 고 화질을 제공할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자(10)는 투명한 제 1 기판(12)의 상부에 박막트랜지스터(T)어레이부(14)와, 상기 박막트랜지스터 어레이부(14)의 상부에 제 1 전극(16)과 유기 발광층(18)과 제 2 전극(20)이 구성된다.
이때, 상기 발광층(18)은 적(R),녹(G),청(B)의 컬러를 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 상기 각 화소(P)마다 적,녹,청색을 발광하는 별도의 유기물질을 패턴하여 사용한다.
상기 제 1 기판(12)이 흡습제(22)가 부착된 제 2 기판(28)과 실런트(26)를 통해 합착됨으로써, 캡슐화된 유기전계 발광소자(10)가 완성된다.
이때, 상기 흡습제(22)는 캡슐내부에 침투할 수 있는 수분과 산소를 제거하기 위한 것이며, 기판(28)의 일부를 식각하고 식각된 부분에 흡습제(22)를 채우고 테이프(25)로 고정한다.
이하, 도 2는 유기전계 발광소자의 등가회로도이다.
도시한 바와 같이, 기판(12)의 전면에 서로 이격하여 평행하게 구성된 데이터 배선(34)과 전원배선(35)이 구성되고, 상기 데이터 배선(34)과 전원배선(35)과 수직하게 교차하고 상기 데이터배선(34)과는 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(32)이 구성된다.
상기 화소 영역(P) 내에는 스위칭 소자(Ts)와 구동 소자(TD)와 캐패시터(CST)가 구성된다.
전술한 바와 같이 구성된 유기전계 발광소자의 동작특성을 이하, 간략히 설명한다.
먼저, 상기 스위칭 소자(TS)의 게이트 전극에 게이트 신호가 인가되면 상기 데이터 배선(34)을 흐르는 전류 신호는 상기 스위칭 소자(TS)를 통해 전압 신호로 바뀌어 구동 소자(TD)의 게이트 전극에 인가된다.
이와 같이 하면, 상기 구동 소자(TD)가 동작되어 상기 발광부(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 유기발광층은 그레이 스케일(grey scale)을 구현할 수 있게 된다.
이때, 상기 스토리지 캐패시터(CST)에 저장된 신호는 게이트 전극(구동소자의 게이트 전극)의 신호를 유지하는 역할을 하기 때문에, 상기 스위칭 소자(TS)가 오프 상태가 되더라도 다음신호가 인가될 때까지 상기 발광부(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.
이하, 도면을 참조하여 전술한 바와 같이 구성되는 유기전계 발광소자의 어레이부의 구성을 설명한다.
도 3은 종래에 따른 유기전계 발광소자의 박막트랜지스터 어레이부의 한 화소를 도시한 확대 평면도이다.(유기 발광부 생략)
일반적으로, 능동 매트릭스형 박막트랜지스터 어레이부는 기판(12)에 정의된 다수의 화소마다 스위칭 소자(TS)와 구동 소자(TD)와 스토리지 캐패시터(storage capacitor : CST)가 구성되며, 동작의 특성에 따라 상기 스위칭 소자(TS) 또는 구동 소자(TD)는 각각 하나 이상의 박막트랜지스터의 조합으로 구성될 수 있다.
이때, 상기 기판(12)은 투명한 절연 기판을 사용하며, 그 재질로는 유리나 플라스틱을 예를 들 수 있다.
도시한 바와 같이, 기판(12)상에 서로 소정 간격 이격하여 일 방향으로 구성된 게이트 배선(32)과, 상기 게이트 배선(32)과 절연막을 사이에 두고 서로 교차하는 데이터 배선(34)이 구성된다.
동시에, 상기 데이터 배선(34)과 평행하게 이격된 위치에 일 방향으로 전원 배선(35)이 구성된다.
상기 스위칭 소자(TS)와 구동 소자(TD)로 각각 게이트 전극(36,38)과 액티브층(40,42)과 소스 전극(46,48) 및 드레인 전극(50,52)을 포함하는 박막트랜지스터가 사용된다.
전술한 구성에서, 상기 스위칭 소자(TS)의 게이트 전극(36)은 상기 게이트 배선(32)과 연결되고, 상기 소스 전극(46)은 상기 데이터 배선(34)과 연결된다.
상기 스위칭 소자(TS)의 드레인 전극(50)은 상기 구동 소자(TD)의 게이트 전극(38)과 콘택홀(54)을 통해 연결된다.
상기 구동 소자(TD)의 소스 전극(48)은 상기 전원 배선(35)과 콘택홀을 통해 연결된다.
이때, 상기 전원 배선(35)과 그 하부의 다결정 실리콘층인 제 1 전극(16)은 절연막을 사이에 두고 겹쳐져 스토리지 캐패시터(CST)를 형성한다.
이하, 도 4를 참조하여 전술한 바와 같이 구성된 박막트랜지스터 어레이부를 포함하는 유기전계 발광소자의 단면구성을 설명한다.
도 4는 도 3의 Ⅲ-Ⅲ,Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 박막트랜지스터 어레이부의 단면도이다.
도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자의 박막트랜지스터 어레이부는 기판 (12)상에 게이트 전극(36,38)과, 액티브층(40,42)과 소스 전극(46,48)과 드레인 전극(52)을 포함하는 박막트랜지스터로 구성된 스위칭 소자(TS)와 구동 소자(TD)가 된다.
상기 구동소자(TD)의 상부에는 절연막(50)을 사이에 두고 구동소자(TD)의 드레인 전극(52)과 접촉하는 제 1 전극(16)과, 제 1 전극(16)의 상부에 특정한 색의 빛을 발광하는 발광층(18)과, 발광층(18)의 상부에는 제 2 전극(20)이 구성된다.
상기 구동소자(TD)와는 병렬로 스토리지 캐패시터(CST)가 구성되며, 소스 전극(56)은 스토리지 캐패시터(CST)의 제 2 전극(전원배선)(35)과 접촉하여 구성되며, 상기 제 2 전극(36)의 하부에는 상기 제 1 전극(15)이 구성된다.
상기 구동소자(TD)와 스토리지 캐패시터(CST)와 유기 발광층(18)이 구성된 기판의 전면에는 제 2 전극(20)이 구성된다.
전술한 바와 같이 구성된 박막트랜지스터 어레이부를 포함하는 유기전계 발광소자의 구성에서, 상기 전원 배선(35)의 전압강하가 적어야한 패널 상의 화질이 균일하게 된다.
종래의 전원 공급 방식에서는 유기전계 발광소자를 구성하는 박막트랜지스터 어레이부의 레이아웃(layout)문제로 인해, 전원배선(35) 선폭의 한계가 있어 실제로, 패널의 일측에 구성된 첫 번째 전원 배선과 n번째 전원 배선을 흐르는 신호의 차이가 발생하여 균일한 화질을 얻을 수 없다.
이에 대해, 이하 도면을 참조하여 설명한다.
도 5는 종래에 따른 유기전계 발광패널의 구성을 도시한 도면이다.(설명의 편의를 위해 전원 배선만 표시함.)
도시한 바와 같이, 기판(12)은 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)으로 구분되며, 상기 표시영역(DA)은 다수의 전원배선(35)이 구성되고, 상기 비표시 영역(NDA)에는 상기 다수의 전원배선(35)을 하나로 연결하는 전원배선(VL)이 전원배선 패드(VP)와 접촉하여 구성된다.
이때, 상기 다수의 전원 배선(35)을 통해 흐르는 신호는 상기 전원배선 패드(VP)와 비표시 영역(NDA)의 전원 배선(35)에 의해 일측으로 부터 입력되어 상기 표시영역(NDA)에 구성된 다수의 전원배선(35)으로 입력된다.
따라서, 앞서 잠깐 언급한 바와 같이, 전원 배선은 각 라인(1ST.....NST) 내에서의 전압강하 및 첫 번째 라인(1ST)과 마지막 라인(NST)간의 전압 강하에 따른 전원배선 전압 차이로 인해 화질 균일도 문제를 야기시킨다.
이러한, 이러한 전압강하에 따른 화질의 균일도를 개선하기 위한 방법으로 전원배선의 선폭을 최대 크게 가져가거나 또는 다른 방법으로 전원배선의 저항을 최대한 작게 가져가야 한다.
하지만 실제 어레이부의 레이아웃(layout) 구성에서 전원배선의 선폭을 무한정 크게 가져가는데는 어려움이 있다. 왜냐하면 종래의 일반적인 구성은 상기 전원배선을 게이트 배선과 동일층 동일물질로 구성하기 때문이다.
따라서, 종래의 레이아웃(layout) 구성으로는 전원 배선의 선폭을 크게 하는데 한계가 있으며, 이로 인해 화질 불균일이 해결되기 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 목적으로 제안된 것으로, 상기 전원배선을 유기전계 발광패널(발광소자)의 전면에 대해 격자형상(매쉬형상)으로 설계하거나, 유기전계 발광패널(발광소자)의 전면을 차지하도록 설계한다.
이와 같이 하면, 전원 배선의 선폭이 넓어지기 때문에 이에 반비례하여 저항이 매우 낮아지게 되며 이로 인해, 유기전계 발광패널(발광소자)의 전면에 대해 고른 화질을 얻을 수 있는 장점이 있다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 제 1 특징에 따른 유기전계 발광소자는 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시영역의 주변으로 비표시 영역이 정의된 기판과; 상기 기판 상에 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와; 상기 스위칭 소자와 구동 소자의 하부에, 상기 기판의 표시영역에 대응하여 격자형상으로 구성되고 상기 구동소자의 소스 전극과 접촉하는 전원 배선과; 상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극과; 상기 제 1 전극의 상부에 구성된 발광층과; 상기 발광층의 상부에 구성된 제 2 전극을 포함한다.
상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)이며, 상기 양극 전극이 투명한 물질일 경우 불투명한 도전성 금속을 더욱 구성하고, 상기 음극 전극은 빛이 투과되는 두께로 얇게 구성하는 것을 특징으로 한다.
상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되는 동시에, 화소 영역에 대응한 일부 영역에 개구부가 구성될 수 있으며, 다른 형상으로는 상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성할 수 있다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 유기전계 발광소자의 제조방법은 기판 상에 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시영역의 주변을 비표시 영역으로 정의하는 단계와; 상기 기판 상에, 상기 표시 영역에 대응하여 격자형상의 전원 배선을 형성하는 단계와; 상기 전원 배선의 상부에 절연막을 사이에 두고, 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자를 형성하는 단계와; 상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 전극의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층의 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되는 동시에, 화소 영역에 대응한 일부 영역에 개구부가 형성될 수 있고, 개구부가 형성되지 않을 수도 있다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 유기전계 발광소자는 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시영역의 주변을 비표시 영역으로 정의한 기판과; 상기 기판 상에 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와; 상기 스위칭 소자와 구동 소자의 하부에, 상기 기판의 표시영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되고, 상기 구동소자의 소스 전극과 접촉하는 전원 배선과; 상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극과; 상기 제 1 전극의 상부에 구성된 발광층과; 상기 발광층의 상부에 구성된 제 2 전극을 포함한다.
상기 전원 배선과 구동 소자의 소스 전극이 연결되어 구성된다
본 발명의 제 2 특징에 따른 유기전계 발광소자의 제조방법은 기판 상에 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시 영역의 주변을 비표시 영역으로 정의하는 단계와; 상기 기판 상에, 상기 표시 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 전원 배선을 형성하는 단계와; 상기 전원 배선의 상부에 절연막을 사이에 두고, 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자를 형성하는 단계와; 상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 전극의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층의 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 제 2 전극을 형성한 후, 실런트를 통해 캡을 씌워 유기전계 발광소자를 캡슐화 하는 단계와; 상기 기판의 하부에서 상기 표시 영역을 차폐하는 마스크 없이 자외선을 조사하여 상기 실런트를 경화하는 단계를 더욱 포함한다.
본 발명의 제 3 특지에 따른 듀얼프레이트 구조의 유기전계 발광소자는 서로 이격 하여 구성되고 다수의 화소영역이 정의된 표시 영역과, 표시 영역의 주변을 비표시 영역으로 정의한 제 1 기판과 제 2 기판과; 상기 제 1 기판의 표시영역에 대응하여 구성된 격자형상의 전원 배선과; 상기 화소 영역의 일측과 이에 수직한 타측에 구성된 게이트 배선과 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성되고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 구성된 제 1 전극과; 상기 제 1 전극의 상부에 구성된 유기발광층과; 상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소영역마다 독립적으로 패턴되어 상기 구동소자와 연결된 제 2 전극을 포함한다.
상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되는 동시에, 화소 영역에 대응한 일부 영역에 개구부가 형성될 수 도 있고, 개구부가 형성되지 않을 수도 있다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 유기전계 발광소자의 제조방법은 서로 이격 하여 구성되고 다수의 화소영역이 정의된 표시 영역과, 비표시 영역으로 정의된 제 1 기판과 제 2 기판과; 상기 제 1 기판의 표시영역에 대응하여 이와 동일 면적으로 구성된 격자형상의 전원 배선과; 상기 화소 영역의 일측과 이에 수직한 타측에 구성된 게이트 배선과 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성되고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 구성되는 제 1 전극과; 상기 제 1 전극의 상부에 구성된 유기발광층과; 상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소영역마다 독립적으로 패턴되어 상기 구동소자와 전기적으로 연결된 제 2 전극을 포함한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.
-- 제 1 실시예 --
본 발명은 전원배선을 설계할 때, 유기전계 발광소자의 표시영역에 대응하여 격자형상으로 구성하는 것을 특징으로 한다.
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 어레이부의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.(설명의 편의를 위해 전원배선만을 표시함.)
도시한 바와 같이, 기판(100)을 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)으로 나누고, 상기 표시영역(DA)에 위치한 전원배선(102)을 격자형상으로 구성하는 것을 특징으로 한다.
상기 격자형상의 전원배선(102)은 기판(100)의 일측에서 비표시 영역(NDA)에 형성한 전원 배선(VL)을 통해 상기 기판(100)의 타측에 구성된 전원배선 패드(VP)로부터 입력된 신호를 받게 된다.
전술한 구성에서, 상기 표시영역(DA)에 구성한 전원배선(102)이 격자형상이므로 상기 표시영역(DA)의 전원배선(102)을 통해 입력된 신호는 표시영역(DA)의 일측 뿐 아니라 이에 평행하지 않는 상측과 하측에서도 동시에 인가되는 형상이 된다.
따라서, 전원 배선(102)의 저항이 매우 낮아지게 되며 이로 인해 유기전계 발광소자의 전면에 대해 고른 화질을 구현할 수 있다.
전술한 바와 같이, 격자 형상으로 구성된 전원 배선을 실제 설계하게 되면 이하, 첨부한 도면과 같은 레이아웃(layout)으로 구성할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자 어레이부의 일부를 도시한 확대 평면도이다.
도시한 바와 같이, 기판(100)의 일면에 일방향으로 연장된 게이트 배선(116)과, 상기 게이트 배선(116)과 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(138)을 구성한다.
상기 게이트 배선(116)과 이격하여 평행하게 연장된 전원 배선(102)을 형성한다.
상기 게이트 배선(116)과 데이터 배선(138)의 교차지점에는, 각각 게이트 전극(112,114)과 액티브층(106,108)과 소스 전극(130,134)과 드레인 전극(132,136)을 포함하는 구동 소자(TS)와 스위칭 소자(TD)를 구성한다.
상기 스위칭 소자(TS)의 게이트 전극(112)은 상기 게이트 배선(116)과 연결하고, 상기 소스 전극(130)은 데이터 배선(138)과 연결하고, 상기 드레인 전극(132)은 구동 소자(TD)의 게이트 전극(114)과 연결하도록 구성한다.
상기 구동 소자(TD)의 소스 전극(130)은 상기 전원배선(102)과 연결하고 드레인 전극(136)은 도시하지는 않았지만 발광부의 제 1 전극(양극 전극)과 연결하도록 구성한다.
전술한 구성에서, 특징적인 것은 상기 전원 배선(102)을 형성할 때, 종래와는 달리 상하좌우로 이웃한 화소 영역(P)에 모두 연결되도록 구성한다.
전술한 화소 영역(P)에 대응하여 오픈부(150)를 형성함으로써, 도 1의 구성처럼 하부 발광식(bottom emission)으로 사용할 수 있도록 한다.
다른 예로 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 스위칭 소자(TS)와 구동소자(TD)를 제외한 화소 영역(P)의 전면을 차지하도록 구성하고, 앞서 도 7의 구성과 같이 전원 배선을 각 화소영역(P) 마다 구성하여 모두 연결 형성한다.
이와 같은 구성은 상기 화소 영역(P)을 전원배선(102)이 모두 차지하도록 설계되었기 때문에 발광부에서 발광된 빛이 어레이부를 통과하도록 할 수는 없다.
따라서, 상기 구동소자(TD)의 드레인 전극(136)과 연결하는 유기발광부의 제 1 전극으로 불투명한 양극 전극(anode electrode)을 사용하고, 상기 유기발광부의 제 2 전극으로 투명한 음극 전극(cathode electrode)을 사용하는 것이 바람직하다.
이하, 도 9와 도 10을 참조하여, 전술한 박막트랜지스터를 포함한 유기전계 발광소자의 제조방법을 설명한다.
도 9a 내지 도 9e와 도 10a 내지 도 10e는 각각 도 7의 Ⅵ-Ⅵ,Ⅶ-Ⅶ을 따라 절단하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조방법을 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.
도 9a와 도 10a에 도시한 바와 같이, 기판(100)상에 화소 영역(P)과 화소 영역(P)에 스위칭 영역(S)과 구동 영역(D)과 발광 영역(E)을 정의한다.
다음으로, 상기 기판(100) 상에 알루미늄(Al)과 알루미늄 합금을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 기판(100)의 전면에 대해 격자형상의 전원배선(102)을 형성한다.
격자 형상의 전원 배선(102)은 단일 화소 영역(P)에 대응하여 격자형상의 가로패턴과 이에 수직한 세로 패턴이 위치하게 된다.(도 6 참조)
도 7에 도시한 바와 같이, 상기 화소 영역(P)을 지나가는 세로 패턴은 화소 영역에 대응하여 오픈부를 형성하 수 도 있고, 도 8에 도시한 바와 같이 화소 영역(P)의 전면을 차지하도록 구성할 수 있다.
다음으로, 상기 격자형상의 전원 배선(102)이 형성된 기판의 전면에 질화 실리콘(SiNx)또는 산화 실리콘(SiO2)을 증착하여 버퍼층(104)을 형성한다.
도 9b와 도 10b에 도시한 바와 같이, 상기 스위칭 영역(S)에 대응하는 버퍼층(104)의 상부에 제 1 다결정 액티브층(106)을 형성하고 동시에, 상기 구동 영역(T)에 대응하는 버퍼층(104)의 상부에 제 2 다결정 액티브층(108)을 형성하는 공정을 진행한다.
이때, 상기 제 1 다결정 액티브층(106)과 제 2 다결정 액티브층(108)은 비정질 실리콘층을 기판(100)의 전면에 증착한 후, 열을 이용한 결정화 공정을 통해 결정화 한 후 원하는 형상에 따라 패턴하여 형성한다.
이때, 상기 제 1 및 제 2 다결정 액티브층(106,108)은 제 1 액티브 영역(A1)과 제 2 액티브 영역(A2)으로 정의한다.
상기 제 1 액티브 영역(A1)은 액티브 채널(active channel)의 기능을 하고, 상기 제 2 액티브 영역(A2)은 오믹 콘택층(ohmic contact layer)의 기능을 하게 된다.
다음으로, 상기 제 1 및 제 2 다결정 액티브층(106,108)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연 물질 그룹 중 선택된 하나로 게이트 절연막(110)을 형성한다.
다음으로, 상기 제 1 및 제 2 다결정 액티브층(106,108)의 제 1 액티브 영역(A1)에 대응하는 게이트 절연막(110)상에 각각 게이트 전극(112,114)을 형성한다.
상기 게이트 전극이 형성된 기판(100)의 전면에 불순물 이온을 도핑하는 공정을 진행한다.
이와 같은 공정으로, 상기 제 1 및 제 2 다결정 액티브층(106,108)의 제 2 액티브 영역(A2)은 오믹콘택층(ohmic contact layer)으로서의 기능을 하게 된다.
도 9c와 도 10c에 도시한 바와 같이, 상기 스위칭 영역(S)과 구동 영역(D)에 게이트 전극(110,112)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNx)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 층간 절연막(116)을 형성한 후 패턴하여, 상기 제 1 및 제 2 다결정 액티브층(106,108)의 양측 제 2 액티브 영역(A2)을 각각 노출하는 제 1 콘택홀(118a,118b)과 제 2 콘택홀(120a,120b)을 형성한다.
동시에, 상기 구동 영역(D)에 형성한 게이트 전극(114)의 일 끝단을 노출하는 게이트 콘택홀(122)과 상기 전원 배선(102)의 일부를 노출하는 전원 배선을 콘택홀(124)을 형성한다.
도 9d와 도 10d에 도시한 바와 같이, 상기 층간 절연막(116)이 형성된 기판(100)의 전면에 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 알루미늄합금(AlNd), 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 몰리텅스텐(MoW)등을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나 또는 하나 이상의 금속을 적층한 후 패턴하여, 상기 스위칭 영역(S)과 구동 영역(D)의 제 1 및 제 2 콘택홀을 통해 상기 제 1 및 제 2 다결정 액티브층(106,108)의 제 2 액티브 영역(A2)과 접촉하는 소스 전극(130,134)과 드레인 전극(132,136)을 형성한다.
이때, 상기 스위칭 영역(S)의 드레인 전극(132)은 노출된 구동 영역(D)의 게이트 전극(114)과 접촉하고, 상기 구동영역 소스 전극(134)은 상기 전원 배선(102)과 접촉하도록 구성한다.
이때, 상기 스위칭 영역(S)의 소스 전극(132)과 접촉하는 데이터 배선(도 6의 138)을 형성한다.
도 9e와 도 10e에 도시한 바와 같이, 스위칭 영역(S)과 구동 영역(D)에 각각 소스 및 드레인 전극(130,134/132,136)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNx) 또는 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연 물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하거나, 경우에 따라서는 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)를 포함하는 유기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 도포하여 보호막(138)을 형성한다.
다음으로, 상기 구동 영역(D)의 드레인 전극(136)을 노출한 후, 상기 발광영역(E)에 드레인 전극과 접촉하는 유기 발광부를 형성한다.
상기 유기 발광부는 상기 구동 영역(D)의 드레인 전극(136)과 접촉하는 제 1 전극(140)과, 상기 제 1 전극(140)의 상부에 구성된 유기 발광층(142)과, 상기 유기 발광층(142)이 형성된 기판(100)의 전면에 구성된 제 2 전극(146)으로 구성한다.
상기 제 1 전극(140)은 전자(electron)를 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 상기 제 2 전극은 홀(hole)을 주입하는 음극 전극(cathode electrode)이다.
이때, 상기 전자와 홀의 이동이 쉽도록 상기 제 1 전극(140)과 근접한 유기 발광층(142a)은 홀수송층(142b)을 더욱 구성하고, 상기 제 2 전극(140)과 근접한 유기 발광층(142a)에는 전자 수송층(142c)을 더욱 구성한다.
전술한 구성은, 투명한 양극 전극(140)이 하부에 구성되어 하부 발광식으로 사용되지만 도 8의 경우와 같이 상기 전원 배선이 하부에 구성된 경우에는 상부 발광식으로 사용하기 위해 불투명한 양극 전극을 사용하는 동시에 투명한 음극 전극을 사용하면 된다.
그런데, 양극 전극은 주로 투명한 물질이고 음극 전극은 불투명한 물질이므로, 하부의 투명한 양극 전극에 빛이 투과되지 않을 정도의 불투명한 도전성 금속층을 더욱 구성할 수 있고, 상부의 음극 전극은 음극 전극 자체를 얇게 구성하여 빛이 투과되도록 하는 방법도 사용할 수 있다.
전술한 제 1 실시예의 구성은 상기 전원 배선을 격자 형상으로 구성한 예를 설명하였다. 이하, 제 2 실시예를 통해 제 1 실시예의 변형예를 설명한다.
-- 제 2 실시예 --
본 발명의 제 2 실시예의 특징은 유기전계 발광소자의 표시영역에 해당하는 전면에 이와 동일한 면적의 전원 배선을 형성하는 것이다.
도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 어레이부의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.(설명의 편의를 위해 전원배선만을 표시함.)
도시한 바와 같이, 기판(100)을 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)으로 나누고, 상기 표시영역(DA)에 대응하여 이와 동일한 면적으로 전원배선(102)을 형성하는 것을 특징으로 한다.
상기 평면 형상의 전원배선(102)은 기판(100)의 일측에서 비표시 영역(NDA)에 형성한 전원 배선(VL)을 통해 상기 기판(100)의 타측에 구성된 전원배선 패드(VP)로부터 입력된 신호를 받게 된다.
전술한 구성에서, 상기 표시영역(DA)에 구성한 전원배선(102)이 표시영역의 전면에 이와 동일한 면적으로 형성되었으므로 상기 비표시영역(NDA)의 전원배선(VL)을 통해 입력된 신호는 표시영역(DA)의 전면에 대해 동시에 인가되는 형상이 된다.
따라서, 전원 배선의 저항이 매우 낮아지게 되며 이로 인해 유기전계 발광소자의 전면에 대해 고른 화질을 구현할 수 있다.
전술한 바와 같이, 격자 형상으로 구성된 전원 배선을 실제 설계하게 되면 이하, 첨부하는 도면과 같은 레이아웃(layout)으로 구성할 수 있다.
도 12는 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자 어레이부의 일부를 도시한 확대 평면도이다.
도시한 바와 같이, 기판(100)의 일면에 일방향으로 연장된 게이트 배선(116)과, 상기 게이트 배선(116)과 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(138)을 구성한다.
기판(100)의 전면에 대해 전원 배선(102)을 형성한다.
상기 게이트 배선(116)과 데이터 배선(138)의 교차지점에는, 각각 게이트 전극(112,114)과 액티브층(106,108)과 소스 전극(130,134)과 드레인 전극(132,136)을 포함하는 구동 소자(TS)와 스위칭 소자(TD)를 구성한다.
상기 스위칭 소자(TS)의 게이트 전극(112)은 상기 게이트 배선(116)과 연결하고, 상기 소스 전극(130)은 데이터 배선(138)과 연결하고, 상기 드레인 전극(132)은 구동 소자(TD)의 게이트 전극(114)과 연결하도록 구성한다.
상기 구동 소자(TD)의 소스 전극(134)은 상기 전원배선(102)과 연결하고 드레인 전극(136)은 도시하지는 않았지만 발광부의 제 1 전극(양극 전극)과 연결하도록 구성한다.
전술한 구성에서, 특징적인 것은 상기 전원 배선(102)을 형성할 때 기판(100)의 전면에 대해 구성한다는 것이다.
이와 같이 하면, 제 1 실시예의 격자 형상에 비해 저항이 더욱 낮아지므로, 패널의 전면에 대해 신호가 균일하게 입력될 수 있다.
이와 같은 구성은 앞의 도 8의 구성과 유사하게, 상기 화소 영역을 전원배선이 모두 차지하도록 설계되었기 때문에 발광부에서 발광된 빛이 어레이부를 통과하도록 할 수는 없다.
따라서, 상기 구동 소자(TD)의 드레인 전극(136)과 연결하는 유기 발광부의 제 1 전극으로 불투명한 양극 전극을 사용하고, 상기 유기발광부의 제 2 전극으로 투명한 음극 전극을 사용하는 것이 바람직하다.
그런데, 일반적으로 유기전계 발광소자는 캡을 이용한 캡슐화 공정시, 상기 캡과 발광소자를 부착하는 실런트를 자외선을 이용하여 경화하게 된다.
이때, 상기 자외선에 의한 유기발광부의 열화를 방지하기 위해 발광부를 차단하는 섀도우 마스크를 별도로 구성하게 되지만, 전술한 도 12와 같이 제작된 어레이부를 포함하는 유기전계 발광소자는 별도의 섀도우 마스크를 사용할 필요가 없다.
이에 대해, 도면을 참조하여 설명한다.
도 13은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자(EL)는 투명한 제 1 기판(100)의 상부에 박막트랜지스터(T)어레이부(150)와, 상기 박막트랜지스터 어레이부(150)의 상부에 제 1 전극(140)과 유기 발광층(142)과 제 2 전극(146)이 구성된다.
이때, 상기 발광층(142)은 적(R),녹(G),청(B)의 컬러를 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 상기 각 화소(P)마다 적,녹,청색을 발광하는 별도의 유기물질을 패턴하여 사용한다.
상기 제 1 기판(150)이 흡습제(172)가 부착된 제 2 기판(170)과 실런트(160)를 통해 합착됨으로써, 캡슐화된 유기전계 발광소자(EL)가 완성된다.
이때, 상기 흡습제(172)는 캡슐내부에 침투할 수 있는 수분과 산소를 제거하기 위한 것이며, 기판(170)의 일부를 식각하고 식각된 부분에 흡습제(172)를 채우고 테이프(174)로 고정한다.
전술한 바와 같이, 실런트(142)를 통한 합착공정이 끝나면, 상기 실런트(142)를 경화하는 공정을 진행하는데 이때 패널의 하부에서 자외선을 조사하여 실런트를 경화하게 된다.
이때, 제 1 기판(100)의 전면에 전원 배선이 존재하게 되므로 별도의 차단 마스크를 사용할 필요 없이 자외선을 조사하면 된다.
따라서, 섀도우 마스크를 필요로 하지 않으므로 비용을 절감할 수 있는 장점 또한 가진다.
이하, 제 3 실시예를 통해, 앞서 설명한 제 1 실시예 및 제 2 실시예에 제안된 박막트랜지스터 어레이부와 유기발광부를 별도의 기판에 구성하여 제작한 듀얼플레이트 구조의 유기전계 발광소자를 제안한다.
-- 제 3 실시예 --
본 발명의 특징은 전술한 제 1 실시예와 제 2 실시예에서 제안한 박막트랜지스터와 이에 연결되는 유기발광부를 별도의 기판에 구성하는 것을 특징으로 한다.
도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 구성을 도시한 단면도이다.
도시한 바와 같이 본 발명에 따른 듀얼 플레이트 구조의 유기전계 발광소자(99)는 박막트랜지스터(T)와 어레이층(AL)이 구성된 어레이기판(AS)과, 발광층과 양극 및 음극 전극이 구성된 발광기판(ES)으로 구성된다.
상기 어레이기판(AS)과 발광기판(ES)은 실런트(300)를 이용하여 합착한다.
상기 어레이기판(AS)과 발광 기판(ES)은 다수의 화소 영역(P)으로 정의되며 도시하지는 않았지만, 어레이기판(AS)은 투명한 제 1 기판(100)상에 스위칭 소자와 이에 연결된 구동소자를 구성한다.
상기 스위칭 소자(TS)와 구동 소자(TD)는 화소 영역(P)마다 형성한다.
상기 발광기판(ES)은 투명한 제 2 기판(200)상에 먼저, 양극 전극(202)을 형성하고 양극 전극(202)의 하부에는 유기 발광부(208)를 형성하는데, 상기 유기 발광부(208)는 적색과 녹색과 청색의 빛을 발광하는 유기물질을 화소 영역(P)에 순차 패턴함으로써 형성한다.
상기 유기 발광부(208)의 하부에는 음극 전극(210)을 화소 영역(P)마다 독립적으로 형성한다.
상기 유기 발광부(208)는 유기 발광층(208a)과, 유기 발광층(208a)과 음극 전극(210)사이에 위치하는 전자수송층(208c)과, 상기 유기 발광층(208c)과 양극 전극(202) 사이에 위치하는 홀수송층(208b)으로 구성한다.
전자수송층(208c,ETL)과 홀수송층(208b,HTL)을 더욱 구성하여 전자와 홀의 이동이 쉽도록 한다.
상기 음극 전극(210)은 어레이기판(AS)의 구동 소자(TD)와 연결하여 구성하는데 이때, 두 기판(AS,ES)의 갭을 고려하여 소정 높이를 가지는 연결전극(400)을 음극 전극(210)과 구동소자 사이에 구성할 수 있다.
이때, 상기 박막트랜지스터 어레이부는 앞서 설명한 제 1 실시예와 제 2 실시예에 따라 제작된 박막트랜지스터 어레이부를 사용할 수 있다.
전술한 듀얼플레이트 구조는 일반적인 구조와는 달리 전극의 제약없이 상부발광식으로 구동할 수 있으며, 상기 하부 어레이부를 설계할 때 개구영역에 대해 고려할 필요가 없기 때문에 설계의 자유도가 매우 높고, 어레이부와 발광부를 별도로 제작하기 때문에 불량이 발생하여도 불량난 부분만 교체하면 되므로 생산 수율을 개선할 수 있는 장점이 있다.
전술한 바와 같은 제 1 실시예 내지 제 3 실시예를 통해 본 발명에 따른 유기전계 발광소자를 제작할 수 있다.
본 발명은 유기전계 발광소자의 전원 배선을 구성할 때, 표시영역에 대응하여 격자형상 또는 표시영역의 전면에 이와 동일한 면적으로 구성하기 때문에, 종래와는 달리 전원 배선의 저항을 충분히 낮출 수 있어, 균일한 화질의 유기전계 발광소자를 제작할 수 있는 효과가 있다.
또한, 전원 배선을 표시영역의 전면에 구성한 경우에는, 캡슐화 공정시 실런트를 경화하기 위해 자외선을 조사하는 공정에서 표시영역에 대한 자외선을 차단하기 위한 별도의 차단 마스크를 사용할 필요가 없다.
따라서, 비용을 절감하는 효과가 있다.
또한, 듀얼플레이트 구조로 구성하게 되면 전극의 제약 없이 상부발광식으로 구동할 수 있으며, 상기 하부 어레이부를 설계할 때 개구영역에 대해 고려할 필요가 없기 때문에 설계의 자유도가 매우 높고, 어레이부와 발광부를 별도로 제작하기 때문에 불량이 발생하여도 불량난 부분만 교체하면 되므로 생산 수율을 개선할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 유기전계 발광소자를 개략적으로 도시한 단면도이고,
도 2는 유기전계 발광소자의 등가회로도이고,
도 3은 종래에 따른 유기전계 발광소자의 박막트랜지스터 어레이부의 한 화소를 도시한 확대 평면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅲ-Ⅲ,Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 단면도이고,
도 5 종래에 따른 유기전계 발광패널의 구성을 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 전체 어레이부의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이고,
도 7은 본 발명의 제 1 실시예의 제 1 예에 따른 유기전계 발광소자의 어레이부의 구성을 개략적으로 도시한 확대 평면도이고,
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 어레이부의 구성을 개략적으로 도시한 확대 평면도이고,
도 9a 내지 도 9e와 도 10a 내지 도 10e는 도 7의 Ⅵ-Ⅵ,Ⅶ-Ⅶ을 따라 절단하여 본 발명의 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이고,
도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 전체 어레이부의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이고,
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 어레이부의 구성을 도시한 확대 평면도이고,
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 듀얼 플레이트 구조의 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>
100 : 기판 102 : 전원 배선
VL : 비표시 영역의 전원 배선 VP: 전원 배선 패드

Claims (21)

  1. 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시영역의 주변으로 비표시 영역이 정의된 기판과;
    상기 기판 상에 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선과;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와;
    상기 스위칭 소자와 구동 소자의 하부에, 상기 기판의 표시영역에 대응하여 격자형상으로 구성되고 상기 구동소자의 소스 전극과 접촉하는 전원 배선과;
    상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극과;
    상기 제 1 전극의 상부에 구성된 발광층과;
    상기 발광층의 상부에 구성된 제 2 전극;
    을 포함하는 유기전계 발광 소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)이며, 상기 양극 전극이 투명한 물질일 경우 불투명한 도전성 금속을 더욱 구성하고, 상기 음극 전극은 빛이 투과되는 두께로 얇게 구성한 유기전계 발광소자.
  3. 제 1 항에 있어서
    상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되는 동시에, 화소 영역에 대응한 일부 영역에 개구부가 구성된 유기전계 발광소자.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성된 유기전계 발광소자.
  5. 기판 상에 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시영역의 주변을 비표시 영역으로 정의하는 단계와;
    상기 기판 상에, 상기 표시 영역에 대응하여 격자형상의 전원 배선을 형성하는 단계와;
    상기 전원 배선의 상부에 절연막을 사이에 두고, 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자를 형성하는 단계와;
    상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극을 형성하는 단계와;
    상기 제 1 전극의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와;
    상기 유기 발광층의 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계;
    를 포함하는 유기전계 발광 소자 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)이며, 상기 양극 전극이 투명한 물질일 경우 불투명한 도전성 금속을 더욱 형성하고, 상기 음극 전극은 빛이 투과되는 두께로 얇게 형성한 유기전계 발광소자 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서
    상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되는 동시에, 화소 영역에 대응한 일부 영역에 개구부가 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
  9. 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시영역의 주변을 비표시 영역으로 정의한 기판과;
    상기 기판 상에 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선과;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와;
    상기 스위칭 소자와 구동 소자의 하부에, 상기 기판의 표시영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되고, 상기 구동소자의 소스 전극과 접촉하는 전원 배선과;
    상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극과;
    상기 제 1 전극의 상부에 구성된 발광층과;
    상기 발광층의 상부에 구성된 제 2 전극;
    을 포함하는 유기전계 발광 소자.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)이며, 상기 양극 전극이 투명한 물질일 경우 불투명한 도전성 금속을 더욱 구성하고, 상기 음극 전극은 빛이 투과되는 두께로 얇게 구성한 유기전계 발광소자.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 전원 배선과 구동 소자의 소스 전극이 연결되어 구성된 유기전계 발광소자.
  12. 기판 상에 다수의 화소 영역으로 구성된 표시 영역과, 표시 영역의 주변을 비표시 영역으로 정의하는 단계와;
    상기 기판 상에, 상기 표시 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 전원 배선을 형성하는 단계와;
    상기 전원 배선의 상부에 절연막을 사이에 두고, 수직하게 교차하는 게이트 배선과 데이터 배선을 형성하는 단계와;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에, 각각 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극으로 구성된 스위칭 소자와 구동소자를 형성하는 단계와;
    상기 구동소자의 드레인 전극과 연결되는 제 1 전극을 형성하는 단계와;
    상기 제 1 전극의 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와;
    상기 유기 발광층의 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계;
    를 포함하는 유기전계 발광 소자 제조방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)이며, 상기 양극 전극이 투명한 물질일 경우 불투명한 도전성 금속을 더욱 구성하고, 상기 음극 전극은 빛이 투과되는 두께로 얇게 구성한 유기전계 발광소자.
  14. 제 12 항에 있어서
    상기 제 2 전극을 형성한 후, 실런트를 통해 캡을 씌워 유기전계 발광소자를 캡슐화 하는 단계와;
    상기 기판의 하부에서 상기 표시 영역을 차폐하는 마스크 없이 자외선을 조사하여 상기 실런트를 경화하는 단계를 더욱 포함하는 유기전계 발광 소자 제조방법.
  15. 제 12 항에 있어서
    상기 전원 배선과 구동 소자의 소스전극이 연결되어 형성된 유기전계 발광 소자 제조방법.
  16. 서로 이격 하여 구성되고 다수의 화소영역이 정의된 표시 영역과, 표시 영역의 주변을 비표시 영역으로 정의한 제 1 기판과 제 2 기판과;
    상기 제 1 기판의 표시영역에 대응하여 구성된 격자형상의 전원 배선과;
    상기 화소 영역의 일측과 이에 수직한 타측에 구성된 게이트 배선과 데이터 배선과;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성되고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와;
    상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 구성된 제 1 전극과;
    상기 제 1 전극의 상부에 구성된 유기발광층과;
    상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소영역마다 독립적으로 패턴되어 상기 구동소자와 연결된 제 2 전극;
    을 포함하는 유기전계 발광소자.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 유기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 유기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)인 유기전계 발광소자.
  18. 제 16 항에 있어서
    상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 구성되는 동시에, 화소 영역에 대응한 일부 영역에 개구부가 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 격자형상의 전원배선의 일부는 화소 영역에 대응하여 이와 동일한 면적으로 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
  20. 서로 이격 하여 구성되고 다수의 화소영역이 정의된 표시 영역과, 비표시 영역으로 정의된 제 1 기판과 제 2 기판과;
    상기 제 1 기판의 표시영역에 대응하여 이와 동일 면적으로 구성된 격자형상의 전원 배선과;
    상기 화소 영역의 일측과 이에 수직한 타측에 구성된 게이트 배선과 데이터 배선과;
    상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 구성되고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터로 구성된 스위칭 소자와 구동소자와;
    상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 구성되는 제 1 전극과;
    상기 제 1 전극의 상부에 구성된 유기발광층과;
    상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소영역마다 독립적으로 패턴되어 상기 구동소자와 전기적으로 연결된 제 2 전극;
    을 포함하는 유기전계 발광소자.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 유기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 유기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)인 유기전계 발광소자.
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KR100747185B1 (ko) * 2005-12-26 2007-08-07 엘지전자 주식회사 전계발광표시장치
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