KR20050067253A - 유기전계 발광소자와 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로 특히, 상부 발광형 유기전계 발광소자에 관한 것이다.

본 발명은 유기전계 발광소자를 구성하는 박막트랜지스터 어레이부와 발광부를 별도의 기판에 각각 구성하고 이를 합착하여 제작한 듀얼플레이트(dual plate)구조의 유기전계 발광소자(dual plate organic electro-luminescence)의 구성과 그 제조방법을 제안한다.

이때, 상기 어레이부가 구성된 제 1 기판과, 상기 발광부가 구성된 제 2 기판을 합착하는 공정에 있어서, 합착수단인 실런트를 상기 제 1 또는 제 2 기판에 인쇄할 때 인쇄라인을 격자형상으로 구성하는 것을 특징으로 한다.

이로 인해, 상기 실런트 자체를 통한 투습 및 실런트와 상하 압력차에 의해 발생하는 투습현상을 제거할 수 있다.

따라서, 전술한 격자형상의 실런트 패턴으로 합착된 듀얼플레이트 구조의 유기전계 발광소자는 수분차폐로 소자의 수명을 연장할 수 있는 장점이 있고 또한, 탑에미션 방식으로 구동되므로 고개구율 및 고휘도를 구현할 수 있고, 생산관리의 측면에서 양호한 장점이 있다.

Description

유기전계 발광소자와 그 제조방법{The organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same}

본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로 특히, 고 개구율과 고 해상도를 구현할 수 있고, 수분 차단효과가 뛰어난 유기전계 발광소자와 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 유기전계 발광소자는 전자(electron) 주입전극(cathode)과 정공(hole) 주입전극(anode)으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 소자이다.

이러한 원리로 인해, 종래의 박막 액정표시소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있다.

또한, 유기전계 발광소자는 고품위 패널특성(저전력, 고휘도, 고반응속도, 저중량)을 나타낸다. 이러한 특성 때문에 OLED는 이동통신 단말기, CNS, PDA, Camcorder, Palm PC등 대부분의 consumer전자 응용제품에 사용될 수 있는 강력한 차세대 디스플레이로 여겨지고 있다.

또한 제조 공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 LCD보다 많이 줄일 수 있는 장점이 있다.

이러한 유기전계 발광소자를 구동하는 방식은 수동 매트릭스형(passive matrix type)과 능동 매트릭스형(active matrix type)으로 나눌 수 있다.

상기 수동 매트릭스형 유기전계 발광소자는 그 구성이 단순하여 제조방법 또한 단순 하나 높은 소비전력과 표시소자의 대면적화에 어려움이 있으며, 배선의 수가 증가하면 할 수록 개구율이 저하되는 단점이 있다.

반면, 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자는 높은 발광효율과 고 화질을 제공할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래의 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.

도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자(30)는 투명한 제 1 기판(32)의 상부에 박막트랜지스터(T)어레이부(34)와, 상기 박막트랜지스터 어레이부(34)의 상부에 제 1 전극(anode electrode)(36)과 유기 발광층(38)과 제 2 전극(cathode electrode)(40)이 구성된다.

이때, 상기 발광층(38)은 적(R),녹(G),청(B)의 컬러를 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 상기 각 화소(P)마다 적,녹,청색을 발광하는 별도의 유기물질을 패턴하여 사용한다.

상기 제 1 기판(32)이 흡습제(41)가 부착된 제 2 기판(48)과 실런트(47)를 통해 합착되므로서 캡슐화된 유기전계 발광소자(30)가 완성된다.

이때, 상기 흡습제(41)는 캡슐내부에 침투할 수 있는 수분과 산소를 제거하기 위한 것이며, 기판(48)의 일부를 식각하고 식각된 부분에 흡습제(41)를 채우고 테이프(25)로 고정한다.

이하, 도 2를 참조하여 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자의 박막트랜지스터 어레이부를 개략적으로 설명한다.

도 2는 유기전계 발광소자에 포함되는 박막트랜지스터 어레이부의 한 화소를 개략적으로 도시한 평면도이다.

일반적으로, 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자의 박막트랜지스터 어레이부는 기판(32)에 정의된 다수의 화소(P)마다 스위칭 소자(T_S)와 구동 소자(T_D)와 스토리지 캐패시터(storage capacitor : C_ST)가 구성되며, 동작의 특성에 따라 상기 스위칭 소자(T_S) 또는 구동 소자(T_D)는 각각 하나 이상의 박막트랜지스터의 조합으로 구성될 수 있다.

이때, 상기 기판(32)은 투명한 절연 기판을 사용하며, 그 재질로는 유리나 플라스틱을 예로 들 수 있다.

도시한 바와 같이, 기판(32)상에 서로 소정 간격 이격 하여 일 방향으로 구성된 게이트 배선(42)과, 상기 게이트 배선(42)과 절연막을 사이에 두고 서로 교차하는 데이터 배선(44)이 구성된다.

동시에, 상기 데이터 배선(44)과 평행하게 이격된 위치에 일 방향으로 전원 배선(55)이 구성된다.

상기 스위칭 소자(T_S)와 구동 소자(T_D)로 각각 게이트 전극(46,68)과 액티브층(50,62)과 소스 전극(56,66) 및 드레인 전극(60,63)을 포함하는 박막트랜지스터가 사용된다.

전술한 구성에서, 상기 스위칭 소자(T_S)의 게이트 전극(46)은 상기 게이트 배선(42)과 연결되고, 상기 소스 전극(56)은 상기 데이터 배선(44)과 연결된다.

상기 스위칭 소자(T_S)의 드레인 전극(60)은 상기 구동 소자(T_D)의 게이트 전극(68)과 콘택홀(64)을 통해 연결된다.

상기 구동 소자(T_D)의 소스 전극(66)은 상기 전원 배선(55)과 콘택홀(58)을 통해 연결된다.

또한, 상기 구동 소자(T_D)의 드레인 전극(63)은 화소부(P)에 구성된 제 1 전극(양극전극, 36)과 접촉하도록 구성된다.

이때, 상기 전원 배선(55)과 그 하부의 다결정 실리콘패턴(35)은 절연막을 사이에 두고 겹쳐져 스토리지 캐패시터(C_ST)를 형성한다.

이하, 도면을 참조하여 전술한 바와 같이 구성된 박막트랜지스터 어레이부를 포함하는 유기전계 발광소자의 단면구성을 설명한다.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 따라 절단한 유기전계 발광소자의 단면도이다.(구동소자(T_D)와 화소(발광부(P))의 단면만을 도시한 도면이다.)

도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 게이트 전극(68)과, 액티브층(62)과 소스 전극(66)과 드레인 전극(63)을 포함하는 구동소자인 박막트랜지스터(T_D)가 구성되고, 구동소자(T_D)의 상부에는 절연막(67)을 사이에 두고 구동소자(T_D)의 드레인 전극(63)과 접촉하는 제 1 전극(양극전극, 36)과, 제 1 전극(36)의 상부에 특정한 색의 빛을 발광하는 발광층(38)과, 발광층(38)의 상부에는 제 2 전극(음극전극,40)이 구성된다.

상기 구동소자(T_D)와는 병렬로 스토리지 캐패시터(C_ST)가 구성되며, 소스 전극(66)은 스토리지 캐패시터(C_ST)의 제 2 전극(전원배선)(55)과 접촉하여 구성되며, 상기 제 2 전극(55)의 하부에는 상기 다결정 실리콘인 제 1 전극(35)이 구성된다.

전술한 바와 같은 구성으로 종래에 따른 유기전계 발광소자를 제작할 수 있다.

그런데, 전술한 종래의 구성은 투명한 양극 전극이 어레이부에 구성되므로 유기 발광층으로부터 발광된 빛은 하부의 양극전극을 통해 하부로 발광하게 된다.

그러나, 종래의 유기전계 발광소자는 박막트랜지스터와 유기 발광층을 형성한 기판과 별도의 인캡슐레이션용의 기판을 합착하여 소자를 제작하였다.

이러한 경우 박막트랜지스터의 수율과 유기 발광층의 수율의 곱이 박막트랜지스터와 유기 발광층을 형성한 패널의 수율을 결정하게 된다.

종래의 경우와 같이 구성된 하판은 상기 유기 발광층의 수율에 의해 패널의 수율이 크게 제한되는 문제점을 가지고 있었다.

특히, 박막트랜지스터가 양호하게 형성되었다 하더라도, 1000Å정도의 박막을 사용하는 유기 발광층의 형성시 이물이나 기타 다른 요소에 의해 불량이 발생하게 되면 패널은 불량등급으로 판정된다.

이로 인하여 양품의 박막트랜지스터를 제조하는데 소요되었던 제반 경비 및 원재료비의 손실로 이어지고, 수율이 저하되는 문제점을 가지고 있었다.

또한, 종래와 같은 하부발광방식은 인캡슐레이션에 의한 안정성 및 공정의 자유도가 높은 반면 개구율의 제한이 있어 고해상도 제품에 적용하기 어려운 문제점이 있고, 상부발광방식은 박막트랜지스터 설계가 용이하고 개구율 향상이 가능하기 때문에 제품수명 측면에서 유리하지만, 기존의 상부 발광방식 구조에서는 유기전계발광층 상부에 통상적으로 음극이 위치함에 따라 재료의 선택폭이 좁기 때문에 투과도가 제한되어 광효율이 저하되는 점과, 광투과도의 저하를 최소화하기 위해 박막형 보호막을 구성해야 하는 경우 외기를 충분히 차단하지 못하는 문제점이 있었다.

본 발명은 이를 해결하기 위해 제안된 것으로, 상기 박막트랜지스터 어레이부와 유기 발광부를 별도의 기판에 구성한 후 이를 합착한 상부발광식 듀얼플레이트 구조의 유기전계 발광소자와 그 제조방법을 제안한다.

이때 특징적인 것은, 상기 발광부와 어레이부가 구성된 두 기판을 합착하는 공정에서 있어서 실런트를 인쇄하여 사용하게 되는데 인쇄라인을 격자형상으로 구성하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 하면, 상기 실런트 자체를 통한 투습 및 실런트와 상하 압력차에 의해 발생하는 투습현상을 제거할 수 있다.

따라서, 전술한 격자형상의 실런트 패턴으로 합착된 듀얼플레이트 구조의 유기전계 발광소자는 수분차폐효과로 인해 소자의 수명을 연장할 수 있는 장점이 있다.

또한, 어레이부와 발광부를 별도의 기판에 구성함으로써, 수율 및 생산성 향상 뿐 아니라 고 해상도와 고 신뢰성을 가지는 유기전계 발광소자를 제작할 수 있는 장점이 있고, 상기 격벽을 이중 격자형상으로 구성함으로써 이웃한 화소간의 쇼트(shot)불량을 줄일 수 있으므로 이 또한, 생산 수율을 개선할 수 있는 장점이 있다.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 다수의 화소영역이 정의된 제 1 기판과 제 2 기판과; 상기 제 1 기판 일면의 각 화소 영역마다 구성되는 스위칭 소자와, 이에 연결된 구동소자와; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 구성되는 제 1 전극과; 상기 제 1 전극의 상부에, 상기 각 화소 영역마다 패턴된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소 영역마다 독립적으로 패턴되고, 상기 구동소자와 접촉하는 제 2 전극과; 상기 제 1 및 제 2 기판의 합착하며, 기하학적 형상으로 겹겹이 구성된 실런트 패턴을 포함한다.

상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)이다.

상기 구동소자와 상기 제 2 전극에 동시에 접촉되는 연결전극을 더욱 한다.

상기 발광층과 상기 제 1 전극 사이에 홀 수송층이 더욱 구성되고, 상기 발광층과 제 2 전극에 사이에 전자 수송층이 더욱 구성된다.

상기 실런트 패턴은 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판의 둘레에 하나로 연결된 실라인이 다수개 이격하여 구성되고, 상기 실라인 사이에 수직패턴, 사선패턴, x 형태의 패턴이 다양하게 조합되어 구성된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 특징에 따른 유기전계 발광소자 제조방법은 제 1 기판과 제 2 기판에 다수의 화소 영역을 정의하는 단계와; 상기 제 1 기판 일면의 각 화소 영역마다 구성되는 스위칭 소자와, 이에 연결된 구동소자를 형성하는 단계와; 상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 전극의 상부에, 상기 각 화소 영역마다 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소 영역마다 독립적으로 패턴되고, 상기 구동소자와 접촉하는 제 2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 또는 제 2 기판의 둘레에 기하학적 형상으로 겹겹이 구성된 실런트 패턴을 형성하는 단계와; 상기 실런트 패턴을 통해 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.

-- 실시예 --

본 발명의 특징은 박막트랜지스터 어레이부를 구성한 제 1 기판과 발광부를 구성한 제 2 기판을 합착하여 유기전계 발광소자를 구성하되, 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 실런트를 인쇄할 때, 기판의 둘레에 여러겹의 실라인(seal line)으로 구성하고, 각 실라인 간에 기하학적인 패턴(격자형상)을 더욱 구성하는 것을 특징으로 한다.

도 4는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이다.(박막트랜지스터 어레이 패턴의 구성은 도 2와 동일하므로 도 2를 참조하여 설명한다.)

도시한 바와 같이 본 발명에 따른 듀얼 플레이트 구조의 유기전계 발광소자(99)는 박막트랜지스터(T)와 어레이층(AL)이 구성된 어레이기판(AS)과, 발광층과 양극 및 음극 전극이 구성된 발광기판(ES)으로 구성된다.

상기 어레이기판(AS)과 발광기판(ES)은 실런트(300a,300b)를 이용하여 합착한다.

상기 어레이기판(AS)과 발광 기판(ES)은 다수의 화소 영역(P)으로 정의되며 도시하지는 않았지만, 어레이기판(AS)은 투명한 제 1 기판(100)상에 스위칭 소자와 이에 연결된 구동소자를 구성한다.

상기 스위칭 소자(T_S)와 구동 소자(T_D)는 화소 영역(P)마다 형성한다.

상기 발광기판(ES)은 투명한 제 2 기판(200)상에 먼저, 양극 전극(202)을 형성하고 양극 전극(202)의 하부에는 유기 발광부(208)를 형성하는데, 상기 유기 발광부(208)는 적색과 녹색과 청색의 빛을 발광하는 유기물질을 화소 영역(P)에 순차 패턴함으로써 형성한다.

상기 유기 발광부(208)의 하부에는 음극 전극(210)을 화소 영역(P)마다 독립적으로 형성한다.

상기 유기 발광부(208)는 유기 발광층(208a)과, 유기 발광층(208a)과 음극 전극(210)사이에 위치하는 전자수송층(208c)과, 상기 유기 발광층(208c)과 양극 전극(202) 사이에 위치하는 홀수송층(208b)으로 구성한다.

전자수송층(208c,ETL)과 홀수송층(208b,HTL)을 더욱 구성하여 전자와 홀의 이동이 쉽도록 한다.

상기 음극 전극(210)은 어레이기판(AS)의 구동 소자(T_D)와 연결하여 구성하는데 이때, 두 기판(AS,ES)의 갭을 고려하여 소정 높이를 가지는 접촉전극(400)을 음극 전극(210)과 구동소자(T_D) 사이에 구성할 수 있다.

전술한 구성에서, 특징적인 것은 상기 발광 기판(ES)과 어레이 기판(AS)을 합착하기 수단인 실런트(300a,300b)를 상기 발광기판(ES)또는 어레이 기판(AS)에 인쇄할 때, 기판(ES,AS)의 둘레에 다수의 실라인(300a,300b)을 이격하여 구성하고, 각 실라인 사이에 기하학적 패턴(미도시,격자무늬)을 형성하는 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실런트 패턴의 형상을 구체적으로 설명한다.

도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 실런트 패턴의 형상을 다양하게 변형하여 도시한 평면도이다.

도 5는 제 1 예에 따른 실런트 패턴을 도시한 것으로, 기판(G)의 둘레에 이중의 실라인(300a,300b)을 구성하고, 실라인(300a,300b)사이에 이와는 수직한 수직 패턴(302)을 다수개 구성한다.

이때, 상기 다수의 수직패턴(302)은 등간격으로 형성할 필요는 없다.

다음으로, 도 6은 제 2 예에 따른 실런트 패턴의 변형예로, 기판(G)의 둘레에 실라인(300a,300b,300c)을 3중으로 구성하여, 각 실라인(300a,300b,300c)과 수직한 방향으로 수직 패턴을 다수개 구성한다.

도 7은 제 3 예에 따른 실런트 패턴의 변혀예로 도시한 바와 같이, 제 3 예로 기판(G)의 둘레에 실라인(3o0a,300b)을 이중으로 구성하고, 상기 실라인(300a,300b)과 수직한 다수의 수직패턴(302)과, 이웃한 수직패턴에 대해 대각선 방향인 사선패턴(304)을 구성한다. 이때, 사선 패턴의 방향은 변형 가능하다.

도 8은 제 4 예에 따른 실런트 패턴의 변형예로, 기판(G)의 둘레에 실라인(300a,300b)을 이중으로 구성하고, 상기 실라인(300a,300b)과 수직한 다수의 수직패턴(302)과, 이웃한 수직패턴 사이에 x 자형상 패턴(306)을 구성한다.

전술한 도 5내지 도 8에 도시한 바와 같이 실런트 패턴은 다양하게 변형가능하기 때문에 이들 모양을 모두 포함할 수 있는 기하학적 패턴으로 칭하도록하며, 이러한 실런트 패턴을 인쇄하여 두 기판을 합착하게 되면, 종래와는 달리 겹겹이 구성된 실런트 패턴에 의해 수분이 차단되어 유기발광층이 열화되는 현상을 방지할 수 있는 장점이 있다.

본 발명에 따른 실런트 패턴을 가지는 듀얼플레이트 구조 유기전계 발광소자는 아래와 같은 효과가 있다.

첫째, 상부 발광형이므로 하부 어레이패턴의 형상에 영향을 받지 않아 개구율을 확보할 수 있는 효과가 있다.

둘째, 발광부를 박막트랜지스터 어레이패턴의 상부에 구성하지 않고 별도로 구성하기 때문에, 유기전계 발광층을 형성하는 공정 중 상기 박막트랜지스터에 미칠 수 있는 영향들을 고려하지 않아도 되므로 수율을 향상하는 효과가 있다.

셋째, 실런트 패턴을 기하학적 형상으로 겹겹이 구성함으로써, 외부로 부터의 수분침투를 차단할 수 있어, 소자의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래에 따른 능동 매트릭스형 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이고,

도 2는 박막트랜지스터 어레이부의 한 화소를 개략적으로 도시한 평면도이고,

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ을 절단한 단면도이고.

도 4는 본 발명에 듀얼플레이트 구조의 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이고,

도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 실런트 패턴의 형상을 도시한 평면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>

100 : 제 1 기판 200 : 제 2 기판

202 : 제 1 전극(양극 전극) 208 : 발광층

210 : 제 2 전극(음극 전극) 300a,b : 실런트 패턴

400 : 연결 전극

Claims (11)

1. 다수의 화소영역이 정의된 제 1 기판과 제 2 기판과;

   상기 제 1 기판 일면의 각 화소 영역마다 구성되는 스위칭 소자와, 이에 연결된 구동소자와;

   상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 구성되는 제 1 전극과;

   상기 제 1 전극의 상부에, 상기 각 화소 영역마다 패턴된 유기 발광층과;

   상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소 영역마다 독립적으로 패턴되고, 상기 구동소자와 접촉하는 제 2 전극과;

   상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 수단이며, 기하학적 형상으로 겹겹이 구성된 실런트 패턴을

   포함하는 유기전계 발광소자.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)인 유기전계 발광소자.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 구동소자와 상기 제 2 전극에 동시에 접촉되는 연결전극을 더욱 포함하는 유기전계 발광소자.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 발광층과 상기 제 1 전극 사이에 홀 수송층이 더욱 구성되고, 상기 발광층과 제 2 전극에 사이에 전자 수송층이 더욱 구성된 유기전계 발광소자.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 구동소자와 스위칭 소자는 액티브층과 게이트 전극과 소스전극과 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터인 유기전계 발광소자.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 실런트 패턴은 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판의 둘레에 하나로 연결된 실라인이 다수개 이격하여 구성되고, 상기 실라인 사이에 수직패턴, 사선패턴, x 형태의 패턴이 다양하게 조합되어 구성된 유기전계 발광소자.
7. 제 1 기판과 제 2 기판에 다수의 화소 영역을 정의하는 단계와;

   상기 제 1 기판 일면의 각 화소 영역마다 구성되는 스위칭 소자와, 이에 연결된 구동소자를 형성하는 단계와;

   상기 제 1 기판과 마주보는 제 2 기판 일면에 제 1 전극을 형성하는 단계와;

   상기 제 1 전극의 상부에, 상기 각 화소 영역마다 유기 발광층을 형성하는 단계와;

   상기 유기 발광층의 상부에 구성되고, 상기 화소 영역마다 독립적으로 패턴되고, 상기 구동소자와 접촉하는 제 2 전극을 형성하는 단계와;

   상기 제 1 또는 제 2 기판의 둘레에 기하학적 형상으로 겹겹이 구성된 실런트 패턴을 형성하는 단계와;

   상기 실런트 패턴을 통해 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계

   를 포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 제 1 전극은 상기 발광층에 홀을 주입하는 양극 전극(anode electrode)이고, 제 2 전극은 상기 발광층에 전자를 주입하는 음극 전극(cathode electrode)인 유기전계 발광소자 제조방법.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 구동소자와 상기 제 2 전극에 동시에 접촉되는 연결전극을 더욱 포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.
10. 제 8 항에 있어서,

    상기 발광층과 상기 제 1 전극에 사이에 홀 수송층이 더욱 형성되고, 상기 발광층과 제 2 전극 사이에 전자 수송층이 더욱 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.
11. 제 7 항에 있어서,

    상기 실런트 패턴은 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판의 둘레에 하나로 연결된 실라인이 다수개 이격하여 구성되고, 상기 실라인 사이에 수직패턴, 사선패턴, x 형태의 패턴이 다양하게 조합되어 형성된 유기전계 발광소자 제조방법.