KR20050059752A - 개스 버블을 이용하여 유체를 펌핑하는 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

단순 구조를 가지며, 열손실을 방지할 수 있는 마이크로플루이딕 장치의 개스 버블을 이용한 유체 펌핑방법이 개시된다. 개스 버블을 이용한 마이크로플루이딕 장치의 유체 펌핑 방법은 바이오 플루이드 및 화학적 솔루션과 같은 유체를 이송시키기 위하여 작은 홀을 통해 유채가 채워진 마이크로 플루이딕 장치로 가스 버블을 주사하고, 주사된 가스 버블이 열모세관 압력에 기인하여 마이크로플루이딕 채널을 통해 움직이도록 광빔의 온도 활동을 제어한다. 광빔은 마이크로 채널의 광학적인 투명 덮개를 통해 개스 버블 근처 유체에 투사되며, 국부 영역의 펌프된 유체에 의해 흡수되어, 결과적으로 유체를 가열한다. 가열된 유체는 개스 방울 양단으로 압력 경도를 발생시키며, 그에 따른 모세관력을 유발한다. 결과적으로 광빔의 이동에 의한 개스 버블의 이동이 발생하며, 개스 방울의 체적에 따른 유체의 이동이 따르게 된다. 이와 같은 유체 펌핑은 광빔 제어에 의한 유체의 이송이 이루어지므로 마이크로 플루이딕 장치의 구조를 단순화시킬 수 있고, 열 손실을 제거할 수 있다.

Description

개스 버블을 이용하여 유체를 펌핑하는 장치 및 방법{Device and method for pumping fluids utilizing gas bubble in Microscale}
본 발명은 유체를 펌핑하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 마이크로 스케일에서 개스 버블기반으로 마이크로채널을 통해 유체를 펌핑하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
마이크로플루이딕 시스템은 유체역학과 MEMS(Micro Electeo Mechanics System)가 결합되어 마이크로 단위에서 유체의 흐름을 제어할 수 있도록 하는 시스템을 말한다. 일예로, 하나의 칩 안에 물방울의 수천 분의 일 만큼의 시료를 넣어 DNA를 추출하고, 유전자 돌연변이를 검사하는 등의 작업을 수행할 수 있도록 연구되고 있다.
마이크로스케일 채널들을 통해 유체, 바이오유체, 그리고 화학적 솔루션을 펌핑하는 것은 랩-온-어칩(Lab-on-a chip) 또는 마이크로 TAS(Total Analysis System)와 같은 장래의 마이크로플루이딕 시스템에 밀접한 관련이 있다. 버블 기반 마이크로플루이딕 펌핑은 그것들을 생성하는 것이 간단하고, 그 버블들이 다른 채널링 단면에 손쉽게 순응하는 능력에서 대단히 흥미가 있다.
미국특허 6,071,081에는 필름-보일링 현상을 적용한 히트-파워드 액체 펌프를 제시하였다. 이 펌프는 입구와 출구 밸브를 갖는 챔버와 챔버 바닥면에 위치한 가열시스템으로 구성한다. 가열시스템의 사용에 의해 챔버 내에서 가열된 액체는 버블을 생성한다. 버블이 열에너지의 펄스들에 기인하여 확장과 수축이 반복적으로 행해지면, 버블이 확장되는 동안 챔버로부터 액체를 밀어내고, 버블이 수축되는 동안 챔버로 액체를 끌어들이는 압력원으로서 행동한다. 이러한 방법으로 버블들의 체적에 대응하는 액체의 체적량을 분리하고, 이송시킬 수 있다.
위와 같은 방법은 역류를 방지하면서 넷(net) 유체 이동을 얻기 위하여 사용되는 작은 이동 밸브들이 매우 주의깊게 제조되어야 하는 섬세한 부품들이며, 오랜 기간 동작하기에는 신뢰성이 떨어지는 단점을 갖는다.
J. Microelectromechanical Systems, Vol. 11, No. 6, pages from 665 to 667, 2003에 공개된 J. H. Tsai, L. Lin의 원고 " A thermal- Bubble-Actuated Micronozzle-Diffuser Pump",는 써말 버블들을 주기적으로 재생성 및 붕괴시키는 작용 메카니즘을 보고한다. 이 마이크로펌프는 저항히터, 한쌍의 노즐확산 흐름 제어기, 그리고 펌핑 챔버로 구성된다. 넷 흐름은 노즐로부터 확산기로 발생된다.
위 마이크로 펌프의 단점은 입자들이 노즐 확산 경로를 차단할 가능성이 있으며, 버블 붕괴 펄스들로부터 펌핑 챔버가 파괴될 수 있다는 것이다.
미국 특허 6,283,718에는 채널들을 통해 전기적인 도체 또는 부도체의 액체를 펌핑하는 방법을 제시한다. 이 액체는 액체 챔버 및/또는 마이크로플루딕 장치의 채널 내에 배치된다. 에너지원은 챔버 또는 채널 내에 증기 버블을 형성하기 위하여 마이크로펌프에 적용된다. 증기 버블의 형성과 붕괴 사이클은 마이크로 펌프 내의 액체를 이송시키는 액체의 펌핑 활동을 달성한다.
송과 Zhao의 원고 "Modeling and test of thermally - driven phase change nonmechanical pump", J. Micromech. Microeng, Vol. 11, pp. 713-719, 2001,에는 열구동 위상 변화 비기계 마이크로 펌프가 묘사된다. 이 펌프는 유리 튜브와 수개의 균일 공간 열 원소 또는 수개의 유리 튜브를 따라 이동하는 저항 열원으로 구성한다. 이러한 펌프에서 액체의 펌핑은 적당한 위상 열 요소에 의해 발생된 이동 증기 버블의 작용을 이용하는 것으로 실현되었다.
위와 같은 펌프는 10와트 이상의 높은 소비전력이 요구되고, 느린 열응답과 위상 성장의 수동적 제어로 특징지워진다.
위 언급된 펌핑 원리와 펌프들의 심각한 단점은 펌프된 유체가 대부분의 펌프된 유체와 마이크로플루이딕 장치들에 적용할 수 없는 끓는점까지 가열되어야 한다는 것이다.
N.R. Tas, T.W. Berenschot, T.S.J. Lammerink, M. Elwenspoek, A. van den Berg는 "Nanofluidic Bubble Pump Using Surface Tension Directed Gas Injection", Anal. Chem. Vol. 74, pp. 2224-2227, 2002,의 원고에서, 마이크로채널 벽의 미세크기 홀을 통해 표면 장력 개스의 직접 주입에 기반한 표면 미세가공된 친수성의 유채 채널로 액체를 조작하는 방법을 제시하였다. 주입된 가스는 마이크로채널의 비대칭 단면에 의해 배기되며, 그로 인해 미소한 액체 용량을 이동시킨다.
위 마이크로 펌핑의 단점은 수동적인 가력 메카니즘과 마이크로채널들의 특정 구조이다. 이러한 펌핑 원리의 또 다른 몇가지의 단점은 제조 공정이 복잡하고, 물성의 전도열 때문에 열손실이 있다는 것이다. 채널을 통한 버블 이동의 부정확한 제어와 다수의 히터들은 온도제어와 마이크로펌프의 패키징에 대한 대응방안을 요구한다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 고체끼리의 마찰과 열손실을 제거할 수 있으면서 마이크로채널을 통해 바이오플루이드 또는 화학적인 액체를 버블 기반으로 펌핑하는 마이크로플루이딕 장치 및 그 펌핑방법을 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 마이크로 유체 펌핑 장치는, 두 유체 저장소와 상기 두 유체 저장소 사이의 상호 유체 이동을 위한 두개의 채널 하부패턴이 형성된 기판, 상기 두 유체 저장소와 상기 두개의 채널 형성을 위한 상부 패턴이 형성되어 상기 기판과 압착되는 커버, 및 상기 두 유체 저장소 및 상기 두 채널에 채워지며 광에너지를 흡수하는 유체에 대해 상기 기판 및/또는 상기 커버에 형성된 소정 크기의 홀을 통해 상기 두 채널에 각각 주사된 개스 버블을 이용하여 일측 유체 저장소로부터 타측 유체 저장소로 유체가 이동될 수 있도록 외측에서 소정 레벨의 광을 조사하는 이동 광원을 포함한다.
여기서, 상기 기판 및 상기 커버는 광투과율이 높은 투명재질의 소재를 이용하며, 예로써 석영판이 이용될 수 있다.
또한, 상기 이동 광원으로부터 조사된 광빔은 상기 개스 버블 이동방향 선단부에 조사되며, 상기 이동 광원은 상기 두 채널 중 일 채널을 따라 이동되며 광빔을 조사한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 마이크로 유체 펌핑 장치는, 제 1 평판, 제 2 평판, 상기 제 1 평판과 상기 제 2 평판 사이에 압착되어 두 유체 저장소와 상기 두 유체 저장소 사이의 유체 이동을 위한 두개의 채널 패턴이 형성된 구조물층, 및 상기 두 유체 저장소 및 상기 두 채널에 채워지며 광에너지를 흡수하는 유체에 대해 상기 제 1 평판 및/또는 상기 제 2 평판에 형성된 소정 크기의 홀을 통해 상기 두 채널에 각각 주사된 개스 버블을 이용하여 일측 유체 저장소로부터 타측 유체 저장소로 유체가 이동될 수 있도록 외측에서 소정 레벨의 광빔을 조사하는 이동 광원을 포함한다.
상기 제 1 및 제 2 평판은 광투과율이 높은 투명판을 이용할수 있으며, 예로써 석영판이 이용될 수 있다.
상기 이동 광원으로부터 조사된 광빔은 상기 개스 버블 이동방향 선단부에 조사되며, 상기 이동 광원은 상기 두 채널 중 일 채널을 따라 이동하며 광빔을 조사한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 마이크로 유체 펌핑 방법은, 두 유체 저장소와 상기 두 유체 저장소 사이의 상호 유체 이송을 위한 두 채널 형성을 위해 소정 구조를 갖는 판이 결합된 마이크로 유체 펌핑 장치의 펌핑 방법에 있어서, 상기 두 유체 저장소 및 상기 두 채널에 채워지며 광에너지를 흡수하는 유체에 대해 상기 판에 형성된 홀을 통해 상기 두 채널에 각각 개스 버블을 주사하는 단계, 및 주사된 상기 개스 버블을 이용하여 일측 유체 저장소로부터 타측 유체 저장소로 유체가 이동될 수 있도록 외측에서 상기 유체에 조사되는 소정 레벨의 광빔을 제어하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 광 제어 단계는, 상기 두 채널 중 일 채널에 주사된 상기 개스 버블에 대해 모세관력을 발생시키도록 광빔을 조사하는 단계, 및 상기 광 조사 단계에서 조사된 광빔을 일측 채널을 따라 이동시키는 단계를 포함한다.
또한, 상기 광 조사 단계에서는, 상기 개스 버블 이동방향 선단부에 광빔이 조사되도록한다.
이상과 같은 본 발명의 마이크로 유체 펌핑 장치 및 방법에 의하면, 마이크로스케일 상에서 광을 이용하여 개스 버블의 제어를 정확하게 수행할 수 있어 어떤 기계적인 이동 부품과 저항 히터들 없이 마이크로 채널을 통해 액티브 버블 기반으로 바이오 플루이드 또는 화학적인 액체를 펌핑할 수 있게 된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 일부의 부재 및 영역에 대해서는 서로 다른 도면일지라도 동일 부재번호를 부여하여 설명함을 명시한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 유체 펌핑장치의 개략적인 구조를 나타낸 사시도이다. 마이크로 유체 펌핑 장치(10)는, 두 유체 저장소(2, 2') 및 두 채널(3, 3')의 상부 패턴 및 하부패턴이 각각 형성된 상하부의 덮개(5)와 기판(5'), 및 덮개(5) 위의 소정 높이에서 두 채널 중 어느 한 채널을 따라 이동하며 광빔을 조사하도록 설치된 광공급모듈(6)을 포함한다.
위 마이크로 유체 펌핑 장치(10)에서 덮개(5)의 채널(3, 3') 대응 부위에는 주사기와 같은 주입 수단을 통해 개스 버블을 주입할 수 있도록 매우 작은 홀(미도시)이 형성된다.
마이크로 유체 펌핑장치(10)는 위 덮개(5)와 기판(5')이 서로 압착되어 두 유체 저장소(2, 2') 및 두 유체 저장소(2, 2')를 연결하는 두 채널(3, 3')을 형성한다. 한편, 위와 같은 마이크로 유체 펌핑 장치(10)에서는 덮개(5)와 기판(5')의 압착 결합을 용이하도록 하기 위하여 덮개(5)와 기판(5') 사이에 유체 저장소(2, 2') 및 채널(3, 3')이 패턴된 얇은 막 형태의 구조물이 이용될 수 있다.
위와 같은 마이크로 유체 펌핑 장치(10)에서 내부 형성 공간에 적용될 유체가 채워진 후의 펌핑 동작을 실시하기 위해서는, 먼저, 도 2와 같이 주변 공기 또는 어떤 비활성 개스에 상응하는 개스 버블(12)이 주사기(13)로 마이크로플루이딕 채널(3, 3')에 대응되도록 덮개(5)에 형성된 작은 홀(14)을 통해 주입된다. 그리고 개스 버블(12)은 광제공모듈(6)에서 조사되는 광빔의 열활동으로 제어되는 모세관력에 의해 구동된다. 광빔은 상부 덮개(5)의 투명벽을 통해 두 마이크로프루이딕 채널(3, 3') 에 주입된 개스 버블(12) 중 어느 한 채널(3 또는 3')에 주입된 개스 버블(12) 근처의 펌프된 유체로 투사되며, 펌프된 유체 또는 기판의 표면으로 흡수된다. 이와 같은 광빔의 열활동은 유체의 모세관 압력을 감소시키고, 마이크로 채널(3)을 통해 버블의 움직임과 함께 유체를 밀어내는 요인으로 작용한다.
도 2A~2D는 도 1의 마이크로 유체 펌핑 장치에서 광빔에 의해 제어되는 모세관력에 기인한 개스 버블 이동 과정을 설명하는 단면도들이다. 도 2A에서 마이크로 채널(3)은 펌프된 유체로 가득 차며, 개스 버블(12)이 주사되어 있다. 그리고 광빔(22)은 마이크로 채널(3)에 대응하는 부위의 상부 덮개(5)를 통해 개스 버블(12) 선단부(24) 근처 유체에 투사되고, 국부 영역(26)의 유체에 의해 흡수되며, 결과적으로 국부 영역(26)의 유체를 가열한다. 여기서, 유체의 가열 온도는 광파워로 제어되며, 모세관력을 유발하는 레벨에서 유지된다. 그러나 이 온도 레벨은 유체의 끓는 온도보다는 적다. 가열된 유체(26)는 가열에 기인하여 유체의 표면 장력 감소로 나타나며, 개스 방울(12) 양단의 모세관 압력 차를 생성한다. 그 결과, 도 2B-2D에 묘사된 것처럼 가열된 유체 영역(26)의 중심으로 개스 버블(12)이 Ub의 속도로 이동한다. 그러한 개스버블(12)의 이동은 개스 버블(12) 이동방향 선단부(24)에 압력 경도를 생성하며, 그에 따라 마이크로 채널(3)에서 유체를 밀어내게 된다. 그리고 광빔(22)이 도 2B-2D와 같이 마이크로 채널(3)을 따라 이송될 때, 개스 버블(12)은 위의 설명처럼 새롭게 가열된 유체 영역(26)의 중심으로 이동한다.
따라서, 마이크로 채널(3)을 따라 광빔을 Ul로 속도로 연속 이동시키는 것은 개스 버블(12)에 대해 속도 Ub의 이동을 발생시킨다. 그리고 위와 같은 동작은 마이크로 채널(3)에서 유체를 밀어내는 즉, 유체를 펌프하는 동작을 수행하는 결과로 나타난다.
마이크로스케일에서 잘 알려진 모세관력은 유체 행동에 미치는 다른 힘에 관련해서 지배적이다. 이러한 모세관힘을 제어하는 것은 유체 펌핑 시스템에서 구동 메카니즘으로 서브될 수 있다. 제안된 방법은 펌프된 유체로 가득찬 마이크로 채널에 광빔의 열활동에 의해 제어된 개스버블을 구동하기 위하여 모세관 압력을 이용하는 것이다.
광 흡수에 기인하여 유체 내에서 열 볼륨 소스 분배율()은 다음과 같은 Bouger-εLambert 법칙으로 나타낸다.
{ ε : 유체의 흡광도
I0 : 충돌 광빔의 밀도
z0 : 플루이딕 채널의 농도
z : 수직축의 변화 }
버블 일단 근처의 펌프된 유체에 대한 국부적인 광가열은 펌프된 유체의 표면장력 감소를 야기하고, 개스 버블 양단 사이에 표면 장력의 차 △б = |б'T|ΔT, 그리고 열 모세관 압력 차 ΔP = 2cosθ △б/R를 생성하고, 이로인해 버블의 움직임과 유체 펌핑의 결과를 나타낸다. 여기서, б'T 는 온도 표면장력계수, θ 는 접촉각, R은 곡률반경, ΔT는 개스 버블 양단 사이의 온도차이다.
광빔 이용의 장점은 열처리가 유체의 볼륨에 의해 직접적으로 흡수된 광에너지에 기인하여 매우 효과적이고, t=10-10초 동안 열로 변환된다는 점이다.
또 다른 광빔 선택의 특징은 마이크로 펌핑 시스템의 기판 상에 저항 히터와 보호층의 구조가 복잡하거나 상세할 것이 요구되지 않는다는 것이다. 따라서 본 발명은 구조의 단순함을 제공하고, 이 방법을 이용하는 펌프의 제조를 위해 특별한 물질이 요구되지 않는다는 것이다.
도 4 및 도 5는 제안된 개스 버블을 이용한 유체 펌핑 방법이 사용된 또 다른 개략적인 마이크로 유체 펌핑 장치의 사시도 및 단면도이다.
마이크로 유체 펌핑 장치(110)는 두 석영판(105, 105'), 두 석영판(105, 105') 사이에 유체 저장소(102, 102')와 두 채널(103, 103')이 패턴된 구조물층(104), 그리고 상부 석영판(105) 위의 소정 높이에서 두 채널(103, 103') 중 어느 한 채널을 따라 이동하며 광빔을 조사하도록 설치된 광공급모듈(106)을 포함한다.
위와 같은 마이크로 유체 펌핑장치(110)에서 석영판(105, 105')의 채널(3, 3') 대응 부위에는 주사기와 같은 주입 수단을 통해 개스 버블을 주입할 수 있도록 매우 작은 홀(미도시)이 형성된다.
마이크로 유체 펌핑장치(110)는 위 세개의 층이 서로 압착되어 두 유체 저장소(2, 2') 및 두 유체 저장소(2, 2')를 연결하는 두 채널(3, 3')을 형성하며, 이 형성된 공간으로 적용될 유체가 채워지게 된다.
마이크로 유체 펌핑 장치(110)의 내부에서 두 유체 저장소(102, 102')를 연결하는 두 채널(103, 103')은 각각 10mm의 길이와 1.2mm 폭을 갖도록 형성한다. 두 유체 저장소(102, 102')와 두 채널이 형성된 구조물층(104)은 50㎛ 두께를 가진다. 그리고 광제공모듈(106)은 UV램프가 이용된다.
도 5는 도 4의 마이크로 유체 펌핑 장치에서 유체 저장소 및 채널에 광 에너지를 흡수하는 유체가 차 있으며, 두개의 가스 버블(112, 112')이 주입된 상태를 나타낸 평면도이다. 제 1 개스 버블(112)은 유체를 밀기 위하여 피스톤처럼 서브하며, 제 2 개스 버블(112')는 유체 흐름의 유도자로서 서브한다. 제어 광빔(122)은 UV 램프로부터 대략 50mW/mm2로 조사된다. 그리고 상부 석영판(105)을 통해 피스톤 버블(112) 근처의 유체로 투사된다. 펌핑하는 과정에서 피스톤 버블(112)은 모세관력 때문에 광빔과 함께 최대 속도 Ub = 0.3 mm/s로 왼쪽에서 오른쪽으로 이동되며, 동시에 유도 버블(112')은 이동 피스톤 버블에 의해 생성된 헤드 압력에 기인하여 반대 방향으로 밀린다.
위와 같은 마이크로 유체 펌핑 장치는 실제 실험에서 분당 1㎕ 이상의 전송율을 나타내었다.
한편, 상기의 마이크로 유체 펌핑 장치에서는 석영판을 구체적인 예로서 제시하였으나 투명재질의 다양한 소재가 이용될수 있으며, 광원으로서는 UV램프에서 레이저 빔까지, 또는 VCSEL 어레이 등 다양한 광빔원이 이용될수 있다.
이상과 같은 본 발명의 마이크로 유체 펌핑 장치 및 방법은 마이크로 스케일에서 광을 통한 개스 버블을 이동시키는 것으로 보다 정확하게 바이오 유체 또는 화학적 솔루션을 이동시킬 수 있어 미세 구조의 다양한 마이크로플루이딕 시스템에 적용될 수 있다.
또한, 광 및 버블을 이용하므로 온도가 낮게 떨어진 경우에도 동작이 허용되어 유체에 대해 보다 안전한 펌핑 동작의 수행을 가능하게 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 유체 펌핑 장치의 개략적인 사시도,
도 2는 도 1의 장치에서 주사기로 채널에 개스 버블을 주사하는 방법의 예를 나타낸 단면도,
도 3A~3D는 도 1의 장치에서 개스 버블을 이용한 유체 펌핑 과정을 설명하는 단면도들,
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마이크로 유체 펌핑 장치의 개략적인 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 개스 버블을 이용한 유체 펌핑 장치에 펌프된 유체와 두개의 개스 버블로 채워진 펌프의 평면도,
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
2, 2', 102, 102': 유체 저장소 3, 3', 103, 103': 채널
5, 105: 덮개 5', 105': 기판
6, 106: 광공급모듈 10, 110: 마이크로 유체 펌핑 장치
12, 112, 112': 개스 버블 13: 주사기 바늘
14: 홀 22: 광빔
24: 개스버블 선단 26, 126: 유체 가열 영역

Claims (11)

  1. 두 유체 저장소와 상기 두 유체 저장소 사이의 상호 유체 이동을 위한 두개의 채널 하부패턴이 형성된 기판;
    상기 두 유체 저장소와 상기 두개의 채널 형성을 위한 상부 패턴이 형성되어 상기 기판과 압착되는 커버; 및
    상기 두 유체 저장소 및 상기 두 채널에 채워지며 광에너지를 흡수하는 유체에 대해 상기 기판 및/또는 상기 커버에 형성된 소정 크기의 홀을 통해 상기 두 채널에 각각 주사된 개스 버블을 이용하여 일측 유체 저장소로부터 타측 유체 저장소로 유체가 이동될 수 있도록 외측에서 소정 레벨의 광을 조사하는 이동 광원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 커버는 광투과율이 높은 투명재질의 소재가 이용되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이동 광원은 상기 두 채널 중 일 채널을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 이동 광원으로부터 조사된 광빔은 상기 개스 버블 이동방향 선단부에 조사하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑장치.
  5. 제 1 평판;
    제 2 평판;
    상기 제 1 평판과 상기 제 2 평판 사이에 압착되어 두 유체 저장소와 상기 두 유체 저장소 사이의 상호 유체 이동을 위한 두개의 채널 패턴이 형성된 구조물층; 및
    상기 두 유체 저장소 및 상기 두 채널에 채워지며 광에너지를 흡수하는 유체에 대해 상기 제 1 평판 및/또는 상기 제 2 평판에 형성된 소정 크기의 홀을 통해 상기 두 채널에 각각 주사된 개스 버블을 이용하여 일측 유체 저장소로부터 타측 유체 저장소로 유체가 이동될 수 있도록 외측에서 소정 레벨의 광빔을 조사하는 이동 광원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 평판은 광투과율이 높은 투명재질의 소재가 이용되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 이동 광원은 상기 두 채널 중 일 채널을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 이동 광원으로부터 조사된 광빔은 상기 개스 버블 이동방향 선단부에 조사하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑장치.
  9. 두 유체 저장소와 상기 두 유체 저장소 사이의 상호 유체 이송을 위한 두 채널 형성을 위해 소정 구조를 갖는 판이 결합된 마이크로 유체 펌핑 장치의 펌핑 방법에 있어서,
    상기 두 유체 저장소 및 상기 두 채널에 채워지며 광에너지를 흡수하는 유체에 대해 상기 판에 형성된 홀을 통해 상기 두 채널에 각각 개스 버블을 주사하는 단계; 및
    주사된 상기 개스 버블을 이용하여 일측 유체 저장소로부터 타측 유체 저장소로 유체가 이동될 수 있도록 외측에서 상기 유체에 조사되는 소정 레벨의 광빔을 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치의 펌핑 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 광 제어 단계는,
    상기 두 채널 중 일 채널에 주사된 상기 개스 버블에 대해 모세관력을 발생시키도록 광빔을 조사하는 단계; 및
    상기 광 조사 단계에서 조사된 광빔을 일측 채널을 따라 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑 장치의 펌핑 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 광 조사 단계는, 상기 개스 버블 이동방향 선단부에 광빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 펌핑장치의 펌핑 방법.
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